fabrication of sicn mems by photopolymerization of pre-ceramic polymer
TRANSCRIPT
���������� � ��� ���� �� ������������������ ������������ ��������
����� ������ ����� ���� ����� ���� !"��� ���""� ��� ��#����� �$ %������ ����� �$ &�� '�� ($ &����� �"�� �)���������� ��� ������ ������������ ���������� ������ ������� �� ����� �!�"� �#$
��������
!��" ����� *�"�����" ��� �"� � ������������������ � � ��+��* ����"������ �" � �,��� ,��"����� �* ��"�������,� ���" � ���������
��� ������� ����$ ��� �" � �� ���"" � ��������*���,�* �������" ���"� "������ �������� �" � ��+��*����"� �������$ %� �**�� �
����� �������� �� ��� ������"��� ������������������� �������� � ��� ����������� ������� �� �� ��������"��* �� -# �.��"���$ !��
��"����� "���* ������� "��������" ��� ��� ���""��/�* �*�� �"�"����� ���""���� �* ��������* �� ��� � ��������" ������� ������� �
����"��*�� �,�� 0122��$ %� �**�� �* ����� "����""�,� �����" � ��+��* ������� � ��� � �� ������� ������������* ������� ������ �� ��"��� ��������*$ !�� �"� � ������������������ �� ��"� �� �"�* �� ��/� ���� ����������/� ������� "��������"$ 3�� �""��"
������� ��� ��������� �����"" ��� *�"��""�*$ %� ������� ������������������ ���� ����� �����"� *�,�����* �����+��" "��� �"
����������"�* ��*�� �* 4������� ��*��� ����� ��� ���� *�,���" �� ���������������� ����������" ��,� ��� ��������*5 �
�������"����� ��������� � ���""��� ���"*����� �* � �����"��� �������$ !��"� �����"�� � ��*� ���� � ����� *���"������ ���
,��"������� � ���" �����+��$ � 6226 ��"�,��� ������ %$#$ ��� �����" ��"��,�*$
%��&���' ��� 7 �������7 ����7 ����������7 8������
� ���� ������
� ,��* �.�"�" � ��� ���� ���/�� ����� �������������
���� ����������" 9�.���*�� 0222��: ��� �,��,�*$ !�����������" � �.�����" ���5 90: ���� ���� �� ������� �
���������������� �,������"� "��� �" "�"��" �� ��"
������ ����"� �* 96: ���� ���� �� ����� �����
�����������"� "��� �" ����� ������" �� ���� ����� ��"��
"�"���"� �* ����� ����� �������� "�"���"$ !�� ������
���� ������ �"�������� �������� �" ������� ���� ����
��� ���/�� �* �����"� ��� *���* �� ���������� �������
"���"�;���� "�"���"$ ������" ����������" � *��"�
�* ���������������" �.�"�$
��� ���"� �����"�"� ���*������ ���� ��� ������* �� �����
��������" �����"� "����� �* ����"����� ���� ����"��*
�����������" ������� ��� "�,���� ��*��* *�����" ���"��"$
!�� "��� ���*" ���� �� ��� �����" �* �������" �"�* �
��������� �����+��" *���,�* ��� �<=�$ �������" ����
"�� � ��������,� ��������,� �� ���*������ ���� �� �����
����������� ����������"$ >� �����* � ��������� �����
��� ���� ���� �" �*�� *�,������� �" �#& ��� ?0@$
�������� � "����� ������������ �����"" �� ��� ��"
��� *�,�����*� ���" �����+�� �� �� ���� ��"�����
�.��"�,�� �* ���������� ���������$ < �**����� ���
����� ����� � �#& ��� 9�* "����� ������������
� ������: ��/�" �� *�;���� �� ��"����� ������.�"����*
������"���� ����� �� ������*���"���� "��������"$ !��������
��� *�,������� � �� ��������" �* ������"� ��������
������� �����+��" �� ���������������� ���� �" � �����
�����"� �� ��� ���� ��������� ���� ��� � ������* �"
���� �" �*������ ,���$
!�� ����� *�,������� � � �� ���"" � ��������
*���,�* �������" ��"�"��� � ��������" �����" � "������
������ �* ������ �" *������* ��"������ ?6@$ !��" ��
���"" � ��������"� �������� ���* ��� � �" ��+�� � ����
��� "������ �������� �" � ��+��* ����"������ ������"�� �����
�� �� ��"��� "����* �� ��"��� � ���������*" ��*� ���
�-A 9����� ���� ����$� ����� ��:� �* ��� "���*�;�*
�* ���""��/�* �*�� �"�"����� ���""��� �� ��� � ��"����
"���* ?B@$ �������� ���""��/��� ��� ������� �" ��� ����
�����* �� 0222�� *���� ����� �� �" ���"����* ��� � ����/�������* ���/ ������� ������� � ����"��*�� �����������"
�,�� 0122��$ !��" �����* ��" ��� "��� �� �� "����""��� ��������� ������"���� ����� ��� ������� ���� ?B�C@$
< ���" ������ �� ������ ��� �"� � ������"�� ����������
��������� �" � "������ ��������,� �� ����� ��"��� �" �
��"��" �* ��������" � D1 96226: 062E0BC
�- �5 ����5FF���"$������*�$�*�$� �����"��*�� ������$ !��$5 �0�B2B�GB1�0GHB$
� ���� �������5 ����I��"��$������*�$�*� 9�$��$ ����:$
2D6C�C6CGF26FJ E "�� ��� ������ � 6226 ��"�,��� ������ %$#$ ��� �����" ��"��,�*$
8<<5 � 2 D 6 C � C 6 C G 9 2 0 : 2 2 G 6 B � B
��������� �����+�� �� ��� ����$ !���� *�,��"�
���""�" � ���� *�,���" ��,� ��� �������*� *���"������
��� ,��"������� � ���" ��������� �����""5 9�: �������"�����
��������"� 9�: ��������� "�"��"� �* 9�: ������"���� �����
4��*�� �����"$
� ����������� �������
8����������������� ?1@ �" � ������"� �������� �� �����
����� ������� "��������"$ %� �**�� � ����� �������� �� ���
��+��* ������"��� "���*�;����� �� �� ��������"��* ��
�.��"��� �� -# ��*����� ������ ��� �� ���� �**����$ !��"�
�� �������� ���������������� *������� � ��� ������"���
"���* ������� "��������" ��� �� ������* ������� ��� ��*
�� � ���*$ !��" �����* �" "������ �� ������"��������������
��� ?H@$ !��"� ������� "��������" ��� ��� ���""��/�* �*��
�"�"����� ���""��� �� C22�� � "������ ��� �* ��� ��������*�� 0222�� � � ������ ����"����� � ��*�� �� ����� ���
;�� ���/ �������$ !�� ��+��* ������"�� �"�* ��" ���
������������ �,������� ����"��!� 9��� 3�� ����$� ��
-��:$ !�� ����� �������� �"�* ��" 6�6��*������.��6�����
�� ���������� 9<������� H10 ��� ��*���� ���������
������/��� (<:$
���$ 0 �" � "�������� � ��� ������ ��������� �����""$
���"�� ��� ��+��* ������"�� �" "�� ��� � "����� ����$ !��
��+��* ����/�"" K �*� ���"� ��� ;�� "�������� ����/�""
K �� �� ,����* �����*�� �� ��� "�� "���*$ !�� ��+��* �"
��� "��)����* �� �������� -# �.��"��� ������� �
����������������� ��"/ �� "���*�� �����" � ��� ��+��*$
!��"� �����" ����� � ��� "��"����� ����� ��� �������
��+��* �" ��� ����,�* �� "�����"�� � ������ "������$
!�� ��"��� �" � "��"����� ���� ������" "���* �������
"��������" �������*$
<� �" ���""��� �� ����,� ��� ������� "��������" ��� ���
"��"����� ����� ���""��/�� � ��*�� �� ���,�� �*���*
"���""�" *�� �� ������� "���/���$ �" ���� �� "���� *����
������"�" ��� ������� �*�����" ����� "���/��� � �����
B2L� �* �*��"�� �� � "��"����� *���� ���" "���� �� ���"�
����/�� �� ������� �" ���� �" � ��*����� � *�"���$ !��"�
��������� ����"��*�� ����������� "��������" �" ������
*�"������$
���� ������������������ � "������ ��� "���* �������
"��������" ��� ����,�* ��� ��� "��"����� �"�� � "�������
����� ���*�$ ���������� ���� "������ ��� 9���� �" ��"� �"�* ��
����� �"�"����� ���""��� *���� ���""��/��: �" �"�* �" �
�������� �� ������� ������ ����"� ��� ���*�$ !�� �*��
,�*��� "��������" ��� ��� ���""��/�* �* ��������* � �
����� �� ��� ��� ���� *�,���"$
!�� ,�������" � ��� ���,� �����"" �,��,� ��� �"� �
���,������ "��"����� ��������" � ��*�� �� ���������
����,�� � ��� ����������� "��������"$ >� � ���"� �" !�4�$
���� ������� �*��"�� ���� !�4� �" ���/� ��� "��������"
��� ��"��� ����,�* ������� ��� �"� � � ���*�$
������ ,������� ��"�"�" � ��� �,�� �"� � ���/ ���
���"��� �" ��� "��"�����$ !�� ������� �" ������ ������,� ��
��� ��������" "��� �" ����� �������"�"�" �* �����
"��,��"$ !��"� ���" ���,������ ������ � "��"�����
�������� "���" ��� ��� ����,���� ���� ��� �" ���*���
*�""��,�* � ������ �* ���� ���"� ����� �" � MM"����;����
"��"�����NN ����� ���,�� ��� ������� �.��"�* �� � ������,���
�������"�,� �,������$ O���,��� ������������������
���$ 0$ =����� ��������� �����""5 9�: "�� ������"�� ��� "��"�����7 9�: -# �.��"��� ������� � ��"/7 9�: "���*���* ������� ���� ������� ��+��*7
9*: ����,� ������� ��+��*7 9�: ����,� ������� "��������" ��� "��"�����7 9: ���""��/ �* �������� ������� �� ����� ��� ��� ������� "��������$
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 060
���*���" ��� ��"� ��"���"� � ����" � "�������� *�;�����
��� ��� "��"����� �"�* �" "�����$
!���� ��� "�,���� �*,�����" �� �"�� ����������������
��� �,�� ��"��� �" � ���" � ��������� ��� ����$
���"�� ������������������ ��+����" ���� �����""�� "���"$
����*� �� �����" �� �� ��"��� ����� ����"��*�� �������
"��������" �� ���""��/�� �* ������"�"� ������" *����
��������� �� ����� ��"��� ,�� ��"�����* �����+�� ?C@ ���
������� "���/��� �" ��"�����* *���� ������"�"� ���*��
�� ���� ������ "���""�" �* ����/��$ !���*� �� �����"��
��� "�� "���* � ��� ������"��� ��� ����������/� �����"
�� �� ������*$ !��"� ��� �����" ����* �� �� ������* ��
����� ��"��� �����"� � ����� �������� *���� ���"���� �*
�������� *����*��$
>� *�"�*,����� � �"�� ������������������ �" ���� ���
����" � ��� ��"����� "��������" ��� �� ,�������� ��� ���
"����* *�� �� ��� ������� ����$ !��" �" � �����"� �� ����"
��"� � �-A ���*"� ����� �.����� �.������ "�*����� *�;��
��� ?B�C@$ !��" �""�� � ���� "���� ���� �� *�"��""�* � ����
*�����$
� ������������ ���� ����������
8����������������� �" ��"� � "����� �* �����,� ��� ��
�������� ������������* ������� ����$ !��" �����"�" ���
�������� ������.��� � ������� *�,���" ���� �� ����*�$
%� ������� �* ����� "����""�,� �����" � �����������
������� � ��� � �� ������� ������������* "��������" ��
�� ������* � � ���� �������" �� "����� �����������
��$ &���� ���""��/�� ������ ��,�� ��*" ��� ����*
������ ��� ������� �����" "� ���� ���� ������"�" ��� ���
"�������� �" � ��������� ���/ �������$ !��" �����* �"
���������� �� ��������� ���� ������"���� ����� �* ��
������"���� ����� "��������"$ � �.����� � "��� � ������
������* "�������� �" "��� � ���$ 6$ ������ �����* �
������� ������������* "��������" �" �� ��*�� ��� ��
���� ������� ����" �"�� ��� "��� ��+��* ������"�� �" �
�*��"�,� ?B@$ %��� ���"� �����+��" ���� �"�* � ���������
��� ��� ���� *�,���" �������* � ���" �����$
� ����������� ������
���� �""��" � ��� ������������������ ��������� ����
��"" ��� *�"��""�*5 "�������� ���� *�;����� *����� �� ���
"��������" �*���* �� ����,�� ��� ��� "��"������ �������
"���/��� �* "�������� �������$
!)/) 1��� ��������
�" ������* �������� �� *�"�*,����� � �������������
������ �" ���� ��� ����" � ��� ����������* "��������" ��� ��
,������� 9�$�$ �����*������ �� ��� "��"�����:� ��� �"���* "����
������* *�� �� ��� ������� ����� ��� ������� ����
���� ��������� � ������"���� ����� "��������"$ !��" ��� ��
�� � ����� �� "����� ���� *�"��"7 ����,��� ���"���
"����* ������"K "��� �" ����� � � ���� *��,� ��������� ��
�.������ ��+���� ������ � ��� "�������� *�;���� "� �" ��
���,�� ��� ������" ��� ������� )���* ��������� ��
/����*�� � ��� �.��� � ��� "���� "� ���� �� �� ��
�������* �� � *�,��� *�"��$ < ������� ��� �.��� �
��� "���� ����" ��� ������ "����� ��*�* �� ���*���
*�"���� ������"$ ���$ B ����"�����" ��� ,������� ����" ���
���� *�"������ �� *�����"�� ������ "���"$
!�� �����" ����� ���� ��� "���� � ��� ����� �* ���"�
��� ,������� *�;����� ��� ��� ��"/�������� ��� *����
������������������� �* ��� ����� �������� �"�*$ �.�����
���" ���� ��*����* � ����� ���� ��� ��� �* ��������
���� ,����*$
!�� ;�"� �������� �"�* ��" 6�6�*������.��6������������
������ 9/�� ������������ �" <������� H10:� �"�* � �
���������� � 1 ��$L$ !�� "���* �������� �"�* ��" �
�������� ��.���� � �"������� ����.����� 9/�� ����
��������� �" P�������� <!Q ��� %�**�� ������ ����$�
�� -��: ���� � ���������� � 0$60 ��$L� �* 6��������
0�?C�9����������:�����@�6������������������0
9/�� ������������ �" <������� D2G: ���� � ����������
� 2$H ��$L$ !�� ������ ���������" �"�* �� ���" "���*
�������� ���� "����"��* �� ��� ���������� �" ���� ���
������� ���������"� ����* ����� �������� �;�����
����* *�����"�$
����� ��"������"� "������" ���� ��������* � "�����
����" ��� ������"�� ���� ������* ������ � ��� ���
��������"$ ���$ C "���" ��� ��"/ �"�* �* "���� �������
����������" 9���": � ��� ��"����� ����������* "��������"$
!�� ��"/ �" *�"���* "� ���� ��� ��������* "��������" ���
������* � � �������� ������ � ��� ���� �� ����� ����
����� ��"�� ������� �������������$
<�������� ������������������ ��" *�� �� ������ ���
��"/ � *�"���� � ����� 1 �� ��� ��� ���� "�����$ �
�.��"��� ���� � 62 �� ��" �"�* 9���� � -# ���"���
�02 �(F��6:$ �������� �������������� ��� ����" �������$ 6$ &������������* "�������� ��������* �"�� ��������,�� ����������
��������� 9"��� ���� ���� ���""��/��:$
066 () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!
