Transcript
Page 1: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

���������� � ��� ���� �� ������������������ ������������ ��������

����� ������ ����� ���� ����� ���� !"��� ���""� ��� ��#����� �$ %������ ����� �$ &�� '�� ($ &����� �"�� �)���������� ��� ������ ������������ ���������� ������ ������� �� ����� �!�"� �#$

��������

!��" ����� *�"�����" ��� �"� � ������������������ � � ��+��* ����"������ �" � �,��� ,��"����� �* ��"�������,� ���" � ���������

��� ������� ����$ ��� �" � �� ���"" � ��������*���,�* �������" ���"� "������ �������� �" � ��+��*����"� �������$ %� �**�� �

����� �������� �� ��� ������"��� ������������������� �������� � ��� ����������� ������� �� �� ��������"��* �� -# �.��"���$ !��

��"����� "���* ������� "��������" ��� ��� ���""��/�* �*�� �"�"����� ���""���� �* ��������* �� ��� � ��������" ������� ������� �

����"��*�� �,�� 0122��$ %� �**�� �* ����� "����""�,� �����" � ��+��* ������� � ��� � �� ������� ������������* ������� ������ �� ��"��� ��������*$ !�� �"� � ������������������ �� ��"� �� �"�* �� ��/� ���� ����������/� ������� "��������"$ 3�� �""��"

������� ��� ��������� �����"" ��� *�"��""�*$ %� ������� ������������������ ���� ����� �����"� *�,�����* �����+��" "��� �"

����������"�* ��*�� �* 4������� ��*��� ����� ��� ���� *�,���" �� ���������������� ����������" ��,� ��� ��������*5 �

�������"����� ��������� � ���""��� ���"*����� �* � �����"��� �������$ !��"� �����"�� � ��*� ���� � ����� *���"������ ���

,��"������� � ���" �����+��$ � 6226 ��"�,��� ������ %$#$ ��� �����" ��"��,�*$

%��&���' ��� 7 �������7 ����7 ����������7 8������

� ���� ������

� ,��* �.�"�" � ��� ���� ���/�� ����� �������������

���� ����������" 9�.���*�� 0222��: ��� �,��,�*$ !�����������" � �.�����" ���5 90: ���� ���� �� ������� �

���������������� �,������"� "��� �" "�"��" �� ��"

������ ����"� �* 96: ���� ���� �� ����� �����

�����������"� "��� �" ����� ������" �� ���� ����� ��"��

"�"���"� �* ����� ����� �������� "�"���"$ !�� ������

���� ������ �"�������� �������� �" ������� ���� ����

��� ���/�� �* �����"� ��� *���* �� ���������� �������

"���"�;���� "�"���"$ ������" ����������" � *��"�

�* ���������������" �.�"�$

��� ���"� �����"�"� ���*������ ���� ��� ������* �� �����

��������" �����"� "����� �* ����"����� ���� ����"��*

�����������" ������� ��� "�,���� ��*��* *�����" ���"��"$

!�� "��� ���*" ���� �� ��� �����" �* �������" �"�* �

��������� �����+��" *���,�* ��� �<=�$ �������" ����

"�� � ��������,� ��������,� �� ���*������ ���� �� �����

����������� ����������"$ >� �����* � ��������� �����

��� ���� ���� �" �*�� *�,������� �" �#& ��� ?0@$

�������� � "����� ������������ �����"" �� ��� ��"

��� *�,�����*� ���" �����+�� �� �� ���� ��"�����

�.��"�,�� �* ���������� ���������$ < �**����� ���

����� ����� � �#& ��� 9�* "����� ������������

� ������: ��/�" �� *�;���� �� ��"����� ������.�"����*

������"���� ����� �� ������*���"���� "��������"$ !��������

��� *�,������� � �� ��������" �* ������"� ��������

������� �����+��" �� ���������������� ���� �" � �����

�����"� �� ��� ���� ��������� ���� ��� � ������* �"

���� �" �*������ ,���$

!�� ����� *�,������� � � �� ���"" � ��������

*���,�* �������" ��"�"��� � ��������" �����" � "������

������ �* ������ �" *������* ��"������ ?6@$ !��" ��

���"" � ��������"� �������� ���* ��� � �" ��+�� � ����

��� "������ �������� �" � ��+��* ����"������ ������"�� �����

�� �� ��"��� "����* �� ��"��� � ���������*" ��*� ���

�-A 9����� ���� ����$� ����� ��:� �* ��� "���*�;�*

�* ���""��/�* �*�� �"�"����� ���""��� �� ��� � ��"����

"���* ?B@$ �������� ���""��/��� ��� ������� �" ��� ����

�����* �� 0222�� *���� ����� �� �" ���"����* ��� � ����/�������* ���/ ������� ������� � ����"��*�� �����������"

�,�� 0122��$ !��" �����* ��" ��� "��� �� �� "����""��� ��������� ������"���� ����� ��� ������� ���� ?B�C@$

< ���" ������ �� ������ ��� �"� � ������"�� ����������

��������� �" � "������ ��������,� �� ����� ��"��� �" �

��"��" �* ��������" � D1 96226: 062E0BC

�- �5 ����5FF���"$������*�$�*�$� �����"��*�� ������$ !��$5 �0�B2B�GB1�0GHB$

� ���� �������5 ����I��"��$������*�$�*� 9�$��$ ����:$

2D6C�C6CGF26FJ E "�� ��� ������ � 6226 ��"�,��� ������ %$#$ ��� �����" ��"��,�*$

8<<5 � 2 D 6 C � C 6 C G 9 2 0 : 2 2 G 6 B � B

Page 2: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

��������� �����+�� �� ��� ����$ !���� *�,��"�

���""�" � ���� *�,���" ��,� ��� �������*� *���"������

��� ,��"������� � ���" ��������� �����""5 9�: �������"�����

��������"� 9�: ��������� "�"��"� �* 9�: ������"���� �����

4��*�� �����"$

� ����������� �������

8����������������� ?1@ �" � ������"� �������� �� �����

����� ������� "��������"$ %� �**�� � ����� �������� �� ���

��+��* ������"��� "���*�;����� �� �� ��������"��* ��

�.��"��� �� -# ��*����� ������ ��� �� ���� �**����$ !��"�

�� �������� ���������������� *������� � ��� ������"���

"���* ������� "��������" ��� �� ������* ������� ��� ��*

�� � ���*$ !��" �����* �" "������ �� ������"��������������

��� ?H@$ !��"� ������� "��������" ��� ��� ���""��/�* �*��

�"�"����� ���""��� �� C22�� � "������ ��� �* ��� ��������*�� 0222�� � � ������ ����"����� � ��*�� �� ����� ���

;�� ���/ �������$ !�� ��+��* ������"�� �"�* ��" ���

������������ �,������� ����"��!� 9��� 3�� ����$� ��

-��:$ !�� ����� �������� �"�* ��" 6�6��*������.��6�����

�� ���������� 9<������� H10 ��� ��*���� ���������

������/��� (<:$

���$ 0 �" � "�������� � ��� ������ ��������� �����""$

���"�� ��� ��+��* ������"�� �" "�� ��� � "����� ����$ !��

��+��* ����/�"" K �*� ���"� ��� ;�� "�������� ����/�""

