工程内／工程間搬送システムオンライン要求仕様書...図4 tscとtransfer...

工程内／工程間搬送システムオンライン要求仕様書

株式会社半導体先端テクノロジーズ 2002 年 2 月 8 日

工程内／工程間搬送システム

オンライン要求仕様書

第 2.31 版

2002 年 2 月 8 日

株式会社半導体先端テクノロジーズ

工程内／工程間搬送システムオンライン要求仕様書（第２．３１版）

2002/2/8 - 2 -

目次

１. 序論 ....................................................................................................................... 5

１.１. 目的 ..............................................................................................................................................5 １.２. 背景 ..............................................................................................................................................5 １.３. 参考文献........................................................................................................................................6

２. SEMIスタンダードへの準拠 .......................................................................................... 7

２.１. SECS 通信 .....................................................................................................................................7 ２.１.１. HSMSのコネクト・モード.....................................................................................................7

２.２. 装置モデル ....................................................................................................................................7 ２.２.１. 状態モデル一覧......................................................................................................................8 ２.２.２. 状態モデルを所有する実体 .....................................................................................................9

３. データ項目 ..............................................................................................................10

３.１. SECS データアイテム ..................................................................................................................10 ３.２. 変数テーブル...............................................................................................................................13 ３.２.１. 変数のVID体系 ..................................................................................................................13 ３.２.２. 搬送システムが使用する変数................................................................................................14 ３.２.３. PortTransferState と CurrentPortStates .............................................................................17

４. SECSメッセージ.......................................................................................................18

４.１. メッセージ一覧............................................................................................................................18

５. リモートコマンド ......................................................................................................26

５.１. ABORT........................................................................................................................................26 ５.２. CANCEL.....................................................................................................................................27 ５.３. PAUSE........................................................................................................................................28 ５.４. RESUME.....................................................................................................................................28 ５.５. TRANSFER.................................................................................................................................29

６. イベント.................................................................................................................33

６.１. イベントの CEID体系.................................................................................................................33 ６.２. 搬送システムのイベント..............................................................................................................33 ６.２.１. コントロール状態遷移イベント ............................................................................................33 ６.２.２. TSC状態遷移イベント .........................................................................................................34 ６.２.３. 搬送コマンド状態遷移イベント ............................................................................................34 ６.２.４. キャリア状態遷移イベント ...................................................................................................34 ６.２.５. 台車状態遷移イベント..........................................................................................................35 ６.２.６. Port 状態遷移イベント..........................................................................................................35


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６.３. 搬送システムのイベントレポート.................................................................................................36

７. キャリア位置情報 ......................................................................................................38

７.１. SECS メッセージの位置情報 ........................................................................................................38 ７.１.１. メッセージで使用する位置情報の表し方...............................................................................38 ７.１.２. メッセージ毎の位置情報 ......................................................................................................39

８. SEMIスタンダードの解釈 ............................................................................................41

８.１. 搬送システムのコントロール状態モデル.......................................................................................41 ８.２. VID，SVID，ECIDについて .......................................................................................................42

９. SEMI スタンダードとの差分 .........................................................................................43

１０. シナリオ ..............................................................................................................44

１１. 改訂履歴 ..............................................................................................................45


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List of Tables 表１ SECS 通信に関する SEMI スタンダード_______________________________________________________________________________________7 表２装置モデルに関する SEMI スタンダード_____________________________________________________________________________________7 表３搬送システムが使用するSECS データアイテム__________________________________________________________________________ 10 表４変数の VID 体系___________________________________________________________________________________________________________________ 13 表５搬送システムが使用するGEM 定義の変数 _______________________________________________________________________________ 14 表６搬送システムが使用するIBSEM 定義の変数 ____________________________________________________________________________ 15 表７ PortTransferState の値___________________________________________________________________________________________________________ 17 表８搬送システムが使用するSECS メッセージ_________________________________________________________________________________ 18 表９イベントの CEID 体系 ____________________________________________________________________________________________________________ 33

List of Figures 図１ AMHS フレームワーク_____________________________________________________________________________________________________________5 図２ IBSEM におけるGEM 準拠項目 ______________________________________________________________________________________________8 図 3 状態モデルを所有する実体_______________________________________________________________________________________________________9 図 4 TSC とTransfer Port のモデル__________________________________________________________________________________________________ 17 図５搬送システムのコントロール状態モデル_____________________________________________________________________________________ 41


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１. 序論

１.１. 目的

本仕様書は、工程内／工程間搬送システム（以下「搬送システム」と略記する）のオンライン仕様に

対する Selete の要求仕様を規定する。

１.２. 背景

将来の３００ｍｍ半導体ラインでは、ウェハサイズの拡大と 300mm ウェハキャリアの重量の増加に伴う人間工学ならびに安全性に関する要求の結果として、ライン内におけるキャリアの完全自動搬送が

要求される。このために AMHS 装置は、ホストシステムによる有機的かつコスト効果の高い統合が求められている。この目的を達成するために、各 AMHS 装置の物理的および論理的インターフェースを共通化し、各

AMHS 装置を相互に互換可能（インターオペラブル）にすることが求められている。この内、論理的なインターオペラビリティを実現するために I300I と J300 はグローバルジョイントガイダンスの第 6.2項「AMHS フレームワーク」を発行し、下記図 1 のような AMHS システム構成と AMHS 統合システムが提案し、さらに「AMHS フレームワークユーザーシステム要求仕様書」によって、AMHS 統合システムの要求機能を規定した。

図１ AMHS フレームワーク

AMHS 統合システム（インテグレータ）

Intrabay TransportSystem Controller

StockerSystem Controller

Interbay TransportSystem Controller

Intrabay TransportSystem Controller

ストッカInterbay

搬送システムIntrabay

搬送システム

IBSEM IBSEMStockerSEM

E84 E84

製造装置

ホスト・システム（スーパバイザ）製造装置制御

E84

MES機能

標準通信プロトコル、メッセージ、状態モデル、機能の定義が必要

製造装置制御コマンド


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前記 AMHS フレームワークにおいて搬送システムは上位（ＡＭＨＳ統合システム）との通信インタ

ーフェースとして IBSEM(SEMI E82 Specification for Interbay/Intrabay AMHS SEM)を使用することを規定している。

Selete はインターオペラブルな搬送システムを実現することを目的に、上記「AMHS フレームワークユーザーシステム要求仕様書」および「SEMI E82 Specification for Interbay/Intrabay AMHS SEM (IBSEM)」の分析を進めてきたが、その結果、

1) 通信インターフェースのインターオペラビリティを実現するためには、IBSEMにさらに仕様を追加する必要がある。

2) IBSEM 自身の記述の曖昧な点について、Selete としての解釈を定める必要がある。ことが判明した。

本仕様書は、インターオペラブルな搬送システムオンライン仕様実現を目的として、IBSEM へのSelete の追加仕様および Selete の解釈を規定したものである。

１.３. 参考文献

Selete AMHS 通信シナリオ仕様書

Selete ストッカオンライン要求仕様書

Selete AMHS 通信テスト仕様書

Selete インテグレータ要求仕様書

I300I / J300 AMHS フレームワークユーザーシステム要求仕様書

SEMI Doc E5 – 半導体製造装置通信スタンダード２メッセージ内容（SECS-Ⅱ）

SEMI Doc E30 – SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル（GEM）

SEMI Doc E37 – 高速 SECS メッセージサービス（HSMS）汎用サービス

SEMI Doc E37.1 – 高速 SECS メッセージサービスシングルセッションモード（HSMS-SS）

SEMI Doc E82 – Specification ｆor Interbay/Intrabay AMHS SEM(IBSEM)

SEMI Doc E88 – Specification for AMHS Storage SEM(Stocker SEM)


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２. SEMI スタンダードへの準拠

２.１. SECS 通信

・搬送システムコントローラ（ＴＳＣ）と上位システム間のSECS 通信は以下の SEMI スタンダードに準拠しなくてはならない。

SEMI スタンダード

SEMI Doc E5 半導体製造装置通信スタンダード２メッセージ内容（SECS-Ⅱ） SEMI Doc E37 高速 SECS メッセージサービス（HSMS）汎用サービス SEMI Doc E37 .1 高速 SECS メッセージサービスシングルセッションモード（HSMS-SS）

表１ SECS 通信に関する SEMI スタンダード

２.１.１. HSMS のコネクト・モード

・コネクト・モードは ACTIVE と PASSIVE、両方のモードが可能でなければならない。

２.２. 装置モデル

・搬送システムコントローラ（TSC）は以下の SEMI スタンダードに準拠した装置モデルを実装しなくてはならない。

SEMI スタンダード

SEMI Doc E30 SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル（GEM）のうちの以下に示す章（注 1）第１,２,３章：全て第４章：4.1、4.2.1、4.2.2、4.2.5、4.2.6、4.3、4.5、4.7、4.8、4.9、 4 . 1 0 、4.12 第８章：全て

SEMI Doc E82 Specification for Interbay/Intrabay AMHS SEM (IBSEM)

表２装置モデルに関する SEMI スタンダード

［注１］

IBSEMの「13 GEM Capabilities」には、IBSEM が規定するGEM機能が規定されている。それを図示すると次ページの表のようになる。そこで、この表の示すGEMの基本条件および追加性能の内○のついた性能の記述個所を示すと上記表に示したようになる。


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図２ IBSEM におけるGEM 準拠項目

２.２.１. 状態モデル一覧

・ TSC が実装すべき状態モデルはSEM と GEM の両方に記述されており、分かりづらいので、ここに一覧を示す。

1) 通信状態モデル（GEM 3.2 通信状態モデル参照） 2) コントロール状態モデル（GEM 3.3 コントロール状態モデル参照） 3) ＴＳＣ状態モデル（SEM 7.2 TSC State Model 参照） 4) 搬送コマンド状態モデル(SEM 7.3 TRANSFER Command State Model 参照) 5) 台車状態モデル(SEM 7.4 Vehicle State Model) 6) キャリア状態モデル(SEM 7.5 IBSEM Carrier State Model 参照)

・ TSC はその他に、HSMS-SS の状態モデルを持つ。 (「SEMI DOC. E37.1 HSMS-SS」の 5. HSMS-SS の概要および状態マシンを参照)

ＧＥＭの基本条件追加性能

状態モデル通信確立 ○ 装置プロセス状態動的イベントレポート設定変更 ○ ホストが開始するS1,F13/F14 シナリオ変数データ収集 × イベント通知トレースデータ収集 × オンライン確認状態データ収集 ○ エラーメッセージアラーム管理 ○ コントロール（オペレータ起動）リモートコントロール × 文書化装置定数 ○ プロセスプログラム管理 × 材料移送 ○ 装置端末サービス ○ クロック ○ リミット監視 × スプーリング × コントロール（ホスト起動） ○


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２.２.２. 状態モデルを所有する実体

前記状態モデルを所有する実体（エンティティ）を以下の図に示す。例えば前記 3）のＴＳＣ状態モデルはＴＳＣ１つに１つ持つものであるが、6）キャリア状態モデルは搬送システム内の各キャリアについて 1つずつ持つものである。その意味で、TSC状態モデルを所有する実体はTSC であり、キャリア状態モデルを所有する実体はキャリアである。これは、ホストからどのように見えるべきかを示すものであり、実際にこのように実装するかど

