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267 エアベアリング オイレスエアベアリング …………………………… P.269 268

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267

選定の目安

製品紹介

樹脂系ベアリング

複層系ベアリング

金属系ベアリング

エアベアリング

技術資料

スライドシフター

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P182-267_金属系ベアリング.indd 267 2018/06/05 11:54:51

エアベアリング

オイレスエアベアリング …………………………… P.269

268

P268-281_エアベアリング.indd 268 2018/06/05 12:56:53

OAB(オイレス エアベアリング)の特長

一般的なエアベアリングの形式比較

気孔

拡散接合

給気は多孔質中を拡散

エアベアリングの構造

固体潤滑剤

絞り形式

多孔質

表面

オリフィス 自

剛性・負荷容量

給気溝・穴

小径の穴加工

イメージ図

多孔質絞り

給気溝・穴オイレス エアベアリング

給気溝・穴

オリフィス絞り

給気溝・穴

独自の多孔質技術により最適な絞りが構成でき、高負荷能力と高剛性が発揮されます。高性能

カスタマイズ対応

• 材料設計により流量の調整が容易にでき、用途に応じて高剛性仕様・高速仕様等の対応が可能です。• 様々な形状での製作が可能です。

安全性オイルレスベアリングであるために、固体接触の状態でも焼付き難く安全性に優れ、取り扱いも容易です。

経済性自成・オリフィス絞りに比べ流量を大幅に低減することができ、エア源の省力化やランニングコストを削減できます。

環 境

軸と軸受の間に空気膜を構成させ、非接触で運動させることから種々の特長が得られます。固体摩擦によるスティックスリップがありません。高速回転に対応できます。また、空気の平均化効果により、高精度が得られます。

イメージ図

高精度・高速・超低摩擦を実現高性能・コンパクトなOAB(オイレス エアベアリング)

表面絞り

自成絞り

クリーンルームでの使用が可能です。

給気溝

エアベアリングとは

切断面

給気溝

多孔質焼結合金バックメタル

269

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P268-281_エアベアリング.indd 269 2018/06/05 12:56:55

軸受面全面に存在する微小気孔から均一に給気が得られる

水中における給気吹き出しの様子 エアスピンドル回転振れ精度測定

エアスライドの真直度・振動・再現性

円板軸受、他社製多孔質との性能比較試験

●平均化効果:空気膜が表面の粗さをならす

●軸受性能値 比較実験

例えば、浮上量6μmの時、オイレスエアベアリングは他社製品より約1.5倍の高い剛性、約1.2倍の負荷容量を示す

浮上量

荷重

接触式スライドよりも良好  精密測定・検査等、再現性が求められる精密機器に採用

測定状況(静電容量非接触変位計 使用)

測定回転数:10回転分

X方向位置[mm]

Y方向変位[μ

m]

●表面粗さ・うねりに倣うY変位発生●繰り返し精度は互いの粗さに依存

接触式の動き

非接触式(エアベアリング)の動き

X方向位置[mm]

Y方向変位[μ

m]

●表面粗さの影響を受けずスムーズ●うねりの振幅も低減●高い繰り返し精度●スティックスリップが生じない

軸受面直径給気圧(ゲージ圧)

:φ78mm:0.5MPa

当社試作エアスライド

Y

X

Y

X

空気膜(軸受すきま)相手面

エアベアリング

※性能データは参考値です。

浮上量(μm)

軸受剛性(

N/μ

m)

0

40

8060

20

120100

160140

220200180

0 5 10 15 20

浮上量(μm)

負荷容量(

N)

0

500

1000

1500

2000

0 5 10 15 20

OAB他社製品

OAB他社製品

OAB

TIR:0.15μm

給 気 圧 0.5MPa回転速度 50000min-1

NRRO:0.03μm

270

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P268-281_エアベアリング.indd 270 2018/06/05 12:56:58

カスタマイズ対応

形状

性能

同一寸法でも性能(許容荷重・剛性・流量)をカスタマイズできます。

詳細は、当社営業所へお問い合わせください。

OABは従来の多孔質絞りとは違い、流量調整が可能です。ご使用条件に合わせた高剛性仕様・高速仕様等のカスタマイズが実現できます。

詳細は、当社営業所へお問い合わせください。

上記の様に、様々な形状に対応が可能です。

負荷容量

剛 性

流 量

100N

50N/μm

5NL/min以下

負荷容量

剛 性

流 量

150N

30N/μm

10NL/min以下

エアガイドユニット

R形状パッド エアベアリングロールユニット

プレッシャーバキュームツール

271

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P268-281_エアベアリング.indd 271 2018/06/05 12:57:20

