清浄度モニタリングシステム monitoring...

清浄度モニタリングシステム

Monitoring System■ ソフトウェア（ＦＭＳ） 2 ～ 3

■ 流路切替方式（マニホールド） 4

■ オプション＿流路切替方式 5

■ 個別センサ方式（デジタル通信） 6 ～7

■ 個別センサ方式（アナログ通信） 8 ～ 9

■ オプション＿個別センサ方式 10

■ 製薬工場のモニタリングシステム 11

■ サービス体制 11

大阪本社　〒556-0022 大阪市浪速区桜川4-4-26 TEL.06-6563-1235　FAX.06-6563-1265東　京　支　店〒104-0061 東京都中央区銀座8-2-1 TEL.03-6744-2740　FAX.03-6744-2741奈良工場　〒639-1085 奈良県大和郡山市池沢町172 TEL.0743-56-9400　FAX.0743-56-4403

クリーンエンジニアリング事業部

※本カタログに記載の仕様、デザイン、価格等は予告なく変更することがありますので、あらかじめご了承ください。

www.nitta.co.jp

2015.04.KY

Invention & Innovation

6 7

6310

6510

6510-VHP

0.3/0.5/0.7/1.0μm

0.5/0.7/1.0/5.0μm

0.5/0.7/1.0/5.0μm

粒径区分型式最大粒子濃度実測流量寸法 (WxDxH) 重量電源適応クラス

821,000/28.3L※ 28.3L/min 254×155×267mm 6.5kg 24VDC

ISO クラス 3 ～ 6



7310-01F

7310-03F

7510-01F

7510-02F

7110-05

0.3/0.5μm

0.3/0.5/1.0/5.0μm

0.5/5.0μm

0.5/0.7/1.0/5.0μm

0.1 ～ 5.0μm


128,000個/28.3L※

340,000個/28.3L※

100,000個/28.3L※

28.3L/min115×41×72mm

127×456×134mm

0.43kg

5.23kg

12VDC

100 VAC






吸引流量：28.3L/min（1.0cfm）

ポンプ外付けタイプ吸引流量：28.3L/min（1.0cfm）

本システムは、クリーンルームや製造装置等の清浄度を無人で連続監視が行えるモニタリングシステムです。測定ポイント毎に設置されるパーティクルセンサは、Ethernet ポートを備え、計測した微粒子数と機器の状態をデジタル伝送します。測定データは清浄度監視用パソコン(ソフトウェア )で一括管理します。

パソコン / ソフトウェア（記録計）、SW-HUB、プリンタ、UPS、外付 HDD、制御盤、通信ケーブル、POE-HUB、真空ポンプ、真空チューブ、パーティクルセンサ収納ボックス、サンプリングチューブ、プローブ、ステンレス配管プローブ、表示灯 etc.

周辺機器

※計数損失 10% 以下


7201-02F

7201-03F

7201-04F

7301-01F

7301-01F

7501-01F

7501-01F

0.2/0.3/0.5/1.0μm

0.2/0.5μm

0.2/0.3/0.5/2.0μm

0.3/0.5μm

0.3/0.5/1.0/5.0μm

0.5/5.0μm

0.5/1.0/2.0/5.0μm


1,160,000個/28.3L※

3,400,000個/28.3L※

3,400,000個/28.3L※

2.83L/min 115×41×72mm 0.43kg 12VDC








LAN ケーブル

LAN ケーブル

天井内

外付けHDD

表示灯

清浄度監視用 PC（ソフトウェア）

UPS

プリンタSW-HUB

POE-HUBAC100V

監視室機械室製造エリア

製造エリア製造エリア製造エリア

製造エリア製造エリア

AC100V

真空ポンプユニット

ラインヘッダ電源盤3φ 200V

真空ポンプ

吸引

吸引吸引

吸引

サンプリングプローブ( 壁面取付用 )

吸引

吸引

製造エリア

吸引

信号線（真空ポンプ ON/OFF 指令）

信号線( 真空ポンプ ON/OFF 指令 )

真空ポンプユニット(1.0cf 用 )

真空チューブ外径：1/2 インチ（MAX30m)外径：16mm（MAX50m )

パーティクルセンサ収納ボックスパーティクルセンサ(POE-HUB より給電 )

サンプリングチューブ

制御盤 ( 運停操作）AC100V

3

1

製造エリア


吸引


電源ユニット

電源ケーブル

外径：3/ 8 インチ（MAX 3m)外径：3/ 8 インチ（MAX 3m)

ステンレス配管プローブ

吸引

パーティクルセンサ収納ポンプユニット

AC 100V

2

ポンプ内蔵タイプ


吸引量：28.3L/min　システム概略図




真空ポンプユニット(４センサ接続用）外観図

●寸法：500（W）×390（D）×1110（H）mm●重量：約40kg●電源：3相200V●電力：400W

真空ポンプはメンテナンスが必要なため、作業ス

ペースを確保できる場所に設置してください。

1

型式 : NSPM-4101NR

ストップバルブ真空ゲージ

電源盤

真空ポンプ

ラインヘッダ

PN-4-12x8

RC1/2"

4-φ16

11

10

390

127

125

65 60

40

500

100

N P

パーティクルセンサ収納ポンプユニット外観図

2

型式 : NSPM-S101C（N）SDR

真空ポンプユニット (1.0cf 用 ) 外観図

●寸法：200（W）×340（D）×220（H）mm●重量：8kg●電源：AC100V●電力：95W●電流：2.4/2.7A

3型式 :NSPM-S101C（N）R

●寸法：250（W）×352（D）×265（H）mm●重量：10kg●電源：AC100V

●電力：95W●電流：2.4/2.7A+センサ電流（1A）

正　面背　面側　面

取手

ゴム脚

340 200

22

0

端子台

電源ソケット

ヒューズ

真空チューブ差込口

運転切替スイッチ

20

5

真空ポンプユニット(0.1cf 用 ) 外観図

●寸法：160（W）×260（D）×200（H）mm●重量：5kg●電源：AC100V●電力：35/34W●電流：0.84/0.96A



2

側　面正　面

取手

ゴム脚端子台電源ソケット

ヒューズ

160260

20

0

18

5

背　面

型式 : NSPM-S011C（N）R

●寸法：250（W）×300（D）x220（H）mm●重量：10kg●電源：AC100V●電力：95W●電流：2.4/2.7A

真空ポンプユニット（６センサ接続用）外観図

3真空チューブ差込口


端子台ヒューズ

電源ソケット

ゴム脚

300 250

22

0

側　面背　面正　面

型式 : NSPM-6011C（N）R

POE-HUBAC100V

サンプリングチューブ差込口(外径:3/8インチ、チューブ長:MAX3m)

ターンキャッチ

パーティクルセンサ

ガラス窓

換気用ルーバー

ケーブル引込口

電源ソケットヒューズ電源スイッチ

250 352

26

51

5

正　面側　面背　面上　面


1

型式 : NSPM-S011C（N）SDR


●電力：35/34W●電流：0.84/0.96A+センサ電流（1A）

側　面正　面

26

5

ケーブル引込口


換気用ルーバー320220

ガラス窓



上　面

サンプリングチューブ差込口(外径:3/16インチ、チューブ長: MAX3m)

15

背　面

個別センサ方式（デジタル通信 )

清浄度モニタリングシステム　

吸引

床エリア

LAN ケーブル

LAN ケーブル

LAN ケーブル

真空チューブ外径：3/8 インチ（MAX 30m）

天井内

外付けHDD

清浄度監視用 PC（ソフトウェア）

UPSプリンタ

SW-HUB

POE-HUBAC100V

AC100V

AC100V

POE-HUBAC100V

監視室製造エリア製造エリア

製造エリア製造エリア製造エリア製造エリア製造エリア

製造エリア製造エリア

制御盤 ( 運停操作）AC100V

吸引

吸引吸引

吸引表示灯AC100V


吸引吸引

信号線 ( 真空ポンプ ON/OFF 指令 )

