e4991a rfインピーダンス／マテリアル・アナライ...

Agilent E4991A RF インピーダンス／マテリアル・アナライザ

インスタレーション /クイック･スタート･ガイド

第10版

製造番号： E4991-97201

2012 年 6 月

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印刷履歴マニュアルの内容が変更されて新しい版が発行された場合は、その版の発行年月が示され、新しい部品番号が割り当てられます。

2001 年 3 月暫定版（部品番号：E4991-97001）

2001 年 4 月第 1 版（部品番号：E4991-97011）

2002 年 2 月第 2 版（部品番号：E4991-97021）

2003 年 3 月第 3 版（部品番号：E4991-97031）

2003 年 5 月第 4 版（部品番号：E4991-97041）

2003 年 8 月第 5 版（部品番号：E4991-97051）

2004 年 12 月第 6 版（部品番号：E4991-97061）

2006 年 7 月第 9 版（部品番号：E4991-97091）

2012 年 6 月第 10 版（部品番号：E4991-97201）

注記第 7版および第 8版は欠版です。

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使用上の安全について本器を正しく安全に使用していただくため、本器の操作、保守、修理にあたっては下記の安全注意警告事項を必ずお守りください。下記の安全注意警告事項および本マニュアル中の警告の印のある事項をお守りいただけない場合、損害が生じることがあります。さらにこれは安全規格で要求されている設計、生産、使用に関する諸事項に本器が適合している事を無効にすることになります。

なお、この注意に反したご使用により生じた損害についてはアジレント・テクノロジーは責任と保証を負いかねます。

注記 E4991A は、IEC61010-1 の設置カテゴリー II および汚損度 2の製品です。 E4991A は、屋内使用専用の製品です。

E4991A で使用されている LED は、IEC60825-1 のクラス 1です。クラス 1 LED 製品

･機器は接地してください

AC 電源による電撃事故を防ぐために本器のシャーシ並びにキャビネットを付属の接地線のある 3極電源ケーブルを使用して必ず接地してください。

･爆発の危険性のある場所では使用しないでください

可燃性のガスまたは蒸気のある場所では機器を動作させないでください。電気機器をこのような場所で使用することは非常に危険です。

･通電されている回路には触れないでください

使用者が機器のカバーを取りはずすことはしないでください。部品の交換や内部調整については当社で認定した人以外は行わないでください。電源ケーブルを接続したままで、部品交換をしないでください。また、電源ケーブルを取りはずしても危険電圧が残っていることがあります。傷害を避けるため、機器内部に触れる前に必ず電源を切り回路の放電を行ってください。

･一人で保守、調整をしないでください

機器内部の保守や調整を行う場合は、万一事故が起きてもただちに救助できる人がいる場所で行ってください。

･部品を変更したり、機器の改造をしないでください

新たな危険の発生を防ぐため、部品の変更や、当社指定以外の改造を本機器に対して行わないでください。修理やその他のサービスが必要な場合は、最寄りのアジレント・テクノロジーのサービス／セールス・オフィスにご連絡ください。

･警告事項は必ずお守りください

本書に記載されているすべての警告（下記に例を示します）は、重大事故に結びつく危険を未然に防止するためのものです。ここに記載されている指示は必ずお守りください。

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警告本機器の内部には、感電死の恐れのある危険電圧があります。試験、調整、および取扱い時には細心の注意を払ってください。

安全上のシンボル本機器やマニュアルで使用されている安全上のシンボルや表記の一般定義を以下に示します。

このシンボルが機器に表示されている場合、使用者は取扱説明書を参照する必要があります。

このシンボルは交流を示しています。

このシンボルは直流を示しています。

このシンボルは電源スイッチの｢入｣を示しています。

このシンボルは電源スイッチの｢切｣を示しています。

このシンボルは電源スイッチの｢入の状態｣を示しています。

このシンボルは電源スイッチの｢切の状態｣を示しています。

このシンボルはシャーシ（またはキャビネット）端子を示しています。機器の外部シャーシ（またはキャビネット）部と接続されている端子であることを示しています。

このシンボルは電源スイッチの「スタンバイ」を示しています。

警告この表記は警告を示しています。機器の取扱い方法や手順で、感電など、取扱者の生命や身体に危険がおよぶ恐れがある場合に、その危険を避けるための情報が記されています。

注意この表記は注意を示しています。機器の取扱い方法や手順で、機器を損傷する恐れがある場合に、その損傷を避けるための情報が記されています。

注記この表記は注記を示しています。機器の取扱い方法や手順での重要な情報が記されています。

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本書の書体の決まりsample（太字）太字は強調の場合に使用します。

sample(Italic) イタリック体は英文における強調文およびマニュアル名を表します。

[sample]キー sample というキー・ラベルを持つフロント･パネル上のキーを表します。「キー」は省略されることもあります。また、ボタン表示のラベルに対応することもあります。

sampleメニュー /ボタン /ボックス

sample というラベルを持ち、クリックすることで選択･入力の設定が可能なメニュー、ボタン、ボックスを表します。メニューは、メニュー・バー、プルダウン・メニュー、ショートカット･メニューの総称を表します。ボタンは、ダイアログ・ボックス、セットアップ画面内のボタンを表します。ボックスは、スピン･ボックス、ドロップダウン･リスト･ボックス、テキスト･ボックス、リスト･ボックスの総称を表します。

SAMPLE ブロック /ツールバー sample というラベルを持つブロック、ツールバーを表します。ブロックは、フロント･パネル上のキー･グループの総称を表します。ツールバーは、セットアップ･ツールバー (セットアップ画面上のボタンやボックスの集まり )を表します。

s1 - s2 - s3 - s4 s1、s2の順にメニュー、キーを使って、s3、s4 の順にセットアップ･ツールバー内のボタン、ボックスを使って、一連の操作を行うことを意味します。

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本器に関するマニュアルについて本器には、以下のマニュアルが用意されています。

･取扱説明書（Part Number: E4991-970x0、オプション ABJ 付きに添付、和文、本書）

Agilent E4991A を日常お使いいただく上で必要な情報が記載されています。機能概要、測定の準備から測定結果の解析までの測定の流れに従った各機能の操作手順の詳細、測定例、仕様と参考データなどが含まれます。なお、本器を用いた自動測定のためのプログラミングに関しては、「プログラミング解説書」をご覧ください。

･インスタレーション／クイック・スタート・ガイド（Part Number: E4991-972x1、オプション ABJ 付きに添付、和文、本書）

Agilent E4991A がお手元に届いてからのセットアップ、アプリケーション毎の基本的な測定操作手順や解析方法などが記載されています。初めて E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザをお使いになる場合は、まずこのマニュアルをご覧ください。

･プログラミング解説書（Part Number: E4991-970x2、オプション ABJ 付きに添付、和文）

Agilent E4991A を用いて自動測定する際のプログラミングに関する情報が、記載されています。リモート・コントロール概要、トリガ・測定終了検出等のプログラミングに重要な事項、アプリケーション・プログラム例、コマンド別解説などを記載しています。

･ Operation Manual（Part Number: E4991-900x0、オプション ABA 付きに添付、英文）

「取扱説明書」の英語版です。

･ Installation and Quick Start Guide（Part Number: E4991-900x1、オプション ABA 付きに添付、英文）

「インスタレーション／クイック・スタート・ガイド」の英語版です。

･ Programming Manual（Part Number: E4991-900x2、オプション ABA 付きに添付、英文）

「プログラミング解説書」の英語版です。

注記マニュアルの部品番号（Part Number）中の「x」は、初版を 0として改訂ごとに1が加えられた数字になっています。オプション ABJ、ABA には、常に最新のマニュアルが添付されます。

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目次

第 1章 .はじめに本書の利用法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12E4991A の概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

第 2章 .インスタレーション･ガイド開梱時の検査 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17フロント･ハンドル /ラック搭載用フランジの取り付け . . . . . . . . . . . . . . . . . 22ハンドル･キット (オプション 1CN) の取り付け方法. . . . . . . . . . . . . . . . . . 23ラックマウント･キット (オプション 1CM) の取り付け方法. . . . . . . . . . . . . . . 24ラックマウント /ハンドル･キット (オプション 1CP) の取り付け方法. . . . . . . . . . 24設置環境 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25動作環境. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25放熱空間. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26緊急時に電源ケーブルのプラグを引き抜く操作のための空間の確保. . . . . . . . . . . 26リア･パネルへの接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27マウス、キーボードの接続. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27BNC ケーブルの接続 ( オプション 1D5 のみ ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27テスト･ヘッドの接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28電源とヒューズについて . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29電源の確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29電源ケーブルの確認と接続. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29ヒューズ切れについて. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30電源のオン・オフ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31電源のオン. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31電源のオフ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

電源供給の切断について. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31E4991A の初期登録 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34テスト･フィクスチャ一覧 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37クリーニング方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

第 3章 .RF デバイス測定の基本操作測定の概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41インピーダンス測定の流れ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41LCD 画面の各表示エリアの名称 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42STEP 1. 測定の準備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43試料とテスト･フィクスチャの選択 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43用意するもの. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43マウス、キーボード、テスト･ヘッドの接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44電源投入. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44STEP 2. 測定条件の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45設定手順の流れ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46マウスとキーボードを使用する操作手順. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47フロント･パネル･キーを使用する操作手順. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

(2) |Z|-R-X の周波数特性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54プリセットの実行. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54測定パラメータ、表示フォーマットのセットアップ. . . . . . . . . . . . . . . . . 54測定点数、掃引パラメータ、掃引タイプのセットアップ. . . . . . . . . . . . . . . 55

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目次

信号源モード、レベルのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55掃引範囲 (周波数 )のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

(3) Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56プリセットの実行 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56測定パラメータ、表示フォーマットのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . 56測定点数、掃引パラメータ、掃引タイプのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . 57信号源モード、CW 周波数のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57掃引範囲 (信号源レベル )のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

(4) Ls-Q の DC バイアス (電流 )特性 (オプション 001) . . . . . . . . . . . . . . . 59プリセットの実行 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59測定パラメータ、表示フォーマットのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . 59測定点数、掃引パラメータ、掃引タイプのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . 60信号源モード、レベル、CW 周波数のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . 60掃引範囲 (DC バイアス )のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

STEP 3. 校正 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61マウスとキーボードを使用する操作手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62校正の準備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62オープン校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63ショート校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64ロード校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) 校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . 66校正データを有効にする . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

フロント･パネル･キーを使用する操作手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68校正の準備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68オープン校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68ショート校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69ロード校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) 校正データの測定 . . . . . . . . . . . . . 70校正データを有効にする . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

STEP 4. テスト･フィクスチャの接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71STEP 5. 電気長補正 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72マウスとキーボードを使用する操作手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72フロント･パネル･キーを使用する操作手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73STEP 6. フィクスチャ補正 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74マウスとキーボードを使用する操作手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74オープン補正データの測定 (16197A) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74ショート補正データの測定 (16197A) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76フィクスチャ補正データを有効にする . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77ショート補正データの確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

フロント･パネル･キーを使用する操作手順 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80オープン補正データの測定 (16197A) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80ショート補正データの測定 (16197A) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80フィクスチャ補正データを有効にする . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81ショート補正データの確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

STEP 7. 試料の接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82STEP 8. 試料の測定とその解析 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83DC バイアスを印加する (オプション 001) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83自動スケールを実行する . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84スケールを調整する . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87

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目次

トレースをスムーズにする. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88アベレージングについて. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88ポイント･アベレージングを利用する . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89掃引間アベレージングを利用する. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90

マーカ機能を使用する. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91測定値の読み取り. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91最大値の検出. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93マーカ値をリスト表示する. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94マーカのクリア. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96

等価回路解析を実行する. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97等価回路パラメータの近似値を算出する. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97周波数特性をシミュレートする. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98

トレースを拡大する (ズーム機能、マウス操作のみ ) . . . . . . . . . . . . . . . . . 99各トレースを個別の画面で表示する. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100スミス･チャートを表示する . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1005 つのウィンドウを表示する . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102STEP 9. 掃引条件の変更 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104STEP 10. 他の試料の測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104

第 4章 .誘電体測定の基本操作測定の概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107測定の流れ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107STEP 1. 測定の準備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108テスト･フィクスチャと試料の選択 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108用意するもの. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108マウス、キーボード、テスト･ヘッドの接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109電源投入. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109STEP 2. 測定モードの選択 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110STEP 3. 測定条件の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .111測定パラメータ、軸フォーマットのセットアップ. . . . . . . . . . . . . . . . . . .111測定点数、掃引パラメータ、掃引タイプのセットアップ. . . . . . . . . . . . . . . .112信号源モード、レベルのセットアップ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112掃引範囲 (周波数 )のセットアップ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112STEP 4. 16453A の接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113STEP 5. ロード･スタンダードの厚さ入力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114STEP 6. 校正 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115STEP 7. 試料の厚さ入力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .120STEP 8. 試料の接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .121STEP 9. 試料の測定とその解析 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122STEP 10. 掃引条件の変更 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123STEP 11. 他の試料の測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123

第 5章 .磁性体測定の基本操作測定の概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127測定の流れ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127STEP 1. 測定の準備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .128テスト･フィクスチャと試料の選択 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .128用意するもの. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .128

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目次

マウス、キーボード、テスト･ヘッドの接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .129電源投入 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .129STEP 2. 測定モードの選択 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .130STEP 3. 測定条件の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .131測定パラメータ、軸フォーマットのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . .131測定点数、掃引パラメータ、掃引タイプのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . .132信号源モード、レベルのセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .132掃引範囲 (周波数 )のセットアップ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .132STEP 4. 校正 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .133STEP 5. 16454A の接続 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .135STEP 6. フィクスチャ補正 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .137STEP 7. 試料のサイズ入力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .138STEP 8. 試料のセット . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139STEP 9. 試料の測定とその解析 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .140STEP 10. 掃引条件の変更 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .141STEP 11. 他の試料の測定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .141

付録 A.マニュアル・チェンジマニュアル・チェンジ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144その他の変更 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .145

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1. はじめに

第 1章はじめに

この章では、クイック･スタート･ガイドを有効に活用していただくために、本書の利用法および Agilent E4991A の概要について説明します。E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを初めてお使いになる場合は、まず本書をご覧ください。

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はじめに本書の利用法

本章の内容

本書の利用法このクイック･スタート･ガイドでは、ユーザが短期間で基本的な機能を理解し、基本測定を習得できる目的で構成されています。図 1- 1 は、本書の構成の流れを示しています。

図 1- 1 本マニュアルの構成図

o 本書の利用法（12 ページ）

本書 (クイック･スタート･ガイド )の章構成と使い方が記載されています。

o E4991A の概要（14 ページ）

E4991A の主な特長や機能が簡単に記載されています。

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はじめに本書の利用法 1. は

じめに

注記材料測定の概念 /基本原理については、取扱説明書の付録 C「材料測定の理論」をご覧ください。

o 第 1章「はじめに」

この章では、クイック･スタート･ガイドを有効に活用していただくために、本書の利用法および Agilent E4991A の概要について説明します。E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを初めてお使いになる場合は、まず本書をご覧ください。

o 第 2章「インスタレーション･ガイド」

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザがお手元に届いてからのセットアップおよび日頃のお手入れについての必要な情報が記載されています。

o 第 3章「RF デバイス測定の基本操作」

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを使った RF デバイスのインピーダンス測定の基本的な操作方法を説明します。チップ･インダクタの測定例をもとに説明する手順に従って操作すれば、短時間で E4991A の簡単な操作方法を学ぶことができます。

o 第 4章「誘電体測定の基本操作」

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを使った誘電体測定の基本的な操作方法を説明します。ただし、E4991A にオプション 002( 材料測定ソフトウェア )がインストールされている必要があります。

o 第 5章「磁性体測定の基本操作」

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを使った磁性体測定の基本的な操作方法を説明します。ただし、E4991A にオプション 002( 材料測定ソフトウェア )がインストールされている必要があります。

o 付録 A「マニュアル・チェンジ」

本付録には、本書の印刷日付より前に製造された Agilent E4991A に対して、本書の内容を適合させるための変更情報が掲載されています。本書の印刷日付より前に製造された E4991A をお持ちの方は、必ずこの付録を確認してください。

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はじめにE4991A の概要

E4991A の概要E4991A(RF インピーダンス /マテリアル･アナライザ )は Agilent 4291B の後継機として、RF デバイスのインピーダンス、および RF 材料の誘電体･磁性体測定の最適な評価ツールです。

E4991A は、高周波デバイスの開発･評価の効率、ならびに品質管理レベルの向上を促すことを目的に以下のような機能を備えています。

1. 移動体通信用部品、EMI 防止用部品などのインピーダンス測定に求められる高周波での測定周波数範囲 (1 MHz ～ 3 GHz) において高確度測定を実現しています。

2. 広いインピーダンス測定範囲 (0.2Ω ～ 3kΩ) を一台のテストヘッドでカバーしています。

3. テストヘッドの改善によって測定ばらつきを低減することで、再現性のよい測定が可能になります。

4. GUI(Graphic User Interface) による容易な操作性、LAN を使用したリモート･ユーザ･インターフェイスによる外部 PC との接続性向上、および VBA プログラミング環境により、ユーザが測定データを効率よく処理することが可能になります。

5. オプション 001(DC バイアス機能 )がインストールされている場合、最大 ±50 mA、および ±40 V までの DC バイアスを使ったデバイスの評価が可能になります。

6. マーカ機能や等価回路解析機能などによって、さまざまな解析が可能になります。

7. 高周波に対応した多種類のテスト･フィクスチャ (別売り )を利用して、さまざまなサイズの表面実装部品 (SMD) を測定することができます。

8. Agilent 4291B と同等の材料測定ソフトウェア (オプション 002)、材料測定用フィクスチャ (16453A および 16454A) をサポートすることで材料特性評価ソリューションを提供しています。

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2. インスタレーション・

　ガイド

第 2章インスタレーション･ガイド

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザがお手元に届いてからのセットアップおよび日頃のお手入れについての必要な情報が記載されています。

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インスタレーション･ガイド

本章の内容

o 開梱時の検査（17 ページ）

製品がお手元に届いた時に、梱包内容について検査します。

o フロント･ハンドル /ラック搭載用フランジの取り付け（22 ページ）

E4991A を運搬するのに使うフロント･ハンドル、ラックに組み込む際のフランジを取り付けます。

o 設置環境（25 ページ）

E4991A を仕様の確度どおりに動作する環境に設置します。

o リア･パネルへの接続（27 ページ）

リア･パネルのコネクタにマウス、キーボード、BNC ケーブルを接続します。

o テスト･ヘッドの接続（28 ページ）

E4991A にテスト･ヘッドを接続する。

o 電源とヒューズについて（29 ページ）

電源、電源ケーブルを確認し、接続します。電源のオン･オフを行います。また、ヒューズ切れについて説明します。

o テスト･フィクスチャ一覧（37 ページ）

E4991A に利用できるテスト･フィクスチャを紹介します。

o クリーニング方法（38 ページ）

本器の表面の汚れをクリーニングします。

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インスタレーション･ガイド開梱時の検査


　ガイド

開梱時の検査

警告開梱時、製品外部 (例えば、カバー、フロント /リア･パネル、LCD ディスプレイ電源スイッチ、ポートコネクタなど )が搬送中に損傷を受けた形跡があるようであれば、電源を投入しないでください。感電する恐れがあります。

以下の手順に従って開梱時の検査を行ってください。

図 2- 1 検査の流れ

手順 1. 製品を梱包した箱に損傷がないか確認

手順 2. 本体部品および付属品がすべてそろっているか確認

手順 3. 本体部品および付属品に機械的な損傷、欠陥がないか確認

手順 4. E4991A が機械的 /電気的に正常に動作するか確認

パッケージ内容については、表 2- 1 および図 2- 2 を参照してください。なお、図 2- 2 は、標準で付属するパッケージ内容を示しています。

注記パッケージ内容が不足している場合、内容品に機械的な損傷または欠陥がある場合、製品の動作確認で異常が確認された場合は、最寄りの当社営業所にご連絡ください。箱に損傷がある場合、衝撃吸収材に極度の重圧を受けた形跡がある場合は、当社の他に搬送会社にもご連絡ください。搬送会社による検査のため、製品を梱包していた箱、衝撃吸収材、パッケージ内容はすべてそのままの状態で保管しておいてください。

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表 2- 1 E4991A の梱包内容

名称 Agilent 製品 /部品番号数量

標準付属品o E4991A 本体 E4991A 1

o テスト・ヘッド E4991-60011 1

o CD-ROM (VBA ソフトウェア･インストール用 )*1

E4991-1610x 1

o 7mm 校正キット*2 16195-60021 1

o トルク・レンチ 8710-1766 1

o CD-ROM ( マニュアル用 )*3 E4991-905x0 1

o 電源ケーブル*4 8120-4753 1

o GPIB アダプタ*5 E2078-62101 1

o E4991A リカバリ・ディスク E4991-16100 1

オプションo キーボード（オプション 810） - 1

o マウス（オプション 820） - 1

o マニュアル (オプション ABJ)*6

• 取扱説明書 E4991-970x0 1

• クイック・スタート・ガイド本書 1

• プログラミング解説書 E4991-970x2 1

• サンプル・プログラム・ディスク (3.5 インチ・フロッピー・ディスク )

E4991-180x0 1

o 高安定周波数標準 (オプション 1D5)

• BNC ケーブル 8120-1838 1

o プローブ・ステーション・接続キット (オプション 010)

• オプション 010 テスト・ヘッド（含延長ケーブル 1 m） - 1

• N（オス）-SMA（メス）変換アダプタ 1250-2879 3

• 3.5 mm（メス） - 7 mm 変換アダプタ 1250-1747 1

• ネジ 0515-1551 4

• ワッシャ 3050-0891 4

o 耐熱測定用テスト・キット (オプション 007)

• 測定ケーブル（耐熱） - 1

• テスト・フィクスチャ・スタンド E4991-60005 1

• テスト・ヘッド・スタンド・キット*7 E4991-60006 1

• 7 mm OPEN スタンダード E4991-60032 1

• 7 mm SHORT スタンダード E4991-60031 1

• 延長ケーブル 04287-61651 1

• N（オス）-SMA（メス）変換アダプタ 1250-2879 3

• N（メス）-SMA（メス）変換アダプタ 1250-3157 3

• パッド（テスト・フィクスチャ・スタンド用） 04291-09001 1

• タイラップ取付台座（延長ケーブル固定用） 1400-0584 1

• サンプル・プログラム・ディスク（VBA プログラム） (3.5 インチ・フロッピー・ディスク )

E4991-18001 1

o ハンドル・キット (オプション 1CN) 5063-9229 1

18 2



　ガイド

図 2- 2 標準で付属するパッケージ内容

o ラックマウント・キット (オプション 1CM) 5063-9216 1

o ラックマウント /ハンドル・キット (オプション 1CP) 5188-4430 1

*1.VBA を外部 PC にインストールする際に使用します。部品番号中の「x」は、バージョン･アップごとに数字が割り当てられます。*2.0 S(OPEN)、0 Ω(SHORT)、50 Ω( ロード )スタンダード、および低損失キャパシタが含まれています。なお、キャリング・ケースは、図2- 2 には示されていません。

*3.CD-ROM には、取扱説明書、クイック・スタート・ガイド、プログラミング解説書、およびサンプル・プログラムの内容が含まれています。なお、部品番号中の「x」は、初版を 0として改訂ごとに 1を加えた数字が割り当てられています。

*4.この付属品は、図 2- 2 には示されていません。*5.GPIB ケーブルを本体に接続する際にご使用ください。*6.マニュアル、サンプル・プログラム・ディスクの部品番号中の「x」は、初版を 0として改訂ごとに 1を加えた数字が割り当てられています。製品には常に最新版が添付されます。

*7.スタンド、ホルダ（2点）、ネジ（4本）が含まれています。

表 2- 1 E4991A の梱包内容

名称 Agilent 製品 /部品番号数量

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図 2- 3 オプション 810 のパッケージ内容


図 2- 5 オプション ABJ のパッケージ内容

20 2



　ガイド



2 21

インスタレーション･ガイドフロント･ハンドル /ラック搭載用フランジの取り付け

フロント･ハンドル /ラック搭載用フランジの取り付けE4991A は、移動、運搬時などに利用するフロント･ハンドルを取り付けたり、測定システムの一部としてラックに納めることができます。

表 2- 2 E4991A のハンドル･ラックオプション

オプション名称 Agilent 部品番号

1CN ハンドル・キット 5063-9229

1CM ラックマウント・キット 5063-9216

1CP ラックマウント /ハンドル・キット 5188-4430

表 2- 3 各オプション･キットの付属品

オプション付属品数量

1CN

フロント･ハンドル 2

ネジ 6

化粧板 2

1CMラック搭載用フランジ (固定用側板 ) 2

ネジ 6

1CP

ラック搭載用フランジ (固定用側板 ) 2

フロント･ハンドル 2

ネジ 8

22 2



　ガイド

図 2- 8 ハンドル /ラックマウント･キットの取り付け

ハンドル･キット (オプション 1CN) の取り付け方法

ハンドル･キットは、E4991A を移動、運搬する際に利用する 1組のフロント･ハンドルのキットです。図 2- 8 を参照しながら、以下の手順で取り付けてください。

手順 1. フロント･パネルの両側面に貼り付けてある化粧版 ①（フレームに粘着しています）をはがします。

手順 2. フロント･ハンドル ② を付属のねじで E4991A のフロント･パネルの両側面に取り付けます。

手順 3. ハンドル用の化粧板 ③ をフロント･ハンドルを固定したネジを覆うように取り付けます。

警告取り付けたフロント・ハンドルが損傷を受けた場合は、直ちにフロント・ハンドルを新しいものに交換してください。損傷を受けた状態のフロント・ハンドルを移動や運搬に利用すると、ハンドルが壊れて作業者がけがをしたり測定器を壊したりする可能性があります。

2 23


ラックマウント･キット (オプション 1CM) の取り付け方法

ラックマウント･キットは、E4991A を EIA 規格の標準ラック (幅 482.6mm) に組み込むための 2つのフランジ (固定用側板 )のキットです。図 2- 8 を参照しながら、以下の手順で取り付けてください。


手順 2. ラック搭載用フランジ ④ を付属のねじで E4991A のフロント･パネルの両側面に取り付けます。

手順 3. E4991A の底面にある 4つの脚を取り外します (TABと書かれた部分を引き上げ、矢印の方向へスライドします )。

手順 4. E4991A をラックに組み込みます。

ラックマウント /ハンドル･キット (オプション 1CP) の取り付け方法

ラックマウント /ハンドル･キットは、E4991A のラック搭載用フランジとフロント･ハンドルの両方が含まれているキットです。図 2- 8 を参照しながら、以下の手順で取り付けてください。


手順 2. フロント･ハンドル ② とラック搭載用フランジ ④ を付属ねじで E4991A のフロント･パネルの両側面に取り付けます。

手順 3. E4991A の底面にある 4つの脚を取り外します (TABと書かれた部分を引き上げ、矢印の方向へスライドします )。

手順 4. E4991A をラックに組み込みます。

24 2

インスタレーション･ガイド設置環境


　ガイド

設置環境E4991A を使用する際は、以下のような環境条件で設置してください。

動作環境

E4991A は、次のような環境下で使用してください。

注意 E4991A を機器内部に結露が発生するような環境下に設置しないでください。

温度 5 °C ～ 40 °C

湿度（湿球温度 ≤ 29 °C、結露しないこと）

相対湿度 20 % ～ 80 % ( フロッピー・ディスク・ドライブ動作時 )

相対湿度 15 % ～ 90 % ( フロッピー・ディスク・ドライブ非動作時 )

高度 0 ～ 2,000 m（0 ～ 6,561 feet）

振動最大 0.5 G、5 Hz ～ 500 Hz

ウォームアップ時間 30 分以上

2 25

インスタレーション･ガイド設置環境

放熱空間

製品の仕様や測定確度を満たすためには、製品の周囲に適切な放熱空間を確保したり、ラックに搭載する場合はラック内を強制空冷するなどして、製品の周囲温度を一定の範囲内に保つ必要があります。製品の仕様や測定確度を満たすための周囲温度については、取扱説明書の「仕様と参考データ」をご覧ください。

製品の周囲温度を動作環境仕様の温度範囲内（「動作環境」（25 ページ）参照）に保った場合、製品は安全規格の要求に適合します。さらにその温度環境下において、製品の周囲を以下の放熱空間をあけて囲った状態でも、製品が安全規格の要求に適合する事を確認しています。

図 2- 9 放熱空間の確保

緊急時に電源ケーブルのプラグを引き抜く操作のための空間の確保

「電源供給の切断について」（31 ページ）に示すように、E4991A の断路装置（電源供給を切断する装置）は電源ケーブルのプラグです。E4991A を設置する際は、緊急時に電源ケーブルのプラグ（電源コンセント側または E4991A 側）を引き抜いて電源供給を断つ操作を妨げないように、十分な空間を確保してください。

後部 ≥ 180 mm

側部 ≥ 60 mm（左右それぞれ）

26 2

インスタレーション･ガイドリア･パネルへの接続


　ガイド

リア･パネルへの接続

図 2- 10 リア･パネルへの接続

マウス、キーボードの接続

図 2- 10 に従って、電源を投入する前に、マウス、キーボードを接続してください。マウスを使用することで、E4991A の LCD 画面上のマウス･ポインタを自由に動かしながら、さまざまな設定や操作などを効率的に行えます。また、キーボードを使用することで、数値や文字列の入力を効率的に行えます。

BNC ケーブルの接続 ( オプション 1D5 のみ )

E4991A にオプション 1D5( 高安定周波数基準 )がインストールされている場合は、図 2- 10 に従って、E4991A のリア･パネルの REF OVEN 出力と EXT REF 入力端子間に BNC ケーブルを接続します。BNC ケーブルは、オプション 1D5 に含まれています。オプション 1D5 をインストールすると、E4991A の周波数確度と安定性がさらに向上します。

2 27

インスタレーション･ガイドテスト･ヘッドの接続

テスト･ヘッドの接続付属の 7 mm 校正キットで校正を行う場合や 7 mm 端子に対応したテスト･フィクスチャを利用して試料を測定する場合、まず、テスト・ヘッドを E4991A に接続しなければなりません。以下に接続手順を示します。

注記テスト･ヘッドを接続する際の注意点

･ E4991A の底面にある 4つの脚を取り外さないでください。E4991A の底面にある 4つの脚を取り外すと、テスト・ヘッドを接続できなくなります。

･ N 型コネクタは下記順番で接続して下さい。テスト・ヘッドの着脱が容易になるよう、RF OUT 端子の N型コネクタは可動式になっています。

図 2- 11 テスト･ヘッドと本器の接続

手順 1. 本器のテスト･ヘッド･インターフェースの RF OUT、PORT 1、PORT 2 の各端子に対して、それぞれ対応する N型コネクタ (テスト･ヘッド側 )を合わせます。

手順 2. PORT 1、PORT 2 に対応する N型コネクタを両方同時に回して締めます。

手順 3. 最後に、RF OUT に対応する N型コネクタを回して締めます。

28 2

インスタレーション･ガイド電源とヒューズについて


　ガイド

注記取り外す際は、RF OUT に対応する N型コネクタから取り外してください。

注記テスト・ヘッドの着脱が容易になるよう、RF OUT 端子の N型コネクタは可動式になっています。

電源とヒューズについて

電源の確認

E4991A に供給される電源が以下の条件を満たすことを確認してください。

電源ケーブルの確認と接続

E4991A に付属している電源ケーブルは 3芯構造をしていて、1本が接地線になっています。この電源ケーブルを用いることにより、電源コンセントを介してE4991A を接地することができ、作業者を感電事故から守ります。

手順 1. 使用する電源ケーブルが損傷を受けていないか確認します。

警告損傷を受けた形跡のある電源ケーブルは絶対に使用しないでください。感電する恐れがあります。

手順 2. E4991A リア・パネルの電源ケーブル・レセプタクル (図 2- 10 参照 )と、接地端子が確実に接地された 3極電源コンセントを付属の電源ケーブルで接続します。

警告 E4991A を、付属の接地線付き 3芯電源ケーブルを用いて確実に接地してください。

参考のため、図 2- 12 に電源ケーブル・オプションを示します。

表 2- 4

条件

電圧 90 ～ 132 Vac または 198 ～ 264 Vac*1

周波数 47 ～ 63 Hz

消費電力最大 350 VA

*1.E4991A が電圧に合わせて自動で切り替えます。

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図 2- 12 電源ケーブル・オプション

ヒューズ切れについて

使用中にヒューズが切れたと思われる場合は、本器の故障の可能性があり修理が必要です。アジレント・テクノロジー株式会社の営業所、または本器を購入された会社にお問い合わせください。

本器で使用しているヒューズの規格： UL/CSA Type、Slo-Blo、8A-250V

警告ユーザ自身によるヒューズの交換は、危険ですので決して行わないでください。

30 2



　ガイド

電源のオン・オフ

電源のオン

手順 1. フロント・パネル左下のスタンバイ・スイッチ（）が引き出された状態

( ) になっていることを確認します。もし、押し込まれた状態（）で

電源がオフになっている場合には、スタンバイ・スイッチを押してスイッチが引

き出された状態（）にします。

手順 2. スタンバイ・スイッチを押して、スイッチが押し込まれた状態（）します。

この操作により、電源が投入されて E4991A はセルフ・テストを実行します。

手順 3. 実行されたセルフ・テストに合格したことを確認します。

エラー・メッセージが表示されなければ、セルフ・テストに合格したことになります。

電源のオフ

手順 1. 以下のいずれかの方法で E4991A の電源をオフにします。

･フロント・パネル左下のスタンバイ・スイッチ（）を押して、押し込まれ

た状態（）から引き出された状態（）にします。

･外部コントローラからシャットダウン・コマンドを送り、シャットダウン･プロセスが作動し、数秒～十数秒後に電源がオフになります。その後、フロント・パネル左下のスタンバイ・スイッチ（）を押して、押し込まれた状態

（）から引き出された状態（）にします。

この操作により、E4991A のシャットダウン･プロセス (電源をオフにするために必要なソフトウェアおよびハードウェアの処理 )が作動し、数秒～十数秒後に電源がオフになります。

注記通常の使用時に E4991A の電源をオフにする際は、必ずスタンバイ・スイッチ（）を押すか、外部コントローラからシャットダウン・コマンド送って、E4991A のシャットダウン・プロセスを作動させてください。決してリア・パネルの電源ケーブル・レセプタクルへの電源供給を直接断つことはしないでください。

電源ケーブル・レセプタクルへの電源供給を直接断つと、シャットダウン・プロセスが作動せず、E4991A のソフトウェアおよびハードウェアに損傷を与え、故障の原因になります。

電源供給の切断について

E4991A の場合、断路装置（電源供給を切断する装置）に相当するものは、電源ケーブルのプラグ（電源コンセント側または E4991A 側）です。感電事故などの危険を回避するために電源供給を切断する必要が生じた場合には、電源ケーブルのプラグ（電源コンセント側または E4991A 側）を引き抜いて

2 31


ください。

注記この操作が確実に行えるように、「緊急時に電源ケーブルのプラグを引き抜く操作のための空間の確保」（26 ページ）の記述に従ってください。

通常の使用において電源をオフにする際は、必ず「電源のオフ」（31 ページ）に示す方法に従ってください。

32 2



　ガイド

2 33

インスタレーション･ガイドE4991A の初期登録

E4991A の初期登録初めて E4991A を起動する際やシステム･リカバリ実行後には、E4991A の Windows 2000 オペレーティング･システムの初期登録を行います。

注記 E4991A の初期登録を行う際は、フロント･パネルのキーは使用できませんので、必ず電源を投入する前にマウスとキーボードを接続してください。

注記下記実行手順を誤って操作した場合には、もとの登録画面に戻って登録作業を行うか否かのメッセージが表示されるので、その指示に従ってもとの登録画面に戻るように操作してください。

手順 1. E4991A の電源をオンします。

手順 2. Windows 2000 Professional Setup ウィザードが表示されるので、Next >ボタンをクリックします (図 2- 13)。

図 2- 13 Windows 2000 Professional Setup ウィザード

34 2



　ガイド

手順 3. Windows 2000 Professional Setup ダイアログ･ボックスにおいて、I accept this

agreementボックスを選択して、Next >ボタンをクリックします (図 2- 14)。その後、Windows 2000 オペレーティング･システムは自動的に再起動されます。

図 2- 14 Windows 2000 Professional Setup ダイアログ･ボックス

手順 4. Network Identification ウィザードが表示されるので、Next >ボタンをクリックします (図 2- 15)。

図 2- 15 Network Identification ウィザード

2 35


手順 5. Network Identification Wizard ダイアログ･ボックス (1/2) において、Windows

always assumes the following user has logged on to this computerボックスを選択して、User Nameボックスに agt_instrが入力されていることを確認します。正しく入力されていない場合、agt_instrをタイプします。最後に、Next >ボタンをクリックします (図 2- 16)。

注記上記以外の作業は、絶対に行わないで下さい。

図 2- 16 Network Identification Wizard ダイアログ･ボックス (1/2)

手順 6. Network Identification Wizard ダイアログ･ボックス (2/2) において、Finishボタンをクリックして、E4991A の初期登録を終了します (図 2- 17)。その後、E4991A の測定画面が起動します。

図 2- 17 Network Identification Wizard ダイアログ･ボックス (2/2)

36 2

インスタレーション･ガイドテスト･フィクスチャ一覧


　ガイド

テスト･フィクスチャ一覧テスト･フィクスチャは、高い安定性と再現性のある測定を可能にします。E4991A に利用可能である標準的なテスト･フィクスチャを以下の表に示します。試料の種類とサイズに応じて、適切なテスト･フィクスチャを選択してください。テスト･フィクスチャの詳しい仕様については、フィクスチャのカタログや取扱説明書をご覧ください。

図 2- 18 試料の種類とサイズ

表 2- 5 両面電極 SMD テスト･フィクスチャ

テスト･フィクスチャ周波数範囲

試料 (SMD) のサイズ (mm)

長さ (L) 幅 (W) 高さ (H)

16196A

1 M ～ 3 GHz

1.6 0.8 0.5 ～ 0.8

16196B 1.0 0.5 0.35 ～ 0.5

16196C 0.6 0.3 0.3

16192A 1 M ～ 2 GHz 1.0 ～ 20.0 0.5 ～ 5.0 0.5 ～ 5.0

2 37

インスタレーション･ガイドクリーニング方法

注記この他にも、ユーザが作製したテスト･フィクスチャなども利用できます。

クリーニング方法本器の表面の汚れを取る場合は、乾いた布か、水でしめらせた柔らかい布を堅く絞って、あまり力を入れずに拭いてください。決して、機器の内部をクリーニングしないでください。

警告感電を防ぐために、クリーニングを行う際は、必ず E4991A の電源コードをコンセントから外してから行ってください。

表 2- 6 底面電極 SMD テスト･フィクスチャ


試料 (SMD) のサイズ (mm)

長さ (L) 幅 (W) 高さ (H)

16197A*1 1 M ～ 3 GHz

1.0 0.5

0.4 ～ 3.01.6 0.8

2.0 1.2

3.2 1.6 ～ 2.5

16193A 1 M ～ 2 GHz 0.5 ～ 3.2 ≤ 3.0 ≤ 3.0

16191A 1 M ～ 2 GHz 2.0 ～ 12.0 0.5 ～ 5.0 0.5 ～ 5.0

*1.16197A にオプション 001 が指定されている場合、0603(mm)/0201(inch) サイズの SMD サイズがカバーされます。

表 2- 7 誘電材料用テスト･フィクスチャ


試料 (誘電材料 )のサイズ (mm)

幅 / 直径 (d) 厚さ (t)

16453A 1 M ～ 1 GHz ≥ φ15.0 0.3 ～ 3.0

表 2- 8 磁性材料用テスト･フィクスチャ


試料 (磁性材料 )のサイズ (mm)

内径 (b) 外径 (c) 高さ (h)

16454A 1 M ～ 1 GHz ≥ φ3.1 ≤ φ20.0 ≤ 8.5

38 2

3. RF デバイス測定の

　基本操作

第 3章 RF デバイス測定の基本操作

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを使った RF デバイスのインピーダンス測定の基本的な操作方法を説明します。チップ･インダクタの測定例をもとに説明する手順に従って操作すれば、短時間で E4991Aの簡単な操作方法を学ぶことができます。

39

RF デバイス測定の基本操作

本章の内容

o 測定の概要（41 ページ）

本章で実行する特性評価の種類とインピーダンス測定の測定手順を理解します。

o STEP 1. 測定の準備（43 ページ）

測定を始める前に、測定の準備をします。

o STEP 2. 測定条件の設定（45 ページ）

掃引条件および測定パラメータを設定します。

o STEP 3. 校正（61 ページ）

OPEN/SHORT/LOAD(/LOW-LOSS CAPACITOR) 校正を実行します。

o STEP 4. テスト･フィクスチャの接続（71 ページ）

テスト･フィクスチャ (16197A) をテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します。

o STEP 5. 電気長補正（72 ページ）

テスト･フィクスチャに定められている電気長を設定します。

o STEP 6. フィクスチャ補正（74 ページ）

OPEN/SHORT 補正を実行します。テスト･フィクスチャ 16197A のOPEN/SHORT 補正の方法を示します。

o STEP 7. 試料の接続（82 ページ）

試料をテスト･フィクスチャの試料接続面にセットします。

o STEP 8. 試料の測定とその解析（83 ページ）

表示画面のスケールを調整し、測定結果を解析します。

o STEP 9. 掃引条件の変更（104 ページ）

掃引条件を変更します。

o STEP 10. 他の試料の測定（104 ページ）

他の試料を測定します。

40 3

RF デバイス測定の基本操作測定の概要


　基本操作

測定の概要以下の 4つの特性評価を通じて、測定および解析を行う方法が習得できます。

･インピーダンスとインダクタンスと Qの周波数特性･インピーダンスと抵抗とリアクタンスの周波数特性･インダクタンスと Qの信号源レベル (電流 )特性･インダクタンスと Qの DC バイアス (電流 )特性

インピーダンス測定の流れ

インピーダンス測定の基本的な操作手順を図 3- 1 のフロー･チャートに示します。

図 3- 1 インピーダンス測定の基本的な操作手順

3 41

RF デバイス測定の基本操作測定の概要

LCD 画面の各表示エリアの名称

LCD 画面の各表示エリアの名称を図 3- 2 に示します。

図 3- 2 LCD 画面

注記各部の機能については、取扱説明書の第 2章「機能概要」をご覧ください。

表 3- 1 表示画面の各部名称

番号名称番号名称

1 タイトル･バー 9 スケール基準線値

2 メニュー･バー 10 トレース 1軸

3 ステータス･バー 11 トレース 2軸

4 セットアップ･ツールバー 12*1

*1.CW: 信号源周波数、OSC: 信号源レベル、 BIAS: DC バイアス･レベル [DC バイアス限界値 ]を表します。

信号源設定状態

5 スティミュラス値 13 掃引スタート値

6 測定値 14 掃引間アベレージング回数

7 トレース 1 15 掃引ストップ値

8 マーカ

42 3

RF デバイス測定の基本操作STEP 1. 測定の準備


　基本操作

STEP 1. 測定の準備

試料とテスト･フィクスチャの選択

テスト･フィクスチャを利用すれば、高い安定性と再現性のある測定が行えます。チップ･インダクタ、チップ･コンデンサなどの SMD( 表面実装部品 )測定用として、様々なサイズや種類に対応するテスト･フィクスチャがあります。E4991A では、以下に示すようなテスト･フィクスチャが利用できます。

o 16191A

o 16192A

o 16193A

o 16196A/B/C

o 16197A

注記測る試料のサイズや種類に対応したテスト･フィクスチャを、第 2章の「テスト･フィクスチャ一覧」（37 ページ）を参照しながら選択してください。

本章では、16197A テスト･フィクスチャを用いて、1608(mm)/0603(inch) サイズのチップ･インダクタの測定例を説明します。

用意するもの

本章の測定例では、以下のものが必要です。

Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザ

o 本体

o テスト･ヘッド

o Agilent 16195B 7mm 校正キット

o マウス

o キーボード

Agilent 16197A 片面電極 SMD テスト･フィクスチャ

o 本体

o ショート･デバイス･セット

o ピンセット

測定試料 :チップ･インダクタ [1608(mm)/0603(inch)]

3 43

RF デバイス測定の基本操作STEP 1. 測定の準備

図 3- 3 用意するもの

マウス、キーボード、テスト･ヘッドの接続

「リア･パネルへの接続」（27 ページ）、「テスト･ヘッドの接続」（28 ページ）に従って、マウス、キーボード、テスト･ヘッドを E4991A に接続してください。テスト･ヘッドを接続する際は、決して E4991A の底面にある 4つの脚を取り外さないでください。

注記マウス、キーボードは、必ず電源を投入する前に接続してください。

注記のちほど、テスト･ヘッド上の DUT ポート (7 mm 端子 )において校正を行いますので、ここではテスト･フィクスチャをテスト･ヘッドに取り付けないでください。

電源投入

以下の手順に従って電源を投入してください。E4991A に電源が投入されると、自動的にセルフ･テストが実行されます。

手順 1. 電源を投入する前に、フロント・パネル左下のスタンバイ・スイッチ（）が引

き出された状態 ( ) になっていることを確認します。

手順 2. スタンバイ･スイッチを押します。

注記 E4991A の電源をオン･オフにする際は、特別な注意が必要です。第 2章の「電源のオン・オフ」（31 ページ）をご覧ください。

44 3

RF デバイス測定の基本操作STEP 2. 測定条件の設定


　基本操作

STEP 2. 測定条件の設定測定を行う前に、測定項目に応じて測定パラメータと掃引条件を設定する必要があります。この節では、次の項目を測定する場合の設定手順について説明します。(1) ～ (4) のうち、希望の測定条件を選択して、E4991A をセットアップしてください。

(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性(2) |Z|-R-X の周波数特性(3) Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性(4) Ls-Q の DC バイアス (電流 )特性

この節では、設定例 (1) の操作手順について、マウスとキーボードを使用する操作手順、およびフロント･パネル･キーを使用する操作手順を説明します。設定例(2)、(3)、(4) については、マウスとキーボードを使用する操作手順を説明します。

注記コンデンサを測定する場合は、測定条件 (3) ･ (4) は、通常、信号源レベル (電圧)、直流バイアス (電圧 )特性で測定します。

設定手順の流れ

測定条件の設定手順を図 3- 4 に示します。

図 3- 4 測定条件の設定フロー

3 45


(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性

E4991A の初期状態から測定条件を設定する必要があります。ここでは、表 3- 2のセットアップ例に基づいて設定します。

表 3- 2 測定条件の設定例

設定項目セットアップ例初期状態

測定パラメータ

Trace 1 |Z| |Z|

Trace 2 Ls θz

Trace 3 Q Q

表示フォーマット

Trace 1 ログリニア

Trace 2 リニアリニア


測定点数 201 点 201 点

掃引パラメータ周波数周波数

掃引タイプログリニア

信号源モード Current Voltage

信号源レベル 1 mA 100 mV (2 mA)

掃引範囲 (周波数 ) 1 MHz ～ 3 GHz 1 MHz ～ 3 GHz

46 3



　基本操作

マウスとキーボードを使用する操作手順

以下の手順に従って、測定条件を設定します。

プリセットの実行

手順 1. Systemメニューから Presetをクリックし、初期状態に戻します (図 3- 5)。

図 3- 5 プリセットの実行

測定パラメータ、表示フォーマットのセットアップ

手順 1. Displayメニューから Display...をクリックします (図 3- 6)。

図 3- 6 手順 1

手順 2. Num Of Tracesボックスから 3 Scalarを選択します (図 3- 7)。

図 3- 7 手順 2

表 3- 3 Num Of Traces ボックスとトレースの対応表

Num Of Traces box トレース

x Scalar*1

*1.「x」は、表示するトレースの数を表しています。

スカラ･トレース

x Complex*1 複素トレース

3 47


手順 3. Meas/FormatメニューからMeas/Format...をクリックします (図 3- 8)。

図 3- 8 手順 3

手順 4. 以下のいずれかの方法でトレース 1をアクティブ･トレースに指定します。アクティブ･トレースに選択されると、トレース 1 の前に "*" マークが表示されます。

･ Traceメニューから Scalar 1をクリックします (図 3- 9)。

･表示画面上の 1: |Z| [Ω]、2: θz [rad]( 白枠の部分 )にマウスのポインタを移動さ

せると、指マーク ( ) が表示されます (図 3- 10)。ここでは、1: |Z| [Ω]にマウスのポインタを移動させて、クリックします。

図 3- 9 手順 4( メニューから )

図 3- 10 手順 4( マウス･ポインタから )

手順 5. Meas Parameterボックスは、初期設定で |Z|に設定されています。

手順 6. Formatボックスから Log Y-Axisを選択します (図 3- 11)。

図 3- 11 手順 6

手順 7. 図 3- 9 および図 3- 10 を参照して、トレース 2をアクティブ･トレース (* マーク )に指定します。

48 3



　基本操作

手順 8. Meas Parameterボックスから Lsを選択します (図 3- 12)。

図 3- 12 手順 8

手順 9. Formatボックスは、初期状態で Lin Y-Axisに設定されています。


手順 11. Meas Parameterボックスは、初期状態で Qに設定されています。


測定点数、掃引パラメータ、掃引タイプのセットアップ

手順 1. Stimulusメニューから Sweep Setup...をクリックします (図 3- 13)。

図 3- 13 手順 1

3 49


手順 2. Number Of Pointsボックスは、初期状態で 201に設定されています (図 3- 14)。

図 3- 14 手順 2、3、4

手順 3. Sweep Parameterボックスは、初期状態で Frequencyに設定されています (図3- 14)。

手順 4. Sweep Typeボックスから Logを選択します (図 3- 14)。

信号源モード、レベルのセットアップ

手順 1. Stimulusメニューから Source...をクリックします (図 3- 15)。

図 3- 15 手順 1

手順 2. Osc Unitボックスから Currentを選択します (図 3- 16)。

図 3- 16 手順 2

50 3



　基本操作

手順 3. Osc Levelボックスを選択して、キーボードから [1] [m] [Enter]をタイプします (図 3- 17)。

図 3- 17 手順 3

注記キーボードを使って電流の単位を入力する場合は、mA には [m]をタイプします。

掃引範囲 (周波数 )のセットアップ

手順 4. Stimulusメニューから Start/Stop...をクリックします (図 3- 18)。

図 3- 18 手順 1

手順 5. Startボックスは、初期状態で 1 M Hz に設定されています (図 3- 19)。

図 3- 19 手順 2、3

手順 6. Stopボックスは、初期状態で 3 G Hz に設定されています (図 3- 19)。

3 51


フロント･パネル･キーを使用する操作手順

以下の手順に従って、測定条件を設定します。


手順 1. SYSTEM ブロックから [Preset]キーを押して、初期状態に戻します。


手順 1. MEASUREMENT ブロックから [Display]キーを押します。

手順 2. ･キーを押して、カーソルを Num Of Tracesボックスまで移動させた

後、キーを押して、リストを開きます。次に、･キーを押して、3

Scalarまで移動させ、キーを押します (図 3- 7)。

手順 3. MEASUREMENT ブロックから [Meas/Format]キーを押します。

手順 4. MEASUREMENT ブロックから [Trace]キーを押して、トレース 1をアクティブ･トレースに指定します。アクティブ･トレースに選択されると、トレース 1の前に"*" マークが表示されます。

手順 5. Meas Parameterボックスは、初期状態で |Z|に設定されています。

手順 6. ENTRY/NAVIGATION ブロックから･キーを押して、カーソルを Format

ボックスまで移動させた後、キーを押して、リストを開きます。次に、

･キーを押して、Log Y-Axisまで移動させ、キーを押します (図

3- 11)。

手順 7. MEASUREMENT ブロックから [Trace]キーを押して、トレース 2をアクティブ･トレースに指定します。

手順 8. ･キーを押して、カーソルを Meas Parameterボックスまで移動させた

後、キーを押して、リストを開きます。次に、･キーを押して、Ls

まで移動させ、キーを押します (図 3- 12)。


手順 10. MEASUREMENT ブロックから [Trace]キーを押して、トレース 3をアクティブ･トレースに指定します。

手順 11. Meas Parameterボックスは、初期状態で Qに設定されています。


52 3



　基本操作


手順 1. STIMULUS ブロックから [Sweep]キーを押します。



手順 4. ･キーを押して、カーソルを Sweep Typeボックスまで移動させた後、

キーを押して、リストを開きます。次に、･キーを押して、Logま

で移動させ、キーを押します (図 3- 14)。


手順 1. STIMULUS ブロックから [Source]キーを押します。

手順 2. ･キーを押して、カーソルを Osc Unitボックスまで移動させた後、

キーを押して、リストを開きます。次に、･キーを押して、Current

まで移動させ、キーを押します (図 3- 16)。

手順 3. ･キーを押して、カーソルを Osc Levelボックスまで移動させて、、

キーの順で押します (図 3- 17)。


手順 1. STIMULUS ブロックから [Start/Stop]キーを押します。

手順 2. Startボックスは、初期状態で 1 M Hz に設定されています (図 3- 19)。

手順 3. Stopボックスは、初期状態で 3 G Hz に設定されています (図 3- 19)。

3 53


(2) |Z|-R-X の周波数特性



「プリセットの実行」（47 ページ）と同様にして、E4991A を初期状態に戻します。



手順 2. Num Of Tracesボックスから 3 Scalarを選択します (図 3- 7)。



手順 5. Meas Parameterボックスは、初期状態で |Z|に設定されています。






Trace 1 |Z| |Z|

Trace 2 R θz

Trace 3 X Q

表示フォーマット




測定点数 201 点 201 点


掃引タイプリニアリニア


信号源レベル 1 mA 100 mV (2 mV)

