真空パッド - smc corporationca01.smcworld.com/catalog/best-5-jp/pdf/4-p1121-1173-zp3.pdfm3, m5...
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ZP3 Series
真空パッド
ø1.5, ø2, ø3.5, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16
パッド径材質形状 ページ
ページ
ø1.5 ø2 ø3.5 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16
ベロウ形
平形溝付
NBR
シリコーンゴム
ウレタンゴム
FKM
導電性NBR
導電性シリコーンゴム
バッファなし(アダプタ付)
バッファなし(アダプタ付)
バッファ付ストローク 3mm 6mm10mm15mm20mm
バッファ付ストローク 3mm 6mm10mm15mm20mm
P.1122
P.1124
P.1136
P.1146
一般的なワーク吸着用。ワーク吸着面が平面で変形等ない場合。
ワークが変形しやすい場合。ワーク離脱を確実に行いたい場合。
吸着面が斜めのワークの場合。
真空取出方向 バッファの有無 真空取出口
おねじ
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
M3, M5
M3, M5
ø2, ø4, ø6
ソフトナイロン・ポリウレタンチューブø4, ø6
ポリウレタンチューブø2
ソフトナイロン・ポリウレタンチューブø4, ø6
ポリウレタンチューブø2
ソフトナイロン・ポリウレタンチューブø4, ø6
ポリウレタンチューブø2
M3, M5
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
M3, M5
P.1152ソフトナイロン・ポリウレタンチューブø4, ø6
ポリウレタンチューブø2
ø2, ø4, ø6
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
M3, M5
ø2, ø4, ø6
ø2, ø4, ø6
構造図 P.1162アダプタ適応パッド一覧 P.1163バッファ適応パッド一覧 P.1164
取付用アダプタ品番 P.1168バッファAss'y品番 P.1170
縦
縦
横
横
ZP3-T □□-
ZP3-T □□- □-□J
JBK
ZP3-Y □□- □-□J
JBK
ZP3-Y □□-□-□
平形
RoHS
1121
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ø3
ø2
ø1.5
0.3
10.5
ø2ø1.5
ø0.8
3
ø3ø2
ø1.5
10.5
0.3
ø2.5
ø2
ø0.8
3
ø3ø2
ø1.5
3
ø0.8
ø3.5ø4
0.3
0.5
1
ø7
ø5
ø3
21.5
0.5
ø4.5
ø4
ø1.2
ø7
ø5
ø3
21.5
0.8
ø6.5
ø6
ø2
6
ø7
ø5
ø3
21.5
0.8
ø8.5
ø8
ø2
66
外形寸法図/パッド単体
ZP3-015U□ [質量:0.1g] ZP3-02U□ [質量:0.1g] ZP3-035U□ [質量:0.1g]
ZP3-04UM□ [質量:0.3g] ZP3-06UM□ [質量:0.3g] ZP3-08UM□ [質量:0.3g]
U 平形UM 平形溝付B ベロウ形
小形パッド記号形状
型式表示方法
ZP3 015 Uパッド材質
NSUF
GNGS
材質NBR
シリコーンゴムウレタンゴムFKM
導電性NBR導電性シリコーンゴム
記号
Nパッド単体
パッド径
01502035040608101316
パッド径ø1.5ø2
ø3.5ø4ø6ø8
ø10ø13ø16
記号
パッド形状―パッド径
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
015
●――
02
●――
035
●――
04
―●●
06
―●●
08
―●●
10
―●●
13
―●●
16
―●●
パッド径(記号)パッド形状
ø1.5, ø2, ø3.5, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16パッド径
平形
平形溝付
※販売単位ø1.5~ø8 :10個ø10~ø16: 5個
1122
ø9ø6ø4
22
1
ø11ø10
ø2
7
ø9ø6
ø4
7
ø14ø13
ø2
1.2
22
7
ø4ø6
ø9
22
1.2
ø17ø16
ø2
ø7ø5
ø3
21.5
2.2
ø9
ø4ø1.8
8
ø6ø4
22
2
ø11ø10ø6
ø2
10
ø7ø5
ø3
8
ø7ø6
ø3.4ø2
3 1.5
2
ø9ø8
ø5.2ø2
3
8
ø7ø5
ø3
21.5
ø9ø6ø4
10
22
2
ø14ø13ø8.4ø3
10
ø4ø6ø9
22
2
ø17ø16
ø11.4ø3
ø4.5
0.41.5
ø1.5ø0.8
ø2
R
R
R
1.4
3.5
R R
R
R
R
ø5ø3
ø1.8
RR
R
R
ø6ø4
ø1.8
1.8
4
R
外形寸法図/パッド単体
ZP3-10UM□ [質量:0.6g] ZP3-13UM□ [質量:0.7g] ZP3-16UM□ [質量:0.8g]
ZP3-04B□ [質量:0.3g] ZP3-06B□ [質量:0.3g] ZP3-08B□ [質量:0.4g]
ZP3-10B□ [質量:0.8g] ZP3-13B□ [質量:1.0g] ZP3-16B□ [質量:1.1g]
適応パッド015U/02U/035U
適応パッド04UM/06UM/08UM/04B/06B/08B
適応パッド10UM/13UM/16UM/10B/13B/16B
お客様にて金具を製作される場合、下記寸法をご参考ください。
パッド取付部金具寸法
注)R部は角のないよう滑らかにとること。 ※適用アダプタは、P.1168、1169をご参照ください。
平形溝付
ベロウ形
1123
パッド単体 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
六角対辺5M3×0.5
8
32.5
2.5
2.5
2.5
ø2
0.3
六角対辺5M3×0.5
8
0.3
ø2
六角対辺5M3×0.5
3
8
ø4
ø3.5
0.3
ø1.5
ø0.8
ø2.5
ø0.8 ø0.8
2.5
2.5
3
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口縦
交換品番
ZP3-T015U□-A3[質量:0.6g]
ZP3-T02U□-A3[質量:0.6g]
ZP3-T035U□-A3[質量:0.6g]
ZP3 T 015 U A6
パッド材質(□)
NSUF
GNGS
材質NBR
シリコーンゴムウレタンゴムFKM
導電性NBR導電性シリコーンゴム
記号
N縦方向真空取出形/アダプタ付
取付ねじ径
B3
A3※ A5※
A6A10A12
B3※ B5※めねじ
おねじ
取付接続ねじ径記号 ø1.5
~ø3.5M3×0.5M5×0.8M6×0.75M10×1M12×1M3×0.5M5×0.8
●―●――●―
ø4~ø8―●―●――●
ø10~ø16―●――●―●
真空取出口(◇)
M3×0.5 めねじM5×0.8 めねじ
ø2チューブ/バーブ継手※1ø4チューブ/バーブ継手※2ø6チューブ/バーブ継手※2
ø2チューブø4チューブø6チューブ
―
B3B5U2U4U6020406無記号
取付ねじ径
A3/A5/B3/B5の場合
A6●―●●―●●―
型式表示方法
パッド形状―パッド径
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
015
●――
02
●――
035
●――
04
―●●
06
―●●
パッド径(記号)パッド形状
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
08
―●●
10
―●●
13
―●●
16
―●●
パッド径(記号)パッド形状
A10―●●●―●●―
A12―●●●●●●●
※1 ポリウレタンチューブを配管※2 ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管
ZP3-T(04・06・08)UM□-A5ZP3-T(04・06・08)B□-A5ZP3-T(04・06・08)UM□-B5ZP3-T(04・06・08)B□-B5ZP3-T(04・06・08)UM□-A10-◇ZP3-T(04・06・08)B□-A10-◇ZP3-T(04・06・08)UM□-A10-04ZP3-T(04・06・08)B□-A10-04
ZP3-(04・06・08)UM□ZP3-(04・06・08)B□ZP3-(04・06・08)UM□ZP3-(04・06・08)B□ZP3-(04・06・08)UM□ZP3-(04・06・08)B□ZP3-(04・06・08)UM□ZP3-(04・06・08)B□
ZP3A-T2-A5
ZP3A-T2-B5
ZP3A-T2-A10-B5
ZP3A-T2-A10-04
アダプタ品番パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X83,02:KJH02-M5
パッド径:ø4~ø8
ZP3-T(015・02・035)U□-A3ZP3-T(015・02・035)U□-B3ZP3-T(015・02・035)U□-A6-◇
ZP3-(015・02・035)U□ZP3A-T1-A3ZP3A-T1-B3ZP3A-T1-A6-B3
アダプタ品番パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-3AU-2,U4:M-3AU-4-X8302:KJH02-M3,04:KJH04-M3-X83
パッド径:ø1.5~ø3.5
ZP3-T(10・13・16)UM□-A5ZP3-T(10・13・16)B□-A5ZP3-T(10・13・16)UM□-B5ZP3-T(10・13・16)B□-B5ZP3-T(10・13・16)UM□-A12-◇ZP3-T(10・13・16)B□-A12-◇ZP3-T(10・13・16)UM□-A12-04ZP3-T(10・13・16)B□-A12-04ZP3-T(10・13・16)UM□-A12-06ZP3-T(10・13・16)B□-A12-06
ZP3-(10・13・16)UM□ZP3-(10・13・16)B□ZP3-(10・13・16)UM□ZP3-(10・13・16)B□ZP3-(10・13・16)UM□ZP3-(10・13・16)B□ZP3-(10・13・16)UM□ZP3-(10・13・16)B□ZP3-(10・13・16)UM□ZP3-(10・13・16)B□
ZP3A-T3-A5
ZP3A-T3-B5
ZP3A-T3-A12-B5
ZP3A-T3-A12-04
ZP3A-T3-A12-06