K �� �� ,����* �����*�� �� ��� "�� "���*$ !�� ��+��* �"

��� "��)����* �� �������� -# �.��"��� ������� �

����������������� ��"/ �� "���*�� �����" � ��� ��+��*$

!��"� �����" ����� � ��� "��"����� ����� ��� �������

��+��* �" ��� ����,�* �� "�����"�� � ������ "������$

!�� ��"��� �" � "��"����� ���� ������" "���* �������

"��������" �������*$

<� �" ���""��� �� ����,� ��� ������� "��������" ��� ���

"��"����� ����� ���""��/�� � ��*�� �� ���,�� �*���*

"���""�" *�� �� ������� "���/���$ �" ���� �� "���� *����

������"�" ��� ������� �*�����" ����� "���/��� � �����

B2L� �* �*��"�� �� � "��"����� *���� ���" "���� �� ���"�

����/�� �� ������� �" ���� �" � ��*����� � *�"���$ !��"�

��������� ����"��*�� ����������� "��������" �" ������

*�"������$

���� ������������������ � "������ ��� "���* �������

"��������" ��� ����,�* ��� ��� "��"����� �"�� � "�������

����� ���*�$ ���������� ���� "������ ��� 9���� �" ��"� �"�* ��

����� �"�"����� ���""��� *���� ���""��/��: �" �"�* �" �

�������� �� ������� ������ ����"� ��� ���*�$ !�� �*��

,�*��� "��������" ��� ��� ���""��/�* �* ��������* � �

����� �� ��� ��� ���� *�,���"$

!�� ,�������" � ��� ���,� �����"" �,��,� ��� �"� �

���,������ "��"����� ��������" � ��*�� �� ���������

����,�� � ��� ����������� "��������"$ >� � ���"� �" !�4�$

���� ������� �*��"�� ���� !�4� �" ���/� ��� "��������"

��� ��"��� ����,�* ������� ��� �"� � � ���*�$

������ ,������� ��"�"�" � ��� �,�� �"� � ���/ ���

���"��� �" ��� "��"�����$ !�� ������� �" ������ ������,� ��

��� ��������" "��� �" ����� �������"�"�" �* �����

"��,��"$ !��"� ���" ���,������ ������ � "��"�����

�������� "���" ��� ��� ����,���� ���� ��� �" ���*���

*�""��,�* � ������ �* ���� ���"� ����� �" � MM"����;����

"��"�����NN ����� ���,�� ��� ������� �.��"�* �� � ������,���

�������"�,� �,������$ O���,��� ������������������

���$ 0$ =����� ��������� �����""5 9�: "�� ������"�� ��� "��"�����7 9�: -# �.��"��� ������� � ��"/7 9�: "���*���* ������� ���� ������� ��+��*7

9*: ����,� ������� ��+��*7 9�: ����,� ������� "��������" ��� "��"�����7 9: ���""��/ �* �������� ������� �� ����� ��� ��� ������� "��������$

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 060

Page 3: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

���*���" ��� ��"� ��"���"� � ����" � "�������� *�;�����

��� ��� "��"����� �"�* �" "�����$

!���� ��� "�,���� �*,�����" �� �"�� ����������������

��� �,�� ��"��� �" � ���" � ��������� ��� ����$

���"�� ������������������ ��+����" ���� �����""�� "���"$

����*� �� �����" �� �� ��"��� ����� ����"��*�� �������

"��������" �� ���""��/�� �* ������"�"� ������" *����

��������� �� ����� ��"��� ,�� ��"�����* �����+�� ?C@ ���

������� "���/��� �" ��"�����* *���� ������"�"� ���*��

�� ���� ������ "���""�" �* ����/��$ !���*� �� �����"��

��� "�� "���* � ��� ������"��� ��� ����������/� �����"

�� �� ������*$ !��"� ��� �����" ����* �� �� ������* ��

����� ��"��� �����"� � ����� �������� *���� ���"���� �*

�������� *����*��$

>� *�"�*,����� � �"�� ������������������ �" ���� ���

����" � ��� ��"����� "��������" ��� �� ,�������� ��� ���

"����* *�� �� ��� ������� ����$ !��" �" � �����"� �� ����"

��"� � �-A ���*"� ����� �.����� �.������ "�*����� *�;��

��� ?B�C@$ !��" �""�� � ���� "���� ���� �� *�"��""�* � ����

*�����$

� ������������ ���� ����������

8����������������� �" ��"� � "����� �* �����,� ��� ��

�������� ������������* ������� ����$ !��" �����"�" ���

�������� ������.��� � ������� *�,���" ���� �� ����*�$

%� ������� �* ����� "����""�,� �����" � �����������

������� � ��� � �� ������� ������������* "��������" ��

�� ������* � � ���� �������" �� "����� �����������

��$ &���� ���""��/�� ������ ��,�� ��*" ��� ����*

������ ��� ������� �����" "� ���� ���� ������"�" ��� ���

"�������� �" � ��������� ���/ �������$ !��" �����* �"

