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Einführung Bedienung REM XL30
TU Ilmenau/IMNProf. Dr. L. Spieß
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Mikroskop
Ionengetterpumpe
Säule
EDX-
Detektor
SE-
Detektor
Tisch-Bedienelemente
Zustand Kühlung EDX-Detektor –> grün-ok
rot- kein LN2
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Bedienelemente
ohne gedrückten HT
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Desktop
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Startmenü
Datenstruktur auf Rechner Ardenne.zmn.tu-ilmenau.de:
Platte C: Programme, dort keine persönlichen Dateien!
Platte E: Verzeichnis user alle Nutzer mit Namen, dies ist Standardverzeichnis nach Einloggen!
Programm arbeitet noch mit DOS-Konventionen 8.3, keine längeren Ordner oder Dateinamen!
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Proben, die untersuchbar sind
• Maximal 50x50x30 mm3
• Zur Not auch eine 4“ Scheibe – Kippung nicht uneingeschränkt
• beste Größe bis 25 mm Durchmesser, bis 4 mm dick
• keine Plasteingebetteten aus der Metallographie!
• keine losen Partikel (Kohlenstoff, Stäube, ...)
• aufkleben auf Probenteller Durchmesser 12 oder 25 mm mit doppleseitigenKlebeband von Rolle oder mit Silberleitlack (Pads – sehr hochohmig)
• vor Einschleusen mit Abstandshalter prüfen, ob Höhe eingehalten wird!
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Innenkammer mit Detektoren
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Kippung der Proben
0° Kippung, 10 mm Arbeitsabstand
25° Kippung, 10 mm Arbeitsabstand, längere Probe, Gefahr von Berührungen bei stärkerer Kippung!
70° Kippung von 12 mm Probe, 10 mm Arbeitsabstand, hier Bewegungsraum außer Z voll erhalten!
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Hauptbildschirm
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Vakuum in Kammer erzeugen
HV-Modus
<1.3E-4 ok
Hochspan-nung an SE-Detektor wird bei 8E-5mbar zugeschaltet
Pgun sollte kleiner
4 E-7 mbar
sein!
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Nutzer Control Area
Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip.
Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode
Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode ImagingAdjustments
Stage
Obere Leiste der Steuerung Mikroskop
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Nutzer Control Area
Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip.
Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode
Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode ImagingAdjustments
Stage
Obere Leiste der Steuerung Mikroskop
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Nutzer Control Area
Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip.
Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode
Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode ImagingAdjustments
Stage
Obere Leiste der Steuerung Mikroskop
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Vergrößerung/Magnification
Auch mit +(Verdopplung)
oder -(Halbierung)
oder auch mit
Tracking
(stufenlos)
einstellbar
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Magnification Reference
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Detektoren I
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Detektoren II
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Spotsize – Durchmesser Elektronenstrahl - Auflösung
1 2 3 4 5 6 7 80
200
400
600
800
1000
1 2 3 40
10
20
30
40
50
60
70
80
Wolframkathode LaB6 Kathode
Ele
ktro
nens
trahl
durc
hmes
ser [
nm]
Spotsizeeinstellung am XL30 RasterelektronenmikroskopAnmerkung: der Wert Spotsize 8 ist am Wolframkathodengerät gemessen worden, alle anderen Werte sind dann daraus abgeleitet worden!
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Auswahl Hochspannung/Spotsize
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Strahlstrom/Spotsize/Hochspannung/Gun Tilt
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Xover
Überheizt und falsch justiert richtig unterheizt
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Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität
• 30 kV• 5000 x • WD 15 mm• Spotsize 2 (10 nm)
Spotsize 4 (40 nm)
Spotsize 6 (125nm)
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Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität
• 10 kV• 40000 x fache Vergrößerung• 15 mm Arbeitsabstand• Spotsize 1 (5 nm); 3 (20 nm) und
5 (70 nm)
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Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität
• 10 kV• 400 x• Spotsize 5 und
TV-Modus
• Spotzize 1
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Scharfstellung – Arbeitsabstand I
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Scharfstellung – Arbeitsabstand II mit CCD und Videoscop
10 mm
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Fokussieren
• unter oder über Fokus Fokus
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Scanparameter I
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Scannparameter 2
• Slow Scan 1 - 968/1.68• Slow Scan 2 – 1452/6.72• Slow Scan 3 - 1936/20• Slow Scan 4 - 2420/40• Single Scan - 2904/20-60 wird mit F2
ausgelöst Bild 360 kByte
• XHD – 2420 /20-60 Bild 10 MByte
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Scanparameter
TV-Modus
Scan 2
Scan 1
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Videoscope
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Videoscope II
• übersteuert• Zuviel Kontrast• Zu wenig Helligkeit• Richtige Einstellung
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Settings
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Stage
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Bildabspeicherung/Databar I
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Bildabspeicherung/Databar II
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Bildabspeicherung III
normal 340 kbyte HD-Tiff 11 MByte
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Bildspeicherung IV
• Bilder werden bei Normalspeicherung in der Y Pixelgröße gestaucht, mit Programm XL-Stretch kann diese Stauchung wieder rückgängig gemacht werden, dann gleichen sich die Bilder auch besser mit HD-tiff an!
Normalabspeicherung – kein Kreis mit XL-Stretch bearbeitetes Bild
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Imaging
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Vermessen
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Vermessen
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Tilt/Tiltkorrektur
• Beim Verkippen wird Bild verzerrt, kann mit Tiltkorrektur entzerrt werden.
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Tilt/TiltkorrekturVerkippung – Auswirkungen auf Maße und Formaussehen
Ansicht, Probe 60° gekippt Vermessung ohne Tilt-Korrektur Vermessung mit Tilt-Korrektur
70° verkippt, keine Tiltkorrektur Vermessung mit Tiltkorrektur Tiltkorrektur u. dann Vermessung
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Bilder von Kantenflanken
• Normal unverkippt 60° verkippt
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SE- und BSE-Bilder – Kontrastmöglichkeiten
SE- Bild BSE (A+B) (Materialkontrast!)
BSE – A Bild BSE – B-Bild BSE (A-B) (Topographiekontrast)
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Configuration Control
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Peltiertisch und BSE ESEM
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ESEM - EDX