TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN

BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG

VẬT LÝ MÀNG MỎNGVẬT LÝ MÀNG MỎNG

GVTH:GVTH: PGS. TS. LÊ VĂN HIẾU PGS. TS. LÊ VĂN HIẾUHVTH:HVTH: PHAN TRUNG VĨNH PHAN TRUNG VĨNH

MÀNG CƠ

Đế (Substrate)

Màng (Coating)

Lớp xen phủ màng-đế

Độ gồ ghề (Roughness)Độ gồ ghề (Roughness) Độ mài mòn (Erosion)Độ mài mòn (Erosion) Độ hao mòn/Độ oxy hóaĐộ hao mòn/Độ oxy hóa(Corrosion/Oxidation)(Corrosion/Oxidation)

Các tính chất điệnCác tính chất điện(Electronic Properties)(Electronic Properties) Các đặc tính ma sátCác đặc tính ma sát(Frictional Characteristics)(Frictional Characteristics) Độ xốp (Porosity)Độ xốp (Porosity)

Đa lớp (Multilayers)Đa lớp (Multilayers) Các thành phần sắp xếpCác thành phần sắp xếp(Graded Composition)(Graded Composition) Độ bám dính (Adhesion)Độ bám dính (Adhesion) Tính chất quangTính chất quang

Sức căng còn dưSức căng còn dư(Residual Stress)(Residual Stress) Độ gắn kết (Cohesion)Độ gắn kết (Cohesion) Vết nứt/Sai hỏngVết nứt/Sai hỏng(Crackinh/Defect)(Crackinh/Defect)

Độ bám dính (Adhesion)Độ bám dính (Adhesion) Các tính chất của đếCác tính chất của đế(Substrate Properties)(Substrate Properties) Độ giãn nở không đềuĐộ giãn nở không đều(Expansion Mismatch)(Expansion Mismatch)

Sự khuyếch tán qua lạiSự khuyếch tán qua lại(Interdiffusion)(Interdiffusion) Các rào thế khuyếch tánCác rào thế khuyếch tán(Diffusion Barriers)(Diffusion Barriers) Độ sạch/Độ gồ ghềĐộ sạch/Độ gồ ghề(Cleanliness/Roughness)(Cleanliness/Roughness)

Độ cứng (Hardness)

Độ bám dính (Adhesion)

Hình 1Hình 1: Một vài tính chất: Một vài tính chất

quan trọng của hệ màng-đếquan trọng của hệ màng-đế

trong các ứng dụng côngtrong các ứng dụng công

nghệnghệ

1. Các phương pháp đo độ cứng1. Các phương pháp đo độ cứng

Độ cứngĐộ cứngcủa vật liệucủa vật liệu

Sự biến dạng không đàn hồiSự biến dạng không đàn hồi(Plastic Deformation)(Plastic Deformation)

Sự mài mònSự mài mòn

Đ/NĐ/N Tác nhânTác nhânbên ngoàibên ngoàiTínhTính

chốngchốnglạilại

Thang đoThang đo

MacroMacro

MicroMicro

NanoNano

Tùy thuộcTùy thuộc Độ dàyĐộ dàymàngmàng

Màng dàyMàng dày(>10(>10μμm)m)

Màng mỏngMàng mỏng(<10(<10μμm)m) P

hư

ơn

g p

há

p đ

o tr

ực

tiếp

Phương pháp RockwellPhương pháp Rockwell

Phương pháp BrinellPhương pháp Brinell

Phương pháp VickersPhương pháp Vickers

Phương pháp KnoopPhương pháp Knoop

Phương pháp MohsPhương pháp Mohs

SAI SỐ LỚNSAI SỐ LỚN

Mô hình Luật hòa hợp thể tíchMô hình Luật hòa hợp thể tích(Volume Law-of-mixtures Model)(Volume Law-of-mixtures Model)Hiệu chỉnhHiệu chỉnh

Nguyên tắc chung của các phương phápNguyên tắc chung của các phương phápđo độ cứng của màngđo độ cứng của màng

Dùng 1 đầu khắcDùng 1 đầu khắc(indenter) có thể điều(indenter) có thể điềukhiển đặt tiếp xúckhiển đặt tiếp xúcvuông góc với màngvuông góc với màng

Áp 1 lực tăng dầnÁp 1 lực tăng dầnlên đầu khắc (load),lên đầu khắc (load),đầu khắc xuyên vàođầu khắc xuyên vàotrong màng ngàytrong màng ngàycàng sâucàng sâu

Ngắt lực ấn (unload),Ngắt lực ấn (unload),do tính đàn hồi của màng,do tính đàn hồi của màng,đầu khắc bị màng đẩy rađầu khắc bị màng đẩy ravới 1 lực nhất định.với 1 lực nhất định.