OAB(オイレスエアベアリング)カスタマイズ例

■精密位置決め、高精度用のガイドとして使用頂けます。■微小摩擦抵抗の測定用ガイドとして使用頂けます。■高剛性、高速仕様等、ご要求に合わせた設計が可能です。

■超精密ステージ等の浮上・ガイドパッドとして使用頂けます。

■非接触搬送用の浮上パッドとして使用頂けます。■各種、ご要求に合わせた設計が可能です。

■サブミクロンの回転精度が得られます。■超精密加工や超精密測定器のスピンドルとして使用頂けます。■高剛性、高速仕様等、ご要求に合わせた設計が可能です。

■精密位置決め、高精度用のガイドとして使用頂けます。■微小摩擦抵抗の測定用ガイドとして使用頂けます。■各種、ご要求に合わせた設計が可能です。

ストレートブッシュ、フランジブッシュ パッド、プレート

エアスピンドル エアスライド

受注生産品

2

272

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P268-281_エアベアリング.indd 272 2018/06/05 12:57:36

OAB(オイレスエアベアリング)ブッシュ(ABB・ABFシリーズ)

φd

φd

φD

0-0

.005

相手軸

L

L2 相手ハウジング

相手ハウジング

W

4-3.4キリ6.5深ザグリ深サ3.5

A-A断面B

φF

A

A

A

注) ABF-2030の外径φ35公差は-0.025~-0.050、ツバ部固定ボルトは4-4.5キリ8深ザグリ深サ4.5になります。※ 給気穴は選択できます。

焼結層SUS420J2

φd寸法は相手軸との現合を基本とします。

φd寸法は相手軸との現合を基本とします。

t5

0.5

M3×3六角穴付ボルト

2-M3タップ深サ5

(SUS)

-0

.020

-0

.041

φD

L

焼結層

φd

焼結層

SUS420J2

G0.4

0.003

0.003

φd相手軸

G0.4

0.003

φD

H7

φD

0+0

.005

ストレートブッシュ寸法表及び質量表

呼 称内 径 外 径 長 さ L2(mm) 給気口 質量(g)φd(mm) φD(mm) L(mm)

ABB - 203520 20 35 20 10 M3 100ABB - 304530 30 45 30 15 M5 200ABB - 406040 40 60 40 20 M5 450ABB - 507050 50 70 50 25 M5 700

※上記寸法以外でも製作可能です。当社営業所までご相談ください。

フランジブッシュ寸法表及び質量表

呼 称内 径 外 径 フランジ 長 さ W(mm)A(mm) B(mm) 給気口 質量(g)φd(mm)φD(mm) φF(mm) t(mm) L(mm)

ABF - 1220 12 25 44 10 20 32 22 26 M3 120ABF - 1620 16 30 48 10 20 36 25 30 M3 150ABF - 2030 20 35 55 10 30 40 28 34 M3 230

※上記寸法以外でも製作可能です。当社営業所までご相談ください。

軸受の用途に応じた半径すきまの目安半径すきま※はシャフトの外径と軸受の内径より計算されて求められます。

タイプ区分 半径すきま(μm)※

高剛性・高精度用 4 ~ 6一般汎用 6 ~ 10高速用 10 ~ 20

※半径すきま設定に関しては、当社営業所までご相談ください。

273

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P268-281_エアベアリング.indd 273 2018/06/05 12:57:41

本製品の代表的な性能

軸受の固定方法軸受を固定する場合、すきまばめに設定し圧入による固定は避けてください。軸受を前後に複数個使用する場合は特に同軸度が重要になります。

参考性能給 気 圧

: ABB-406040: 0.5MPa

■許容負荷容量 ■軸受流量■軸受剛性

半径すきま

シャフト

軸受

負荷方向

ABB及びABFシリーズのシャフト外径公差、及びカスタムアプリケーションについて軸受性能は設計時の半径すきまの設定に大きく依存します。そのため、軸受性能をより精度良く決定するためにはシャフト外径の公差を軸受内径とのあわせ加工が必要となります。また、ブッシュタイプのオイレスエアベアリングは、ABB及びABFシリーズ以外に、様々な用途・目的にお応えできる製品をご提案できます。詳細は、当社営業所までご相談ください。

300

250

200

150

100

50

05 10 15 20 25

14012010080604020

05 10 15 20 25

7654321

05 10 15 20 25

半径すきま(μm)

許容負荷容量(

N)

半径すきま(μm)

軸受剛性(

N/μ

m)

半径すきま(μm)

軸受流量(

NL/

min)

※1 ※2 ※3

受注生産品 2

ABB・ABFの給気圧0.5MPa、初期設定半径すきま7μm時の性能

呼 称 許容負荷容量(N)※1 軸受剛性(N/μm)※2 軸受流量(NL/min)※3

ABB - 203520 48 16 3.3ABB - 304530 111 37.5 3.3ABB - 406040 205 70 4.0ABB - 507050 335 115 4.0ABF - 1220 20 5 3.8ABF - 1620 35 10 4.0ABF - 2030 65 24 4.0

※1)許容負荷容量を超えない範囲でご使用ください。※2)軸受剛性は許容負荷容量近傍の値を示します。※3)軸受流量とは、軸受とシャフトを組み合わせたときに測定された流量を示します。

※数値は代表値です。

274

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P268-281_エアベアリング.indd 274 2018/06/05 12:57:48

OAB(オイレスエアベアリング)パッド(APDシリーズ)

注) ボール径についてはP.276「パッド背面のアクセサリー」を参照ください。

本製品の代表的な性能参考性能給 気 圧

: APD-8020: 0.5MPa

■負荷容量

浮上量(μm)

負荷容量(

N)

0 5 10 15 20

■給気流量

浮上量(μm)

給気流量(

NL/

min)

5 10 15 200

■軸受剛性

浮上量(μm)

軸受剛性(

N/μ

m)

0 5 10 15 20

2000

1500

1000

500

0

3.0

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

0

250

200

150

100

50

0

1mmT

A

A

φD

SUS420J2

a

M5給気口

9

C1

面取b

90°

φD

b

多孔質層

A-A

パッド寸法表及び質量表

呼 称 外 径φD(mm)

厚さT(mm)給気口位置

a(mm)面取b 背面座径

φDb(mm)質量(g)

APD - 5015 50 15 7.5 C2 9.3 220APD - 6520 65 20 10 C5 12.2 480APD - 8020 80 20 10 C5 12.2 730APD - 10025 100 25 12.5 C5 15.0 1460APD - 12530 125 30 15 C5 17.8 2720APD - 15030 150 30 15 C5 17.8 3920

※上記寸法以外でも製作可能です。当社営業所までご相談ください。

275

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P268-281_エアベアリング.indd 275 2018/06/05 12:57:49

※3

詳細は、当社営業所までお問い合わせください。

*ネジ固定式のAPDもご用意できます。

ボールスタッドによる取り付け例 背面ネジによる固定(参考例)

90°

Hn

受注生産品 2

APDシリーズ以外の特注対応についてプレートタイプのオイレスエアベアリングは、APDシリーズ以外に、様々な用途・目的にお応えできる製品をご提案できます。また用途に応じて軸受すきま・流量の変更やそれに伴う性能の調整なども対応できます。詳細は、当社営業所までお問い合わせください。

各APDの給気圧0.5MPa、浮上量6μmにおける性能(浮上量は6μmを推奨)

呼 称 負荷容量(N)※1 軸受剛性(N/μm)※2 軸受流量(NL/min)※3

APD - 5015 390 60 2.0APD - 6520 780 100 2.0APD - 8020 1200 150 2.5

APD - 10025 1900 240 3.5APD - 12530 3330 300 4.0APD - 15030 5000 460 4.0

※数値は代表値です。※1) 負荷容量数値は、例えばAPD-8020について、浮上量6μmのときに1,200N以上の負荷を受けることができます。※2) 軸受剛性数値は、例えばAPD-8020について、浮上量6μmのときに150N/μm以上の剛性を示します。※3) 軸受流量数値は、例えばAPD-8020について、浮上量6μmのときに2.5NL/min以下であることを示します。