アダプタ品番パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X83U6:M-5AU-6-X83,02:KJH02-M5
パッド径:ø10~ø16
※印は、真空取出口は無記号
記号 真空取出口
パッド径 ø1.5~ø3.5パッド形状 平形
真空取出方向
T方向縦
記号
パッド径
08101316
パッド径ø8
ø10ø13ø16
記号015020350406
パッド径ø1.5ø2
ø3.5ø4ø6
記号
1124
ZP3 Series
32
22
12
15
六角対辺8
二面幅5
M6×0.75 M3×0.5
3.5
0.3
ø2
ø1.5
ø0.8
六角対辺8
M6×0.75 M3×0.5
3.5
0.3
ø2
ø2.5
ø0.8
22
六角対辺8
M6×0.75 M3×0.5
3.5
0.3
ø4
ø3.5
ø0.8
ø0.9
(6.5)
六角対辺4.5
ø1.2
(7.4) 六角対辺5
六角対辺5.5
(10)
六角対辺8
(13.7)
六角対辺5
3.5
8.5
3
ø3.5
ø4
0.3
六角対辺5
3.5
8.5
3
0.3
ø2
六角対辺5
3.5
8.5
3
0.3
ø2
M3×0.5
ø1.5
ø0.8
M3×0.5
ø2.5
ø0.8
M3×0.5
ø0.8
10
32
12
15
二面幅5
10
32
12
15
二面幅510
22
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T015U□-A6-B3[質量:2.8g]
ZP3-T02U□-A6-B3[質量:2.8g]
ZP3-T035U□-A6-B3[質量:2.8g]
縦
M-3AU-2[質量:0.7g]※2
ZP3-T015U□-A6-U2ZP3-T02U□-A6-U2ZP3-T035U□-A6-U2
ZP3-T015U□-A6-U4ZP3-T02U□-A6-U4ZP3-T035U□-A6-U4
M-3AU-4-X83[質量:0.7g]※2
ZP3-T015U□-B3[質量:0.9g]
ZP3-T02U□-B3[質量:0.9g]
ZP3-T035U□-B3[質量:0.9g]
パッド径 ø1.5~ø3.5パッド形状 平形
KJH02-M3[質量:1.1g]※2
ZP3-T015U□-A6-02ZP3-T02U□-A6-02ZP3-T035U□-A6-02
ZP3-T015U□-A6-04ZP3-T02U□-A6-04ZP3-T035U□-A6-04
KJH04-M3-X83[質量:1.9g]※2
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲▲U□-A6-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲▲U□-A6-B3」に継手の質量を加算ください。
真空取出口寸法図
バーブ継手
ワンタッチ管継手
1125
縦アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
62.5
3
11.5
六角対辺7M5×0.8
0.5
ø4.5
ø1.26
2.5
3
11.5
六角対辺7M5×0.8
0.8
ø6.5
62.5
3
11.5
六角対辺7M5×0.8
0.8
ø8.5
ø1.8ø1.8
ø6 ø8ø4
6
13.5
六角対辺7M5×0.8
50.5
ø4.5
ø1.2
6
13.5
六角対辺7M5×0.8
50.8
ø6.5
ø1.8
6
13.5
六角対辺7M5×0.8
50.8
ø8.5
ø1.8
ø4 ø6 ø8
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T04UM□-A5[質量:1.7g]
ZP3-T06UM□-A5[質量:1.7g]
ZP3-T08UM□-A5[質量:1.7g]
縦
ZP3-T04UM□-B5[質量:2.3g]
ZP3-T06UM□-B5[質量:2.3g]
ZP3-T08UM□-B5[質量:2.3g]
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付
1126
ZP3 Series
ZP3-T08UM□-A10-04[質量:10.2g]
ZP3-T06UM□-A10-04[質量:10.2g]
ZP3-T04UM□-A10-04[質量:10.2g]
20
12
14
63
3
六角対辺14
二面幅7 二面幅7 二面幅7
M10×1
M5×0.8
5
ø4.5
六角対辺14
M10×1
20
12
14
63
3
ø6.5
5
M5×0.8 M5×0.8六角対辺14
M10×1
20
33
12
14
222
6
ø8.5
5
0.5
ø4
ø1.2 ø1.8
ø6 0.8
0.8
ø8
ø1.8
(6.5)
ø0.9
六角対辺7
六角対辺7(8.7)
(8.5) 六角対辺7
ø1.8
六角対辺14 適用チューブ径:ø4
M10×1ø8
0.5
ø4.5
ø4
ø1.2
二面幅7
33
12
2
617
23
六角対辺14 適用チューブ径:ø4
M10×1ø8
0.8
ø6.5
ø6
ø1.8
二面幅7
33
1217
2
6
23
六角対辺14 適用チューブ径:ø4
M10×1ø8
0.8
ø8.5
ø8
ø1.8
二面幅7
33
12
2
17
23
6
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口縦ZP3-T04UM□-A10-B5
[質量:11.0g]ZP3-T06UM□-A10-B5
[質量:11.0g]ZP3-T08UM□-A10-B5
[質量:11.0g]
M-5AU-2[質量:1.5g]※2 M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T04UM□-A10-U2ZP3-T06UM□-A10-U2ZP3-T08UM□-A10-U2
ZP3-T04UM□-A10-U4ZP3-T06UM□-A10-U4ZP3-T08UM□-A10-U4
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T04UM□-A10-02ZP3-T06UM□-A10-02ZP3-T08UM□-A10-02
真空取出口寸法図
バーブ継手
ワンタッチ管継手
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□-A10-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□-A10-B5」に継手の質量を加算ください。
1127
縦アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
7
14.5
六角対辺10M5×0.8
5
1.2
ø17
ø1.8
7
14.5
六角対辺10M5×0.8
51.2
ø14
ø1.8
ø11
ø1.8
7
14.5
六角対辺10M5×0.8
51
ø16ø13ø10
72.5
3
12.5
六角対辺10M5×0.8
1.2
ø17
ø1.8
72.5
3
12.5
六角対辺10M5×0.8
1.2
ø14
ø1.8
72.5
3
12.5
六角対辺10M5×0.8
1
ø11
ø1.8
ø16ø13ø10
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T10UM□-B5[質量:5.7g]
ZP3-T13UM□-B5[質量:5.8g]
ZP3-T16UM□-B5[質量:5.9g]
縦ZP3-T10UM□-A5[質量:3.0g]
ZP3-T13UM□-A5[質量:3.1g]
ZP3-T16UM□-A5[質量:3.2g]
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付
1128
ZP3 Series
30
12
18 22
7
5
30
18
12
7
ø11
ø10
六角対辺14
六角対辺14
M12×1
M5×0.8 M5×0.8
六角対辺14
M12×1
5ø14
ø13
ø1.8 1 ø1.8
1.2
六角対辺1430
18
12
7
5 5 5
ø17
ø16
ø1.8
M5×0.8
5
1.2
M12×1
六角対辺7 ø0.9
(6.5)
(8.5)
ø1.8
六角対辺7
ø2.5
六角対辺7
(10.5)
六角対辺7
(8.7)
22
六角対辺14
22
六角対辺14
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口縦ZP3-T10UM□-A12-B5
[質量:18.8g]ZP3-T13UM□-A12-B5
[質量:18.9g]ZP3-T16UM□-A12-B5
[質量:19.0g]
真空取出口寸法図
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T10UM□-A12-U2ZP3-T13UM□-A12-U2ZP3-T16UM□-A12-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T10UM□-A12-U4ZP3-T13UM□-A12-U4ZP3-T16UM□-A12-U4
M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-T10UM□-A12-U6ZP3-T13UM□-A12-U6ZP3-T16UM□-A12-U6
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T10UM□-A12-02ZP3-T13UM□-A12-02ZP3-T16UM□-A12-02ワ
ンタッチ管継手
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□-A12-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□-A12-B5」に継手の質量を加算ください。
1129
縦アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ZP3-T16UM□-A12-04[質量:20.4g]
ZP3-T13UM□-A12-04[質量:20.3g]
ZP3-T10UM□-A12-04[質量:20.2g]
六角対辺14 適用チューブ径:ø4
M12×1
1.2
ø17ø16
ø1.8
六角対辺14
22
57
12
18
33
1.2
M12×1
適用チューブ径:ø4六角対辺14
ø13ø14
ø1.8
六角対辺142
25
7
12
18
33
適用チューブ径:ø4六角対辺14
M12×1
1
ø11ø10
ø1.8
六角対辺14
22
57
12
18
33
33.2
18
12
75 5 5
22
適用チューブ径:ø6
ø11
ø10
ø1.8 1
六角対辺14
M12×1
六角対辺14
適用チューブ径:ø6
六角対辺14
六角対辺14
2218
12
7
33.2
ø14
ø13
ø1.8
1.2
M12×1
33.2
22
7
12
18
