simulation of chucked - immersive sim engineering gmbh
TRANSCRIPT
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20021
������������ ����������������� �����������������������������
������ �������� ����������� �������� �����������������������
�������!����"�� �������!����"����������������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20022
����������
# ���������
# ��������������$���%�&'()�� ��)�����
# �����&������
# ���������*+��������*"�������������*�����������
# ���������������� �������
# ������$���������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20023
������������������
# ��+����������������������)���������+������ �*� ����
# ��������������� �������������������������+�����������������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20024
�&'�&')�� )�� ����������������
# �,������������������������%-.//��→.����������������0������1/�(
# ��2�������� �����$����������������"�����������
# �,+��������������������)�� ��$�����������+�
# �����������������+��"����)�� ������&'�������
# "���������������+����
# ����+���������+����"��)�� �������������+�������������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20025
3�������4������������5� ���������3�������4������������5� ���������
����������������
������
��+������
%+�����+���(
������������
H[SHQVLYH
FKHDSHU
���+�������������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20026
�����3��������3���
# ��)�����������61//��%78*)����(
# ������� ��������/�9.:��
# � �����������������
# +�� ���)�� /�.��+���������������������"���
�6;9��
# ������������++������$������ �������
# ��)������������+���������0� HODVWLF�PRGXOXV�( �������03D
� 3RLVVRQV�UDWLR�µ� �����
� LVRWURSLF
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20027
�&�������&������
# �,��$�������
# <3*� ���
������$����
������������������ ��� ���������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20028
',��$�������',��$�����������������
# ������������# ��������"� ��������
��������+����# ����������������������# ������+���)�� �=���8
� ���# ����)���������+��������
����*��"�������
D[LV�RI�URWDWLRQ
����PP�RU��PP
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,20029
�;9
.
<3�����<3�����
# ���������� )�� � ����������# ��+������# �$�����$�����$# ����+���$���
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200210
���������� �����>����������������������� �����>�������������������������������
��6>�?@!AB
� ������"���������)�� � ����������C
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200211
���������������� ����������������������� �������# �����������"�������0
² ZLWKRXW�ERZ
² QHJDWLYH�ERZ�����µP�² SRVLWLYH�ERZ�����µP�
# ��� ���������������������%���������)����)�� ��������)������� �����+�������(
725000
725010
725020
725030
725040
725050
725060
60 65 70 75 80 85 90Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
wavelength [mm] PV [nm] 0,6 3 1,1 5 5,1 20
10,1 30 20,1 50
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200212
4�)���2���$ ����������4�)���2���$ �������������%)������� DD+��������(���+�������)��� �� ���
-5
0
5
10
15
20
25
30
35
60 65 70 75 80 85 90
ZDYHOHQJWK� ������PP
XQORDGHG
FKXFNHG
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200213
!�� ���2���$ ����������!�� ���2���$ �������������%)������� E+��������(+������
-3
-2
-1
0
1
2
3
4
80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90
ZDYHOHQJWK� �����PP
XQORDGHG
FKXFNHG
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200214
��������������������������������
�������
� �����
724995
724996
724997
724998
724999
725000
725001
725002
60 62 64 66 68 70 72 74 76 78 80 82 84 86 88 90
724995
725000
725005
725010
725015
725020
725025
725030
725035
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
����PP���QP
�����PP��QP2mm pin distance
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200215
��������� �3��������������� �3������
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
���PP��QP
1��
.��
XQORDGHG
FKXFNHG
-2
-1
0
1
2
3
-6
-5
-4
-3
-2
-1
0
1
2
3
80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200216
724970
724980
724990
725000
725010
725020
725030
725040
95 96 97 98 99 100
ca. 30 nm
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
IODW
SRVLWLYH
QHJDWLYH
���������>�)����������>�)�����������������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200217
���������'++����F�������������������'++����F����������
��������++�����������������$�����G�)������������������������������
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
����EDU
����EDU
���PP��QP�IODW
-4
-2
0
2
4
6
8
10
90 92 94 96 98 100
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200218
���������'++����F�������������������'++����F�������������"��)��������� ����"������$� ������� �) �������
Cross Section Position [mm]
Hei
gh
t [n
m]
����EDU
�����EDU
����EDU
)����)�� �������"�)����������������
-500
500
1500
2500
3500
4500
5500
6500
80 85 90 95 100
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200219
<3�����������$����<3�����������$����
@�"�������0# "�����$�����������$����
� ����������# �������������+��������
������+������
# ����������+��C
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200220
PP
# ����������� )����
�"�����)�� �������������
# ������������
# �����+���0)�����������
� �������+��
<3�����)�� �������� ������<3�����)�� �������� ������
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200221
������$������$
# "�)��)��+������)����)�� �,��+������ ������������) ���� �)����+������ �� �$��+����"�)
# ������)���2���$+�������
# ="��8)��������������"�����) �����=����8)��������������)����
# ��+������������)������+����$���������������"$����+������+����"��
# ��+�����+���$���) �� ����������)�����
�&����������)���+��������������$����������������)�������������+����$) �����+��� �)���������++��+�� ���
Wacker Siltronic AGSEMICON 2002 Advanced Wafer Geometry Task Force April 17, 2002
ChuckedWaferFlatness - ISE - Dr. Schmöller - April,200222
H������H������
# ���� ����+����������&'������# �,+�������������������������������������# ���# ���# �������������