Hình dạng đầu khắc, độ sâu vết khắc, lực ấn, lực đẩy đầu khắcHình dạng đầu khắc, độ sâu vết khắc, lực ấn, lực đẩy đầu khắc ĐỘ CỨNG CỦA MÀNGĐỘ CỨNG CỦA MÀNG

Đế (Substrate)

Màng (Coating)

Lớp xen phủ màng-đế

Indenter Lực ấn Lực đẩy

Sơ đồ 1 hệ đo độ cứng màng (Hệ Nanoindenter)Sơ đồ 1 hệ đo độ cứng màng (Hệ Nanoindenter)

Mẩu màng được đặt trên 1 cái bàn, bàn Mẩu màng được đặt trên 1 cái bàn, bàn được điều khiển dịch chuyển theo phương x, yđược điều khiển dịch chuyển theo phương x, y(bước dịch chuyển là 100nm) bằng máy tính(bước dịch chuyển là 100nm) bằng máy tính

Đầu khắc (Indenter) được lắp vào một cầnĐầu khắc (Indenter) được lắp vào một cầntrục, trục này được điều khiển lên xuống nhờtrục, trục này được điều khiển lên xuống nhờhiệu ứng áp điện hiệu ứng áp điện

Khi đầu khắc đâm vào màng, mọi di chuyểnKhi đầu khắc đâm vào màng, mọi di chuyểncủa đầu khắc đều được bộ cảm biến ghi nhậncủa đầu khắc đều được bộ cảm biến ghi nhận

Hệ thống được làm lạnh để tránh ảnh hưởng của nhiệt độHệ thống được làm lạnh để tránh ảnh hưởng của nhiệt độ

Đầu khắc (Indenter) là một khối kim cươngĐầu khắc (Indenter) là một khối kim cươngcó hình dạng nhất địnhcó hình dạng nhất định

Tín hiệu cơ thể hiện dịch chuyển của đầuTín hiệu cơ thể hiện dịch chuyển của đầuKhắc được chuyển sang tín hiệu điện, đếnKhắc được chuyển sang tín hiệu điện, đếnmáy tính xử lý máy tính xử lý

Hình dạng vết khắc trên màngHình dạng vết khắc trên màngvới indenter hình chóp tam giácvới indenter hình chóp tam giác

Sơ đồ hệ đo độ cứng màngSơ đồ hệ đo độ cứng màng(Hệ Nanoindenter)(Hệ Nanoindenter)

Đường màu đỏĐường màu đỏ: Áp lực lên đầu khắc. Độ xuyên sâu: Áp lực lên đầu khắc. Độ xuyên sâuvào màng tăng dần theo lực áp.vào màng tăng dần theo lực áp.

Độ sâu của đầu khắc(Indenter) trong màng

Lực

áp lê

n đầ

u kh

ắc

Đường màu xanhĐường màu xanh: Ngắt áp lực lên đầu khắc. Đầu: Ngắt áp lực lên đầu khắc. Đầukhắc bị đẩy ra ngoài (độ sâu giảm dần) với lực giảm dầnkhắc bị đẩy ra ngoài (độ sâu giảm dần) với lực giảm dần

Đường biểu diễn ápĐường biểu diễn áp

lực-độ dịch chuyểnlực-độ dịch chuyển

Indenter của 3 mẩuIndenter của 3 mẩu

màng phủ Cu nanomàng phủ Cu nano

trên đế Si tại 3 trạngtrên đế Si tại 3 trạng

thái kết tụ (thái kết tụ (agglomeraagglomera

-tion) -tion) khác nhaukhác nhau

a) Kết tụ mạnha) Kết tụ mạnh

b) Kết tụ trung bìnhb) Kết tụ trung bình

c) Kết tụ yếuc) Kết tụ yếu

Nhận xét:Nhận xét: Mẩu kết tụ mạnh thì đường biểu diễn càng dốc, tức Mẩu kết tụ mạnh thì đường biểu diễn càng dốc, tứcáp lực đặt lên indenter tăng càng nhanh theo độ sâu vào trongáp lực đặt lên indenter tăng càng nhanh theo độ sâu vào trongmẫu, tức là màng càng cứng.mẫu, tức là màng càng cứng.