適用チューブ径:ø6
六角対辺14
M12×1
六角対辺14
ø17
ø16
ø1.8
1.2
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口縦
ZP3-T10UM□-A12-06[質量:18.1g]
ZP3-T13UM□-A12-06[質量:18.2g]
ZP3-T16UM□-A12-06[質量:18.3g]
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付
1130
ZP3 Series
M5×0.8六角対辺7
38
2.5
13.5
ø4.5
ø4
ø1.8
M5×0.8六角対辺7
38
2.5
13.5
3
ø7ø6
ø3.4
ø1.8
M5×0.8六角対辺7
38
2.5
13.5
3
ø9
ø8
ø5.2ø1.8
2.2
M5×0.8
5
2.2
8
15.5
ø4.5
ø4
ø1.8
六角対辺7 M5×0.8六角対辺7
53
8
15.5
ø7
ø6
ø3.4
ø1.8
8
15.5
六角対辺7M5×0.8
53
ø9
ø8
ø5.2
ø1.8
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口縦ZP3-T04B□-A5[質量:1.7g]
ZP3-T06B□-A5[質量:1.7g]
ZP3-T08B□-A5[質量:1.8g]
ZP3-T04B□-B5[質量:2.3g]
ZP3-T06B□-B5[質量:2.3g]
ZP3-T08B□-B5[質量:2.4g]
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形
1131
縦アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ZP3-T08B□-A10-04[質量:10.3g]
ZP3-T06B□-A10-04[質量:10.2g]
ZP3-T04B□-A10-04[質量:10.2g]
M10×1
六角対辺14
33
812
22
ø1.8
ø4
ø4.5
2.2
5
M5×0.8 六角対辺14
M10×1
M5×0.8
5
83
3
12
22
3ø7
ø6
ø3.4
ø1.8
M10×1
M5×0.8
5
3
ø9
ø8
ø5.2ø1.8
82
22
12
14
2
14
2
14
33
六角対辺14
(6.5)
ø0.9
六角対辺7
ø1.8
六角対辺7
(8.7)
六角対辺7
(8.5)
六角対辺14 適用チューブ径:ø4
M10×1
ø8
2.2
ø4.5
ø4
ø1.8
二面幅7
33
12
2
17
8
25
適用チューブ径:ø4六角対辺14
M10×1
ø8
3
ø7
ø6
ø3.4
ø1.8
二面幅7
33
12
2
17
8
25
適用チューブ径:ø4六角対辺14
M10×1
ø8
3
ø9
ø8
ø5.2
ø1.8
二面幅7
33
12
2
17
8
25
二面幅7 二面幅7 二面幅7
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T04B□-A10-B5[質量:11.0g]
ZP3-T06B□-A10-B5[質量:11.0g]
ZP3-T08B□-A10-B5[質量:11.1g]
縦
M-5AU-2[質量:1.5g]※2 M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T04B□-A10-U2ZP3-T06B□-A10-U2ZP3-T08B□-A10-U2
ZP3-T04B□-A10-U4ZP3-T06B□-A10-U4ZP3-T08B□-A10-U4
KJH02-M5[質量:1.8g]※2
ZP3-T04B□-A10-02ZP3-T06B□-A10-02ZP3-T08B□-A10-02
真空取出口寸法図
バーブ継手
ワンタッチ管継手
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□-A10-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□-A10-B5」に継手の質量を加算ください。
1132
ZP3 Series
52
M5×0.8六角対辺10
10
17.5
ø11
ø10
ø6
ø1.8
5
M5×0.8六角対辺10
17.5
10
ø14
ø13
ø8.4
ø1.8
2
5
M5×0.8六角対辺10
17.5
10
ø17ø16
ø11.4
ø1.8
2
M5×0.8六角対辺10
310
2.5
15.5
ø11ø10ø6
ø1.8
2
ø14ø13
ø8.4
ø1.8
2
10
2.5
15.5
3
六角対辺10 M5×0.8
ø17ø16
ø11.4ø1.8
2
M5×0.8六角対辺10
310
2.5
15.5
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T10B□-B5[質量:5.9g]
ZP3-T13B□-B5[質量:6.1g]
ZP3-T16B□-B5[質量:6.2g]
縦ZP3-T10B□-A5[質量:3.2g]
ZP3-T13B□-A5[質量:3.4g]
ZP3-T16B□-A5[質量:3.5g]
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形
1133
縦アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
33
ø11ø10ø6
ø1.8
25
M5×0.8
18
15
10
六角対辺14
M12×1
22
六角対辺14
18
33
15
10
六角対辺14
M12×1
六角対辺14
M5×0.8
ø14ø13ø8.4
ø1.8
2
18
33
15
10
5 5 5
六角対辺14
M12×1
六角対辺14
M5×0.8
5
2
ø17ø16
ø11.4ø1.8
5
(6.5)
ø0.9六角対辺7
(8.5)
ø1.8
六角対辺7
(10.5)
六角対辺7
(8.7)
六角対辺7
ø2.5
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T10B□-A12-B5[質量:19.0g]
ZP3-T13B□-A12-B5[質量:19.2g]
ZP3-T16B□-A12-B5[質量:19.3g]
縦
真空取出口寸法図
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T10B□-A12-U2ZP3-T13B□-A12-U2ZP3-T16B□-A12-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T10B□-A12-U4ZP3-T13B□-A12-U4ZP3-T16B□-A12-U4
M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-T10B□-A12-U6ZP3-T13B□-A12-U6ZP3-T16B□-A12-U6
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T10B□-A12-02ZP3-T13B□-A12-02ZP3-T16B□-A12-02ワ
ンタッチ管継手
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□-A12-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□-A12-B5」に継手の質量を加算ください。
1134
ZP3 Series
適用チューブ径:ø4六角対辺14
M12×1
ø17ø16
ø11.4ø1.8
2
六角対辺14
10
515
22
18
36
適用チューブ径:ø4六角対辺14
M12×1
ø142
ø13ø8.4
ø1.8
六角対辺1410
515
22
18
36
適用チューブ径:ø4六角対辺14
M12×1
2
ø11ø10ø6
ø1.8
六角対辺14
10
515
22
18
36
適用チューブ径:ø6
六角対辺14
六角対辺14
M12×1
1015
36.2
18 22
ø11ø10ø6
ø1.8
2
36.2
15
10
ø14ø13ø8.4
ø1.8
2
六角対辺14
M12×1
六角対辺14
2218
適用チューブ径:ø6
36.2
15
10
5 5 5
六角対辺14
M12×1
六角対辺14
適用チューブ径:ø6
2218
ø17ø16
ø11.4ø1.8
2
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-T10B□-A12-06[質量:18.3g]
ZP3-T13B□-A12-06[質量:18.5g]
ZP3-T16B□-A12-06[質量:18.6g]
縦ZP3-T16B□-A12-04[質量:20.7g]
ZP3-T13B□-A12-04[質量:20.6g]
ZP3-T10B□-A12-04[質量:20.4g]
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形
1135
縦アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ZP3 T 015 U J 3 B3N
真空取出口(◇)
B3B5U2U4U6020406
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
接続ねじ径/配管記号
M3×0.5M5×0.8
ø2チューブ※1ø4チューブ※2ø6チューブ※2
ø2チューブø4チューブø6チューブ
●―●●―●●―
ø4~ø8
ø1.5~ø3.5
―●●●―●●―
ø10~ø16―●●●●●●●
型式表示方法
パッド径
01502035040608101316
パッド径ø1.5ø2
ø3.5ø4ø6ø8
ø10ø13ø16
記号
バッファ仕様(☆)J
JBK
回り止めなし回り止めなし、ブッシュ入り
回り止め付
※1 ポリウレタンチューブを配管。※2 ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管。
※適用ストロークについては、下記「仕様」を参照してください。
ストローク(■)―バッファ仕様
3 6101520
●●―――
ストローク ø1.5~ø3.5J J JBK K
●●―――
ø4~ø16
●●●――
―――●●
●●●●●
パッド形状―パッド径
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
015
●――
02
●――
035
●――
04
―●●
06
―●●
パッド径(記号)パッド形状
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
08
―●●
10
―●●
13
―●●
16
―●●
パッド径(記号)パッド形状
パッド材質(□)
NSUF
GNGS
材質NBR
シリコーンゴムウレタンゴムFKM
導電性NBR導電性シリコーンゴム
