![Page 1: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/1.jpg)
LSI技術入門
![Page 2: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/2.jpg)
はじめに
1.LSI技術の概要
2.フォトリソグラフィー
3.フォトマスクの作製 ---電子線描画技術---
4.フォトマスクから半導体へのパターンの転写---紫外線露光---
5.ウエハープロセスの基礎-1-(1)シリコンウエハの洗浄(2)フィールド酸化(3)酸化膜のエッチング(4)ゲート酸化
![Page 3: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/3.jpg)
(5)チャネルドープ ---イオン注入---(6)ゲート電極形成
---多結晶シリコンの化学気相堆積------ドライエッチング---
(7)ソース・ドレインの形成---イオン注入と熱処理---
(8)層間絶縁膜の形成(9)配線の形成 ---スパッタリング---
6.自己整合法の意義
7.CMOSプロセス
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今回の目的
1.LSI技術の概要
2.フォトリソグラフィー
3.フォトマスクの作製 ---電子線描画技術---
4.フォトマスクから半導体へのパターンの転写---紫外線露光---
5.ウエハープロセスの基礎-1-(1)シリコンウエハの洗浄(2)フィールド酸化(3)酸化膜のエッチング(4)ゲート酸化
![Page 5: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/5.jpg)
LSI開発の流れ (復習)
企画
システム設計
論理回路設計 トランジスタ回路設計
レイアウト設計
ウエハプロセス
実装組み立て
試験
LSI設計
LSI製造
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MOSFET (MOS型電界効果トランジスタ)
型 Si
n n
p
Source
Gate
Drain
Sub.(基板)
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MOSFETのレイアウト
Source Drain
Gate
A A’平面図
n+n+ SiO2断面図
p-Si
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フォトリソグラフィー
写真に類似
紫外線
Si
SiO2フォトレジスト
フォトマスク
露光 現像 エッチング
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ポジ型レジストとネガ型レジスト
ポジティブ型 ネガティブ型
露光
現像
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ポジ型とネガ型の使い分け
ネガ型用マスクポジ型用マスク
![Page 11: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/11.jpg)
ポジ型とネガ型の性能概要
ポジ型 ネガ型
解像力
感度
![Page 12: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/12.jpg)
フォトリソグラフィー工程の実際
フォトレジストの塗布(スピン塗布)
プリベーク
露 光 ウエハの洗浄
(Post Exposure Bake (PEB))
現 像
ポストベーク
エッチングなどの処理
レジストの除去
![Page 13: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/13.jpg)
フォトレジストの厚さ
粘度(cP) : 大
膜厚
回転数
![Page 14: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/14.jpg)
露光のビデオをとりあえず見せて全体像をまずつかんでもらう。
![Page 15: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/15.jpg)
フォトリソグラフィー工程の実際
フォトレジストの塗布(スピン塗布)
プリベーク
露 光 ウエハの洗浄
(Post Exposure Bake (PEB))
現 像
ポストベーク
エッチングなどの処理
レジストの除去
![Page 16: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/16.jpg)
フォトリソグラフィー工程の実際
フォトレジストの塗布(スピン塗布)
プリベーク
露 光 ウエハの洗浄
(Post Exposure Bake (PEB))
現 像
ポストベーク
エッチングなどの処理
レジストの除去
![Page 17: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/17.jpg)
フォトリソグラフィー工程の実際
フォトレジストの塗布(スピン塗布)
プリベーク
露 光 ウエハの洗浄
(Post Exposure Bake (PEB))
現 像
ポストベーク
エッチングなどの処理
レジストの除去
![Page 18: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/18.jpg)
紫外線
Si
SiO2フォトレジスト
フォトマスク
(PEB)塗布プリベーク
露光 現像ポストベーク
![Page 19: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/19.jpg)
エッチング
ウエットエッチング(薬品による溶解反応)
ドライエッチング(ガスのプラズマを使った気化反応)SiO2
![Page 20: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/20.jpg)
フォトリソグラフィー工程の実際
フォトレジストの塗布(スピン塗布)
プリベーク
露 光 ウエハの洗浄
(Post Exposure Bake (PEB))
現 像
レジストの除去
ポストベーク
エッチングなどの処理
![Page 21: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/21.jpg)
レジストの除去
アッシング(灰化)
O2プラズマ(活性な酸素) COx, HxO
![Page 22: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/22.jpg)
フォトリソグラフィー工程の実際
フォトレジストの塗布(スピン塗布)
プリベーク
露 光 ウエハの洗浄
(Post Exposure Bake (PEB))
現 像
ポストベーク
エッチングなどの処理
レジストの除去
![Page 23: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/23.jpg)
今回の目的
1.LSI技術の概要
2.フォトリソグラフィー
3.フォトマスクの作製 ---電子線描画技術---
4.フォトマスクから半導体へのパターンの転写---紫外線露光---
5.ウエハープロセスの基礎-1-(1)シリコンウエハの洗浄(2)フィールド酸化(3)酸化膜のエッチング(4)ゲート酸化
![Page 24: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/24.jpg)
電子線描画
電子線で露光される専用フォトレジスト
クロム薄膜
ガラス基板
細く絞った電子線の「一筆書き」
電子線の特長:細く絞れる 高解像度電気的に制御しやすい CADとの整合
![Page 25: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/25.jpg)
電子線描画装置の概要
![Page 26: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/26.jpg)
紫外光による露光
ーフォトマスクから半導体ウエハへのパターンの転写ー
紫外線
Si
フォトレジスト
密着(または近接)露光フォトマスク
縮小投影露光
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密着(または近接)露光
![Page 28: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/28.jpg)
縮小投影露光 ーステッパーー
![Page 29: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/29.jpg)
縮小投影露光のメリット
1. マスク作製の容易さ
2. マスク上の異物の影響の除去が容易
3. ウエハ表面の段差やウエハの反りの影響の軽減
![Page 30: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/30.jpg)
1. マスク作製の容易さ
![Page 31: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/31.jpg)
2. マスク上の異物の影響の除去が容易
![Page 32: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/32.jpg)
3. ウエハ表面の段差やウエハの反りの影響の軽減
![Page 33: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/33.jpg)
縮小投影露光の解像度
解像力
Θ
焦点深度
開口数NA= sin Θ
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今回のまとめ
フォトリソグラフィーを使った微細加工とその実際
電子線描画によるフォトマスクの作製
紫外線露光によるパターンの転写
縮小投影露光
![Page 35: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/35.jpg)
次回
1.LSI技術の概要
2.フォトリソグラフィー
3.フォトマスクの作製 ---電子線描画技術---
4.フォトマスクから半導体へのパターンの転写---紫外線露光---
5.ウエハープロセスの基礎-1-(1)シリコンウエハの洗浄(2)フィールド酸化(3)酸化膜のエッチング(4)ゲート酸化
![Page 36: LSI技術入門web.iizuka.vu.kyutech.ac.jp/LSI/pdf/vol7-text.pdf(Post Exposure Bake (PEB)) 現像 ポストベーク エッチングなどの処理 レジストの除去 フォトレジストの厚さ](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022041720/5e4deda4368379446718f57d/html5/thumbnails/36.jpg)
(5)チャネルドープ ---イオン注入---(6)ゲート電極形成
---多結晶シリコンの化学気相堆積------ドライエッチング---
(7)ソース・ドレインの形成---イオン注入と熱処理---
(8)層間絶縁膜の形成(9)配線の形成 ---スパッタリング---
6.自己整合法の意義
7.CMOSプロセス