Kết luận:Kết luận: Vật liệu có đường biểu diễn Áp lực-độ dịch chuyển Vật liệu có đường biểu diễn Áp lực-độ dịch chuyểncàng lệch về phía trái thì có độ cứng càng caocàng lệch về phía trái thì có độ cứng càng cao

Các phương pháp đo độ cứng của vật liệuCác phương pháp đo độ cứng của vật liệu

PHƯƠNG PHÁP ROCKWELLPHƯƠNG PHÁP ROCKWELL

Indenter là quả cầuIndenter là quả cầuthép hay có dạng hìnhthép hay có dạng hìnhnón bằng kim cươngnón bằng kim cương(góc nón 120(góc nón 12000), đường), đườngkính 0,2mm, được gọikính 0,2mm, được gọilà Brale.là Brale.

F0 Indenter được áp vào vậtIndenter được áp vào vậtliệu 1 lực nhỏ Fliệu 1 lực nhỏ F00 = 10kgf*. = 10kgf*.

*kgf: kilogram-force; 1 kgf = 9,80665 Newton*kgf: kilogram-force; 1 kgf = 9,80665 Newton

Khi đạt trạng thái cân bằng,Khi đạt trạng thái cân bằng,độ đâm xuyên được set về 0.độ đâm xuyên được set về 0.

F0

d = d0

d = 0F0

Một lực lớn được áp vàoMột lực lớn được áp vàoindenter, độ đâm xuyên tăngindenter, độ đâm xuyên tăng

F1

d = d1

F0

d0< d2 < d1

Ngắt lực lớn FNgắt lực lớn F11, vẫn giữ, vẫn giữ

lực Flực F00, độ xuyên sâu giảm, độ xuyên sâu giảm

Độ cứng Rockwell:Độ cứng Rockwell:

HR = E – eHR = E – e E = const, tùy thuộc loạiE = const, tùy thuộc loạiindenterindenter e = de = d22 – d – d00

d = d2

E = 130 E = 100 1200

Độ cứng Rockwell không có đơn vị mà chia theo các thang đoĐộ cứng Rockwell không có đơn vị mà chia theo các thang đoA, B, C, D,... Thang đo càng cao, vật liệu càng cứng.A, B, C, D,... Thang đo càng cao, vật liệu càng cứng.

Typical Application of Rockwell Hardness Scales

HRA . . . . Cemented carbides, thin steel and shallow case hardened steelHRB . . . . Copper alloys, soft steels, aluminium alloys, malleable irons, etc.HRC . . . . Steel, hard cast irons, case hardened steel and other materials harder than 100 HRBHRD . . . . Thin steel and medium case hardened steel and pearlitic malleable ironHRE . . . . Cast iron, aluminium and magnesium alloys, bearing metalsHRF . . . . Annealed copper alloys, thin soft sheet metalsHRG . . . . Phosphor bronze, beryllium copper, malleable irons HRH . . . . Aluminium, zinc, leadHRK . . . . }HRL . . . . }HRM . . . .} . . . . Soft bearing metals, plastics and other very soft materialsHRP . . . . }HRR . . . . }HRS . . . . }HRV . . . . }

PHƯƠNG PHÁP BRINELLPHƯƠNG PHÁP BRINELL

Một quả cầu thép hay tungstenMột quả cầu thép hay tungstencarbibe (D = 10mm) được ép vào bềcarbibe (D = 10mm) được ép vào bềmặt vật liệu một lực 500 – 3000kg (tùymặt vật liệu một lực 500 – 3000kg (tùyvật liệu) trong khoảng 30s.vật liệu) trong khoảng 30s.

D

F

Sau đó lấy quả cầu đi, đường kínhSau đó lấy quả cầu đi, đường kínhvết lõm trên vật liệu được đo bằngvết lõm trên vật liệu được đo bằngkính hiển vikính hiển vi

R1 = D1/2

Chỉ số độ cứng Brinell:Chỉ số độ cứng Brinell:

BHN =BHN =Lực tác dụngLực tác dụng

SSbề mặt vết lõmbề mặt vết lõm

2 21

2

.

