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Pub.JC-0612-3

1 高速リニアサーボ弁／アンプ搭載形リニアサーボ弁

リニアサーボ弁の使用油について

リニアサーボ弁使用上の注意

■ 使用油

下表に示す作動油がご使用になれます。

粘　　　度

15〜400 mm2/s

油　　　温

−15〜＋60℃

汚　染　度

NAS1638　10級ISO4406 21／19／15

管路用フィルタ

絶対20 μm

■ 粘度と油温

下表に示す粘度と油温の両条件を満足させる範囲でご使用ください。

■ 異物の混入防止について

作動油中の異物はしばしば弁の正常な作動を妨げますので、作動油を常に清浄に保つとともに管路用フィルタをご使用ください。なおリニアサーボ弁の寿命を長くさせるには、使用油の清浄度を向上させてのご使用を推奨いたします。

■ 取付姿勢

下図のように軸線L−L’が水平面に対して、概ね±15°以内となるように取り付けてください。主振動方向の成分がスプールの軸方向と一致すると、スプールが外力により不測の動作をすることがありますので、主振動方向とスプール軸方向が一致しないように取り付けてください。

40

40

＋15°

－15°

＋15°

－15°

＋15°

－15°

L’

＋15°

－15°L’

L

L

L’

L’

L

L

石油系作動油 ISO VG 32または46相当品をご使用ください。

合成作動油りん酸エステル系または脂肪酸エステル系をご使用ください。ただし、りん酸エステル系をご使用の場合にはシール類が特殊（ふっ素ゴム）となりますので、モデル番号の頭に「F−」を付してご指定ください。

水成形作動油水−グリコール系をご使用ください。ただし、“Yポートなし”（ウエット形：LSVG−※EH−※−W）または、“DRポートなし”（パイロット弁ウエット形：LSVHG−※EH−※−※−W）の弁は、水−グリコール作動油はご使用になれません。

注）上記以外の作動油をご使用になる場合には、別途ご相談ください。

2高速リニアサーボ弁／アンプ搭載形リニアサーボ弁

サーボ弁

■ 電気トラブルおよび立ち上げ時の安全対策停電やケーブル断線等の電気トラブルおよび立ち上げ時等で、安全確保のため油圧アクチュエータの確実な保持・停止が必要な場合は、別途安全回路（ex.無停電電源の使用）を設けてください。

■ 供給圧力についてサーボ弁は通常、供給圧力が一定の条件で使用するものですので、供給圧力の変動は極力さけてください。特に、高精度が要求されるシステムにおいては、供給圧力が一定となるように回路を設計してください。なお、過渡状態における供給圧力変動をさけるために、サーボ弁に近い供給圧力ラインにアキュムレータを設置することが理想です。

■ 戻り側圧力についてサーボ弁の戻り圧力は、回路によってはかなり高い圧力がかかることも予想されますが、なるべく大気圧に近い状態でご使用ください。なお、戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。

■ 分解・組立についてリニアサーボ弁は、非常に高精度な部品で構成されております。お客様による分解・組立は弁の性能を損ないますので絶対に行わないでください。

なお、上記1）、2）いずれの場合も電源用の配線抵抗については1 Ω以内で、極力低くなるようにしてください。

■ 設置条件本弁を強い磁界中に設置しないでください。特にスプール位置を検出する位置センサは、磁界の影響を受けます。電磁切換弁等、磁界を発生させる機器から離してご使用願います。また本弁が発生する磁界により、周辺機器に影響を及ぼすことがありますので、磁界の影響を受けやすい機器は近くに設置しないでください。

■ ドレン配管（LSVG：Yポート，LSVHG：DRポート）LSVG／LSVHGシリーズ高速リニアサーボ弁では、下記1),2)の目的からリニアモータ内部をドライタイプとするためにダイヤフラムを用いた構造を採用しております。1）作動油の粘度が変化しても、応答性がほとんど変化しないようにすること（現状の比例弁やサーボ弁では作動油の粘度によって応答

性が変化する）。2）作動油中の鉄粉や微少な水分からムービングコイルを保護すること。このためダイヤフラムに圧力が作用した場合、弁性能に影響があるため専用のドレンポートを設け、圧力の上限を規定しております。本弁設置にあたっては、下記配管上の注意を考慮して必ずドレン配管を施工してください。①ドレンポートの背圧は、0.05 MPa以下で、かつ負圧とならないようにしてください。②配管は、気中戻しとしてください（配管端末が油面に接しないようにしてください）。★アンプ搭載形リニアサーボ弁には、応答性に優れたドライ形と使い易さを重視して　Yポートまたは、DRポートの配管を不要としたウエット形の2種類を用意しています。

■ 入出力信号の配線長さ

1）高速リニアサーボ弁（アンプ分離形）配線長さは、最大30 m以下でご使用ください。なお、応用設計品（機種：LSVG-03／LSVHG-04, 06）として最大200 m以下で使用可能な製品も用意していますので、別途ご相談ください。

2）アンプ搭載形リニアサーボ弁入出力信号の種類により、配線長さは下表の長さを目安にご使用ください。ドレンラインダイヤフラム永久磁石

ムービングコイル

リニアモータ構造入出力信号の種類弁モデル番号入出力信号の最大配線長さ

±10 V LSV（H）G−※※EH−※※−※−※−A※/D※−10 50 m★

4〜20 mA LSV（H）G−※※EH−※※−※−※−B※/E※−10300 m

±10 mA LSV（H）G−※※EH−※※−※−※−C※/F※−10

★50 mを超える場合には、別途ご相談ください。

3 高速リニアサーボ弁／アンプ搭載形リニアサーボ弁

弁差圧・負荷圧力差について

リニアサーボ弁の流量について

本カタログでは、圧力差に関する用語として“弁差圧”（制御流量限界範囲や無負荷流量特性に使用）、“負荷圧力差”（負荷流量特性に使用）の2つの用語を使用しています。これらの用語について以下に説明します。

■ 弁差圧

右図の回路において、P → A、B → T流れの場合では、Pポート圧力とAポート圧力との差圧およびBポート圧力とTポート圧力との差圧の和が弁差圧となります。したがって、右図の4方弁使用における弁差圧“ΔP”は

　　弁差圧＝［（Pポート圧力）−（Aポート圧力）］＋［（Bポート圧力）−（Tポート圧力）］

となります。流量との関係では、弁の開度を一定とし、通過流量を増加させると制御部の流量抵抗が増すため、弁差圧は上昇します。

■ 負荷圧力差

右図の回路において、Aポート圧力とBポート圧力との差の絶対値が負荷圧力差となります。つまり、

　　負荷圧力差＝│（Aポート圧力）−（Bポート圧力）│

となります。ここで、配管やその他の抵抗を無視して考えると、供給圧力と負荷圧力差との差圧が、リニアサーボ弁の弁差圧となります。したがって、負荷圧力差が小さいほど、弁差圧を大きくとれるため、弁を通過する制御流量を大きくすることができます。

粘度 mm2/s

係　　数

15

1.19

20

1.11

30

1.00

40

0.93

50

0.88

60

0.84

70

0.81

80

0.78

90

0.76

100

0.74

● 比重変化に対しては、Q’＝ Q （ 0.85／G’）によってお求めください。

● サーボ弁の流量と圧力の関係は、下式により求めることができます。

　　　　　　　 QX = Qrate

　　　ここで QX : 求める流量 Qrate : 定格流量（ΔP＝7 MPa時） ΔPX : 実回路における弁差圧

ΔPX7

負荷

本カタログの定格流量の公差は、記載値の ±10 ％となります。

流量は、作動油の粘度と比重により異なりますので下記をご参照ください。　　● 粘度変化に対しては、下表の係数を乗じてください。

4

サーボ弁

直動形高速リニアサーボ弁

JIS油圧図記号

P T Y

A B

本弁は、小形・強力なリニアモータをアクチュエータとして、そのムービングコイルとスプールおよび位置センサとを一列に結合した極めてシンプルな構造の直動形サーボ弁です。

●高精度ヒステリシス0.1 %以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。

●高応答応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答：2 ms(0⇔100%)★、周波数応答：450 Hz/−90°（±25%振幅）★と抜群の応答性を有しています。したがって、従来と比較し母機の大幅な高応答化が実現できます。

（★の値は、代表例です。）

●抜群の耐振性シンプルな構造により、抜群の耐振性を有しています。

●優れた耐コンタミ性リニアモータのムービングコイルとスプールおよび位置センサを直結したシンプルな構造により、耐コンタミ性についても大変優れています。従来のサーボ弁では使用油の汚染度管理はNAS1638 7級程度でしたが、直動形リニアサーボ弁ではNAS1638 10級まで使用可能なため、作動油管理に要する費用を大幅に削減できます。

安定した性能を得るために油研製リニアサーボアンプAMLSシリーズをご使用ください。

F− LSVG −03 −40 −R −10

適用流体記　号

F：

りん酸エステル系作動油使用の場合

のみ記入

LSVG：


03

4：4 L/min10：10 L/min20：20 L/min40：40 L/min60：60 L/min

（リニアモータ側から見て）　　無記号：上（標準）　　　　Ｒ：右　　　　Ｌ：左

10

シリーズ番　号

大きさの呼　び

定格流量ΔP=7 MPa時

ケーブル取出し口の向きデザイン番　号

■ モデル番号の構成

■ 専用アンプ ■ 付属品

弁モデル番号

LSVG−03−4/10/20/40

LSVG−03−60

AMLS−A−D※−※−10

AMLS−B−D※−※−10

アンプモデル

取付ボルト

六角穴付ボルト：M8×65L…4個

30.8〜37.7 Nm

取付ボルト締付トルク

直動形高速リニアサーボ弁Direct type High-speed linear servo Valves

5 直動形高速リニアサーボ弁

■ 仕　　様本表の仕様は、専用アンプにDC48 Vタイプを使用した場合の値です。DC24 Vタイプを使用した場合は、（　）内の値となります。

モデル番号　

項　目LSVG−03−4/10/20/40 LSVG−03−60

定格流量（ΔP ＝ 7 MPa時）（1） L/min 4, 10, 20, 40 60

最高使用圧力 MPa 35

戻り側耐圧力 MPa 35

ドレンポート（Y）許容背圧（2） MPa 0.05

内部漏れ（Ps=14 MPa）（粘度 32 mm2/s） L/min 1.7 以下

ヒステリシス％ 0.1 以下

ステップ応答特性（0⇔100 ％）（代表値）（3） ms 2（3） 3（4）

周波数応答（±25 ％振幅）　　（代表値）（3）　　

ゲイン −3 dB Hz 350（300） 330（240）

位相差 −90° Hz 450（370） 410（330）

耐　振　性（4）振動数：10〜60 Hz、全振幅：4 mm、加速度：7.8〜282 m/s2

振動数：61〜2000 Hz、全振幅：4〜0.0038 mm、加速度：294 m/s2

防塵・防水性 IP64相当

使用周囲温度範囲 ℃ −15〜＋60

スプール形式中立ゼロラップ

スプール定格変位 mm ±0.5 ±0.75

極　　　　性 18ページ入力−出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定格電　　　流 A 2［最大 6］

コイル抵抗　20℃時 Ω 4.5

質　　　　量 kg 5

注（1）弁差圧と流量の関係は、下記『制御流量限界範囲』以内でご使用ください。　（2）ドレンポート（Y）の背圧は、0.05 MPa以下で、かつ負圧とならないようにしてください。　（3）本特性は、弁単体で計測したものです。したがって、それぞれの使用回路により特性が異なります。　（4）取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。

●制御方式：4方弁 ●制御方式：3方弁

■ 制御流量限界範囲

P T Y

A B

P T Y

A

100

50

30

20

10

5

3

2

121 3 5 10 20 35

弁差圧　MPa

LSVG-03-40-

LSVG-03-20-

LSVG-03-10-

LSVG-03-4-

100

50

30

20

10

5

3

2

121 3 5 10 20 35

弁差圧　MPa

LSVG-03-40-

LSVG-03-60-LSVG-03-60-

LSVG-03-20-

LSVG-03-10-

LSVG-03-4-L/min

制御流量

L/min

制御流量

6

サーボ弁


74

Y

86

16

53

36

119.5

（71.5）

54

ケーブル取出し口の向き

標準（無記号）

取付面（Oリング付）

φ14ざぐり4-φ8.3 穴

タンクポート“TB”

ドレンポート“Y”

圧力ポート“P”

シリンダポート“A”

“L” “R”

タンクポート“TA”シリンダポート“B”

DINコネクタの向きは90°おきに任意に変えることができます。

83.5 83.5

位置センサリード線長さ 2m赤：DC＋15V黒：　　　0V黄：出力（＋）白：出力（－）

ケーブル取付し口適用ケーブル：外径 φ8～φ10結線部断面積：0.75～1.5mm2

（144.5） 90

234.5

7046

23

12

★ ★

LSVGｰ03

● 各ポート用Ｏリング

りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。

取付面は6−S程度に仕上げてください。

★タンクポートは“TA”、“TB”の2箇所ありますが、“TA”ポートのみの使用で差し支えありません。

【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO 規格に基本的に合致しておりますが、下表の様に弁取付ねじが異なります。弁取付ねじがM6仕様の製品も用意しておりますので、別途ご相談ください。

ポート名称 Oリングサイズ

P, A, B, T

Y

AS568−014（NBR,Hs90）

JIS B2401−1B−P7

5

1

個数

ISO 4401−05−04−0−94 LSVG−03用取付面

弁取付ね　じ

M6 M8B

5-φ11 穴

4-M8 ねじ深 17

46

21.4

32.5

6.4

TA

A

3.2

16.7

P

（50.8）

37.3

27

54

62

φ4.5 穴

TB

Y 11

★

★

注）DIN コネクタ／位置センサとアンプ間の結線については、　　20ページの結線図をご参照ください。

7 直動形高速リニアサーボ弁

2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位

　％

→　時　間入力信号

2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位

　％


2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位

　％


2ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位

　％


100

80

60

40

20

010 15 20 25 30 3550

負荷圧力差｜PA－PB｜MPa

流量

L/min

LSVG-03-60LSVG-03-40

LSVG-03-20

LSVG-03-10 LSVG-03-4

120

100

80

60

40

20

5

ｰ5ｰ100 ｰ80 ｰ60 ｰ40 ｰ20

20 40 60 80 100ｰ20

ｰ40

ｰ60

ｰ80

ｰ100

ｰ120

200％ GAIN

50％ GAIN

Flow:P→A→B→T

Flow:P→B→A→T

定格流量

　％

入力信号　％

■ 無負荷流量特性

〈条件〉●弁差圧：7 MPa

■ ステップ応答特性

〈条件〉●入力振幅：0 ⇔100 %　●供給圧力：14 MPa

アンプ：AMLS−A−D48−※−10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS−B−D48−※−10（供給電源：DC48 V）