うかは規定外である。

図3 状態モデルを所有する実体

搬送システム

キャリアキャリア

台車台車

搬送コマンド搬送コマンド

通信

TSC コントロール

ＴＳＣ

ＨＳＭＳ

ポートポート状態


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３. データ項目

本章では搬送システムが使用する SECS メッセージデータ項目を説明する。

３.１. SECS データアイテム

次表に搬送システムが使用する SECS メッセージのデータアイテムを示す。

表の項目説明ネーム：データアイテムの名称フォーマット：データアイテムの値のフォーマットサイズ：データアイテムの値のサイズ説明：データアイテムの説明又はデータの範囲

表３搬送システムが使用するSECS データアイテム

ネームフォーマットサイズ説明

ACKC5 B 1 0=了解 >0=エラー,了解できず 1-63 保留 ACKC6 B 1 0=了解 >0=エラー, 了解できず 1-63 保留 ACKC10 B 1 0=了解 1=メッセージは表示されない

2=端末使用できない 3-63 保留 ALCD B 1 bit8=1 アラーム状態発生

bit8=0 アラーム状態解除 bit1-7=0 未使用

ALED B 1 bit8=1 アラーム有効 bit8=0 アラーム無効 ALID U4 アラーム ID ALTX Ａ Max40 アラームテキスト CEED BOOLEAN 1 偽=無効真=有効 CEID U4 収集イベントID CEPACK L,U1 0=エラー無し 1=CPNAME が存在しない

2=不正な値が CEPVAL に指定されている 3=不正なフォーマットが CEPVAL に指定されている 4=CPNAME の使用法が有効ではない

CEPVAL Ａ,B,BOOLEAN, Fx,Ix,J,L,Ux

コマンド拡張パラメータ値

COMMACK B 1 0=了解 1=否定、再試行 2-63 保留 CPACK B 1 0=了解

1=CPNAME が存在しない 2=不正な値が CPVAL に指定されている 3=不正なフォーマットが CPVAL に指定されている >3=他の装置固有のエラー 4-63 保留

CPNAME Ａ Max40 コマンドパラメータ名 CPVAL Ａ,B,BOOLEAN,

Fx,Ix,J,Ux コマンドパラメータ値

DATAID U4 データID インテグレータは常にDATAID=０で送信する。


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DRACK B 1 0=了解 1=否定、スペース不十分 2=否定、無効フォーマット 3=否定、少なくとも1 つの RPTID は既に定義されている 4=否定、少なくとも1 つの VID が存在しない >4=その他のエラー 5-63 保留

EAC B 1 0=了解 1=否定、少なくとも1 つの定数が存在しない 2=否定、ビジー 3=否定、少なくとも1 つの定数が範囲外にある >3=その他のエラー 4-63 保留

ECDEF Ａ,B,BOOLEAN, Fx,Ix,J,Ux

装置定数デフォルト値

ECID U4 装置定数 ID ECMAX Ａ,B,BOOLEAN,

Fx,Ix,J,Ux 装置定数最大値

ECMIN Ａ,B,BOOLEAN, Fx,Ix,J,Ux

装置定数最小値

ECNAME A 装置定数名

ECV Ａ,B,BOOLEAN, Fx,Ix,J,Ux

装置定数

ERACK B 1 0=了解 1=否定、少なくとも1 つの CEID が存在しない >1=その他のエラー 2-63 保留

HCACK B 1 0=確認、コマンドは実行された (搬送システムはこの値を使用しない。確認は 4 の値を使用する。) 1=コマンドは存在しない 2=現在実行できない 3=少なくとも1 つのパラメータは無効 4=確認、コマンドは実行され、イベントにより完了が知らされる 5=拒否、既に要求された状態にある 6=そのオブジェクトは存在しない 7-63 保留

LRACK B 1 0=了解 1=否定、スペース不十分 2=否定、無効フォーマット 3=否定、少なくとも1 つの CEID リンクが既に定義されている 4=否定、少なくとも1 つの CEID が無効である 5=否定、少なくとも1 つの RPTID が無効である >5=その他のエラー 6-63 保留

MDLN Ａ Max6 装置の形式 MEXP Ａ SxxFyy MHEAD B エラーになったメッセージヘッダ OBJSPEC Ａ特定のオブジェクトインスタンスを示すのに用いられる

テキストストリング。インテグレータは常にOBJSPEC を""（NULL）で送信する。

OFLACK B 0=オフライン了解 1-63 保留 ONLACK B 0=オンライン了解

1=オンラインを許可しない 2=既にオンライン 3-63 保留


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RCMD Ａリモートコマンド又はコマンド列 RPTID U4 レポートID SHEAD B トランザクションタイマに関連したメッセージのヘッダ SOFTREV Ａ Max6 ソフトウェアのレビジョンコード SV Ａ,B,BOOLEAN,

Fx,Ix,J,L,Ux 状態変数データ

SVID U4 状態変数 ID SVNAME Ａ状態変数名 TEXT Ａ一行の文字 TIACK B 1 時間確認コード

0=OK 1=エラー、了解されない 2-63 保留 TID B 1 0=単一又は主端末 >0=同じ装置の付加端末 TIME Ａ 16 YYYYMMDDhhmmsscc UNITS Ａ SEMI E5 の 9 章で許されたもの V Ａ,B,BOOLEAN,

