高速応答直動形電磁弁 va01, va05 series...高速応答直動形電磁弁 va01, va05 series...

高速応答直動形電磁弁VA01, VA05 SeriesQuick Response Direct OperatedSolenoid Valves

2 4

1 3/5

VA01PSC24 VA01PLC242 4

1 3/5

VA01 24シリーズ小形4ポート2位置直動形電磁弁

真空吸着・エアブロー・小形シリンダの高速駆動に対応可能なマルチタイプ

長寿命 5億回クリア（当社試験条件にて）主弁はPC1シリーズで長年にわたる信頼と実績を持つダブルポペット構造を採用。

超高速応答・安定作動 ON 3ms/OFF 1.5ms 　（VA01HPSC24/VA01RSC24）超高速応答タイプ（高速仕様：VA01HPSC24/VA01HR SC24）をラインアップ。バラツキが少なく安定した作動性能を誇ります。

真空と正圧の両用可能圧力バランスタイプのダブルポペット構造の採用で、真空圧から正圧までの圧力（-100kPa～0.8MPa）を同時に切換える制御が可能。

異物によるトラブル防止サブベース配管形は、ベースガスケットにフィルタを内蔵し配管内部からの異物の混入を防止し、異物によるトラブルを防止します。

クリーン低発塵摺動部のないダブルポペット構造は潤滑油を使用せず、クリーンなエアブローを実現。

大流量 C値 0.2dm3/(s・bar) ボディ幅10mmでC値0.2dm3/(s・bar)と小形・大流量（参考：CV0.05、有効断面積1mm2）。給気/排気時間の短縮に大きく貢献します。

ワンコイルラッチ形ソレノイド切換え位置を永久磁石で保持するラッチ形ソレノイドを1ソレノイドで実現。真空吸着状態保持など安全用に最適です。

NEW

1

仕様形式番号

使用流体

ポートサイズ

音速コンダクタンス（Ｃ）注 1）

臨　界　圧　力　比注 1）

有効断面積（参考）注 1）

Ｃｖ値（参考）注 1）

周囲温度注 2）

使用圧力範囲

手動操作

最小励磁時間

取付け姿勢

耐衝撃 / 耐振動

質量

単位

dm3/(s・bar)

mm2

℃

ms

ms

m/s2

g

ON

OFF

VA01PSC24 VA01HPSC24 VA01PLC24

VA01PSC24 VA01PLC24VA01HPSC24

　無給油空気及び真空

　 M5

　 0.2

　　 0.3

　（1）

　（0.05）

　ー5～50

　ー100kPa～0.8 MPa

4.5 3 2

1（4.5） 1.5 2

ノンロックプッシュボタン

ー 50

自由

150/30

33.5 36.0

　 DC24

　 ±10

2 4 2

B種

リード線、リード線付コネクタリード線付コネクタ

ダイオードバリスタ

LED

注1）音速コンダクタンス、臨界圧力比、有効断面積、Ｃｖ値はポート1→4間の値です。注2）5℃以下で使用する場合は、結露や凍結を防止する為のエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。注3）応答時間の（　）内の数値はサージキラー付の場合です。　　応答時間のバラツキは±1msです。

注）サージキラー、表示ランプはリード線タイプにはありません。

電気仕様形式番号

定格電圧

許容電圧変動

消費電力

耐熱クラス

配線方法

サージキラー

表示ランプ

単位

V

%

W

VA01（H）P□C24シリーズ 4ポート直動形電磁弁

VA01PSC24VA01HPSC24VA01PLC24

2位置シングルソレノイド

2位置・高速仕様シングルソレノイド

2位置ラッチ形ソレノイド

ポペットシール/サブベース配管形

応答時間注 3）

2

VA01PSC24　： 2位置シングル（標準） VA01HPSC24： 2位置シングル（高速仕様）

2 4

1 3/5

2 4

1 3/5

Ｐ：横方向取出し、表示ランプ・サージキラー付

無記号：コネクタなし

無記号：ベースなし　　　（ガスケット、取付ねじ付）

M5：M5×0.8（ベース取付穴M2用）

L5：M5×0.8（ベース取付穴M3用）

E：リード線付コネクタ添付（リード線長さ500mm）

U：上方向取出し、表示ランプ・サージキラー付

L：リード線（PSCのみ）

－－

配線処理

形式ポートサイズ（ポート2、4）

電圧

配線仕様

1 DC24V

4ポート直動形電磁弁

VA01PLC24： 2位置ラッチ形

注）高速仕様は準標準仕様となります。

注）配線仕様Lの場合は無記号となります。

表示方法

3

① ② ③

⑤

⑥

⑦ ⑧ ⑨ ⑩

⑪

① ② ③ ④ ⑤

⑥

⑦ ⑧ ⑨ ⑩

⑪

VA01PSC24, VA01HPSC24

VA01PLC24

部番

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

部品名称

ボディ

ポペットAss'y

マニュアルボタン14


ソレノイドAss'y

ベース

弁座Ｅ

弁座Ｓ

スプリングＶ

スプリング

ベースガスケット

材質

合成樹脂

ー

銅合金

合成樹脂

ー

アルミニウム合金

銅合金

銅合金

ステンレス鋼

ステンレス鋼

ニトリルゴム＋ステンレス鋼

主要部品

●リード線付コネクタ ●サブベース部品形番

PSC

PC2-D24-CL10 PC2-D24-CL20

PC2-D24-CL30

PLC

PCL2-D24-CL10 PCL2-D24-CL20

PCL2-D24-CL30

リード線長さ

PC2-D24-CL5（標準） PCL2-D24-CL5（標準） 500mm1000mm2000mm

3000mm

●ガスケットセット（取付ねじ付）

ベース取付穴サイズ M5：M2用 L5：M3用

オプションパーツ

構造

4

●VA01PSC24, VA01HPSC24（ベース取付穴M2用）形状寸法

（単位：mm）


リード線長さ500 AWG26

55 10

2 4

ポート2 M5×0.8

ポート4 M5×0.8

4 14

10

13.2

15.2

（取付穴）

P仕様

2-φ2.3

5

8.7

/3 5

ポート3/5 M5×0.8

33

21.5

1

L仕様

643.2

47.5

U仕様

1

5

12

27.234.5

10

0.5 11

54 6

ポート1 M5×0.8

47.5

1




5

●VA01PSC24, VA01HPSC24（ベース取付穴M3用）形状寸法


（単位：mm）

10

13.5

16

4 14（取付穴） 2-φ3.4

0.5 11

54 6

5

15

30.237.5

10

22

P仕様

1

AWG26リード線長さ500

47.5

36

L仕様

1

リード線長さ300AWG26

10

95.5

52

4

ポート2 M5×0.8

ポート4 M5×0.8

6

47.5

43.2

U仕様

1


9.5

7

3 5/ポート3/5 M5×0.8

ポート1 M5×0.8


6

●VA01PLC24（ベース取付穴M2用）形状寸法


（単位：mm）

5

8.7

/3 5

ポート3/5 M5×0.8

5

5 10

2 4


ポート2 M5×0.8

ポート4 M5×0.8

5

12

27.2

10

21.5

34.5

0.5 11

60 6

1

ポート1 M5×0.8

4 14

1013.2

15.2

（取付穴）

Ｐ仕様

2-φ2.3

640.2

Ｕ仕様

1

60



黒(-)14

赤(+)COM

黄(-)12


7

●VA01PLC24（ベース取付穴M3用）形状寸法


（単位：mm）

10

95.5

52

4

ポート2 M5×0.8

ポート4 M5×0.8

10

13.5

16

4 14（取付穴） 2-φ3.4

0.5 11

5

15

30.2

10

1

22

37.5

60 6

Ｐ仕様

ポート1 M5×0.8


1

55

643.2

U仕様


9.5

7

3 5/ポート3/5 M5×0.8

黒(-)14

赤(+)COM

黄(-)12



8

仕様

MF□-V01個別配線形マニホールド

一体形

マニホールド形式

ポートサイズ　　　　　

連数

搭載電磁弁

ブランクプレート

ポート1

ポート3/5

ポート2・4

MFS

共通SUP、共通EXH

ポート2・4側面配管

M5（両側） Rc1/8（両側）

M5（両側） Rc1/8（両側）

M3 M5

MFD

共通SUP、共通EXH


Rc1/4（片側）

Rc1/4（片側）

M5

MFS□-V01PVCCMFD□-V01PVCC

共通SUP、共通EXH ポート2・4側面配管


2～20

VA01PSC24

VA01HPSC24

VA01PLC24

V24-BP

9

CC ポート1共通、ポート3/5共通

2 20

M3 M5

M3×0.5（MFSのみ） M5×0.8

無記号標準（ブラケット無）

2連 20連

注）11連以上はオーダメイドとなります。

マニホールド本体側面配管ポート1・3/5両側

マニホールド本体側面配管ポート1・3/5片側

… …

MFS

MFD


マニホールド

ポートサイズ（ポート2、4）

－－

B

ブラケット付（MFS、MFDのみ）

マニホールド仕様

連数

オプション

表示方法

●ブランクプレート（ガスケット、取付ねじ付）



V24-BP

V24-SG

●リード線付コネクタ部品形番

PSC

PC2-D24-CL10 PC2-D24-CL20

PC2-D24-CL30

PLC

PCL2-D24-CL10 PCL2-D24-CL20

PCL2-D24-CL30

リード線長さ


3000mm

10

搭載電磁弁

〔例〕MFS5-V01PVCC-M5 　　　　　VA01PSC24-1P―2ヶ　　　　　VA01PLC24-1P―3ヶ

ご注文に際して右記の表記方法に従って、マニホールドおよび搭載する電磁弁の形式、数量を併記してご指示ください。

VA01PSC24　： 2位置シングル（標準） VA01HPSC24： 2位置シングル（高速仕様）

2 4

1 3/5

2 4

1 3/5



無記号：ベースなし　　　（ガスケット、取付けねじ付）



L：リード線（シングルソレノイドのみ）

表示方法

個別配線形マニホールド

－－

配線処理


電圧

配線仕様

1 DC24V

VA01PLC24： 2位置ラッチ形

注）高速仕様は準標準仕様となります。


11

●MFS□-V01PVCC(B)-M3形状寸法

（単位：mm）

n：連数

910

5

78

6

432

104111121 114

6471

91101

818494

74

615141

544434

ーーー n A

15

17181920

16

14131211

181171161151141131

174164154144134124

193 186203 196213 206223 216

B n A B

55

6 50043.2

VA01PLC24-1U

47.5

500643.2

VA01PSC24-1U VA01HPSC24-1U

47.5

300

36

VA01PSC24-1L

2

11.5

3

10.214.5

2

37.5

190.5

1519.5

23.5

0.5

4B4

4

2

7.5

8

0.5

9.5

10.5

60

6500

30.2

VA01PLC24-1P

ポート3/5 2-M5×0.8

（片側プラグ）

ポート1 2-M5×0.8

（片側プラグ）

54

5006

30.2

VA01PSC24-1P VA01HPSC24-1P

11.5

1.5

10

25

48.5

42.5

3.5(3)

3.5

B

A

3.5

1

ブランクプレート（V24-BP）

2-φ3.5 （取付穴）


3/5

ポート4 n-M3×0.5

ポート2 n-M3×0.5

ブラケット

取付穴（2-φ3.5）

12

●MFS□-V01PVCC-M5形状寸法


（単位：mm）


VA01PLC24-1U

VA01PLC24-1P


VA01PSC24-1L

13/5

4

2

0.5 3

17

9

32

9

ポート3/5 Rc1/8


マニュアルボタン12VA01PSC24

VA01PLC24

黒（-）

黒（-）14

赤（COM）

黄（-）12

5

10.214

BA

4

ポート3/5 Rc1/8

2×φ3.5 （取付穴）

42

ポート1 Rc1/8

ポート1 Rc1/8

16

10

40.5

42

647.7

647.7

47.5

47.5

55

660

654

16

10

23.5

ポート2 n×M5

ポート4 n×M5

19.5

14.5

1.5

10

n：連数

n ー 2 3 4 5 6 7 8 9 10

A ー 43 53 63 73 83 93 103 113 123

B ー 34 44 54 64 74 84 94 104 114

n 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20

A 133 143 153 163 174 184 194 204 214 225

B 124 134 144 154 164 174 186 196 206 216




赤（+）

13


●MFD□-V01PVCC(B)-M5形状寸法

（単位：mm）

948 113

10 1331239 104

114

443 63

938373

10367

45

7484

5464

532ーーー n A

34

181920

13

1617

1415

1211 143

153163173183193

124134144154164174

205 186215 196225 206235 216

B n A B

n：連数

55

647.2 500

VA01PLC24-1U

47.5

47.2 6 500


47.5

40

300

VA01PSC24-1L

2.52.5

20 10.2

141923.5

27.541.5

23

5

0.5

0.5

B9.5 9.5

4

2

ポート4 n-M5×0.8

ブラケット

ポート2 n-M5×0.8

2-φ3.5 （取付穴）

500

13.5

9.560

634.20.5

VA01PLC24-1P

101.5

9.5

3.5

48.5

23.5

A

B

11.5

9.5

42.5

3/5

ポート1 Rc1/4

9.5

13.5

ポート3/5 Rc1/4

546

500

34.2



2-φ3.5 （取付穴）

14


PUT-VA01吸着搬送用真空/破壊パラレルユニット

真空/破壊/大気解放を切換可能な直動形電磁弁ユニット

■真空、破壊を同形式の電磁弁で対応可能（VA01PSC24） ■真空側ノーマルオープン、真空側ラッチ（停電真空保持）など用途に応じて様々な回路に対応 ■インラインフィルタ付き（オプション形式指定，出荷時添付）


ポートサイズ　　　　　

搭載電磁弁

インラインフィルタ

ポート1

ポートV

ポート2・4

ポート3

PUT-VA01

M5

M5

M5

M5

破壊用電磁弁真空用電磁弁

VA01PSC24

VA01PSC24

VA01PLC24

LF-M5AA-C4 / LF-M5HA

15

搭載電磁弁


電圧

配線仕様

1 DC24V

配線処理

表示方法

吸着搬送用真空/破壊パラレルユニット

形式無記号

LFHA

LFC4

インラインフィルタ無

LF-M5HA （ポートM5）

LF-M5AA-C4 （φ4インスタント継手付）

1 3 4 5

搭載電磁弁 1

回路図搭載電磁弁：SS

2

センサ付き、マニホールド、破壊絞り弁付きは弊社営業所までご相談ください。

3

2


E：リード線付コネクタ添付



－－ PUT VA01 －－ SS LFC4

真空電磁弁（No.2） VA01PSC24 VA01PLC24

形式

SS SL

真空破壊電磁弁（No.1） VA01PSC24 VA01PSC24

回路図搭載電磁弁：SL

4

5

XX

No.2No.1

3 1 V

4

XX

No.2No.1

3 1 V

4

16

24

配線仕様：1PE配線仕様：1UE

3 3

1 V

2No.1

54.5 47

LF-M5AA-C4LF-M5HAφ4インスタント継手 M5

（30）（24.5）

（3） 34.5


（3.5） 27.53.5 プラグ

ポート4：M5 出力ポート

16.5

10

6.5

5.5

黄　-　12

赤　+　COM黒　-　14

VA01PLC24-1PE （真空吸着電磁弁）

VA01PSC24-1PE （真空破壊電磁弁）

37642.7

648.5

0.5

11

0.5

10.6

10.2

24.5

大気ポート：M5

5

6

2×φ3.5 （取付穴）


ポートV：M5 真空供給ポート

ポート1：M5 正圧供給ポート 12

5.5

42.5

11

18

14.5

注）真空側ノーマルオープンでご使用の際はポート4にプラグを組み替えてご使用下さい。

吸着搬送用真空/破壊パラレルユニット

●PUT-VA01形状寸法

（単位：mm）

17




無記号：ブラケットなし

B：ブラケット付


L：リード線（RSCのみ）

VA01RSC24　：標準 VA01HRSC24：高速仕様

2 4

1 3/5

2 4

1 3/5

＊高速仕様は準標準仕様となります。

配線処理

形式

電圧

配線仕様

1 DC24V

－－－

M3 M3

ブラケット

VA01RLC24：標準

ポートサイズ

表示方法

19



部番

①

②

③

④

⑤

⑦

⑧

⑨

⑩

部品名称

ボディ

ポペットAss'y




弁座Ｅ

弁座Ｓ

スプリングＶ

スプリング

材質


ー

銅合金

合成樹脂

ー

銅合金

銅合金

ステンレス鋼

ステンレス鋼

主要部品

VA01RSC24, VA01HRSC24

VA01RLC24

① ② ③ ④ ⑤ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩

① ② ③ ⑤ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩

構造

リード線付コネクタ部品形番

RSC

PC2-D24-CL10PC2-D24-CL20

RLC

PCL2-D24-CL10PCL2-D24-CL20

リード線長さ


PC2-D24-CL30 PCL2-D24-CL303000mm

20

●VA01RSC24, VA01HRSC24形状寸法

（単位：mm）


103

8 6

ポート4 M3×0.5

ポート2 M3×0.5

1.5

11 7

ポート3/5 φ1.7

ポート1 M3×0.5

6 11.51.5

11

2-M2×0.4 深さ3.5 ブラケット

47.5

20.3

Ｌ仕様


0.5 11

54 6

0.5

14.5

18.5

2127.8

3 14

20

2-φ3.2

Ｐ仕様

（取付穴）


27.5

Ｕ仕様



21

●VA01RLC24形状寸法

（単位：mm）

4ポート直動形電磁弁 27.8

21 18.5

60

14.5

20

143

11

0.5 0.5

6

2-φ3.2（取付穴）

Ｐ仕様

68

310

ポート2 M3×0.5

ポート4 M3×0.5

2-M2×0.4 深さ3.5

1.5

11.56

11

ブラケット

11

1.5

7

ポート3/5 φ1.7

ポート1 M3×0.5

55

27.5

6

U仕様

リード線長さ500mmAWG26

リード線長さ500mmAWG26

黒(-)14

赤(+)COM

黄(-)12

マニュアルボタン14 マニュアルボタン12

22

2 4

1 3/5

VA05（S）PSC24、 VA05（S）RSC24、 VA05（S）BSC24


真空吸着・エアブロー・シリンダの高速駆動に対応可能なマルチタイプ

高性能「積層形ソレノイド」採用クロダの精密金型技術を活かした高性能積層形ソレノイドを採用しソレノイド磁気効率を大幅アップ。巾15mmと小形電磁弁ながら、かつてない大流量と高速応答を実現しました。

高速応答 ON 5.5ms/OFF 3ms （VA05PSC24/VA05RSC24/VA05BSC24）

クリーン低発塵摺動部のないダブルポペット構造は潤滑油を使用せず、クリーンなエアブローを実現。

低消費電力仕様「VA05Sシリーズ」登場省電力回路を搭載し、直動形電磁弁ながら起動：2W、保持：1Wと低消費電力を実現。ソレノイドの発熱を抑え長時間通電に対応します。

大流量 C値 0.7dm3/(s・bar) ボディ幅15mmでC値0.7dm3/(s・bar)と小形・大流量（VA05PSC24）（参考：CV 0.19、有効断面積 3.5mm2）。給気/排気時間の短縮に大きく貢献します。

長寿命 1億回クリア（当社試験条件にて）主弁は摺動部のないダブルポペット構造を採用し、長寿命1億回をクリア（当社試験条件にて）。

真空と正圧の両用可能圧力バランスタイプのダブルポペット構造で真空圧から正圧までの圧力（-100kPa～0.8MPa）を同時に切換える制御が可能。

NEW

23

仕様単位

dm3/(s・bar)

mm2

℃

ms

m/s2

g

VA05PSC24 VA05SPSC24

サブベース配管

VA05PSC24 VA05SPSC24

無給油空気及び真空


4ポート

Rc1/8

0.7 　 0.54

（3.5）　（2.7）

（0.19）　（0.14）

　ー5～50

　ー100kPa～0.8MPa

5.5 　 10

3 　 5

ノンロックプッシュボタン／ドライバ操作形ロッキングボタン（準標準仕様）

自由

150/30

70（NB）

130（ベース付）

フィルタ付（フィルタなしオプション）

DC24

±10

4（起動）、 2（保持） 2（起動）、 1（保持）

B種 E種

リード線付コネクタ

ツェナーダイオード

LED

注1）フィルタなしベースガスケット（オプション）使用時の値です。注2）5℃以下で使用する場合は，結露や凍結を防止するためのエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。注3）圧力0.5MPa，定格電圧での値です。また，バラツキは±1msです。注4）リード線付コネクタの質量は含みません。