記号
縦方向真空取出形/バッファ付
真空取出方向
T方向縦
記号
仕様
JKJ
JBK
ø1.5~ø3.5
ø4~ø16
M6×0.751.5~1.8
2.0~2.50.2
0.5
0.4
M8×0.75
ストローク(mm)
締付トルク(N・m) 取付接続 スプリング反力
0ストローク時(N) フルストローク時(N)バッファ仕様パッド径
3, 6
3, 6, 1015, 20
3, 6, 10, 15, 20
交換品番
ZP3-T(04/06/08)UM□(J/K)3-◇ZP3-T(04/06/08)B□(J/K)3-◇ZP3-T(04/06/08)UM□(J/K)6-◇ZP3-T(04/06/08)B□(J/K)6-◇ZP3-T(04/06/08)UM□(J/K)10-◇ZP3-T(04/06/08)B□(J/K)10-◇ZP3-T(04/06/08)UM□(JB/K)15-◇ZP3-T(04/06/08)B□(JB/K)15-◇ZP3-T(04/06/08)UM□(JB/K)20-◇ZP3-T(04/06/08)B□(JB/K)20-◇
ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□
ZP3B-T2A(J/K)3-B5
ZP3B-T2A(J/K)6-B5
ZP3B-T2A(J/K)10-B5
ZP3B-T2A(JB/K)15-B5
ZP3B-T2A(JB/K)20-B5
バッファ Ass'y品番注3)パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X8302:KJH02-M5,04:KJH04-M5
パッド径:ø4~ø8
ZP3-T(015/02/035)U□(J/K)3-◇ZP3-T(015/02/035)U□(J/K)6-◇ ZP3-(015/02/035)U□ ZP3B-T1(J/K)3-B3
ZP3B-T1(J/K)6-B3
バッファ Ass'y品番注3)パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-3AU-2,U4:M-3AU-4-X8302:KJH02-M3,04:KJH04-M3-X83
パッド径:ø1.5~ø3.5
ZP3-T(10/13/16)UM□(J/K)3-◇ZP3-T(10/13/16)B□(J/K)3-◇ZP3-T(10/13/16)UM□(J/K)6-◇ZP3-T(10/13/16)B□(J/K)6-◇ZP3-T(10/13/16)UM□(J/K)10-◇ZP3-T(10/13/16)B□(J/K)10-◇ZP3-T(10/13/16)UM□(JB/K)15-◇ZP3-T(10/13/16)B□(JB/K)15-◇ZP3-T(10/13/16)UM□(JB/K)20-◇ZP3-T(10/13/16)B□(JB/K)20-◇
ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□
ZP3B-T2B(J/K)3-B5
ZP3B-T2B(J/K)6-B5
ZP3B-T2B(J/K)10-B5
ZP3B-T2B(JB/K)15-B5
ZP3B-T2B(JB/K)20-B5
バッファ Ass'y品番注3)パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X83U6:M-5AU-6-X83,02:KJH02-M504:KJH04-M5,06:KJH06-M5
パッド径:ø10~ø16
1136
ZP3 Series
ADB
22
ø2
ø1.5
ø0.8 0.3
M6×0.75
ø5
ø2.5
ø0.8
ø2
0.3
3
ADB
22
ø5
M6×0.75
ø5
22
3
ADB
M6×0.75
0.3ø0.8
ø4
ø3.5
3
二面幅4
二面幅4
六角対辺8
六角対辺8
二面幅4
六角対辺8
六角対辺4.5
(10)
(6.5)
(7.4)
六角対辺5.5ø0.9
六角対辺5
ø1.2
(13.7)
六角対辺8
ø7
3
0.3
M8×0.75
ø2
ø0.8
ø1.5
六角対辺5.5
3
A
22
DB
六角対辺10
二面幅6
0.3
3
ø7
二面幅6
六角対辺10
22
DBA
3
六角対辺5.5 ø0.8
ø2
ø2.5
M3×0.5M3×0.5
M3×0.5 M3×0.5 M3×0.5 M3×0.5
ø7
3
M8×0.75
M8×0.75
0.3
ø4
ø3.5
ø0.8六角対辺5.5
3
A
22
DB
六角対辺10
二面幅6
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-T015U□J■-B3 ZP3-T02U□J■-B3ZP3-T015U□K■-B3 ZP3-T02U□K■-B3
ZP3-T035U□J■-B3
寸法表(ストローク別)
ZP3-T015U□J3-B3ZP3-T015U□J6-B3
A 710
型式 B2431
D1014
寸法表(ストローク別)
ZP3-T02U□J3-B3ZP3-T02U□J6-B3
A 710
型式 B2431
D1014
寸法表(ストローク別)
ZP3-T035U□J3-B3ZP3-T035U□J6-B3
A 710
型式 B2431
D1014
質量(g)3.44.4
質量(g)3.44.4
質量(g)3.44.4
ZP3-T035U□K■-B3
寸法表(ストローク別)
ZP3-T015U□K3-B3ZP3-T015U□K6-B3
A 811
型式 B26.533
D11 14.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T02U□K3-B3ZP3-T02U□K6-B3
A 811
型式 B26.533
D11 14.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T035U□K3-B3ZP3-T035U□K6-B3
A 811
型式 B26.533
D11 14.5
質量(g)6.88.2
質量(g)6.88.2
質量(g)6.88.2
縦
真空取出口寸法図
KJH02-M3[質量:1.1g]※2
ZP3-T015U□☆■-02ZP3-T02U□☆■-02ZP3-T035U□☆■-02
KJH04-M3-X83[質量:1.9g]※2
ZP3-T015U□☆■-04ZP3-T02U□☆■-04ZP3-T035U□☆■-04
ワンタッチ管継手
M-3AU-2[質量:0.7g]※2
ZP3-T015U□☆■-U2ZP3-T02U□☆■-U2ZP3-T035U□☆■-U2
M-3AU-4-X83[質量:0.7g]※2
ZP3-T015U□☆■-U4ZP3-T02U□☆■-U4ZP3-T035U□☆■-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲▲U□☆■-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲▲U□☆■-B3」に継手の質量を加算ください。
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
パッド径 ø1.5~ø3.5パッド形状 平形ストローク 3, 6mm
1137
縦バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
6A
BD 22
4
ø4.5 ø6.5
6A
B
22D
M5×0.8M5×0.8
0.8
0.5
ø4ø1.2
ø6ø1.8
六角対辺7
六角対辺10
M8×0.75
4
6
AB 22D
六角対辺7
六角対辺10
二面幅6
ø8.5ø8
ø1.8
0.8
4
M5×0.8ø7
(6.5)
ø0.9
(8.5)
ø7 ø7
六角対辺10
六角対辺7
二面幅6 二面幅6
M8×0.75
M8×0.75
六角対辺7
ø1.8
六角対辺7
六角対辺7
(8.7)
六角対辺8
(13.9)
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-T04UM□J■■-B5 ZP3-T04UM□K■■-B5 ZP3-T06UM□J■■-B5 ZP3-T06UM□K■■-B5
ZP3-T08UM□J■■-B5 ZP3-T08UM□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T04UM□☆3-B5ZP3-T04UM□☆6-B5ZP3-T04UM□☆10-B5
A
111418
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
30.53747
D
1114.520.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T08UM□☆3-B5ZP3-T08UM□☆6-B5ZP3-T08UM□☆10-B5
A
111418
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
30.53747
D
1114.520.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T06UM□☆3-B5ZP3-T06UM□☆6-B5ZP3-T06UM□☆10-B5
A
111418
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
30.53747
D
1114.520.5
質量(g)
7.4 8.610.5
質量(g)
7.4 8.610.5
質量(g)
7.4 8.610.5
7.3 8.610.5
7.3 8.610.5
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
回り止め付(K) 7.3 8.610.5
縦
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-02ZP3-T06UM□☆■■-02ZP3-T08UM□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-04ZP3-T06UM□☆■■-04ZP3-T08UM□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-U2ZP3-T06UM□☆■■-U2ZP3-T08UM□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-U4ZP3-T06UM□☆■■-U4ZP3-T08UM□☆■■-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付ストローク 3, 6, 10mm
1138
ZP3 Series
4
ø6.5
ø6
ø1.80.8
612
六角対辺7A
B
2210
六角対辺10
M8×0.75
ブッシュ
ブッシュ
4
M5×0.8ø7
二面幅6
六角対辺7
612
AB
ø8.5ø8
ø1.8
0.8
M8×0.75
ブッシュ
ブッシュ
二面幅6