Fx,Ix,J,L,Ux 変数データ

VID U4 変数 ID


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３.２. 変数テーブル

本項では搬送システムの変数と VID を説明する。

３.２.１. 変数の VID 体系

搬送システムの変数に割り当てる VID の番号体系を次表に示す。

表４変数の VID 体系

変数の種類 VID Selete 仕様定義 VID 1～300

GEM 定義変数 1～50 SEM 定義変数 51～200

Selete 仕様独自定義変数 201～300 サプライヤ定義 VID 301～

注意：GEM または SEM で定義された変数であっても、Selete 仕様でVIDを定めておらずかつサプライヤで独自にVID を定める場合は、301番以降の番号を割り当てる。


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３.２.２. 搬送システムが使用する変数

以下に搬送システムが使用する変数を示す。

表の項目説明 VID ：変数の VID 変数名：変数の名称クラス：変数データのクラスフォーマット：変数データのフォーマット説明：変数の説明

表５搬送システムが使用するGEM 定義の変数

VID 変数名クラスフォーマット説明

1 AlarmID DVVAL アラームＩＤ 2 EstablishCommunicationsTimeout ECV 通信確立時の S1F13 送信間隔 3 AlarmsEnabled SV 有効アラームのリスト 4 AlarmsSet SV ACTIVE アラームのリスト 5 Clock SV 現在時刻 6 ControlState SV B,U1 1=オフライン／装置オフライン

2=オフライン／オンライン移行中 3=オフライン／ホストオフライン 4=オンライン／ローカル 5=オンライン／リモート

7 EventsEnabled SV 有効イベントのリスト


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表６搬送システムが使用するIBSEM 定義の変数

VID 変数名クラスフォーマット説明

51 ActiveCarriers SV ＴＳＣデータベース内の全キャリアの現在状態のリスト 52 ActiveTransfers SV 全 ACTIVE 搬送コマンドの現在状態のリスト 53 ActiveVehicles SV 搬送ｺﾏﾝﾄﾞ割当済か割当可能な全台車の現在状態のﾘｽﾄ 54 CarrierID DVVAL 搬送中のキャリアＩＤ 55 CarrierInfo DVVAL 特定のキャリアが生成するイベントに関連した情報

56 CarrierLoc DVVAL TSC によって報告されたｷｬﾘｱの台車上の位置 57 CommandName DVVAL ホストが TSC に出したコマンド 58 CommandID DVVAL リモートコマンドＩＤ 59 CommandInfo DVVAL 特定の搬送コマンドに関連したコマンド情報

60 DestPort DVVAL 行先ポートのユニークＩＤ 61 EqpName ECV TSC のユニークＩＤ 62 Priority DVVAL リモートコマンドのプライオリティ

1～99 を使用。 1：最低優先度，99：最高優先度。 63 Replace DVVAL 取り置きフラグ 64 ResultCode DVVAL 搬送コマンドの実行結果 65 SourcePort DVVAL 搬送元ポートのユニークＩＤ 66 TransferCommand DVVAL 特定の搬送コマンドに関連した情報

67 TransferInfo DVVAL

特定の搬送コマンドに関連したキャリア情報

68 TransferPort DVVAL 移載ポートのユニークＩＤ 69 TransferPortList DVVAL 特定の台車到着や出発に関連した移載ポート情報 70 VehicleID DVVAL イベントに関係した台車のユニークＩＤ 71 VehicleInfo DVVAL 特定の台車に関連した情報 72 VehicleState DVVAL 台車の状態

1=Removed 2=Not Assigned 3=Enroute 4=Parked 5= Acquiring 6=Depositing

73 TSCState SV TSC 状態(System) 1=TSCInit 2 =Paused 3=Auto 4=Pausing


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74 TransferCompletedInfo DVVAL

特定の搬送コマンドの完了に関連したキャリア情報

75 PortID DVVAL Transfer Port の ID 76 CurrentPortStates SV

全てのポートの ID と状態を返す。


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３.２.３. PortTransferState とCurrentPortStates

TSC は複数の Transfer Portを持つ。Transfer Portはそれぞれの PortID と PortTransferStateを持つ。PortID は Transfer Port の ID であり、PortTransferState はその状態を示す。（ここでいう PortTransferStateは TSC からみた状態である。ストッカ側のポートの状態がどうであるかは、TSC は関知しない。）。 CurrentPortStatesは、搬送システムが持つ全てのTransferPortの"PortID","PortTransferState"のリストである。 TSC と TransferPort のモデルを次図に示す。

図4 TSC とTransfer Port のモデル

PortTransferState が取り得る値を次表に示す。

表７ PortTransferState の値

変数値状態状態の説明２正常

InService 正常に移載が出来る状態。 PortTransferState

１異常 OutOfService

正常に移載が出来ない状態。 Transfer Port 以外の部分の異常により、当該 Transfer Portへのキャリアの搬入ないしは当該Tranfer port からのキャリアの搬出が出来ない場合も、ＴＳＣはこの Transfer Port のPortTransferState が異常であると見なす。例：ある装置の前に敷かれている搬送レールが故障して台車が進入できなくなった場合、ＴＳＣはその装置へのTransferPort がout of service になったと見なして、イベント報告する。

TSC Transfer Port

PortID i SV Transfer Port の ID

PortTransferState SV Transfer Port の状態

1 1 . .*


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４. SECS メッセージ

本章では搬送システムが使用する SECS メッセージのストリームとファンクションを説明する。

４.１. メッセージ一覧

搬送システムが最低限サポートするSECS メッセージを次表に示す。Seleteの想定するインテグレータは表の「使用」の欄に"○"がつけられている SECS メッセージをサポートする。

表の項目説明 SECS ：メッセージのストリームとファンクション。使用：Selete の想定するインテグレータが使用するものに"○"を記述。送信：インテグレータから搬送システムへ送信するものに"H"、搬送システムからインテグレータへ送信するものに"E"と記述。フォーマット：SEMI E5 のメッセージ定義に示されているメッセージフォーマット。データ例：メッセージのデータ例を SML*フォーマットで記述。

表８搬送システムが使用するSECS メッセージ

SECS 使用送信フォーマットデータ例

S1F1 ○ H,E S1F1 W . /* ヘッダのみ */

S1F1 W .