定格電圧

許容電圧変動

消費電力

耐熱クラス

配線方法

サージキラー

表示ランプ

単位

V

%

W

形式番号

使用流体

切換形式

J I S 記号

配管方式

ポート数

ポートサイズ

音速コンダクタンス（Ｃ）注1）

有効断面積（参考）注1）

Ｃｖ値（参考）注1）

周囲温度注2）

使用圧力範囲

手動操作

取付け姿勢


質量注 4）


ON

OFF

ランプ

サージキラー付応答時間注3）

VA05PSC24シリーズポペットシール/サブベース配管形

VA05PSC24VA05SPSC24

位置、シングルソレノイドベース配管タイプ

位置、シングルソレノイドベース配管タイプ、低消費電力仕様

24

表示方法

VA05シリーズ

VA05 P S C 2 4 01

21 135 63 4

1 RP E－－

7 10 118 9 12

シリーズ形式 1

標準（省電力回路付） R

制御回路 10

標準（4W 仕様）低消費電力仕様（2W仕様）

無記号 S

主弁部仕様 2

正圧・負圧兼用 C

使用圧力 5

シングルソレノイド S

機能 4

2位置 2

位置 6

4ポート 4

ポート数 7

DC24V1

電圧 8

配管方法 3

P：サブベース配管

配線仕様 9

P：横方向取出し（表示ランプ・サージキラー付）

U：上方向取出し（表示ランプ・サージキラー付）

ポートサイズ 13

無記号：サブベースなし（サブベース配管タイプ）（注1）

01：Rc1/8（サブベース配管タイプ）

注1）ベースガスケットと取付ねじが添付されます。

配線処理 12



標準（ノンロック）ロッキングボタン付

無記号 L

手動操作 11

注）L仕様は準標準仕様です。

VA05 VA05 シリーズ

25


部番

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

⑪

部品名称

ボディ

ポペットAss'y



ベース

弁座Ｅ

弁座Ｓ

スプリングＶ

スプリング


銘板カバー

材質

合成樹脂

ー

合成樹脂

ー


銅合金

銅合金

ステンレス鋼

ステンレス鋼

ニトリルゴム＋ステンレス鋼

合成樹脂（透明）

主要部品

VA05PSC24、VA05SPSC24

構造

部品形番


リード線長さ

PC5-D24-CL5500mm1000mm2000mm


3000mm5000mm

●リード線付コネクタ ●サブベース


VA05-24SB-01

VA05P-24SG

① ② ③

④

⑤

⑦

⑧

⑨ ⑥

⑩

⑪

26

LLUP

2

13

4

TUO

14

表示ランプ


ポート1：Rc1/8

ポート4：Rc1/8

ポート2：Rc1/8

リード線長さ500ＡＷＧ22

赤（＋）

ポート3：Rc1/8

ポート1：Rc1/8


ポート3：Rc1/8

赤（＋）黒（－）

1142-φ3.4（取付穴）

79

15 233.5

30

3.530

12.6

24.5

58

16.5

16.5

17.6

8.4

8

16.5

13.9

37

6

54

8

12.6

75

24.5

586

8

17.6

黒（－）

Ｐ仕様

U仕様

●VA05PSC24, VA05SPSC24形状寸法

（単位：mm）

27

仕様単位

dm3/(s・bar)

mm2

℃

ms

m/s2

g

VA05RSC24, VA05BSC24 VA05SRSC24, VA05SBSC24

直接配管、ボディ配管

VA05RSC24、VA05BSC24 VA05SRSC24、VA05SBSC24

無給油空気（真空）


4ポート

M5

0.64 0.54

（3.2）（2.7）

（0.17）（0.14）

　ー5～50

　ー100kPa～0.8MPa

5.5 10

3 5

ノンロックプッシュボタン／ドライバ操作形ロッキングボタン

自由

150/30

76（RSC）、74（BSC）

フィルタなし（フィルタ付オプション）

注1）フィルタなしベースガスケット（オプション）使用時の値です。注2）5℃以下で使用する場合は，結露や凍結を防止するためのエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。注3）圧力0.5MPa，定格電圧での値です。また，バラツキは±1ms程度です。注4）リード線付コネクタの質量は含みません。