信号線( 真空ポンプ ON/OFF 指令 )

真空ポンプユニット(６センサ接続用）

真空ポンプユニット (0.1cf 用）

パーティクルセンサ収納ボックスパーティクルセンサ(POE-HUB より給電 )

吸引

吸引



真空チューブ

外径 : 3/16 インチ (MAX 3m)

外径：3/16 インチ（MAX 3m)

外径：3/8 インチ（MAX20m)


製造エリア

吸引


1

3

2

AC100V

8 9

6310

6510

6510-VHP

0.3/0.5/0.7/1.0μm

0.5/0.7/1.0/5.0μm

0.5/0.7/1.0/5.0μm

粒径区分（2粒径選択）型式最大粒子濃度実測流量寸法 (WxDxH) 重量電源適応クラス

821,000/28.3L※ 28.3L/min 254×155×267mm 6.5kg 24VDC




7310-A3F

7510-A2F

0.3/0.5/1.0/5.0μm

0.5/0.7/1.0/5.0μm


128,000 個 /28.3L※

340,000 個 /28.3L※ 28.3L/min 115×41×147mm 0.63kg 24VDCISO クラス 3 ～ 6


ポンプ内蔵タイプ吸引流量：28.3L/min（1.0cfm）


パーティクルセンサ収納ボックス、サンプリングチューブ、プローブ、ステンレス配管プローブ、表示器、真空ポンプ、真空チューブ、信号線

周辺機器



7201-A2F

7301-A2F

7501-A2F

0.2/0.3/0.5/1.0μm

0.3/0.5/1.0/5.0μm

0.5/1.0/2.0/5.0μm

1,160,000 個/28.3L※

3,400,000 個/28.3L※

3,400,000 個/28.3L※


2.83L/min 115×41×147mm 0.63kg 24VDC






床エリア

真空ポンプユニット

ラインヘッダ電源盤

監視盤

3φ 200V

真空ポンプ

信号線：4 -20mA 出力 ( 粒径 2ch/ 機器異常 1 ch)


監視室

機械室製造エリア

製造エリア製造エリア製造エリア製造エリア


サンプリングプローブ（壁面取付用）

パーティクルセンサ( 監視盤より給電 )

サンプリングチューブ外径：3/ 8 インチ（MAX 3m)

サンプリングプローブ( 壁面取付用 )ステンレス配管プローブ

吸引吸引

サンプリングチューブパーティクルセンサ収納ポンプユニット

AC 100V

AC 100V

AC 100V

DC24V 外径：3/ 8 インチ（MAX 3m)

真空チューブ外径：1/2 インチ（MAX30m)外径：16mm（MAX50m )

真空ポンプユニット(1.0cf 用 )

表示器

0 個

吸引吸引吸引吸引

吸引

2

1

吸引

3

99999 個

天井内



真空ポンプユニット(４センサ接続用）外観図

●寸法：500（W）×390（D）×1110（H）mm●重量：約40kg●電源：3相200V●電力：400W

真空ポンプはメンテナンスが必要なため、作業ス

ペースを確保できる場所に設置してください。

1

型式 : NSPM-4101N


2

型式 : NSPM-S101C（N）SA換気用ルーバー

電源ソケットヒューズ

電源スイッチ

正　面側　面背　面上　面

サンプリングチューブ差込口(外径:3/8インチ、チューブ長:MAX3m)

ガラス窓



端子台

250 380

26

51

5

真空ポンプユニット (1.0cf 用 ) 外観図

●寸法：200（W）×340（D）×220（H）mm●重量：8kg●電源：AC100V●電力：95W●電流：2.4/2.7A

3型式 : NSPM-S101C（N）


●電力：95W●電流：2.4/2.7A+センサ電流（1A）


1

型式 : NSPM-S011C（N）SA


●電力：35/34W●電流：0.84/0.96A+センサ電流（1A）

真空ポンプユニット(0.1cf 用 ) 外観図

●寸法：160（W）×260（D）×200（H）mm●重量：5kg●電源：AC100V●電力：35/34W●電流：0.84/0.96A

2

型式 : NSPM-S011C（N）

●寸法：250（W）×300（D）x220（H）mm●重量：10kg●電源：AC100V●電力：95W●電流：2.4/2.7A

真空ポンプユニット（６センサ接続用）外観図

3

型式 : NSPM-6011C（N）


信号線：4- 20mA 出力 ( 粒径 2ch/ 機器異常 1c h)