パッド背面のアクセサリー(オプションについて)APDシリーズは、下図のように、取り付けやアライメントが調整できる専用のボールスタッド等のアクセサリーをご用意できます。下表にその一例を示します。

適用パッド ボール径 ネジ × ピッチ 長さ(mm)ナット高さHn(mm)

APD - 5015 sφ8 M10 × 0.75 80 8APD - 6520 sφ10 M12 × 1.0 80 10APD - 8020 sφ10 M12 × 1.0 80 10

APD - 10025 sφ12 M14 × 1.0 120 11APD - 12530 sφ14 M16 × 1.0 120 13APD - 15030 sφ14 M16 × 1.0 120 13

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P268-281_エアベアリング.indd 276 2018/06/05 12:57:52

OAB(オイレスエアベアリング)エアスピンドル(ASWシリーズ)

●超精密加工・研削用のツール、ワーク軸受として使用いただけます。●超精密測定機器用スピンドルとして使用いただけます。

D9 給気取付穴 D7-PCD D5

取付穴 D8-PCD D6

D1

L2 L3L3

L4

D2 D3 D4

L1

概略寸法図

寸法表 寸法単位:mm

呼 称D1 H7 D2 h7 D3 h7 D4 D5 D6 D7 D8 D9 L1 L2 L3 L4

ASW - 30 Φ5 Φ30 ─ Φ45 PCD

38PCD24

2×3-M3深5

2×3M3深4

M5深5 46 ─ 8 30

ASW - 50 Φ15 Φ55 ─ Φ75 PCD

67PCD45

2×3-M4深8

2×6M3深7

M5深5 60 ─ 12 36

ASW - 80 Φ20 Φ80 Φ84 Φ110 PCD

96PCD60

2×3-M6

8ザグリ深24

2×6M4深12

Rc1/8 80 36 22 42

ASW - 100 Φ30 Φ105 Φ110 Φ140 PCD

125PCD75

2×3-M8

11ザグリ深38

2×6M5深18

Rc1/8 106 50 28 56

ASW - 150 Φ50 Φ155 Φ160 Φ200 PCD

180PCD120

2×3-M1015ザグリ深47

2×6M6深20

Rc1/8 130 60 35 66

ASW - 200 Φ70 Φ195 Φ200 Φ240 PCD

220PCD150

2×3-M1015ザグリ深61

2×6M6深20

Rc1/8 160 74 43 80

ASW - 250 Φ82.55 Φ247.6 Φ255 Φ300 PCD

275PCD

190.5

2×3-M1015ザグリ深60

2×12M8深20

Rc1/8 170 76 47 82

277

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P268-281_エアベアリング.indd 277 2018/06/05 12:57:54

note1) 許容負荷容量を超えない範囲でご使用ください。2) 軸受剛性は許容負荷容量近傍の値を示します。3) ASW150以上のサイズは別途包装梱包費用がかかります。

エアスピンドルを設置する台座および、ベースの精度

台座0.005

エアスピンドル・ハウジングを取付ける台座および、その下のベースの平面度は、5μm以下で製作してください。なお、スピンドルをベース等に固定する場合は、排気口部分を絶対に塞がないでください。(性能が十分に発揮できなくなります。)

受注生産品 2

性能表機能

呼 称

ラジアル剛性

N/μm

スラスト剛性

N/μm

ラジアル(N)許容負荷容量

スラスト(N)許容負荷容量

ラジアル回転精度

(NRRO)μm(TIR)μm

スラスト回転精度

(NRRO)μm(TIR)μm

許容回転数min-1

流量(NL/min)

重量(Kg)

慣性モーメント(Kg・m2)

GD2

(Kg・m2)

ASW - 30 13 25 30 55 0.07

1.50.051.5 30,000 10 0.5 1.13×10-5 4.56×10-5

ASW - 50 22 50 70 150 0.05

1.50.031.5 20,000 15 1.6 1.94×10-4 7.74×10-4

ASW - 80 35 150 120 360 0.05

1.50.031.5 15,000 18 4.4 1.27×10-3 5.10×10-3

ASW - 100 90 320 210 720 0.05

1.50.031.5 10,000 22 9.6 4.89×10-3 1.96×10-2

ASW - 150 150 600 300 1500 0.05

2.00.032.0 5,000 25 23.7 2.95×10-2 1.18×10-1

ASW - 200 250 1000 600 2700 0.05

2.00.032.0 3,000 30 42.1 9.12×10-2 3.65×10-1

ASW - 250 300 1320 720 4320 0.05

2.00.032.0 2,000 40 71.2 0.257 1.03

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P268-281_エアベアリング.indd 278 2018/06/05 12:57:55