定格電圧

許容電圧変動

消費電力

耐熱クラス

配線方法

サージキラー

表示ランプ

単位

V

%

W

形式番号

使用流体

切換形式

J I S 記号

配管方式

ポート数

ポートサイズ

音速コンダクタンス（Ｃ）注1）

有効断面積（参考）注1）

Ｃｖ値（参考）注1）

周囲温度注2）

使用圧力範囲

手動操作

取付け姿勢


質量注 4）


ON

OFF

ランプ

サージキラー付応答時間注3）

DC24

±10

4（起動）、 2（保持） 2（起動）、 1（保持）

B種 E種

リード線付コネクタ

ツェナーダイオード

LED

VA05RSC24シリーズ VA05RSC24VA05BSC24

2位置、シングルソレノイド直接配管タイプ

2位置、シングルソレノイドボディ配管タイプ、マニホールド搭載専用

VA05SRSC24VA05SBSC24

2位置、シングルソレノイド直接配管タイプ、低消費電力仕様

2位置、シングルソレノイド、ボディ配管タイプ、マニホールド搭載専用、低消費電力仕様

28

表示方法

VA05シリーズ

VA05 R S C 2 4 M5

21 135 63 4

1 RP E－－

7 10 118 9 12



制御回路 10


無記号 S

主弁部仕様 2


使用圧力 5


機能 4

2位置 2

位置 6

4ポート 4

ポート数 7

DC24V1

電圧 8

配管方法 3

配線取り出し方向 9

P：横方向取出し（表示ランプ・サージキラー付）

U：上方向取出し（表示ランプ・サージキラー付）


配線処理 12




無記号 L

手動操作 11

注）L仕様はオーダメイドです。

VA05 VA05 シリーズ

R：直接配管

B：ボディ配管（マニホールド搭載専用）


M5M5（直接配管タイプ）

M5（ボディ配管タイプ）（注1）

29


部番

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

部品名称

ボディ

ポペットAss'y



配管プレート

弁座Ｅ

弁座Ｓ

スプリングＶ

スプリング

プレートガスケット

材質

合成樹脂

ー

合成樹脂

ー

合成樹脂＋銅合金

銅合金

銅合金

ステンレス鋼

ステンレス鋼

ニトリルゴム

主要部品

VA05RSC24、VA05SRSC24 構造



リード線長さ

PC5-D24-CL5500mm1000mm2000mm


3000mm5000mm

●ブラケット（取付ねじ付）

VA05R-24BF

① ② ③

④ ⑤

⑦

⑧

⑨ ⑥

⑩

30

15

Ｐ仕様

U仕様


ポート２：Ｍ５

ポート４：Ｍ５

ポート１：Ｍ５ポート３：Ｍ５

リード線長さ５００ＡＷＧ２２

表示ランプ

赤（＋）

黒（－）

リード線長さ５００ＡＷＧ２２赤（＋）黒（－）

ブラケット取付ねじ（２本）：　十字穴付きなべ小ねじ

（取付穴）

12.114.9

9.14.9

40.5

8.5

13.5 7.3 0.4

78

0.4

13.5 7.3

6

36.5

28

40.5

4.9 9.1

14.9

12.1

6

74

8.5

28

2-φ 3.1

2-φ 3.1

14.5

13

2.432.8

7.5

2-φ 3.5

2.9

8

8.5

23.5

（取付穴）

（取付穴） 41

3

42

1

3 1

24

ブラケット

　Ｍ３×２０

●VA05RSC24, VA05SRSC24形状寸法

（単位：mm）

31

MF□ｰV05個別配線形マニホールド

表示方法


MFS

共通SUP、共通EXHポート・側面配管

VA PSC VA SPSC

VA - BP

VA BSC VA SBSC

M

共通SUP、共通EXHポート・バルブボディ配管

MFU

ポートサイズ

ポート

ポート

ポート・

連数 2～20 注1）

搭載電磁弁



CC ポート1共通、ポート3共通 2 20

V05 VA05シリーズ

PV 正・負圧兼用

2連 20連

注）11連以上はオーダメイドとなります。


ポート2・4バルブボディ配管

… …

MFS

MFU


マニホールド－－

マニホールド仕様連数

搭載電磁弁シリーズ

搭載電磁弁の種類

MFS 10 V 0 5 PV CC 01

注1）連以上はオーダメイドです。

Rc1 8／

（両面） Rc1 8／

（両面） Rc1 8／

M5 01

M5（MFU） Rc1/8（MFS）

ポートサイズ（ポート2、4）

MFS□ｰV05PVCCMFU□ｰV05PVCC


共通SUP、共通EXH ポート2・4ボディ配管

32

表示方法



制御回路 10


使用圧力 5


機能 4

2位置 2

位置 6

4ポート 4

ポート数 7

DC24V1

電圧 8

配管方法 3

配線取り出し方向 9

P：横方向取り出し（表示ランプ・サージキラー付）

U：上方向取り出し（表示ランプ・サージキラー付）


P：ベース配管

B：ボディ配管（マニホールド搭載専用）

無記号：サブベースなし　（ベース配管タイプ）（注1）


無記号 L

手動操作 11

注）L仕様はオーダメイドです。

配線処理 12




無記号 S

主弁部仕様 2

VA05 P S C 2 4 － 1 P R E－


VA05 シリーズ VA05


●リード線付コネクタ

部品形番 PC5-D24-CL5PC5-D24-CL10PC5-D24-CL20PC5-D24-CL30PC5-D24-CL50

リード線長さ 500mm（標準） 1000mm2000mm3000mm5000mm

●オプションパーツ

部品形番部品名称

ブランクプレート（ガスケット、取付けねじ付）

VA05（S）PSC24用ガスケットセット

VA05（S）BSC24用ガスケットセット

M5：M5（ボディ配管タイプ）（注1）

以下の表記方法に従って、マニホールド及び搭載する電磁弁の形式、数量を併記してご指示ください。

（例） MFS5-V05PVCC-01VA05PSC24-1PR 5ヶ

ご注文に際して

21 135 63 4 7 10 118 9 12


VA05-24BP VA05P-24SG VA05B-24SG

搭載電磁弁

33

●MFS□-V05PVCC-01形状寸法

（単位：mm）

13

2

4

① No. … ② ③ ○ n

① … ② ③

14

OUTPULL

14

OUTPULL

14

OUTPULL

ポート１，３：

（両面,反対面プラグ）

表示ランプ


赤（＋）

黒（－）

ポート２，４：

ＶＡ０５ＰＳＣ２４



30.5

4 44

815.3

17.5 164.8 3.2

14

84.2

41

6.2

14.5

16.3

16.3

12-φ4.5

AB

6

38.1

64

60

(取付穴）

2n-Rc1/8

VA05-24BP

Ｐ仕様搭載の場合

2-Rc1／8


80.2

Ｕ仕様搭載の場合

○ n

n A B

34

●MFUn-V05PVCC-M5形状寸法

（単位：mm）

Ｐ仕様搭載の場合

U仕様搭載の場合

14 14 14１

３ 3

1

24

13 4

2

ポート1，3：

（両面,反対面プラグ）

表示ランプ

マニュアルボタン１4

赤（＋）

黒（－）

VA05BSC24

リード線長さ５００ＡＷＧ22


リード線長さ５００ＡＷＧ22

4 4

4

17.5 16

14

78.5

74.5

37.5

0.5

6.8

6.8

2-φ4.5 Ａ

Ｂ

6

32.6

10.6 1.9

25

12.316.2

0.4

ポート2，4：2n-M5

58

54

(取付穴）

① No. ② ③ … ○ n

n① ② ③ … ○

n A B

VA05-24BP

2-Rc1／8

35

2

1 3

VA01PSV23 VA01PSP232

1 3

VA01PLP23

1：加圧ポート 2：出力ポート 3：排気ポート

VA01PLV23

1：真空供給ポート 2：出力ポート 3：大気開放ポート

2

1 3

2

1 3

真空用/正圧用の2タイプ真空用（ホワイトボディ）と正圧用（ブラックボディ）の2タイプをシリーズ化。外観で真空用/正圧用の判別が容易できます。

大流量 C値真空用 0.2 dm3/(s・bar) 　　正圧用 0.12dm3/(s・bar) ボディ幅10mmの小形3ポート直動形電磁弁ではクラス最大級の大流量。給気/排気時間の短縮に大きく貢献します。

ワンコイルラッチ形ソレノイド切換え位置を永久磁石で保持するラッチ形ソレノイドを1ソレノイドで実現。真空吸着状態保持など安全用に最適です。

シングルソレノイド電磁弁に新タイプ登場！高速応答 ON 3ms/OFF 3ms （VA01PSV23-1□R/VA01PSP23-1□R) 電磁弁制御回路のリニューアルにより応答性能が大幅アップ。制御指令に高レスポンスに反応します。

コンパクト・軽量プラスティックボディを採用し質量25g（サブベース付）と超軽量。稼動部搭載時にはユニット軽量化に貢献します。

長時間通電対応（VA01PSV23-1□R/VA01PSP23-1□R) 新タイプシングルソレノイド電磁弁には省電力回路を搭載。直動形電磁弁ながら保持：1W（起動：2W）と低消費電力を実現。ソレノイドの発熱を抑え長時間通電にも対応可能となりました。

NEW

NEW


真空用/正圧用と用途に応じてセレクトできる 3ポート専用タイプ

37

真

空

正

圧

ON

省電力仕様：バリスタ

省電力仕様：2→1

ダイオード

OFF

注1）

注2）

VA01PS/LV23 真空仕様

正圧仕様 VA01PS/LP23

小形3ポート2位置直動形電磁弁

NEW

NEW

38

表示方法



無記号：ベースなし　　　（ガスケット、取付ねじ付）

L5：M5×0.8（ベース取付穴M3用）



形式ポートサイズ

電圧

配線仕様

1 DC24V

－－

PSV23：2位置シングル/真空仕様 1：真空供給ポート 2：出力ポート 3：大気開放ポート

PLV23：2位置ラッチ形/真空仕様 1：真空供給ポート 2：出力ポート 3：大気開放ポート

PSP23：2位置シングル/正圧仕様 1：正圧供給ポート 2：出力ポート 3：排気ポート

PLP23 ： 2位置ラッチ形/正圧仕様 1：正圧供給ポート 2：出力ポート 3：排気ポート

PR




配線仕様

制御回路

6

6

R

無記号

省電力仕様（シングルソレノイドのみ）ラッチ形ソレノイド

L5

39

③　　 ①　②　 ⑤ 　⑨　④　 ⑧ 　⑦

⑩　　　⑥

⑥ ④ ③ ① ②

⑤ ⑦

⑧

部番

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

部品名称

ボディ

マニュアルロッド

弁ゴム

ポペットスプリング


エンドカバー


サブベース

材質

合成樹脂

合成樹脂

ニトリルゴム

ステンレス鋼

－

合成樹脂

ニトリルゴム


主要部品

部番

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

部品名称

ボディ

弁ゴム

ポペットスプリング



マニュアルアタッチメント

ソレノイド

プランジャAss'y

リターンスプリング

サブベース

材質

合成樹脂

ニトリルゴム

ステンレス鋼

合成樹脂

合成樹脂

合成樹脂

ー

電磁ステンレス／ニトリルゴム

ステンレス鋼


主要部品

VA01PSV23/VA01PSP23

VA01PLV23/VA01PLP23


構造


部品形番 PSC


PLC

PCL2-D24-CL20PCL2-D24-CL30

リード線長さ

PC2-D24-CL5（標準） PCL2-D24-CL5（標準） 500mm

2000mmPC2-D24-CL10 PCL2-D24-CL101000mm

3000mm

● リード線付コネクタ ● サブベース

ベース取付穴サイズ L5：M3用

40

● VA01PSV23, VA01PSP23（ベース取付穴M3用）形状寸法

（単位：mm）


VA01PSV23

1：真空供給ポート 2：出力ポート 3：大気ポート

VA01PSP23

1：正圧供給ポート 2：出力ポート 3：排気ポート

2

1 3

2

1 3

2

4.6

5.4

ポート2M5×0.8　出力ポート

1

5.4

30.5

41.9

12.6


ポート１ M5×0.8真空供給ポート／正圧供給ポート

10 3

4.7

ポート３ M5×0.8

大気ポート／排気ポート

5.4

マニュアルボタン

（取付穴） 2-φ3.5

10

5.5

13.5

3.5 15

22

16

Ｕ仕様Ｐ仕様

Ｌ仕様

1

32

6 48.4 リード線長さ500 AWG26

1


6 37.8

41.9

41

● VA01PLV23, VA01PLP23（ベース取付穴M3用）形状寸法

（単位：mm）


VA01PLV23

1：真空供給ポート 2：出力ポート 3：大気ポート

VA01PLP23


2

1 3

2

1 3

2

4.6

5.4

ポート2M5×0.8出力ポート

3

4.7

ポート3M5×0.8大気ポート／排気ポート

5.4

Ｐ仕様

1

5.4

12.6 ポート1M5×0.8真空供給ポート／正圧供給ポート

10

32.2

54.4 6


22

153.52-φ3.5（取付穴）

10

13.5

5.5

16

黒(-)14

赤(+)COM


マニュアルボタン14（解除）

黄(-)12

Ｕ仕様

1

37.9

リード線長さ500ＡＷＧ2649.4

6

42

共通1 共通3

－－

…

2

10

…

2連

10連

連数

マニホールド

弁形式 V3P3

PSV23（真空仕様）用 PSP23（正圧仕様）用


CC

共通1、共通3

ポートサイズ M5 M5×0.8

MFS□ｰV01V3CC-M5 MFS□ｰV01P3CC-M5

共通1、共通3 真空仕様共通1、共通3 真空破壊仕様

2～20

VA01PSV23

VA01PLV23

VA01PSP23

VA01PLP23

V23ｰBP


M5

M5

M5

M5

M5

M5

表示方法


一体形

ポート 1

ポート 2

ポート 3


ポートサイズ

連数

搭載電磁弁


注）

注）11連以上はオーダメイドです。

43

搭載電磁弁



無記号：ベースなし　　　（ガスケット、取付けねじ付）

E：リード線（500mm）付コネクタ添付



表示方法


配線処理


電圧

配線仕様

制御回路

1 DC24V

PSV23 ： 2位置シングル/真空仕様


PLV23 ： 2位置ラッチ形/真空仕様


PSP23 ： 2位置シングル/正圧仕様


PLP23 ： 2位置ラッチ形/正圧仕様



PSV、PSP PLV、PLPPC2-D24-CL5

PC2-D24-CL20

PCL2-D24-CL5

PCL2-D24-CL20

リード線長さ

500mm

2000mm




－－ PR

R

無記号

省電力仕様（シングルソレノイドのみ）ラッチ形ソレノイド

部品番号部品名称ブランクプレート（ガスケット、取付けねじ付）ガスケットセット（取付けねじ付）

V23-BP V23-SG


44

● MFS□–V01形状寸法

（単位：mm）


52.1

6 42.9

9 40.4

37.2

7

35.5

30

5.5

15

5.5

13

(A)

