ゲートバルブ - smc corporationca01.smcworld.com/catalog/new-products/pdf/p-13-4a-xgt.pdf仕様...
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XGT/XGD SeriesP-13-4A
バリエーション
スリットバルブ/ドアバルブ
450mmウエハ対応
NewNewボディ厚み
(mm)
200mmウエハ対応タイプ
300mmウエハ対応タイプ
450mmウエハ対応タイプ
¡46×236mm¡32×222mm
※開口寸法70×500mm、100×750mm対応可 ※その他開口寸法につきましては、当社営業へお問合せください。
70
200 300 450 開口幅(mm)
60
50
トップアクセス可能高いメンテナンス性を実現
ベローズ交換可能高いメンテナンス性を実現
2段動作構造採用エンドロック機構付空気源が切れてもゲート位置を保持
P.1
P.1
P.1
¡56×496mm
カセットなし カセット式 ドアバルブ
スリットバルブ
スリットバルブ ドアバルブ
スリットバルブ ドアバルブ
スリットバルブ
スリットバルブ
200mm、300mmの詳細はWEBカタログまたはBest Pneumatics No.⑧ P.1211
¡50×336mm
ゲートバルブドアバルブ
qボディ取外し
チャンバー
小ねじ
チャンバー
ゲート ゲート
側板
w固定ボルト外し
w側板取外し
eゲートを本体取外し
eベローズ取外し
トップアクセス スリットバルブ
ベローズ交換 スリットバルブ
qトッププレート外し
ゲート上昇・下降の直線動作とゲート開閉のクランプ動作の2段動作構造
2段動作構造採用 スリットバルブ ドアバルブ
w上昇 eクランプ、ゲート閉qゲート開
ゲート
止めねじ
1
XGT/XGD Series
上昇
クランプ
仕様
ドアバルブ
仕様開口寸法(高さ×幅) 56mm×496mm使用環境圧力 大気圧~1×10-6Pa(abs)操作圧力 0.4~0.6MPaリーク 6.5×10-10Pa・m3/s※1
使用温度 5~60℃使用流体 不活性ガス取付方向 垂直(シリンダー下側)エンドロック機構 閉位置ロック機構付※2
質量 12kgオートスイッチ なし、D-A93選択可コネクタ マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可
※1 常温時値OリングFKMの場合(ガス透過を除きます)※2 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、閉位置を維持
する操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロックの解除を行ってください。
ドアバルブ
カセットなし カセット式
仕様開口寸法(高さ×幅) 56mm×496mm使用環境圧力 大気圧~1×10-6Pa(abs)操作圧力 0.45~0.6MPa内部リーク量 6.5×10-10Pa・m3/s※1
逆圧時内部リーク量 6.5×10-8Pa・m3/s※1、※2
外部リーク量 6.5×10-11Pa・m3/s※1
使用温度ゲート部:5~150℃
アクチュエータ部:5~80℃継手、オートスイッチ部:5~60℃
使用流体 不活性ガス取付方向 垂直エンドロック機構 開閉位置ロック機構付※3
質量 カセットなし:17kgカセット式:25kg
オートスイッチ なし、D-A93選択可コネクタ マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可
※1 常温時値OリングFKMの場合(ガス透過を除きます)※2 逆圧力:0.1MPa(abs)以下。※3 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、現状を維持す
る操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロックの解除を行ってください。
スリットバルブ
2
450mm ゲートバルブ XGT/XGD Series
56
49670
69
485
63
123.5
496
622
56
142.5 144
75
514
37
107.5
485
142.5 144 69
67(ストローク)
56(開口寸法)
56(開口寸法)
80(ストローク)74
514
37
315
56
154
148
110
2×ø44
496(開口寸法)
496(開口寸法)
64
外形寸法図スリットバルブ/XGT
カセットあり
カセットなし
ドアバルブ/XGD
XGT/XGD Series