si cmosを用いた60ghz帯無線通信 回路の検討...lna circuit vb1 vb2 cc1 vdd1 cout rfin...

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Matsuzawa & Okada Lab. Matsuzawa & Okada Lab. Si CMOSを用いた60GHz帯無線通信 回路の検討 ○高山 直輝、松下 幸太、伊藤 彰吾、李 寧、 岡田 健一、松澤 昭 東京工業大学大学院理工学研究科

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Page 1: Si CMOSを用いた60GHz帯無線通信 回路の検討...LNA Circuit Vb1 Vb2 CC1 Vdd1 Cout RFin RFout Cin Vdd2 Pad Pad Vdd3 Vb3 CC2 0.1 80 0.1 40 0.1 40 0.1 65 μ 40 70μ 125μ 20μ

Matsuzawa& Okada Lab.Matsuzawa& Okada Lab.

Si CMOSを用いた60GHz帯無線通信回路の検討

高山直輝、松下幸太、伊藤彰吾、李寧、岡田健一、松澤昭

東京工業大学大学院理工学研究科

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2009/05/19 N. Takayama, Tokyo Tech.

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Matsuzawa& Okada Lab.Matsuzawa& Okada Lab.

目次

• 研究背景• ディエンベディング• モデリング

–トランジスタ–デカップリングキャパシタ

• 電力増幅器• 低雑音増幅器

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研究背景

60GHz帯の電波は減衰しやすいため各地域で幅広い帯域が無免許で使用できるよう開放されている

Si CMOSプロセスでの製造

低コスト、高集積化が可能

民生機器へのミリ波通信機能の搭載

画像伝送用システムデータ伝送用システム

近距離での高速無線通信の実現

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RFフロントエンド

Digital Base Band

・LNA、PA、Mixer、PLLを設計し、1Chipへの集積化を目指す・今回は各コンポーネントの試作を行った

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De-embeddingの問題点・Open De-embedding

・Open-Short De-embedding

Probe

Signal PAD

TransmissionLine

Shortが理想的な短絡にならない

20~30µm

PADのシリーズ成分を引けない全体の線路長に対し無視できない長さ

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ディエンベディング結果の比較

Open De-embedding Thru only De-embedding

・Openディエンベディングでは用いる伝送線路の長さによって特性インピーダンスが大きく異なってしまう・Thruディエンベディングを用いることによってPADのシリーズ成分も除去することができ、伝送線路の長さによらず特性インピーダンスが一定となる

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トランジスタのモデリング(Sパラ)

Gate

Source

Drain

PDK

MA

G [d

B]

Reflect (Gate) Reflect (Drain)

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トランジスタのモデリング(DC)

0

0.01

0.02

0.03

0.04

0.05

0.06

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2

Vds [V]

Ids

[A]

sim実測

トランジスタサイズ : 80µm

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De-coupling Capacitor

反射特性 1~67GHz0 20 40 60

周波数 [GHz]

特性インピーダンス

0

10

20[Ω]

実測

モデリングInter-digital Capacitor

De-coupling Capacitorを特性インピーダンスの低い伝送線路としてモデリング

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4-stage PA Circuit

Vds=1.2[V]Vgs1=0.95[V]Vgs2=0.95[V]Vgs3=0.8[V]Vgs4=0.85[V]

RFin

Vgs1

Vds1 Vgs2

Vds2 Vgs3

160μm

270μm

70μm

60μm

370μm 130μm

70μm

170μm 270μm

20μm

W=40μm

W=40μm

100fF100fF

100fF

4.25pF

9.875pF

8.75pF

6.875pF 5.75pF

RFout

Vds3 Vgs4

Vds4

140μm 20μm

370μm 290μm

50μm

310μm

150μm

70μm

W=80μm

W=80μm100fF

75fF

5.75pF 5.75pF

7.25pF

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4-stage PA layout

1500µm

855µm

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4-stage PA Measurement ResultS(1,1) ~110GHz

利得

S(2,2) ~110GHz

大信号特性@60GHz

Meas.Sim.

-25 -20 -15 -10 -5Pin [dBm]

-10

-5

5

15

10

0Po

ut [d

Bm]

0

5

10

15

20

25

Gain [dB]

50 60 70Frequency [GHz]

40 800

5

10

20

15

Meas.Sim.