M5×0.8ø7
4
六角対辺10
2210
BA
12
6
ø4.5
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
二面幅6
六角対辺10
2210
六角対辺7
ø1.2
ø4
0.5
M5×0.8ø7
(6.5)
(8.7)
六角対辺7
六角対辺7
ø0.9
(8.5)
(13.9)
ø1.8
六角対辺7六角対辺8
ZP3-T04UM□JB■■-B5 ZP3-T06UM□JB■■-B5
ZP3-T08UM□JB■■-B5
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
寸法表(ストローク別)
ZP3-T08UM□☆15-B5ZP3-T08UM□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
36.544
B
5562.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T06UM□☆15-B5ZP3-T06UM□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
36.544
B
5562.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T04UM□☆15-B5ZP3-T04UM□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
36.544
B
5562.5
回り止めなし(J)10.310.9
回り止めなし(J)10.310.9
回り止めなし(J)10.310.9
回り止め付(K)12.313.4
回り止め付(K)12.313.4
回り止め付(K)
質量(g)
質量(g)質量(g)
12.313.4
縦
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-02ZP3-T06UM□☆■■-02ZP3-T08UM□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-04ZP3-T06UM□☆■■-04ZP3-T08UM□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-U2ZP3-T06UM□☆■■-U2ZP3-T08UM□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T04UM□☆■■-U4ZP3-T06UM□☆■■-U4ZP3-T08UM□☆■■-U4
バーブ継手
ZP3-T04UM□K■■-B5 ZP3-T06UM□K■■-B5
ZP3-T08UM□K■■-B5
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付ストローク 15, 20mm
1139
縦バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
7
AB 22D
M5×0.8
ø74二面幅6
六角対辺10
M8×0.75
六角対辺10 ø1.8
ø11
ø10
1
4
M5×0.8
ø7
二面幅6
六角対辺10
六角対辺10
1.2ø1.8
ø14
ø13
7
AB 22D
M8×0.75
4
ø17
1.2ø1.8
ø16
722D
AB
M8×0.75
六角対辺10
六角対辺10
二面幅6
M5×0.8
ø7
(10.5)
ø2.5
(14.7)
六角対辺10
(13.9)
六角対辺8
(8.5)
ø1.8
六角対辺7
(8.7) 六角対辺7
六角対辺7
ø0.9
(6.5)
六角対辺7
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
寸法表(ストローク別)
ZP3-T10UM□☆3-B5ZP3-T10UM□☆6-B5ZP3-T10UM□☆10-B5
A
121519
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
31.53848
D
1114.520.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T13UM□☆3-B5ZP3-T13UM□☆6-B5ZP3-T13UM□☆10-B5
A
121519
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
31.53848
D
1114.520.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T16UM□☆3-B5ZP3-T16UM□☆6-B5ZP3-T16UM□☆10-B5
A
121519
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
31.53848
D
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
1114.520.5
8.4 9.611.7
回り止めなし(J)
質量(g)
質量(g)
質量(g)
8.5 9.711.8
8.6 9.811.9
8.3 9.611.7
回り止め付(K) 8.4 9.711.8
8.5 9.811.9
ZP3-T16UM□K■■-B5ZP3-T16UM□J■■-B5
ZP3-T13UM□K■■-B5ZP3-T13UM□J■■-B5ZP3-T10UM□K■■-B5ZP3-T10UM□J■■-B5
縦
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-02ZP3-T13UM□☆■■-02ZP3-T16UM□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-04ZP3-T13UM□☆■■-04ZP3-T16UM□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-U2ZP3-T13UM□☆■■-U2ZP3-T16UM□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-U4ZP3-T13UM□☆■■-U4ZP3-T16UM□☆■■-U4
KJH06-M5[質量:3.3g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-06ZP3-T13UM□☆■■-06ZP3-T16UM□☆■■-06
M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-U6ZP3-T13UM□☆■■-U6ZP3-T16UM□☆■■-U6
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付ストローク 3, 6, 10mm
1140
ZP3 Series
ø11
7
13
AB
22
10
M5×0.8ø7
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
二面幅6
六角対辺10
4
六角対辺10
1ø1.8
ø107
13
AB
22
10
六角対辺10
二面幅6
ø14ø13
ø1.8
1.2
六角対辺10
M8×0.75
ブッシュ
ブッシュ
4
M5×0.8ø7
ø17
7
13
AB
ø1.8
ø16
1.2
六角対辺10
六角対辺10
M8×0.75
二面幅6
M5×0.8ø7
ブッシュ
ブッシュ
4
22
10
六角対辺7
(6.5)
ø0.9
(8.5)
六角対辺7
ø1.8
ø2.5
六角対辺7
(10.5)
(14.7)
六角対辺10
六角対辺8
(13.9)
六角対辺7(8.7)
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-T10UM□JB■■-B5 ZP3-T13UM□JB■■-B5
ZP3-T16UM□JB■■-B5
縦
ZP3-T16UM□K■■-B5
ZP3-T13UM□K■■-B5ZP3-T10UM□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T16UM□☆15-B5ZP3-T16UM□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
37.545
B
5663.5
13.316.4
15.316.4
寸法表(ストローク別)
ZP3-T13UM□☆15-B5ZP3-T13UM□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
37.545
B
5663.5
13.216.3
15.216.3
寸法表(ストローク別)
ZP3-T10UM□☆15-B5ZP3-T10UM□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
37.545
B
5663.5
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)13.116.2
回り止め 付(K)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
質量(g)
質量(g)質量(g)
15.116.2
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-02ZP3-T13UM□☆■■-02ZP3-T16UM□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-04ZP3-T13UM□☆■■-04ZP3-T16UM□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-U2ZP3-T13UM□☆■■-U2ZP3-T16UM□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-U4ZP3-T13UM□☆■■-U4ZP3-T16UM□☆■■-U4
KJH06-M5[質量:3.3g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-06ZP3-T13UM□☆■■-06ZP3-T16UM□☆■■-06
M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-T10UM□☆■■-U6ZP3-T13UM□☆■■-U6ZP3-T16UM□☆■■-U6
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付ストローク 15, 20mm
1141
縦バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
M5×0.8ø7
4二面幅6
六角対辺10
22
M8×0.75
六角対辺7
2.2
ø4.5
ø4
ø1.8
8
AD