アンプ：AMLS−A−D24−※−10（供給電源：DC24 V）アンプ：AMLS−B−D24−※−10（供給電源：DC24V）

●LSVGｰ03ｰ4/10/20/40ｰ10 ●LSVGｰ03ｰ60ｰ10

■ 負荷流量特性

〈条件〉●入力信号：100 ％　注）負荷流量の公差：±10 ％

LSVGｰ03ｰ4/10/20/40/60特性（作動油粘度：30mm2/S）

8

サーボ弁


■ 周波数応答特性

〈条件〉●油圧回路：A, Bポート閉　●供給圧力：14 MPa

●LSVGｰ03ｰ4/10/20/40ｰ10 ●LSVGｰ03ｰ60ｰ10

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

位相差

ゲイン

位相差

位相差

位相差

位相差

位相差

位相差位相差

ゲイン

ゲイン

ゲイン

ゲインゲイン

ゲインゲイン

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

アンプ：AMLS−A−D48−※−10（供給電源：DC48V）入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

アンプ：AMLS−A−D24−※−10（供給電源：DC24V）　入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

アンプ：AMLS−B−D48−※−10（供給電源：DC48V）　入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

アンプ：AMLS−B−D24−※−10（供給電源：DC24V）　入力振幅 ±25 %

入力振幅 ±100 %

9 2段形高速リニアサーボ弁

JIS油圧図記号

内部パイロット・外部ドレン形

外部パイロット・外部ドレン形

内部パイロット・内部ドレン形

注）上図はスプール形式“2”“2P”を　　示します。　 “40”の場合は右図になります。　　（外部パイロット・内部ドレン形）

外部パイロット・内部ドレン形P T X DR

A B

XTP Y

BA

DR

P T

A B

DRTP Y

BA

DR

P T

A B

X DR

2段形リニアサーボ弁は、直動形高速リニアサーボ弁をパイロットステージに配置してメインスプールを駆動する大流量サーボ弁です。パイロットスプール位置とともに、メインスプール位置の電気フィードバック制御を行うことにより、高精度かつ高応答を実現しました。

●大流量2段形サーボ弁としたことにより、定格流量750〜3800 L／min（ΔP=7 MPa）と大流量化を実現しています。

●高精度ヒステリシス0.1 ％以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。

●高応答応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答：8 ms（0⇔100 ％）、周波数応答：105 Hz／−90°（±25 ％振幅）（LSVHG−06−900代表例）と抜群の応答性を有しています。したがって、従来では得られなかった高応答化が実現できます。

●優れた耐コンタミ性2段形リニアサーボ弁も直動形リニアサーボ弁同様に作動油汚染度 NAS1638 10級まで使用可能です。


F− LSVHG −06 −900 −2P −E T −R −A −10適　用

流体記号シリーズ番　号

大きさの呼　び

定格流量ΔP=7 MPa時スプール形式パイロット

形　式ドレン形　式

ケーブル取出し口取付方向記号

フェイルセーフ機能

デザイン番　号

F：りん酸

エステル系作動油使用の

場合のみ記入

LSVHG：2段形高　速リニア

サーボ弁

04 750：750 L/min 2 : 10%オーバーラップ

40 : A, B, T接続

2P : ゼロラップ

（デュアルフローゲイン）

無記号：内部

パイロット

E：外部パイロット

無記号：外部ドレン

T：内部ドレン

（リニアモータ側から見て）無記号：上（標準）　　Ｒ：右　　Ｌ：左

無記号：PBAT振り全開

A：PABT振り全開

10

06900：900 L/min

1300：1300 L/min

10 3800：3800 L/min 20

■ 専用アンプ安定した性能を得るために油研製リニアサーボアンプAMLSシリーズをご使用ください。

弁モデル番号アンプモデル

LSVHG−04−750 AMLS−C2−D※−※−10

LSVHG−06−900 AMLS−C−D※−※−10LSVHG−06−1300LSVHG−10−3800 AMLS−D−D※−※−10

■ 付属品

モデル番号取付ボルト個数取付ボルト締付トルク

LSVHG-04

LSVHG-06

LSVHG-10

六角穴付ボルト:M 6 ×55L

六角穴付ボルト:M10×60L



2個

4個

6個

6個

12.9〜15.9 Nm

60.6〜74.1 Nm

104〜127 Nm

494〜603 Nm

2段形高速リニアサーボ弁Two stage type High-speed linear servo Valves

10

サーボ弁

2段形高速リニアサーボ弁

■ 仕　　様本表の仕様は、専用アンプにDC48 Vタイプを使用した場合の値です。DC24 Vタイプを使用した場合は、（　）内の値となります。

モデル番号　

　項　目LSVHG−04−750 LSVHG−06−900 LSVHG−06−1300 LSVHG−10−3800

定格流量 ΔP ＝ 7 MPa 時（4方弁） L/min 750 900 1300 3800

定格流量 ΔP’＝ 0.5 MPa時（1ランド） L/min 283 340 490 1440

最高使用圧力 MPa 35 35 31.5 35

戻り側耐圧力外部ドレン MPa 31.5 35 25 28

内部ドレン（1） MPa 31.5 35 25 28

ドレンポート(DR)許容背圧（2） MPa 0.05

パイロット弁供給圧力（3） MPa 1.5〜35 1.5〜25

パイロット流量（4） L/min27 以上

（22 以上）

30 以上

（24 以上）

34 以上

（27 以上）

32 以上

（27 以上）

パイロット弁の漏れ（最大）

Ps=Pp=14 MPa32 mm2/s

L/min 1.7

主弁の漏れ（最大）

スプール形式 −2− −40− −2P− −2− −40− −2P− −2− −40− −2P− −2− −40− −2P−Ps=Pp=14 MPa32 mm2/s

L/min 0.8 1.6 6.8 0.9 1.8 7 1 2 8 3 6 10


ステップ応答（0⇔100 %）（代表値）（5） ms 8（10） 8（10） 10（13） 15（18）

周波数応答（±25 %振幅）（代表値）（5）

ゲイン −3 dB Hz 150（140） 160（130） 150（110） 100（60）

位相差 −90° Hz 110（100） 105（100） 100（100） 85（75）

耐　振　性（6）振動数：10〜60 Hz、全振幅：4 mm、加速度：7.8〜282 m/s2

振動数：61〜2000 Hz、全振幅：4〜0.0038 mm、加速度：294 m/s2

防塵・防水性 IP64 相当

使用周囲温度範囲 ℃ −15 〜＋60

主弁スプール定格変位 mm ±5 ±5 ±7 ±7

主弁スプール受圧面積 cm2 7.1 8 8 11.3

極　　　性 18ページ　入力—出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定格電流 A 2〔最大 6〕

コイル抵抗 20 ℃時 Ω 4.5

質　　　量 kg 12 20 21 78

注（1）戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。　（2）ドレンポート（DR）の背圧は、0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないようにしてください。　（3）パイロット弁の供給圧力は、1.5〜35 MPa（LSVHG−10 1.5〜25 MPa）の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の60%以上でご使用ください。　（4）パイロット流量は、パイロット圧力14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。　（5）本特性は、弁単体でパイロット圧力14 MPaとして計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。　（6）取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。


タンクポート“T” 圧力ポート“P”

パイロット圧力ポート“X”


2-φ6.4穴φ11ざぐり

1：SIG.

2：CAR3：COM

2-φ3位置決めピン

45 46

34.1

50

DRポート位置

取付面Oリング付

71.5

80.586.5

185


35

69.9

10.5

101.671.1

128.4

13.4 143

335

91

230.5

147

38 47 （83）

4


ケーブル取出し口適用ケーブル：　外径φ8～φ10結線部断面積：　0.75～1.5mm2

4-φ10.5穴φ17.5ざぐり

パイロットドレンポート“Y”

“R”

シリンダポート“B”

パイロットスプール用位置センサリード線長さ　2m　　　赤：DC＋15V　　　黒：　　　0V　　　黄：出力（＋）　　　白：出力（－）

ケーブル取出し口

メインスプール用位置センサ

適用ケーブル：　外径φ4.5～φ7結線部断面積：　0.5～1.5mm2

外部配管用ドレンポート“DR”


　Rc　3/8（裏面）負圧とならないように、配管して下さい。（）

“L”


YUKEN

LSVHGｰ04




【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO規格に基本的に合致しておりますが、P,A,B,Tポートの穴径が異なります。


P, A, B, T

X, Y

JIS B2401−1B−P22

AS568−012（NBR, Hs90）

4

2

個数

ISO 4401−07−06−0−94 LSVHG−04用取付面

P, A, B, T各ポート穴　径

φ17.5 φ20

65.8

76.7

2-φ3.6穴深 5

14.2

69.8

71.4 55.6

1.6

2-M6ねじ深 12 18.3

34

50

4-φ20穴

16

88.1

57.1

101.6

ねじ深 17

2-φ6穴

4-M10

A

T

B

P

X

Y

注）パイロット弁 DIN コネクタ／位置センサおよびメインス　プール用位置センサとアンプ間の結線については、20ページの結線図をご参照ください。

12

サーボ弁


11.5

173

122

24.2

64

156

652

（96）

タンクポート“T”圧力ポート“P” パイロット

ドレンポート“Y”


外部配管用ドレンポート“DR”★

ドレンポート“DR”★ シリンダポート“A”

46

13118

92.1

1：SIG.

2：CAR.

3：COM


シリンダーポート“B”

77


LSVHG-06-1300：375LSVHG-06- 900：371

（244.5）

256.5

86

パイロットスプール用位置センサリード線長さ 2m赤：DC＋15V黒：　　　0V黄：出力（＋）白：出力（－）

211

83.5 83.5

53.2

55 130.2

　Rc　3/8（裏面）負圧とならないように、配管して下さい。（）



適用ケーブル：　外径φ4.5～φ7結線部断面積：　0.5～1.5mm2

ケーブル取出し口適用ケーブル：　外径φ8～φ10結線部断面積：　0.75～1.5mm2


“R”“L”


2-φ6位置決めピンDRポート位置


LSVHGｰ06



【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO 規格に基本的に合致しておりますが、P, A, B, Tポートの穴径、ドレンポート“DR”が異なります。


ポート名称Oリングサイズ

JIS B2401−1B−P14

AS568−016（NBR, Hs90）

P, A, B, T

X, Y

DR

LSVHG−06−900

AS568−123（NBR, Hs90）

LSVHG−06−1300AS568−126（NBR, Hs90） 4

2

1

個数

LSVHG−06−1300用取付面

ドレンポート“DR”

なし有り（φ6穴）

φ32

ISO 4401−08−07−0−94 LSVHG−06−900用取付面

P, A, B, Tポート穴径

φ23.4 φ27

★ドレンポート“DR”は、外部配管用および取付面の2箇所に設けてありますのでいずれか一方をご使用ください。

2-φ7穴深8

29.5

100.8

17.5

19.174.692.1

X

17.522.2

DRA

T P

130.2

53.2

29.4

112.7

94.5

77

LSVHG-06-1300：4-φ32穴LSVHG-06- 900：4-φ27穴

B

Y

73.1 96.9

6-M12 ねじ深24

2-φ11穴

※ φ6穴

※

注）バルブ本体の外部配管用ドレンポート“DR”をご使用の場合は、※ 印を付した加工は必要ありません。

注）パイロット弁 DIN コネクタ／位置センサおよびメインスプール用位置センサとアンプ間の結線については、20ページの結線図をご参照ください。


“R”“L”



圧力ポート“P”タンクポート“T” パイロットドレンポート“Y”


シリンダポート“A” シリンダポート“B”

6-φ21穴φ32ざぐり

外部配管用ドレンポート“DR”

2-φ6位置決めピン取付面Oリング付

パイロットスプール用位置センサ


DINコネクタ向きは90°おきに任意に変えることができます。


2-アイボルト（M8）

適用ケーブル：外径φ8～φ10結線部断面積：0.75～1.5mm2

適用ケーブル：外径φ4.5～φ7結線部断面積：0.5～1.5mm2


1：SIG.3：COM

2：CAR.