Gai

n [d

B]

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従来研究との比較(LNA)This work [1] [2] [3] [4]

Technology

65nm CMOS

90nm CMOS

1.2

14

11

PDC[mW] 122 81 229 43.5 17815

90nm CMOS

65nm CMOS

90nm CMOS

Vdd [V] 1.2 1.2 1 1.8Gain [dB] 16 8.2 15.8 30

P1dB[dBm] 4.6 8.2 2.5 10.3

PAE [%] 2.3 2.4 3.95 10.3[1] Tim LaRocca et al., “60GHz CMOS Differential and Transformer-Coupled Power Amplifier for Compact

Design,”IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium, pp. 65-68, June 2008[2] T. Suzuki et al., “60 and 77GHz power amplifiers in standard 90 nm CMOS,” IEEE Solid-State Circuits

Conference, pp. 562-636, February 2008[3] Wei L Chan et al., “A 60GHz-Band 1V 11.5dBm Power Amplifier with 11% PAE in 65nm CMOS,” IEEE

Solid-State Circuits Conference, pp. 380-381, February 2009[4] Jing-Lin Kuo et al., “A 50 to 70 GHz Power Amplifier Using 90 nm CMOS Technology,” IEEE MICROWAVE

AND WIRELESS COMPONENTS LETTERS, VOL. 19, NO. 1, January 2009

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LNA Design Technique

Noise CirclesAvailable Gain Circles

・Noise MatchingとGain Matchingのインピーダンスが異なる

・NFを良くしようとすると入力端で反射が起こる

・Source degenerationとして伝送線路を挿入し、Noise MatchingとGain Matchingのインピーダンスを合わせる

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LNA Circuit

Vb1Vb2

CC1

Vdd1

Cout

RFin

RFout

Cin

Vdd2

Pad Pad

Vdd3

Vb3

CC2

1.080

1.040

1.040

1.040 70μ65μ

125μ 20μ

20μ 20μ

120μ

20μ 20μ 0μ

20μ 50μ

50μ

140μ

70μ

120μ195μ

120μ195μ

70μ

90μ

80μ

SiCMOS 90nmVdd = 1.2 [V]Vbiad = 0.6 [V]

・利得を稼ぐため、3段構成・3段目は利得を大きくするためにCascode構成を用いた・1、2段目はNoiseの影響を考慮し、単なるSource Degenerationを用いている

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LNA Simulation Result

S(1,1) (59~65GHz)

< -11.4 dB

S(2,2)(59~65GHz)

< -5.1 dB

Gain@60GHz 15 dB

NF@60GHz 5 dB

Power Cons. 22 mW

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従来研究との比較(LNA)

Proposed [5] [6] [7] [8] [9]Technology

90nm CMOS

90nm CMOS

CS

15

4.4

3.9

90nm CMOS

90nm CMOS

90nm CMOS

65nm CMOS

Topology Dual-CS cascode cascode CS cascode

Gain [dB] 15 14.6 15.5 12.2 22.3

(diff.)NF [dB] 5.0 5.5

(sim) 6.5 6 (sim) 6.1

Power [mW] 22 24 86 10.5 35

[5] Emanuel Cohen, et al., RFIC, pp. 61-64, 2008. [6] Terry Yao, et al., IEEE JSCC, vol. 42, no. 5, pp. 1044-1057, 2007.[7] Stefano Pellerano, et al., ESSCIRC, pp. 352-355, 2007. [8] Babak Heydari, et al., IEEE JSCC, vol. 42, no. 12, pp. 2893-2903, 2007. [9] Christopher Weyers, et al., ISSCC, pp. 192-192, 2008.

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まとめ

• 60GHz帯において素子のモデリングを行う時、ディエンベディング手法によって大きな差が出てしまう。Thru only de-embeddingを用いることにより、より正確にTEGの寄生成分を除去できることを確認した。

• 65nmCMOSプロセスを用いて4-stage PAを試作した。利得は16dB、P1dBは4.6dBmの性能を得た。

• ソースデジェネレーションを用いて、反射を抑えながらNFを良くできることを確認した。シミュレーションにおいて利得15dB、NF5dBの性能を得た。