![Page 1: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/1.jpg)
שיקוע מפאזה גזית בעזרת PECVDפלזמה -
שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת •חיבורי ביניים בסיוע פלזמה
פרופ’ יוסי שחם
המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית, אונ’ ת”א.
![Page 2: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/2.jpg)
מערכות לייצור פלזמה
![Page 3: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/3.jpg)
DCמערכת פלזמה
![Page 4: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/4.jpg)
![Page 5: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/5.jpg)
xEXPII C
)ln()(PdC
PdAVB
Current to the anode
Paschen’s law:
qEVEXP i1
-Townsand coefficient
Where Ic is the electron Cathodic current
is the collision mean free path, E the electric field, and Vi is the effective ionization potential
![Page 6: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/6.jpg)
מתח התפרקות באוויר
![Page 7: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/7.jpg)
![Page 8: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/8.jpg)
![Page 9: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/9.jpg)
![Page 10: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/10.jpg)
RF פלזמה
![Page 11: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/11.jpg)
פילוג האנרגיות בפלזמה
[KeVאנרגיה ]
![Page 12: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/12.jpg)
תרומת ינון מישני לפלזמה
![Page 13: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/13.jpg)
ביצירת פלזמה ACהפעלת שדה
![Page 14: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/14.jpg)
)Iטכנולוגית פלזמה (
![Page 15: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/15.jpg)
בניית פלזמה גזית בין לוחות
![Page 16: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/16.jpg)
Magnetic enhancement
![Page 17: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/17.jpg)
השפעת ממדי האלקטרודות
![Page 18: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/18.jpg)
פוטנציאל האלקטרודה בתא אסימטרי
![Page 19: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/19.jpg)
![Page 20: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/20.jpg)
![Page 21: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/21.jpg)
יחס המתחים הפוך ליחס שטחי האלקטרודות
![Page 22: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/22.jpg)
![Page 23: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/23.jpg)
![Page 24: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/24.jpg)
פלזמה במגנטרון חלול (HCM)
![Page 25: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/25.jpg)
האיכול יכול להיעשות ע”י יונים, רדיקלים נייטרלים ומולקולות נייטרליות
![Page 26: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/26.jpg)
אלקטרונים מוחזרים ממחסום הפוטנציאל
![Page 27: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/27.jpg)
RIEמערכת פלזמה כנגד
![Page 28: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/28.jpg)
מערכת עם שני תדרים
![Page 29: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/29.jpg)
ריאקציה בשיווי משקל
![Page 30: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/30.jpg)
ריאקציות יכולות לאכל ולשקע
![Page 31: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/31.jpg)
לחצים חלקים של גזים טיפוסיים
![Page 32: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/32.jpg)
תכנון שיקוע סלקטיבי
![Page 33: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/33.jpg)
שינוי באנרגיה החופשית
![Page 34: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/34.jpg)
)HDPשיקוע מפלזמה בריכוז גבוה (
![Page 35: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/35.jpg)
קצב השיקוע והאיכול יחסי לזווית הפגיעה של ה- PRECURSORS
![Page 36: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/36.jpg)
HDPהתקדמות פני השטח בתהליך
שיקוע מהיר איכול איטי
איכול מהיר שיקוע איטי
איכול ושיקוע איטיים
![Page 37: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/37.jpg)
HDPריאקטור
![Page 38: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/38.jpg)
נזק ע”י פלזמה
![Page 39: שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת חיבורי ביניים בסיוע פלזמה פרופ ’ יוסי](https://reader033.vdocuments.mx/reader033/viewer/2022061618/56649d4d5503460f94a2c73b/html5/thumbnails/39.jpg)
סיכום
שיקוע ע”י פלזמה
CVDמהיר, איכות טובה כמו
ניצול תכונות הפלזמה לשיפור הפלנריזציה וכיסוי מדרגה