6_mikroanaliza eels i eftem

40
Spektroskopia strat energii elektronów EELS – Electron Energy Loss Spectrometry Metoda EELS opiera się na analizie rozkładu energii elektronów, które doznały niesprężystego rozproszenia w próbce. Elektrony te niosą ze sobą informacje o atomach poszczególnych pierwiastków, przez które zostały rozproszone, ich budowie elektronowej oraz rodzajach wiązań pomiędzy atomami.

Upload: grzegorz-cios

Post on 08-Feb-2016

80 views

Category:

Documents


1 download

TRANSCRIPT

Page 1: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Spektroskopia strat energii elektronów

EELS – Electron Energy Loss Spectrometry

Metoda EELS opiera się na analizie rozkładu energii elektronów, które doznały

niesprężystego rozproszenia w próbce. Elektrony te niosą ze sobą informacje o

atomach poszczególnych pierwiastków, przez które zostały rozproszone, ich

budowie elektronowej oraz rodzajach wiązań pomiędzy atomami.

Page 2: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Padająca wiązka elektronów

Elektrony wstecznie rozproszone

Elektrony wtórne

Elektrony niesprężyście rozproszone

Page 3: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Schemat mikroskopu z filtrem energii elektronów

Page 4: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Niesprężyste rozpraszanie elektronów

Page 5: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Spektrum strat energii elektronów

pik zerowy (ang. zero-loss peak), utworzony przez elektrony rozproszone sprężyście (zgodnie z prawem Bragga) przez nukleony oraz elektrony, które doznały minimalnych strat energii,

Page 6: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

zakres niskich strat energii (ang. low-loss region), do wartości strat około 50 eV, utworzony przez elektrony, które zostały rozproszone na zewnętrznych powłokach elektronowych atomów w próbce

pik zerowy (ang. zero-loss peak), utworzony przez elektrony rozproszone sprężyście (zgodnie z prawem Bragga) przez nukleony oraz elektrony, które doznały minimalnych strat energii,

Page 7: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

zakres wysokich strat energii (ang. high-loss region), utworzony przez elektrony rozproszone na wewnętrznych powłokach elektronowych atomów w próbce

Page 8: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Pik plazmonu dla różnych odmian alotropowych węgla

diamond (cubic)

diamond (hexagonal)

amorphous DLC carbon

partially graphitized carbon

Page 9: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Spektrum EELS w zakresie wysokich strat energii zawiera charakterystyczne krawędzie (ang. ionization edges) odpowiadające rozproszeniu na powłokach K, L, M, itd. atomów w próbce

Spektrum strat energii elektronów

Page 10: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Informacje ze spektrum EELS

Identyfikacja pierwiastków

Analiza ilościowa

Wiazania cheniczne i struktura elektronowa

Page 11: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Ilościowa analiza EELS

Page 12: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Analiza ilościowa: relacja pomiędzy intensywnościa sygnału a przekrojem czynnym na rozpraszanie niesprężyste

Page 13: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

ModeIowanie przekroju czynnego

Page 14: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 15: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 16: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 17: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 18: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 19: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

• Metoda EELS jest niezwykle czuła na pierwiastki lekkie, takie jak hel, lit, tlen,

azot, bor lub węgiel, które są poza zasięgiem metod EDS lub WDS, lub są

oznaczane z dużym błędem.

• Spektra EELS zawierają również wiele innych cennych informacji dotyczących

natury atomów oraz ich wzajemnych wiązań.

• Spektroskopia EELS jest często stosowaną metodą analityczną,

umożliwiającą rozwiązywanie problemów z dziedziny inżynierii materiałowej

i nauk biologicznych.

Spektroskopia EELS

Page 20: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

EFTEM

Energy Filtered Transmission Electron Microscopy

Page 21: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 22: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 23: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 24: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 25: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Mapy EFTEM

Jump ratio (fast: mapping)

Three window method

Page 26: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 27: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 28: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 29: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 30: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 31: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 32: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 33: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 34: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 35: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 36: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 37: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

The energy spread of FEG is larger than the intrinsic fine structures of EELS spectra.

Therefore, a monochromator for an electron source is necessary.

The monochromator enables to obtain an achromatic and round shaped beam on the specimen.

Page 38: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 39: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM
Page 40: 6_Mikroanaliza EELS i EFTEM

Rola monochromatora w STEM-EELS