○ H S1F2 .

S1F2 .

S1F2

○ E S1F2 .

S1F2 .

S1F3 ○ H S1F3 W .

S1F3 W .

*SML (r) is a registered trademark, and SECS Message Language (tm) is a trademark of GW Associates, Inc.


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S1F4 ○ E S1F4 .

S1F4 .

S1F11 － H S1F11 W .

S1F11 W .

S1F12 － E S1F12 .

S1F12 .

○ H S1F13 W .

S1F13 W .

S1F13

○ E S1F13 W .

S1F13 W .


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○ H E

S1F14 .

S1F14 .

S1F14

○ S1F14


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S2F30 － E S2F30 .

S2F30


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S2F36 ○ E S2F36 .

S2F36 .

S2F37 ○ H S2F37 W .

S2F37 W .

S2F38 ○ E S2F38 .

S2F38 .

S2F41 ○ H S2F41 W .

S2F41 W .

S2F42 ○ E S2F42 .

・エラーが無い場合 S2F42 . ・無効のパラメータがある場合 S2F42 .


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S2F49 ○ H S2F49 W .

S2F49 W .

S2F50 ○ E S2F50 .

・エラーが無い場合 S2F50 . ・無効のパラメータがある場合 S2F50 .


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S5F1 ○ E S5F1 W .

S5F1 W .

S5F2 ○ H S5F2 .

S5F2 .

S5F3 ○ H S5F3 W .

S5F3 W .

S5F4 ○ E S5F4 .

S5F4 .

S5F5 － H S5F5 W .

S5F5 W . /* ALID2 つの場合 */

S5F6 － E S1F12 W .

S1F12 W .

S6F11 ○ E S6F11 W .

S6F11 W .

S6F12 ○ H S6F12 .

S6F12 .


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S9F1 ○ E S9F1 .

S9F1 .

S9F3 ○ E S9F3 .

S9F3 .

S9F5 ○ E S9F5 .

S9F5 .

S9F7 ○ E S9F7 .

S9F7 .

S9F9 ○ E S9F9 .

S9F9 .

S9F11 ○ E S9F11 .

S9F11 .

S10F3 ○ H S10F3 W .

S10F3 W .

S10F4 ○ E S10F4 .

S10F4 .


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５. リモートコマンド

本章では搬送システムがサポートするリモートコマンドを説明する。

５.１. ABORT

CPVAL CPNAME ﾌｫｰﾏｯﾄ注釈

COMMANDID A[1..64] ”TRANSFER”リモートコマンドの COMMANDID のデータ

SECS通信フォーマット

S2F41 W . S2F42 .


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５.２. CANCEL


COMMANDID A[1..64] ”TRANSFER”リモートコマンドの COMMANDID のデータ


S2F41 W . S2F42 .


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５.３. PAUSE


無し


S2F41 W . S2F42 .

５.４. RESUME


無し


S2F41 W . S2F42 .


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５.５. TRANSFER


COMMANDINFO L[3] COMMANDID A[1..64] TRANSFERコマンド毎にユニークなID PRIORITY U2 0=Not valid

1=Lowest 99=Highest

REPLACE U2 0=OFF 0>ON

TRANSFERINFO L[3] CARRIERID A[1..64] 搬送するキャリアのID SOURCEPORT A[1..64] 搬送元ポート

・全てのload portが対象

DESTPORT A[1..64] 搬送先ポート・全てのload portが対象

SECS通信フォーマット１（１キャリア搬送）

S2F49 W


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> > > >. S2F50 .


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SECS通信フォーマット２（２キャリア搬送）

S2F49 W .


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S2F50 .


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６. イベント

搬送システムはGEM に記述されている「動的イベントレポートの設定変更」に基づいたイベントレポートをサポートする。本章では搬送システムが使用するイベントを説明する。

６.１. イベントの CEID 体系

搬送システムのイベントに割り当てる CEID の番号体系を次表に示す。

表９イベントの CEID 体系

イベントの種類 CEID Selete 仕様定義 CEID 1～600

GEM 定義イベント 1～50 SEM 定義イベント 51～500

Selete仕様独自定義イベント 501～600 サプライヤ定義 CEID 601～

注意：GEM または SEM で定義されたイベントであっても、Selete 仕様で CEID を定めておらずかつサプライヤで独自に CEID を定める場合は、601 番以降の番号を割り当てる。

６.２. 搬送システムのイベント

本項では搬送システムが使用するイベントの種類について説明する。

６.２.１. コントロール状態遷移イベント

CEID イベント名旧状態新状態レポートID

1 装置オフライン ONLINE Equipment OFFLINE １ OFFLINE 2 コントロール状態ローカル ONLINE-REMOTE

ONLINE-LOCAL １

OFFLINE 3 コントロール状態リモート ONLINE-LOCAL

ONLINE-REMOTE １


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６.２.２. TSC 状態遷移イベント


AlarmCleared ALARMS NOT ALARMS １ 51 AlarmCleared イベントは実装しなくてもよい。

AlarmSet NOT ALARMS ALARMS １ 52 AlarmSet イベントは実装しなくてもよい。

PAUSED 53 TSCAutoCompleted PAUSING

AUTO １

54 TSCAutoInitiated None TSC INIT １ 55 TSCPauseCompleted PAUSING PAUSED １

56 TSCPaused TSCINIT PAUSED １ 57 TSCPauseInitiated AUTO PAUSING １

６.２.３. 搬送コマンド状態遷移イベント


101 TransferAbortCompleted ABORTING None 11 102 TransferAbortFailed ABORTING ACTIVE(History) ３ 103 TransferAbortInitiated ACTIVE ABORTING ３ 104 TransferCancelCompleted CANCELING None ３

105 TransferCancelFailed CANCELING NOT ACTIVE(History) ３ 106 TransferCancelInitiated NOT ACTIVE CANCELING ３ 107 TransferCompleted ACTIVE None ２

108 TransferInitiated QUEUED WAITING ３ 109 TransferPaused TRANSFERRING PAUSED ２ 110 TransferResumed PAUSED TRANSFERRING ３ 111 Transferring WAITING TRANSFERRING ３

６.２.４. キャリア状態遷移イベント


151 CarrierInstalled None INSTALLED ４ 152 CarrierRemoved INSTALLED None ４


2002/2/8

- 35 -

６.２.５. 台車状態遷移イベント


201 VehicleArrived ENROUTE PARKED ５ PARKED 202 VehicleAcquireStarted DEPOSITING

ACQUIRING ６

203 VehicleAcquireCompleted ACQUIRING PARKED ６

204 VehicleAssigned NOT ASSIGNED ENROUTE ７ 205 VehicleDeparted PARKED ENROUTE ５

PARKED 206 VehicleDepositStarted ACQUIRING

DEPOSITING ６

207 VehicleDepositCompleted DEPOSITING PARKED ６

208 VehicleInstalled REMOVED NOT ASSIGNED ８ 209 VehicleRemoved INSTALLED REMOVED ８ 210 VehicleUnassigned ASSIGNED NOT ASSIGNED ７

６.２.６. Port 状態遷移イベント


PortInService OutOfService None

InService ９ 301

SC は前述の PortTransferState 状態が InService に変化した時に、このイベントを発行する。 PortOutOfService InService

None OutOfService ９ 302

SCは前述のPortTransferState状態がOutOfServiceに変化した時に、このイベントを発行する。


2002/2/8

- 36 -

６.３. 搬送システムのイベントレポート

次表に動的イベントレポートの例として、インテグレータが搬送システムに対して使用するレポート

フォーマットを示す。

レポートID 変数レポートフォーマット

1 EqpName

2 EqpName CommandInfo TransferCompleted Info ResultCode

3 EqpName TransferCommand

>

4 EqpName CarrierID TransferPort


2002/2/8

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レポートID 変数レポートフォーマット 5 EqpName

VehicleID TransferPortList

6 EqpName VehicleID CarrierID TransferPort

7 EqpName VehicleID CommandID

8 EqpName VehicleID

9 EqpName PortID

10 欠番 11 EqpName

CommandInfo TransferCompleted Info

＊注）台車が２キャリア搬送する場合、枠内をもう１回繰り返す。


2002/2/8 - 38 -

７. キャリア位置情報

７.１. SECS メッセージの位置情報

７.１.１. メッセージで使用する位置情報の表し方

メッセージで使用する位置情報の説明する際、次に示す位置情報の名称を用いる。・装置を表す位置情報

装置の種類位置情報の名称 AMHS 以外の装置製造装置 ID 搬送システム搬送システム ID

・装置内のユニークな位置（ポート）を表す位置情報

装置の種類ポートの種類位置情報の名称 AMHS 以外の装置搬入・搬出口 eq port 搬送システム台車上のポート vehicle port


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７.１.２. メッセージ毎の位置情報

搬送システムで使用する位置のデータとキャリアの位置情報を次表に示す。

メッセージの位置データコマンド又はイベント名

位置のデータ名ストッカ入庫口ストッカ出庫口装置搬送台車

SOURCE ・ストッカ ID + loading port

・製造装置 ID + eq port

TRANSFER コマンド

DEST ・ストッカ ID + input port

・製造装置 ID + eq port

CarrierInstalled TransferPort TRANSFER コマンドの SourcePort と同じデータ CarrierRemoved TransferPort TRANSFER コマンドの DestPort と同じデータ

TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferAbortCompleted CarrierLoc 現在の位置情報

TransferAbortFailed TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferAbortInitiated TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferCancelCompleted TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferCancelFailed TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferCancelInitiated TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ

TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferCompleted CarrierLoc 現在の位置情報

TransferInitiated TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ TransferPaused CarrierLoc 現在の位置情報

TransferResumed TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ Transferring TransferInfo TRANSFER コマンドと同じデータ VehicleAcquireStarted TransferPort TRANSFER コマンドの SourcePort と同じデータ VehicleAcquireCompleted TransferPort TRANSFER コマンドの SourcePort と同じデータ VehicleArrived TransferPortList TRANSFER コマンドの SourcePort 又は DestPort と同じデータ VenicleDeparted TransferPortList TRANSFER コマンドの SourcePort と同じデータ


2002/2/8 - 40 -

VehicleDepositStarted TransferPort TRANSFER コマンドの DestPort と同じデータ VehicleDepositCompleted TransferPort TRANSFER コマンドの DestPort と同じデータ


2002/2/8 - 41 -

８. SEMI スタンダードの解釈

本章では SEMI スタンダードの中から解釈を明確にする事項を説明する。

８.１. 搬送システムのコントロール状態モデル

一般的な装置システムのオンライン／オフラインに関する機能はコントロール状態モデルとして

GEM に規定されている。また、搬送システムの状態モデルは TSC 状態モデルとして IBSEM に規定されている。この 2 つの状態モデルを次のように使用する。

