v˚‹t l˝ mÀng m˚˛ng hoc quang dien tu/semina... · logo xác định loại phổ cần làm...
TRANSCRIPT
LOGO
VẬT LÍ MÀNG MỎNG
HVTH: LÊ HOÀNG NAM
MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN
PHƯƠNG PHÁP ĐO
LOGO
LOGOPHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG
Phương pháp nhiễu xạ tia X
Phương pháp Stylus
Phép đo hiệu ứng Hall
Phương pháp đo điện trở suất
Phương pháp sử dụng phần mềm Scout
LOGOPHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X
Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt
Cơ sở :
cos)2(
9.0
b
Công thức Sherrer
LOGO
Sơ đồ khối của máy đo Stylus :
Bàn soiBàn soi
LVTDLVTD
MẫuMẫu
Điều kiện tín hiệuĐiều kiện tín hiệu
Bộ nhớ máy tínhBộ nhớ máy tính
Chuyển đổi A/DChuyển đổi A/D
Mục đích : Xác định độ dày của màng
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
LOGOPHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động
Cơ sở :
Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall
.( )L DF q V B r r r
LOGOPHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
y x zq E q E B
y x zE E B
.y
H a l lz x
ER
B j
. . 1
. . . . .x z
Hallx z
E BR
E B q n q n
Ở trạng thái cân bằng
Ta có :
LOGOXÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo điện trở vuông
.R d W
LOGOXÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo bốn mũi dò
.sR d Cách đo:
với . .ln 2s
UR G
I
Công thức tổng quát
G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vàohình dạng và kích thước của mẫu)
LOGO
Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nódựa trên các thông số đã khai báo
Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout
Mục đích : độ dày, chiết suất, độ rộng vùngcấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linhđộng. Nguyên tắc :
Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông sốquang ban đầu của vật liệu
Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyếttrùng khớp với phổ thực nghiệm nhất.
Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốtnhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng.
LOGO
CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦYVÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI