これから始める人のためのナノ・マイクロ基礎講座 2012.　加工技術基礎編

微細加工の基礎コース

ナノ・マイクロイノベーション川崎スクール

手のひらにのる、ものづくり。

日時：平成25年1月16日（水）　10:00～16:30 17日（木）　10:00～15:15

主催：川崎市／４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム協力：財団法人神奈川科学技術アカデミー 　

受講料：７，０００円（2日間）（教材費用を含む実費）

定員：４０名 （先着順にて承ります。）

*17日の講義終了後、装置見学の時間がございます。

会場：新川崎・創造のもり NANOBIC研究棟　会議室（川崎市幸区新川崎７－７) ★最寄り駅　　 ＪＲ横須賀線・湘南新宿ライン　「新川崎駅」より　徒歩約１０分　 ＪＲ南武線　「鹿島田駅」より　徒歩約１６分

Micro-Nano Fabrication

　スマートフォン、車載用センサー、血液検査チップ・・・さらに小さく、

高性能になって日常生活の安全・安心を支える機器。内部に詰めこ

む部品には、なんと1ミリの10万分の1のサイズのものも。ごくわずか

な光をあてただけで回り出す極小モーターや、髪の毛より細い流路

は、金属、ガラス、セラミックスなどを精密に加工し、作り上げます。

　いま、医療や環境技術にも応用可能な超微細加工の研究が進ん

でいます。しかし部品を組み上げ、製品の形にする段階で、大学の

研究者は困っています。小さなものを作るにはそのための技術と工

夫が必要です。形づくる、削る、磨く、接合する・・・通常の機械加工

の方法では太刀打ちできない難しさもつきまといます。

　昨年始まった「ナノ・マイクロイノベーション川崎スクール」は、精密

加工などを得意とする企業のための“技術教室”。光、電気、化学、

機械加工など従来技術を研ぎ澄まし、半導体分野のノウハウも活か

しながら、付加価値の高い製品を作る。新しい機能を持つ素材を高

精度に加工する方法なども学びます。

　自社技術を活かして新しい市場に参入したい、１０年後を担う人材

を育てたい。そんな方々に、超微細加工技術の現状と課題、最新装

置を使った加工法まで、わかりやすくお話しします。日本の誇る繊細

な感覚、緻密なものづくりの技術は少子高齢社会にこそ役立ちます。

この機会にぜひご受講ください。

お申し込みに際しては、川崎市ならびに神奈川県地域の企業の方を優先的に承ります。

教育事業

・マイクロイノベーション

のひらにののる、る ものののづづづ

計2日間

慶應義塾大学・早稲田大学・東京工業大学・東京大学など、マイクロ・ナノの研究をリードする大学の講師陣が集結するはじめての技術スクール

250μm

★近ごろよく耳にするMEMS、ナノテク・・・どのようなものか、まずは聞いてみたい★これからマイクロ・ナノスケールの加工技術に取り組みたい

★切削、射出成形、めっき、印刷・・・・自社の技術を、微細加工分野に活かしたい。

またその可能性を探りたい

★バイオチップや超小型センサーなどの開発に着手したい

★マイクロ・ナノスケールの技術を改めて体系的に勉強してみたい

★材料・計測機器・半導体関連・電子部品などの開発に携わる方・・・など

対象者：このような方にご受講をお薦めいたします

URL http://www.newkast.or.jpTel. (044)819-2033Fax. (044)819-2097 e-mail: ed@newkast.or.jp

お申込み・お問合せ

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微細加工基礎コース

財団法人 神奈川科学技術アカデミー (KAST)教育研修グループ

個人情報の利用及び提供の制限申込書にご記入いただいた個人情報は、当財団の事業等に関する情報や参加者募集の案内などの範囲内で利用または提供いたします。個人情報は、取扱目的以外に利用したり、第三者に提供することはありません。

神奈川県川崎市高津区坂戸３丁目２番１号 KSP東棟1F

受講ご希望の方は、下記 受講申込書にご記入の上、ファクスで送信して下さい。

カリキュラム内容と日程

1月16日（水）

1月１７日（木）

10：00～　11：40

パターンを描く、作る　マイクロからナノサイズの加工技術①リソグラフィ技術の基礎

機能を積み上げる　マイクロからナノサイズの加工技術②デポジションの基礎

鋳型を作る　マイクロからナノサイズの加工技術③ナノインプリント用モールド作成の基礎

接合技術の基礎

ズース・マイクロテック株式会社　代表取締役　　レイモンド・ラウ　氏(予定)

ズース・マイクロテック株式会社　技術開発部 部長　石田 博之 氏

NTT アドバンステクノロジ株式会社　営業本部　第四営業部門　出口公吉　氏

株式会社アルバック　技術開発部　試作・解析センター MEMS研究室　前平　謙　氏

12：50～　14：30

14：50～　16：30

10：00～　11：00

12：20～　14：00

14：15～　15：15

15：30～　16：00

　極小のものづくりでは、小さな部品どうしを「くっつける」・「はりあわせる」技術が肝要になる。微小な構造を破壊せ

ず、接着剤や熱を使えない場合にはどうするか？微細加工に必須の接合技術を紹介する。

　ミリメートル(10-3)からナノメートル(10-9)まで、「6ケタ」の範囲に広がる微細加工の世界。目的、用途に応じて、適切

な材料を選び、最適な技術を使い分けることが、高精度の加工につながる。材料のかたまりを「切り出して」形づくる「ト

ップダウン」の加工方法、小さな材料を「積み上げて」形にするボトムアップの加工法。サイズによって使い分けるが、

両方が埋められない領域もある。いま、どんなことができるのか。工夫すべき点は？それぞれの特徴と用途、メリットに

ついて解りやすく説明する。

　設計どおりの寸法、形状、精度に仕上げるには、まず精確な型のパターンを作ることが重要になる。写真の技術に

たとえると、ネガやポジのフィルムを作るプロセスにあたる。いかにして精度の高い型を作るか。ここでは、半導体微細

加工の技術を応用し、紫外線や電子線など、光や電気を使って微細な鋳型のパターンを描き出す技術の基礎を学

ぶ。

　「リソグラフィ」のプロセスで描き出した形状を、切り出し、形作る。液体やガス、プラズマなどの力を使ってパターン部

分を取り除くと凹凸が生まれ、立体的な「鋳型」ができあがる。材料の結晶構造を利用し、薬剤などとうまく組み合わせ

ながら、注目のナノインプリンティング技術に使う「金型」作成の基礎技術を学ぶ。

インプリント技術の基礎

装置見学会

協同インターナショナル株式会社　 電子部 第2チーム 課長　大井 秀雄 氏

　インプリント技術の実際の使い方、成形する素材との組み合わせ、熱処理の問題などを含め、利点と今後の課題な

どを解説する。

本講座でご紹介した微細加工技術に関連する最新の機器・装置類を実際にご覧いただきます。

　導電性、絶縁性、疎水性、親水性など、さまざまな特性をもつ立体形状を得るには、ごく小さな材料の粒子を薄く地

層のように積み重ね、「高さ」方向にデザインしていく。真空下での成膜法やめっきなど、精密な堆積（デポジション）

制御により、「積み上げて」形や機能を作る技術の基礎を学ぶ。

使える材料、使える技術―トップダウン加工とボトムアップ加工の特徴・概要

早稲田大学　理工学術院　電子光システム学科　教授 庄子 習一 氏

これから始める人のためのナノ・マイクロ基礎講座2012　加工技術基礎編

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