OAB(オイレスエアベアリング)取扱説明書オイレスエアベアリングは高速・高精度・超低摩擦等の特長をもつ静圧気体軸受です。運搬、取付、給気等による不具合などを未然に防ぐために、下記の取扱上の注意事項を必ずお読みください。

1.運搬及び使用環境超精密製品であるため、落下等の衝撃や、強い振動が加わる運搬、使用は厳に避けてください。運搬機器をご使用の場合は特に金属製のツメで製品を傷付けることのないように注意が必要です。使用環境として、温度は23℃±5℃・湿度は70%以下を目安としてください。環境温度に十分馴染ませて結露の発生しない状態で包装を解いてください。

2.取付方法 1 ) APD及びABFシリーズエアベアリングのネジによる取り付けにおける面精度について ネジ等の固定における応力ひずみを最小限にするために、取り付け面の平面度2μm以下を目標としてください。取り付け面はオイルストーン等で軽く磨きバリやキズを除去してください。

2) ABBシリーズエアベアリングのハウジングへの固定方法について ハウジングの内径寸法がしまりバメに設定されないようご注意ください。

3.供給空気の管理エアベアリングの故障の多くの原因は給気の管理が不十分であることによるものです。給気は、JIS B 8392-1 圧縮空気清浄等級 1.6.1相当としてください。 1 ) 給気しない状態でエアベアリング及び相手材を動かすことは絶対に避けてください。 2) 給気圧力は0.5MPa(ゲージ圧)を標準(推奨)とします。0.5MPaより高い給気圧で用いる場合は当社にご相談ください。また0.2MPa以上0.5MPa未満の範囲で用いる場合、使用上の問題はありませんが、軸受剛性等の性能値は給気圧に比例して低下します。

3) 給気源の吐出能力流量は消費流量の 2倍以上を確保してください。4) 配管チューブ等は、特に指定がない場合、内径φ4以上をご使用ください。

279

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JIS B 8392-1:2012による圧縮空気清浄等級

等級固体粒子 温度及び水分 オイル

粒子径d(μm)に対応した1m3当たりの最大粒子数 質量温度Cpmg/m3

圧力露点℃

水分濃度Cwg/m3

オイル総濃度mg/m3

0.1<d≦0.5 0.5<d≦1.0 1.0<d≦5.00 等級1より厳しい条件で、使用者又は納入業者が指定する。1 ≦20,000 ≦400 ≦10 ─ ≦-70 ─ ≦0.012 ≦400,000 ≦6,000 ≦100 ─ ≦-40 ─ ≦0.13 ─ ≦90,000 ≦1,000 ─ ≦-20 ─ ≦14 ─ ─ ≦10,000 ─ ≦+3 ─ ≦55 ─ ─ ≦100,000 ─ ≦+7 ─ ─6 ─ ─ ─ 0<Cp≦5 ≦+10 ─ ─7 ─ ─ ─ 5<Cp≦10 ─ Cw≦0.5 ─8 ─ ─ ─ ─ ─ 0.5<Cw≦5 ─9 ─ ─ ─ ─ ─ 5<Cw≦10 ─× ─ ─ ─ Cp>10 ─ Cw>10 >5

例えば、「等級1.6.1」とは ●固形粒子  0.1~0.5μmが20,000個以下、0.5~1.0μmが400個以下及び1.0~5.0μmが10個以下 ●圧力露点  10℃以下 ●オイル濃度 0.01mg/m3以下という等級を示します。

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*給気管理のための推奨設備 給気中の結露やドレンはエアベアリングの焼き付きの原因のひとつになります。特に夏場等の湿度が高い環境では結露による問題が多発します。よって給気配管に以下の空気圧補助機器の設置を推奨します。