掃引範囲 (周波数 ) 1.5 GHz ～ 2.5 GHz 1 MHz ～ 3 GHz

54 3



　基本操作

手順 8. 図 3- 12 を参照して、Meas Parameterボックスから Rを選択します。



手順 11. 図 3- 12 を参照して、Meas Parameterボックスから Xを選択します。






手順 4. Sweep Typeボックスは、初期状態で Linearに設定されています。


「信号源モード、レベルのセットアップ」（50 ページ）と同様にして、セットアップを行います。



手順 2. Startボックスを選択して、キーボードから [1] [.] [5] [G] [Enter] をタイプします (図 3- 20)。

手順 3. Stopボックスを選択して、キーボードから [2] [.] [5] [G] [Enter] をタイプします (図 3- 20)。

図 3- 20 手順 2、3

注記キーボードを使って周波数の単位を入力する場合は、MHz には [M]を、GHz には[G]をそれぞれタイプします。

3 55


(3) Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性










手順 6. 図 3- 12 を参照して、Meas Parameterボックスから Qを選択します。




測定パラメータTrace 1 Ls |Z|

Trace 2 Q θz

表示フォーマットTrace 1 リニアリニア


測定点数 201 点 201 点

掃引パラメータ信号源レベル周波数



CW 周波数 100 MHz 1 MHz

掃引範囲 (信号源レベル ) 100 μA ～ 10 mA 4 mA ～ 8 mA

56 3



　基本操作



手順 2. Number Of Pointsボックスは、初期状態で 201に設定されています。

手順 3. Sweep Parameterボックスから Powerを選択します (図 3- 21)。

図 3- 21 手順 3

注記掃引パラメータを Powerに設定すると、自動的に掃引タイプはリニアに設定されます。

信号源モード、CW 周波数のセットアップ



手順 3. CW Freqボックスを選択して、キーボードから [1] [0] [0] [M] [Enter]をタイプします (図 3- 22)。

図 3- 22 手順 3

3 57


掃引範囲 (信号源レベル )のセットアップ


手順 2. Startボックスを選択して、キーボードから [1] [0] [0] [u] [Enter] をタイプします (図 3- 23)。

手順 3. Stopボックスを選択して、キーボードから [1] [0] [m] [Enter]をタイプします (図3- 23)。

図 3- 23 手順 2、3

注記キーボードを使って電流の単位を入力する場合は、μA には [u]を、mA には [m]

をそれぞれタイプします。

58 3



　基本操作

(4) Ls-Q の DC バイアス (電流 )特性 (オプション 001)

E4991A にオプション 001 がインストールされている場合は、試料に DC バイアスを印加できます。ここでは、表 3- 6 のセットアップ例に基づいて設定します。

注記 DC バイアス特性を測定する場合、試料をセットした後で、DC バイアスをOFF→ON にする必要があります。設定手順については、「DC バイアスを印加する(オプション 001)」（83 ページ）をご覧ください。




「測定パラメータ、表示フォーマットのセットアップ」（56 ページ）と同様にして、セットアップを行います。



測定パラメータTrace 1 Ls |Z|

Trace 2 Q θz

表示フォーマットTrace 1 リニアリニア


測定点数 201 点 201 点

掃引パラメータ DC バイアス (電流 ) 周波数



信号源レベル 1 mA 100 mV (2 mV)

CW 周波数 100 MHz 1 MHz

掃引範囲 (DC バイアス ) 100 μA ～ 50 mA 100 μA ～ 100 μA

3 59




手順 2. Number Of Pointsボックスは、初期状態で 201に設定されています。

手順 3. Sweep Parameterボックスから Bias Currentを選択します (図 3- 24)。

図 3- 24 手順 3

注記掃引パラメータを Bias Current(Voltage)に設定すると、自動的に掃引タイプはリニアに設定されます。

信号源モード、レベル、CW 周波数のセットアップ



手順 3. Osc Levelボックスを選択して、キーボードから [1] [m] [Enter]をタイプします (図 3- 17)。

手順 4. CW Freqボックスを選択して、キーボードから [1] [0] [0] [M] [Enter]をタイプします (図 3- 22)。

掃引範囲 (DC バイアス )のセットアップ


手順 2. Startボックスは、初期状態で 1 0 0 u A に設定されています (図 3- 25)。

手順 3. Stopボックスを選択して、キーボードから [5] [0] [m] [Enter]をタイプします (図3- 25)。

図 3- 25 手順 2、3

60 3

RF デバイス測定の基本操作STEP 3. 校正


　基本操作

STEP 3. 校正電源投入後には必ず、0 S(OPEN)、0 Ω(SHORT)、50 Ω(LOAD) スタンダード、(および、低損失コンデンサ )を校正基準面に接続して、校正を行います。E4991A の校正基準面は、基本的にテスト･ヘッドの 7 mm 端子です。校正を行うことで、仕様で示されている測定確度を満たす校正基準面を定義しています。

校正、フィクスチャ補正データを測定する周波数点は、固定周波数点 (初期設定)とユーザ定義点があります。また、固定周波数点校正を選択する場合、データを測定するパワー点は、固定パワー点とユーザ定義パワー点があります (表3- 7)。ここでは、固定周波数 /固定パワー点で校正を行います。

注記信号源レベル掃引および DC バイアス掃引を行う場合、固定周波数点 /ユーザ定義パワー点での校正、フィクスチャ補正は選択できません。

校正の測定手順を図 3- 26 に示します。

図 3- 26 校正の測定手順

表 3- 7 校正 /フィクスチャ補正データ測定点の種類

校正 /フィクスチャ補正データ測定点

掃引条件変更した際の校正、フィクスチャ補正データ高確度測定データ取得に

要する時間

固定周波数点

固定パワー点有効 ○ 長い

ユーザ定義パワー点有効 (信号レベルの設定を変更する場合を除く ) ○ ↑

ユーザ定義周波数点 /ユーザ定義パワー点無効 ◎ 短い

3 61



校正の準備

以下の手順に従って、校正の準備を行います。

手順 1. Stimulusメニューから Cal/Comp...をクリックします (図 3- 27)。

図 3- 27 手順 1

手順 2. Cal Menuボタンをクリックします (図 3- 28)。

図 3- 28 手順 2

手順 3. Cal Typeボックスから Fixed Freq&Pwrを選択します (図 3- 29)。

図 3- 29 手順 3

表 3- 8 Cal Type ボックスと校正 /フィクスチャ補正データ測定点の対応表

Cal Typeボックス校正 /フィクスチャ補正データ測定点 (表3- 7)

User Freq&Pwr ユーザ定義周波数 /ユーザ定義パワー点

Fixed Freq&Pwr 固定周波数 /固定パワー点

FixedFreq,UserPwr 固定周波数 /ユーザ定義パワー点

62 3



　基本操作

手順 4. 図 3- 30 に示すように、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子のコネクタ･ナットを上方から見て時計方向に回し、コネクタ･スリーブを完全に外部に引き出します。

図 3- 30 7 mm 端子のコネクタ･スリーブの引き出し

オープン校正データの測定

0 S(OPEN) スタンダードを用いて、以下の手順に従ってオープン校正を行います。

手順 1. 図 3- 31 に示すように、付属のトルク･レンチを使って、0 S(OPEN) スタンダードを上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します。

図 3- 31 0 S(OPEN) スタンダードの接続

手順 2. Meas Openボタンをクリックします (図 3- 32)。

図 3- 32 手順 2

手順 3. オープン校正データの測定が終了すると、Meas Openボタンの左に √マークが表示されます。

3 63


手順 4. 0 S(OPEN) スタンダードを上方から見て反時計方向に回して取り外します。

注記オープン、ショート、ロード、(低損失コンデンサ )校正データ測定中に、Abort

Cal Measボタンをクリックすると、測定が中止されます。

ショート校正データの測定

0 Ω(SHORT) スタンダードを用いて、以下の手順に従ってショート校正を行います。

手順 1. 図 3- 33 に示すように、付属のトルク･レンチを使って、0 Ω(SHORT) スタンダードを上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します。

図 3- 33 0 Ω(SHORT) スタンダードの接続

手順 2. Meas Shortボタンをクリックします (図 3- 34)。

図 3- 34 手順 2

手順 3. ショート校正データの測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示されます。

手順 4. 0 Ω(SHORT) スタンダードを上方から見て反時計方向に回して取り外します。

64 3



　基本操作

ロード校正データの測定

50 Ω(LOAD) スタンダードを用いて、以下の手順に従ってロード校正を行います。

手順 1. 図 3- 35 に示すように、50 Ω(LOAD) スタンダードの外側コネクタ･ナットを、コネクタ接続面上方から見て反時計方向に回して、コネクタ･スリーブを完全に内部に引き込みます。

図 3- 35 50 Ω(LOAD) スタンダードのコネクタ･スリーブの引き込み

手順 2. 図 3- 36 に示すように、付属のトルク･レンチを使って、50 Ω(LOAD) スタンダードを上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します。

図 3- 36 50 Ω(LOAD) スタンダードの接続

手順 3. Meas Loadボタンをクリックします (図 3- 37)。

図 3- 37 手順 3

手順 4. ロード校正データの測定が終了すると、Meas Loadボタンの左に √マークが表示されます。

手順 5. 50 Ω(LOAD) スタンダードを上方から見て反時計方向に回して取り外します。

3 65


低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) 校正データの測定

高周波での高い Q測定 (または低い損失係数測定 )を高確度で行う場合に、低損失コンデンサ校正を行います。低損失コンデンサ校正により、高確度で位相を測定することが可能になります。もし必要でなければ、低損失コンデンサ校正は省略できます。

手順 1. 図 3- 38 に示すように、付属のトルク･レンチを使って、低損失コンデンサ(LOW-LOSS CAPACITOR) を上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します。

注意低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) のノブ部分は回さないでください。低損失コンデンサを回す場合には、電極が動かないように上部のノブ部分を指で押さえてください。

図 3- 38 低損失コンデンサの接続

手順 2. Meas Low Loss Cボタンをクリックします (図 3- 39)。

図 3- 39 手順 2

手順 3. 低損失コンデンサ校正データの測定が終了すると、Meas Low Loss Cボタンの左に √マークが表示されます。

手順 4. 低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) を上方から見て反時計方向に回して取り外します。

66 3



　基本操作

校正データを有効にする

すべての校正データの測定が終了したところで、各校正データを E4991A の内部で計算させて、校正を有効にします。

手順 1. すべての校正データの測定が終了したことを確認し、Doneボタンをクリックします (図 3- 40)。

図 3- 40 手順 1

注記 Cal Resetボタン (図 3- 40) をクリックすると、校正データは無効になります。また、E4991A の電源を OFF にする際も、校正データは無効になります。

手順 2. Cal Menuボタンの下の表示が [Fix]になり、画面下のステータス･バーの表示が"Uncal"→"Cal Fix" になっていることを確認します (図 3- 41)。

図 3- 41 校正終了時のステータス･バーの表示画面

注記 Recover Cal/Comp Stateボタンをクリックすると、無効になった校正 /フィクスチャ補正機能を復元します。詳しくは、取扱説明書の第 4章「校正と補正」をご覧ください。

3 67



校正の準備

以下の手順に従って、校正の準備を行います。

手順 1. STIMULUS ブロックから [Cal/Compen]キーを押します。

手順 2. ENTRY/NAVIGATION ブロックから･キーを押して、カーソルを Cal Menu

ボタンまで移動させた後、キーを押します (図 3- 28)。

手順 3. ･キーを押して、カーソルを Cal Typeボックスまで移動させた後、

キーを押して、リストを開きます。次に、･キーを押して、Fixed

Freq&Pwrまで移動させ、キーを押します (図 3- 29)。

手順 4. テスト･ヘッド上の 7 mm 端子のコネクタ･ナットを上方から見て時計方向に回し、コネクタ･スリーブを完全に外部に引き出します (図 3- 30)。

オープン校正データの測定

0 S(OPEN) スタンダードを用いて、以下の手順に従ってオープン校正を行います。

手順 1. 0 S(OPEN) スタンダードを上から押さえながら、上方から見て時計方向に回して7 mm 端子にしっかりと接続します (図 3- 31)。

手順 2. ･キーを押して、カーソルを Meas Openボタンまで移動させた後、

キーを押します (図 3- 32)。

手順 3. オープン校正データの測定が終了すると、Meas Openボタンの左に √マークが表示されます。

手順 4. 0 S(OPEN) スタンダードを上方から見て反時計方向に回して取り外します。

注記オープン、ショート、ロード、(低損失コンデンサ )校正データ測定中に、

･キーを押して、カーソルを Abort Cal Measボタンまで移動させた後、

キーを押すと、測定が中止されます。

68 3



　基本操作

ショート校正データの測定

0 Ω(SHORT) スタンダードを用いて、以下の手順に従ってショート校正を行います。

手順 1. 0 Ω(SHORT) スタンダードを上から押さえながら、上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します (図 3- 33)。

手順 2. ･キーを押して、カーソルを Meas Shortボタンまで移動させた後、


手順 3. ショート校正データの測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示されます。

手順 4. 0 Ω(SHORT) スタンダードを上方から見て反時計方向に回して取り外します。

ロード校正データの測定

50 Ω(LOAD) スタンダードを用いて、以下の手順に従ってロード校正を行います。

手順 1. 50 Ω(LOAD) スタンダードの外側コネクタ･ナットを、コネクタ接続面上方から見て反時計方向に回して、コネクタ･スリーブを完全に内部に引き込みます (図3- 35)。

手順 2. 50 Ω(LOAD) スタンダードを上から押さえながら、上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します (図 3- 36)。

手順 3. ･キーを押して、カーソルを Meas Loadボタンまで移動させた後、


手順 4. ロード校正データの測定が終了すると、Meas Loadボタンの左に √マークが表示されます。

手順 5. 50 Ω(LOAD) スタンダードを上方から見て反時計方向に回して取り外します。

3 69


低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) 校正データの測定

高周波での高い Q測定 (または低い損失係数測定 )を高確度で行う場合に、低損失コンデンサ校正を行います。低損失コンデンサ校正により、高確度で位相を測定することが可能になります。もし必要でなければ、低損失コンデンサ校正の実行 (手順 1～ 4) は省略できます。

手順 1. 低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) を上から押さえながら、上方から見て時計方向に回して 7 mm 端子にしっかりと接続します (図 3- 38)。

手順 2. ･キーを押して、カーソルを Meas Low Loss Cボタンまで移動させた

後、キーを押します (図 3- 39)。

手順 3. 低損失コンデンサ校正データの測定が終了すると、Meas Low Loss Cボタンの左に √マークが表示されます。

手順 4. 低損失コンデンサ (LOW-LOSS CAPACITOR) を上方から見て反時計方向に回して取り外します。

校正データを有効にする

すべての校正データの測定が終了したところで、各校正データを E4991A の内部で計算させて、校正を有効にします。

手順 1. すべての校正データの測定が終了したことを確認し、･キーを押して、

カーソルを Doneボタンまで移動させた後、キーを押します (図 3- 40)。

注記･キーを押して、カーソルを Cal Resetボタン (図 3- 40) まで移動させ

た後、キーを押すと、校正データは無効になります。また、E4991A の電源を

OFF にする際も、校正データは無効になります。

手順 2. Cal Menuボタンの下の表示が [Fix]になり、画面下のステータス･バーの表示が"Uncal"→"Cal Fix" になっていることを確認します (図 3- 41)。

注記･キーを押して、カーソルを Recover Cal/Comp Stateボタンまで移動さ

せた後、キーを押すと、無効になった校正 /フィクスチャ補正機能を復元し

ます。詳しくは、取扱説明書の第 4章「校正と補正」をご覧ください。

70 3

RF デバイス測定の基本操作STEP 4. テスト･フィクスチャの接続


　基本操作

STEP 4. テスト･フィクスチャの接続以下の手順に従って、テスト･ヘッドの 7 mm 端子に専用テスト･フィクスチャを接続してください。ここでは、テスト･フィクスチャ 16197A を例にあげて、接続方法を説明します。他のテスト･フィクスチャを使用する場合は、各テスト･フィクスチャの取扱説明書を参照してください。

手順 1. 図 3- 42 に示すように、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子のコネクタ･ナットを上方から見て反時計方向に回し、コネクタ･スリーブを完全に内部に引き込みます。

図 3- 42 7 mm 端子のコネクタ･スリーブの引き込み

手順 2. テスト･ヘッド上の 2つのマウント･ポストならびに 7 mm 端子を、テスト･フィクスチャの 2つの穴と 7 mm コネクタに合わせます (図 3- 43 ② )。

手順 3. テスト･ヘッド上の 7 mm 端子のコネクタ･ナットを上方から見て反時計方向に回し、しっかり接続します (図 3- 43 ③ )。テスト･ヘッドとテスト･フィクスチャの間が狭くなっているため、コネクタ･ナットは両手で回してください。

図 3- 43 テスト･フィクスチャの接続 (16197A)

3 71

RF デバイス測定の基本操作STEP 5. 電気長補正

STEP 5. 電気長補正RF 周波数帯では、テスト･フィクスチャの物理的な伝送ラインの長さに比べて、RF 周波数での波長が十分短くなるため、テスト･フィクスチャの伝送ラインにおいて、位相シフトによる測定誤差が生じます。この測定誤差を取り除くために、テスト･フィクスチャに対する電気長 (7 mm 端子から試料接続面までの電気長 )を設定する必要があります。

E4991A では、標準的なテスト･フィクスチャに対して、それぞれ電気長の値が登録されています。テスト･フィクスチャのモデル番号を選択することで、電気長補正が自動的に行われます。また、ユーザ作成のテスト･フィクスチャを接続する場合は、電気長を入力します。



手順 2. 以下のいずれかの方法で電気長を設定します。

o 登録されているテスト･フィクスチャを使用する場合

Fixture Typeボックスから、使用するテスト･フィクスチャのモデル番号を選択します (図 3- 44)。

図 3- 44 テスト･フィクスチャ選択

o ユーザ作成のテスト･フィクスチャを使用する場合

Fixture Typeボックスから、Userを選択した後、Fixture Lengthボックスを選択して、キーボードから電気長を入力します。例えば、電気長が 14 mm の場合、[1] [4] [m] [Enter]をタイプします (図 3- 45)。

図 3- 45 電気長入力

72 3

RF デバイス測定の基本操作STEP 5. 電気長補正


　基本操作

手順 3. 電気長設定後、画面の下にあるステータス･バーに "Del 14m" が表示されていることを確認します (図 3- 46)。

図 3- 46 電気長設定時のステータス･バーの表示画面

注記 "Del xx" は、Delay xx mm を表しています。これは、電気長が xx mm で設定されているというステータス表示です。



手順 2. 以下のいずれかの方法で電気長を設定します。

o 登録されているテスト･フィクスチャを使用する場合

ENTRY/NAVIGATION ブロックから･キーを押して、カーソルを Fixture

Typeボックスまで移動させた後、キーを押して、リストを開きます。次

に、･キーを押して、使用するテスト･フィクスチャのモデル番号ま

で移動させ、キーを押します (図 3- 44)。

o ユーザ作成のテスト･フィクスチャを使用する場合

･キーを押して、カーソルを Fixture Typeボックスまで移動させた

後、キーを押して、リストを開きます。次に、･キーを押して、

Userまで移動させ、キーを押します。さらに、･キーを押して、

カーソルを Fixture Lengthボックスまで移動させて、数値キーから電気長を入力します。例えば、電気長が 14 mm の場合、、、キーの順で押しま

す (図 3- 45)。

手順 3. 電気長が設定されると、画面の下にあるステータス･バーに "Del 14m" が表示されていることを確認します (図 3- 46)。

表 3- 9 標準的なテスト･フィクスチャの電気長

モデル 16191A 16192A 16193A 16196A 16196B 16196C 16197A

電気長 14.0 mm 11.0 mm 14.0 mm 26.2 mm 26.9 mm 27.1 mm 14.0 mm

3 73

RF デバイス測定の基本操作STEP 6. フィクスチャ補正

STEP 6. フィクスチャ補正E4991A は、テスト･ヘッドの 7 mm 端子 (校正基準面 )で、測定確度を規定しています。しかしながら、実際の測定では、試料接続面と 7 mm 端子の間には測定回路 (テスト･フィクスチャ )が存在し、被測定物の一部として測定結果に含まれてしまいます。そこで、フィクスチャ補正を行うことで、試料接続面と 7 mm 端子間に存在する寄生誤差を取り除きます。

ここでは、16197A テスト･フィクスチャを例にあげて、フィクスチャ補正を実行します。他のテスト･フィクスチャを使用する場合は、各テスト･フィクスチャの取扱説明書に従ってフィクスチャ補正を実行してください。


オープン補正データの測定 (16197A)

オープン補正を行うことで、テスト･フィクスチャの浮遊アドミタンスを補正します。

手順 1. 図 3- 47 に従って、テスト･フィクスチャの試料接続面をオープン状態にします。他のテスト･フィクスチャを使用する場合は、各テスト･フィクスチャの取扱説明書に従ってオープン状態にしてください。

図 3- 47 オープン状態 (16197A)

74 3



　基本操作


手順 3. Comp Menuボタンをクリックします (図 3- 48)。

図 3- 48 手順 3

手順 4. Meas Openボタンをクリックします (図 3- 49)。

図 3- 49 手順 4

手順 5. オープン補正データの測定が終了すると、Meas Openボタンの左に √マークが表示します。

注記オープン、ショート補正データ測定中に、Abort Comp Measボタンをクリックすると、測定が中止されます。

3 75


ショート補正データの測定 (16197A)

ショート補正を行うことで、テスト･フィクスチャの残留インピーダンスを補正します。

手順 1. 図 3- 50 に従って、テスト･フィクスチャの試料接続面に試料サイズに応じてショート･デバイスをセットし、ショート状態にします。他のテスト･フィクスチャを使用する場合は、各テスト･フィクスチャの取扱説明書に従ってショート状態にしてください。

図 3- 50 ショート状態 (16197A)

76 3



　基本操作

手順 2. Meas Shortボタンをクリックします (図 3- 51)。

図 3- 51 手順 2

手順 3. ショート補正データの測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示します。

フィクスチャ補正データを有効にする

すべてのフィクスチャ補正データの測定が終了したところで、各フィクスチャ補正データを E4991A の内部で計算させて、フィクスチャ補正を有効にします。

手順 1. すべてのフィクスチャ補正データの測定が終了したことを確認した後、Doneボタンをクリックします (図 3- 52)。

図 3- 52 手順 1

3 77


手順 2. Comp Menuボタンの下の表示が [ON]になり、画面下のステータス･バーの表示が "Comp OFF"→"Comp ON" になっていることを確認します (図 3- 53)。

図 3- 53 フィクスチャ補正終了時のステータス･バーの表示画面

ショート補正データの確認

フィクスチャ補正が完了した後に、マーカ機能を使ってショート補正データが正しく測定されているか確認します。

手順 1. 図 3- 9 および図 3- 10 を参照して、測定パラメータ |Z| のトレース (ここでは、トレース 1) をアクティブ･トレース (* マーク )に指定します。なお、測定条件(3)、(4) のように、測定パラメータに |Z| がない場合は、いったんトレース 1の測定パラメータを |Z| に変換して確認してください。確認が終ったところで、元の測定パラメータに戻します。

手順 2. Scaleメニューから Autoscale をクリックします (図 3- 54)。

図 3- 54 手順 2

78 3



　基本操作

手順 3. Markerメニューから Marker...をクリックします (図 3- 55)。

図 3- 55 手順 3

手順 4. マウスのカーソルを Stimulusボックスに合わせます (図 3- 56)。

図 3- 56 手順 4

手順 5. ENTRY/NAVIGATION ブロックのロータリ･ノブ ( ) を回して、すべてのスティ

ミュラス値 (図 3- 56: 1) において、測定パラメータ |Z| の測定値 (図 3- 56: 2)が 50 mΩ以下になっていることを確認します。そうでない場合は、ショート･デバイスをもう一度、電極板の両極に置き直し、テスト･フィクスチャの押さえ棒の位置を合わせて、もう一度フィクスチャ補正を行ってください。

注記フィクスチャ補正を行った後に、押さえ棒の位置を変更する際は、もう一度フィクスチャ補正を取り直す必要があります。

3 79



オープン補正データの測定 (16197A)

オープン補正を行うことで、テスト･フィクスチャの浮遊アドミタンスを補正します。

手順 1. 図 3- 47 に従って、テスト･フィクスチャの試料接続面をオープン状態にします。他のテスト･フィクスチャを使用する場合は、各テスト･フィクスチャの取扱説明書に従ってオープン状態にしてください。


手順 3. ENTRY/NAVIGATION ブロックから･キーを押して、カーソルを Comp

Menuボタンまで移動させた後、キーを押します (図 3- 48)。

手順 4. ･キーを押して、カーソルを Meas Openボタンまで移動させた後、


手順 5. オープン補正データの測定が終了すると、Meas Openボタンの左に √マークが表示します。

注記オープン、ショート補正データ測定中に、･キーを押して、カーソルを

Abort Comp Measボタンまで移動させた後、キーを押すと、測定が中止され

ます。

ショート補正データの測定 (16197A)

ショート補正を行うことで、テスト･フィクスチャの残留インピーダンスを補正します。

手順 1. 図 3- 50 に従って、テスト･フィクスチャの試料接続面に試料サイズに応じてショート･デバイスをセットし、ショート状態にします。他のテスト･フィクスチャを使用する場合は、各テスト･フィクスチャの取扱説明書に従ってショート状態にしてください。

手順 2. ･キーを押して、カーソルを Meas Shortボタンまで移動させた後、


手順 3. ショート補正データの測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示します。

80 3



　基本操作

フィクスチャ補正データを有効にする

すべてのフィクスチャ補正データの測定が終了したところで、各フィクスチャ補正データを E4991A の内部で計算させて、フィクスチャ補正を有効にします。

手順 1. すべてのフィクスチャ補正データの測定が終了したことを確認し、

･キーを押して、カーソルを Doneボタンまで移動させた後、キー

を押します (図 3- 52)。

手順 2. Comp Menuボタンの下の表示が [ON]になり、画面下のステータス･バーの表示が "Comp OFF"→"Comp ON" になっていることを確認します (図 3- 53)。

ショート補正データの確認

フィクスチャ補正が完了した後に、マーカ機能を使ってショート補正データが正しく測定されているか確認します。

手順 1. MEASUREMENT ブロックから [Trace]キーを押して、測定パラメータ |Z| のトレース(ここでは、トレース 1) をアクティブ･トレース (* マーク )に指定します。なお、測定条件 (3)、(4) のように、測定パラメータに |Z| がない場合は、いったんトレース 1の測定パラメータを |Z| に変換して確認してください。確認が終ったところで、元の測定パラメータに戻します。

手順 2. MEASUREMENT ブロックから [Scale]キーを押します。次に、･キーを押し

て、カーソルを Autoscaleボタンまで移動させた後、キーを押します (図

3- 57)。

図 3- 57 手順 2

手順 3. MEASUREMENT ブロックから [Marker]キーを押します。

手順 4. ･キーを押して、カーソルを Stimulusボックスまで移動させた後、


手順 5. ENTRY/NAVIGATION ブロックのロータリ･ノブ ( ) を回して、すべてのスティ

ミュラス値 (図 3- 56: 1) において、測定パラメータ |Z| の測定値 (図 3- 56: 2)が 50 mΩ以下になっていることを確認します。そうでない場合は、ショート･デバイスをもう一度、電極板の両極に置き直し、テスト･フィクスチャの押さえ棒の位置を合わせて、もう一度フィクスチャ補正を行ってください。

注記フィクスチャ補正を行った後に、押さえ棒の位置を変更する際は、もう一度フィ

3 81

RF デバイス測定の基本操作STEP 7. 試料の接続

クスチャ補正を取り直す必要があります。

STEP 7. 試料の接続例として、試料 (1608(mm)/0603(inch) サイズ )を 16197A に接続する手順を以下に示します。

手順 1. テスト･フィクスチャのレバーを押し込んで、押さえ棒を持ち上げた状態でラッチさせて、オープン状態にします。

手順 2. ショート･デバイスを取り外します。

手順 3. ショート･デバイスを接続した方法と同様に、試料を接続します (図 3- 50)。

手順 4. テスト･フィクスチャのレバーを押し込んでラッチを解除し、レバーをゆっくり引きます。

手順 5. レバーを離して試料を挟み込みます。

82 3

RF デバイス測定の基本操作STEP 8. 試料の測定とその解析


　基本操作

STEP 8. 試料の測定とその解析校正、補正を行った後で、試料をテスト･フィクスチャにセットすると、測定結果が画面に表示されます。画面上でトレースが得られれば、マーカ機能などを使って測定結果を解析できます。この節では、マウスとキーボードを使用する操作手順を説明します。

DC バイアスを印加する (オプション 001)

「STEP 2. 測定条件の設定」の「(4) Ls-Q の DC バイアス (電流 )特性 (オプション 001)」（59 ページ）を選択した場合は、以下の手順に従って DC バイアスを印加します。また、DC バイアス源のレベル、および DC バイアス源の限界値の設定については、取扱説明書の第 3章「測定条件の設定」をご覧ください。

警告 DC バイアスが印加されている際は、絶対に試料およびテスト･フィクスチャの測定電極に触れないでください。


手順 2. Dc Biasボタンをクリックして、ボタン表示を [On]にします (図 3- 58)。DC バイアスを ON にすると、測定がホールド･モード (トリガを受け付けないモード )になります。

図 3- 58 手順 2、3

手順 3. 画面下のステータス･バーの表示が、"Bias OFF"→"Bias ON" になっていること、ホールド･モードになっていることを確認します (図 3- 58)。

手順 4. トリガをかけて、測定を開始する。

o 一回測定を行う

1. Triggerメニューから Singleをクリックします。

3 83


o 繰り返し測定を行う

1. Triggerメニューから Continuousをクリックします。

自動スケールを実行する

掃引条件と測定パラメータの設定を行った後で得られた各トレースは、縦軸方向のグリッドに対して大きすぎたり、小さすぎたりして画面に表示されないことがあります。この場合に、自動スケール機能を使って、最適なスケールに設定できます。以下の手順に従って、自動スケールを実行します。

手順 1. 自動スケールを実行したいトレース番号 (測定パラメータ )をアクティブ･トレースに指定します (図 3- 9、図 3- 10 参照 )。

手順 2. Scaleメニューから Autoscaleをクリックし、自動スケールを実行します (図3- 54)。

手順 3. 他のトレース番号 (測定パラメータ )も、自動スケールを実行したい場合は、手順 1～ 2を繰り返します。

注記 Scaleメニューから Autoscale Allをクリックすると、すべてのトレースに対して、一斉に自動スケールを実行します。

手順 4. Systemメニューから Toolbar Offをクリックして、セットアップ･ツールバーの表示を消します (図 3- 59)。

図 3- 59 手順 4

注記 ENTRY/NAVIGATION ブロックから [Cancel/Close]キーを押すことでも、セットアップ･ツールバーの表示を消すことができます。

「STEP 2. 測定条件の設定」（45 ページ）の設定例に基づいて、各パラメータに対してオート･スケールを実行することで、図 3- 60、図 3- 61、図 3- 62、図 3- 63 のような測定結果が得られます。

84 3



　基本操作

図 3- 60 (1) |Z|-Ls-Q の周波数特性

図 3- 61 (2) |Z|-R-X の周波数特性

3 85


図 3- 62 (3) Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性

図 3- 63 (4) Ls-Q の DC バイアス (電流 )特性 (オプション 001)

86 3



　基本操作

スケールを調整する

トレースが平坦な波形の場合、オート･スケールを実行すると、グリッドのスケール値が小さくなり、画面全体に波形が観測されます (図 3- 62、図 3- 63)。任意のスケール値に変更する場合は、以下の手順に従って、スケールを調整します。ここでは、図 3- 62「(3) Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性」（86 ページ）の例 (表示フォーマットがリニアの場合 )をもとにスケールを調整します。

注記表示フォーマットの設定によって、調整するスケーリング･パラメータが異なります。スケーリング･パラメータについては、取扱説明書の第 5章「表示の設定」をご覧ください。

手順 1. Scaleメニューから Scale...をクリックします。

図 3- 64 手順 1

手順 2. Scale Entryボタンをクリックして、ボタン表示を [Scale/Ref]または [Top/Bottom]

に選択します。

手順 3. 各スケーリング･パラメータ･ボックスに任意の値を入力して調整します。

図 3- 65 リニア表示フォーマットのスケーリング･パラメータ

表 3- 10 Scale Entry ボタン表示とスケーリング･パラメータ･ボックスの対応表

Scale Entryボタン表示スケーリング･パラメータ･ボックス

Full Scale、Ref Val、Ref Posボックス

Top、Bottom、Ref Posボックス

3 87


図 3- 66 (3) Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性 (スケール調整後 )

トレースをスムーズにする

スムーズな測定トレースを観測できない場合、ポイント･アベレージングやスイープ･アベレージングを実行することで、スムーズなトレースが得られることがあります。特に、高 Q( 低損失 )測定の場合には、スムーズなトレースが得られるようになります。ここでは、図 3- 61「(2) |Z|-R-X の周波数特性」（85 ページ）を例をもとにトレースをスムーズにします。

アベレージングについて

アベレージングには、ポイント･アベレージングとスイープ･アベレージングがあります。

o ポイント･アベレージング

ポイント･アベレージングでは、設定されたアベレージング回数に達するまで各測定ポイントを繰り返し測定し、平均化します (図 3- 67)。

o スイープ･アベレージング

スイープ･アベレージングでは、設定されたアベレージング回数に達するまで掃引を繰り返し、平均化します (図 3- 67)。

注記ポイント･アベレージングとスイープ･アベレージングは同時に実行することもできます。

88 3



　基本操作

図 3- 67 ポイント･アベレージングとスイープ･アベレージング

ポイント･アベレージングを利用する


手順 2. Point Averageボックスで、アベレージング回数を設定します (図 3- 68)。

図 3- 68 手順 2

注記ポイント･アベレージングは、アベレージング回数を 2回以上に設定した時点で、自動的にアベレージングを開始します。

手順 3. 画面下のステータス･バー表示が、"Avg 1" → "Avg x" になっていることを確認します。これは、x回ポイント･アベレージングが行われていることを示すステータス表示です (図 3- 69)。

3 89


掃引間アベレージングを利用する


手順 2. Sweep Averageボタンをクリックして、ボタン表示を [On]にします (図 3- 69)。

図 3- 69 手順 2、3、4

手順 3. Swp Avg Countボックスで、アベレージング回数を設定します (図 3- 69)。

手順 4. 画面下のステータス･バー表示が、"SAvg OFF" → "SAvg x" になっていることを確認します。これは、x回、スイープ･アベレージングが行われていることを示すステータス表示です (図 3- 69)。

注記アベレージングを実行しても、スムーズなトレースが得られない場合は、ポイント･アベレージングの回数を大きい値に設定した後、ユーザ定義周波数点 /ユーザ定義パワー点で校正、フィクスチャ補正を再び行ってから測定します (図3- 70)。

図 3- 70 「(2) |Z|-R-X の周波数特性」

90 3



　基本操作

マーカ機能を使用する

マーカ機能を使えば、アクティブ･トレース上の任意点の測定値とスティミュラス値 (図 3- 56) を読み取ることができます。また、マーカ･サーチ機能を使えば、特定の点 (例えば、最大値、最小値、ピーク値など )を検出することもできます。ここでは、測定値の読み取り、最大値の検出、マーカ･リストの表示、マーカのクリアを例にあげて説明します。

測定値の読み取り


手順 2. 読み取りたいトレース番号 (測定パラメータ )をアクティブ･トレースに指定します (図 3- 9、図 3- 10、図 3- 54 参照 )。

手順 3. 次のいずれかの方法でマーカを移動させると、表示画面右上にマーカ値が表示されます (図 3- 56)。

･マーカ･ポイントにマウスのカーソルを移動させると、指マーク ( ) が表示されます。読み取りたいポイントまでドラッグ･アンド･ドロップします (図3- 71)。

注記ドラッグ･アンド･ドロップは、マウスボタンを押したままの状態で任意の位置までマウス･ポインタを移動させ、そこでボタンから指を離すという一連の操作のことを示します。

･図 3- 56 のように、マウスのカーソルを Stimulusボックスに合わせて、ロータ

リ･ノブ ( ) を回して読み取りたいポイントまでマーカを移動させます。

･マウスで Stimulusボックスを選択して、読み取りたい点のスティミュラス値をキーボードから入力します。例えば、スティミュラス値 1 MHz の点の測定値を読み取る場合、キーボードから [1] [M] [Enter]をタイプします。

3 91


図 3- 71 マウスによるマーカ･ポイントの移動

手順 4. 画面右上に表示されるマーカ値を読み取ります。

注記 Moreボタンをクリックした後、Markerボタンをクリックして、ボタン表示を[Discrete]にすると、トレース上の測定点の値だけをマーカで読み取れます。一方、ボタン表示を [Continuous]にすると、トレース上の任意の点の値をマーカで読み取れます。