(4) (B) 4

23.5

19.5

9

6

45.4

32.9

11.8

3

1




ポート1 M5×0.8真空ポート /加圧ポート

ポート3M5×0.8大気開放ポート /排気ポート

VA01PLP(V)23-1P VA01PSP(V)23-1L

VA01PSP(V)23-1PR

VA01PLP(V)23-1U VA01PSP(V)23-1UR


2

10

12.5 10.5

ポート２ n-M5x0.8 出力ポート

n（連複） A Bーーー

44.6

9 32.9

6 43

51.1

6 48.4

37.2

45

VA01RDP33真空用3ポート3位置直動形電磁弁

真空ポンプラインの吸着搬送に最適！

1：正圧供給ポート 2：出力ポート 3：真空供給ポート 4：大気開放口

47

真空用3ポート3位置直動形電磁弁

ポペットシール/直接配管形

3位置クローズドセンタ

単　位

V

％

W

W

VA01RDP33

DC24

±10

B種

0.5

0.55

リード線、リード線付コネクタ

電気仕様

L タイプ

P、Uタイプ

形式番号

定格電圧

許容電圧変動

消費電力

耐熱クラス

配線方法

単　位

kPa

MPa

℃

ms

m/s2

g

無給油空気及び真空

M5

－100～0

0～0.2

－10～50

ON：5以下　OFF：5（20）以下

150/50

45

仕様

真空

真空破壊

形式番号

使用流体

ポートサイズ

音速コンダクタンス（C）

有効断面積（参考）

C v 値（参考）

使用圧力範囲

周囲温度　

応答時間　


質量注1）真空破壊で圧縮空気を供給し5℃以下で使用する場合は、結露や凍結を防止するためエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。注2）応答時間の（　）内の数値はサージキラー付の場合です。

注1）

注2）

dm3/(s・bar) 0.1 0.06

mm2 0.5 0.3

0.027 0.016

真空側正圧側

VA01RDP33

48

Ｐ：横方向取出し


M5：M5×0.8

MF：マニホールド搭載用


U：上方向取出し

L：リード線配線処理


電圧

配線仕様

1 DC24V

－－

注意 ● 正圧供給ポートは0～0.2MPaの圧力範囲でご使用ください。真空圧は供給しないでください。 ● 真空供給ポートは－100～0kPaの圧力範囲でご使用ください。正圧は供給しないでください。

（リード線長さ500mm）

（取付ねじ、ガスケット付）

RDP33 ： 3位置クローズドセンタ

1：正圧供給ポート 2：出力ポート 3：真空供給ポート

表示ランプ・サージキラー付

表示ランプ・サージキラー付

表示方法



49

① ② ④ ③

VA01RDP33

部番

①

②

③

④

部品名称

ボディ

マニュアルロッド

絞り弁Ass'y


材質


合成樹脂

ー

ー

主要部品


PC2-D24-CL5（標準） PC2-D24-CL10

PC2-D24-CL30

リード線長さ 500mm1000mm

PC2-D24-CL202000mm3000mm


構造

50


● VA01RDP33形状寸法

（単位：mm）


51

無記号：なし

V：真空流量調整用絞り弁

…

2

10

…

2連

10連

連数

マニホールド

マニホールド仕様真空流量調整用絞り弁

CC：共通1（正圧）、共通3（真空）

ポート2サイズ M5 M5×0.8

表示方法

CI：共通1（正圧）、個別3（真空）

ポート 1

ポート 2

ポート 3

MFU□ｰV01R3CC-M5 MFU□ｰV01R3CI-M5

共通1（正圧）、共通3（真空）共通1（正圧）、個別3（真空）

Rc1/8

M5

Rc1/8 M5

2～10

VA01RDP33

V33-BP


－－

（CC仕様の場合のみ）

注）真空流量調整用絞り弁付はオーダメイドです。


ポートサイズ

連数

搭載電磁弁



一体形

共通1 共通3

共通1 個別3

52

搭載電磁弁

MF：マニホールド搭載用





L：リード線


電圧 1 DC24V

－－

RDP33 ： 3位置クローズドセンタ


（取付ねじ、ガスケット付）



PC2-D24-CL5（標準）

PC2-D24-CL10

PC2-D24-CL30

リード線長さ 500mm1000mm

PC2-D24-CL202000mm3000mm

配線処理

配線仕様

（リード線長さ500mm）

表示方法

部品番号部品名称

ブランクプレート（ガスケット、取付けねじ付）

ガスケットセット（取付けねじ付）

V33-BP V33-SG

53

● MFU□–V01R3CC-M5形状寸法

（単位：mm）


54

n（連数）Ａ

42.55363.57484.595105.5116126.5

B

28.53949.56070.58191.5102112.5

2－－－

345678910

● MFU□–V01R3CI-M5形状寸法

（単位：mm）


55

LFシリーズ真空用インラインフィルタ圧力損失が少なく優れた通気性能を誇るインラインフィルタ

LFMシリーズブロー用ファインインラインフィルタドライエア/窒素（N2）に対応、高ろ過精度0.01μｍ

NEW

NEW

ご使用環境に応じてセレクト可能な豊富なバリエーション ■ロングタイプロングエレメント採用、捕獲異物が多い環境に対応（LF-M5A/LF-M5AA）有機溶剤のある雰囲気に対応するステンレスチューブタイプ（LF-M5S）

■ショートタイプコンパクト・軽量、稼動部などの狭スペースに設置可能（LF-M5HA/LF-M5AA-C4）

■インラインタイプ両側インスタント継手付き、交換作業が簡単（LF-C4/LF-C6）

チェック弁内蔵逆流防止機能付きフィルタ「ノンダストラインフィルタ」真空吸入時に取り入れた異物の逆流を防ぎワークの再汚染を防止

高ろ過精度0.01μm 中空糸膜エレメントを採用し優れた異物捕獲能力を発揮

ワーク付近に設置可能なインラインタイプクリーンニングブロー、除電器へのクリーンエア供給に対応

ドライエア/窒素（N2）に対応低圧力損失で大流量を確保

67

注）5℃以下の低温で使用する場合は、結露や凍結を防止するため、供給空気としてエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。

JIS記号

注意チューブ材質が合成樹脂タイプのインラインフィルタ（LF-

M5A）は、有機溶剤のある雰囲気では使用できません。その場

合は、ステンレスタイプ（LF-M5S）をご使用ください。

形式番号

使用流体

ポートサイズ

使用圧力範囲

周囲温度

平均孔径

質量

単位 LF-M5A, LF-M5S LF-M5AA

kPa

IN

OUT

℃

μm

g

真空及び無給油空気注）

Ｍ5　めねじ

M5　めねじ

Ｍ5　めねじ

M5　おねじ

－100～0

MPa 0.6

－5～60注）

60 / 40

－100～0

－5～60注）

60

M5A：9　　　M5S：12 9

仕様

形式番号

使用流体

ポートサイズ

使用圧力範囲

耐圧

耐圧

周囲温度

平均孔径

質量

単位 LF-M5HA LF-C6LF-C4LF-M5AA-C4

kPa

0.6MPa

℃

μm

無給油空気注）

9

Ｍ5　めねじ

Ｍ5　おねじ

φ4 インスタント継手

M5　おねじ





IN

OUT

g

NEW

NEW

NEW


LFシリーズ LF-M5ALF-M5AALF-M5S（ステンレスチューブ）

ロングタイプ

LF-M5HALF-M5AA-C4

ショートタイプ

LF-C4LF-C6

インラインタイプ

68

部品名称

本体　A

本体　B

エレメント

ケース

Oリング

ガスケット

φ 用インスタント継手

波ワッシャ

ブロンズエレメント

ケース

部番材　　質



PVF

合成樹脂

ニトリルゴム

合成樹脂

－

ばね鋼

ブロンズ

ステンレス

主要部品

LF-M A

LF-M S

LF-C4

LF-M AA / LF-M5HA

LF-M AA-C

LF-C6

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

⑧

⑨

⑩

スペアパーツ

構造

インラインフィルタ/LFシリーズ

部品名称エレメント平均孔径部品番号

LF-M5A/LF-M5AA用 60μm LF-M5-E-60

40μm LF-M5-E-40

LF-M5HA用 LF-H-E-60

LF-M5AA-C4用 60μm LF-C-E-60

LF-C4/C6用

※LF-M5Sはエレメント交換不可

69

LF-M A

LF-M AA

LF-M S

形状寸法


（単位：mm）

70


形状寸法図（単位：mm）

LF-M AA-C

LF-M5HA

LF-C4

LF-C6

φ6チューブ

φ6チューブ

φ4インスタント継手

11.5φ4チューブ 13.617.813.6

φ4チューブ


エア流れ方向

φ12.5

エア流れ方向

φ6インスタント継手 φ6インスタント継手

φ12.5

11.5

2×M5エア流れ方向

23

φ10

5 8

14.714.7 17.8

71

500

0.001

0.010

0.100

5 10 15 20 25 30 35 40 45流量（L/min）

LF-M5S

圧力損失（MPa）

0

0.001

0.010

0.100

5 10 15 20 25 30 35 40 45 50流量（L/min）

LF-M5HA LF-M5AA-C4


0

0.001

0.010

0.100

5 10 15 20 25 30 35 40 45 50流量（L/min）


LF-M5A

LF-M5AA

LF-C4 LF-C6

ロングタイプ

ショートタイプ

インラインタイプ

流量特性


72

チェック弁を内蔵真空吸引時に取り入れた異物の逆流を防ぎワークの再汚染を防止用途に応じて、フィルタユニット選択可能（LF-M5シリーズ）

使用事例

吸着搬送用直動形電磁弁

VA01PEP34

インダストラインフィルタ　LF-M5HA/Z06-003吸着パッド

真空

真空破壊真空破壊

真空

ポート2

回路図

形式番号

使用流体

ポートサイズ

使用圧力範囲

周囲温度

平均孔径

質量

単位 LF-M5HA/Z06-003 LF-M5AA-C4/Z06-003

入力ポート

出力ポート（パッド側）

℃

kPa

μm

g

真空及び無給油空気

M5

Ｍ5


－5～60注）－100～－5，5～800（0.8MPa）

60

仕様

注）5℃以下の低温で使用する場合は、結露や凍結を防止するため、供給空気としてエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。