���������� �� ��������� ���� ������"���� ����� �* ��

������"���� ����� "��������"$ � �.����� � "��� � ������

������* "�������� �" "��� � ���$ 6$ ������ �����* �

������� ������������* "��������" �" �� ��*�� ��� ��

���� ������� ����" �"�� ��� "��� ��+��* ������"�� �" �

�*��"�,� ?B@$ %��� ���"� �����+��" ���� �"�* � ���������

��� ��� ���� *�,���" �������* � ���" �����$

� ����������� ������

���� �""��" � ��� ������������������ ��������� ����

��"" ��� *�"��""�*5 "�������� ���� *�;����� *����� �� ���

"��������" �*���* �� ����,�� ��� ��� "��"������ �������

"���/��� �* "�������� �������$

!)/) 1��� ��������

�" ������* �������� �� *�"�*,����� � �������������

������ �" ���� ��� ����" � ��� ����������* "��������" ��� ��

,������� 9�$�$ �����*������ �� ��� "��"�����:� ��� �"���* "����

������* *�� �� ��� ������� ����� ��� ������� ����

���� ��������� � ������"���� ����� "��������"$ !��" ��� ��

�� � ����� �� "����� ���� *�"��"7 ����,��� ���"���

"����* ������"K "��� �" ����� � � ���� *��,� ��������� ��

�.������ ��+���� ������ � ��� "�������� *�;���� "� �" ��

���,�� ��� ������" ��� ������� )���* ��������� ��

/����*�� � ��� �.��� � ��� "���� "� ���� �� �� ��

�������* �� � *�,��� *�"��$ < ������� ��� �.��� �

��� "���� ����" ��� ������ "����� ��*�* �� ���*���

*�"���� ������"$ ���$ B ����"�����" ��� ,������� ����" ���

���� *�"������ �� *�����"�� ������ "���"$

!�� �����" ����� ���� ��� "���� � ��� ����� �* ���"�

��� ,������� *�;����� ��� ��� ��"/�������� ��� *����

������������������� �* ��� ����� �������� �"�*$ �.�����

���" ���� ��*����* � ����� ���� ��� ��� �* ��������

���� ,����*$

!�� ;�"� �������� �"�* ��" 6�6�*������.��6������������

������ 9/�� ������������ �" <������� H10:� �"�* � �

���������� � 1 ��$L$ !�� "���* �������� �"�* ��" �

�������� ��.���� � �"������� ����.����� 9/�� ����

��������� �" P�������� <!Q ��� %�**�� ������ ����$�

�� -��: ���� � ���������� � 0$60 ��$L� �* 6��������

0�?C�9����������:�����@�6������������������0

9/�� ������������ �" <������� D2G: ���� � ����������

� 2$H ��$L$ !�� ������ ���������" �"�* �� ���" "���*

�������� ���� "����"��* �� ��� ���������� �" ���� ���

������� ���������"� ����* ����� �������� �;�����

����* *�����"�$

����� ��"������"� "������" ���� ��������* � "�����

����" ��� ������"�� ���� ������* ������ � ��� ���

��������"$ ���$ C "���" ��� ��"/ �"�* �* "���� �������

����������" 9���": � ��� ��"����� ����������* "��������"$

!�� ��"/ �" *�"���* "� ���� ��� ��������* "��������" ���

������* � � �������� ������ � ��� ���� �� ����� ����

����� ��"�� ������� �������������$

<�������� ������������������ ��" *�� �� ������ ���

��"/ � *�"���� � ����� 1 �� ��� ��� ���� "�����$ �

�.��"��� ���� � 62 �� ��" �"�* 9���� � -# ���"���

�02 �(F��6:$ �������� �������������� ��� ����" �������$ 6$ &������������* "�������� ��������* �"�� ��������,�� ����������

��������� 9"��� ���� ���� ���""��/��:$

066 () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!

Page 4: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

���$ B$ ��������� "����� ���� � "�������� ���� "���� � ������ ������ "���$

���$ C$ 9�: ���������� ��"/ �� ��� ����� ��"������"� "������"7 9�: ���" � ����������* "������" � ����� ��� "��������" � ��� ��� �"�� <!Q

��������� �* ��� "��������" � ��� ����� �"�� < H10 ��������$

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 06B

Page 5: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

��"�* � ������ �� 0222 ��� �� 1 "� �* ��� ���;��" � ���

"��������" ���� ���"���* �"�� � &�/!�/ ���;�������

9��� #���� <"������"� <�$:$ ���$ 1 "���" ��� ���"���*

���;��" � ��� ������� "�����"� �� ����������* ���� ���

;�"� �������� 9< H10:� �* ��� ����� ���� ��� "���* ��������

9<!Q ���� < D2G:$

���� ��� ���"���* ���;��"� ��� "���� � ��� ���� ���� ��"�

���� �� ��� "��"����� ��" �"������* �"�� "����� ���������

���$ 1$ ���"���* ������" � ��"��� "������" ����������* �"�� ��� *����� ��������"$ !�� ,������� "���� �" � �R 5 9�: �"�� < H10 ��������7 9�: �"�� <!Q

���� < D2G ��������7 9�: ��� � ����������* "�������� "����� "����* ���� �* ��"�*��7 9*: "�������� � ���� ���������� ��� ��� ���� ������$

06C () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!

Page 6: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

/���� ��� ������ � ��� "�������� �* ��� ������� *�"����

"���* �� ��� "����� ����� �" "��� � ���$ 19*:$ <� ��"

��* ���� �� � ��"��� ��"/�������� ���� ��� "���*

�������� 9<!Q ���� < D2G: ���*���* "������� ���� ,�������

����"$ ���� �� ���"�� ��� ������������������ ������"�

� ��� ��+��* ������"�� �" "���� �� ���� �*��"���*� �*�����

�� ��� ������� �������� ����* �� � *����� ��"/� ��,� ���

����� "������� � ������������ �,������� ��������"$

<� "����* �� ���* ���� ��� ���� ���� ����������" ���

�"������" *���,�* ������������� �� �����.������ ���

"����* ���� �" � ������� �* �"�� ��� ����� �" "���

� ���$ 19*:$ !�� ������ ���� "���� �" �� ��"��� �" � �

�������$ ������ ��� ��� ���"���* ���;��" "��� � ���$ 1�

�� "�� ���� ��� ���� �" "������ ��� ��� ��� � ��� "���������

"����*�� ������* � ��� "��"�����$ !��"� �� ��� ���/ �

��� "�������� ���;�� �" � ���� ���� �" ����,������� ���� "���

MM��"�*��NN �� ��� ��"�$ <���*�� ��� ��"�*�� � ��� ��������

��� *�����"�" ��� �,����� ���� 9�����"� ��� ������� *����

"�� � ��� �����.�����* ������� �" �� �����"�*:� ���"� ���

������ �,����� ���� ���� �" ���� ������ ��� ��� ,����"

���������*$ O���,��� ��� ��"�*�� ��" ����*�* � ��� ����

�����.������ "� ���� � "����� �* ��"�"��� �����* �

�������"� ����* �� �"�* ����"" ��� "�����"$ !��"� ���

�"�* �� ���������,� �����"�"� ��� �����"��" *��� ���

����� ��� ����" � ,����� �������� �* ��� ��� ,���*$

���� ��� ������"�� �" ��������� � ��+��*� �������������

��" �� �� *�� �"�� �������� -# �.��"���$ !�� ���

������ ��� ��"/ �* ��� ����� ���"� �" � ��������

��������� � *�������� �� ��� ��� ���"�� � ��� ��"/

*���"��" �� ��� �������� ��� �� ��"� *�������" ��� "����

� ��� ����������* "�������� ����"$ ������������ �����"� ���

�������N" "����� ��"�� �����"�" �" � ��"��� � ��� ���"�

����� ������� ����� �� �������������� ��� ��+��* ���

�,������� ����� ��� ��"/ � �� �" �����* ��� ���"� ���,� ���

����� ���"�� *����� �� ��� ��"/$ !�� "�����"� ��""����

��� ���� ��" ��� �.����������� ��* �� �� ��"���� �"

����� 6 �� ��� ��� ���� "�����$

8�����"�� ������� ��� ;�"� �������� 9< H10: ��" �"�* ��

�������� ���� ����� ��"��� "������"$ 8��;�� ���"����

���" "��� ���� *�����"�� ��� ��� ��� 1 �� 6 �� ���*" ��

� �����"� � ���� ���� ��� 6D �� C1�$ !�� ����" �,����� ��� �* �������� ��� "��������* � !���� 0$ �����

���� ����������" �,���"������ ��� ���� �����"� � ���

����"�� � ��� ��"�*�� �� ��� ��"� � ��� "�������� ���� � ���

����������$

�" !���� 0 "���"� ����� ��� ������ ��� ���� ����� ��

��" ��"� ��* ���� ��� ;�"� �������� 9< H10: ���"�* � ��*�� ��

��� ���� ��� ������ � ��� "��������"� ����� "��������"

