1

クリーンルーム清掃管理

目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内

の清浄度の維持に務める。

作成：クレイン テクノ コンサルティング

作成日：２０１３年８月２０日

URL： http://crane-techno.com/

2

目次： １．ＣＲ静電床の清掃 ・・・・・・・P2,3

２．ＣＲ天井の清掃 ・・・・・・・P4

３．ＣＲ壁の清掃 ・・・・・・・P5

４．ＣＲ設備・治工具の清掃 ・・・・・・・P6,7,8

５．ＣＲ清浄装置の清掃 ・・・・・・・・P9,10

６．ＣＲ清掃用具の管理 ・・・・・・・P１１

７．ＣＲ清掃人員・教育 ・・・・・・・P12

８．各清掃方法の効果 ・・・・・・・P13

９．クリーンルーム清掃方法 ・・・・・・・P14

3

１．ＣＲ静電床の清掃

１－１：日常清掃（頻度：毎日）

①初めにCR専用真空掃除機で床に堆積したダストを吸引する、

その際、掃除は一方向で行いダストを飛散させない。

②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

専用拭き取り用具を純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭く

良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。

純水 CR用ワイパー

目的：

ダストを吸引

目的：

汚れを拭き取る

目的：

ダストを吸引

一方向拭きは一番効果的な清掃方法

4

１－２：定期清掃（頻度：毎週）

①初めにCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水＋洗浄液使用）

②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。

純水 CR用ワイパー

①拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って

から清掃面を拭く

CR用ワイパー純水+洗浄液

ポリシャーを使用した方が汚れが

綺麗に取れる

目的：

汚れを拭き取る

目的：

汚れを拭き取る

目的：

汚れを拭き取る

水拭きは良く絞ってから拭く

5

２．CR天井の清掃

２－１：定期清掃（頻度：毎月）

①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

純水

天井

脚立等を使用して安全に注意して清掃のこと

6

３．ＣＲ壁の清掃

３－１：定期清掃（頻度：毎月）

①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

純水

上から下へ拭く。

上から下へ拭く

7

４．ＣＲ設備・治工具の清掃 ４－１：日常清掃（頻度：毎日） ①設備・治工具の外、内側のダストを両面テープ、掃除機で除去する。

②専用ワイパーにて両面テープが清掃できない箇所の一方向拭き清掃を実施。

（特に角部、内部）

③各設備毎の設備清掃作業手順書に場所、方法を詳細に記載し、実施。

設備の外側

両面テープ清掃

設備の内側、角部

両面テープ清掃

水拭きは良く絞ってから拭く

8

４－２：定期清掃（頻度：毎月）

①ＣＲ専用ワイパー清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って から設備・治工具の外、内側を一方向拭きを行う。

②次に専用ワイパーを純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭き洗剤成分を取り除く

良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。

。

設備の外・内側

清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）による清掃

設備の外・内側

純水による清掃

（純水＋洗浄液使用）

（純水使用）

角部はゴミが残りやすので要注意

9

４－２：定期清掃（頻度：毎月）

①設備天井及ダクト管の上部をCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用）

純水

ダクト上 設備天井

水拭きは良く絞ってから拭く

10

５．ＣＲ清浄装置の清掃

５－１：定期清掃（頻度：毎日） ①エアーシャワー内部（下部）のダストを掃除機で除去する。

②エアーシャワー内部（下部、壁）を一方向水拭き清掃する。

（特に角部）

エアーシャワー内部

水拭きは良く絞ってから拭く

エアーシャワー内部

11

５－２：定期清掃（頻度：毎月） ①エアーシャワー下部、壁部の取り付け板を外し堆積しているダストを掃除

機で除去する。

②次に一方向水拭き清掃する。

（特に角部）

エアーシャワー下部

（取り付け板を外した状態）

水拭きは良く絞ってから拭く

エアーシャワー壁部

（取り付け板を外した状態）

12

６．清掃用具のクリーニング管理

ＯＫ限度 ＮＧ限度

１）掃除機：

使用後、吸い込み口を純水に浸した清掃用具で清掃。

（目的：使用後、吸い込み口に付着したダストを取り除く）

２）ワイパー： 限度基準以上になったら交換ＯＫ限度/NG限度サンプルにて判定

３）両面ローラー：汚れが限度基準以上になったら交換

４）粘着マット：汚れが限度基準以上になったら交換

クリーニング用具によるCR汚染がないように置き場所もCR外とする事

13

７．ＣＲ清掃教育＆清掃資格

1) 新人教育としＣＲ内清掃についての意義、方法を

教育する。

2)ＣＲ内清掃教育実施後、実際に工程にて実技教育

を行う。

３）最後に各人の清掃方法を確認し、評価を行う。

CR清掃の意義と方法を新人に教育すること

14

８．各清掃方法の効果

一方向水拭きが一番効果あり

15

９．クリーンルーム清掃方法 クリーンルーム室内の清掃方法及び清掃頻度

日本空気清浄協会・指針

毎日 毎週 毎月

クラス３

クラス４上記以外 B清掃 A清掃 1回/日クラス３クラス４上記以外 1回/2ヶ月

清掃方法A: 清掃方法B:

①次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。

①拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って

　から清掃面を拭く。 純水 拭き取り用具

専用洗剤＋純水 拭き取り用具

③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。

②次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。

純水 拭き取り用具

③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。

1回/日

天井B清掃 1回/月

床B清掃 A清掃

部屋の位置 レベルふき取り方法とその頻度

真空掃除

一方向水拭きがBEST