リード線長さ 2m赤：DC＋15V黒：　　　0V黄：出力（＋）白：出力（－）

83.5 83.5

79.4

158.8

19.6

198

76.2

34

114.3

90 （133）

332.5

261

6344.5

190.5

234

78.8

211

60

21.7

95.7

521

　　 Rc　3/8負圧とならないように、配管して下さい。（）

LSVHGｰ10




P, A, B, T

X, Y

AS568−227（NBR, Hs 90）

AS568−015（NBR, Hs 90）

4

2

個数 82.5

158.8

123.8

28.6

35

4-φ50穴

6-M20 ねじ深34

AX B

Y

147.6

168.3

41.3

T

76.2

114.3

P

190.5

2-φ11穴

114.3

2-φ7穴深8


【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO規格に合致しておりますが、P,A,B,Tポートの穴径が異なります。

ISO 4401−10−08−0−94 LSVHG−10用取付面


φ36 φ50

注）パイロット弁 DIN コネクタ／位置センサおよびメインス　プール用位置センサとアンプ間の結線については、20ページの結線図をご参照ください。

14

サーボ弁



〈条件〉●弁差圧：1 MPa（1ランド差圧：0.5 MPa）

■ ステップ応答特性〈条件〉●入力信号：0 ⇔ 100 ％　●供給圧力・パイロット圧力：14 MPa


〈条件〉●油圧回路：A, Bポート閉　●供給圧力・パイロット圧力：14 MPa


〈条件〉●入力信号：100 ％注）負荷流量の公差：±10 ％

LSVHGｰ04ｰ750特性（作動油粘度：30 mm2/S）

1 5 10 20 304050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 304050 100 200 500

1 5 10 20 304050 100 200 5001 5 10 20 304050 100 200 500

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

アンプ：AMLS−C2−D48−※−10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS−C2−D24−※−10（供給電源：DC24 V）

アンプ：AMLS−C2−D48−※−10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS−C2−D24−※−10（供給電源：DC24 V）

5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0

スプ�ル変位　％


5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



50 100

ｰ100 ｰ50 0

300

200

100

ｰ100

ｰ200

ｰ300

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 30 3550

1800

1600

1400

1200

1000

800

600

400

200

0

L/min

流　量

負荷圧力差　┃PA－PB┃ MPa

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

スプール形式：ｰ2ｰ,ｰ40ｰ

スプール形式：ｰ2Pｰ

零近傍　入力信号−20 ⇔ ＋20 ％

L/min

流　量

入力信号　％入力信号　％

L/min

流　量










1 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5005

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

アンプ：AMLS−C−D48−※−10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS−C−D24−※−10（供給電源：DC24 V）

アンプ：AMLS−C−D48−※−10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS−C−D24−※−10（供給電源：DC24 V）

5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



50 100

ｰ100 ｰ50 0

400

300

200

100

ｰ100

ｰ200

ｰ300

ｰ400

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 30 3550

3000

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量

負荷圧力差　┃PA－PB┃　MPa

5 10 15 20ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T


零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％



L/min

流　量

L/min

流　量

16

サーボ弁










5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

アンプ：AMLS−D−D48−※−10（供給電源：DC48 V）アンプ：AMLS−D−D24−※−10（供給電源：DC24 V）


5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



100

ｰ100 ｰ50 0

600

500

400

300

200

100

ｰ300

ｰ200

ｰ100

ｰ400

ｰ500

ｰ600

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 31.550

3000

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量


5 10 15 20ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

ｰ20

ｰ40

ｰ60

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

零近傍　入力信号−20 ⇔ ＋20 ％




L/min

流　量

L/min

流　量

20

50










5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

1 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差　度

位相差　度

位相差　度

位相差　度

周波数　Hz 周波数　Hz


入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

入力信号 ±25 %

入力信号 ±100 %

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



10020 40 60 80

-20-40-60-80-100 0

800

1200

1600

400

ｰ400

ｰ800

ｰ1600

ｰ1200

L/min

流　量

Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

10 15 20 25 30 3550

10000

9000

8000

7000

6000

5000

4000

3000

2000

1000

0

L/min

流　量

入力信号　％


Flow:P→B→A→T

Flow:P→A→B→T

入力信号　％

5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

100

200

ｰ100

ｰ200



零近傍：入力信号−20 ⇔ ＋20 ％

L/min

流　量

18

サーボ弁

リニアサーボアンプ

本アンプは、高速リニアサーボ弁LSVG・LSVHGシリーズを駆動するために使用します。リニアサーボ弁の駆動に最適な設計がなされていますので、弁の性能を最大限に引き出すことができます。

AMLS −A −D48 −A1 −10

シリーズ番号

AMLS：


A ：LSVG−03−4/10/20/40B ：LSVG−03−60C ：LSVHG−06−900C2 ：LSVHG−04D ：LSVHG−06−1300 　LSVHG−10−3800

D48：DC 48 V

D24：DC 24 V

A1：電圧信号 ± 10 VB1：電流信号 4〜20 mAC1：電流信号 ± 10 mA

10

適用弁形式電源電圧入力信号及び

スプール変位モニタデザイン番号


■ 入力−出力信号特性

BA

TP

BA

TP

＋10 mA

＋10 mA

＋10 V

＋10 V20 mA

C1

A1B1

0 mA

0 mA

0 V

0 V

12 mA

12 mA

－10 mA

－10 mA

－10 V－10 V

4 mA

4 mA

出力信号（スプール変位モニタ）

20 mA

入力信号

リニアサーボアンプLinear Servo Amplifier

■ 仕　　様

モデル番号項　目

AMLS−※−D48−※−10 AMLS−※−D24−※−10

供給電源 DC 48 V±2.4 V（200 VA 以上） DC 24 V±1.2 V（100 VA 以上）

定格出力電流連続 ±2 A（4 A ピーク）連続 ±2 A（3 A ピーク）

入・出力信号

出力信号＝スプール変位モニタA1：電圧信号 ±10 V（Ri ＝ 100 kΩ、RL ≧ 10 kΩ）B1：電流信号 4 〜 20 mA（Ri ＝ 200 Ω、RL ＝ 100〜500 Ω）C1：電流信号 ±10 mA（Ri ＝ 200 Ω、RL ＝ 100〜500 Ω）

制御入力 / 出力信号

ａ）サーボ “ON” 入力及びアラームリセット入力　　：フォトカプラー入力電圧範囲：DC ＋15 V 〜＋28 V、入力インピーダンス：2.2 kΩｂ）過電流出力（CURR. AL.）及び偏差アラーム出力（CRTL.AL.）　　：フォトカプラー出力電圧：最大 DC50 V、電流：最大 30 mA

設置場所温度範囲 0 〜 50 ℃

設置場所湿度範囲 20 〜 90 ％ Rh（結露なきこと）

質　　　量 1.8 kg

19 リニアサーボアンプ

31211101

876

54

3

21

微分

微分

偏差アラーム

過電流アラーム内部電源

出力電流検出

PWM制御

HOST

＋IN－INSM. MSM. LCOMSIGCOMCAR

＋IN－IN15VCOM

＋15V

CTRL.AL.

AL. R

S. ON

（ALARM-RESET）

（SERVO-ON）

CURR.AL.

FG

CC

主弁スプール変位センサ

シーケンス出力

シーケンス入力

パイロット弁/直動形リニアサーボ弁変位センサ

RESET

サーボ ON

サーボ ON

9

81

＋15V－15V＋5V－5V

71

9161

51

41

SPANNULL

SOL出力

コンデンサ接続端子

供給電源

25 ＋OUT

26 －OUT

27 SG

20 C (＋)

22 ＋V

23 0V

24 FG

21 C (－)

ブロック図

6

210

1301325

50

202

POWER

NULL

SPAN

CURR.

1＋IN

14S. ONSEQ

. INSEQ

. OUT

CAP.

POWER

SOL

L. LVDT

M. LVDT

HDST

15AL. R

16C

17CURR.AL.18

CTRLAL.

19C

20（I＋）

21（I－）

22＋V

230V

24FG

25＋OUT

26－OUT

27SG

2－IN

3COM

4SM. M

5SM. L

6SIG

7COM

8CAR

9FG

10＋IN

11－IN

12＋15V

13COM

ALARMCTRL.

MODEL

YUKEN KOGYO CO.,LTDMADE IN JAPAN

YUKEN KOGYO CO.,LTD MADE IN JAPAN

LINEARSERVOAMP.

AMLS

MFG NO.

●端子名称

端子名称

入力信号

主弁スプール変位センサ

パイロット弁／直動形リニアサーボ弁スプール変位センサ

サーボONアラームリセット入力コモン過電流アラーム偏差アラーム出力コモン

シーケンス入力

シーケンス出力

コンデンサ接続端子

供給電源

筐体接地

筐体接地

信号接地

SOL出力

共通コモン

センサモニタ主弁スプールパイロット弁/直動形リニアサーボ弁

番号123456789101112131415161718192021222324252627

＋IN－INCOMSM. MSM. LSIGCOMCARFG＋IN－IN＋15VCOMS. ONAL. RCCURR. AL.CTRL AL.CCap.（＋）Cap.（－）＋V0VFG＋OUT－OUTSG

外観・端子名称

20

サーボ弁


＋1

－2

:::

1

2

3

: SIG: COM: CAR

制御盤のアース端子へ接続

コンデンサ（極性注意）

モデル番号がAMLSｰ※ｰD48ｰ※ｰ10の場合コンデンサ容量の目安（コンデンサ耐圧63 V以上推奨）

※停電時や電源OFF後に数秒間バルブスプール変位を中立に保持しておきたい場合には、Ｃ（＋）－C（－）間　（端子台20－21間）にコンデンサを接続してください。

※C（＋）－C（－）間（端子台20－21間）にコンデンサを　接続する場合には極性に注意してください。※電動機などの動力線とは別ラインで配線してください。

■入力信号極性と弁の流れ方向　サーボアンプの入力信号端子は差動入力形　になっており、入力信号極性の接続方法に　より、弁の流れ方向を変更することができ　ます。（ただし、入力信号区分“A1”のみ。　“B1”“C1”の-IN端子はアンプ内部でCOM　に接続されています。）

●（＋）入力信号で P→B 流れ

●（＋）入力信号で P→A 流れ

コンデンサ容量 C［μF］

コンデンサ容量 C［μF］


入力信号端子


0 5000 10000 15000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

00 20000 40000 60000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

0t［s］

保持時間

t［s］

保持時間

LSVHGｰ04/06/10

POWER

NULL

SPAN

CURR.

1＋IN

14S. ONSEQ

. INSEQ

. OUT

CAP.

POWER

SOL

L. LVDT

M. LVDT

HDST

15AL. R

16C

17CURR.AL.18

CTRLAL.

19C

20（I＋）

21（I－）

22＋V

230V

24FG

25＋OUT

26－OUT

27SG

2－IN

3COM

4SM. M

5SM. L

6SIG

7COM

8CAR

9FG

10＋IN11－IN

12＋15V

13COM

ALARMCTRL.


LINEARSERVOAMP.

AMLS

各種コントローラ・表示器など

各種コントローラなど

DC電源

DIN コネクタ（黒色）

DIN コネクタケーブル

DIN コネクタピン詳細

パイロット弁スプール変位センサケーブル詳細

アンプへの接続

主弁スプール変位センサコネクタピン詳細



25 番端子

10 番端子黄：アナログ出力（＋）白：アナログ出力（－）赤：DC＋15（V）黒：0（V）

11 番端子12 番端子13 番端子

26 番端子27 番端子


＋48Vor

＋24V

　1＋IN　2－IN

端子台

　1＋IN　2－IN

端子台

入力信号（＋）

入力信号（－）



P→A 流れ

P→B 流れQ

＋Vin

－Vin

P→B 流れ

P→A 流れQ

＋Vin

－Vin

0V

●AMLS-C, AMLS-C2, AMLS-D

アンプ内部回路図

入

　力

出

力

S. ONAL. R

CURR. ALCTRL. AL

2.2kΩ

COM

COM

FUSE

＋1

－2

:::

制御盤のアース端子へ接続

コンデンサ（極性注意）


※停電時や電源OFF後に数秒間バルブスプール変位を中立に保持しておきたい場合には、Ｃ（＋）－C（－）間　（端子台20－21間）にコンデンサを接続してください。

※C（＋）－C（－）間（端子台20－21間）にコンデンサを　接続する場合には極性に注意してください。※電動機などの動力線とは別ラインで配線してください。

■入力信号極性と弁の流れ方向　サーボアンプの入力信号端子は差動入力形になって　おり、入力信号極性の接続方法により、弁の流れ方向　を変更することができます。（ただし、入力信号区分　“A1”のみ。“B1”“C1”の-IN 端子はアンプ内部でCOM　に接続されています。）

●（＋）入力信号で P→B 流れ

●（＋）入力信号で P→A 流れ

コンデンサ容量 C［uF］

コンデンサ容量 C［uF］


入力信号端子


0 5000 10000 15000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

00 20000 40000 60000

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

0t［s］

保持時間

t［s］

保持時間 POWER

NULL

SPAN

CURR.

1＋IN

14S. ONSEQ

. INSEQ

. OUT

CAP.

POWER

SOL

L. LVDT

M. LVDT

HDST

15AL. R

16C

17CURR.AL.18

CTRLAL.

19C

20（I＋）

21（I－）

22＋V

230V

24FG

25＋OUT

26－OUT

27SG

2－IN

3COM

4SM. M

5SM. L

6SIG

7COM

8CAR

9FG

10＋IN11－IN

12＋15V

13COM

ALARMCTRL.


LINEARSERVOAMP.

AMLS

FUSE

LSVGｰ03

各種コントローラ・表示器など

各種コントローラなど

DC電源

DIN コネクタ（黒色）

アンプ内部回路図

ケーブル

DIN コネクタピン詳細

スプール変位センサケーブル詳細



25 番端子

10 番端子黄：アナログ出力（＋）白：アナログ出力（－）赤：DC＋15（V）黒：0（V）


26 番端子27 番端子

＋48Vor

＋24V

　1＋IN　2－IN

端子台

　1＋IN　2－IN

端子台





P→A 流れ

P→B 流れQ

＋Vin

－Vin

P→B 流れ

P→A 流れQ

＋Vin

－Vin

0V

入

　力

出

力

S. ONAL. R

CURR. ALCTRL. AL

2.2kΩ

COM

COM

●AMLS-A,AMLS-B

■ 結線図

F－ LSVG －03 EH －60 －W A －A 1 －10適　用

液体記号シリーズ番　号

大きさの呼び

アンプ搭載形

定格流量△P=7MPa時

ドレンポート(Y)有無および許容背圧

フェイルセーフ機　能

入力信号およびスプール変位モニタコネクタ形式デザイン

番　号

F：りん酸

エステル系作動油使用の場合のみ

記入

LSVG：直動

リニアサーボ弁

01

EH：アンプ搭載形

4:4 L/min

無記号：Yポートあり（許容背圧0.05 MPa）

（ドライ形）

W:Yポートなし★

（ウェット形）

A : PABT振り

B : PBAT振り

C : 中立

A : 電圧信号±10V (＋入力でPBAT流し)B : 電流信号4～20mA (12～20mA入力でPBAT流し)C : 電流信号±10mA (＋入力でPBAT流し)D : 電圧信号±10V (＋入力でPABT流し)E : 電流信号4～20mA (12～20mA入力でPABT流し)F : 電力信号±10mA (＋入力でPABT流し)

1 : 6＋PE極

2 : 11＋PE極・Enable

機能付・バルブレディ

機能付・アラーム

出力付

1010:10 L/min

20:20 L/min

03

40:40 L/min

10

1006（取付ボルト M6仕様）

60:60 L/min

★ 「Ｗ」（ウェット）形の場合、水−グリコール系作動油はご使用になれません

21 アンプ搭載形直動リニアサーボ弁

JIS油圧図記号

Yポートあり（ドライ形）

Yポートなし（ウェット形）

アンプ搭載形直動リニアサーボ弁は、高速リニアサーボ弁（LSVG）ならびにアンプ搭載形リニアサーボ弁（LSVHG−※EH）の基本思想を継承し『高精度・簡単・便利』を直動形で実現したサーボ弁です。