また、Marker Coupleボタンをクリックして、ボタン表示を [Off]にすると、各トレースのマーカを別々にコントロールすることができます。すなわち、アクティブ･トレースのマーカだけが移動します。一方、ボタン表示を [On]にすると、すべてのトレースのマーカを連動してコントロールすることができます。

92 3



　基本操作

最大値の検出

ここでは、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）のセットアップ例をもとに測定パラメータ |Z| の最大値 (自己共振点 )を検索します。

手順 1. 読み取りたいトレース番号 (測定パラメータ )をアクティブ･トレースに指定します (図 3- 9、図 3- 10 参照 )。この場合は、トレース 1( 測定パラメータ |Z|) をアクティブ･トレースに指定します。

手順 2. Markerメニューから Function...をクリックします (図 3- 72)。

図 3- 72 手順 2

手順 3. Search Typeボックスから Maximumを選択します (図 3- 73)。

図 3- 73 手順 3

手順 4. Searchボタンをクリックします (図 3- 73)。

手順 5. アクティブ･マーカが、アクティブ･トレース上の最大値に移動します (図 3- 74)。

手順 6. 画面右上に表示されたマーカ値を読み取ります。

表 3- 11 Search Type ボックスとマーカ･サーチ機能の対応表

Search Typeボックスサーチ･ポイント

Maxium アクティブ･トレース上で測定値が最大となる点

Minimum アクティブ･トレース上で測定値が最小となる点

Target アクティブ･トレース上の測定値がターゲットに設定されている点

Positive Peak アクティブ･トレース上の測定値が正ピークとなる点

Negative Peak アクティブ･トレース上の測定値が負ピークとなる点

3 93


図 3- 74 最大値の検索

マーカ値をリスト表示する

最大 8つのマーカをリストにして表示することができます。ここでは、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）の設定例をもとに、測定パラメータ Ls に対して、6つのマーカをリストにして表示します。


手順 2. 図 3- 7 を参照して、Num Of Tracesボックスから 1 Scalarを選択します。



手順 5. Formatボックスが Lin Y-Axisに設定されていることを確認します。

手順 6. Scaleメニューから Autoscaleをクリックします (図 3- 54)。

手順 7. Markerメニューから Fctn More...をクリックします (図 3- 75)。

図 3- 75 手順 7

94 3



　基本操作

手順 8. Marker Listボタンをクリックして、ボタン表示を [On]にします (図 3- 76)。

図 3- 76 手順 8


手順 10. アクティブ･マーカを読み取りたいポイントまで移動させます。ここでは、周波数 (1 MHz) のポイントに置きます。

手順 11. Select Markerボックスから Marker 2を選択します (図 3- 77)。

図 3- 77 手順 11

手順 12. アクティブ･マーカを読み取りたいポイントまで移動させます。

手順 13. 同様にして、Marker 3～ Marker 6まで各マーカを読み取りたいポイントに置きます (図 3- 78)。

注記アクティブ･マーカのマーカ･ポイントは、大きな三角形 (Δ) で表示されます。

3 95


図 3- 78 マーカ･リスト表示

マーカのクリア

アクティブ･マーカをクリアする場合は、以下の手順に従ってください。


手順 2. Select Markerボックスから、クリアするマーカ番号を選択します (図 3- 79)。

手順 3. Selected Markerボタンをクリックして、ボタン表示を [Off]にします (図 3- 79)。

図 3- 79 手順 3

手順 4. アクティブ･マーカ (Marker 1) がクリアされます。

注記 Markerメニューから All Offをクリックすると、すべてのマーカがクリアされます。

96 3



　基本操作

等価回路解析を実行する

E4991A には、5種類の等価回路モデルが用意されていて、測定データを使って、等価回路パラメータの近似値を算出する機能があります。また、算出された等価回路パラメータの近似値から、その周波数特性をシミュレートして画面に表示させることもできます。

注記等価回路解析は、掃引パラメータが周波数の場合のみ、利用できます。

等価回路パラメータの近似値を算出する

ここでは、チップ･インダクタを使って、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）のセットアップ例をもとに、近似値を算出します。

手順 1. Utilityメニューから Equivalent Circuit...をクリックします (図 3- 80)。

図 3- 80 手順 1

手順 2. Select Circuitボタンをクリックします (図 3- 81)。

図 3- 81 手順 2

表 3- 12 等価回路モデルの選択

等価回路モデル試料のタイプ

高コア損失インダクタ

インダクタ ,抵抗器

高抵抗器

コンデンサ

振動子 ,発振子

3 97


手順 3. チップ･インダクタを解析するため、Bの等価回路モデルを選択します (表3- 12)。次に、<<ボタンをクリックして、Equivalent Circuit ツールバーに戻します (図 3- 82)。

図 3- 82 手順 3

手順 4. Calculate Parametersボタンをクリックすると、Equivalent Circuit ツールバー内に近似値が表示されます (図 3- 83)。

図 3- 83 近似値表示と周波数特性シミュレーション

周波数特性をシミュレートする

ここでは、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）のセットアップ例をもとに、上記で算出した近似値を使って、トレース 1(|Z|) の周波数特性をシミュレートします。

注記各等価回路モデルのパラメータ･ボックスに任意の値を入力して、シミュレートすることもできます。

98 3



　基本操作

手順 1. Utilityメニューから Equivalent Circuit...をクリックします (図 3- 80)。

手順 2. 図 3- 9、図 3- 10 を参照して、トレース 1(|Z|) をアクティブ･トレース (* マーク)に指定します。

手順 3. Simulate Freq-Charボタンをクリックすると、トレース 1(|Z|) の周波数特性をシミュレートして、シミュレーション結果がトレースとして表示されます (図3- 83)。

注記 Simulate Freq-Char to All Tracesボタンをクリックすると、すべてのトレースの周波数特性をシミュレートします。

トレースを拡大する (ズーム機能、マウス操作のみ )

ある範囲を拡大して表示する場合は、マウスを使って以下の手順で行ってください。ここでは、図 3- 61「(2) |Z|-R-X の周波数特性」（85 ページ）を例をもとにズーム機能を実行します。

手順 1. 図 3- 84 に示すように、拡大したい範囲をマウスでドラッグして選択します。

注記ドラッグは、マウスボタンを押したままの状態で、対象範囲を選択してボタンを離すという一連の操作のことを示します。

手順 2. 選択した部分が拡大されて表示されます (図 3- 84)。

図 3- 84 ズーム画面

手順 3. 表示画面上でマウスをクリックすると、ズーム画面がクリアされて、もとの標準画面に戻ります。

3 99


各トレースを個別の画面で表示する

スカラ･トレースには、表示画面を各トレースのウィンドウに分割して、表示させる機能があります。トレースが重ならないので、データを個別に解析する場合に利用できます。ここでは、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）のセットアップ例をもとに表示画面を分割します。


手順 2. Display Scalar Traceボタンをクリックして、ボタン表示を [Split]にします (図3- 85)。

手順 3. 表示画面が 3つのウィンドウに分割され、各スカラ･トレースが表示されます (図 3- 85)。

図 3- 85 分割画面

手順 4. オーバレイ表示 (1 つの表示画面上にすべてのトレースを表示 )に戻すには、再度、Display Scalar Traceボタンをクリックして、ボタン表示を [Overlay]にします。

スミス･チャートを表示する

スカラ･トレースのほかに、複素トレース (複素平面フォーマット、極座標フォーマット、スミス･チャート、アドミタンス･スミス･チャート )を表示させることができます。ここでは、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）のセットアップ例をもとに、スミス･チャートを表示させます。

注記スミス･チャート、アドミタンス･スミス･チャートは、反射係数 ( ) を測定する場合だけに適用されます。

Γ

100 3



　基本操作


手順 2. 図 3- 7 を参照して、Num Of Tracesボックスから 3 Sclr, 1 Cmplxを選択します。

手順 3. 画面上には、3つの測定パラメータのスカラ･トレースが表示され、画面下には、測定パラメータ (|Z|) の極座標表示フォーマットが表示されます。

手順 4. 図 3- 9、図 3- 10 を参照して、トレース 4( 極座標表示フォーマット )をアクティブ･トレース (* マーク )に指定します。


手順 6. Meas Parameterボックスから、反射係数 ( ) を選択します (図 3- 86)。

図 3- 86 手順 6

手順 7. Formatボックスから Smithを選択します (図 3- 87)。

図 3- 87 手順 7

手順 8. 図 3- 88 のような表示画面になります。

表 3- 13 Format ボックスと複素トレースの対応表

Formatボックス複素トレース

Complex 複素平面フォーマット

Polar 極座標フォーマット

Smith スミス･チャート

Admittance アドミタンス･チャート

Γ

3 101


図 3- 88 スミス･チャート表示

5 つのウィンドウを表示する

スカラ･トレースを最大で 3つのウィンドウ、複素トレースを最大で 2つのウィンドウに表示することができ、合わせて最大で 5つのウィンドウを表示させることができます。ここでは、「(1) |Z|-Ls-Q の周波数特性」（46 ページ）のセットアップ例をもとに、5つのウィンドウを表示させます。


手順 2. 図 3- 7 を参照して、Num Of Tracesボックスから 3 Sclr, 2 Cmplxを選択します。

手順 3. Display Scalar Traceボタンをクリックして、ボタン表示を [Split]にします (図3- 85)。

手順 4. スカラ･トレースのウィンドウが 3つ、複素トレースのウィンドウが 2つ、合わせて 5つのウィンドウが表示されます (図 3- 89)。

102 3



　基本操作

図 3- 89 5 ウィンドウ表示

3 103

RF デバイス測定の基本操作STEP 9. 掃引条件の変更

STEP 9. 掃引条件の変更掃引条件 (X 軸に対する設定 )を変更する場合は、校正 /フィクスチャ補正データ測定点の設定によって決まります。詳しくは、表 3- 7（61 ページ）の概要をご覧ください。データ測定点がユーザ定義周波数 /ユーザ定義パワー点の場合、測定条件を変更した後、「STEP 3. 校正」（61 ページ）から測定を行ってください。データ測定点が固定周波数 /固定パワー点の場合、測定条件を変更した後、「STEP 8. 試料の測定とその解析」（83 ページ）から測定を行ってください。

注記校正 /フィクスチャ補正データ測定点が、固定周波数点 /ユーザ定義パワー点の場合、信号源レベルの設定を変更した後は「STEP 3. 校正」（61 ページ）から、一方それ以外の掃引条件を変更した後は「STEP 8. 試料の測定とその解析」（83ページ）から測定を行ってください。

STEP 10. 他の試料の測定測定する試料の種類とサイズが同じ場合、「STEP 7. 試料の接続」（82 ページ）から測定を行ってください。また、測定する試料の種類とサイズが異なる場合で、同じテスト･フィクスチャを使用すれば「STEP 6. フィクスチャ補正」（74 ページ）から、一方異なるテスト･フィクスチャを使用すれば「STEP 4. テスト･フィクスチャの接続」（71 ページ）から測定を行ってください。

注記電源投入後の初期状態から測定を開始する場合は、「STEP 2. 測定条件の設定」（45 ページ）から測定を行ってください。

104 3

4. 誘電体測定の基本操作
第 4章誘電体測定の基本操作
この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを使った誘電体測定の基本的な操作方法を説明します。ただし、E4991A にオプション002( 材料測定ソフトウェア )がインストールされている必要があります。

105

誘電体測定の基本操作

本章の内容


本章で実行する特性評価と誘電体測定の測定手順を理解します。



o STEP 2. 測定モードの選択（110 ページ）

E4991A の測定モードを誘電体測定モードに設定します。



o STEP 4. 16453A の接続（113 ページ）

16453A テスト･フィクスチャをテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します。

o STEP 5. ロード･スタンダードの厚さ入力（114 ページ）

16453A テスト･フィクスチャ付属のロード･スタンダード (PTFE) の厚さを入力します。


16453A テスト･フィクスチャの試料接続面において、OPEN/SHORT/LOAD校正を実行します。

o STEP 7. 試料の厚さ入力（120 ページ）

試料 (誘電材料 )の厚さを入力します。

o STEP 8. 試料の接続（121 ページ）

試料 (誘電材料 )を 16453A テスト･フィクスチャの試料接続面に接続します。







106 4

誘電体測定の基本操作測定の概要


測定の概要オプション 002 が E4991A にインストールされている場合、誘電体測定が可能になります。この章では、次の特性評価をもとに、マウスとキーボードを使用する場合の基本操作手順を説明します。

･ - - tanδの周波数特性

測定の流れ

誘電体測定の基本的な測定手順を図 4- 1 のフロー･チャートに示します。

図 4- 1 誘電体測定の基本的な操作手順

εr' εr''

4 107

誘電体測定の基本操作STEP 1. 測定の準備


テスト･フィクスチャと試料の選択

E4991A では、誘電材料の測定用テスト･フィクスチャとして、16453A 誘電材料測定電極テスト･フィクスチャが利用できます (表 4- 1)。測定可能な試料の形状は、図 4- 2 のように板状で滑らかな固体の材料 (セラミック、PTFE、樹脂など )になります。

図 4- 2 誘電材料の形状

用意するもの

誘電体測定では、以下のものが必要です。

表 4- 1 16453A テスト･フィクスチャの特長

周波数範囲最大 DC バイアス電圧値誘電材料のサイズ

1 M ～ 1 GHz ± 40 V d ≥ 15 mm 0.3 mm ≤ t ≤ 3 mm

108 4

誘電体測定の基本操作STEP 1. 測定の準備




「リア･パネルへの接続」（27 ページ）、「テスト･ヘッドの接続」（28 ページ）に従って、マウス、キーボード、テスト･ヘッドを E4991A に接続します。テスト･ヘッドを接続する際は、決して E4991A の底面にある 4つの脚を取り外さないでください。


電源投入






4 109

誘電体測定の基本操作STEP 2. 測定モードの選択

STEP 2. 測定モードの選択E4991A の初期状態から、測定モードを誘電体測定モードに設定します。

手順 1. Systemメニューから Presetをクリックし、初期状態に戻します。

手順 2. Utilityメニューから Utility...をクリックします。

手順 3. Material Option Menuボタンをクリックします。

手順 4. Material Typeボックスから、Permittivityを選択します。

注記 E4991A の測定モードを誘電体測定モードに選択すると、使用するテスト･フィクスチャが自動的に 16453A に選択されます。

110 4

誘電体測定の基本操作STEP 3. 測定条件の設定


STEP 3. 測定条件の設定測定を行う前に、測定項目に応じて測定パラメータと掃引条件を設定する必要があります。この節では、次の項目を測定する場合の設定手順について説明します。


測定条件を E4991A の初期状態から、表 4- 2 のセットアップ例に設定します。

測定パラメータ、軸フォーマットのセットアップ

手順 1. Displayメニューから Display...をクリックします。

手順 2. Num Of Tracesボックスから 3 Scalarを選択します。

手順 3. Meas/FormatメニューからMeas/Format...をクリックします。

手順 4. トレース 1をアクティブ･トレース (* マーク )に指定し、Meas Parameterボックスから εr' を選択します。

手順 5. Formatボックスから Lin Y-Axisを選択します。

手順 6. トレース 2をアクティブ･トレース (* マーク )に指定し、Meas Parameterボックスから εr" を選択します。





Trace 1

Trace 2

Trace 3 tanδ tanδ

軸フォーマット






信号源モード Voltage Voltage

信号源レベル 100 mV 100 mV


εr' εr''

εr' εr'

εr'' εr''

4 111

誘電体測定の基本操作STEP 3. 測定条件の設定

手順 8. トレース 3をアクティブ･トレース (* マーク )に指定し、Meas Parameterボックスから tanδ (ε)を選択します。



手順 1. Stimulusメニューから Sweep Setup...をクリックします。

手順 2. Number Of Pointsボックスの中で、希望の測定点数を入力します。例えば、測定点数を 301 とする場合、キーボードから [3] [0] [1] [Enter]をタイプします。

手順 3. Sweep Parameterボックスから Frequencyを選択します。

手順 4. Sweep Typeボックスから Logを選択します。


手順 1. Stimulusメニューから Source...をクリックします。

手順 2. Osc Unitボックスから Voltageを選択します。

手順 3. Osc Levelボックスの中で、信号源レベルを入力します。例えば、信号源レベルを 100 mV とする場合、キーボードから [1] [0] [0] [m] [Enter]をタイプします。


手順 1. Stimulusメニューから Start/Stop...をクリックします。

手順 2. Startボックスの中で、スタート周波数を入力します。例えば、スタート周波数を1 MHz とする場合、キーボードから [1] [M] [Enter]をタイプします。

手順 3. Stopボックスの中で、ストップ周波数を入力します。例えば、ストップ周波数を1 GHz とする場合、キーボードから [1] [G] [Enter]をクリックします。

112 4

誘電体測定の基本操作STEP 4. 16453A の接続


STEP 4. 16453A の接続以下の手順に従って、テスト･ヘッドの 7 mm 端子に 16453A テスト･フィクスチャを接続してください。

手順 1. 図 3- 42（71 ページ）に示すように、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子のコネクタ･ナットを上方から見て反時計方向に回し、コネクタ･スリーブを完全に内部に引き込みます。

手順 2. フィクスチャ･ホルダーの 2つの取り付けねじを使って、テスト･フィクスチャ本体にフィクスチャ･ホルダーを取り付けます (図 4- 4: 2)。

手順 3. テスト･フィクスチャの 7 mm コネクタを、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子に接続します (図 4- 4: 3)。

手順 4. フィクスチャ･ホルダーの 2つの取り付けねじを使って、テスト･ヘッドにテスト･フィクスチャを固定します (図 4- 4: 4)。

図 4- 4 16453A の接続

4 113

誘電体測定の基本操作STEP 5. ロード･スタンダードの厚さ入力

STEP 5. ロード･スタンダードの厚さ入力16453A 付属のロード･スタンダード (PTFE) の厚さを E4991A に入力します。ロード･スタンダードの厚さは、ケースに書かれています。ユーザ定義の誘電体測定用ロード･スタンダードを使用する場合もその厚さを入力します。