B
4
M5×0.8ø7
8
A
B
D
3
ø7ø6
ø3.4
ø1.8
六角対辺7
M8×0.75
22
六角対辺10
二面幅6
ø9ø8
ø5.2
ø1.8
3
8
A
B
D
22
六角対辺10
二面幅6
M8×0.75
六角対辺7
4
M5×0.8
ø7
ø0.9
(6.5)
六角対辺7
(8.7)
六角対辺7
六角対辺8
(13.9)
六角対辺7
ø1.8
(8.5)
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-T04B□K■■-B5ZP3-T04B□J■■-B5 ZP3-T06B□J■■-B5 ZP3-T06B□K■■-B5
ZP3-T08B□J■■-B5 ZP3-T08B□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T04B□☆3-B5ZP3-T04B□☆6-B5ZP3-T04B□☆10-B5
A
131620
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
32.539 49
D
1114.520.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T08B□☆3-B5ZP3-T08B□☆6-B5ZP3-T08B□☆10-B5
A
131620
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
32.539 49
D
1114.520.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T06B□☆3-B5ZP3-T06B□☆6-B5ZP3-T06B□☆10-B5
A
131620
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
32.539 49
D
11 14.520.5
質量(g)
7.4 8.610.5
質量(g)
7.5 8.710.6
質量(g)
7.4 8.610.5
7.3 8.610.5
7.4 8.710.6
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)回り止め付(K)
回り止め付(K)
回り止め付(K) 7.3 8.610.5
縦
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T04B□☆■■-02ZP3-T06B□☆■■-02ZP3-T08B□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T04B□☆■■-04ZP3-T06B□☆■■-04ZP3-T08B□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T04B□☆■■-U2ZP3-T06B□☆■■-U2ZP3-T08B□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T04B□☆■■-U4ZP3-T06B□☆■■-U4ZP3-T08B□☆■■-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形ストローク 3, 6, 10mm
1142
ZP3 Series
ブッシュ
ブッシュ ブッシュ
ブッシュ
二面幅6
六角対辺10
M8×0.75
4
M5×0.8ø7
M5×0.8ø7
2210
AB
814
六角対辺7
2.2
ø4.5ø4
ø1.8
ø7ø6
ø3.4ø1.8
3
814
六角対辺7AB
2210
M8×0.75
二面幅6
六角対辺10
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
六角対辺10
二面幅6
M5×0.8ø7
2210
BA
14
8
六角対辺7
3
ø9ø8
ø5.2ø1.8
44
ø0.9
六角対辺7
(6.5)
(8.7)
六角対辺7
(8.5)
(13.9)
六角対辺8
六角対辺7
ø1.8
ZP3-T04B□JB■■-B5 ZP3-T06B□JB■■-B5
ZP3-T08B□JB■■-B5
外形寸法図/バッファ付:真空取出口縦
ZP3-T08B□K■■-B5
ZP3-T06B□K■■-B5ZP3-T04B□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T08B□☆15-B5ZP3-T08B□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
38.546
B
5764.5
10.411.0
12.413.5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T06B□☆15-B5ZP3-T06B□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
38.546
B
5764.5
10.310.9
12.313.4
寸法表(ストローク別)
ZP3-T04B□☆15-B5ZP3-T04B□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
38.546
B
5764.5
10.310.9
12.313.4
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
質量(g)
質量(g)質量(g)
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T04B□☆■■-02ZP3-T06B□☆■■-02ZP3-T08B□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T04B□☆■■-04ZP3-T06B□☆■■-04ZP3-T08B□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T04B□☆■■-U2ZP3-T06B□☆■■-U2ZP3-T08B□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T04B□☆■■-U4ZP3-T06B□☆■■-U4ZP3-T08B□☆■■-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形ストローク 15, 20mm
1143
縦バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
M5×0.8ø7
4二面幅6
六角対辺10
六角対辺10
ø11
ø10
ø6
ø1.8
2
10
A
M8×0.75
22D
B
ø14
ø13
ø8.4
ø1.8
2
M5×0.8ø7
4二面幅6
六角対辺10
10
A
B
D 22
M8×0.75
六角対辺10
M5×0.8ø7
4二面幅6
ø17
ø16
ø11.4
ø1.8
2
10
六角対辺10
M8×0.75
六角対辺10
DA
B
22
(6.5)
(8.5)
(10.5)
(8.7)
(14.7)
(13.9)
ø0.9
六角対辺7
ø1.8
六角対辺7
ø2.5
六角対辺7 六角対辺10
六角対辺8
六角対辺7
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-T10B□K■■-B5ZP3-T10B□J■■-B5 ZP3-T13B□J■■-B5 ZP3-T13B□K■■-B5
ZP3-T16B□J■■-B5 ZP3-T16B□K■■-B5
縦
真空取出口寸法図
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T10B□☆■■-U2ZP3-T13B□☆■■-U2ZP3-T16B□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T10B□☆■■-U4ZP3-T13B□☆■■-U4ZP3-T16B□☆■■-U4
M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-T10B□☆■■-U6ZP3-T13B□☆■■-U6ZP3-T16B□☆■■-U6
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T10B□☆■■-02ZP3-T13B□☆■■-02ZP3-T16B□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T10B□☆■■-04ZP3-T13B□☆■■-04ZP3-T16B□☆■■-04
KJH06-M5[質量:3.3g]※2
ZP3-T10B□☆■■-06ZP3-T13B□☆■■-06ZP3-T16B□☆■■-06
ワンタッチ管継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-T10B□☆3-B5ZP3-T10B□☆6-B5ZP3-T10B□☆10-B5
A
151822
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
34.541 51
D
11 14.520.5
8.6 9.711.7
8.5 9.711.7
寸法表(ストローク別)
ZP3-T13B□☆3-B5ZP3-T13B□☆6-B5ZP3-T13B□☆10-B5
A
151822
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
34.541 51
D
11 14.520.5
8.7 9.811.8
8.6 9.811.8
寸法表(ストローク別)
ZP3-T16B□☆3-B5ZP3-T16B□☆6-B5ZP3-T16B□☆10-B5
A
151822
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。
B
34.541 51
D
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
11 14.520.5
8.8 9.911.9
8.7 9.911.9
回り止めなし(J)
質量(g)
質量(g)
質量(g)回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形ストローク 3, 6, 10mm
1144
ZP3 Series
M5×0.8ø7
4二面幅6
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
ø11ø10ø6
ø1.8
2
1016
AB
10
六角対辺10
22
六角対辺10
ø7M5×0.8
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
4二面幅6
ø14ø13ø8.4
ø1.8
2
1016
AB
2210
六角対辺10
六角対辺10
M5×0.8ø7