●高精度アンプ搭載形直動リニアサーボ弁は全形式とも高速リニアサーボ弁同様にヒステリシス0.1 %以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。

●高応答応答性の指標であるステップ応答と周波数応答は、ステップ応答：3 ms（0⇔100 %）★、周波数応答：260 Hz/−3 dB（±25 %振幅）★と同等機種の中では高応答性を有しています。

［★：LSVG-03EH Yポートあり（ドライ形）代表例］

●簡　単アンプ搭載形リニアサーボ弁は直流24 V電源を供給し、かつ指令信号を入力するだけで油圧制御システムの高精度化が実現可能です。なお、入力信号としては 0〜±10 V、0〜±10 mA、4〜20 mA の3タイプ6機種を用意しています。

●便　利バルブに搭載した小形アンプには故障診断インジーケータランプを設置しています。バルブに異常が発生し指令信号とスプール位置が一致しなくなった場合、ランプ表示により異常を知らせますので、故障対応を素早く行うことが可能です。

●優れた耐コンタミ性高速リニアサーボ弁同様にパイロット弁の構造がシンプルであるため、耐コンタミ性に大変優れています。作動油汚染度NAS 1638 10級まで使用可能です。


アンプ搭載形直動リニアサーボ弁OBE(On-Board Electronic)type Direct Operated Linear Servo Valves

■ 仕　様本仕様表の（）内数値は、“LSVG-※EH-※-W※-”（ウェット形）に適用となります。

モデル番号　　項　目 LSVG-01EH-4-※ LSVG-01EH-10-※ LSVG-01EH-20-※ LSVG-03EH-40-※ LSVG-03EH-60-※

定格流量 △ P=7 MPa 時（1） L/min 4 10 20 40 60

最高使用圧力 MPa 35 35（2）

戻り側耐圧力 MPa 21 （7） 35（2）（7）

ドレンポート（Y）許容背圧（3） MPa 0.05（“Ｗ”モデルはＹポートなし）

内部漏れ L/min 0.4 以下 0.8 以下 1.2 以下 1.7 以下


ステップ応答（代表値）（4） ms 3（3.5） 4（4.5）

周波数応答（±25％振幅）（代表値）（4）

ゲイン − 3 dB Hz 240（230） 260（240） 250（220）

位相差 − 90 ° Hz 300（270） 310（310） 260（220）

耐　振　性 m/s2 100


使用周囲温度範囲 ℃ 0 ～＋ 50

スプール定格変位 mm ± 0.5 ± 0.75

極　　性 23 ページ　入力−出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ

定格

電流 A 1.5〔最大 3.2〕

コイル抵抗 20 ℃時 Ω 7

概略質量㎏ 4.3 5.2

電気接続 6 ＋ PE または 11 ＋ PE コネクタ

注 (1) 弁差圧と流量の関係は、下記「制御流量限界範囲」以内でご使用ください。 (2) LSVG-03EH-※-※※-※※-1006（取付ボルトM6タイプ）の場合は、31.5 MPaとなります。 (3) ドレンポート(Y)の背圧は0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないようにしてください。 (4) 本特性は、弁単体で計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。

■ 付属品● 取付ボルト


LSVG-01EH 六角穴付ボルト：M5×55 L 4 個 6.0 ～ 8.0 Nm

LSVG-03EH-※-10 六角穴付ボルト：M8×65 L 4 個 30.8 ～ 37.7 Nm

LSVG-03EH-※-1006 六角穴付ボルト：M6×60 L 4 個 13.0 ～ 16.0 Nm

● コネクタ

モデル番号コネクタ個数備考

LSVG-※EH-※-※1

6＋PEエレクトリカルプラグ 1 個 EN175201PART 804

準拠品LSVG-※EH-※-※2

11＋PEエレクトリカルプラグ 1 個

■ コネクタ付ケーブル（別途手配品）

モデル番号コネクタケーブルモデル番号備考

LSVG-※EH-※-※1 6 ＋ PE エレクトリカルプラグ LSVC-6PE-※-10 ※ケーブル長さ03：3 m05：5 m10：10 mLSVG-※EH-※-※2 11 ＋ PE エレクトリカルプラグ LSVC-12PE-※-10

コネクタ付ケーブルは、付属品のコネクタにケーブルをセットしたものです。

22

サーボ弁

アンプ搭載形直動リニアサーボ弁

■ 制御流量限界範囲● 制御方式：4 方弁 ● 制御方式：3 方弁

PS ＝ 14 MPa最大漏れ量粘度 32 mm2/s（）

P2 ＝ 14 MPa(0 ⇔ 100 ％ )


■ 電気仕様● 6+PE コネクタ仕様

● 11+PE コネクタ仕様

● 入力 - 出力信号特性

弁モデル　　

　　Pin

LSVG−※EH−※−A1LSVG−※EH−※−D1

LSVG−※EH−※−B1LSVG−※EH−※−E1

LSVG−※EH−※−C1LSVG−※EH−※−F1

Pin A電　　　源

DC 24 V（DC 21.6～26.4 Vリップルを含む）100 VA以上

Pin B 0 V

Pin C 信号コモン COM(0 V)

Pin D 入力（＋）（差動）★10～±10 V

Ri＝100 kΩ4～20 mARi＝200 Ω

0～±10 mARi＝200 ΩPin E 入力（−）（差動）★1

Pin F スプール変位モニタ 0～±10 VRL≧10 kΩ

4～20 mARL＝100～500 Ω★2

0～±10 mARL＝100～500 Ω★2

Pin 保護アース −

弁モデル　　

　　Pin

LSVG−※EH−※−A2LSVG−※EH−※−D2

LSVG−※EH−※−B2LSVG−※EH−※−E2

LSVG−※EH−※−C2LSVG−※EH−※−F2

Pin 1電　　　源

DC 24 V（DC 21.6～26.4 Vリップルを含む）100 VA以上

Pin 2 0 V

Pin 3 Enable（サーボON）入力入力電流＝3～5 mA at DC 4.8～28 V

Pin 4 入力（＋）（差動）★10～±10 V

Ri＝100 kΩ4～20 mARi＝200 Ω

0～±10 mARi＝200 ΩPin 5 入力（−）（差動）★1

Pin 6 スプール変位モニタ 0～±10 VRL≧10 kΩ

4～20 mARL＝100～500 Ω ★2

0～±10 mARL＝100～500 Ω★2

Pin 7 信号コモン COM（0 V）

Pin 8 バルブレディー出力オープンコレクタ出力　電圧：最大30 V　　電流：最大20 mA

Pin 9 − −

Pin 10 − −

Pin 11 アラーム出力オープンコレクタ出力　電圧：最大30 V　　電流：最大20 mA

Pin 保護アース −

★1. 差動入力は、±10 V電圧入力仕様（LSVG-※EH-※-A※/D※）のみです。★2. 推奨負荷抵抗は200 Ωです。

24

サーボ弁


★1

★1

★1. LSVG－※EH－※－※－B2/C2/E2/F2（電流信号）の場合、入力段は下記となります。

★1. LSVG－※EH－※－※－B1/C1/E1/F1（電流信号）の場合、入力段は下記となります。

■ ブロック図

● LSVG−※EH−※−※※−A1/B1/C1/D1/E1/F1（6+PEコネクタ）

● LSVG−※EH−※−※※−A2/B2/C2/D2/E2/F2（11+PEコネクタ）

取付面：ISO 4401-03-02-0-94に準拠


色表示灯詳細緑電源表示赤偏差アラーム黄過負荷表示

LSVGｰ01EH

● 各ポート用ＯリングAS568-012(NBR, Hs90) 4個りん酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。

● 弁取付面寸法下図に示す取付面をご用意ください。なお、取付面寸法は、ISO規格に基本的に合致しております。取付面は6−S程度に仕上げてください。

4-M5 ねじ深10

4-φ7 穴 21.5

12.7

0.75

15.5

5.1

25.9 31 31.75

30.2

40.5

B A

P

T

★1. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。★2. ドライ形に使用する外部配管用ドレンポート“Y”は、通常タンクポート側がプラグされています。タンクポート側を使用する

場合は、タンクポート側ドレンポートの六角穴付プラグ（二面幅：5）を外し、圧力ポート側のドレンポートをプラグしてください。



表示灯

タンクポート“T”


30 40.5

2190.75

0.75

130

47.5

104

46.5

19

6016

70

3132.546

6＋PE or 11＋PEエレクトリカルプラグEN175201 Part 804


銘板

エアベント六角穴二面幅 2.5（ウェット形の場合のみ）

適用ケーブル外形φ8～10

4-φ5.5穴φ9.5ざぐり

NULL調整穴保護ねじ★1M5（＋）ねじ

外部配管用ドレンポート“Y”★2Rc1 ／ 8（裏側）

負圧とならないように、配管して下さい。ウェット形の場合は、配管は必要ありません。（）


ドレンポート“Y”ドライ形の場合のみ使用

シリンダポート“B” 表示灯タンクポート“TA”★2タンクポート“TB”★2


4612

60

53

137

111

37 54242

7016

86


銘板

エアベント六角穴二面幅 2.5（ウェット形の場合のみ）

適用ケーブル外形φ8～10

4-φ“D”穴φ“E”ざぐり

NULL調整穴保護ねじ★1M5（＋）ねじ

モデル番号 S ULSVG-03EH-※-10 M8 17

LSVG-03EH-※-1006 M6 13

26

サーボ弁


色表示灯詳細緑電源表示赤偏差アラーム黄過負荷表示

LSVGｰ03EH


ポート名称Ｏリングサイズ個数

P, A, B, T AS568-014 (NBR, Hs90) 5

Y JIS B2401-1B-P7 1

リン酸エステル系作動油使用の場合には、ふっ素ゴムとなります。

● 弁取付面寸法右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO規格に基本的に合致しておりますが、下表の様に弁取付ねじおよびドレンポート“Y”（ドライ形の場合）が異なります。

ISO 4401-05-04-0-94 LSVG-03EH-※-10取　付　面

LSVG-03EH-※-1006取　付　面

弁取付ね　じ

M6 M8 M6

ドレンポート“Y”（ドライ形の場合）

なしありあり

5-φ11 穴

φ4.5 穴ウェット形の場合、本加工は不要です。

4-“S”ねじ深“U”

11

46

6.4

32.5 21.4

6254

（50.8）

37.3

2716.7

3.2

★2

★2

BA

P

Y

TB

TA

★1. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。

★2. タンクポートは“TA”、“TB”の２箇所ありますが、“TA”ポートのみの使用で差支えありません

モデル番号 D E FLSVG-03EH-※-10 8.3 14 53

LSVG-03EH-※-1006 7 11 51

★

★


★ Flowは、（　）外が入力信号形式“A”“B”“C”を、（　）内が入力信号形式“D”“E”“F”を示します。

LSVG−01EH−4/10/20特性（作動油粘度：30 mm2/S）



■ ステップ応答特性〈条件〉●入力振幅：0 ⇔ 100 ％　●供給圧力：14 MPa


〈条件〉●入力信号：100 ％　　　注）負荷流量の公差：±10 ％



● LSVG−01EH−4/10/20−※−※−10（ドライ形）

● LSVG−01EH−4/10/20−※−※−10（ドライ形）

● LSVG−01EH−4/10/20−W※−※−10（ウェット形）

● LSVG−01EH−4/10/20−W※−※−10（ウェット形）

★

★

28

サーボ弁



LSVG−03EH−40/60特性（作動油粘度：30 mm2/S）



■ ステップ応答特性〈条件〉●入力振幅：0 ⇔ 100 ％　●供給圧力：14 MPa


〈条件〉●入力信号：100 ％　　　注）負荷流量の公差：±10 ％

● LSVG−03EH−40−※−※−10（ドライ形）

● LSVG−03EH−60−※−※−10（ドライ形）

● LSVG−03EH−40−W※−※−10（ウェット形）





● LSVG−03EH−40−※−※−10（ドライ形）


● LSVG−03EH−60−※−※−10（ドライ形）


30

サーボ弁

アンプ搭載形リニアサーボ弁（汎用形）

アンプ搭載形リニアサーボ弁は、2段形高速リニアサーボ弁をベースにパイロット弁の小形化を図り、専用アンプをコンパクトに一体化させ『高精度・簡単・便利』を実現したサーボ弁です

●高精度アンプ搭載形リニアサーボ弁は全形式とも高速リニアサーボ弁同様にヒステリシス0.1 %以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。


（★：LSVHG-03EH代表例）



●2種類のパイロット弁が選択可能パイロット弁は、応答性に優れたドライ形と使い易さを重視してDRポートの配管を不要としたウェット形の2種類を用意していますので、用途に適したものが選択できます。


アンプ搭載形リニアサーボ弁（汎用形）OBE (On-Board Electronic) type Linear Servo Valves (Std.Type)

上図は外部パイロット・内部ドレン形を示します。パイロット・内部ドレン形式は、スプール形式“2”、“2P”、“2L”と同一です。

P T

A B

X DRP T

A B

Y DRP T

A B

DR P T

A B

Y DR

P T

A B

DR

JIS油圧図記号

入力信号及びスプール変位モニタ記号“D”“E”“F”

パイロット形式、ドレン形式は、入力信号及びスプール変位モニタ記号“A”“B”“C”と同一です。

内部パイロット・内部ドレン形内部パイロット・外部ドレン形

外部パイロット・内部ドレン形外部パイロット・外部ドレン形

LSVHG-03/04EH-※-※EA/※EB/※EC LSVHG-06/10EH-※-※EA/※EB/※EC

：パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ

★：スプール形式により異なります。　　（上記油圧図記号と同一です）

P T

A B

DRX P T

A B

DRXY

DRDR

YTBAPXYTBAPX

● スプール形式 “2”,“2P”,“2L” ● スプール形式 “40” ● スプール形式 “4J”