FBHN

D D D D

F: lực tác dụngF: lực tác dụngD: đường kínhD: đường kínhindenterindenterDD11: đường kính: đường kính

vết lõm gây ravết lõm gây rabởi indenterbởi indenter

HBS 10/100: indenter bằng thép, D = 10mm, F = 100kgHBS 10/100: indenter bằng thép, D = 10mm, F = 100kgHBW: indenter bằng tungstenHBW: indenter bằng tungsten

PHƯƠNG PHÁP VICKERSPHƯƠNG PHÁP VICKERS

Indenter là mẩu kim cương hình kim tự tháp,Indenter là mẩu kim cương hình kim tự tháp,góc 2 mặt đối diện là 136góc 2 mặt đối diện là 13600. Indenter được áp vào. Indenter được áp vàovật liệu với lực từ 1 – 100 kg trong 10 giây.vật liệu với lực từ 1 – 100 kg trong 10 giây.

Sau đó indenter được lấy ra, kích thước vếtSau đó indenter được lấy ra, kích thước vếtlõm trên vật liệu được đo bằng kính hiển vi.lõm trên vật liệu được đo bằng kính hiển vi.

Chỉ số độ cứng VickersChỉ số độ cứng Vickers

HV =HV =Lực tác dụngLực tác dụng

Diện tích vết lõmDiện tích vết lõm2 2

0 1,8541362sin

2

d dA

2 2

1,854

1,854

F F FHV

dA d

F: lực tác dụngF: lực tác dụngA: diện tích vếtA: diện tích vếtlõmlõmd: chiều dài trungd: chiều dài trungbình của đườngbình của đườngchéo vết lõmchéo vết lõmdo indenter đểdo indenter đểlạilạixxxHVyyy: xxx là độxxxHVyyy: xxx là độcứng, HV là thangcứng, HV là thangVickers, yy là lực tácVickers, yy là lực tácdụngdụng

Ảnh chụp SEM của vết lõmẢnh chụp SEM của vết lõmtrên màng TiN dày 2trên màng TiN dày 2μμm m phủphủtrên đế thép tinh khiết tạotrên đế thép tinh khiết tạobởi indenter Vickers tại cácbởi indenter Vickers tại cáclực tác dụng khác nhau vàlực tác dụng khác nhau vàđộ xuyên sâu tương ứngđộ xuyên sâu tương ứng

Ảnh chụp SEM tiết diệnẢnh chụp SEM tiết diệncủa vết lõm tạo bởicủa vết lõm tạo bởiindenter Vickers trongindenter Vickers trongmàng Molybdenummàng Molybdenum (Mo)đa tinh thể

PHƯƠNG PHÁP KNOOPPHƯƠNG PHÁP KNOOP

Tương tự như phương pháp Vickers, indenterTương tự như phương pháp Vickers, indenterlà mẩu kim cương hình kim tự tháp có các góclà mẩu kim cương hình kim tự tháp có các góc13613600 và 172,5 và 172,500. Indenter được áp vào vật liệu với. Indenter được áp vào vật liệu vớilực từ 1 – 100 kg trong 10 giây.lực từ 1 – 100 kg trong 10 giây.

Sau đó indenter được lấy ra, kích thước vếtSau đó indenter được lấy ra, kích thước vếtlõm trên vật liệu được đo bằng kính hiển vi.lõm trên vật liệu được đo bằng kính hiển vi.

Chỉ số độ cứng KnoopChỉ số độ cứng Knoop

HK =HK =Lực tác dụngLực tác dụng

Diện tích vết lõmDiện tích vết lõm

F: lực tác dụngF: lực tác dụngA: diện tích vếtA: diện tích vếtlõmlõmll: chiều dài: chiều dàiđường chéođường chéolớn nhất củalớn nhất củavết lõm dovết lõm doindenter để lạiindenter để lại2 2

14,229

14,229

F F FHK

lA l

2

14,229

lA

PHƯƠNG PHÁP ĐỊNH TÍNH MOHSPHƯƠNG PHÁP ĐỊNH TÍNH MOHS

Phương pháp này Phương pháp này lấy độ cứnglấy độ cứng

của 10 loại khoáng vậtcủa 10 loại khoáng vật khác nhau khác nhau

có trong tự nhiên để làm thang đocó trong tự nhiên để làm thang đo

chuẩn. Trong đó, kim cương làchuẩn. Trong đó, kim cương là

cứng nhất và Talc là mềm nhất.cứng nhất và Talc là mềm nhất.