搬送システムの状態モデルを次図に示す。

オフライン

装置

オフラインオンライン

移行中

ホスト

オフライン

C

C

C

C ローカル

TSCINIT

PAUSED

AUTO

PAUSING

オンライン

NO ALARM

ALARM

SYSTEM AVAILABILITY

リモート

図５システムのコントロール状態モデル


2002/2/8 - 42 -

８.２. VID，SVID，ECID について

変数データ（V）は次の３種類のデータを示す。 V S V（状態変数データ） E C V（装置定数） D V V A L（データ値） VID、SVID、ECID の関係は次の通りである。・VID の内、SV を指す VID を SVID と呼ぶ。・VID の内、ECV を指す VID を ECID と呼ぶ。


2002/2/8 - 43 -

９. SEMI スタンダードとの差分

本章は、本仕様と IBSEM との差分を示す。

① HSMS のコネクト･モードとしてアクティブモードとパッシブモードの両方を要求（2.1.1. HSMS のコネクト・

モード参照）

② Ux のアイテムフォーマットをU4 に固定（3.1.SECS データアイテム参照）

③ VID を具体的に指定（3.2.変数テーブル参照）

④ CEID を具体的に指定（6.2.搬送システムのイベント参照）

⑤ イベント報告のフォーマットを規定（6.2.搬送システムのイベント、6.3.搬送システムのイベントレポート参照）

ただし、これは GEM の「動的イベントレポート設定変更」機能を否定するものではなく、また GEM のこの機能があれば自動的にここでの規定は満足されるものである。これはホストがどのようにイベント報告を使用す

るかを示したものである。

⑥ 位置情報の指定を追加（7.位置情報参照）

⑦ SEMI スタンダードの解釈を明確化（8.SEMI スタンダードの解釈参照）


2002/2/8 - 44 -

１０. シナリオ

搬送システムの通信シナリオは、AMHS 通信シナリオ仕様書の次の章を参照すること。・第２章共通シナリオ

・第４章搬送システムシナリオ


2002/2/8 - 45 -

１１. 改訂履歴

版日付更新個所 0.5 1999/12/08 新規作成 1.0 1999/12/27 以下の章を追加

7. ＳＥＭＩスタンダードの解釈以下を更新

3.2.2. 搬送システムが使用する変数：ControlState, VehicleState

6.2.3. 搬送コマンド状態遷移イベント：TransferAbort-Completed, TransferCancelCompleted

8.1.13. PAUSE とRESUME 8.1.14.通信失敗からの再接続 1.1 2000/2/25 以下の章を追加

6.2.6 Selete 仕様独自定義変数の説明を変更 7. 位置情報を追加

以下を更新 2.2.1 アラームに関する記述を削除 2.2.2 アラームに関する記述を削除 2.2.2 「状態モデルを所有する実体」の図を変更 2.2.2 「使用状態」の説明を追加 3.1. SECS データアイテムの"DATAID","HCACK", "OBJESPEC"の説明を変更 3.1 SECS データアイテムの"DATALENGTH"," GRANT", "GRANT6"を削除 3.2.2 表の Priority の説明を変更 3.2.2 Selete 仕様独自定義の表を変更 3.2.3 Selete 仕様独自定義変数の説明を変更 4.1 メッセージ一覧からS2F39/F40、S6F5/F6 を削除 4.1 S2F42,S2F50 のデータ例を変更 5.1,5.2,5.3,5.4 S2F42 のフォーマット例を変更 5.5 S2F50 のフォーマット例を変更 6.2. イベントのレポートID を修正 6.3. イベントのレポート種類を追加 7.1.2 メッセージ毎の位置情報の表を変更 9. シナリオの内容をAMHS 通信シナリオ仕様書へ移動

1.2 2000/5/26 以下を更新 3.1 「表の項目説明」のフォーマットの説明を変更 4.1 S9F1,S9F3,S9F5,S9F7,S9F9,S9F11 の送信方向を修正 6.1 図「イベントCEID 体系」の注意事項を修正 6.2.1 表の（CEID=3）の新状態を修正 7.1.2 表をイベント名でソート

1.3 2000/8/28 2.2.2 図 3 の内容を変更。TSC 状態と Control 状態の独立


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3.1 表 3 に ECNAME を追加。 3.2.2 表5の内容を変更。 VID6 ControlStateの説明64-67

を削除 3.2.2 表６に VID=“73”, 変数名= “TSC 状態”, ｸﾗｽ =

“SV ”, ﾌｫｰﾏｯﾄ= “ ”, 説明= “1=TSCInit 2=Paused 3=Auto 4=Pausing” を追加

6.2.5. 表の内容を変更。204 の新状態 ASSIGNED →ENROUTE 208 の新状態 INSTALLED → NOT ASSIGNED

8.1 ｢TSC状態モデルは GEM のコントロール状態モデルの｢オンラインリモート」に置き換わる。｣を削除

8.1 図 4 の内容を変更 2.0 2000/10/31 以下の章を追加。

2.1.1 “HSMS のコネクト・モード” 3.2.3.1 “PortID と PortState” (“TSAvail”は削除) 3.2.3.2 “AllPortState と PortIDList” 9 “SEMI スタンダードとの差分” (“シナリオ”は 10章に、“改訂履歴”は 11 章にそ

れぞれ移動) 以下を更新

3.1 「（ただし、Ux についてはホストから送信する場合は U2 で送信する。）」を削除

3.1 表３の内容を変更。ALID、CEID、DATAID、ECID、RPTID、SVID、VID のフォーマットを U4 に変更

3.2.2 表７ 201.TSAvail を削除して欠番とし、202.AllPortState,203.PortID,204.PortState,205.PortIDList を追加