注記ケースに書かれているロード･スタンダードの厚さは参考値です。より正確な厚さを入力する場合は、マイクロ･メータやノギスで測定してください。

手順 1. Stimulusメニューから Cal/Comp...をクリックします。

手順 2. Cal Kit Menuボタンをクリックします。

手順 3. Thicknessボックスの中で、ロード･スタンダードの厚さを入力します。例えば、ロード･スタンダードの厚さが 0.75 mm の場合、キーボードから [0] [.] [7] [5] [m]

[Enter]をタイプします。

注記なお、16453A 付属のロード･スタンダードは、比誘電率 2.1 の PTFE でできています。したがって、E4991A の初期設定状態では、Cal Kit ツールバー内の εr Real

ボックスの値が 2.1000、εr Lossボックスの値が 0.0000 に設定されています。ユーザ定義のロード･スタンダードを使用する場合など、その値を変更する場合は、それぞれの値を入力してください。校正キットについては、取扱説明書の第4章「校正と補正」をご覧ください。

114 4

誘電体測定の基本操作STEP 6. 校正


STEP 6. 校正図 4- 5 に示すように、16453A テスト･フィクスチャの試料接続面を校正基準面にして、校正を行います。テスト･フィクスチャの試料接続面で校正を行うことで、電気長による誤差およびテスト･フィクスチャの残留分による誤差を取り除き、誤差補正を行うことができます。したがって、インピーダンス測定とは異なり、電気長補正やフィクスチャ補正は不要になります (表 4- 3)。

図 4- 5 16453A テスト･フィクスチャの誤差モデル

以下の手順に従って、校正を行います。

手順 1. Stimulusメニューから Cal/Compen...をクリックします。

手順 2. Fixture Typeボックスで、テスト･フィクスチャが 16453に設定されていることを確認します。そうでない場合、測定モードを誘電体測定モードに設定します。

手順 3. Cal Menuボタンをクリックします。

手順 4. Cal Typeボックスから、希望の校正データ測定点を選択します。校正データ測定点は、表 3- 7「校正 /フィクスチャ補正データ測定点の種類」（61 ページ）および表 3- 8「Cal Type ボックスと校正 /フィクスチャ補正データ測定点の対応表」（62 ページ）を参照してください。

表 4- 3 インピーダンス測定と誘電体測定の校正･フィクスチャ補正の違い

項目インピーダンス測定誘電体測定

校正基準面 7 mm 端子 (通常 ) 試料接続面

電気長補正要不要

フィクスチャ補正要不要

4 115


手順 5. 図 4- 6 に示すように、テスト･フィクスチャの試料接続面をショート状態にします。

図 4- 6 ショート状態 (16453A)

手順 6. Meas Shortボタンをクリックし、ショート校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示されます。

注記校正データの測定中には、画面下のステータス･バーの左端に「Wait--Measuring Cal Standard」というメッセージが表示されます。

116 4



手順 7. 図 4- 7 に示すように、テスト･フィクスチャの試料接続面をオープン状態にします。

図 4- 7 オープン状態 (16453A)

手順 8. Meas Openボタンをクリックし、オープン校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Openボタンの左に √マークが表示されます。

4 117


手順 9. 図 4- 8 に示すように、16453A テスト･フィクスチャ付属のロード･スタンダードをテスト･フィクスチャの電極に挟み込んで接続します。

図 4- 8 ロード･スタンダードの接続 (16453A)

注記ロード･スタンダードや試料を接続する際は、テスト･フィクスチャの電極以外の導体部分に接触しないように注意してください。また、ロード･スタンダードや試料を上下の電極で挟んだ状態で動かすなどして、上部電極に横方向の力を加えないように注意してください。

手順 10. Meas Loadボタンをクリックし、ロード校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Loadボタンの左に √マークが表示されます。

118 4



手順 11. Doneボタンをクリックし、すべての校正データをもとに、E4991A 内部で校正係数を計算させます。

手順 12. Cal Menuボタンの下の表示、画面下のステータス･バーの表示が、校正データ測定点 (Cal Typeボックス )に対応してそれぞれ次のようになります。

表 4- 4 校正終了時のステータス表示

Cal TypeボックスCal Menuボタンの下の表示画面下のステータス･バー

校正前校正後校正前校正後

User Freq&Pwr [ Uncal ] → [ User ] Uncal → Cal User

Fixed, Freq&Pwr [ Uncal ] → [ Fix ] Uncal → Cal Fix

FixedFreq,UserPwr [ Uncal ] → [ FixR ] Uncal → Cal FixR

4 119

誘電体測定の基本操作STEP 7. 試料の厚さ入力

STEP 7. 試料の厚さ入力試料を測定する前に、試料の厚さを入力する必要があります。試料の厚さは、マイクロ･メータやノギスを使って測定してください。

注記 16453A テスト･フィクスチャでは、使用できる試料の厚さや径に制限があります(表 4- 1（108 ページ）参照 )。



手順 3. Thicknessボックスの中で、試料の厚さを入力します。例えば、厚さが 1 mm の場合、キーボードから [1] [m] [Enter]をタイプします。

120 4

誘電体測定の基本操作STEP 8. 試料の接続


STEP 8. 試料の接続ロード･スタンダードの接続と同様に (図 4- 8)、試料を 16453A テスト･フィクスチャの上下の電極で挟み込んでします。

注記ロード･スタンダードや試料を接続する際は、テスト･フィクスチャの電極以外の導体部分に接触しないように注意してください。また、ロード･スタンダードや試料を上下の電極で挟んだ状態で動かすなどして、上部電極に横方向の力を加えないように注意してください。

注記 16453A の上下電極の圧力を弱めた場合、試料と電極の間の隙間による測定誤差を生じる場合があります。試料が変形しない程度に、圧力を最大にすることを推奨します。また、再現性の問題から、ロード･スタンダードと試料を接続する際は、同じ圧力で接続してください。

4 121

誘電体測定の基本操作STEP 9. 試料の測定とその解析

STEP 9. 試料の測定とその解析校正を行った後で、試料をテスト･フィクスチャに接続すると、測定結果が画面に表示されます。第 3章「RF デバイス測定の基本操作」の「STEP 8. 試料の測定とその解析」（83 ページ）を参照しながら、マーカ機能などを使って測定結果を解析します。

「STEP 3. 測定条件の設定」（111 ページ）の設定例に基づいて、各パラメータに対して自動スケールを実行することで、以下のような測定結果が得られます。

図 4- 9 - -tanδの周波数特性εr' εr''

122 4

誘電体測定の基本操作STEP 10. 掃引条件の変更


STEP 10. 掃引条件の変更掃引条件 (横軸に対する設定値 )を変更する場合は、校正データ測定点の設定によって決まります。詳しくは、表 3- 7（61 ページ）の概要をご覧ください。データ測定点がユーザ定義周波数点 /ユーザ定義パワー点の場合、掃引条件を変更した後、「STEP 6. 校正」（115 ページ）から測定を行ってください。データ測定点が固定周波数点 /固定パワー点の場合、掃引条件を変更した後、「STEP 9. 試料の測定とその解析」（122 ページ）から測定を行ってください。

注記校正データ測定点が、固定周波数点 /ユーザ定義パワー点 (Fixed, User Pwr) の場合、信号源レベルの設定を変更した後は「STEP 6. 校正」（115 ページ）から、一方それ以外の掃引条件を変更した後は「STEP 9. 試料の測定とその解析」（122ページ）から測定を行ってください。

STEP 11. 他の試料の測定測定する試料の厚さが同じ場合は、「STEP 8. 試料の接続」（121 ページ）から測定を行ってください。また、測定する試料の厚さが異なる場合は、「STEP 7. 試料の厚さ入力」（120 ページ）から測定を行ってください。

4 123

誘電体測定の基本操作STEP 11. 他の試料の測定

124 4

5. 磁性体測定の基本

第 5章磁性体測定の基本操作

この章では、Agilent E4991A RF インピーダンス /マテリアル･アナライザを使った磁性体測定の基本的な操作方法を説明します。ただし、E4991A にオプション002( 材料測定ソフトウェア )がインストールされている必要があります。

125

操作

磁性体測定の基本操作

本章の内容


本章で実行する特性評価と磁性体測定の測定手順を理解します。



o STEP 2. 測定モードの選択（130 ページ）

E4991A の測定モードを磁性体測定モードに設定します。




OPEN/SHORT/LOAD(/LOW-LOSS CAPACITOR) 校正を実行します。

o STEP 5. 16454A の接続（135 ページ）

16453A テスト･フィクスチャをテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します。

o STEP 6. フィクスチャ補正（137 ページ）

ショート補正を実行します。16454A テスト･フィクスチャのショート補正の方法を示します。

o STEP 7. 試料のサイズ入力（138 ページ）

試料 (誘電材料 )のサイズを入力します。

o STEP 8. 試料のセット（139 ページ）

試料 (磁性材料 )を 16454A テスト･フィクスチャに挿入します。







126 5

磁性体測定の基本操作測定の概要


測定の概要オプション 002 が E4991A にインストールされている場合、磁性体測定が可能になります。この章では、次の特性評価をもとに、マウスとキーボードを使用する場合の基本操作手順を説明します。


測定の流れ

磁性体測定の基本的な測定手順を図 5- 1 のフロー･チャートに示します。

図 5- 1 磁性体測定の基本的な操作手順

μr′ μr″

5 127

操作

磁性体測定の基本操作STEP 1. 測定の準備


テスト･フィクスチャと試料の選択

E4991A では、磁性材料の測定用テスト･フィクスチャとして、16454A 磁性材料測定電極テスト･フィクスチャが利用できます。図 5- 2 のように、測定可能な試料の形状は、ドーナツ形のトロイダルコア (フェライト磁石など )になります。

図 5- 2 磁性材料の形状

用意するもの

磁性体測定では、以下のものが必要です。

表 5- 1 16454A テスト･フィクスチャの特長

周波数範囲最大 DC バイアス電流値誘電材料のサイズ

1 M ～ 1 GHz ± 50 mA b ≥ φ 3.1 mm c ≤ φ 20.0 mm h ≤ 8.5 mm

128 5

磁性体測定の基本操作STEP 1. 測定の準備




「リア･パネルへの接続」（27 ページ）、「テスト･ヘッドの接続」（28 ページ）に従って、マウス、キーボード、テスト･ヘッドを E4991A に接続します。テスト･ヘッドを接続する際は、決して E4991A の底面にある 4つの脚を取り外さないでください。


注記はじめに、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子において校正を行いますので、ここではテスト･フィクスチャをテスト･ヘッドに取り付けないでください。

電源投入






5 129

操作

磁性体測定の基本操作STEP 2. 測定モードの選択

STEP 2. 測定モードの選択E4991A の初期状態から、測定モードを磁性体測定モードに設定します。

手順 1. Systemメニューから Presetをクリックし、初期状態に戻します。



手順 4. Material Typeボックスから、Permeabilityを選択します。

130 5

磁性体測定の基本操作STEP 3. 測定条件の設定


STEP 3. 測定条件の設定測定を行う前に、測定項目に応じて測定パラメータと掃引条件を設定する必要があります。この節では、次の項目を測定する場合の設定手順について説明します。


測定条件を E4991A の初期状態から、表 5- 2 のセットアップ例に設定します。

測定パラメータ、軸フォーマットのセットアップ

手順 1. Displayメニューから Display...をクリックします。

手順 2. Num Of Tracesボックスから 3 Scalarを選択します。

手順 3. Meas/FormatメニューからMeas/Format...をクリックします。

手順 4. トレース 1をアクティブ･トレース (* マーク )に指定し、Meas Parameterボックスから μr' を選択します。


手順 6. トレース 2をアクティブ･トレース (* マーク )に指定し、Meas Parameterボックスから μr" を選択します。





Trace 1

Trace 2

Trace 3 tanδ tanδ

軸フォーマット







信号源レベル 2 mA 100 mV (2 mA)


μr′ μr″

μr′ μr′

μr″ μr″

5 131

操作

磁性体測定の基本操作STEP 3. 測定条件の設定

手順 8. トレース 3をアクティブ･トレース (* マーク )に指定し、Meas Parameterボックスから tanδ (μ)を選択します。



手順 1. Stimulusメニューから Sweep Setup...をクリックします。

手順 2. Number Of Pointsボックスの中で、希望の測定点数を入力します。例えば、測定点数を 300 とする場合、キーボードから [3] [0] [0] [Enter]をタイプします。

手順 3. Sweep Parameterボックスから Frequencyを選択します。

手順 4. Sweep Typeボックスから Logを選択します。


手順 1. Stimulusメニューから Source...をクリックします。

手順 2. Osc Unitボックスから Currentを選択します。

手順 3. Osc Levelボックスの中で、信号源レベルを入力します。例えば、信号源レベルを 2 mA とする場合、キーボードから [2] [m] [Enter]をタイプします。


手順 1. Stimulusメニューから Start/Stop...をクリックします。

手順 2. Startボックスの中で、スタート周波数を入力します。例えば、スタート周波数を1 MHz とする場合、キーボードから [1] [M] [Enter]をタイプします。

手順 3. Stopボックスの中で、ストップ周波数を入力します。例えば、ストップ周波数を1 GHz とする場合、キーボードから [1] [G] [Enter]をタイプします。

132 5

磁性体測定の基本操作STEP 4. 校正


STEP 4. 校正図 5- 4 に示すように、テスト･ヘッドの 7 mm 端子を校正基準面にして、校正を行います。7 mm 端子で校正を行うことで、E4991A の測定確度が定義されます。また、校正後に行うフィクスチャ補正は、インピーダンス測定とは異なり、ショート補正のみになります (表 5- 3)。

図 5- 4 16454A テスト･フィクスチャの誤差モデル

手順 1. Stimulusメニューから Cal/Comp...をクリックします。

手順 2. Cal Menuボタンをクリックします。

手順 3. Cal Typeボックスから、希望の校正 /フィクスチャ補正データ測定点を選択します。データ測定点は、表 3- 7「校正 /フィクスチャ補正データ測定点の種類」（61ページ）および表 3- 8「Cal Type ボックスと校正 /フィクスチャ補正データ測定点の対応表」（62 ページ）を参照してください。

手順 4. 0 S(OPEN) スタンダードをテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します (図 3- 31（63ページ）参照 )。

手順 5. Meas Openボタンをクリックし、オープン校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Openボタンの左に √マークが表示されます。

注記校正データの測定中には、画面下のステータス･バーの左端に「Wait--Measuring Cal Standard」というメッセージが表示されます。

表 5- 3 インピーダンス測定と磁性体測定の校正･フィクスチャ補正の違い

項目インピーダンス測定磁性体測定

校正基準面 7 mm 端子 (通常 ) 7 mm 端子

電気長補正要不要

フィクスチャ補正オープン /ショート補正ショート補正のみ

5 133

操作

磁性体測定の基本操作STEP 4. 校正

手順 6. 0 Ω(SHORT) スタンダードをテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します (図 3- 33（64 ページ）)。

手順 7. Meas Shortボタンをクリックし、ショート校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示されます。

手順 8. 50 Ω(LOAD) スタンダードをテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します (図 3- 36（65 ページ）)。

手順 9. Meas Loadボタンをクリックし、ロード校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Loadボタンの左に √マークが表示されます。

手順 10. 低損失コンデンサ校正データの測定を必要に応じて行います。低損失コンデンサ(LOW-LOSS CAPACITOR) をテスト･ヘッドの 7 mm 端子に接続します (図 3- 38（66ページ）)。次に、Meas Low Loss Cボタンをクリックし、低損失コンデンサ校正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Low Loss Cボタンの左に√マークが表示されます。

注記損失の少ない磁性材料に対して磁性体測定を行う場合は、低損失コンデンサ校正データの測定を行ってください。低損失コンデンサ校正を行うことで、高周波での高い Q測定が高確度で可能になります。

手順 11. Doneボタンをクリックして、すべての校正データをもとに E4991A 内部で校正係数を計算させます。

手順 12. 校正終了後、Cal Menuボタンの下の表示、画面下のステータス･バーの表示が、校正 /フィクスチャ補正データ測定点 (Cal Typeボックス )に対応して表 4- 4（119 ページ）のようになります。

134 5

磁性体測定の基本操作STEP 5. 16454A の接続


STEP 5. 16454A の接続16454A テスト･フィクスチャには、大小 2つのテスト･フィクスチャと 4つの試料ホルダーがあります。最初に、試料のサイズに合う試料ホルダー (表 5- 4、図5- 5 の A,B,C,D) を選択します。その結果、図 5- 5 に示すように、使用するテスト･フィクスチャが、16454A( 小 ) または 16454A( 大 ) のいずれかに決まります。

図 5- 5 試料ホルダーのサイズ

最後に、選択したテスト･フィクスチャを以下の手順に従って、テスト･ヘッドの7 mm 端子に接続します。

手順 1. 図 3- 42（71 ページ）に示すように、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子のコネクタ･ナットを上方から見て反時計方向に回し、コネクタ･スリーブを完全に内部に引き込みます。

手順 2. フィクスチャ･ホルダーの 2つの取り付けねじを使って、テスト･フィクスチャ本体にフィクスチャ･ホルダーを取り付けます (図 5- 6: 2)。

手順 3. フィクスチャ･ホルダーの 2つの取り付けねじを使って、テスト･ヘッドにテスト･フィクスチャを固定します (図 5- 6: 3)。

手順 4. テスト･フィクスチャの 7 mm コネクタを、テスト･ヘッド上の 7 mm 端子に接続します (図 5- 6: 4)。

表 5- 4 試料のサイズとテスト･フィクスチャの関係

テスト･フィクスチャ 16454A( 小 ) 16454A( 大 )

試料ホルダー A B C D

試料の内径 (mm):b ≥ φ 3.1 mm ≥ φ 3.1 mm ≥ φ 6.0 mm ≥ φ 5.0 mm

試料の外径 (mm):c ≤ φ 8.0 mm ≤ φ 6.0 mm ≤ φ 20.0 mm ≤ φ 20.0 mm

試料の高さ (mm):h ≤ 3.0 mm ≤ 3.0 mm ≤ 8.5 mm ≤ 8.5 mm

5 135

操作

磁性体測定の基本操作STEP 5. 16454A の接続

図 5- 6 16454A の接続


手順 6. Fixture Typeボックスから 16454A( 小 ) または 16454A( 大 ) を選択します。

注記 E4991A の測定モードを磁性体測定モードに選択すると、使用できるテスト･フィクスチャは 16454A( 小 ) または 16454A( 大 ) のどちらかになります。