4.インターロックの設定給気されていない、もしくは給気圧が低下した状態でベアリングが運動しないようにインターロックの設定を推奨します。

5.運転時の注意 1 ) エアベアリングに配管する前に、チューブ等のエアブローを十分に行い、ドレン・微粒子・油分の混入していない状態を確認して配管してください。

2) 長期の休止後の再運転時も同様にエアブローを十分に行ってください。 3) エアベアリングに清浄なドライエアを約 30分給気してから使用してください。4) ラジアルエアベアリング等を回転に用いる場合、取り付ける回転体のアンバランスが大きいと、高速回転時に軸と軸受が接触し致命的な損傷をもたらす恐れがあります。高速回転時には使用回転速度に応じて動バランス修正を行ってください。動バランス修正について不明な点がありましたら当社にお問い合わせください。(釣り合い良さの推奨等級G0.4:JIS B 0905)

5) 高速回転使用においては回転体等の飛散を防止するカバー等を設け危険防止対策を取ってください。6) モータ(動力)等の発熱体からの熱がエアベアリングに影響を及ぼさないように対策を取ってください。熱による膨張等のひずみが生じると不具合の原因になります。不明な点は当社までご連絡ください。

6.不使用時及び保管 1 ) エアベアリングが運動しない場合や使用しない場合はエアベアリングの給気を止めて差し支えありません。ただし防錆のため、高温多湿による結露が生じないような室内環境で管理、または保管してください。

2) 長期間休止の場合、運転開始時に給気しない状態での不測の運動が生じないための対策を取ることを推奨します。

3) エアベアリングの長期不使用における保管は、ビニール袋に乾燥剤を入れ密封するなど、防錆に留意してください。ただし、防錆油の塗布は行わないでください。軸受すきまに油が侵入するとスムーズな動きが得られなくなる等、不具合の原因となります。

7.トラブル時の対応 1 ) エアベアリングの動きがスムーズでない 給気圧の低下、あるいは水滴・ドレンの軸受すきまへの浸潤が考えられます。正常な供給状態を確認してください。

水滴・ドレンが浸潤した場合には乾燥に 12時間以上の給気を行ってください。スムーズな動きが得られない場合は当社までご連絡ください。

2) ラジアルエアベアリングを回転運動でご使用の場合、システム全体または回転体の振動が大きい 回転体の動バランスが取れていないことが考えられます。確認・修正願います。 3) 運動精度が良くない 落下・衝撃があった、取付け状態が悪い、過負荷運転した、等が考えられます。修理が必要と判断される場合は当社までご連絡ください。

コンプレッサ 冷凍式エアドライヤ

ミストセパレータ

メンブレンドライヤエアタンク エアベアリング

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8.作業時の注意 1 ) 作業時はゴム系・ウレタン系などの繊維の脱落しない手袋を着用し、素手での取り扱いは避けてください。 なお、手袋を着用している場合でも、多孔質部(給気面)には触れないように注意してください。 2) 多孔質部(給気面)に水分・油分・有機溶剤など、あらゆる液体を付着させないでください。軸受性能を著しく損なう恐れがあります。

3) 多孔質部(給気面)に汚れが付着した場合は、十分にエアブローをしてから繊維の脱落しにくいワイパーなどで乾拭きしてください。

軸受流量 …………エアベアリングに相手をセットし、給気したときの流量で、そのすきまによって流量は変化するもので消費流量と表現されます。NL/minとは基準状態(0℃、1気圧)での毎分あたりの流量を示します。

軸受剛性 …………荷重に対する軸の変位(N/μm)を示し、荷重条件・すきまの設定で値は異なります。負荷容量 …………各浮上量における許容荷重。

●データ用語の意味

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スライドシフターSタイプ ……………………………………………… P.283SEタイプ …………………………………………… P.291BAタイプ(BTCA) ………………………………… P.301BAタイプ(BTSA) ………………………………… P.305BCタイプ …………………………………………… P.307BFタイプ …………………………………………… P.311オイレスガイドシャフト …………………………… P.319BTUタイプ ………………………………………… P.323ガイドユニットオイレス#500ガイドユニット BKタイプ ………… P.327オイレス#500ガイドユニット BTタイプ ………… P.331技術資料耐久試験データ …………………………………… P.335作動不良を起こさないために ……………………… P.336駆動力の設定方法 ………………………………… P.337寿命計算方法 ……………………………………… P.338正立2軸4台の計算例(Sタイプ) ………………… P.339縦型垂直2軸4台の計算例(BFタイプ) ………… P.341

スライドシフター・ガイドユニット寸法表/技術資料

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