4.1 メッセージ一覧の 3.1 に該当する内容を変更 4.1 メッセージ一覧からS6F15/16、S6F19/20 を削除 5.5 フォーマット文中の 3.1 に該当する個所を変更 6.2.3 表の 101 TransferAbortCompleted のレポート ID を

10 に変更 6.2.6 表の 501.TSAvailChanged を削除して欠番とし、

502.PortsAvailable、503.PortsUnavailable を追加 6.3 表のレポート ID２のフォーマットに現在位置の

取得のための CarrierLoc を追加 6.3 表のレポート ID９のフォーマットをPortIDListの

取得に変更 6.3 表に TransferAbortCompleted用のレポート ID10を

追加 7.1.2 レポート ID の変更に伴うイベントの位置データ

を修正 2.1 2001/1/9 以下を更新

1.2 「なお、今回の要求仕様は…」以降を削除


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1.3 参考文献から「AMHS 統合システムエミュレータ要求仕様書」を削除。「AMHS 通信シナリオ仕様書」を追加

2.2.2 図 3 搬送システム内にポート状態を追加、使用状態を Block に移動

3.2. 「PortState」を「PortAvail」に修正「AllPortState」を「AllPortAvail」に修正 3.2.2 表 7 AllPortAvail の VID を 202→205 に、PortID

の VID を 203→206に、PortAvailの VID を 204→207 に修正。202 AllBlockAvail、203 BlockAvail、204 BlockID を追加。

3.2.3 全面見直し 4.1 「エミュレータ」を「インテグレータ」に修正 6.2.3 101 TransferAbortCompletedのレポート IDを 11に

変更 6.2.6 PortsAvailable 、 PortsUnavailable を削除し、

PortAvailChanged、BlockAvailChanged を追加 6.3 レポート ID9, 10, 11 を更新

2.2 2001/2/22 全般的に「エミュレータ」を「インテグレータ」に修正 1.3.参考文献に「Selete インテグレータ要求仕様書」「Selete AMHS 通信テスト仕様書」を追加 2.2.2. 状態モデルを所有する実体の「3.2.3.搬送システムが使用するSelete 仕様独自定義の変数」を「3.2.3.搬送システムが使用する Selete 独自定義の変数」に修正表 7 「搬送システムが使用する Selete 仕様独自定義の変数」を「搬送システムが使用する Selete 独自定義の変数」に修正 3.2.3. 「搬送システムが使用するSelete 仕様独自定義の変数」を「搬送システムが使用する Selete 独自定義の変数」に修正 3.2.3.1. BlockAvailとAllBlockAvail 表８ BlockAvailの状態「MTSC」を「インテグレータ」に修正。 6.2.1. 「コントロール関連イベント」を「コントロール状態遷移イベント」に修正 6.2.2. 「TSC遷移イベント」を「TSC 状態遷移イベント」に修正 6.2.6. 「Selete 独自仕様定義のイベント」を「Selete 独自定義のイベント」に修正 7. 「位置情報」を「キャリア位置情報」に修正

2.3 2001/08/31 2.2. 図 2 StockerSEM における GEM 準拠項目の変数データ収集を”×”に変更 2.2.2 図 3 状態モデルを所有する実体を変更「使用状態」の記述を削除


2002/2/8 - 48 -

3.2.2 表６搬送システムが使用する IBSEM 定義の変数に VID74,75,76 を追加 3.2.2 表 7 搬送システムが使用する Selete 独自定義の変数を削除 3.2.3 「搬送システムが使用する Selete 独自定義の変数」を「PortTransferState と CurrentPortStates」の説明に変更 6.2.2 CEID51,52 に注釈追加 6.2.6 Selete 独自定義イベントを削除 6.2.6 Port 状態遷移イベントを追加 6.3 レポート 2,9,11 を変更、2,11 に注釈を追加 6.3 レポート 10 を削除 9 「独自変数を定義．．．．．」を削除 9 「独自イベント報告を定義．．．．．．．」を削除

2.31 2002/2/8 4.1 表 8 Ｓ１Ｆ３／４のデータ例を置換

１．序論1.1.目的1.2.背景1.3.参考文献

２．SEMIスタンダードへの準拠2.1.SECS通信2.1.1.HSMSのコネクト・モード

2.2.装置モデル2.2.1.状態モデル一覧2.2.2.状態モデルを所有する実体

３．データ項目3.1.SECSデータアイテム3.2.変数テーブル3.2.1.変数のVID体系3.2.2.搬送システムが使用する変数3.2.3.PortTransferStateとCurrentPortStates

４．SECSメッセージ4.1.メッセージ一覧

５．リモートコマンド5.1.ABORT5.2.CANCEL5.3.PAUSE5.4.RESUME5.5.TRANSFER

６．イベント6.1.イベントのCEID体系6.2.搬送システムのイベント6.2.1.コントロール状態遷移イベント6.2.2.TSC状態遷移イベント6.2.3.搬送コマンド状態遷移イベント6.2.4.キャリア状態遷移イベント6.2.5.台車状態遷移イベント6.2.6.Port状態遷移イベント

6.3.搬送システムのイベントレポート

７．キャリア位置情報7.1.SECSメッセージの位置情報7.1.1.メッセージで使用する位置情報の表し方7.1.2.メッセージ毎の位置情報

８．SEMIスタンダードの解釈8.1.搬送システムのコントロール状態モデル8.2.VID，SVID，ECIDについて

９．SEMIスタンダードとの差分１０．シナリオ１１．改訂履歴

2001-08-22T17:51:06+0900aaaaaaaaaaaa

工程内／工程間搬送システム オンライン要求仕様書...図4 tscとtransfer...

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