���$ B$ ��������� "����� ���� � "�������� ���� "���� � ������ ������ "���$
���$ C$ 9�: ���������� ��"/ �� ��� ����� ��"������"� "������"7 9�: ���" � ����������* "������" � ����� ��� "��������" � ��� ��� �"�� <!Q
��������� �* ��� "��������" � ��� ����� �"�� < H10 ��������$
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 06B
��"�* � ������ �� 0222 ��� �� 1 "� �* ��� ���;��" � ���
"��������" ���� ���"���* �"�� � &�/!�/ ���;�������
9��� #���� <"������"� <�$:$ ���$ 1 "���" ��� ���"���*
���;��" � ��� ������� "�����"� �� ����������* ���� ���
;�"� �������� 9< H10:� �* ��� ����� ���� ��� "���* ��������
9<!Q ���� < D2G:$
���� ��� ���"���* ���;��"� ��� "���� � ��� ���� ���� ��"�
���� �� ��� "��"����� ��" �"������* �"�� "����� ���������
���$ 1$ ���"���* ������" � ��"��� "������" ����������* �"�� ��� *����� ��������"$ !�� ,������� "���� �" � �R 5 9�: �"�� < H10 ��������7 9�: �"�� <!Q
���� < D2G ��������7 9�: ��� � ����������* "�������� "����� "����* ���� �* ��"�*��7 9*: "�������� � ���� ���������� ��� ��� ���� ������$
06C () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!
/���� ��� ������ � ��� "�������� �* ��� ������� *�"����
"���* �� ��� "����� ����� �" "��� � ���$ 19*:$ <� ��"
��* ���� �� � ��"��� ��"/�������� ���� ��� "���*
�������� 9<!Q ���� < D2G: ���*���* "������� ���� ,�������
����"$ ���� �� ���"�� ��� ������������������ ������"�
� ��� ��+��* ������"�� �" "���� �� ���� �*��"���*� �*�����
�� ��� ������� �������� ����* �� � *����� ��"/� ��,� ���
����� "������� � ������������ �,������� ��������"$
<� "����* �� ���* ���� ��� ���� ���� ����������" ���
�"������" *���,�* ������������� �� �����.������ ���
"����* ���� �" � ������� �* �"�� ��� ����� �" "���
� ���$ 19*:$ !�� ������ ���� "���� �" �� ��"��� �" � �
�������$ ������ ��� ��� ���"���* ���;��" "��� � ���$ 1�
�� "�� ���� ��� ���� �" "������ ��� ��� ��� � ��� "���������
"����*�� ������* � ��� "��"�����$ !��"� �� ��� ���/ �
��� "�������� ���;�� �" � ���� ���� �" ����,������� ���� "���
MM��"�*��NN �� ��� ��"�$ <���*�� ��� ��"�*�� � ��� ��������
��� *�����"�" ��� �,����� ���� 9�����"� ��� ������� *����
"�� � ��� �����.�����* ������� �" �� �����"�*:� ���"� ���
������ �,����� ���� ���� �" ���� ������ ��� ��� ,����"
���������*$ O���,��� ��� ��"�*�� ��" ����*�* � ��� ����
�����.������ "� ���� � "����� �* ��"�"��� �����* �
�������"� ����* �� �"�* ����"" ��� "�����"$ !��"� ���
�"�* �� ���������,� �����"�"� ��� �����"��" *��� ���
����� ��� ����" � ,����� �������� �* ��� ��� ,���*$
���� ��� ������"�� �" ��������� � ��+��*� �������������
��" �� �� *�� �"�� �������� -# �.��"���$ !�� ���
������ ��� ��"/ �* ��� ����� ���"� �" � ��������
��������� � *�������� �� ��� ��� ���"�� � ��� ��"/
*���"��" �� ��� �������� ��� �� ��"� *�������" ��� "����
� ��� ����������* "�������� ����"$ ������������ �����"� ���
�������N" "����� ��"�� �����"�" �" � ��"��� � ��� ���"�
����� ������� ����� �� �������������� ��� ��+��* ���
�,������� ����� ��� ��"/ � �� �" �����* ��� ���"� ���,� ���
����� ���"�� *����� �� ��� ��"/$ !�� "�����"� ��""����
��� ���� ��" ��� �.����������� ��* �� �� ��"���� �"
����� 6 �� ��� ��� ���� "�����$
8�����"�� ������� ��� ;�"� �������� 9< H10: ��" �"�* ��
�������� ���� ����� ��"��� "������"$ 8��;�� ���"����
���" "��� ���� *�����"�� ��� ��� ��� 1 �� 6 �� ���*" ��
� �����"� � ���� ���� ��� 6D �� C1�$ !�� ����" �,����� ��� �* �������� ��� "��������* � !���� 0$ �����
���� ����������" �,���"������ ��� ���� �����"� � ���
����"�� � ��� ��"�*�� �� ��� ��"� � ��� "�������� ���� � ���
����������$
�" !���� 0 "���"� ����� ��� ������ ��� ���� ����� ��
��" ��"� ��* ���� ��� ;�"� �������� 9< H10: ���"�* � ��*�� ��
��� ���� ��� ������ � ��� "��������"� ����� "��������"
��*� �"�� ��� "���* �������� ��* ���� ���*�* �*��"$
!��" ���� �" ����"� ���"��,���� � "��������" ���"�
������� *���"��" �.���* ����� 022 ��$ O���,��� � "���������" ���� ��� ������� ��� ���" ��� ���� � ���*�� ���
�����" �����" ��� ���;�� ����������� �" "��� � ���$ H$
!�� ��*�� ������ ��" ���"���* �� �� ����* AE02 ��$
!)-) ������ ������� 2� � ������ ������ ������ ��
��2������
>� ����� ���� ���"�" �����*�� ��� �"� � � "�������
���*� �� ����,� ����������* "��������" ��� ��� "�����
���� �" ��� ��""������� � ���*���*���* *�����* �� ���
�������$ O���,��� �.������� � ���" ��" �������*��
"��� � ��)�� "��" � "��� *����"$ ���� ��������*
������ �" ��"��,�* �� ��� �*�� � ��� "�������� ����� ���
!���� 0
���� � ,����� �������� ���� �* ��� ��"/�������� ��� � ���� "�������
������ <������� ��"/��������
��� 9��:
� 9�: �*��
0 % 6 CD �
6 % 1 6D �
B � 1 61 ��"
C � 6 C1 ��"
� <������� � �" < H10� �������� % �" <!Q ���� < D2G$� ���"���* ���� ���� ��� ,����� ����� �������� �* ��"/��������
���$
���$ H$ 9�: ��� � ��"������"� "����� ���� ���*�* ������"� ����������*
���� <!Q ���� < D2G ��������7 9�: ��� � � "������ "����� ����������*
���� < H10 ��������$
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 061
���*� �" ����*���*� ��� ��� �,����� �*���"�*� � ��� "�����
����" ������" *��������$ >� ��""���� ���"� �" ���� ����� �"
� �������� ��*�� ������ ��� ������� �* ��� "������
���"� ��� ���*� ���" ��� �" � ��*��� ��"��� ��� �������
���� ��� ��� "����� ������ ��� "�,���� �� ��*"$
������������ ��� ���*� �������� "����"�" ���� ��� "����
�*�� � ��� ���*� *��" �� �,� ���� ��� ������ ���� ���
������ "����� � ��� ������� 9����� ��� ��� �*�� � ���
"�������� ����� ��� ���*� �" ;�"� ����*���*:$ !��" �" �����
"�����* � ���$ G9�:$
%�� ����� �" ������ )�"��;����� �� �"�� � ���*� ��
����,� ����������* "��������" ��� ��� "�����$ �" ��"
"��� � ���$ 1� ��� ����" � ��� ����������* "��������" ��*
�� "����* ��� � ��� "��"�����$ !��"� � ��� MM��"�*��NN �� ���
��"� � ��� "��������" ����* �� ����,�*� ��� ��"�����
"��������" ����* ��,� ����,������� ����"� ����� �" ��� �*���$
<� ��" ��* ���� ��� �����"" � ����,�� ��� ����������*
"��������" ��� ��� "����� "��"����� ���� � ���*� ��"�
�����,��� ����,�* ��� ��"�*�� �" ����$ < ���� ��� ���*�
"�,��" ��� ��� ��"�*�� �* ��"��" �� �*�� ��� "��������� �"
"��� � ���$ G9�:$ ���� ��� ��"�*�� �" �� ����������
��*�* �� ��� ��� "�������� �� ���" ����� �� ������ ���"
� ���� ������"�" �� �" ��"��� ����,�* ���"������$ !��"�
���������������* "��������" �.����� ���� ���� ,�������
����" ��� ���� ��,� ��� ����,�* ��� ��� "��"������
�����"� ��� MM��"�*��NN �� ��� ��"� �" �"����� ��"� ����,�*$
���$ G9�: "���" � ����� ��"��� "������ ���� ��" ���
����,�* ��� ��� "��"����� �* ��������*$
���$ G$ 9�: ��������� � ���*� �* ����������* "��������7 9�: ��� � �*���"����� � � ��������* ��"��� "������ "����� ��"�*�� ���� �" ��"��* � �� ���
���*�7 9�: ��� � ��������* ��"��� "�����$ ��� ���� ��*��" � 9�:E9�: ��� 022 ��$
06H () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!
!)�) 3����� � ���4���
������ �������� ��"�*������ � ��� *�"�� �* �����
����� � ��� ���� �"�� ������������������ �" ���
"���/��� � ��� ����������� ������� �" �� �" ��������*$
(�� ��������� ��� "��������" �� ����� ��"��� �* ��"��
���* �����+�� ?B�C@ ��� ���"��� � ��� ���* �*F��
"��"����� *���� ������"�" ��"����" ��� ������� "���/����
���*�� �� ���� ������ "���""�" 9�* ���"� ����"���� ����/�
��: �* ����� ���"���* ��� *�"���$ >� �*,����� �
�"�� ������������������ ������* �� ����,�� ��� ���
"����� "��"����� �" ���� ��� ������� ����" ��� �� ����
"�����* *���� ������"�"� ���"� ���� ��,� ����� ������
"���""�" �* ���� ���"� ��"" ��/��� �� ����/� �* ��� *�"��$
!��" "���/��� �" � �������� ��������� � *�,��� *�"��$
���$ A �" � "�������� � ��� ��"� "��������" �"�* �� +�����
��� *���"���� �����$ ���� ��"� "�������� ��"�"��* � ���
"+����" ������* *��������� ���� ��� "�*� � ���� "+����
���� 622 �� ��� � ��� ������������� ��"/$ !�� "+����"
���� ��������* � � �.�"��� ������� ������ "� ���� ���
����� "�������� ������� ��� "+����" ��" ������* �� "���/
�������$
���� *���"�� 9�E&: �� ���� � ��� ����� ��"� "��������"
��" ���"���* ����� ����" �"�� � ���������* "���� �*�� �
������� �����"���� ���� � 62� ����;�����$ !��" ������
*��� ��" *�� ���� ������������������� ��� ���� ���""�
��/��� ��� ���� ���� ������"�"$ ���$ D9�: "���" �������
��"���" �� "��� � ��"� "��������$ !��" ;���� ��"� "���" ����
��� "���/��� �" ����� � ��� *�������"� "��� �E& "���/
������� ��� "��� �����$
���� ���"���� ���� *���"�� � ���� ��"� "�����
���� ����� ����" ���� ���� "���� � ��� �����""� �,�����
"���/���" ���� ���������*$ %� �,������ ��� "���/���" �
�E& �� ���� ���/��� ��� �,����� "���/��� � ���� ��"�
"�������� ��" ���������*$ !��� �� ������ �,������ ���
"���/���" �,�� ��� ��� ��"� "��������"� ��� �,����� "���/�
��� *���� ��� ��� ��������� �����"" ��" ������*$ !��
;�� ��"���" "��� ���� ��� �,����� ����� "���/��� 9�����
��,� �� ��� "��� � ��� "�������� ����*������ ���� �����
���������: �" 0L ���� ���""��/��� �* BC$0L ����
������"�"$
!�� *���"���� ����� ��� ������"�" �"� ���������
"���;��� �* ��" �� �� �������* �� *���� ����
*�"��� ��*���� �* ���/����$ ���$ D9�: "���" ��� *���
����� "��� ����� ���� ������"�" � � ��� ����� �����"�
��� �������� ����� ���� �� *�"��""�* ����� � ���" �����$
������ �.����� �" ��� �������"����� �������� ��"� *�"��""�*
� ���" ������ ����� ��"�"�" � � ��� ���� �����* � �
�����,�� "��"�����$ !�� "�������� "���/��� ��* �� �� ��/�
��� ������ ��� *�"���� ��� "��"����� ��"/ "� ���� ���
��* ��*" � ��� "��"����� ����* ��� �� ���� ��� ��*��
"���" � ��� ��� �������$
!)!) 1������
� ����* �""�� � ��� ���� ��������� �" ��� ������� �
��� "��������" ������� ������"�"$ !��" ������� ��" ���
��"��,�* ��+������ �* ��" �� ��� ��� +����;�*$ ���$ 02
"���" � �.����� � � �����* "��������$
!�� ���"� � ��� ������� �" �� ���� �*��"���* ��
���"��$ <� ����* �� ���������* �� "�,���� �����" �� �������
���" � �����"� "��� �" ��,� ������������� 9"��� -#
�.��"��� �����" ��� ��� ��� "����� � ��� ������� �*
������*" *�����*:� ������� ��"������ � ��"�� "������
������� ��� ������������� "���� �� ��,� ��" *��"��
*���� ������"�"$ <� ��" ��* ���� ��� ������� ����* ��
����"� ���������� ��������* �� ����������� ��� �*���
"�*� � ��� "��������" 9���� ���� ��* ��� ����,�* ��� ���
"����� "��"�����: ���� � ����� � ���"����� ���"" � ��� �
���� ����� �" � ������� �* �� ������ � ������ � ��� �
��� "��������" *���� ������"�" 9"��� �" � ����� � ������ ��
��������:$ ��"�� ���������� � ���""��� *���� ������"�"
"����* �� ����$
!��" �����"��� ������� ��� ��"� �� �*,�������"
� ������ ����������" ����� ����"���""�* ���� "��������"
����* �� �"�*$ � �.����� ����* �� � ��������� �����
������ ���*�" ��� ��� �� �"� � ����� ����� ��������
"�"���"$ O���,��� � ������ ��� ������� �" �*�"������
�����"� �� ���*" �� *�;����� � ���/���� �* �������
��� �������"$
� ���� ���� � ����
8����������������� � ����"������ ������"�� ��" "���
��""���� �"�* �� �������� ����� ����" � ���� *�,���"5 9�:
�������"����� ��������� 9�: ���""��� "�"�� ������� �* 9�:
�����"��� �������$���$ A$ ��������� � ��"� "��������" �"�* �� ���"��� "���/���$ �����
*���"��" �E& ��� 622 ��$
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 06G
+)/) 5������� ����� ������������ �������
���$ 00 "���" � "�������� � ��� ,������� ��"�� ��������
"����� ��������$ !��" �"� �� ��� /����*��� ��� ;�"� ����
�������� ��������* ��� ��������*���,�* �������"� �*���
��"� �� ��� ;�"� ,������� ������� �������"����� ��������$ !��"
*�,��� ��" ��� ��"��* �� ���� �����������$ !�� ��������
��"�"�" � � ����4�.���* ��� "�������� ���� �" �����*
��� � "��"����� ������� ����� ��*" �* �����$
���"�� ��� ��� ����4�.���* "�������� ��" ��������*
�"�� ������������������ � � "����� ����$ !�� �������
"��������" ���� ��� ����,�* ��� ��� ����� ���""��/�*
�*�� �"�"����� ���""���� �* ��������* �� ��� ��� "�����
����" 9"�� ���$ 029�::$ !��� � 0122 �R ����/ ����� � ���* ��"
�,�������* � �� "�*� � ��� "��������"� ���� � C22 �R ����/
������� �*��"�� ����� �*������$ !��" ���* ����� ����
,�*�* ���������� ������� �� ��� ��� "�������� �" ���� �" �
�������� "����� �� "��*�� �� ����� 4������� ��*��$
� ������������ �,������� 0 ��� 0 �$ ������ "��"�����
���� ���* ����� ��" ��������������������� �������* �*
�����* �� ���*��� ��� *�"���* �������*�"� ������ �* ��*"
�� �������*�� �* 4������� ��*��$ !��� � ��"/��
����� � �������"�"� ��" ������* �� ��� "��"����� �* ����
����* �� �.��"� ��� ��*�� ��*"$ �,�������� � � B ������/ ����� � <*��� "��*�� �* �������"�"� ����� ����
�"�* �� *���"�� "��*�� � ��� ��� ��*�� ��*"$ !��
"��"����� ��" ��� *���* ��� "������ ��*���"� ���� �
����� ��* �����,�� "���" �� ��� ��� �������� "��������"$
���$ D$ 9�: =���� � "���/��� ��"���" �� �� � ��� ��"� "��������"$ !�� ����� ���" ��� ��� �$&$ �� ���� *���"�� �����"���*$ 9�: 8��������� � �
���""��/�* �����"��� ������� 9���: ��"�*� � ��������* �����"��� ������� 9�����:� "����� ��� ��*����� � "��� � ��������* "�����"$ !�� ��������*
�����"��� ������� ���"���" B��� 6 ��$
06A () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!
!�� ��� "��������"� ���*������* "�*� *��� ���� ��*�* ��
��� "��"����� �"�� ������������""�� 4������� ��*�� "�
���� ���� �������� ����� ��" "�"��*�* B �� ���,� ���
�**��"" �������*�$ ��������" � 6� 6 �����" ���� �""�����*
� ���" ���$ ���� ��*��� ���� "��"����� ��" �������*�*
�� � *��������� ������� ���/���� ����� ��" ��� ������*
��� � ����*����* ���� �.����� ���*" �� � *� ����� "�����$
#�����" ,������ ��,��" ���� ������* �� ��� *�,���� �* � �����
��"������ ��"�� ������������� �����"���� ��" �"�* ��
���"��� ��� *�4����� � ��� ��� �����$ ���$ 06 "���"
��� �""�����* *�,���"$
���$ 0B "���" ��� �.��������� ��"���" ��� "����� *�4���
��� ��"���$ �� � ��� ����/�"" � C2 ��� "�"��*�* B �����,� ��� �**��"" �������*�� ��� �������� *�4���" �����
BG2 � � ��"��"� �� 622 #$ � "����� ��������� ��*��
��" �"�* �� ���*��� ��� *�4����� � ��� ��� ����� ��� �
������* *� ,������$ !�� �������� �� �� �����.�����* �" �
�������� ����� ���������� ���"� ��� ������* �������"����� ����
�� �� �����.�����* �" ?G@
6� � �2�6
6$ 90:
����� $ �" ��� ���� � ��� ��� ������ �2 ��� �������,��� ���� "����� �* ��� �������� ���* ������ ��� ��� �����" � �"
��,� ��
� � 5
72 � �96:
����� 72 �" ��� ������ ��� ������ ��� ��� ����� �* ���
�**��"" �������*�� 5 ��� ������* ,������� �* � �" ���
*������� � ��� ��� �����$ ���"������� 96: ��� 90:� ���
���
6� � �26
5
72 � �
� �6
$ 9B:
���$ 02$ 9�: ��� �������"����� �������� "��������� ����� *���"�� �"
C2 ��� C2 ��7 9�: "������ ��� �����* "��������$
���$ 00$ ��������� � ��� �������"����� ��������$
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 06D
(�� ��� ��� ����� *�4���" *�� �� ��� ������* ��������
"����� ����� ��� "�������� 4�.���" ��*� ���"� �� �+�����
����� 6� �" ������* �� � ��������� "���� ���� � ���
4�.���"$ !�� ��"����� ���� � ���� 4�.��� �" ��,� �� ?A@5
6� � B�8�
(B9C:
����� � �" ��� ����N" ��*���" � ��� ����� �" 012 =8�
�" ���"���* �"�� ������*������ �����+��"� � ���
*������� � ��� ��.��� ��� 9����� �" �����.������� �+���
�� ��� *������� � ��� �����:� ( ��� ����� � ��� ��.���� �*
8 �" ��� ����� � ������ � ��� ��.���$ ��� 9 ��.���"�
������� 6� �* 6� ��,�" ��� ������� �+�����5
�26
5
72 � �
� �6
$ � 9B�8�
(B91:
���� ��� *������� � �" "���� �������* �� ��� ������ ��� 72�
�� �����.����� 972 � �: �" 72 "� �" �� "������ ��� ���������
�.���""��$ !��� "��,�� �� � � ����" � 5 ��,�"
� � �26
56
726$(B
B9�89H:
!��"� ���" �+����� ��,�" � �����.������ � ��� *�4���
��� � ��� ��� ����� � ��"��"� �� � ������* *� ,������$
#�����" ,������ ��,��" ���� ������* �� ��� ��������� �* 02
���"������" �*�� ��� ��"�� ������������� �����"����
���� ��/� �� ���� ,������ ��,��$ !�� �.��������� ��"���"
��� ������* �������� ���� ��� ��������� �����.������ �
���$ 0B$
!���� ��� �� ���"� ��� �������� ����������" �� ���"
*�,���$ ���� ��� �*��� �* ���* �"�* �� ��*�� �*
������������ ��"�����,��� ����* �� "��,�,� �.����� ����
��������"� ���" �������� �" �" ����* �� �"��� � ��������
���" � ����� ��� ����������������" ���� ��������* �����
��� ��� $ >� �.����� ����* �� �" � ����� ������ ��
���������� ��"�� "�"���" ����� ����"����� "������
�����������* ������" ��,� ����* ?D@� ���,�*�* ���� �
"������� ����� "��� �" ������� �" ������* �� ��� ���
����� � ��*�� �� ��/� ��� "����� ���� ��4����,�$ ������
�������� ���������� �� ���" *�,��� �" �" � ��"���* ��
���"���� �������� ���������" � ��� $ (� ��,� �"�* ���
,�������*�4����� *��� �� �.����� ��� ,���� � ����N"
��*���" �� ��� � �* ��� ��"��� � 012 =8� �����"
���"��� ���� ���� ������* "��������� �"�� �*������
�����+��"$
���$ 06$ 9�: ����� ��������� �������� �""�����* � � ������ "��"�����7
9�: 6� 6 ����� ����� �������*��7 9�: ���/���* *�,���"$
���$ 0B$ �������� �.��������� *��� �* ��*��$ ���� *��� ���� �" ���
�,����� � 02 ���"������"$
0B2 () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!
+)-) 3������� ����� ���2����
���$ 0C "���" � "�������� �* ��������� �������� �� �
��� ���""��� "�"��$ <� �" � *������������* ��� "���������
��"�"��� � � ������� ���� � "������ ����� �*������$
!��" "�������� ��� ��� �� �����* ��� � "��"������ �*� �
��� ����������� ����������� �" *��� ��� ������� *�4���
��� � ��"��"� �� ������* ���""��� ��� �� ���"���*
��������,���$
���$ 019�: "���" ��� ��������* ���""��� "�"�� "���������
������� ��� "��"������ �* ��" ��"��"� �� ��������� ���*�
��$ !�� "�������� ��" ��������* ��"�*� *��$ ���"�� ���
������� ��" ��������* �� ���������������� � 12 ������/ ������� ����� � � ��� "����;���� "��"�����$ !��"
MM�������NN �" ����/ �������* �� ��,������ "�����
���""��� "�"��"� ����� �"� ������� ����/�""�" � ���
��*�� � � �� �����"$ %� �����"�� ��� "�� "���* � ���
��+��* ������"��� �� �" ��""���� �� ����� ������� �����" �"
��� �" 1 ��7 ����,��� �����"� ��� ������� "��������" ���
��������* �*���*�� � � "��"������ ������� ������"�"
���� ��"� �� ��*��* ������� �* �*�,�*������ ���"�
������ *���"��" ��� ���""��� � ��*�� �� �"��� ����
��� ��� *�,���" ��� ����"� ����� �� ����"��* �����
���/ �* �����$ %����"� ��� ������� ����/�"" ��* �� ��
�����"�*� ��� *������� ��" ��"� �����"�* � ��*�� ��
*�����"� ��� ������� "���""$ !�� "������ ����� ��"
��������* "��������� �� ������������������ � � "�����
����$ !�� "������ ����� ��" ��� ����,�* ��� ��� "�����
�* ��*�* �� ��� ������� �"�� ��� ������� ��*��
�����+�� ?B@$ �������� � ����* ������������� "��� �� ����
��� ��*�� ������ ��� �""�����* "��������" ���� �����"�*
��� ��� ��� "��"����� � ������ ���""��/�* �* �����
����*$ !�� ;�� ���""��� "�"�� "�������� ��" � *������� �
����� A22 ��� ����� ��� ����� ����� � ��� "������ "���������" ����� 6 ��$ !�� ������� ����/�"" ���� ������"�" �"
����� B1 ��$� �������*������ ������ ��" �"�* �� "������� ���"�
*���� ���*��$ !��" �"������ ���������� ���"���" ���
���$ 0C$ 9�: 8������� � �������� � ���""��� "�"��7 9�: "�������� � ��������� ��������$
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 0B0
��"���� � � "���� ����� 9�02 �� � *�������: ����� ���
���* �" ,����*$ ���$ 019�: "���" ��� ��"��� � *�4�����
��"��� �� �� � ��� ���"*���� ���"$ !�� ����� ��" �����*
� ��� ����� � ��� �������$ !�� *��� ���"��� ������" ���
��*���* ��"��"�� ��� ���*�*�4����� ���,� ���� �������
����� ���� ����� "���"" ���"� �� ��� ����� ��� ���"�* �������
��� ��� ���$ !�� ,���� � ����N" ��*���" �"�* � ��� ��*��
��" 012 =8�� �" ���"���* �"�� �*������ �����+��"$
!�� ������� ��" �����.�����* �" � �������� ����� ����
������* �*��"� "� ���� ��� *�4����� � ��� ������� �" �
����� � � ������* ���������* ���* �" ?02@5
� � 6:6
0H�%
6�6
:6�
�
:� �6
:6� 0
� �9G:
����� � �" ��� ������� *������� �� � ������ ��*���
*�"���� � ��� ��� ������ : ��� ��*��" � ��� ��������
6 ��� ������* ���������* ���*� �*% �" ��� ��.���� ����*���
��,� ��
% � ��B
06�0� �� 9A:
����� � �" ����N" ��*���" � ��� � � ��� 8��""�" �������* � �" ��� ������� ����/�""$
>�� ��� ���"���� "�������� � ��� ���""��� "�"�� ��" ���
��������*$ ����������� �* ���/���� "���� ��* �� ��
��������"��* � ��*�� �� ����� ���������� "����"$
+)�) ��2����� � ��2��
� ����* ��� *�,��� ���� ��" ��� ��������* �"��
������������������ �" � �����"��� ������� �� �"� �
���� ����� �������� "�"���"$ !�� �����"��� �������
���$ 01$ 9�: ��� � ���""��� ���"*���� ������� "��"������ ��"�*� *��$
!�� ������� �" ����� B1 �� ����/$ 9�: �"���" � ��������� ��"���$
���$ 0H$ 9�: ��������� � �����"��� �������7 9�: ��& ������ �
��������� ��"/7 9�: ��������* �������� ����� �" 6��� B���2�1 �� ����/$
0B6 () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!