● 詳細図（フェイルセーフ電磁弁付）

スプール形　　式フェイルセーフ機能入力信号及び

スプール変位モニタ2 電磁弁付：EC

A、B、C、D、E、F全て選択可能

40 電磁弁無：無記号、A2L 電磁弁付：EA、EB2P 電磁弁無：無記号、A

4J電磁弁付：EC電磁弁無：無記号 D、E、F電磁弁無：A A、B、C

31 アンプ搭載形リニアサーボ弁（汎用形）

■ 中立時スプールファンクションスプール形式ファンクション

2, 2P, 2L

40

4J


F－ LSVHG －06 EH －900 －2P －E T －W A －A 1 －20

適　用流体記号


大きさの呼び

アンプ搭載形

定格流量⊿P=7MPa時

★1 ★5

スプール形　　式

パイロット形式

ドレン形　式

ドレンポート（DR）

有無および許容背圧

★1


★1

入力信号及びスプール変位モニタ

コネクタ形　式

デザイン番号

F:りん酸エステル系作動油使用の場合のみ記入

LSVHG:2段形リニア

サーボ弁

03

EH:アンプ搭載形

230:230 L/min 2L

無記号：内部

パイロット

E：外部パイロット

無記号：外部

ドレン

T：内部ドレン

無記号：DRポートあり（許容背圧0.05MPa）

（パイロット弁ドライ形）

W:★2

DRポートなし（パイロット弁

ウエット形）

無記号：PBAT振り開度全開

A:PABT振り開度全開 A:電圧信号

±10 V（+入力でPBAT流し）

B: 電流信号4～20 mA

（12～20 mA入力でPBAT流し）

C: 電流信号±10 mA（+入力で

PBAT流し）

D: 電圧信号±10 V（+入力で

PABT流し）

E: 電流信号4～20 mA

（12～20 mA入力でPABT流し）

F: 電流信号±10 mA（+入力で

PABT流し）

1:6+PE極

2:★3

11+PE極

20

270:270 L/min 2, 40, 2P

210:★4

210 L/min4J:ABT接続（中　立）

フェイルセーフ電磁弁付の場合

のみ適用

EA:電磁弁付PABT振り開度10％

EB:電磁弁付PBAT振り開度10％

EC:電磁弁付　　中立

04

750: 750 L/min

2, 40, 2P

2L:2%オーバーラップ

（リニアフローゲイン）

580:★4

580 L/min4J:ABT接続（中　立）

06

900: 900 L/min

1300:1300 L/min

2, 40, 2P2L:

2%オーバーラップ（リニアフローゲイン）

820:★4

820 L/min1300:

1300 L/min

4J:ABT接続（中　立）

10 3800:3800 L/min

2, 40, 2P2L:

2%オーバーラップ（リニアフローゲイン）

無記号：PBAT振り開度全開

A:PABT振り開度全開

★ 1. スプール形式、フェイルセーフ機能、入力信号及びスプール変位モニタの組合わせには制限があります。詳細は、右表をご参照ください。

★ 2.“W”（DR ポートなし）形の場合、水−グリコール系作動油はご使用になれません。

★ 3. フェイルセーフ機能“EC”の場合は、コネクタ形式“2”のみが選択可能です。★ 4. スプール形式“4J”の定格流量は、+100％入力時入力信号及びスプール

変位モニタ形式“A/B/C”は P → A 流れ、“D/E/F”は P → B 流れの値です。

★ 5. 中立時のスプールファンクションは、下表をご参照ください。

●弁フェイルセーフ機能についてフェイルセーフ機能は、アプリケーションの用途に応じて下記記載事項を参照の上、選定してください。なお、本弁はフェイルセーフ機能を有しておりますが、停電および電源ケーブル断線などの電気トラブルや立ち上げ時など、安全確保のため、確実なアクチュエータの保持・停止が必要な場合は、別途安全回路を設けてください。

　1）電気系統OFF、油圧系統ONの場合（停電・電源ケーブル断線時など）項番モデル番号フェイルセーフファンクション★

1 （F-）LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L（-E）（T）（-W） PBAT振り開度全開

2 （F-）LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L（-E）（T）（-W）A PABT振り開度全開

3 （F-）LSVHG-※※EH-※-4J（-E）（T）（-W） PBAT振り開度全開

4 （F-）LSVHG-※※EH-※-4J（-E）（T）（-W）A PABT振り開度全開

5 （F-）LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L（-E）（T）（-W）EA（フェイルセーフ電磁弁付） PABT振り（開度10％）

6 （F-）LSVHG-※※EH-※-2/2P/2L（-E）（T）（-W）EB（フェイルセーフ電磁弁付） PBAT振り（開度10％）

7 （F-）LSVHG-※※EH-※-4J（-E）（T）（-W）EC-A※/B※/C※（フェイルセーフ電磁弁付） A,B,T接続（中立）

8 （F-）LSVHG-※※EH-※-4J（-E）（T）（-W）EC-D※/E※/F※（フェイルセーフ電磁弁付） A,B,T接続（中立）

★フェイルセーフ機能の作動時間は、電気条件・油圧条件により異なります。

　2）電気系OFF、油圧系統OFFの場合（立ち上げ時など）1）表の項番1，2のモデルは、スプール形式の中立ファンクションとなります。項番5，6のモデルは、上記“電気系OFF、油圧系統ONの場合”と同一、項番3,4,7,8は、A,B,T接続（中立）となります。

32

サーボ弁


■ 仕　　様

● LSVHG-※EH-※-2/40/2P/2L本仕様表の（）内数値は、“LSVHG-※EH-※-※-※※-W※-”（DRポートなし形）に適用となります。

モデル番号　　項　目

LSVHG−03EH−230−※






スプール形式 2 L 2 40 2P 2 40 2P 2 L 2 40 2P 2 L 2 40 2P 2 L 2 40 2P 2 L

定格流量 ΔP ＝ 7 MPa 時（4方弁） L/min 230 270 750 900 1300 3800

定格流量 ΔP ’＝ 0.5 MPa時（1ランド） L/min 87 102 283 340 490 1440

最高使用圧力 MPa 31.5 35 35 31.5 35

戻り側耐圧力（1）

外部ドレン

Tポート MPa 21（5） 31.5 35 25 28

Yポート MPa 21（7）（5） 21（7）

内部ドレン

T & Y MPa 21（7）（5） 21（7）

ドレンポート（DR）許容背圧（2） MPa 0.05（“W”モデルは DR ポートなし）

パイロット圧力（3） MPa 1.5 〜 21

パイロット流量（4） L/min 9（8）以上 20（17）以上 22（19）以上 23（19）以上 28（24）以上

パイロット弁の漏れ（最大） PS＝PP＝14 MPa

最大漏れ量32 mm2/s

L/min0.8 1.2


1.6 0.5 1 5.6 0.8 1.6 6.8 2.5 0.9 1.8 7 2.5 1 2 8 2.5 3 6 10 8

ヒステリシス % 0.1 以下

ステップ応答（0 ⇔ 100%）（代表値）（6） ms 8（10） 7（9） 11（13） 11（13） 15（18） 18（20）

周波数応答（±25 ％振幅）（代表値）（6）

ゲイン −3dB Hz 120（100） 125（110） 100（90） 100（90） 75（70） 60（55）

位相差 −90 ° Hz 110（90） 110（100） 90（90） 90（90） 70（75） 70（60）

耐　振　性（7） m/s2 100

防塵・防水性 IP65相当

使用周囲温度範囲 ℃ 0 〜＋50

スプール定格変位 mm ±4 ±3.5 ±5 ±5 ±7 ±7

スプール受圧面積 cm2 3 7 8 8 11.3

極　　　性 35ページ　入力—出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定格

電流 A 最大2.1


概略質量（8） kg 8.5［11］ 14［16］ 20［24］ 20［24］ 77

電気接続 6 ＋ PE または11 ＋ PEコネクタ

注（1）戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。　（2）ドレンポート（DR）の背圧は、0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないようにしてください。　（3）パイロット弁の供給圧力は、1.5〜21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の60 ％以上でご使用ください。　（4）パイロット流量は、パイロット圧力14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。　（5）外部パイロット形で供給圧力 21 MPa 以上で使用される場合は、T, Yポート圧力は 7 MPa 以下としてください。　（6）本特性は、弁単体でパイロット圧力14 MPaとして計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。　（7）取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。　（8）［　］内の質量はフェイルセーフ電磁弁付を示します。　（9）フェイルセーフ機能範囲については59ページをご参照ください。

■ 仕　　様

● LSVHG-※EH-※-4J-※-A※/B※/C※本仕様表の（）内数値は、“LSVHG-※EH-※-※-※※EH-W※-”（DRポートなし形）に適用となります。

モデル番号項　　目

LSVHG-03EH-210-4J-※-A※/B※/C※

LSVHG-04EH-580-4J-※-A※/B※/C※

LSVHG-06EH-820-4J-※-A※/B※/C※

LSVHG-06EH-1300-4J-※-A※/B※/C※

スプール形式4J：A,B,T接続（中立）

P→B流れ：10％オーバーラップ、A→T流れ：50％アンダーラップP→A流れ：60％オーバーラップ、B→T流れ：5％アンダーラップ

定格流量（±10％）

⊿P=3.5 MPa（1ランド）

L/min

P→B流れ：210A→T流れ：235P→A流れ：95B→T流れ：240





L/min





最高使用圧力 MPa 31.5 35 35 31.5


外　部ドレン

Tポート MPa 21 31.5 35 25

Yポート MPa 21（7）

内　部ドレン

T & Yポート

MPa 21（7）

ドレンポート（DR）許容背圧（2） MPa 0.05 以下（“W”形はDRポートなし）

パイロット圧力（3） MPa 1.5 ～ 21

パイロット流量（4） L/min 9（8）以上 20（17）以上 22（19）以上 23（19）以上



L/min

0.8 以下 1.2 以下 1.2 以下


0.7 以下 1.1 以下 1.2 以下

ヒステリシス % 0.1 以下

ステップ応答特性（0⇔100％）Pp=14 MPa （代表値）（5）

ms 7（9） 11（13） 11（13） 15（18）

周波数応答特性（±25％振幅）Pp=14 MPa （代表値（5）

Hzゲイン-3 dB：125（110）位相差-90°：110（100）

ゲイン-3 dB：100（90）位相差-90°：90（90）

ゲイン-3 dB：100（90）位相差-90°：90（90）

ゲイン-3 dB：75（70）位相差-90°：70（75）

耐振性 m/s2 100


使用周囲温度範囲 ℃ 0 ～＋50

スプール定格変位 mm ±3.5 ±5 ±5 ±7

スプール受圧面積 cm2 3 7 8 8

極性 35ページ入力−出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定　　格

電流 A 最大2.1


概略質量（6） kg 8.5〔11〕 14〔16〕 20〔24〕

電気接続 6+PE or 11+PEコネクタ【EN175201 Part 804】

注（1）戻り圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください（なお 03 サイズにおいて外部パイロット形で 21 MPa 以上で使用され　　　る場合は、T,Y ポートは 7 MPa 以下としてください）。　（2）ドレンポート（DR）の背圧は、0.05 MPa 以下でかつ負圧とならないようにしてください。　（3）パイロット弁の供給圧力は、1.5 ～ 21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の 60 ％以上でご使用ください。　（4）パイロット流量は、パイロット圧力 14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。　（5）本特性は、弁単体でパイロット圧力 14 MPa として計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。　（6）［　］内の質量は、フェイルセーフ電磁弁付を示します。　（7）フェイルセーフ機能範囲については59ページをご参照ください。


■ 仕　　様

● LSVHG-※EH-※-4J-※-D※/E※/F※本仕様表の（）内数値は、“LSVHG-※EH-※-※-※※EH-W※-”（DRポートなし形）に適用となります。

モデル番号項　　目

LSVHG-03EH-210-4J-※-D※/E※/F※

LSVHG-04EH-580-4J-※-D※/E※/F※

LSVHG-06EH-820-4J-※-D※/E※/F※

LSVHG-06EH-1300-4J-※-D※/E※/F※

スプール形式4J：A,B,T接続（中立）

P→A流れ：10％オーバーラップ、B→T流れ：50％アンダーラップP→B流れ：60％オーバーラップ、A→T流れ：5％アンダーラップ

定格流量（±10％）


L/min

P→A流れ：210B→T流れ：235P→B流れ：95A→T流れ：240





L/min





最高使用圧力 MPa 31.5 35 35 31.5


外　部ドレン

Tポート MPa 21 31.5 35 25Yポート MPa 21（7）

内　部ドレン

T & Yポート

MPa 21（7）

ドレンポート（DR）許容背圧（2） MPa 0.05 以下（“W”形はDRポートなし）パイロット圧力（3） MPa 1.5 ～ 21パイロット流量（4） L/min 9（8）以上 20（17）以上 22（19）以上 23（19）以上



L/min

0.8 以下 1.2 以下 1.2 以下


0.7 以下 1.1 以下 1.2 以下

ヒステリシス % 0.1 以下ステップ応答特性（0⇔100％）Pp=14 MPa （代表値）（5）

ms 7（9） 11（13） 11（13） 15（18）

周波数応答特性（±25％振幅）Pp=14 MPa （代表値）（5）

Hzゲイン-3 dB：125（110）位相差-90°：110（100）

ゲイン-3 dB：100（90）位相差-90°：90（90）

ゲイン-3 dB：100（90）位相差-90°：90（90）

ゲイン-3 dB：75（70）位相差-90°：70（75）

耐振性 m/s2 100防塵・防水性 IP65 相当使用周囲温度範囲 ℃ 0 ～＋50スプール定格変位 mm ±3.5 ±5 ±5 ±7スプール受圧面積 cm2 3 7 8 8極性 35ページ入力−出力信号特性をご参照ください。

リニアモータ定　　格

電流 A 最大2.1コイル抵抗 20 ℃時 Ω 9.6

概略質量（6） kg 8.5〔11〕 14〔16〕 20〔24〕電気接続 6+PE or 11+PEコネクタ【EN175201 Part 804】

注（1）戻り圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください（なお 03 サイズにおいて外部パイロット形で 21 MPa 以上で使用され　　　る場合は、T,Y ポートは 7 MPa 以下としてください）。　（2）ドレンポート（DR）の背圧は、0.05 MPa 以下でかつ負圧とならないようにしてください。　（3）パイロット弁の供給圧力は、1.5 ～ 21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の 60 ％以上でご使用ください。　（4）パイロット流量は、パイロット圧力 14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。　（5）本特性は、弁単体でパイロット圧力 14 MPa として計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。　（6）［　］内の質量は、フェイルセーフ電磁弁付を示します。　（7）フェイルセーフ機能範囲については59ページをご参照ください。