Cách xác địnhCách xác định

Tìm Tìm 2 khoáng vật2 khoáng vật chuẩn liên chuẩn liên

tiếp trong tiếp trong thang Mohsthang Mohs

Lấy Lấy vật liệu cần đovật liệu cần đo cào lên bề cào lên bề

mặt hai mẩu khoáng vật, khảo sátmặt hai mẩu khoáng vật, khảo sát

mẩu mẩu khoáng vật nào bị trầykhoáng vật nào bị trầy

Độ cứngĐộ cứng của vật liệu cần đo của vật liệu cần đo

nằm ở giữanằm ở giữa độ cứng của 2 độ cứng của 2

khoáng vật.khoáng vật.

Mô hình Luật hòa hợp thể tíchMô hình Luật hòa hợp thể tích(Volume Law-of-mixtures Model)(Volume Law-of-mixtures Model)

Đối với Đối với màng mỏngmàng mỏng, sự , sự đóng gópđóng góp của độ cứng của độ cứng của đếcủa đế và độ cứng và độ cứngcủa của lớp phân cáchlớp phân cách khi đo đạc càng lớn khi đo đạc càng lớn Xây dựng Xây dựng mô hình để loại bỏmô hình để loại bỏ đóng góp của đế và lớp phân cách đóng góp của đế và lớp phân cách

Sargent, Burnett, Rickerby

Mô hình Luật hòa hợp thể tíchMô hình Luật hòa hợp thể tích(Volume Law-of-mixtures Model)(Volume Law-of-mixtures Model)

Ý tưởng chung

Độ cứng đo đượcĐộ cứng đo được(màng & đế)(màng & đế)

Độ cứng của đếĐộ cứng của đế

Độ cứng của màngĐộ cứng của màng

Biểu thức liên hệ giữa độ cứngBiểu thức liên hệ giữa độ cứngmàng, đế và hệ màng-đế:màng, đế và hệ màng-đế:

3

3

f sc f s f s

f sc f s f s

V VH H H H H

V VV V

H H H H HV V

Trong đó:Trong đó:HHff là độ cứng của màng là độ cứng của màng

HHss là độ cứng của đế là độ cứng của đế

HHcc là độ cứng của hệ màng đế là độ cứng của hệ màng đế

3

3

f sc f s f s

f sc f s f s

V VH H H H H

V VV V

H H H H HV V

Trong đó:Trong đó:HHff là độ cứng của màng là độ cứng của màng

HHss là độ cứng của đế là độ cứng của đế

HHcc là độ cứng của hệ màng đế là độ cứng của hệ màng đế

3

3

f s f s

f s f s

V V V H H

V V V H H

VVff là thể tích biến dạng của màng là thể tích biến dạng của màng

VVss là thể tích biến dạng của đế là thể tích biến dạng của đế

V là thể tích biến dạng toàn phầnV là thể tích biến dạng toàn phần

Deforming Volume: Thể tích biến dạng

n

f s

s f

E H

E H

χχ là thừa số thực nghiệm, được xác định: là thừa số thực nghiệm, được xác định:EEff là ứng suất* của màng; E là ứng suất* của màng; Ess là ứng suất của đế là ứng suất của đế

* Ứng suất là nội lực tồn tại bên trong vật thể, xuất hiện khi vật thể bị biến dạng vàcó khuynh hướng chống lại sự biến dạng đó.

Vf

Vs

Vf

Vs

f s

f s

E E

H H

f s

f s

E E

H H

n = 1/2n = 1/2đếnđến1/31/3

(TN)(TN)

Sự

biế

n đổ

i độ

cứng

Sự

biế

n đổ

i độ

cứng

Lực tác dụng lên indenter (g)

Màng

Màng

Đế

Đế

Hệ Màng-Đế

Hệ Màng-Đế

Đường cong nội suy thểĐường cong nội suy thểhiện sự biến đổi độ cứnghiện sự biến đổi độ cứngcủa màng theo lực tác dụngcủa màng theo lực tác dụnglên indenter đối với mànglên indenter đối với màngTiN phủ trên đế thép tinhTiN phủ trên đế thép tinhkhiết độ dày 14khiết độ dày 14μμm.m.