73

表示方法

形状寸法

フィルタユニットインラインフィルタ形式出力ポート

HA ：LF-M5HA M5めねじ

AA-C4：LF-M5AA-C4 φ4インスタント継手

LF－M5 HA / Z06－003

φ4用インスタント継手

φ4チューブ

出力ポート

出力ポート M5

本体

2×φ3.5 (取付穴)

チェック弁カバー

入力ポート M5

15

7.5

16.55

45.515.5

3

25

12.2

10.3

722.5

16.55

7.5

出力ポート M5

出力ポート M5

本体

2×φ3.5 (取付穴)

チェック弁カバー

入力ポート M5

15

7.516.5

5

4015.5

3

25

12.2

10.3

722.5

16.5

5

7.5

LF-M5HA/Z06-003

LF-M5AA-C4/Z06-003

74

表示方法

LFM C4

CCC

インスタント継手φインスタント継手φインスタント継手φ

RcR

RcR

■流量特性

0 5 0 100 150

供給圧力 0.1MPa 0.2 0.3 0.4 0.5

0.60.06

0.04

0.02圧力降下〔MPa〕

ろ過流量〔 /min（ANR）〕

■構造 ■ フィルタ部構造 ■ 中空糸膜フィルタ構造・

　電子顕微鏡写真

LFMシリーズファインインラインフィルタ

1／4 1／43／83／8

①管接続口径

■中空糸膜エレメントを採用し、優れた異物捕獲能力を発揮 ■高ろ過精度0.01μm ■膜面積が従来エレメントより大きく、ロングライフを実現 ■低圧力損失で大流量を確保 ■ドライエア／N2（窒素）に対応

仕様

注） ℃以下の低温で使用する場合は、結露や凍結を防止するため、供給空気はエアドライヤを通したドライエアをご使用ください。

形式番号

使用流体

ポートサイズ

使用圧力範囲

周囲温度

ろ過度

質量

単位 LFM-C□ LFM-Rc1／ 4 LFM-R3／ 8

MPa

℃

μm

g

無給油空気注）、窒素

Rc

.

～

.

φ 、φ、φ R1／ 4 3／ 8

75

（単位：mm）

部品名称

ケース（白）

ケース（透明）

中空糸膜フィルタ

ポッティング剤

継手部（C 、C 、C ）

継手部（Rc / ）

Oリング

部番材　　質

合成樹脂（ガラス繊維入り）

合成樹脂

合成樹脂

合成樹脂

合成樹脂＋ステンレス

ステンレス

ニトリルゴム

主要部品注意

構造・形状寸法

ファインインラインフィルタ/LFMシリーズ

LFM-R /

φ

φ

φ

-R /1 3 4

LFM-C

φ

φ

φ

φ 用

HEX

3 572 45 7

LFM-C

φ

φ

φ

φ 用

HEX

3 572 45 7

LFM-Rc /

φ -Rc /

I N OUT

37 2 46

ケースの材質は合成樹脂です。樹脂を侵す化学薬品、直射日光、紫外線などにさらすと破裂する恐れがあります。これらを含む流体および雰囲気中では使用できません。圧縮空気中に油分が含まれる場合には、フィルタの早期の目詰まりを防止するため、上流側に必ずオイルミストセパレータなどのフィルタを設置してください。

●

●

LFM-C

φ

φ

φ

HEX

3 2 4 7 55 7

φ 用

①

②

③

④

⑤

⑥

⑦

76

脈動のないロータリーベーンタイプモーター一体のコンパクトで斬新な設計高真空度　到達真空度-85kPa（常用）クリーンルームクラス1000対応可能（外付けフィルター、オプション）

完全ドライ、オイルレス静音、長寿命でメンテナンスフリー世界各地に拡がる販売とアフターサービスネットワーク

脈動のないロータリーベーンタイプ

VT4シリーズベッカードライ真空ポンプ

77

10

9

8

7

6

5

4

3

2

1

00 20 40 60 800 150 300 450 600

kPammHg

VT 3.6/08

VT 4.8

VT 4.4

50Hz

60Hz

エアー流量

（M3/h）

真空度流量は基準大気圧（1000mbar.20℃）における自由空気量で表しています。

性能向上の為、予告なく仕様を変更することがあります。

項目排気速度到達真空度モーター運転音寸　法重量接続口径

型式

VT4.4

VT3.6/08

50Hz 60Hz

M3/H （　）は /Min

50Hz 60Hz

Kw

（3相または単相）

50Hz 60Hz

dB（A） mm L・W・H

長さ・幅・高さ

222・151・125

283・183・146

7

11

G

G

59

60

61

62

0.18

0.25

0.22

0.3

4.1

7.5

4.7

8.7

1/4

1/2

Kg インチ kPa （　）はmmHg

（68）

（125）

（78）

（145）

85

85

（637）

（637）

仕　様

発注方法

性能データ

●インレットフィルター内臓

●バキューム圧力調節弁

●排気サイレンサー

●真空計（オプション）

付属品

VT4.4　単相AC100Vの場合…VT4.4-AC100Vﾀﾝｿｳ

　　　 3相AC200/220Vの場合…VT4.4-AC200/220Vｻﾝｿｳ

電圧範囲

50/60Hz 50Hz 60Hz

3相 200/220V

単相 100V

90～110 175～260 202～300

78

● 形状寸法図

VT4.4

VT3.6/08

（単位：mm）

165.6

221.5

7

80

196

69.5

191

116

148

93

インレットフィルタ内蔵

インレットフィルタ

バキューム接続口


バキューム圧力調整弁

バキューム圧力調整弁

排気サイレンサー

排気サイレンサー

φ123

125

63100

16

6326

274243

145

194

141

90108

81

8231

113

7

157

146

115

136112

129

71

79

50

40

30

20

10

00 20 40 60 800 150 300 450 600

kPammHg

VT 4.40

VT 4.25

VT 4.16

50Hz

60Hz

VT 4.10

性能向上の為、予告なく仕様を変更することがあります。

項目排気速度到達真空度モーター運転音電圧範囲寸　法重量接続口径

型式

VT4.10

VT4.16

VT4.25

VT4.40

50Hz 60Hz

M3/H （　）は /Min

50Hz 60Hz 50Hz 60Hz

Kw

（3相または単相）

50Hz 60Hz

dB（A） 3相

200/220Vmm L・W・H

長さ・幅・高さ

429・206・195

452・231・211

505・260・290

572・280・290

16

22.4

26

38.5

G

G

G

G

60

61

62

67

62

64

67

72

0.37

0.55

0.75

1.25

0.45

0.7

0.9

1.5

175～260

175～260

190～255

190～255

202～300

202～300

190～290

190～290

10

16

25

40

12

19

30

48

1/2

1/2

3/4

3/4

Kg インチ kPa （　）はmmHg

（167）

（267）

（417）

（667）

（200）

（316）

（500）

（800）

85

85

85

85

（637）

（637）

（637）

（637）

仕　様

●インレットフィルター内臓

●バキューム圧力調節弁

●排気サイレンサー

●真空計（オプション）

エアー流量

（M3/h）

真空度流量は基準大気圧（1000mbar.20℃）における自由空気量で表しています。

性能データ

付属品

発注方法

VT4.10　3相AC200/220Vの場合…VT4.10-AC200/220Vｻﾝｿｳ

80

圧力調節弁排気サイレンサー

インフィレットフィルター（内蔵）


● 形状寸法図

（単位：mm）

VT 4.10 160 112 15 3 G 1/2 " 35 200 142 206 90 90 107 169 176 189VT 4.16 202 125 15 3 G 1/2 " 35 242 155 231 102,5 102,5 113 188 186 205VT 4.25 220 190 15 3 G 3/4 “ 40 260 238 260 125 125 140 226 227 250VT 4.40 220 208 15 3 G 3/4 “ 40 260 238 280 125 125 140 226 227 250

a b c c5 d1 e f f1 g g1 g2 h h1 h3 h4

195 106 387 429 257 123 7211 73 416 452 291,5 151,5 7290 96 465 505 302,5 173 7290 131 532 572 363,5 192 7

h5 i k k1 o q øs形式

81

警告

注意

82

超薄形10mm、高精度、長寿命を実現

eco multiシリーズ MEPAC平行開閉チャック

超薄形！ボディ厚さ10mm (X9608) ボディ厚さ10mmながら、φ8シリンダ内蔵で高把持力。小ピッチ多連使いにも便利に活躍します。

単動、複動、メカニカル外部駆動方式をラインアップ 3つの駆動方式を同じボディ寸法で構成しました。用途に合わせて選べます。

スイッチ取付可能ショートボディながら、スイッチ取付も可能なワイドストローク仕様です。

1つのボディで豊富な把持仕様全ての駆動方式で外径&内径把持の両用ができます。さらに単動はエアクランプとバネクランプの両用ができます。

推奨

高速応答の電磁弁で ○高速ハンドリングに最適な電磁弁を使用することにより、長期に渡る安定供給を実現できます。直動形電磁弁：VA01PSC24

(掲載ページ P.1～22)

Produced by MACHINE ENGINEERING CORPORATION

83

4mmストローク単動

6mmストローク単動

4mmストローク復動

6mmストローク復動

4mmストロークメカ

6mmストロークメカ

（平行開閉チャック）

エコマルチタイプ

4ストロークで極薄ボディ

■ 用途例

ストローク（mm）単動常時開（NO）, 常時閉（NC） 4 6復動常時開（NO）, 常時閉（NC） 4 6メカ常時開（NO）, 常時閉（NC） 3 4

φ8

本　体フィンガオプション動作方式センサ

オプション

単　動無し

φ12 付き

無し

復　動 1ヶ

メカ 2ヶ

6ストロークスイッチ付では業界最小（当社調べ）

3つの駆動で豊富な用途に 1つのボディで豊富な把持仕様

豊富な機能

インデックステーブルの治具としてメカタイプを使えばワーク保持も簡単。

ガイド付きシリンダとして

ロボットの多連ヘッドに高把持力だからロボットヘッドが小型化できます。

MEG PPUと組合わせて

エコタイプを発売し、多くの自動組立機、検査機など、産業機械のチャッキングパーツとして実績を上げています。エコマルチタイプは、エコタイプの優れた利便性を継承し、さらに使いやすく、さらに広範囲な把持仕様に応えられるように誕生したチャックです。