�" � ������������* "�������� ��"�"��� � � 4���� � ����� �
����" ������"�� ��� ������� �* � ��*� �" "��� "������
������� � ���$ 0H9�:$ � ������.�* ��.���� � ��� �*
�.�*���� ���� ���� ��� ���� ����� ������* ������� ��� �����
��� ������� ����� ������ ���� ����� ������� ������ � �
������"� ���� ���� �� ������* �� ��� ������� ����"� �* ;����
��� �����"��� ���*���" ���� �.�� ��� ������� ������� ���
������ ����$
���$ 0H9�: "���" ��� ��������* ������� 9��"� "��
���$ D9�::$ ���"�� ��� 4��� ����� ��" ��������* �� ������
������������� � � "����� ����$ � "���* ����� � �����
��� ��" ��� ������* �* �������* �"�� ��� ��"/ "��� �
���$ 0H9�:$ !��" ������* � MM"��""�����NN ��;������� �� ���
������� ����"� ����� �����"�" ��� "����� ���� �� ���������
�����"��� �������" �* ������� ��������$ !�� *������
������* "�������� ��" ��� ����,�* ��� ��� "����� "���
"�����$ !�� ��* ��" ��������* "��������� ��"� �"�� ������
�������������� �* ��� �� ��*�* �� ��� ������� �"�� ���
������� ��*�� �����*$
�����"��� ��"�" ���� ��,� ��� �������* � ���
"�����" �"�� � ������ "������������� ������E��� 4���
�*����� ���� ��� "�����" �� "��,�,� �����������"
�.���*�� 0122��$
! ��""��� �� ����������
8����������������� � � ����"������ ������"�� �" "���
�� �� � ,��"����� �* "������������* �����* �� ���������
��� ����$ �**���� � � ����� �������� �� ��� ������"��
��*��" �� -#�"�"���,� "� ���� ������������������� �������
�� � ��� ����������� ������� ��� �� ��������"��*$
��������� *�;���� �� �� ,����* �� ,����� ��� �����
�������� �" ���� �" ��� ��"/�������� *�"����$ ���,��
� ��� ����������* "��������" ��� ��� "��"����� �" ���""���
����� ������"�" �" ��� ������� �*�����" ����� "���/���"
� ����� B2L *���� ������"�"� �* ,�����" "��������" ��
����� "��������" ��� ��� "��"����� ���� *�"��""�*$ ������
���� ������� ��� �� ���,���* �� ����������� ���� "�*�"
� ��� "�������� �* ��������� �*�� ��������� ��"�����$
!���� *����� ��� ���� *�,���" ���� ��������* �"��
������������������ �" ���� �" ����� �����"� *�,�����*
��������� �* �""����� �����+��"5 � ,������� ��"�� �����
���"����� ��������� � ���""��� "�"�� �������� �* � ����
��"��� �������$
��#��$�� %�"����
!��" ���/ �" "�������* �� ��� &��"� �*,���*
�"����� 8��)���" ����� 9&� 8�: �* -� ��� �����
�*�� ������� �$ �B2H26�DD�6�21CB� �* ������ ������
���*���� 9 ��: =��� �$ &� DGDH022$ ��"�� ���/" ��
&�$ ��*��� ���� �* &�$ ���� ���� 9O���������������
��������" ����������� -�,��"��� � ������*�� %���*��� �>�
-��: �� �""�"���� ���� ���""��/�� �* ������"�"$
&�'�������
?0@ �$ O�� (�� �$�$ S����� �$ ��������� =����� � �������"����
��� ��� ���" � ��>6 �* ��B C �� �8�#&� !�� ����* ����" B11
96222: 0GDE0AB$
?6@ $ ��*��� =$ 8�""��� O$ ������*��� $'$ %���/� �����"�" � *�"�
"��������"�* �������" �� ���������������� ����� B11 90DD6: G0CE
G0H$
?B@ �$ �� ($ S���� #$�$ %������ �$�$ &�� $ �)� &�,������� �
�)�������� ��������*���,�* �������" �� ���������������� �����
�5 8�����*��" � ��� 0B�� ���� <��������� ������� �
���������������������� ��"���" 9����:� ������/�� '���� 6BE6G
'����� 6222� ��$ H0DEH6B$
?C@ �$�$ ����� ($ S���� #$�$ %������ �$ �� �$�$ &�� $ �)�
���������� � ��� ������� ���� �"�� �)������� �������
������"�� �����+��� ��"$ ��������" ��AD 90F6: 96220: HCEG2$
?1@ �$8$ 8����" 9�*$:� �*����� �����5 ������ �* !���������
8���� 8��""� �� ���/� 0DD6$
?H@ 3$ </���� 3$ O���������� ��� ������*���"���� ��������������
�"�� "����� ����������� �* ����� ���*��� �5 8�����*��" � ���
<��� <��������� ������� � ���������������������� ��"���"
9����:� ���� ���*��*���� ��� -��� 0DDB� ��$ C6ECG$
?G@ 8$ ������� &$ $ ���"�� �$ ������� �������������� ����*" �*
(�,�"� B�* �*����� ������� �� ���/� 0DAA$
?A@ 3$3$ ���,�"� ������" �* ������� � ��������"� 6* �*�����
8�������O���� '� 0DAG$
?D@ &$�$ %��"� #$�$ %������ >������ �������*���* *����� ��
���������������������� ������"� ��"$ ��������" � G2 90DDD: HE0C$
?02@ ($ ������ 9�*$:� O�*���/ � �������� �������"� 0"� �*�����
��=����O���� �� ���/� 0DH6$
(��%���)���
(� $��� (��& �����,�* ��� %� �* �� *�����" � ��������� ��������
��� ��� -�,��"��� � ������*� �� %���*�� � 0DDA �* 6222� ��"�����,���$
��� �" �������� � *������� ��"����� �""�"��� � ��� &�������� �
��������� �������� �� ��� -�,��"��� � ������*�� ����� ��
�*,���* ���������� �* 8��/���� � �������,�� >������ �*
&������ ���������" 9���8��*�:$ O�� ��"����� �����"�" ��� � ��� *�"��
�* ���/���� � ���� "�"��"� ���� �� �����*���� ����������"� �*
��� *�,������� � ���� �� ���������������� �,������"$
;����� (�� �����,�* ��� %� �* �� *�����" � ��������" �������� ���
��� ������� '��� !�� -�,��"��� � ���� � 0DD2 �* 0DDB�
��"�����,���$ ��� �" �� � *������� ��"����� �""�"��� � ��� &��������
� ��������� �������� �� ��� -�,��"��� � ������*�� ����� ��
�*,���* ���������� �* 8��/���� � �������,�� >������ �*
&������ ���������" 9���8��*�:$ O�� ��"����� �����"�" ��� � ��� *�"���
��������� �* ��"��� � ���� �� ���������������� �,������"$
:������ (� �����,�* ��" %� �* �� *�����" � ��������" ��������
��� ��� ������� '��� !�� -�,��"��� � ���� � 0DDB �* 0DDH�
��"�����,��� �* �����,�* ������ �� *����� � ��������� ��������
��� ��� -�,��"��� � ������*� �� %���*�� � 6222$ O�" ��"����� �����"�"
��� � ��� *�"��� ��������� �* ��"��� � ���� �� ����������������
�,������"$
<���� ���� �����,�* ��" %� *����� � ��������� �������� ��� ���
-�,��"��� � ������*� �� %���*�� � 0DDA� ����� �� �" �������� �
���*���� ��"����� �""�"��� � ��� &�������� � ��������� ��������$
O�" ��"����� �����"�" ��� � ��� *�,������� � �������������� ��*��"
�� ��� ������������������ � ����"������ ������"��" �� ��� �������"$
(���� $� �" � �""�"��� ����""�� � �*,���* ��������" 8����""�� �*
����"�" ����� 9��8��: �* &�������� � ���������� ��������" �*
() $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�! 0BB
����"���� �������� 9����: �� ��� -�,��"��� � ������ �����*�$
8���� �� )���� -��� &�$ � ��" � ��"�*������� ��"����� �""������ ��
-�,��"��� � ������*� �� %���*��$ O�" ��"����� �����"�" ��� � ���
������ ���� � �����""��E"��������E�������� �������"���" � �������
��������"$ ��"� �������� ��" ��"����� �" ���"�* � ��������*���,�*
�������" �* ����� ����������" � ���������������� ����$ &�$ � �" �
������ � ��� �������������� � ��������*���,�* ������� ����$ O�
��" ���� ��� 62 �����" � ��������" "����� �* ��������������
����������"$
5���� �) ���� � �" � �""������ ����""�� � ��������� �������� �*
��� *������� � ��� ���� T& ����������� -�,��"��� � ������*� ��
%���*��$ 8���� �� )���� ��� -�,��"���� �� ��" � �""������ ����""�� �*
��� *������� � ��� ��������������" �"����� ���������� � ���
&�������� � ���������� �* �������� ��������� ��� ����� <"������
� !��������� (������8�����"� ��� ����� %�"�� >��� 9HF0DD6 �� 06F
0DDG:$ 8��$ %�����N" ��"����� ����*�" ����� "����� �������������
�����"�"��"� �������������"� ���� "����""������ ���� ���/�����
��������������"� �* "�����*����� *�,��� ���"��"$ &�$ %����� �����,�*
��� ������� ����*" � ��� ���� � ����5 %�"� 8���� � ��� ���NDA K
<��������� ������� �* �.������� � ��������� ��*���" �* O����
*�"��� 8��/����� 0DDA7 $�$ %�"��� %�"� 8���� ����* �� ��� 0DDH
<��������� ������� � ������������� ������" �* !�� ����"$ &�$
%����� ��" �������* �* ����������* ���� ��� G2 �����" � ��� ����" �
����$ O� �" � ������ � <���� ����� �* �8<�$ O� "��,�" � ���
�.�����,� ��������� �� ���� ���� "���*�,�"��$
������ () ���� �" � �""������ ����""�� � ��������� ��������$ O�
�����,�* ��� 8�& � ��������� �������� � 0DD6 ��� ��� -�,��"���
� (�"�����$ 8���� �� )���� ��� ������ �� ��� -�,��"��� � ������*��
�� ��" � ��"�*������� �������� � � "���* �������" ����� �� ��*��
������ �����������"� �* � *�"�� ������ � � ���"*����" ����� �� ���
%���� ���������� ������� ������$ 8��$ &�N" ��"����� �����"�"
����*� 9�: ��� �������������� ����,��� 9������� �* *��������: �
��������" �* "��������" �� ���������������������� "�"���" ����������"�
9��: ��� ������������" �* ���"��" � �����������" ��*��� ����*��
*����"� �������"���"� �* �����"���"� ���� �����"�" � �������������
"���*"� �* 9���: ��� ����"��� ��������������� � �������� �����"��������$
O�" ��"����� �" ��"�* � � "���� ������� ������ ����������� �*
�.��������� ����"$ 8��$ &� ��" �����"��* �,�� H2 �������" � ������*
)�����" � ���"� "��)���" �* ��" ��� ��� �������� �� �����������
�,�"������� � ����" �* �������" � ���"� ����" ��� ��� &>�� > �
<�!� &� 8�� �* ��*�� ������ �����������"$
= � 1) ����� �" �������� ����""�� � ��������� �������� �*
*������� � ��� ����� �� �����"��� �* �,�������� �"����� �� ���
-�,��"��� � ������*� �� %���*��$ O� "��*��* ��������� �������� ��
��� -�,��"��� � ������� 9�����,�* %� *����� 0DHA �* �� *����� �
0DHD: �* �� �����* -�,��"��� 98�& � 0DG1:$ &�$ &���� �" � ������ �
8� !�� ������ ����� Q� 9��"�:� !�� �����"��� <"������� !�� >������
������� � �������� �* � �""������ ����� � !�� ������� <"������ �
���������" �* �"��������"$ O� ��" � 0DAG �������� � ��� ������� �
��������,� ������"N ���� �$ !����� ����* �� �������� �*������"$
��� 02 ����" �� ��" � ������ � ��� �� �����"�� %�� ���� ��� P������
�������� &�"����� �*,�"��� ������� �* ��" ����� �� 0DA1E0DAH$ O�
��" ����� � ��� �<�� 8��������" �* �����"��� !������� ���������
��� 0DAD �� 0DD6 �* �" ���"���� ����� � ��� 8���""���� ������
�*������ ���������$ O� �" ���"���� ����� � ��� ����� � ������*�
O����*��" (�"�� �����""�� �* "��,�* �" ��" ��"� ����� ��� �,�����
0DD6 ������� >������ 0DDB$ O� �" � ����"����* ����""���� ������ � ���
����� � ��������$
:�� � :�> ����� �� )���� �$-$ %���*�� � 0DDH� �� ��* "��,�* � ���
������ � ��������" ������ �* �������� �� ������ -�,��"��� �� 60
����"$ O� �����,�* ��� 8�& � ������* 8��"��" ��� O��,��* -�,��"��� �
0DG2$ O�" ��"����� �" � �����""�� � ���������������� �����"�
�����"���"� �* �������"$ O�" ��"� "������� ����������" ��,� ���
� �*��"��*�� ��� �������" ������ ���������������� �����""�� �*
��������� ����,���$ O� ��" �,�� 622 ����������" � ����� 012 ��� �
������* )�����"� �* ����*� 0C -� 8����"$ O� ��" ��� � =��������
������� � ���.�*�� ,� O�����*� ����� ������"� ����*�� �* �
�������" ������� �� ��" �����" ������ ����������$
0BC () $) (��& �� ��) * #����� ��� $������� $ �+ ,-��-. /-�0/�!