��*� �"�� ��� "���* �������� ��* ���� ���*�* �*��"$

!��" ���� �" ����"� ���"��,���� � "��������" ���"�

������� *���"��" �.���* ����� 022 ��$ O���,��� � "���������" ���� ��� ������� ��� ���" ��� ���� � ���*�� ���

�����" �����" ��� ���;�� ����������� �" "��� � ���$ H$

!�� ��*�� ������ ��" ���"���* �� �� ����* AE02 ��$

!)-) ������ ������� 2� � ������ ������ ������ ��

��2������

>� ����� ���� ���"�" �����*�� ��� �"� � � "�������

���*� �� ����,� ����������* "��������" ��� ��� "�����

���� �" ��� ��""������� � ���*���*���* *�����* �� ���

�������$ O���,��� �.������� � ���" ��" �������*��

"��� � ��)�� "��" � "��� *����"$ ���� ��������*

������ �" ��"��,�* �� ��� �*�� � ��� "�������� ����� ���

!���� 0

���� � ,����� �������� ���� �* ��� ��"/�������� ��� � ���� "�������

������ <������� ��"/��������

��� 9��:

� 9�: �*��

0 % 6 CD �

6 % 1 6D �

B � 1 61 ��"

C � 6 C1 ��"

� <������� � �" < H10� �������� % �" <!Q ���� < D2G$� ���"���* ���� ���� ��� ,����� ����� �������� �* ��"/��������

���$

���$ H$ 9�: ��� � ��"������"� "����� ���� ���*�* ������"� ����������*

���� <!Q ���� < D2G ��������7 9�: ��� � � "������ "����� ����������*

���� < H10 ��������$

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 061

Page 7: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

���*� �" ����*���*� ��� ��� �,����� �*���"�*� � ��� "�����

����" ������" *��������$ >� ��""���� ���"� �" ���� ����� �"

� �������� ��*�� ������ ��� ������� �* ��� "������

���"� ��� ���*� ���" ��� �" � ��*��� ��"��� ��� �������

���� ��� ��� "����� ������ ��� "�,���� �� ��*"$

������������ ��� ���*� �������� "����"�" ���� ��� "����

�*�� � ��� ���*� *��" �� �,� ���� ��� ������ ���� ���

������ "����� � ��� ������� 9����� ��� ��� �*�� � ���

"�������� ����� ��� ���*� �" ;�"� ����*���*:$ !��" �" �����

"�����* � ���$ G9�:$

%�� ����� �" ������ )�"��;����� �� �"�� � ���*� ��

����,� ����������* "��������" ��� ��� "�����$ �" ��"

"��� � ���$ 1� ��� ����" � ��� ����������* "��������" ��*

�� "����* ��� � ��� "��"�����$ !��"� � ��� MM��"�*��NN �� ���

��"� � ��� "��������" ����* �� ����,�*� ��� ��"�����

"��������" ����* ��,� ����,������� ����"� ����� �" ��� �*���$

<� ��" ��* ���� ��� �����"" � ����,�� ��� ����������*

"��������" ��� ��� "����� "��"����� ���� � ���*� ��"�

�����,��� ����,�* ��� ��"�*�� �" ����$ < ���� ��� ���*�

"�,��" ��� ��� ��"�*�� �* ��"��" �� �*�� ��� "��������� �"

"��� � ���$ G9�:$ ���� ��� ��"�*�� �" �� ����������

��*�* �� ��� ��� "�������� �� ���" ����� �� ������ ���"

� ���� ������"�" �� �" ��"��� ����,�* ���"������$ !��"�

���������������* "��������" �.����� ���� ���� ,�������

����" ��� ���� ��,� ��� ����,�* ��� ��� "��"������

�����"� ��� MM��"�*��NN �� ��� ��"� �" �"����� ��"� ����,�*$

���$ G9�: "���" � ����� ��"��� "������ ���� ��" ���

����,�* ��� ��� "��"����� �* ��������*$

���$ G$ 9�: ��������� � ���*� �* ����������* "��������7 9�: ��� � �*���"����� � � ��������* ��"��� "������ "����� ��"�*�� ���� �" ��"��* � �� ���

���*�7 9�: ��� � ��������* ��"��� "�����$ ��� ���� ��*��" � 9�:E9�: ��� 022 ��$

06H () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!

Page 8: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

!)�) 3����� � ���4���

������ �������� ��"�*������ � ��� *�"�� �* �����

����� � ��� ���� �"�� ������������������ �" ���

"���/��� � ��� ����������� ������� �" �� �" ��������*$

(�� ��������� ��� "��������" �� ����� ��"��� �* ��"��

���* �����+�� ?B�C@ ��� ���"��� � ��� ���* �*F��

"��"����� *���� ������"�" ��"����" ��� ������� "���/����

���*�� �� ���� ������ "���""�" 9�* ���"� ����"���� ����/�

��: �* ����� ���"���* ��� *�"���$ >� �*,����� �

�"�� ������������������ ������* �� ����,�� ��� ���

"����� "��"����� �" ���� ��� ������� ����" ��� �� ����

"�����* *���� ������"�"� ���"� ���� ��,� ����� ������

"���""�" �* ���� ���"� ��"" ��/��� �� ����/� �* ��� *�"��$

!��" "���/��� �" � �������� ��������� � *�,��� *�"��$

���$ A �" � "�������� � ��� ��"� "��������" �"�* �� +�����

��� *���"���� �����$ ���� ��"� "�������� ��"�"��* � ���

"+����" ������* *��������� ���� ��� "�*� � ���� "+����

���� 622 �� ��� � ��� ������������� ��"/$ !�� "+����"

���� ��������* � � �.�"��� ������� ������ "� ���� ���

����� "�������� ������� ��� "+����" ��" ������* �� "���/

�������$

���� *���"�� 9�E&: �� ���� � ��� ����� ��"� "��������"

��" ���"���* ����� ����" �"�� � ���������* "���� �*�� �

������� �����"���� ���� � 62� ����;�����$ !��" ������

*��� ��" *�� ���� ������������������� ��� ���� ���""�

��/��� ��� ���� ���� ������"�"$ ���$ D9�: "���" �������

��"���" �� "��� � ��"� "��������$ !��" ;���� ��"� "���" ����

��� "���/��� �" ����� � ��� *�������"� "��� �E& "���/

������� ��� "��� �����$

���� ���"���� ���� *���"�� � ���� ��"� "�����

���� ����� ����" ���� ���� "���� � ��� �����""� �,�����

"���/���" ���� ���������*$ %� �,������ ��� "���/���" �

�E& �� ���� ���/��� ��� �,����� "���/��� � ���� ��"�

"�������� ��" ���������*$ !��� �� ������ �,������ ���

"���/���" �,�� ��� ��� ��"� "��������"� ��� �,����� "���/�

��� *���� ��� ��� ��������� �����"" ��" ������*$ !��

;�� ��"���" "��� ���� ��� �,����� ����� "���/��� 9�����

��,� �� ��� "��� � ��� "�������� ����*������ ���� �����

���������: �" 0L ���� ���""��/��� �* BC$0L ����

������"�"$

!�� *���"���� ����� ��� ������"�" �"� ���������

"���;��� �* ��" �� �� �������* �� *���� ����

*�"��� ��*���� �* ���/����$ ���$ D9�: "���" ��� *���

����� "��� ����� ���� ������"�" � � ��� ����� �����"�

��� �������� ����� ���� �� *�"��""�* ����� � ���" �����$

������ �.����� �" ��� �������"����� �������� ��"� *�"��""�*

� ���" ������ ����� ��"�"�" � � ��� ���� �����* � �

�����,�� "��"�����$ !�� "�������� "���/��� ��* �� �� ��/�

��� ������ ��� *�"���� ��� "��"����� ��"/ "� ���� ���

��* ��*" � ��� "��"����� ����* ��� �� ���� ��� ��*��

"���" � ��� ��� �������$

!)!) 1������

� ����* �""�� � ��� ���� ��������� �" ��� ������� �

��� "��������" ������� ������"�"$ !��" ������� ��" ���

��"��,�* ��+������ �* ��" �� ��� ��� +����;�*$ ���$ 02

"���" � �.����� � � �����* "��������$

!�� ���"� � ��� ������� �" �� ���� �*��"���* ��

���"��$ <� ����* �� ���������* �� "�,���� �����" �� �������

���" � �����"� "��� �" ��,� ������������� 9"��� -#

�.��"��� �����" ��� ��� ��� "����� � ��� ������� �*

������*" *�����*:� ������� ��"������ � ��"�� "������

������� ��� ������������� "���� �� ��,� ��" *��"��

*���� ������"�"$ <� ��" ��* ���� ��� ������� ����* ��

����"� ���������� ��������* �� ����������� ��� �*���

"�*� � ��� "��������" 9���� ���� ��* ��� ����,�* ��� ���

"����� "��"�����: ���� � ����� � ���"����� ���"" � ��� �

���� ����� �" � ������� �* �� ������ � ������ � ��� �

��� "��������" *���� ������"�" 9"��� �" � ����� � ������ ��

��������:$ ��"�� ���������� � ���""��� *���� ������"�"

"����* �� ����$

!��" �����"��� ������� ��� ��"� �� �*,�������"

� ������ ����������" ����� ����"���""�* ���� "��������"

����* �� �"�*$ � �.����� ����* �� � ��������� �����

������ ���*�" ��� ��� �� �"� � ����� ����� ��������

"�"���"$ O���,��� � ������ ��� ������� �" �*�"������

�����"� �� ���*" �� *�;����� � ���/���� �* �������

��� �������"$

� ���� ���� � ����

8����������������� � ����"������ ������"�� ��" "���

��""���� �"�* �� �������� ����� ����" � ���� *�,���"5 9�:

�������"����� ��������� 9�: ���""��� "�"�� ������� �* 9�:

�����"��� �������$���$ A$ ��������� � ��"� "��������" �"�* �� ���"��� "���/���$ �����

*���"��" �E& ��� 622 ��$

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 06G

Page 9: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

+)/) 5������� ����� ������������ �������

���$ 00 "���" � "�������� � ��� ,������� ��"�� ��������

"����� ��������$ !��" �"� �� ��� /����*��� ��� ;�"� ����

�������� ��������* ��� ��������*���,�* �������"� �*���

��"� �� ��� ;�"� ,������� ������� �������"����� ��������$ !��"

*�,��� ��" ��� ��"��* �� ���� �����������$ !�� ��������

��"�"�" � � ����4�.���* ��� "�������� ���� �" �����*

��� � "��"����� ������� ����� ��*" �* �����$

���"�� ��� ��� ����4�.���* "�������� ��" ��������*

�"�� ������������������ � � "����� ����$ !�� �������

"��������" ���� ��� ����,�* ��� ��� ����� ���""��/�*

�*�� �"�"����� ���""���� �* ��������* �� ��� ��� "�����

����" 9"�� ���$ 029�::$ !��� � 0122 �R ����/ ����� � ���* ��"

�,�������* � �� "�*� � ��� "��������"� ���� � C22 �R ����/

������� �*��"�� ����� �*������$ !��" ���* ����� ����

,�*�* ���������� ������� �� ��� ��� "�������� �" ���� �" �

�������� "����� �� "��*�� �� ����� 4������� ��*��$

� ������������ �,������� 0 ��� 0 �$ ������ "��"�����

���� ���* ����� ��" ��������������������� �������* �*

�����* �� ���*��� ��� *�"���* �������*�"� ������ �* ��*"

�� �������*�� �* 4������� ��*��$ !��� � ��"/��

����� � �������"�"� ��" ������* �� ��� "��"����� �* ����

����* �� �.��"� ��� ��*�� ��*"$ �,�������� � � B ������/ ����� � <*��� "��*�� �* �������"�"� ����� ����

�"�* �� *���"�� "��*�� � ��� ��� ��*�� ��*"$ !��

"��"����� ��" ��� *���* ��� "������ ��*���"� ���� �

����� ��* �����,�� "���" �� ��� ��� �������� "��������"$

���$ D$ 9�: =���� � "���/��� ��"���" �� �� � ��� ��"� "��������"$ !�� ����� ���" ��� ��� �$&$ �� ���� *���"�� �����"���*$ 9�: 8��������� � �

���""��/�* �����"��� ������� 9���: ��"�*� � ��������* �����"��� ������� 9�����:� "����� ��� ��*����� � "��� � ��������* "�����"$ !�� ��������*

�����"��� ������� ���"���" B��� 6 ��$

06A () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!

Page 10: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

!�� ��� "��������"� ���*������* "�*� *��� ���� ��*�* ��

��� "��"����� �"�� ������������""�� 4������� ��*�� "�

���� ���� �������� ����� ��" "�"��*�* B �� ���,� ���

�**��"" �������*�$ ��������" � 6� 6 �����" ���� �""�����*

� ���" ���$ ���� ��*��� ���� "��"����� ��" �������*�*

�� � *��������� ������� ���/���� ����� ��" ��� ������*

��� � ����*����* ���� �.����� ���*" �� � *� ����� "�����$

#�����" ,������ ��,��" ���� ������* �� ��� *�,���� �* � �����

��"������ ��"�� ������������� �����"���� ��" �"�* ��

���"��� ��� *�4����� � ��� ��� �����$ ���$ 06 "���"

��� �""�����* *�,���"$

���$ 0B "���" ��� �.��������� ��"���" ��� "����� *�4���

��� ��"���$ �� � ��� ����/�"" � C2 ��� "�"��*�* B �����,� ��� �**��"" �������*�� ��� �������� *�4���" �����

BG2 � � ��"��"� �� 622 #$ � "����� ��������� ��*��

��" �"�* �� ���*��� ��� *�4����� � ��� ��� ����� ��� �

������* *� ,������$ !�� �������� �� �� �����.�����* �" �

�������� ����� ���������� ���"� ��� ������* �������"����� ����

�� �� �����.�����* �" ?G@

6� � �2�6

6$ 90:

����� $ �" ��� ���� � ��� ��� ������ �2 ��� �������,��� ���� "����� �* ��� �������� ���* ������ ��� ��� �����" � �"

��,� ��

� � 5

72 � �96:

����� 72 �" ��� ������ ��� ������ ��� ��� ����� �* ���

�**��"" �������*�� 5 ��� ������* ,������� �* � �" ���

*������� � ��� ��� �����$ ���"������� 96: ��� 90:� ���

���

6� � �26

5

72 � �

� �6

$ 9B:

���$ 02$ 9�: ��� �������"����� �������� "��������� ����� *���"�� �"

C2 ��� C2 ��7 9�: "������ ��� �����* "��������$

���$ 00$ ��������� � ��� �������"����� ��������$

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 06D

Page 11: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

(�� ��� ��� ����� *�4���" *�� �� ��� ������* ��������

"����� ����� ��� "�������� 4�.���" ��*� ���"� �� �+�����

����� 6� �" ������* �� � ��������� "���� ���� � ���

4�.���"$ !�� ��"����� ���� � ���� 4�.��� �" ��,� �� ?A@5

6� � B�8�

(B9C:

����� � �" ��� ����N" ��*���" � ��� ����� �" 012 =8�

�" ���"���* �"�� ������*������ �����+��"� � ���

*������� � ��� ��.��� ��� 9����� �" �����.������� �+���

�� ��� *������� � ��� �����:� ( ��� ����� � ��� ��.���� �*

8 �" ��� ����� � ������ � ��� ��.���$ ��� 9 ��.���"�

������� 6� �* 6� ��,�" ��� ������� �+�����5

�26

5

72 � �

� �6

$ � 9B�8�

(B91:

���� ��� *������� � �" "���� �������* �� ��� ������ ��� 72�

�� �����.����� 972 � �: �" 72 "� �" �� "������ ��� ���������

�.���""��$ !��� "��,�� �� � � ����" � 5 ��,�"

� � �26

56

726$(B

B9�89H:

!��"� ���" �+����� ��,�" � �����.������ � ��� *�4���

��� � ��� ��� ����� � ��"��"� �� � ������* *� ,������$

#�����" ,������ ��,��" ���� ������* �� ��� ��������� �* 02

���"������" �*�� ��� ��"�� ������������� �����"����

���� ��/� �� ���� ,������ ��,��$ !�� �.��������� ��"���"

��� ������* �������� ���� ��� ��������� �����.������ �

���$ 0B$

!���� ��� �� ���"� ��� �������� ����������" �� ���"

*�,���$ ���� ��� �*��� �* ���* �"�* �� ��*�� �*

������������ ��"�����,��� ����* �� "��,�,� �.����� ����

��������"� ���" �������� �" �" ����* �� �"��� � ��������

���" � ����� ��� ����������������" ���� ��������* �����

��� ��� $ >� �.����� ����* �� �" � ����� ������ ��

���������� ��"�� "�"���" ����� ����"����� "������

�����������* ������" ��,� ����* ?D@� ���,�*�* ���� �

"������� ����� "��� �" ������� �" ������* �� ��� ���

����� � ��*�� �� ��/� ��� "����� ���� ��4����,�$ ������

�������� ���������� �� ���" *�,��� �" �" � ��"���* ��

���"���� �������� ���������" � ��� $ (� ��,� �"�* ���

,�������*�4����� *��� �� �.����� ��� ,���� � ����N"

��*���" �� ��� � �* ��� ��"��� � 012 =8� �����"

���"��� ���� ���� ������* "��������� �"�� �*������

�����+��"$

���$ 06$ 9�: ����� ��������� �������� �""�����* � � ������ "��"�����7

9�: 6� 6 ����� ����� �������*��7 9�: ���/���* *�,���"$

���$ 0B$ �������� �.��������� *��� �* ��*��$ ���� *��� ���� �" ���

�,����� � 02 ���"������"$

0B2 () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!

Page 12: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

+)-) 3������� ����� ���2����

���$ 0C "���" � "�������� �* ��������� �������� �� �

��� ���""��� "�"��$ <� �" � *������������* ��� "���������

��"�"��� � � ������� ���� � "������ ����� �*������$

!��" "�������� ��� ��� �� �����* ��� � "��"������ �*� �

��� ����������� ����������� �" *��� ��� ������� *�4���

��� � ��"��"� �� ������* ���""��� ��� �� ���"���*

��������,���$

���$ 019�: "���" ��� ��������* ���""��� "�"�� "���������

������� ��� "��"������ �* ��" ��"��"� �� ��������� ���*�

��$ !�� "�������� ��" ��������* ��"�*� *��$ ���"�� ���

������� ��" ��������* �� ���������������� � 12 ������/ ������� ����� � � ��� "����;���� "��"�����$ !��"

MM�������NN �" ����/ �������* �� ��,������ "�����

���""��� "�"��"� ����� �"� ������� ����/�""�" � ���

��*�� � � �� �����"$ %� �����"�� ��� "�� "���* � ���

��+��* ������"��� �� �" ��""���� �� ����� ������� �����" �"

��� �" 1 ��7 ����,��� �����"� ��� ������� "��������" ���

��������* �*���*�� � � "��"������ ������� ������"�"

���� ��"� �� ��*��* ������� �* �*�,�*������ ���"�

������ *���"��" ��� ���""��� � ��*�� �� �"��� ����

��� ��� *�,���" ��� ����"� ����� �� ����"��* �����

���/ �* �����$ %����"� ��� ������� ����/�"" ��* �� ��

�����"�*� ��� *������� ��" ��"� �����"�* � ��*�� ��

*�����"� ��� ������� "���""$ !�� "������ ����� ��"

��������* "��������� �� ������������������ � � "�����

����$ !�� "������ ����� ��" ��� ����,�* ��� ��� "�����

�* ��*�* �� ��� ������� �"�� ��� ������� ��*��

�����+�� ?B@$ �������� � ����* ������������� "��� �� ����

��� ��*�� ������ ��� �""�����* "��������" ���� �����"�*

��� ��� ��� "��"����� � ������ ���""��/�* �* �����

����*$ !�� ;�� ���""��� "�"�� "�������� ��" � *������� �

����� A22 ��� ����� ��� ����� ����� � ��� "������ "���������" ����� 6 ��$ !�� ������� ����/�"" ���� ������"�" �"

����� B1 ��$� �������*������ ������ ��" �"�* �� "������� ���"�

*���� ���*��$ !��" �"������ ���������� ���"���" ���

���$ 0C$ 9�: 8������� � �������� � ���""��� "�"��7 9�: "�������� � ��������� ��������$

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 0B0

Page 13: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

��"���� � � "���� ����� 9�02 �� � *�������: ����� ���

���* �" ,����*$ ���$ 019�: "���" ��� ��"��� � *�4�����

��"��� �� �� � ��� ���"*���� ���"$ !�� ����� ��" �����*

� ��� ����� � ��� �������$ !�� *��� ���"��� ������" ���

��*���* ��"��"�� ��� ���*�*�4����� ���,� ���� �������

����� ���� ����� "���"" ���"� �� ��� ����� ��� ���"�* �������

��� ��� ���$ !�� ,���� � ����N" ��*���" �"�* � ��� ��*��

��" 012 =8�� �" ���"���* �"�� �*������ �����+��"$

!�� ������� ��" �����.�����* �" � �������� ����� ����

������* �*��"� "� ���� ��� *�4����� � ��� ������� �" �

����� � � ������* ���������* ���* �" ?02@5

� � 6:6

0H�%

6�6

:6�

:� �6

:6� 0

� �9G:

����� � �" ��� ������� *������� �� � ������ ��*���

*�"���� � ��� ��� ������ : ��� ��*��" � ��� ��������

6 ��� ������* ���������* ���*� �*% �" ��� ��.���� ����*���

��,� ��

% � ��B

06�0� �� 9A:

����� � �" ����N" ��*���" � ��� � � ��� 8��""�" �������* � �" ��� ������� ����/�""$

>�� ��� ���"���� "�������� � ��� ���""��� "�"�� ��" ���

��������*$ ����������� �* ���/���� "���� ��* �� ��

��������"��* � ��*�� �� ����� ���������� "����"$

+)�) ��2����� � ��2��

� ����* ��� *�,��� ���� ��" ��� ��������* �"��

������������������ �" � �����"��� ������� �� �"� �

���� ����� �������� "�"���"$ !�� �����"��� �������

���$ 01$ 9�: ��� � ���""��� ���"*���� ������� "��"������ ��"�*� *��$

!�� ������� �" ����� B1 �� ����/$ 9�: �"���" � ��������� ��"���$

���$ 0H$ 9�: ��������� � �����"��� �������7 9�: ��& ������ �

��������� ��"/7 9�: ��������* �������� ����� �" 6��� B���2�1 �� ����/$

0B6 () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!