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
ø17
ø16ø11.4
ø1.8
2
六角対辺10
1016
AB
2210
4二面幅6
六角対辺10
ø0.9
六角対辺7
(6.5)
(8.5)
ø1.8
六角対辺7
(10.5)
ø2.5
六角対辺7
(8.7) 六角対辺7
(13.9)
六角対辺8
(14.7)
六角対辺10
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-T10B□JB■■-B5 ZP3-T13B□JB■■-B5
ZP3-T16B□JB■■-B5
縦
ZP3-T16B□K■■-B5
ZP3-T13B□K■■-B5ZP3-T10B□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-T16B□☆15-B5ZP3-T16B□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
40.548
B
59 66.5
13.616.7
15.616.7
寸法表(ストローク別)
ZP3-T13B□☆15-B5ZP3-T13B□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
40.548
B
59 66.5
13.516.6
15.516.6
寸法表(ストローク別)
ZP3-T10B□☆15-B5ZP3-T10B□☆20-B5
型式
注1)表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
A
40.548
B
59 66.5
13.316.4
15.316.4
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止めなし(J)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
回り止め付(K)
質量(g)
質量(g)質量(g)
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-T10B□☆■■-02ZP3-T13B□☆■■-02ZP3-T16B□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-T10B□☆■■-04ZP3-T13B□☆■■-04ZP3-T16B□☆■■-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-T10B□☆■■-U2ZP3-T13B□☆■■-U2ZP3-T16B□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-T10B□☆■■-U4ZP3-T13B□☆■■-U4ZP3-T16B□☆■■-U4
KJH06-M5[質量:3.3g]※2
ZP3-T10B□☆■■-06ZP3-T13B□☆■■-06ZP3-T16B□☆■■-06
M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-T10B□☆■■-U6ZP3-T13B□☆■■-U6ZP3-T16B□☆■■-U6
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形ストローク 15, 20mm
1145
縦バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ZP3 Y 015 U B3 B3N真空取出方向
Y方向横
記号真空取出口(◇)
B3B5U2U4U6020406
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
接続記号 ø1.5~ø3.5
M3×0.5M5×0.8
ø2チューブ※1ø4チューブ※2ø6チューブ※2
ø2ø4ø6
●―●●―●●―
ø4~ø8―●●●―●●―
ø10~ø16―●●●●●●●
型式表示方法
パッド径
01502035040608101316
パッド径ø1.5ø2
ø3.5ø4ø6ø8
ø10ø13ø16
記号
パッド形状―パッド径
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
015
●――
02
●――
035
●――
04
―●●
06
―●●
08
―●●
10
―●●
13
―●●
16
―●●
パッド径(記号)パッド形状
パッド材質(□)
NSUF
GNGS
材質NBR
シリコーンゴムウレタンゴムFKM
導電性NBR導電性シリコーンゴム
記号
取付ねじ径
B3B5めねじ
ねじ径記号 ø1.5~ø3.5
M3×0.5M5×0.8
●―
ø4~ø16―●
横方向真空取出形/アダプタ付
※1 ポリウレタンチューブを配管※2 ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管
交換品番
ZP3-Y(015・02・035)U□-B3-◇ ZP3-(015・02・035)U□ ZP3A-Y1-B3アダプタ品番パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-3AU-2,U4:M-3AU-4-X8302:KJH02-M3,04:KJH04-M3-X83
パッド径:ø1.5~ø3.5
ZP3-Y(04・06・08)UM□-B5-◇ZP3-Y(04・06・08)B□-B5-◇
ZP3-(04・06・08)UM□ZP3-(04・06・08)B□ ZP3A-Y2-B5
アダプタ品番パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X8302:KJH02-M5,04:KJH04-M5
パッド径:ø4~ø8
ZP3-Y(10・13・16)UM□-B5-◇ZP3-Y(10・13・16)B□-B5-◇
ZP3-(10・13・16)UM□ZP3-(10・13・16)B□ ZP3A-Y3-B5
アダプタ品番パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X83U6:M-5AU-6-X83,02:KJH02-M504:KJH04-M5,06:KJH06-M5
パッド径:ø10~ø16
1146
ZP3 Series
14
53
2
ø2
5
3 3 3
5
5
5
5
ø1.5
0.3
ø0.8
7M3×0.53
M3×0.5
ø5
14
23
7M3×0.53
M3×0.5
ø5
ø0.8
ø2.5
ø2
14
32
ø4
ø5
M3×0.53
70.3
ø0.8
ø3.5
M3×0.5
0.3
六角対辺5.5
(12.4)
ø0.9
六角対辺4.5
(9) (9.9)
ø1.2
六角対辺5
(16.2)
六角対辺8
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-Y015U□-B3-B3[質量:1.9g]
ZP3-Y02U□-B3-B3[質量:1.9g]
ZP3-Y035U□-B3-B3[質量:1.9g]
横
真空取出口寸法図
KJH02-M3[質量:1.1g]※2 KJH04-M3-X83[質量:1.9g]※2
ZP3-Y015U□-B3-02ZP3-Y02U□-B3-02ZP3-Y035U□-B3-02
ZP3-Y015U□-B3-04ZP3-Y02U□-B3-04ZP3-Y035U□-B3-04
ワンタッチ管継手
M-3AU-2[質量:0.7g]※2 M-3AU-4-X83[質量:0.7g]※2
ZP3-Y015U□-B3-U2ZP3-Y02U□-B3-U2ZP3-Y035U□-B3-U2
ZP3-Y015U□-B3-U4ZP3-Y02U□-B3-U4ZP3-Y035U□-B3-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲▲U□-B3-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲▲U□-B3-B3」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø1.5~ø3.5パッド形状 平形
1147
横アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
22
6
0.5
8
8 8
8
6
22
11
M5×0.8
ø8
M5×0.8
ø8
11
ø6.5
ø4.5
M5×0.8
M5×0.85 5
4 4
0.8
ø4
ø1.8
ø1.2
ø6
ø1.8
8
8
6
22
M5×0.8
ø8
11
0.8
ø8.5
ø8
ø1.8
4
M5×0.85
六角対辺8六角対辺7
(12.6) (17.8)
六角対辺7
(12.5)
ø1.8
(10.5)
六角対辺7
ø0.9
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-Y04UM□-B5-B5[質量:7.0g]
ZP3-Y06UM□-B5-B5[質量:7.0g]
ZP3-Y08UM□-B5-B5[質量:7.0g]
真空取出口寸法図
横
KJH02-M5[質量:1.9g]※2 KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y04UM□-B5-02ZP3-Y06UM□-B5-02ZP3-Y08UM□-B5-02
ZP3-Y04UM□-B5-04ZP3-Y06UM□-B5-04ZP3-Y08UM□-B5-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2 M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-Y04UM□-B5-U2ZP3-Y06UM□-B5-U2ZP3-Y08UM□-B5-U2
ZP3-Y04UM□-B5-U4ZP3-Y06UM□-B5-U4ZP3-Y08UM□-B5-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付
1148
ZP3 Series
23
7
12
M5×0.8
ø1.8
ø11
ø10
1
4
M5×0.85
ø8
四角8 四角8
ø1.8
ø13
ø14
7
23
M5×0.8
ø8
M5×0.85
12
4
1.2
7
23
ø17
ø16
ø1.8
12
1.2
4
M5×0.85
M5×0.8
四角8
ø8
(12.6) (17.8) (18.6)
(14.5)(12.5)(10.5)
ø1.8
ø2.5
六角対辺7六角対辺7
六角対辺7
ø0.9
六角対辺7 六角対辺8 六角対辺10
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-Y10UM□-B5-B5[質量:7.7g]
ZP3-Y13UM□-B5-B5[質量:7.8g]
ZP3-Y16UM□-B5-B5[質量:7.9g]
横