34

サーボ弁


■ 付属品●取付ボルト


LSVHG−03EH 六角穴付ボルト：M6×35L 4個 12.9〜15.9 Nm

LSVHG−04EH六角穴付ボルト：M6×55L 2個 12.9〜15.9 Nm六角穴付ボルト：M10×60L 4個 60.6〜74.1 Nm

LSVHG−06EH 六角穴付ボルト：M12×85L 6個 104〜127 NmLSVHG−10EH 六角穴付ボルト：M20×90L 6個 493〜603 Nm

●コネクタ


LSVHG−※EH−※−※1 6＋PEエレクトリカルプラグ 1個 EN175201

PART804準拠品LSVHG−※EH

−※−※2 11＋PEエレクトリカルプラグ 1個


■ 電気仕様●6＋PEコネクタ仕様

Pin A

Pin B

Pin C

Pin D

Pin E

Pin F

Pin

電　　　源

信号コモン

入力（＋）（差動）★1

入力（−）（差動）★1

スプール変位モニタ

保護アース

DC 24 V（DC 21.6〜26.4 V リップルを含む）50 VA 以上

0 V

COM（0 V）

0〜±10 V

Ri ＝ 100 kΩ

0〜±10 V

RL ≧ 10 kΩ

—

4〜20m A

Ri ＝ 200 Ω

4〜20 mA

RL ＝ 100〜500 Ω★2

0〜±10 mA

Ri ＝ 200 Ω

0〜±10 mA

RL ＝ 100〜500 Ω★2

LSVHG−※EH−※−A1LSVHG−※EH−※−D1

LSVHG−※EH−※−B1LSVHG−※EH−※−E1

LSVHG−※EH−※−C1LSVHG−※EH−※−F1Pin

弁モデル

●11＋PEコネクタ仕様

Pin 1

Pin 2

Pin 3

Pin 4

Pin 5

Pin 6

Pin 7

Pin 8

Pin 9★3

Pin 10★3

Pin 11

Pin

電　　　源

Enable（サーボ ON）入力

入力（＋）（差動）★1

入力（−）（差動）★1


信号コモン

バルブレディー出力

電源（電磁弁用）

アラーム出力

保護アース

DC 24 V（DC 21.6〜26.4 V リップルを含む）50 VA 以上

0 V

入力電流＝ 3〜5 mA at DC 4.8〜28 V

0〜±10 V

Ri ＝ 100 kΩ

0〜±10 V

RL ≧ 10 kΩ

COM（0 V）

オープンコレクタ出力　電圧：最大30 V 　　電流：最大20 mA

DC 24 V（DC 21.6〜26.4 V リップル含む）14 VA（保持電流0.6 A）

0 V

オープンコレクタ出力　電圧：最大30 V 　　電流：最大20 mA

—

4〜20 mA

Ri ＝ 200 Ω

4〜20 mA

RL ＝ 100〜500 Ω★2

0〜±10 mA

Ri ＝ 200 Ω

0〜±10 mA

RL ＝ 100〜500 Ω★2

LSVHG−※EH−※−A2LSVHG−※EH−※−D2

LSVHG−※EH−※−B2LSVHG−※EH−※−E2

LSVHG−※EH−※−C2LSVHG−※EH−※−F2Pin

弁モデル

●入力−出力信号特性

BA

TP

BA

TP

＋10 mA

＋10 mA

＋10 V

＋10 V20 mA

C1/C2

A1/A2B1/B2

0 mA

0 mA

0 V

0 V

12 mA

12 mA

－10 mA

－10 mA

－10 V－10 V

4 mA

4 mA


20 mA

入力信号

B

CD

E

FA

1

2

34 5

6

7

8

10

9 11

B

CD

E

FA

1

2

34 5

6

7

8

10

9 11

・LSVHG−※EH−※−A※/B※/C※

BA

TP

BA

TP

＋10 mA

＋10 mA

＋10 V

＋10 V20 mA

F1/F2

D1/D2E1/E2

0 mA

0 mA

0 V

0 V

12 mA

12 mA

－10 mA

－10 mA

－10 V－10 V

4 mA

4 mA


20 mA

入力信号

・LSVHG−※EH−※−D※/E※/F※

★1. 差動入力は、±10 V 電圧入力仕様（LSVHG−※EH−A※/D※）のみです。★2. 推奨負荷抵抗は200 Ωです。★3. Pin 9、10は、フェイルセーフ電磁弁付の場合のみ使用します。なお、電磁弁電源はアンプ電源（Pin 1、2）と

別電源にしてください。

36

サーボ弁


供給電源

入力信号

入力信号

PWM

5 A

パイロット弁－ L.V.D.Tアンプ

主弁－ L.V.D.Tアンプ

A

B

入力（＋）

入力（－）


COM

DC24V

0V

D

E

F

C

保護アース PE

入力（＋）

入力（－）

D

E200Ω

Ri

Ri

100kΩ

＋V

－V

NULL

注）1. LSVHS-※EH-※-※-B1/C1/E1/F1（電流信号）の場合、入力段は下記となります。

電源表示内部電源

LED（黄）

主弁偏差アラーム

パイロット弁偏差アラーム

LED（赤）

電流検出

パイロット弁L.V.D.T

主弁L.V.D.T

コイル

LED（緑）

注）1

■ ブロック図

● LSVHG−※EH−※−※−A1/D1（6＋PEコネクタ）

● LSVHG−※EH−※−※−A2/D2（11＋PEコネクタ）

PWM

5 A

8

3

1

2

アラーム出力

入力（＋）入力（－）


COM

供給電源

バルブレディEnable 入力

DC24V

0V

11

4

5

6

7

入力信号

注）1. LSVHG－※EH－※－※－B2/C2/E2/F2（電流信号）の場合、入力段は下記となります。

　　2. Pin9およびPin10はフェイルセーフ電磁弁付：LSVHG－※EH－※－※－※E※の場合のみ使用します。

Ri100kΩ

200Ω4

5

DC24V

0V

供給電源（電磁弁用）

9

10

保護アース PE

LED（黄）

LED（赤）

LED（緑）

パイロット弁偏差アラーム

＋V

＋V

－V

入力信号入力（＋）

入力（－）Ri

電源表示内部電源

バルブレディ

主弁偏差アラーム

電流検出

コイルNULL

注）1

パイロット弁－ L.V.D.Tアンプ

主弁－ L.V.D.Tアンプ

パイロット弁L.V.D.T

主弁L.V.D.T

ソレノイド（フェイルセーフ電磁弁）

消費電力14 W

注）2

注）2


取付面：ISO 4401-05-05-0-94に準拠LSVHGｰ03EHｰ230/270

フェイルセーフ電磁弁付LSVHGｰ03EHｰ230/270ｰ※ｰ※EA/EB/EC



【弁取付面寸法】下図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO 4401−05−05−0−94に基本的に合致しております。取付面は6−S程度に仕上げてください。

ポート名称 O リングサイズ

P, A, B, T

X, Y

AS568 − 014（NBR, Hs90）

AS568 − 016（NBR, Hs90）

5

2

個数

モデル番号 C

LSVHG−03EH−※−※

LSVHG−03EH−※−※−※−W

168

177

パイロット弁ドライ形

パイロット弁ウエット形

備　考

モデル番号 C

LSVHG−03EH−※−※−E※

LSVHG−03EH−※−※−WE※

218

227



備　考

★3.タンクポートは“TA”，“TB”の2箇所ありますが、“TA”のみの使用で差し支えありません。

● その他の寸法は、上図（フェイルセーフ電磁弁なし）をご参照ください。

★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ（二面幅：5）を外し、裏側のポートをプラグしてください。


TA

A B

P

YX

TB★3★3

4-φ11穴

11

8 3.2

深134-M6ねじ

2-φ6.2穴

16.7

27

37.3

54

62

(50.8)

6.4

21.5

32.5

46

0404

LSVHG-03EH-270:220.5

★2

★3

★3

★1

パイロット弁偏差アラーム主弁偏差アラーム

電源表示

黄赤緑

表示灯詳細色





パイロットドレンポート“Y”4-φ7穴φ11ざぐり

タンクポート“TB”タンクポート“TA” パイロットスプール用位置センサ


表示灯

NULL調整穴保護ねじM5（＋）ねじ

パイロット弁銘板

主弁銘板

外部配管用ドレンポート“DR”Rc1/8（裏面）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）適用ケーブル外径：φ8～10

54

157


LSVHG-03EH-230:237

LSVHG-03EH-230:58LSVHG-03EH-270:41.5

ドレンポート

“DR”位置 46

(4.5)

4612

12.5

25

104

131.5

27

C

(176)

（）負圧とならないように、配管して下さい。

28

12

702

181.5 C

111

76

P YTX BA

DR

注）■部はスプール形式により　　異なります（663ページの　　JIS油圧図記号と同一です）。

詳細油圧図記号

: パイロット形式、ドレン形式選択用プラグ

R

YUKEN KOGYO CO.,LTD. JAPAN

181.5 C

111

76

P YTX BA

DR

注）■部はスプール形式により　　異なります（30ページの　　JIS油圧図記号と同一です）。



R


38

サーボ弁


モデル番号 C

LSVHG−04EH−750−※−E※

LSVHG−04EH−750−※−WE※

244

253



備　考


φ17.5ざぐり4-φ10.5穴


タンクポート“T”パイロット圧力ポート“X”


2-φ6.4穴φ11ざぐり圧力ポート“P”銘板


取付面

NULL調整保護ねじM5（＋）ねじ

Oリング付


表示灯


適用ケーブル外径：φ8～106＋PE or 11＋PE エレクトリカルプラグEN175201 Part 804

ドレンポート

“DR”位置 12

ドレンポート

“DR”位置 58

50

(4.5)

70 912

34.1

58101.6

218.5298.5

35

69.9

10.5

外部配管用ドレンポート“DR”★1

★2

50

157.5

45

(178) C

431

46

13.4

128.622


電源表示

黄赤緑

表示灯詳細色

Rc1/8（裏面）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）


主弁銘板


LSVHGｰ04EHｰ750

フェイルセーフ電磁弁付：LSVHGｰ04EHｰ750ｰ※ｰ※EA/EB/EC

【弁取付面寸法】弁取付面寸法は、LSVHG−04（11ページ）と同じです。



ポート名称 O リングサイズ

P, A, B, T

X, Y

JIS B2401 − 1B − P22

AS568 − 012（NBR, Hs90）

4

2

個数

★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅5)を外し、裏側のポートをプラグしてください。


モデル番号 C


LSVHG−04EH−750−※−W

194

203



備　考

207.5 C

76

121.5

P YTX BA

DR

注）■部はスプール形式により　　異なります（663 ページの　　JIS 油圧図記号と同一です）。


D

35


R

207.5 C

76

121.5

P YTX BA

DR

注）■部はスプール形式により　　異なります（30 ページの　　JIS 油圧図記号と同一です）。


D

35


R


R

主弁銘板


ドレンポート

“DR”位置 69

ドレンポート

“DR”位置 23


電源表示緑色

赤黄

表示灯詳細


パイロット圧力ポート“X”シリンダポート“A”




Rc 1／8 （両側）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）






表示灯

適用ケーブル外径：φ8～106＋PE or 11＋PEエレクトリカルプラグEN175201 Part 804

638.5

92.1

183.5 C

（185）

64

0404

13

46

70 118

2

55

130.2

（4.5）53.2

77

36.1

77.2

11.5

156

LSVHG-06EH-900：348.5LSVHG-06EH-1300：351.5

LSVHG-06EH-900：271.5LSVHG-06EH-1300：274.5

負圧とならないように、配管して下さい。

★2

LSVHGｰ06EHｰ900/1300

フェイルセーフ電磁弁付：LSVHGｰ06EHｰ900/1300ｰ※ｰ※EA/EB/EC



ポート名称Oリングサイズ

P, A, B, T

X, Y

LSVHG−06EH−900

AS568−123（NBR ,Hs90）

JIS B2401−1B−P14

LSVHG−06EH−1300

AS568−126（NBR, Hs90） 4

2

個数

★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常裏側がプラグされています。裏側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅：5)を外し、手前側のポートをプラグしてください。

★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ずこのねじを取付けてください。

モデル番号 C


LSVHG−06EH−※−※−W

244

253



備　考


64

76

135

233.5

69 284.5

C

375.5

P YTX BA

DR

注）■部はスプール形式により異なります　　（663ページの油圧図記号と同一です）。



D

35

R

YUKEN KOGYO CO.,LTD. JAPAN 64

76

135

233.5

69 284.5

C

375.5

P YTX BA

DR

注）■部はスプール形式により異なります　　（30ページの油圧図記号と同一です）。



D

35

R


モデル番号 C

LSVHG−06EH−※−※−E※

LSVHG−06EH−※−※−WE※

270

279



備　考


40

サーボ弁


LSVHGｰ10EHｰ3800

R


2-φ6 位置決めピン


適用ケーブル外径：φ8～10

6+PE or 11+PEエレクトリカルプラグEN175201 Part 804

φ32 ざぐり6-φ21 穴

パイロットドレンポート“Y”（外部ドレン形の場合のみ使用）

圧力ポート“P”タンクポート“T”

パイロット圧力ポート“X”（外部パイロット形の場合のみ使用）


シリンダポート“B”シリンダポート“A” 主弁銘板

NULL調整穴保護ねじM5（+）ねじ

表示灯


79.4

158.8

ドレンポート

ドレンポート

“DR”位置 105

“DR”位置 59

6

19.6

21.7234

(222.4)

C

70 198

95.7

76.2190.5

380.8498.5

2

（4.5）

114.3

76

76.5

115.8

306.5

60


Rc 1／8 （両側）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）負圧とならないように、配管して下さい。