Page 14: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

�" � ������������* "�������� ��"�"��� � � 4���� � ����� �

����" ������"�� ��� ������� �* � ��*� �" "��� "������

������� � ���$ 0H9�:$ � ������.�* ��.���� � ��� �*

�.�*���� ���� ���� ��� ���� ����� ������* ������� ��� �����

��� ������� ����� ������ ���� ����� ������� ������ � �

������"� ���� ���� �� ������* �� ��� ������� ����"� �* ;����

��� �����"��� ���*���" ���� �.�� ��� ������� ������� ���

������ ����$

���$ 0H9�: "���" ��� ��������* ������� 9��"� "��

���$ D9�::$ ���"�� ��� 4��� ����� ��" ��������* �� ������

������������� � � "����� ����$ � "���* ����� � �����

��� ��" ��� ������* �* �������* �"�� ��� ��"/ "��� �

���$ 0H9�:$ !��" ������* � MM"��""�����NN ��;������� �� ���

������� ����"� ����� �����"�" ��� "����� ���� �� ���������

�����"��� �������" �* ������� ��������$ !�� *������

������* "�������� ��" ��� ����,�* ��� ��� "����� "���

"�����$ !�� ��* ��" ��������* "��������� ��"� �"�� ������

�������������� �* ��� �� ��*�* �� ��� ������� �"�� ���

������� ��*�� �����*$

�����"��� ��"�" ���� ��,� ��� �������* � ���

"�����" �"�� � ������ "������������� ������E��� 4���

�*����� ���� ��� "�����" �� "��,�,� �����������"

�.���*�� 0122��$

! ��""��� �� ����������

8����������������� � � ����"������ ������"�� �" "���

�� �� � ,��"����� �* "������������* �����* �� ���������

��� ����$ �**���� � � ����� �������� �� ��� ������"��

��*��" �� -#�"�"���,� "� ���� ������������������� �������

�� � ��� ����������� ������� ��� �� ��������"��*$

��������� *�;���� �� �� ,����* �� ,����� ��� �����

�������� �" ���� �" ��� ��"/�������� *�"����$ ���,��

� ��� ����������* "��������" ��� ��� "��"����� �" ���""���

����� ������"�" �" ��� ������� �*�����" ����� "���/���"

� ����� B2L *���� ������"�"� �* ,�����" "��������" ��

����� "��������" ��� ��� "��"����� ���� *�"��""�*$ ������

���� ������� ��� �� ���,���* �� ����������� ���� "�*�"

� ��� "�������� �* ��������� �*�� ��������� ��"�����$

!���� *����� ��� ���� *�,���" ���� ��������* �"��

������������������ �" ���� �" ����� �����"� *�,�����*

��������� �* �""����� �����+��"5 � ,������� ��"�� �����

���"����� ��������� � ���""��� "�"�� �������� �* � ����

��"��� �������$

��#��$�� %�"����

!��" ���/ �" "�������* �� ��� &��"� �*,���*

�"����� 8��)���" ����� 9&� 8�: �* -� ��� �����

�*�� ������� �$ �B2H26�DD�6�21CB� �* ������ ������

���*���� 9 ��: =��� �$ &� DGDH022$ ��"�� ���/" ��

&�$ ��*��� ���� �* &�$ ���� ���� 9O���������������

��������" ����������� -�,��"��� � ������*�� %���*��� �>�

-��: �� �""�"���� ���� ���""��/�� �* ������"�"$

&�'�������

?0@ �$ O�� (�� �$�$ S����� �$ ��������� =����� � �������"����

��� ��� ���" � ��>6 �* ��B C �� �8�#&� !�� ����* ����" B11

96222: 0GDE0AB$

?6@ $ ��*��� =$ 8�""��� O$ ������*��� $'$ %���/� �����"�" � *�"�

"��������"�* �������" �� ���������������� ����� B11 90DD6: G0CE

G0H$

?B@ �$ �� ($ S���� #$�$ %������ �$�$ &�� $ �)� &�,������� �

�)�������� ��������*���,�* �������" �� ���������������� �����

�5 8�����*��" � ��� 0B�� ���� <��������� ������� �

���������������������� ��"���" 9����:� ������/�� '���� 6BE6G

'����� 6222� ��$ H0DEH6B$

?C@ �$�$ ����� ($ S���� #$�$ %������ �$ �� �$�$ &�� $ �)�

���������� � ��� ������� ���� �"�� �)������� �������

������"�� �����+��� ��"$ ��������" ��AD 90F6: 96220: HCEG2$

?1@ �$8$ 8����" 9�*$:� �*����� �����5 ������ �* !���������

8���� 8��""� �� ���/� 0DD6$

?H@ 3$ </���� 3$ O���������� ��� ������*���"���� ��������������

�"�� "����� ����������� �* ����� ���*��� �5 8�����*��" � ���

<��� <��������� ������� � ���������������������� ��"���"

9����:� ���� ���*��*���� ��� -��� 0DDB� ��$ C6ECG$

?G@ 8$ ������� &$ $ ���"�� �$ ������� �������������� ����*" �*

(�,�"� B�* �*����� ������� �� ���/� 0DAA$

?A@ 3$3$ ���,�"� ������" �* ������� � ��������"� 6* �*�����

8�������O���� '� 0DAG$

?D@ &$�$ %��"� #$�$ %������ >������ �������*���* *����� ��

���������������������� ������"� ��"$ ��������" � G2 90DDD: HE0C$

?02@ ($ ������ 9�*$:� O�*���/ � �������� �������"� 0"� �*�����

��=����O���� �� ���/� 0DH6$

(��%���)���

(� $��� (��& �����,�* ��� %� �* �� *�����" � ��������� ��������

��� ��� -�,��"��� � ������*� �� %���*�� � 0DDA �* 6222� ��"�����,���$

��� �" �������� � *������� ��"����� �""�"��� � ��� &�������� �

��������� �������� �� ��� -�,��"��� � ������*�� ����� ��

�*,���* ���������� �* 8��/���� � �������,�� >������ �*

&������ ���������" 9���8��*�:$ O�� ��"����� �����"�" ��� � ��� *�"��

�* ���/���� � ���� "�"��"� ���� �� �����*���� ����������"� �*

��� *�,������� � ���� �� ���������������� �,������"$

;����� (�� �����,�* ��� %� �* �� *�����" � ��������" �������� ���

��� ������� '��� !�� -�,��"��� � ���� � 0DD2 �* 0DDB�

��"�����,���$ ��� �" �� � *������� ��"����� �""�"��� � ��� &��������

� ��������� �������� �� ��� -�,��"��� � ������*�� ����� ��

�*,���* ���������� �* 8��/���� � �������,�� >������ �*

&������ ���������" 9���8��*�:$ O�� ��"����� �����"�" ��� � ��� *�"���

��������� �* ��"��� � ���� �� ���������������� �,������"$

:������ (� �����,�* ��" %� �* �� *�����" � ��������" ��������

��� ��� ������� '��� !�� -�,��"��� � ���� � 0DDB �* 0DDH�

��"�����,��� �* �����,�* ������ �� *����� � ��������� ��������

��� ��� -�,��"��� � ������*� �� %���*�� � 6222$ O�" ��"����� �����"�"

��� � ��� *�"��� ��������� �* ��"��� � ���� �� ����������������

�,������"$

<���� ���� �����,�* ��" %� *����� � ��������� �������� ��� ���

-�,��"��� � ������*� �� %���*�� � 0DDA� ����� �� �" �������� �

���*���� ��"����� �""�"��� � ��� &�������� � ��������� ��������$

O�" ��"����� �����"�" ��� � ��� *�,������� � �������������� ��*��"

�� ��� ������������������ � ����"������ ������"��" �� ��� �������"$

(���� $� �" � �""�"��� ����""�� � �*,���* ��������" 8����""�� �*

����"�" ����� 9��8��: �* &�������� � ���������� ��������" �*

() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 0BB

Page 15: Fabrication of SiCN MEMS by photopolymerization of pre-ceramic polymer

����"���� �������� 9����: �� ��� -�,��"��� � ������ �����*�$

8���� �� )���� -��� &�$ � ��" � ��"�*������� ��"����� �""������ ��

-�,��"��� � ������*� �� %���*��$ O�" ��"����� �����"�" ��� � ���

������ ���� � �����""��E"��������E�������� �������"���" � �������

��������"$ ��"� �������� ��" ��"����� �" ���"�* � ��������*���,�*

�������" �* ����� ����������" � ���������������� ����$ &�$ � �" �

������ � ��� �������������� � ��������*���,�* ������� ����$ O�

��" ���� ��� 62 �����" � ��������" "����� �* ��������������

����������"$

5���� �) ���� � �" � �""������ ����""�� � ��������� �������� �*

��� *������� � ��� ���� T& ����������� -�,��"��� � ������*� ��

%���*��$ 8���� �� )���� ��� -�,��"���� �� ��" � �""������ ����""�� �*

��� *������� � ��� ��������������" �"����� ���������� � ���

&�������� � ���������� �* �������� ��������� ��� ����� <"������

� !��������� (������8�����"� ��� ����� %�"�� >��� 9HF0DD6 �� 06F

0DDG:$ 8��$ %�����N" ��"����� ����*�" ����� "����� �������������

�����"�"��"� �������������"� ���� "����""������ ���� ���/�����

��������������"� �* "�����*����� *�,��� ���"��"$ &�$ %����� �����,�*

��� ������� ����*" � ��� ���� � ����5 %�"� 8���� � ��� ���NDA K

<��������� ������� �* �.������� � ��������� ��*���" �* O����

*�"��� 8��/����� 0DDA7 $�$ %�"��� %�"� 8���� ����* �� ��� 0DDH

<��������� ������� � ������������� ������" �* !�� ����"$ &�$

%����� ��" �������* �* ����������* ���� ��� G2 �����" � ��� ����" �

����$ O� �" � ������ � <���� ����� �* �8<�$ O� "��,�" � ���

�.�����,� ��������� �� ���� ���� "���*�,�"��$

������ () ���� �" � �""������ ����""�� � ��������� ��������$ O�

�����,�* ��� 8�& � ��������� �������� � 0DD6 ��� ��� -�,��"���

� (�"�����$ 8���� �� )���� ��� ������ �� ��� -�,��"��� � ������*��

�� ��" � ��"�*������� �������� � � "���* �������" ����� �� ��*��

������ �����������"� �* � *�"�� ������ � � ���"*����" ����� �� ���

%���� ���������� ������� ������$ 8��$ &�N" ��"����� �����"�"

����*� 9�: ��� �������������� ����,��� 9������� �* *��������: �

��������" �* "��������" �� ���������������������� "�"���" ����������"�

9��: ��� ������������" �* ���"��" � �����������" ��*��� ����*��

*����"� �������"���"� �* �����"���"� ���� �����"�" � �������������

"���*"� �* 9���: ��� ����"��� ��������������� � �������� �����"��������$

O�" ��"����� �" ��"�* � � "���� ������� ������ ����������� �*

�.��������� ����"$ 8��$ &� ��" �����"��* �,�� H2 �������" � ������*

)�����" � ���"� "��)���" �* ��" ��� ��� �������� �� �����������

�,�"������� � ����" �* �������" � ���"� ����" ��� ��� &>�� > �

<�!� &� 8�� �* ��*�� ������ �����������"$

= � 1) ����� �" �������� ����""�� � ��������� �������� �*

*������� � ��� ����� �� �����"��� �* �,�������� �"����� �� ���

-�,��"��� � ������*� �� %���*��$ O� "��*��* ��������� �������� ��

��� -�,��"��� � ������� 9�����,�* %� *����� 0DHA �* �� *����� �

0DHD: �* �� �����* -�,��"��� 98�& � 0DG1:$ &�$ &���� �" � ������ �

8� !�� ������ ����� Q� 9��"�:� !�� �����"��� <"������� !�� >������

������� � �������� �* � �""������ ����� � !�� ������� <"������ �

���������" �* �"��������"$ O� ��" � 0DAG �������� � ��� ������� �

��������,� ������"N ���� �$ !����� ����* �� �������� �*������"$

��� 02 ����" �� ��" � ������ � ��� �� �����"�� %�� ���� ��� P������

�������� &�"����� �*,�"��� ������� �* ��" ����� �� 0DA1E0DAH$ O�

��" ����� � ��� �<�� 8��������" �* �����"��� !������� ���������

��� 0DAD �� 0DD6 �* �" ���"���� ����� � ��� 8���""���� ������

�*������ ���������$ O� �" ���"���� ����� � ��� ����� � ������*�

O����*��" (�"�� �����""�� �* "��,�* �" ��" ��"� ����� ��� �,�����

0DD6 ������� >������ 0DDB$ O� �" � ����"����* ����""���� ������ � ���

����� � ��������$

:�� � :�> ����� �� )���� �$-$ %���*�� � 0DDH� �� ��* "��,�* � ���

������ � ��������" ������ �* �������� �� ������ -�,��"��� �� 60

����"$ O� �����,�* ��� 8�& � ������* 8��"��" ��� O��,��* -�,��"��� �

0DG2$ O�" ��"����� �" � �����""�� � ���������������� �����"�

�����"���"� �* �������"$ O�" ��"� "������� ����������" ��,� ���

� �*��"��*�� ��� �������" ������ ���������������� �����""�� �*

��������� ����,���$ O� ��" �,�� 622 ����������" � ����� 012 ��� �

������* )�����"� �* ����*� 0C -� 8����"$ O� ��" ��� � =��������

������� � ���.�*�� ,� O�����*� ����� ������"� ����*�� �* �

�������" ������� �� ��" �����" ������ ����������$

0BC () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!


Top Related