14μm TiN/Thép tinh khiết

2μm TiN/Thép tinh khiết

Đường cong nội suy thể hiệnĐường cong nội suy thể hiệnsự biến đổi độ cứng của màngsự biến đổi độ cứng của màngtheo lực tác dụng lên indentertheo lực tác dụng lên indenterđối với màng TiN phủ trên đếđối với màng TiN phủ trên đếthép tinh khiết độ dày 2thép tinh khiết độ dày 2μμm.m.

2. Các phương pháp đo độ bám dính2. Các phương pháp đo độ bám dính

Độ bám dínhĐộ bám dính(Adhesion)(Adhesion)

Mức độ liên kết giữa 2 vật liệuMức độ liên kết giữa 2 vật liệu

Năng lượng cần thiết đểNăng lượng cần thiết đểphá vỡ liên kết giữa 2 vật liệuphá vỡ liên kết giữa 2 vật liệu

Đ/N

đo đạc

Giữa màng và đế Lực căng cần thiết để bócLực căng cần thiết để bócmàng ra khỏi đếmàng ra khỏi đế

Phương pháp phổ biếnPhương pháp phổ biếnđo độ bám dính màng-đếđo độ bám dính màng-đế

Phương pháp vết lõmPhương pháp vết lõm(Indentation Test)(Indentation Test)

Phương pháp càoPhương pháp cào(Scratch Test)(Scratch Test)

PHƯƠNG PHÁP VẾT LÕMPHƯƠNG PHÁP VẾT LÕM Mẫu được làm lõm bằng indenter với nhiều lực tác dụng khác nhauMẫu được làm lõm bằng indenter với nhiều lực tác dụng khác nhau

Lực tác dụng còn thấpLực tác dụng còn thấpMàng biến dạng đàn hồi cùng với đếMàng biến dạng đàn hồi cùng với đế Lực tác dụng đủ lớnLực tác dụng đủ lớnMàng bị nứt (crack). Mật độ vết nứtMàng bị nứt (crack). Mật độ vết nứttăng khi tăng lực tác dụng.tăng khi tăng lực tác dụng.

Ảnh chụp SEM của vết lõm trên màngẢnh chụp SEM của vết lõm trên màngTiN dày 2TiN dày 2μμm m phủ trên đế thép tinh khiếtphủ trên đế thép tinh khiết

Lực tác dụng lớn nhất màLực tác dụng lớn nhất mà

màng chưa bị nứtmàng chưa bị nứt

Độ bám dínhĐộ bám dính

PHƯƠNG PHÁP CÀOPHƯƠNG PHÁP CÀO

Bề mặt mẫu được cào bằng 1 mũi nhọnBề mặt mẫu được cào bằng 1 mũi nhọnvới nhiều lực ép tăng dần cho đến khi lớpvới nhiều lực ép tăng dần cho đến khi lớpmàng bị lấy đi hoàn toàn.màng bị lấy đi hoàn toàn.

Substrate

L LcL: lực tác dụng lênL: lực tác dụng lênmũi nhọnmũi nhọnLLcc: lực tác dụng tới: lực tác dụng tới

hạn, tại đó màng bịhạn, tại đó màng bịtách ra hoàn toàntách ra hoàn toàn

LLcc xác định độ bám xác định độ bám

dính của màngdính của màng

MacroMacro

MicroMicro

NanoNano

Kích thướcKích thướcmũi nhọnmũi nhọn

Lực tác dụngLực tác dụng

Mũi nhọn: hình nón, R = 200Mũi nhọn: hình nón, R = 200μμm,m,L = 1 đến 200NL = 1 đến 200N

Mũi nhọn: hình nón, R = vài trăm nmMũi nhọn: hình nón, R = vài trăm nmđến vài đến vài μμm; L = vài trăm m; L = vài trăm μμN đến vàiN đến vàichục mNchục mN Mũi nhọn: hình kim tự tháp 3 mặt,Mũi nhọn: hình kim tự tháp 3 mặt,R = 100nm; L = 10 đến 100R = 100nm; L = 10 đến 100μμNN