電源表示緑色

赤黄

表示灯詳細

★2




P, A, B, T

X, Y

AS568−227（NBR, Hs 90）

AS568−015（NBR, Hs 90）

4

2

個数

82.5

158.8

123.8

28.6

35

4-φ50穴

6-M20 ねじ深34

AX B

Y

147.6

168.3

41.3

T

76.2

114.3

P

190.5

2-φ11穴

114.3

2-φ7穴深8


【弁取付面寸法】右図に示す取付面をご用意ください。なお取付面寸法は、ISO規格に合致しておりますが、P,A,B,Tポートの穴径が異なります。

ISO 4401−10−08−0−94 LSVHG−10用取付面


φ36 φ50



モデル番号 C


LSVHG−10EH−※−※−W

343

352



備　考



LSVHGｰ03EHｰ230特性（作動油粘度：30 mm2/S）






零近傍　入力信号−20 ⇔ ＋20 ％

ｰ100 ｰ50

50 100

0

50

ｰ50

ｰ100

100

Flow:P→B→A→T （P→A→B→T）

ｰ20 ｰ15 ｰ10 ｰ5

5 10 15 20

0 5 10 15 20 25 31.5

0

15

10

5

20 600

500

400

300

200

100

0ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

L/min

流　量



★

Flow:P→A→B→T （P→B→A→T）

★ Flow:P→A→B→T （P→B→A→T）

★

★


L/min

流　量

L/min

流　量

100％

5ms

0％ 0％

100 80 60 40 20 0



100％

5ms

0％ 0％

100 80 60 40 20 0



入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン



● パイロット弁：ドライ形


● パイロット弁：ウエット形

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン


42

サーボ弁


入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

周波数　Hz

dB

ゲイン

位相差　度

1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

LSVHGｰ03EHｰ270ｰ2/40/2P特性（作動油粘度：30 mm2/S）





零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％

ｰ100 ｰ50

50 100

0

50

ｰ50

ｰ100

100

ｰ20 ｰ15 ｰ10 ｰ5

5 10 15 20

0 5 10 15 20 25 31.5

0

15

10

5

20 700

600

500

400

300

200

100

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

L/min

流

　量スプール形式

－2－, －40－

スプール形式－2P－



L/min

流

　量

L/min

流

　量


★



★


★


→　時　間

100％

5ms

0％ 0％

100 80 60 40 20 0


入力信号 →　時　間

100％

5ms

0％ 0％

100 80 60 40 20 0


入力信号


〈条件〉●油圧回路：A, Bポート閉　●供給圧力・パイロット圧力：14 MPa　

● パイロット弁：ドライ形 ● パイロット弁：ウエット形



位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン位相差ゲイン




LSVHGｰ03EHｰ210ｰ4J特性（作動油粘度：30 mm2/S）


〈条件〉●弁差圧：ΔP＝0.5 MPa（1ランド）

Flow:A→T★　　（B→T）

Flow:P→B★　　（P→A）

Flow:P→A★　　（P→B）

Flow:B→T★　　（A→T）


44

サーボ弁











★Flow:P→B→A→T （P→A→B→T）

★



★

50 100

ｰ100 ｰ50 0

300

200

100

ｰ100

ｰ200

ｰ300

10 15 20 25 30 3550

1800

1600

1400

1200

1000

800

600

400

200

0

L/min

流　量


5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％




L/min

流　量

L/min

流　量

5ms

0％100％

0％

100806040200

スプール変位　％

→　時　間入力信号 0％

100％0％

100806040200

スプール変位　％


5ms


位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン




● パイロット弁：ウエット形周波数　Hz 周波数　Hz

位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン


LSVHGｰ04EHｰ750ｰ2L特性（作動油粘度：30 mm2/S）

LSVHGｰ04EHｰ580ｰ4J特性（作動油粘度：30 mm2/S）



〈条件〉●弁差圧：ΔP＝1 MPa（4方向）（1ランド差圧：0.5 MPa）

〈条件〉●弁差圧：ΔP＝0.5 MPa（1ランド）

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％

Flow:P→A→B→T★　　（P→B→A→T）


Flow:P→B→A→T★　　（P→A→B→T）


負荷流量特性、ステップ応答特性、周波数応答特性については、スプール形式“2”、“40”、“2P”と同一です。







46

サーボ弁







〈条件〉●入力信号：100 ％注）負荷流量の公差：±10 ％Flow:P→B→A→T

（P→A→B→T）

★



★


★

3530

50 100

ｰ100 ｰ50 0

400

300

100

200

ｰ100

ｰ200

ｰ300

ｰ400

10 15 20 2550

3000

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量


5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％




L/min

流　量

L/min

流　量

5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0


入力信号

5ms

→　時　間




位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン


位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン








LSVHGｰ06EHｰ820/1300ｰ4J特性（作動油粘度：30 mm2/S）

■ 無負荷流量特性　〈条件〉●弁差圧：ΔP＝1 MPa（4方向）（1ランド差圧：0.5 MPa）

■ 無負荷流量特性　〈条件〉●弁差圧：ΔP＝1 MPa（4方向）（1ランド差圧：0.5 MPa）

■ 無負荷流量特性　〈条件〉●弁差圧：ΔP＝0.5 MPa（1ランド）

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％Flow:P→B→A→T★　　（P→A→B→T）





零近傍入力信号-20⇔+20 ％






LSVHG-06EH-820- LSVHG-06EH-1300-












48

サーボ弁



★ Flow:P→B→A→T （P→A→B→T）

★



★

31.5

100

ｰ100 ｰ50 0

600

500

400

300

200

100

ｰ400

ｰ300

ｰ200

ｰ100

ｰ500

ｰ600

10 15 20 2550

3000

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量


5 10 15 20

ｰ10 ｰ5ｰ15ｰ20 0

60

40

20

ｰ20

ｰ40

ｰ60

50

零近傍　入力信号−20 ⇔ ＋20 ％




L/min

流　量

L/min

流　量







5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0


→　時　間入力信号 0％

100％ 0％

100 80 60 40 20 0



5ms




位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン




位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン位相差

ゲイン






★



★

零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％

10 15 20 25 30 3550

10000

9000

8000

7000

6000

5000

4000

3000

2000

1000

0

L/min

流

　量


0300

600

900

1200

1500

1800

-300

-600

-900

-1200

-1500

-1800

50 100

-50-100

L/min

流

　量

入力信号　%

0

100

200

300

5 10 15 20

-100

-200

-300

-5

：-2P-

-10-15-20

L/min

流

　量

入力信号　%

スプール形式

スプール形式:-2-,-40-







→ 時　間入力信号

スプール変位

％ 020406080100

0％100％

0％

5ms→←

→ 時　間入力信号

スプール変位

％ 020406080100

0％100％

0％

5ms→←



入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %

-30

-25

-20

-15

-10

-5

0

51 5 10 20 304050 100 200 500

-180

-150

-120

-90

-60

-30

0

30

位相差

　度

ゲイン

dB

周波数　Hz

ゲイン

位相差

-30

-25

-20

-15

-10

-5

0

51 5 10 20 304050 100 200 500

-180

-150

-120

-90

-60

-30

0

30

位相差

　度

ゲイン

dB

周波数　Hz

ゲイン

位相差



入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %

-30

-25

-20

-15

-10

-5

0

51 5 10 20 304050 100 200 500

-180

-150

-120

-90

-60

-30

0

30

位相差

　度

ゲイン

dB

周波数　Hz

ゲイン

位相差

-30

-25

-20

-15

-10

-5

0

51 5 10 20 304050 100 200 500

-180

-150

-120

-90

-60

-30

0

30

位相差

　度

ゲイン

dB

周波数　Hz

ゲイン

位相差



50

サーボ弁




★



★


零近傍　入力信号－20 ⇔ ＋20 ％

0300

600

900

1200

1500

1800

50 100

-100 -50

-300

-600

-900

-1200

-1500

-1800

L/min

流

　量

入力信号　%5 10 15 20

0

100

200

300

-5-10-15-20

-100

-200

-300

入力信号　％

L/min

流

　量





51 アンプ搭載形リニアサーボ弁（高性能形）

内部パイロット・外部ドレン形

外部パイロット・外部ドレン形

内部パイロット・内部ドレン形

注）パイロット・ドレン形式は　　上図“4方弁”と同じです。

外部パイロット・内部ドレン形

TP Y

BA

DR

P T X DR

A B

P T

A B

DR

XTP Y

BA

DR

P T

A B

DR

● 4方弁

● 3方弁

アンプ搭載形リニアサーボ弁（高性能形）は、より高精度・高耐久化のため、『高精度・簡単・便利』でご好評をいただいているアンプ搭載リニアサーボ弁（汎用形）のメイン段にスリーブを組込みました。スプールとスリーブの1％オーバーラップを適正に確保するため、スプールとスリーブはマッチング加工を施していますので、より高精度、高耐久を必要とするシステムに適しています。

●高精度高性能形も全形式とも汎用形と同様にヒステリシス0.1 %以下と高精度を実現しています。したがって、母機の再現性を大幅に向上させることが可能です。


（★：LSVHG-03EH−※−S※代表例）




●2種類のパイロット弁が選択可能パイロット弁は、応答性に優れたドライ形と使い易さを重視して DR ポートの配管を不要としたウェット形の2種類を用意していますので、用途に適したものが選択できます。

F− LSVHG −06 EH −900 −S 4 −E T −W A −A 1 −20

適　用流体記号


大きさの呼び

アンプ搭載形

定格流量ΔP=7 MPa

スプール形　式

制御方式

パイロット形　式

ドレン形　式

ドレンポート（DR）有無およ

び許容背圧


コネクタ形　式

入力信号及びスプール変位モニタ

デザイン番号

F：

りん酸エステル

系作動油使用の

場合のみ記入

LSVHG：

2段形リニア

サーボ弁

EH：

アンプ搭載形

60：60 L/min

100：100 L/min

160：160 L/min

100：100 L/min

200：200 L/min

280：280 L/min

450：450 L/min

500：500 L/min

900：900 L/min

03

04

06

S : 1％

オーバー

ラップ

3 :

3方弁★1

（Aポート

使用）

4 :

4方弁

無記号：

内部

パイロット

E：外部

パイロット

無記号：

外部

ドレン

T：内部

ドレン

無記号：

DRポートあり（許容背圧0.05MPa）

W：

DRポートなし★2

（パイロット弁ウエット形）

A：電圧信号±10V、＋入力で　　PBAT流しB：電流信号4〜20mA、（12〜　 20mA入力で　 PBAT流し）C：電流信号±10mA、（＋入力で　 PBAT流し）D：電圧信号±10V、（＋入力で　 PABT流し）E：電流信号4〜20mA、（12〜　 20mA入力で　 PABT流し）F：電流信号±10mA、（＋入力で　 PABT流し）

無記号：　 PBAT振り　開度全開A：　 PABT振り　開度全開フェイルセーフ電磁弁付の場合のみ適用EA：　電磁弁付　 PABT振り　開度10％EB：　電磁弁付　 PBAT振り　開度10％

1：6＋PE極

2：11＋PE極

2：11＋PE極

20


★1．3方弁の場合、フェイルセーフ電磁弁付は“EB”が、また、入力信号およびスプール変位モニタは、“D”“E”“F”のみ選択可能です。★2．「W」（DRポートなし）形の場合、水−グリコール系作動油はご使用になれません。

JIS油圧図記号

アンプ搭載形リニアサーボ弁（高性能形）OBE(On-Board Electronic)type Linear Servo Valves(High Performance Type)

52

サーボ弁

アンプ搭載形リニアサーボ弁（高性能形）

■ 仕　　様

項　目モデル番号

注（1）戻り側圧力は、実際に使用される供給圧力以下でご使用ください。　（2）ドレンポート（DR）の背圧は、0.05 MPa 以下で、かつ負圧とならないように注意してください。　　　なお、モデル番号に“W”が付く場合は、ドレンポート（DR）の配管は必要ありません。　（3）パイロット弁の供給圧力は、1.5〜21 MPa の範囲で、かつ実際に使用される供給圧力の60 ％以上でご使用ください。　（4）パイロット流量は、パイロット圧力14 MPa とし、上記ステップ応答特性の値より算出しています。　（5）本特性は、弁単体でパイロット圧力14 MPaとして計測したものです。したがって、それぞれの使用回路・条件により特性が異なります。　（6）取付姿勢には制限がありますので、使用上の注意をご参照ください。　（7）外部パイロット形で供給圧力 21 MPa 以上で使用される場合は、T, Yポート圧力は 7 MPa 以下としてください。　（8）［］内の質量はフェイルセーフ電磁弁付を示します。　（9）フェイルセーフ機能範囲については、59ページをご参照ください。

31.5

21

21（7）（7）

21（7）（7）

4以上

35

31.5

21（7）

21（7）

0.05（“W”モデルはDRポートなし）

1.5〜21

6以上

35

35

21（7）

21（7）

21以上

1.2

S3

−

900

2.41.04.81.92.51.30.90.55.02.51.70.91.10.6

0.4

0.1以下

100

IP65相当

0〜＋50

最大2.1

9.6

6＋PE または 11＋PE コネクタ（EN175201 Part 804）

7（8）

110（80）

110（90）

11（12）

100（80）

100（90）

12（13）

100（80）

95（90）

±3.5

1.3

±3.5

3.1

±5

8

8.5［11］

ISO 4401-05-05-0-94

14［16］

ISO 4401-07-06-0-94

20［24］

ISO 4401-08-07-0-94

0.32.11.10.6

−

500

900

−

S4

500

−

−

450

−

280

S3

−

200

−

100

450

−

S4

280

−

200

−

100

−

−

160

S3

−

100

−

60

160

−

S4

100

−

60

本仕様表の（）内数値は、“LSVHG−※EH−※−S※−※※−W※−”（DRポートなし形）に適用となります。

−

L/min

L/min

MPa

MPa

MPa

MPa

MPa

MPa

L/min

L/min

%

ms

Hz

Hz

m/s2

−

℃

mm

cm2

A

Ω

kg

スプール形式

定格流量 ΔP ＝ 7 MPa 時（4方弁）

定格流量 ΔP ＝ 3.5 MPa 時（3方弁）

最高使用圧力

ドレン（DR）ポート許容背圧（2）

パ　イ　ロ　ッ　ト　圧　力（3）

パ　イ　ロ　ッ　ト　流　量（4）

ヒステリシス

ステップ応答（0⇔100%）（代表値）（5）

パイロット弁の漏れ（最大）

PS＝PP＝14 MPa

作動油粘度

32mm2/s主弁の漏れ

（最大）

周波数応答（代表値）（5）

耐　振　性（6）

防塵・防水性

使用温度範囲

スプール定格変位

スプール受圧面積

リニアモータ定格

概略質量（8）

取　付　面

電気接続

電流

コイル抵抗 20℃時

ゲイン　−3dB（±25％振幅）位相差　−90 °（±25％振幅）

戻り側

耐圧力（1）

外部ドレン

Tポート

Yポート

T & Y内部

ドレン

LSVHG−03EH−※−S※ LSVHG−04EH−※−S※LSVHG−06EH

−※−S※

■ 付属品、電気仕様、ブロック図についてこれらについては汎用形と同じですので該当するページをご参照ください。

項　　目参照ページ

付　属　品

電気仕様

ブロック図

34

35

36


P YTX BA

DR

R




181.5 C

76

111


57 173.5

252.5

54


適用ケーブル外径：φ8～10

6+PE or 11+PEエレクトリカルプラグEN175201 Part 804

タンクポート“TB”

