Strumentazione e caratterizzazione dei materiali e dei dispositivi
Mauro Mosca
(www.dieet.unipa.it/tfl/people)
Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM)
A.A. 2015-16
Università di Palermo – Facoltà di Ingegneria (DEIM)
• L-I-V measurements set-up
• Misura resistenza di contatto
• Diffrattometro a raggi X
L-I-V measurements set-up
semiconductorparameteranalyzer
Resistenza di contatto
Resistività di contatto
Typical values:
Resistenza di contatto. Geometria laterale
Transmission Line Method (TLM)
Transmission Line Method (TLM)
Transmission Line Method (TLM)
Transmission Line Method (TLM)
Diffrazione a raggi X (XRD)
interazione tra fascio di elettroni e target metallico
(bremsstrahlung)
Diffrazione a raggi X (XRD)
Diffrazione a raggi X (XRD)
Diffrazione a raggi X (XRD):Legge di Bragg
Legge di Bragg
Diffrazione a raggi X (XRD): metodi
- Metodo di Laue ( costante, variabile)- Metodo delle polveri ( costante, variabile)
anche per filmpolicristallini
Diffrazione a raggi X (XRD):diffrattometro
(solidale con la fenditura)
Diffrazione a raggi X (XRD):diffrattometro alla Bragg-Brentano
Diffrazione a raggi X (XRD): -2 scan
Diffrazione a raggi X (XRD):texture e mosaicità (-scan)
Si fissa l’angolo 2 e si effettua una scansione in
Si può così conoscere la ripartizione dei piani angolaricosì osservati
orientazione preferenziale(o texture)
frazione volumetrica del cristalloche presenta orientazione non-random
rocking curve larga in caso di fortedisorientazione dei piani cristallini (bassa texture)
FWHMgrani ad orientazione parallela alsubstrato risultano disorientati l’uno rispetto all’altro
La mosaicità NON è rivelabile con la rocking curve!
Diffrazione a raggi X (XRD): -scan
-2-scan
-scan(rocking curve)
Diffrazione a raggi X (XRD):goniometro a 4 cerchi (-scan)
Diffrazione a raggi X (XRD): -scanFigura dei poli
Diffrazione a raggi X (XRD):legge di Scherrer: Deformazioni reticolari
legge di Scherrer
allargamento dovuto alla dimensione dei grani
cristalliti