監視室製造エリア

製造エリア製造エリア製造エリア製造エリア製造エリア製造エリア


サンプリングプローブ（壁面取付用）

パーティクルセンサ( 監視盤より給電 )

サンプリングチューブ外径：3/16 インチ（MAX 3m)

吸引吸引

AC 100V

AC 100VAC 100V


サンプリングチューブ外径：3/16 インチ (MAX 3m)

表示器0 個 99999 個

吸引吸引

吸引吸引

監視盤

真空チューブ外径：3/8 インチ（MAX 30m）

2 真空ポンプユニット(0.1c f 用 )AC 100V

DC24V

真空チューブ外径：3/8 インチ

（MAX20m)


1

信号線：4 -20mA 出力 ( 粒径 1ch)

吸引

真空ポンプユニット(６センサ接続用）

3

AC 100V

吸引吸引吸引

天井内

正　面背　面側　面

取手340 200

22

0

20

5

電源スイッチ


ヒューズ

電源ソケット

ゴム脚

ストップバルブ真空ゲージ

電源盤

真空ポンプ

ラインヘッダ

PN-4-12x8

RC1/2"

4-φ16

11

10

390

127

125

65 60

40

500

100

N P

電源スイッチ

真空チューブ差込口取手

ゴム脚電源ソケット

ヒューズ

160

20

0

260

18

5

側　面正　面背　面

ヒューズ電源ソケット

ゴム脚

300 250

側　面背　面正　面

真空チューブ差込口電源スイッチ

22

0


側　面正　面

26

5


換気用ルーバー320220パーティクルセンサ


上　面

サンプリングチューブ差込口(外径:3/16インチ、チューブ長: MAX3m)

15

背　面端子台ガラス窓

個別センサ方式（アナログ通信 )

清浄度モニタリングシステム　

本システムは、クリーンルームや製造装置等の清浄度を無人で連続監視が行えるモニタリングシステムです。測定ポイント毎に設置されるパーティクルセンサは、4-20mA 信号出力ポートを備え、計測した微粒子数と機器の状態を信号出力します。パーティクルセンサから出力された信号は、個別の表示器や記録計などの受信器を使用して計測データとして表示・記録する他、複数点の信号取り込みが可能なＰＬＣや中央監視盤などの受信器に統合することにより、各測定点の清浄度を一括管理することができます。

清浄度モニタリングシステム

Monitoring System■ ソフトウェア（ＦＭＳ） 2 ～ 3

■ 流路切替方式（マニホールド） 4

■ オプション＿流路切替方式 5

■ 個別センサ方式（デジタル通信） 6 ～7

■ 個別センサ方式（アナログ通信） 8 ～ 9

■ オプション＿個別センサ方式 10

■ 製薬工場のモニタリングシステム 11

■ サービス体制 11

大阪本社　〒556-0022 大阪市浪速区桜川4-4-26 TEL.06-6563-1235　FAX.06-6563-1265東　京　支　店〒104-0061 東京都中央区銀座8-2-1 TEL.03-6744-2740　FAX.03-6744-2741奈良工場　〒639-1085 奈良県大和郡山市池沢町172 TEL.0743-56-9400　FAX.0743-56-4403

クリーンエンジニアリング事業部

※本カタログに記載の仕様、デザイン、価格等は予告なく変更することがありますので、あらかじめご了承ください。

www.nitta.co.jp

2015.04.KY

Invention & Innovation

堀内文晶

スタンプ

清浄度モニタリングシステム monitoring...

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