![Page 1: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/1.jpg)
SEM EDS-WDS
![Page 2: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/2.jpg)
Elektron-Örnek Etkileşimi
![Page 3: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/3.jpg)
Elektron-Örnek Etkileşimi
Üretilen Sinyaller: • Geri saçılan elektronlar (BSE) Topografi Bileşim dağılımı
•İkincil Elektronlar Topografi
•Karakteristik X-ışınları Elemental analiz (Kimyasal analiz)
•Diğer sinyaller ..
![Page 4: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/4.jpg)
Karakteristik x-ışınları SEM’nde primer elektron katıdaki bir atomda bir iç kabuk elektronu ile çarpışıp, onu dışarı attıktan sonra uyarılmış duruma gelen atom temel seviye (başlangıç durumuna) dönerken ya bir karakteristik x-ışını ya da bir Auger elektronu yayar.
•İvmeli hareket eden elektron elektromanyetik dalga yayar.
![Page 5: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/5.jpg)
Karakteristik x-ışınları
•Neden her element farklı (karakteristik, kendine özgü) x-ışınları yayar?
![Page 6: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/6.jpg)
Karakteristik x-ışınları
Atom numarası (proton sayısı) değiştikçe atomun enerji düzeyleri de değişir. İki enerji düzeyi arasındaki fark, bu düzeyler arasında geçiş yapan elektronun yayacağı x-ışınının enerjisine eşittir.
•Neden her element farklı (karakteristik, kendine özgü) x-ışınları yayar?
![Page 7: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/7.jpg)
Karakteristik x-ışınları
![Page 8: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/8.jpg)
Karakteristik x-ışınları
Elektromanyetik dalgaların enerjisi ile dalgaboyu arasındaki bağıntı basitçe şöyledir.
λ (nm)=1239.8 / E (eV)
X-ışınlarını 2 yöntemler belirleyebiliyoruz.
• Enerjilerini ölçerek EDS analizi
• Dalgaboyunu ölçerek WDS analizi
![Page 9: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/9.jpg)
Terminoloji 1. Teknik: Enerjiye göre dağılım EDS, EDX ya da EDAX aynı tekniğin farklı adlarıdır. EDS: Energy Dispersive Spectroscopy Enerji Dağılım Spektroskopisi EDX: Energy-dispersive X-ray spectroscopy Enerji Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi
1. Teknik: Dalgaboyuna göre dağılım WDS = WDX aynı tekniğin farklı adlarıdır WDS: Wavelength Dispersive Spectroscopy Dalgaboyu Dağılım Spektroskopisi WDX: Wavelength dispersive X-ray spectroscopy Dalgaboyu Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi
![Page 10: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/10.jpg)
Terminoloji
Kimyasal analiz (Elemental analiz)
Örneğin bileşimindeki elementlerin belirlenmesidir.
3 tür kimyasal analiz yöntemi vardır
• Nokta analizi • Çizgi analizi • Alan analizi
Bu yöntemlerin üçü de hem EDS hem de WDS yöntemleriyle yapılabilir.
![Page 11: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/11.jpg)
SEM
![Page 12: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/12.jpg)
SEM
![Page 13: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/13.jpg)
EDS Energy Dispersive Spectroscopy
![Page 14: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/14.jpg)
EDS Analizi
Si(Li) dedektör
![Page 15: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/15.jpg)
EDS Dedektörü
Si(Li) dedektör
![Page 16: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/16.jpg)
EDS Nokta Analizi
![Page 17: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/17.jpg)
EDS Nokta Analizi
![Page 18: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/18.jpg)
EDS Çizgi Analizi (Doğrusal profil)
![Page 19: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/19.jpg)
EDS Çizgi Analizi (Doğrusal profil)
![Page 20: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/20.jpg)
EDS Alan Analizi (Haritası)
![Page 21: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/21.jpg)
EDS Haritası
![Page 22: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/22.jpg)
EDS Haritası
![Page 23: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/23.jpg)
EDS Haritası
![Page 24: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/24.jpg)
WDS Wavelength Dispersive Spectroscopy
![Page 25: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/25.jpg)
Bragg Yasası
![Page 26: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/26.jpg)
Bragg Yasası
![Page 27: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/27.jpg)
WDS Analizi
![Page 28: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/28.jpg)
WDS Dedektörü
![Page 29: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/29.jpg)
WDS Analizi
![Page 30: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/30.jpg)
WDS Analizi
![Page 31: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/31.jpg)
EDS - WDS Karşılaştırılması
![Page 32: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/32.jpg)
EDS - WDS Karşılaştırılması
![Page 33: SEM EDS-WDS - muh.bartin.edu.trmuh.bartin.edu.tr/Files/i4jrhsicxaesu54tnxj5txxyi2016121155529i4... · Karakteristik x-ışınları •Neden her element farklı karakteristik, kendine](https://reader031.vdocuments.mx/reader031/viewer/2022021706/5b869ad27f8b9a2e3f8d3d95/html5/thumbnails/33.jpg)
EDS - WDS Karşılaştırılması