表 5- 5 Fixture Type ボックスと使用するテスト･フィクスチャの対応表

Fixture Typeボックス使用するテスト･フィクスチャ

16454(S) 16454A( 小 )

16454(L) 16454A( 大 )

136 5

磁性体測定の基本操作STEP 6. フィクスチャ補正


STEP 6. フィクスチャ補正16454A テスト･フィクスチャのフィクスチャ補正では、ショート補正のみを行ってテスト･フィクスチャの残留インピーダンスを補正します。テスト･フィクスチャの浮遊アドミタンスによる誤差は無視できるほど影響が少ないため、オープン補正は行いません。


手順 2. Fixture Compen Menuボタンをクリックします。

手順 3. 図 5- 7 に示すように、テスト･フィクスチャの試料接続面をショート状態にします。

図 5- 7 ショート状態 (16454A)

手順 4. Meas Shortボタンをクリックし、ショート補正データの測定を開始します。測定が終了すると、Meas Shortボタンの左に √マークが表示されます。

手順 5. Doneボタンをクリックして、ショート補正データをもとに、E4991A 内部でフィクスチャ補正係数を計算させます。

5 137

操作

磁性体測定の基本操作STEP 7. 試料のサイズ入力

手順 6. フィクスチャ補正終了後、Comp Menuボタンの下の表示が [ON]に、画面下のステータス･バーの表示が "Comp OFF" → "Comp ON" になります。

STEP 7. 試料のサイズ入力試料を測定する前に、試料のサイズを入力する必要があります。マイクロ･メータやノギスを使って、試料の外径 (図 5- 2（128 ページ）の c)、内径 (図 5- 2（128 ページ）の b)、高さ (図 5- 2（128 ページ）の h) を測定してください。

注記 16454A テスト･フィクスチャでは、使用できる試料の外径、内径、高さに制限があります (表 5- 1（128 ページ）参照 )。



手順 3. Heightボックスの中で、試料の高さ (図 5- 2 の h) を入力します。例えば、高さが 3 mm の場合、キーボードから [3] [m] [Enter]をタイプします。

手順 4. Inner Diameterボックスの中で、試料の内径 (図 5- 2 の b) を入力します。例えば、内径が 4.5 mm の場合、キーボードから [4] [.] [5] [m] [Enter]をタイプします。

手順 5. Outer Diameterボックスの中で、試料の外径 (図 5- 2 の c) を入力します。例えば、外径が 7 mm の場合、キーボードから [7] [m] [Enter]をタイプします。

注記使用するテスト･フィクスチャとして 16454A( 小 ) が選択されている場合、試料のサイズを入力する際の限界値がありますので、ご注意ください。

138 5

磁性体測定の基本操作STEP 8. 試料のセット


STEP 8. 試料のセット図 5- 8 に示すように、試料 (磁性材料 )を 16454A テスト･フィクスチャの内部に挿入します。

図 5- 8 試料 (磁性材料 )のセット

5 139

操作

磁性体測定の基本操作STEP 9. 試料の測定とその解析

STEP 9. 試料の測定とその解析校正、フィクスチャ補正を行った後で、試料をテスト･フィクスチャにセットすると、測定結果が画面に表示されます。第 3章「RF デバイス測定の基本操作」の「STEP 8. 試料の測定とその解析」（83 ページ）を参照しながら、マーカ機能などを使って測定結果を解析します。

「STEP 3. 測定条件の設定」（131 ページ）の設定例に基づいて、各パラメータに対して自動スケールを実行することで、以下のような測定結果が得られます。

図 5- 9 - -tanδの周波数特性μr′ μr″

140 5

磁性体測定の基本操作STEP 10. 掃引条件の変更


STEP 10. 掃引条件の変更掃引条件 (横軸に対する設定値 )を変更する場合は、校正 /フィクスチャ補正データ測定点の設定によって決まります。詳しくは、表 3- 7（61 ページ）の概要をご覧ください。データ測定点がユーザ定義周波数点 /ユーザ定義パワー点の場合、掃引条件を変更した後、「STEP 4. 校正」（133 ページ）から測定を行ってください。データ測定点が固定周波数点 /固定パワー点の場合、掃引条件を変更した後、「STEP 9. 試料の測定とその解析」（140 ページ）から測定を行ってください。

注記校正 /フィクスチャ補正データ測定点が、固定周波数点 /ユーザ定義パワー点の場合、信号源レベルの設定を変更した後は「STEP 4. 校正」（133 ページ）から、一方それ以外の掃引条件を変更した後は「STEP 9. 試料の測定とその解析」（140ページ）から測定を行ってください。

STEP 11. 他の試料の測定測定する試料のサイズが同じ場合は、「STEP 8. 試料のセット」（139 ページ）から測定を行ってください。また、測定する試料のサイズが異なる場合で、同じテスト･フィクスチャを使用すれば「STEP 7. 試料のサイズ入力」（138 ページ）から、一方異なるテスト･フィクスチャを使用すれば「STEP 5. 16454A の接続」（135 ページ）から測定を行ってください。

5 141

操作

磁性体測定の基本操作STEP 11. 他の試料の測定

142 5

A. マ

ニュアル・チェンジ

付録 A マニュアル・チェンジ

本付録には、本書の印刷日付より前に製造された Agilent E4991A に対して、本書の内容を適合させるための変更情報が掲載されています。本書の印刷日付より前に製造された E4991A をお持ちの方は、必ずこの付録を確認してください。

143

マニュアル・チェンジマニュアル・チェンジ

マニュアル・チェンジ

表 A- 1、表 A- 2 を参照し、お手元の E4991A のシリアル番号、ファームウェアのバージョンに対応する表中の変更情報に従って、本書を変更してください。

シリアル番号は、E4991A のリア・パネルのシリアル番号プレート (図 A- 1 参照 )に刻印されています。

図 A- 1 シリアル番号プレート

表 A- 1 シリアル番号と変更点

シリアル番号プレフィックス変更点

（このマニュアル印刷時点で変更はありません）

表 A- 2 ファームウェア・バージョンと変更点

ファームウェア・バージョン変更点

（このマニュアル印刷時点で変更はありません）

144 A


A. マ

ニュアル・チェンジ

その他の変更

2003 年 5 月より E4991A のオプション体系が変更となります。以下のように変更して下さい。

新オプション番号旧オプション番号備考

800（標準周波数基準、DC バイアスなし）標準 *1

右に同じ 1D5（高安定周波数基準）

810（キーボード）－ *2

－ 1A2（キーボード削除）

820（マウス）－ *3

－ 1CS（マウス削除）

－ 001（DC バイアス機能追加）

－ 002（材料測定ファームウェア追加）

右に同じ 007（耐熱測定用テストキット）

右に同じ 010（プローブ・ステーション接続キット）

右に同じ 1CN（ハンドル・キット）

右に同じ 1CM（ラックマウント・キット）

右に同じ 1CP （ラックマウント＆ハンドル・キット）

ABA（英文取扱説明書セット添付）－ *4

－ ABA（英文取扱説明書セット選択）

ABJ（和文取扱説明書セット添付）－ *4

－ ABJ（和文取扱説明書セット選択）

右に同じ 0BW（サービス・マニュアル追加）

－ 0B1（取扱説明書セット削除） *5

－ 0B0（取扱説明書セット追加）

*1. 旧オプションでは、高安定周波数基準のみオプション指定をしていましたが、新オプションでは、高安定もしくは標準のいずれかをオプションとして指定するように変更されました。

*2. 旧オプションでは、キーボードが標準付属品でしたが、新オプションでは、オプション 810 を選択した場合にのみ、キーボードが付属します。

*3.旧オプションでは、マウスが標準付属品でしたが、新オプションでは、オプション 820 を選択した場合にのみ、マウスが付属します。

*4.旧オプションでは取扱説明書セット（標準付属品）の言語の選択に使用されていましたが、新オプションでは、希望する言語の取扱説明書セット（オプション）を添付するために使用されます。

*5.新オプションでは、取扱説明書セットが別売りオプションのため、追加 /削除の選択はありません。取り扱いセットが２セット以上必要な場合は、オプション ABA,ABJ ＊（必要なセット数）を指定して下さい。

A 145


146 A

索引索引

Symbols, 84

Numerics16197Aオープン補正の方法 , 74ショート補正の方法 , 76接続方法 , 7116453A16453A の特長 , 108オープン補正の方法 , 117誤差モデル , 115ショート補正の方法 , 116接続方法 , 113ロード補正の方法 , 11816454A16454A の特長 , 128誤差モデル , 133ショート補正の方法 , 137接続方法 , 1353 パラメータ3パラメータを表示する , 497 mm 端子テストヘッド , 28

AAbort Cal Meas ボタン , 64Autoscale Allすべてのトレースにオート･スケールを実行する , 84

BBNC ケーブルの接続 , 27

CCalibrationインピーダンス測定における校正 , 61磁性体測定における校正 , 133誘電体測定における校正 , 115Calibration Type ボックス校正データ取得点 , 61Compensationインピーダンス測定におけるフィクスチャ補正 , 74磁性体測定におけるフィクスチャ補正 , 137

DDC バイアス , 59DC バイアスを ON にする , 83DUTDUT の種類 /サイズとテスト･フィクスチャ , 37

EE4991A の概要 , 14Equivalent Circuit

等価回路解析を実行する , 97

FFixed, Full Range, 62Fixed, User Pwr, 62Format ボックス表示フォーマットのセットアップ , 48f 特性周波数特性をシミュレートする , 98

HHeight ボックス磁性体測定用試料のサイズ入力 , 138

IIEC60825-1, 3IEC61010-1, 3Inner Diameter ボックス磁性体測定用試料のサイズ入力 , 138Installation and Quick Start Guide, 6

MMore ボタン (Display-Display...)メニュー別機能一覧表 , 11

NNetwork Identification WizardWindows 2000 の初期登録 , 34NOP測定点数のセットアップ , 503 パラメータを表示する , 49Num Of Traces ボックス , 49

OOpen ボタンCal ツールバー , 133, 134Operation Manual, 6Option 007, 21Option 010, 21Option 810, 18Option 820, 18Option ABJ, 18Outer Diameter ボックス磁性体測定用試料のサイズ入力 , 138

PProgramming Manual, 6

QQuick Start Guide, 6

索引 147

索引

SSoftkey Offセットアップ･ツールバーの表示を消す , 84

TThickness ボックス誘電体測定用試料の厚さ入力 , 120Trace メニューアクティブ･トレースを指定する , 48

UUser Freq&Pwr, 62

WWindowsWindows 2000 の初期登録 , 34

あアクティブ･トレースアクティブ･トレースに指定する , 48厚さ誘電体測定用試料の厚さ入力 , 120誘電体測定用ロード･スタンダードの厚さ入力 , 114アベレージングスイープ･アベレージングの概念 , 88スイープ･アベレージングの設定 , 90ポイント･アベレージングの概念 , 88ポイント･アベレージングの設定 , 89

いイタリック本書の書体の決まり , 5印刷履歴 , 2インスタレーション /クイック･スタート･ガイド , 6インピーダンス測定|Z|-Ls-Q の周波数特性 , 46|Z|-R-X の周波数特性 , 54Ls-Q の DC バイアス (電流 )特性 , 59Ls-Q の信号源レベル (電流 )特性 , 56測定の流れ , 41

うウィンドウ5つのウィンドウを表示する , 102

おオート･スケール自動スケールを実行する , 84オプション 007付属品 , 21オプション 010付属品 , 21オプション 810

付属品 , 18オプション 820付属品 , 18オプション ABJ付属品 , 18

か開梱時の検査 , 17解析試料の測定とその解析 , 83

きキーボード接続方法 , 27

くクイック･スタート･ガイド , 6空間電源供給の切断のための空間 , 26放熱空間 , 26クリーニング本器のクリーニング方法 , 38

こ校正インピーダンス測定と磁性体測定の校正の違い , 133インピーダンス測定と誘電体測定の校正の違い , 115インピーダンス測定における校正 , 61インピーダンス測定の校正基準面 , 61校正終了時におけるステータス表示 , 119校正データ取得点の種類 , 61校正データ測定を中止する , 64校正データを復元する , 67校正データを無効にする , 67磁性体測定における校正 , 133磁性体測定における校正基準面 , 133磁性体測定の校正基準面 , 133誘電体測定における校正 , 115誘電体測定の校正基準面 , 115梱包内容 , 17

さ材料磁性材料の形状 , 128誘電材料の形状 , 108

し治具16197A を用いた接続例 , 7116453A のオープン補正の方法 , 11716453A の誤差モデル , 11516453A のショート補正の方法 , 11616453A の特長 , 10816453A のロード補正の方法 , 118

148 索引

索引索引

16453A を用いた接続例 , 11316454A の誤差モデル , 13316454A のショート補正の方法 , 13716454A の特長 , 12816454A を用いた接続例 , 135テスト･フィクスチャ一覧 , 37磁性体測定磁性体測定モードの選択 , 130測定の流れ , 127自動スケール自動スケールを実行する , 84シミュレーション周波数特性をシミュレートする , 98シャットダウン電源のシャットダウン , 31周波数特性周波数特性をシミュレートする , 98準備インピーダンス測定の準備 , 43磁性体測定の準備 , 128誘電体測定の準備 , 108使用上の安全について , 3初期登録Windows 2000 の初期登録 , 34書体本書の書体の決まり , 5シリアル番号プレート , 144試料磁性材料の形状 , 128磁性体測定用試料のサイズ入力 , 138試料 (インダクタ )の接続 , 82試料 (磁性材料 )のセット , 139試料 (誘電材料 )の接続 , 121試料の種類 /サイズとテスト･フィクスチャ , 37誘電材料の形状 , 108誘電体測定用試料の厚さ入力 , 120信号源モード信号源モードのセットアップ , 50信号源レベル信号源レベルのセットアップ , 51シンボル本書中の安全上のシンボル , 4

すズームトレースを拡大する , 99スケール自動スケールを実行する , 84スケールを調整する , 87ステータス校正終了時におけるステータス表示 , 119スミス･チャートスミス･チャートを表示する , 100

せ製品概要 , 14

設置環境 , 25

そ掃引条件測定条件の設定 , 45掃引タイプ掃引タイプのセットアップ , 50掃引パラメータ掃引パラメータのセットアップ , 50掃引範囲掃引範囲のセットアップ , 51測定試料の測定とその解析 , 83測定値の読取り , 91マーカによる最大値の検出 , 93測定パラメータ測定条件の設定 , 45磁性体測定 , 131誘電体測定 , 111測定条件設定の流れ , 45測定モード磁性体測定モードの選択 , 130誘電体測定モードの選択 , 110

た断路装置E4991A の断路装置 , 31

ち直流バイアス , 59DC バイアスを ON にする , 83

つツールバー本書の書体の決まり , 5

てテスト･フィクスチャ16197A を用いた接続例 , 7116453A のオープン補正の方法 , 11716453A の誤差モデル , 11516453A のショート補正の方法 , 11616453A の特長 , 10816453A のロード補正の方法 , 11816453A を用いた接続例 , 11316454A の誤差モデル , 13316454A のショート補正の方法 , 13716454A の特長 , 12816454A を用いた接続例 , 135テスト･フィクスチャ一覧 , 37テスト･ヘッド接続方法 , 28N 型コネクタ , 28

索引 149

索引

電気長テスト･フィクスチャ選択 , 72電気長を入力する , 72電源供給電源の確認 , 29電源供給の切断方法 , 31電源ケーブルの確認と接続 , 29電源ケーブル・オプション , 29電源ケーブル･レセプタクル , 29電源のオン・オフ , 31ヒューズ切れについて , 30

と等価回路等価回路解析を実行する , 97動作環境 , 25ドラッグ･アンド･ドロップ , 91取扱説明書 , 6トリガ連続トリガをかける , 84シングル･トリガをかける , 83トレース3つのスカラ･トレースを表示させる , 47アクティブ･トレースに指定する , 48各トレースを個別の画面で表示する , 100トレースをスムーズにする , 88

はハードキー本書の書体の決まり , 5バイアスDC バイアスを ON にする , 83

ひヒューズヒューズ切れ , 30本器のヒューズの規格 , 30表示3 つのスカラ･トレースを表示させる , 475 つのウィンドウを表示する , 102LCD 画面の各表示エリアの名称 , 42各トレースを個別の画面で表示する , 100すべてのマーカのクリア , 96スミス･チャートを表示する , 100セットアップ･ツールバーの表示を消す , 84トレースを拡大する , 99分割画面をもとに戻す , 100マーカ値をリスト表示する , 94マーカのクリア , 96表示フォーマット表示フォーマットのセットアップ , 48

ふフィクスチャテスト･フィクスチャ一覧 , 37

フィクスチャ補正インピーダンス測定におけるフィクスチャ補正 , 74磁性体測定におけるフィクスチャ補正 , 137ショート補正データの確認 , 79フィクスチャ補正終了時のステータス･バー , 78補正データ測定を中止する , 75付属品オプション 007, 21オプション 010, 21オプション 810, 18オプション 820, 18オプション ABJ, 18太字本書の書体の決まり , 5フランジラック搭載用フランジ , 24プリセットプリセットを実行する , 47プログラミング解説書 , 6ブロック本書の書体の決まり , 5フロント･ハンドル取り付け方法 , 23

ほボタン本書の書体の決まり , 5ボックス本書の書体の決まり , 5本書安全上のシンボル , 4書体の決まり , 5利用法 , 12

まマーカ各トレースのマーカを別々にコントロールする , 92最大値の検出 , 93すべてのマーカのクリア , 96測定値の読取り , 91測定点の測定値をマーカで読み取る , 92マーカ機能を使用する , 91マーカ値をリスト表示する , 94マーカのクリア , 96マウス接続方法 , 27マニュアル本器に関する他のマニュアルについて , 6マニュアル・チェンジ , 143

めメニュー本書の書体の決まり , 5

150 索引

索引索引

ゆ誘電体測定測定の流れ , 107誘電体測定モードの選択 , 110

らラックマウント･キット取り付け方法 , 24ラック･マウント /ハンドル･キット取り付け方法 , 24

りリア･パネルへの接続 , 27

ろロード･スタンダード誘電体測定用ロード･スタンダードの厚さ入力 , 114

索引 151

e4991a rfインピーダンス／マテリアル・アナライ...

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