fei社製プラズマfib-sem - 受託分析、故障解析、信 … fib electrons lons fei社製...

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ピックアップ機能を内蔵しているので、精度の高い STEM/TEM サンプル作製が可能。 STEM/EDS 搭載のため、 SEM/EDS より精度の高い分析が可能。 Ti 層 (10nm)/Al 層 (30nm) の EDS マッピング。 10nm の薄層も明確に分析可能。従来の FIB では 10μm×20μm 程度でしたが、プラズマ FIB では 40μm×75μm の薄膜作製が可能です。プラズマ FIB-SEM 分析の詳細は弊社営業窓口までお問い合わせくださいますようお願いいたします〒590-0906 大阪府堺市堺区三宝町 4-231-1 ３Dパッケージの故障解析や、広い領域のFIB加工や観察など様々なニーズに対応することが可能です。 FE-SEM を搭載しているので、微小な不良箇所を見逃しません。加工しながら断面像を確認できる。傾斜に対応したイオンビームが搭載されているため、観察と加工がサンプルを動かさずに実施できる。 FE-SEM 観察時 FIB 加工時 FIB SEM lons FIB Electrons lons FE I 社製プラズマ FIB-SEM Helios G4 PFIB Xeを用いたプラズマFIBなので、大面積の加工が可能。 500μm の断面加工が可能に。プラズマ FIB なので短時間に大面積の加工が可能。はんだバンプ加工例 200μm TSV 加工例 500μm

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Page 1: FEI社製プラズマFIB-SEM - 受託分析、故障解析、信 … FIB Electrons lons FEI社製プラズマFIB-SEM Helios G4 PFIB Xeを用いたプラズマFIBなので、大面積の加工が可能。500μmの断面加工が

ピックアップ機能を内蔵しているので、精度の高いSTEM/TEMサンプル作製が可能。

STEM/EDS 搭載のため、SEM/EDS より精度の高い分析が可能。

Ti 層 (10nm)/Al 層 (30nm) の EDS マッピング。10nmの薄層も明確に分析可能。

従来の FIB では 10μm×20μm程度でしたが、プラズマFIBでは40μm×75μmの薄膜作製が可能です。

プラズマ FIB-SEM 分析の詳細は弊社営業窓口までお問い合わせくださいますようお願いいたします〒590-0906 大阪府堺市堺区三宝町 4-231-1

３Dパッケージの故障解析や、広い領域のFIB加工や観察など様々なニーズに対応することが可能です。

FE-SEMを搭載しているので、微小な不良箇所を見逃しません。

加工しながら断面像を確認できる。

傾斜に対応したイオンビームが搭載されているため、観察と加工がサンプルを動かさずに実施できる。

FE-SEM観察時FIB 加工時

FIBSEM

lons

FIB Electrons

lons

FEI社製

プラズマFIB-SEMHelios G4 PFIB

Xeを用いたプラズマFIBなので、大面積の加工が可能。

500μmの断面加工が可能に。

プラズマ FIB なので短時間に大面積の加工が可能。はんだバンプ加工例

200μm

TSV 加工例

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