simulation of chucked - immersive sim engineering gmbh

23
Wacker Siltronic AG SEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002 ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,2002 1 6LPXODWLRQRI&KXFNHG 6LPXODWLRQRI&KXFNHG :DIHU)ODWQHVV :DIHU)ODWQHVV * * 6FKP|OOHU 6FKP|OOHU 5-RKDQQHV 5-RKDQQHV LPPHUVLYH6,0HQJLQHHULQJ 3:DJQHU+*HUEHU 3:DJQHU+*HUEHU :DFNHU6LOWURQLF

Upload: others

Post on 09-Feb-2022

6 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20021

������������ ����������������� �����������������������������

������ �������� ����������� �������� �����������������������

�������!����"�� �������!����"����������������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20022

����������

# ���������

# ��������������$���%�&'()�� ��)�����

# �����&������

# ���������*+��������*"�������������*�����������

# ���������������� �������

# ������$���������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20023

������������������

# ��+����������������������)���������+������ �*� ����

# ��������������� �������������������������+�����������������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20024

�&'�&')�� )�� ����������������

# �,������������������������%-.//��→.����������������0������1/�(

# ��2�������� �����$����������������"�����������

# �,+��������������������)�� ��$�����������+�

# �����������������+��"����)�� ������&'�������

# "���������������+����

# ����+���������+����"��)�� �������������+�������������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20025

3�������4������������5� ���������3�������4������������5� ���������

����������������

������

��+������

%+�����+���(

������������

H[SHQVLYH

FKHDSHU

���+�������������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20026

�����3��������3���

# ��)�����������61//��%78*)����(

# ������� ��������/�9.:��

# � �����������������

# +�� ���)�� /�.��+���������������������"���

�6;9��

# ������������++������$������ �������

# ��)������������+���������0� HODVWLF�PRGXOXV�( �������03D

� 3RLVVRQV�UDWLR�µ� �����

� LVRWURSLF

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20027

�&�������&������

# �,��$�������

# <3*� ���

������$����

������������������ ��� ���������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20028

',��$�������',��$�����������������

# ������������# ��������"� ��������

��������+����# ����������������������# ������+���)�� �=���8

� ���# ����)���������+��������

����*��"�������

D[LV�RI�URWDWLRQ

����PP�RU��PP

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20029

�;9

.

<3�����<3�����

# ���������� )�� � ����������# ��+������# �$�����$�����$# ����+���$���

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200210

���������� �����>����������������������� �����>�������������������������������

��6>�?@!AB

� ������"���������)�� � ����������C

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200211

���������������� ����������������������� �������# �����������"�������0

² ZLWKRXW�ERZ

² QHJDWLYH�ERZ�����µP�² SRVLWLYH�ERZ�����µP�

# ��� ���������������������%���������)����)�� ��������)������� �����+�������(

725000

725010

725020

725030

725040

725050

725060

60 65 70 75 80 85 90Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

wavelength [mm] PV [nm] 0,6 3 1,1 5 5,1 20

10,1 30 20,1 50

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200212

4�)���2���$ ����������4�)���2���$ �������������%)������� DD+��������(���+�������)��� �� ���

-5

0

5

10

15

20

25

30

35

60 65 70 75 80 85 90

ZDYHOHQJWK� ������PP

XQORDGHG

FKXFNHG

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200213

!�� ���2���$ ����������!�� ���2���$ �������������%)������� E+��������(+������

-3

-2

-1

0

1

2

3

4

80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90

ZDYHOHQJWK� �����PP

XQORDGHG

FKXFNHG

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200214

��������������������������������

�������

� �����

724995

724996

724997

724998

724999

725000

725001

725002

60 62 64 66 68 70 72 74 76 78 80 82 84 86 88 90

724995

725000

725005

725010

725015

725020

725025

725030

725035

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

����PP���QP

�����PP��QP2mm pin distance

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200215

��������� �3��������������� �3������

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

���PP��QP

1��

.��

XQORDGHG

FKXFNHG

-2

-1

0

1

2

3

-6

-5

-4

-3

-2

-1

0

1

2

3

80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200216

724970

724980

724990

725000

725010

725020

725030

725040

95 96 97 98 99 100

ca. 30 nm

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

IODW

SRVLWLYH

QHJDWLYH

���������>�)����������>�)�����������������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200217

���������'++����F�������������������'++����F����������

��������++�����������������$�����G�)������������������������������

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

����EDU

����EDU

���PP��QP�IODW

-4

-2

0

2

4

6

8

10

90 92 94 96 98 100

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200218

���������'++����F�������������������'++����F�������������"��)��������� ����"������$� ������� �) �������

Cross Section Position [mm]

Hei

gh

t [n

m]

����EDU

�����EDU

����EDU

)����)�� �������"�)����������������

-500

500

1500

2500

3500

4500

5500

6500

80 85 90 95 100

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200219

<3�����������$����<3�����������$����

@�"�������0# "�����$�����������$����

� ����������# �������������+��������

������+������

# ����������+��C

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200220

PP

# ����������� )����

�"�����)�� �������������

# ������������

# �����+���0)�����������

� �������+��

<3�����)�� �������� ������<3�����)�� �������� ������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200221

������$������$

# "�)��)��+������)����)�� �,��+������ ������������) ���� �)����+������ �� �$��+����"�)

# ������)���2���$+�������

# ="��8)��������������"�����) �����=����8)��������������)����

# ��+������������)������+����$���������������"$����+������+����"��

# ��+�����+���$���) �� ����������)�����

�&����������)���+��������������$����������������)�������������+����$) �����+��� �)���������++��+�� ���

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200222

H������H������

# ���� ����+����������&'������# �,+�������������������������������������# ���# ���# �������������

Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002

ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200223

��������� ��+�"������"�����)�������+���������

"�����+��������� ��+����+�������������

'����� ��� �'����� ��� �