極薄 10mmボディでありながら、φ8シリンダ内蔵で高把持力。小ピッチ多連使いにも便利に活躍します。

単動、復動、メカニカル外部駆動の3つの駆動方式を同じボディ寸法で構成しました。用途に合わせて選べます。

ショートボディでありながら、スイッチ取付も可能なワイドストローク仕様。装置をコンパクトに構築できます。

外径＆内径把持の両用ができます。単動はエアクランプとバネクランプの両用ができます。

ガイド付きシリンダとして省スペース化に貢献。ワークプッシャなど便利に活用できます。

MEGのピック＆プレースユニットと合わせて高速・安定供給を実現！

84


単動タイプ

エア「切」エア「入」

エアポートB エア「切」

外径把持

エアポートA エア「入」

押された状態

■ 開閉動作 ■ 把持仕様

エアポートからエアが入るとピストンを押し駆動ローラがフィンガを押し閉じます。

復動タイプエアポートAからエアが入るとピストンを押し駆動ローラがフィンガを押し閉じます。

メカタイププッシュヘッドを外部から押すとピストンが押され駆動ローラがフィンガを押し閉じます。

ピストンエアポートＡ

バネ

駆動ローラ

フィンガ

ピストンエアポートＡ

エアポートＢ

駆動ローラ

フィンガ

プッシュヘッド

ピストン

駆動ローラ

フィンガ

押

内径把持

エアクランプバネクランプ

エアクランプ

※Bポートエアでのクランプは把持力が　弱くなり性能が出ません。

※外力によるクランプはチャックの　早期故障の恐れがあります。

バネクランプ

外径把持内径把持

外径把持内径把持

85

●

●


エコマルチタイプ X9608, X9612

3 スイッチX9608-N

4

○6

○X9608-D ○

フィンガオプション

○○X9608-M ○○

○X9612-N ○○○X9612-D ○○

○X9612-M ○○

○○モデルNo.

ストローク（mm）

■ バリエーション

X96モデルNo.

X9608X9612

D-D : 復動N : 単動M : メカ

-フィンガオプション無記号 :なし

:フィンガオプション付

08

■ 基本仕様（メカ）動作方式単動型／平行開閉

■ スイッチ仕様概要

PE34L1コード長さ 1m無接点2線式リード線直角方向

外部プッシャーによる圧縮バネによる

単動120CPM（max）

85%以下　結露なきこと

±0.01mm

駆動方式把持方式

ピストン：フィンガ　1：2ストローク比

5～50℃周囲温度

潤滑

使用頻度

周囲湿度

繰返し位置精度X9608 : 13N　X9612 : 16N開閉解除力

X9612-M-AX9612-D（N）-A

X9608-D（N）-AX9608-M-A

外観

PAT.PEND

※上記の他に、コード軸方向タイプや無接点3線式を用意しています。詳細は92ページをご参照ください。

■ 基本仕様（単動・復動）動作方式単動型・復動型／平行開閉

清浄空気（ろ過済み圧縮空気）0.3～0.5MPa

単動 120CPM / 復動 180CPM85%以下　結露なきこと±0.01mm

使用流体使用圧力範囲

5～50℃周囲温度無給油またはタービン油JIS♯90相当潤滑

使用頻度M3×0.5配管接続口

周囲湿度繰返し位置精度

0～＋0.3mm※ 注意事項P90をあわせてご覧ください。ストローク公差

シリンダ径φ8、φ12の2種類に、単動、復動、メカの3駆動方式を用意。用途に合わせて選べます。

1つのボディで豊富な把持仕様。爪の位置を付け替えるだけで外径または内径把持両用ができます。

チャック

L1 : コード付1mL2 : コード付3m

PD14 : 無接点2芯軸方向取出PE34 : 無接点2芯軸直角PD13 :無接点3芯軸方向PE33 : 無接点3芯軸直角

スイッチPE34 L1

無給油またはタービン油JIS♯90相当

X9612-D（N）-S

X9608-D（N）-S

スイッチ形式

86

■ 備考説明

■ 実効クランプ力 ■ 把持点

■ 型式

X9608- N

X9612- N

4

6

5

10

2.5

5

25（44）

49（68）

F1 F2

※3・4・5

1

1.9

バネタイプ

単動

備　考

モデルNo.最大許容荷重（N）

4.2

10.4

エア

※1・2 ※6

実効クランプ力（N）ストローク（mm）

質量（g）

2

2

X9608-M

X9612-M

3

4

5

10

2.5

5

29（48）

56（75）

2

4メカ

ー

ー

2

2

X9608- D

X9612- D

4

6

5

10

2.5

5

25（44）

49（68）

ー

ー復動

4.9

12.2

2

2

取付数

F2

F1 F1

L H

L

クランプ力（N）

把持点：L（mm）

X9608-N

2

4

6

8

20 4010 30

0.3MP a

0.4MPa

0.5MP a

クランプ力（N）

把持点：L（mm）※バネクランプの場合の L 寸法はX9608：20mm、X9612：30mm（max）。

X9608-D

X9608

X9612

2

4

6

8

20 4010 30

0.3MPa

0.4MPa

0.5MPa

X9612-N

5

10

15

20

20 40 5010 30

0.3MPa

0.4MPa0.5MPa

X9612-D

5

10

15

20

20 40 5010 30

0.3MP a

0.4MPa

0.5MPa

把持点：

L（m

m）

オーバハング量：H（mm）

10

20

30

5 10

0.3MPa

0.4MPa

0.5MPa

把持点：

L（m

m）

オーバハング量：H（mm）

20

40

10

30

50

10 20

0.3MPa

0.4MPa

0.5MPa


NEW

※1. 実効クランプ力の「エア」は空気圧 0.4MPaで、把持点 Lは 20mmでの値です。

※2. 復動はポート Aにエアを入れた場合です。※3. 最大許容荷重は静的許容荷重であり、フィンガが動作可能な範囲ではありません。

※4. 最大許容荷重は目安であり保証値ではありません。外力はできるだけ軽減させてください。

※5. 最大許容荷重の方向は右図のとおり。※6. 質量（　）はスイッチ 2ヶ付の場合です。

スイッチ

87



■ 寸法図

X9608-NX9608-D

X9608-N-AX9608-D-A

（爪取付）

2.51315.5

39 1.540.5

5.520.5 10.5

6

12

2.5

92.5

202.4

1.5

5±0.1

10±0.05

3+0.1

0

φ5h7 0 -0.012

24±0.15±0.1

1.5

1013

1326

2×4-φ2. 2

2-Ｍ3（貫通） 2-Ｍ2.6深4

ポートA2-Ｍ3（エアポート）

φ5 h7

0 -0.018

0 -0.05

202.410±0.05

10

44

20(16)

262

2

4

2.5 532.5 10.5

51 1.552.5

11 142527.5

12

2-Ｍ3（貫通）

2-Ｍ2.6深4

6

2-Ｍ3（エアポート）

12 5.517.5

2×2-Ｍ2

88

X9612-NX9612-D


X9612-N-AX9612-D-A

3

43 245

15.520

5.2 ±0.02

1223

φ6h7 0 -0.012

4+0.1

0

516.4

6.525.5 11.7

36±0.1

±0.05

96±0.1

327

±0.1

7.6±0.02

1815

1530

4-Ｍ3深5 φ2H9深3 2-Ｍ3深6

22

16

2×4-φ3. 2

2-Ｍ3（エアポート）

ポートA

（爪取付）

57 259

13 16.529.5

16 18

2.5

2.5

39.5 11.7

5

3 5.7

23.2(17.2)

5.2

5.2

30

12

5.2±0.02

7.6±0.02

16.4±0.05

34

φ6h7 0 -0.012

5 0 -0.05

23

4-Ｍ3深5

2-Ｍ3（エアポート）2×2-Ｍ2.5

14 6.520.5

φ2H9深3 2-Ｍ3深6

NEW

89

●

●

●

●

●

〔エコノミタイプは除く〕

必要以上に長すぎる

必要以上に重すぎる

不可可不可

R部

証面


注意事項̶ご使用前に必ずお読みください。設計上のご注意■フィンガ部フィンガに過大な衝撃荷重がかからないよう、使用してください。フィンガやワークピースを供給部につきあてないでください。破損の原因になります。

ワークピースがフィンガ幅の範囲内でつかめるようにフィンガアタッチメントを取り付けてください。横方向のオーバハング荷重は摺動部にこじれを起こし早期摩耗の原因になります。

フィンガアタッチメントは、軽量に短く作ってください。※オーバハング量は各タイプの製品仕様で定める規定値以内にしてください。

保持・搬送が可能な質量は、理論把持力の10％程度となります。またワークピース・フィンガアタッチメントの材質・形状・ワークピースの搬送状態によって搬送可能な質量はより小さくなります。

フィンガアタッチメント取付の証面は下図のとおりです。フィンガの根元部分は R 形状になっており、証面にはできません。

●

注）

注）

注）

スキ間スキ間

閉じ切った状態

閉じた状態から0.5mm以上のスキ間

不可可

フィンガは閉じきってしまうとクランプ力が得られません。0.5mm 以上の閉じしろを残すことをおすすめします。（閉時把持）

ワークピースの把持部の公差は、最小値で設定してください。（閉時把持）

開時把持の場合は、開きしろ 0.5mm を残しワークピースの把持部公差は最大値で設定してください。

ワークピースが変形する場合は、この限りではありません。

■エコマルチ（X9608,X9612）●

●

2×A以上

A A

逃がし証面

ワークを掴む前に爪同士が干渉することの無いように、爪の設計には十分ご配慮ください。

爪の証面は下図のとおりです。幅広の爪はもう一方のフィンガに干渉するので逃がしが必要です。

オーバーハング

警告！

警告！

90

■エコマルチメカ（X9608M・X9612M）●

●

Aワークピース案内

●

爪取付面

ワークの横方向案内を設ける場合は、下図の方法を推奨します。

爪の取付ネジの長さは爪取付面から A 寸法以内にしてください。これ以上になりますと、反対側のフィンガを押し破損につながります。

大きな衝撃をプッシュヘッドに与えないよう押してください。衝撃荷重は把持異常や早期破損などの原因になります。

設計上の注意

●

■取付●

逃がし

横面取付は、ボディ側面のタップ穴を利用して固定します。チャックの取付座面が平坦でない場合は、シリンダ部に変形をおこし、動作不良となることがあります。また、フィンガ近辺は変形をおこしやすいので取付部品が接触しないよう逃がしを施してください。