タンクポート“TA”





シリンダポート“A”主弁銘板


4-φ7穴φ11ざぐり

ドレンポート

“DR”位置 46

（4.5）

23

46 70212

外部配管用ドレンポート“DR”Rc 1／8 （裏面）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）

12.5

25

104

27

131.5

C

（176）

負圧とならないように、配管してください。


電源表示緑色

赤黄

表示灯詳細

R


★3

★3

★2

★1


表示灯

1228

LSVHGｰ03EHｰ60/100/160ｰS※

フェイルセーフ電磁弁付LSVHGｰ03EHｰ60/100/160ｰS※ｰ※EA/EB



【弁取付面寸法】弁取付面寸法は、LSVHG−03EH（37ページ）と同じです。


P, A, B, T

X, Y

AS568−014（NBR, Hs90）

AS568−016（NBR, Hs90）

5

2

個数

モデル番号 C

LSVHG−03EH−※−S※

LSVHG−03EH−※−S※−W

168

177



備　考

モデル番号 C

LSVHG−03EH−※−S※−E※

LSVHG−03EH−※−S※−WE※

218

227



備　考

●その他の寸法は、上図（フェイルセーフ電磁弁なし）をご参照ください。

★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ（二面幅：5）を外し、裏側のポートをプラグしてください。

★2. NULL調整を行う場合は、保護ねじを取外し、奥にあるトリマを回してください。調整後は、必ず保護ねじを取付けてください。★3.タンクポートは“TA”，“TB”の2箇所ありますが、“TA”のみの使用で差し支えありません。

取付面：ISO 4401-05-05-0-94に準拠

54

サーボ弁


φ17.5ざぐり4-φ10.5穴


タンクポート“T”パイロット圧力ポート“X”


2-φ6.4穴φ11ざぐり圧力ポート“P”


0404


取付面

NULL調整保護ねじM5（＋）ねじ

Oリング付


表示灯


適用ケーブル外径：φ8～106＋PE or 11＋PE エレクトリカルプラグEN175201 Part 804

ドレンポート

“DR”位置 12

ドレンポート

“DR”位置 58

50

(4.5)

70 912

34.158 101.6

218.5298.5

35

69.9

10.5


★2

50

157.5

45

(178) C

431

46

13.4

主弁銘板 128.622


電源表示

黄赤緑

表示灯詳細色

Rc1/8（裏面）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）


LSVHGｰ04EHｰ100/200/280/450ｰS※

フェイルセーフ電磁弁付：LSVHGｰ04EHｰ100/200/280/450ｰ※Sｰ※EA/EB





P, A, B, T

X, Y

JIS B2401−1B−P22

AS568−012（NBR, Hs90）

4

2

個数

★1. 外部配管用ドレンポート“DR”は、通常手前側がプラグされています。手前側を使用する場合は、六角穴付プラグ(二面幅5)を外し、裏側のポートをプラグしてください。


モデル番号 C



194

203



備　考

P YTX BA

DR

D

35

40

40

R



207.5 C

76

121.5

P YTX BA

DR

D

35

40

40

R



207.5 C

76

121.5

モデル番号 C



244

253



備　考



R

ドレンポート

“DR”位置 69

ドレンポート

“DR”位置 23


電源表示緑色

赤黄

表示灯詳細


パイロット圧力ポート“X”シリンダポート“A”




Rc 1／8 （両側）（パイロット弁ドライ形の場合のみ）






表示灯


主弁銘板

適用ケーブル外径：φ8～106＋PE or 11＋PEエレクトリカルプラグEN175201 Part 804

638.5

92.1

183.5 C

（185）

64

0404

13

46

70 118

2

55

130.2（4.5）

53.2

77

36.1

77.2

11.5

156

348.5

271.5

負圧とならないように、配管して下さい。

★2

LSVHGｰ06EHｰ500/900ｰS※

フェイルセーフ電磁弁付：LSVHGｰ06EHｰ500/900ｰ※Sｰ※EA/EB




P, A, B, T

X, Y

AS568−123（NBR ,Hs90）

JIS B2401−1B−P14

4

2

個数



【弁取付面寸法】弁取付面寸法は、LSVHG−06−900（12ページ）と同じです。

P YTX BA

DR

D

35

R


233.5

135

76

C

284.5

375.5

69


P YTX BA

DR

D

35

R


233.5

135

76

C

284.5

375.5

69


モデル番号 C



270

279



備　考


モデル番号 C



220

229



備　考

56

サーボ弁



LSVHGｰ03EHｰ60/100/160ｰS※特性（作動油粘度：30 mm2/S）






★


★

10020 40 60 80

-20-40-60-80-100 0

100

150

200

50

ｰ50

ｰ100

ｰ200

ｰ150

L/min

流　量

10 15 20 25 3031.5

50

400

350

300

250

200

150

100

50

0

L/min

流　量

入力信号　％

負荷圧力＝┃PA－PB┃ MPa

弁差圧：ΔP＝7MPa一定（4方弁）

LSVHG-03EH -160-S4

LSVHG-03EH -160-S3

LSVHG-03EH -100-S4

LSVHG-03EH -100-S3

LSVHG-03EH -60-S4

LSVHG-03EH -60-S3

10020 40 60 80

-20-40-60-80-100 0

100

150

200

50

ｰ50

ｰ100

ｰ200

ｰ150

L/min

流　量

入力信号　％

弁差圧：ΔP＝3.5MPa一定（3方弁）

Flow:P→A

Flow:A→T

LSVHG-03EH-160LSVHG-03EH-100

LSVHG-03EH-60

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0


入力信号

5ms

→　時　間 0％

100％ 0％

100 80 60 40 20 0


入力信号

5ms

→　時　間


位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン







位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン



LSVHGｰ04EHｰ100/200/280/450ｰS※特性（作動油粘度：30 mm2/S）








★


★

10020 40 60 80

-20-40-60-80-100 0

200

300

400

500

100

-100

-200

-500

-300

-400

L/min

流　量

10 15 20 25 30 3550

1100 1000

800

600

400

200

0

L/min

流　量

入力信号　％

負荷圧力＝┃PA－PB┃ MPa


LSVHG-04EH -450-S4

LSVHG-04EH -280-S4

LSVHG-04EH -100-S4

LSVHG-04EH -200-S4

LSVHG-04EH-450-S※

LSVHG-04EH-100-S※

LSVHG- 04EH-200-S※

LSVHG- 04EH-280-S※

10020 40 60 80

-20-40-60-80-100 0

200

300

400

500

100

-100

-200

-500

-300

-400

L/min

流　量

入力信号　％


LSVHG-04EH -450-S3

LSVHG-04EH -280-S3

LSVHG-04EH -100-S3

LSVHG-04EH -200-S3

Flow:P→A

Flow:A→T

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0


入力信号

5ms

→　時　間 0％

100％ 0％

100 80 60 40 20 0


入力信号

5ms

→　時　間


位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン






位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン

58

サーボ弁


LSVHGｰ06EHｰ500/900ｰS※特性（作動油粘度：30 mm2/S）





LSVHG-06EH-900-S4

LSVHG-06EH-500-S4


★


★

3530

10080604020

ｰ100 ｰ80 ｰ60 ｰ40 ｰ20 0

1000

800

200

400

600

ｰ200

ｰ400

ｰ800

ｰ600

ｰ1000

10 15 20 2550

2500

2000

1500

1000

500

0

L/min

流　量


Flow:P→A

Flow:A→T

入力信号　％

L/min

流　量

LSVHG-06EH- 900-S4

LSVHG-06EH- 500-S4

10080604020

ｰ100 ｰ80 ｰ60 ｰ40 ｰ20 0

1000

800

200

400

600

ｰ200

ｰ400

ｰ800

ｰ600

ｰ1000

入力信号　％

L/min

流　量

LSVHG-06EH- 900-S3

LSVHG-06EH- 500-S3



5ms

0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0



0％ 100％

0％

100 80 60 40 20 0


入力信号

5ms

→　時　間




位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 500 1 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン


位相差　度

位相差　度

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

5

0

ｰ5

ｰ10

ｰ15

ｰ20

ｰ25

ｰ30

30

0

ｰ30

ｰ60

ｰ90

ｰ120

ｰ150

ｰ180

dB

ゲイン

入力信号 ±25 % 入力信号 ±100 %1 5 10 20 30 4050 100 200 5001 5 10 20 30 4050 100 200 500

位相差

ゲイン

位相差

ゲイン





59 アンプ搭載形リニアサーボ弁

アンプ搭載形リニアサーボ弁フェイルセーフ機能範囲

弁圧力降下　MPa







1000

500

200

100

50

20

101 2 5 10 20 31.5

L/min

流

　量

●LSVHG－03EH－230/270－●LSVHG－03EH－210－4J－●LSVHG－03EH－60/100/160－S4－

1000

2000

5000

10000

500

200

100

50

20

101 2 5 10 20 31.5

35

L/min

流

　量

1000

2000

5000

10000

500

200

100

50

20

10

L/min

流

　量

●LSVHG－06EH－900/1300●LSVHG－06EH－820－4J－●LSVHG－06EH－500/900－S4－

1000

500

200

100

50

20

101 2 5 10 20 35

L/min

流

　量

●LSVHG－04EH－750－●LSVHG－04EH－580－4J－●LSVHG－04EH－100/200/280/450－S4－

1000

500

200

100

50

20

101 2 5 10 20 35

L/min

流

　量

L/min

流

　量

1000

500

200

100

50

20

101 2 5 10 20 31.5

L/min

流

　量

●LSVHG－03EH－60/100/160－S3－

●LSVHG－04EH－100/200/280/450－S3－

●LSVHG－10EH－3800－

1 2 5 10 20 35

●LSVHG－06EH－500/900－S3－

LSVHG-03EH-60-S4

LSVHG-04EH-750

LSVHG-04EH-450-S3

LSVHG-04EH-280-S3

LSVHG-04EH-200-S3

LSVHG-04EH-100-S3

LSVHG-04EH-100-S4

LSVHG-04EH-200-S4

LSVHG-04EH-280-S4

LSVHG-04EH-450-S4LSVHG-04EH-580-4J

LSVHG-03EH-100-S4

LSVHG-03EH-160-S4

LSVHG-03EH-160-S3

LSVHG-03EH-100-S3

LSVHG-03EH-60-S3

LSVHG-03EH-230

LSVHG-03EH-270

LSVHG-03EH-210-4J

LSVHG-06EH-1300

LSVHG-06EH-900LSVHG-06EH-900-S4

LSVHG-06EH-500-S4

LSVHG-06EH-820-4J

LSVHG-06EH-900-S3

LSVHG-06EH-500-S3

1 2 5 10 3510

20

50

100

200

500

1000

2000

5000

10000

リニアサーボ弁カタログ

2007年 3 月　　初　版 2008年 3 月　　改定 1 版 2009年 3 月　　改定 2 版 2014年 5 月　　改定 3 版

●発行所油研工業株式会社販売促進部　販売促進課広報G　〒105-0012 東京都港区芝大門1-4-8 TEL(03)3432−2113 FAX(03)3436−2344●印刷所裏表紙に記号番号で表示

このカタログについてのお問合せは、販売促進部　販売促進課広報Gにお願いします。

140530 T

Printed in Japan

〒253-1113 神奈川県綾瀬市上土棚中4-4-34　油研工業（株）相模事業所内TEL（0467）77-0101・FAX（0467）77-5005

〈油圧のトータルメンテナンスサービス〉

株式会社ユケンサービス

■東日本営業部　●東京営業一課：〒105-0012 東京都港区芝大門1-4-8（浜松町清和ビル） TEL 03-3432-2121　FAX 03-3436-6636　●東京営業二課：〒105-0012 東京都港区芝大門1-4-8（浜松町清和ビル） TEL 03-3432-2124　FAX 03-3436-6636　●販売推進課：〒105-0012 東京都港区芝大門1-4-8（浜松町清和ビル） TEL 03-3432-2128　FAX 03-3436-6636　●カスタマーセンタ：〒252-1113 神奈川県綾瀬市上土棚中4-4-34 TEL 0467-77-2101　FAX 0467-77-3136　●札幌出張所：〒060-0806 北海道札幌市北区北六条西6-2（第3山崎ビル） TEL 011-756-6890　FAX 011-757-2210　●相模営業所：〒252-1113 神奈川県綾瀬市上土棚中4-4-34 TEL 0467-68-4030　FAX 0467-68-4031　●長野営業所：〒386-0002 長野県上田市住吉569-8 TEL 0268-27-7631　FAX 0268-25-1629　●名古屋営業所：〒450-0002 愛知県名古屋市中村区名駅4-26-22（名駅ビル） TEL 052-582-2201　FAX 052-565-0966■西日本営業部　●大阪営業一課：〒550-0011 大阪府大阪市西区阿波座1-4-4（野村不動産四ツ橋ビル） TEL 06-6537-6371　FAX 06-6537-0078　●大阪営業二課：〒550-0011 大阪府大阪市西区阿波座1-4-4（野村不動産四ツ橋ビル） TEL 06-6537-6372　FAX 06-6537-0078　●広島営業所：〒730-0037 広島県広島市中区中町7-23（住友生命広島平和大通り第二ビル） TEL 082-248-2008　FAX 082-248-2006　●福岡営業所：〒812-0016 福岡県福岡市博多区博多駅南3-1-1（博多南マークビル） TEL 092-473-2221　FAX 092-481-6412■環境機械部　●営　業　課：〒252-1113 神奈川県綾瀬市上土棚中4-4-34 TEL 0467-68-4010　FAX 0467-68-4012■海外営業部：〒252-1113 神奈川県綾瀬市上土棚中4-4-34 TEL 0467-77-3111　FAX 0467-77-3115

リニアサーボ弁

080410 T090350 T

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