■配管●

●

配管継手は慣性力を考慮して極力バーブ継手を使用してください。ワンタッチ継手類は形状が大きく、サポータやブランケットに干渉する恐れがあり、注意が必要です。

配管ラインにはスピードコントローラーを取り付けて必ずフィンガ開閉速度の調整をおこない、できるだけソフトに挟むようにしてください。必要以上のスピードで使用すると、衝撃加重が倍加され精度や寿命に悪影響をおよぼすことがあります。

■取扱い上の注意●

●

●

MEPAC は精密部品でできています。ボディに打こんや変形を起こさないように取り扱ってください。

分解しないでください。機能や性能の再現ができないことがあります。

ご使用前に必ず取扱説明書をお読みになり、正しくお使いください。

ボディ側面のタップ穴は貫通していますが小径ネジで、はさみ込む取付はおやめください。取付が不安定になるばかりでなく動作不良の原因につながります。

●

●

偏荷重

ストロークエンド

プッシュヘッド押付け荷重の方向はプッシュヘッド動作方向と平行にしてください。偏荷重の場合、摩擦などにより早期故障の原因になります。

プッシュヘッドをストロークエンドまで押さないでください。本体に押しつけが加わり動作異常や早期破損の原因になります。

注意！

注意！警告！

警告！

91

形状寸法 ●PD1□□□

（2線1灯式/3線式）

最高感度位置（7）

（8）

4.7

2.8 241 : 1m 3 : 3m

R2

4.7

R2

40±10

φ2.6

固定ねじ（M2）

最高感度位置

固定ねじ（M2）（単位：mm)

40±10（8）

φ2.6

11

7.6

2.8

15

4.5

（8）

1 : 1m

3 : 3m

4.7

スイッチ仕様コード付（ m）

コード付（ m）

リード線取り出し方向

電源電圧

負荷電圧

負荷電流範囲

内部降下電圧

漏れ電流

動作時間

復帰時間

絶縁抵抗

耐電圧

耐衝撃

耐振動

周囲温度

結線方式

保護階級

接点保護回路

形式番号

L形

動作表示

電気回路

－ DC ～ V

DC ～ VDC ～ V. ～ mA. V以下 μA以下

V以下 mA以下

PVC . mm外径φ . ケーブル芯 PVC . mm 外径φ . ケーブル芯

～ mA

IPあり

赤色発光ダイオード（ON時点灯）

PD LPD L軸方向

PE LPE L軸直角方向

PD LPD L軸方向

PE LPE L軸直角方向

ms以下 ms以下 MΩ以上

AC V 分間 m／s

複振幅 . mm、～ Hz（掃引、分間）X,Y,Z各方向時間～ ℃（但し凍結無きこと）

茶（＋）

青（－）

茶（＋）黒

青（－）

●PE3□□□

92

■設置場所周囲に強力な磁界が発生する場所では、スイッチが誤作動することがありますのでご使用しないでください。

スイッチ周辺には、強磁性体（鉄など）を近づけないでください。目安としてチャック本体端面から10mm以上離すようにしてください。

チャック同士が接近する場合、目安として20mm以上離すようにしてください。

●

●

●

■スイッチの取り付け寸法本体のスイッチ取付溝にスイッチを差し込み、溝に沿ってスイッチを移動させ、所定の位置で締付ネジを締め付けてください。

締付ネジの締め付けには精密ドライバを使用し、締付トルク0.1～0.2N・m（1～2kgf・cm）で締め付けてください。

●

●

スイッチの配線をおこなう前に必ず取扱説明書をお読みください。配線の前に接続する装置の電源を切ってください。

1.

2.

■スイッチ飛び出し「ON」限界位置の実測値（目安）です。実際に取り付けの場合は、安全を見込んで開側は－側へ、閉側は＋側へずらして取り付けてください。スイッチ本体の飛び出し寸法を示します。スイッチ飛び出し部が他の部品と干渉しないよう、L＋10mm 以上のスペースを確保してください。PE33・PE34 は閉端検出の場合、本体へスイッチを差し込む方向が逆になります。（リード線側から差込み）

●●

●●

●

■動作説明リードスイッチ・表示灯を組込んだ磁気接近形スイッチをシリンダ本体の外周に取り付け、磁石の装着してあるピストンがその下に位置したときにリードスイッチを動作させ、シリンダのストローク位置を外部より非接触で検出するものです。

→印の方向にピストンが動いて磁石が（A）の位置にくると、スイッチはONになります。ONの状態は（A）・（B）間続き、これを動作範囲といいます。

ピストンが（A）のONした位置より←印の方向に移動したとき（C）の位置までONの状態が続きます。この（A）・（C）間を応差といいます。

●

●

●

X9608 X9608M X9612 X9612M開端閉端開端閉端開端閉端開端閉端

スイッチ型式スイッチ本体全長

（mm）

PD13PD14PE33PE34

99-2-2

55-4-4

99-2-2

55-4-4

111111

55-4-4

111122

55-4-4

24241515

PD13・PD14

L

＋ -

PE33・PE34

警告

電源は必ず切ってから配線してください。火災・感電の原因になります。配線は正しくおこなってください。誤配線は、火災・感電・誤作動の原因になりうます。スイッチには曲げ。引っ張りなどの荷重が加わらないようにしてください。感電・誤作動の原因になります。

●

●

●

作動範囲

（A）（B）

開方向

応差

（A）（B）

閉方向

注意！

警告！

警告！

！

93

微細部品の供給精度に苦労している独自のメカで繰り返し精度±0.01mmの供給

供給スピードで悩んでいる

耐久性に不安がある

レイアウト設計に苦労している

周辺機器の選定で苦労している

環境を配慮した設計で悩んでいる

パルス制御モータ式 0.4sec～ショックレス供給

耐久試験 1億回クリア。保全時間を大幅削減

シンプルメカでコンパクトなボディに多機能な組み合わせ

ハンド、位置決め、反転等の機器充実

モータ駆動でエアシリンダに比べ大幅な省エネを実現

ロッキングローラ

駆動ローラ

頂点ドグ

Xスライドプレート

原点・位置判別ドグ

頂点センサ

Zアーム

ステッピングモータ（写真）サーボモータ

ベースプレート

Xレール

原点・位置判別センサ

モータコネクタ

センサコネクタ

送りホイール

X mm

ストローク

Z m

m

モデルNo.X6303X6305X6307

X（mm）305070

Z（mm）101515

X6309 90 15

こんな事にお困りではありませんか？ MEGのPPUが問題を解決します。

X/Zの乗り移りのスムーズさ、Z動作時のＸ軸確実ロッキングメカ。シンプルかつ剛性の高いメカニズムが高速・高精度搬送を実現します。

ステッピングモータ制御のピック＆プレースユニットです。搬送能力の安全率を十分にとり、確実動作を追及したエコノミモデルです。

AC サーボモータでクローズドループベクトル制御のピック＆プレースユニットです。モータ部にコントローラドライバなど必要な機能をすべて収納したシンプル制御を追及したモデルです。

高剛性・高精度

2種類の駆動モータ

モータがCCWに90度以上回るとZ軸のみ下降します。

● モータがCWに90度以上回るとZ軸のみ下降します。

●モータがCWに回るとX軸が移動し同時にZ軸も下降します。頂点から90度回った位置でX軸はロッキングされます。

●頂点●モータがCCWに回るとX軸が移動し同時にZ軸も下降します。頂点から90度回った位置でX軸はロッキングされます。

●位置c 位置a 位置d 位置e位置b

※上記説明の内蔵センサは「AS」タイプです。

写真はステッピングタイプ

CCW CW

ステッピングタイプ

サーボタイプ

パルス制御モータ駆動、コンパクトタイプ

Pick & Place Unit 安定搬送は多くの実績で好評のMEG製 PPUにおまかせください!!

パルス制御モータ駆動　コンパクトタイプピック＆プレースユニット PAT.PEND

94

真空と真空破壊制御を1台で

長寿命

ワークの　　高速安定搬送を実現する

ご提案します。

MEG 平行開閉チャックとの組み合わせを推奨。高速タクト（0.4sec）、高精度（±0.01mm）の安定供給が実現します。

平行開閉チャックでの高速搬送

長年、搬送技術を構築する中で、真空電磁弁による安定供給をおこなう技術を学んできました。

真空吸着での高速搬送

ステッピングタイプは5相モータを搭載。安定搬送を実現するステッピングモータ用ドライバを提案します。

サーボタイプはオールインワンACサーボ搭載。モータに内蔵のコントローラにより省配線、ノイズレス、チューニングレス、プログラム運転、マルチタスク制御も実現。サンプルプログラム提供でハンドリング制御もスムーズに構築できます。

サーボシステム

小型、軽量、外形・内径把持両用

平行開閉チャック：エコマルチタイプ

高速ハンドリングに最適

豊富な機能

4ポート3位置直動形電磁弁応答時間：5ms以下

直動電磁弁：クロダニューマティクス（株）

電磁弁：クロダニューマティクス（株）

MEG製チャック精密部品ハンドリング

横使い精密部品ハンドリング

ダブル真空パッド電子部品ハンドリング

使用事例

推奨

推奨

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ステッピングドライバ

上位コントローラ（PLC）

㈱メレック GD-5410オリエンタルモーター（株） RKD514L推奨

空圧制御も可能

ステッピングモータサーボモータ

仕様詳細についてはお問合わせください。

95

CAT.No.KPL0807-a-1

高速応答直動形電磁弁 va01, va05 series...高速応答直動形電磁弁 va01, va05 series...

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