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2 KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y10UM□-B5-02ZP3-Y13UM□-B5-02ZP3-Y16UM□-B5-02
ZP3-Y10UM□-B5-04ZP3-Y13UM□-B5-04ZP3-Y16UM□-B5-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2 M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2 M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
KJH06-M5[質量:3.3g]※2
ZP3-Y10UM□-B5-U2ZP3-Y13UM□-B5-U2ZP3-Y16UM□-B5-U2
ZP3-Y10UM□-B5-U4ZP3-Y13UM□-B5-U4ZP3-Y16UM□-B5-U4
ZP3-Y10UM□-B5-06ZP3-Y13UM□-B5-06ZP3-Y16UM□-B5-06
ZP3-Y10UM□-B5-U6ZP3-Y13UM□-B5-U6ZP3-Y16UM□-B5-U6
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付
1149
横アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
8
8
8
8
24
82
ø4.5
13
24
28
ø7
13
M5×0.8 M5×0.8
M5×0.8
M5×0.85 5
ø8ø8
4 4
3
2.2
ø4
ø1.8
ø6
ø3.4
ø1.8
8
8
8
24
2
13
3
ø9
ø8
ø5.2
ø1.8
4
M5×0.85
M5×0.8
ø8
六角対辺7
(12.6)
六角対辺7
(12.5)
ø1.8
(10.5)
六角対辺7
ø0.9
(17.8)
六角対辺8
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口
ZP3-Y04B□-B5-B5[質量:7.0g]
ZP3-Y06B□-B5-B5[質量:7.0g]
ZP3-Y08B□-B5-B5[質量:7.1g]
真空取出口寸法図
横
KJH02-M5[質量:1.1g]※2 KJH04-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y04B□-B5-02ZP3-Y06B□-B5-02ZP3-Y08B□-B5-02
ZP3-Y04B□-B5-04ZP3-Y06B□-B5-04ZP3-Y08B□-B5-04
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:0.7g]※2 M-5AU-4-X83[質量:0.7g]※2
ZP3-Y04B□-B5-U2ZP3-Y06B□-B5-U2ZP3-Y08B□-B5-U2
ZP3-Y04B□-B5-U4ZP3-Y06B□-B5-U4ZP3-Y08B□-B5-U4
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形
1150
ZP3 Series
15
2
26
210
四角8
M5×0.8
ø8
六角対辺7
六角対辺7 六角対辺8
六角対辺7 六角対辺7
六角対辺10
(10.5)
ø0.9
(12.5)
ø1.8
ø2.5
(14.5)
(18.6)(17.8)(12.6)
10
2
5
M5×0.8
ø1.8
ø10
ø6
ø11
26
M5×0.8
ø8
15
2
ø14
ø13
ø8.4
ø1.8
四角8
M5×0.85
10
26
2
ø17
15
2M5×0.85
M5×0.8
ø8
四角8
ø16
ø11.4
ø1.8
4 4 4
ZP3-Y10B□-B5-B5[質量:7.9g]
ZP3-Y13B□-B5-B5[質量:8.1g]
ZP3-Y16B□-B5-B5[質量:8.2g]
外形寸法図/アダプタ付:真空取出口横
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2 KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y10B□-B5-02ZP3-Y13B□-B5-02ZP3-Y16B□-B5-02
ZP3-Y10B□-B5-04ZP3-Y13B□-B5-04ZP3-Y16B□-B5-04
ワンタッチ管継手
KJH06-M5[質量:3.3g]※2
M-5AU-2[質量:1.5g]※2 M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2 M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
ZP3-Y10B□-B5-U2ZP3-Y13B□-B5-U2ZP3-Y16B□-B5-U2
ZP3-Y10B□-B5-U4ZP3-Y13B□-B5-U4ZP3-Y16B□-B5-U4
ZP3-Y10B□-B5-06ZP3-Y13B□-B5-06ZP3-Y16B□-B5-06
ZP3-Y10B□-B5-U6ZP3-Y13B□-B5-U6ZP3-Y16B□-B5-U6
バーブ継手
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形
1151
横アダプタ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ZP3 Y 015 U J 3 B3
パッド材質(□)
NSUF
GNGS
材質NBR
シリコーンゴムウレタンゴムFKM
導電性NBR導電性シリコーンゴム
記号
N真空取出方向
Y方向横
記号真空取出口(◇)
B3B5U2U4U6020406
めねじ
バーブ継手
ワンタッチ管継手
接続ねじ径記号
M3×0.5M5×0.8
ø2チューブ※1ø4チューブ※2ø6チューブ※2
ø2チューブø4チューブø6チューブ
●―●●―●●―
ø4~ø8
ø1.5~ø3.5
―●●●―●●―
ø10~ø16―●●●●●●●
型式表示方法
仕様
パッド径
01502035040608101316
パッド径ø1.5ø2
ø3.5ø4ø6ø8
ø10ø13ø16
記号
バッファ仕様(☆)J
JBK
回り止めなし回り止めなし、ブッシュ入り
回り止め付
ストローク(■)―バッファ仕様
3 6101520
●●―――
ストローク ø1.5~ø3.5J K J JB K
●●―――
●●●――
―――●●
ø4~ø16
●●●●●
パッド形状―パッド径
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
015
●――
02
●――
035
●――
04
―●●
06
―●●
パッド径(記号)パッド形状
U(平形)UM(平形溝付)B(ベロウ形)
08
―●●
10
―●●
13
―●●
16
―●●
パッド径(記号)パッド形状
JKJ
JBK
ø1.5~ø3.5
ø4~ø16
M6×0.75M8×0.75
1.5~1.82.0~2.5
2.0~2.5 M8×0.75
0.2
0.2
0.40.5
0.5
ストローク(mm)
締付トルク(N・m) 取付接続 スプリング反力
0ストローク時(N) フルストローク時(N)バッファ仕様パッド径
3, 6
3, 6, 1015, 20
3, 6, 10, 15, 20
横方向真空取出形/バッファ付
※1 ポリウレタンチューブを配管※2 ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管
交換品番
ZP3-Y(015/02/035)U□(J/K)3-◇ZP3-Y(015/02/035)U□(J/K)6-◇ ZP3-(015/02/035)U□ ZP3B-Y1(J/K)3-B3
ZP3B-Y1(J/K)6-B3
バッファAss'y品番注3)パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-3AU-2,U4:M-3AU-4-X8302:KJH02-M3,04:KJH04-M3-X83
パッド径:ø1.5~ø3.5
ZP3-Y(04/06/08)UM□(J/K)3-◇ZP3-Y(04/06/08)B□(J/K)3-◇ZP3-Y(04/06/08)UM□(J/K)6-◇ZP3-Y(04/06/08)B□(J/K)6-◇ZP3-Y(04/06/08)UM□(J/K)10-◇ZP3-Y(04/06/08)B□(J/K)10-◇ZP3-Y(04/06/08)UM□(JB/K)15-◇ZP3-Y(04/06/08)B□(JB/K)15-◇ZP3-Y(04/06/08)UM□(JB/K)20-◇ZP3-Y(04/06/08)B□(JB/K)20-◇
ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□ZP3-(04/06/08)UM□ZP3-(04/06/08)B□
ZP3B-Y2A(J/K)3-B5
ZP3B-Y2A(J/K)6-B5
ZP3B-Y2A(J/K)10-B5
ZP3B-Y2A(JB/K)15-B5
ZP3B-Y2A(JB/K)20-B5
バッファAss'y品番注3)パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X8302:KJH02-M5,04:KJH04-M5
パッド径:ø4~ø8
ZP3-Y(10/13/16)UM□(J/K)3-◇ZP3-Y(10/13/16)B□(J/K)3-◇ZP3-Y(10/13/16)UM□(J/K)6-◇ZP3-Y(10/13/16)B□(J/K)6-◇ZP3-Y(10/13/16)UM□(J/K)10-◇ZP3-Y(10/13/16)B□(J/K)10-◇ZP3-Y(10/13/16)UM□(JB/K)15-◇ZP3-Y(10/13/16)B□(JB/K)15-◇ZP3-Y(10/13/16)UM□(JB/K)20-◇ZP3-Y(10/13/16)B□(JB/K)20-◇
ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□ZP3-(10/13/16)UM□ZP3-(10/13/16)B□
ZP3B-Y2B(J/K)3-B5
ZP3B-Y2B(J/K)6-B5
ZP3B-Y2B(J/K)10-B5
ZP3B-Y2B(JB/K)15-B5
ZP3B-Y2B(JB/K)20-B5
バッファAss'y品番注3)パッド単体品番型式
注1)表の□は、パッド材質を示す。注2)表の◇は、真空取出口を示す。注3)継手は別途手配となります。
型式末尾品番(◇) U2:M-5AU-2,U4:M-5AU-4-X83U6:M-5AU-6-X83,02:KJH02-M504:KJH04-M5,06:KJH06-M5
パッド径:ø10~ø16
1152
ZP3 Series
六角対辺8
(17.7)
六角対辺5
(11.4) ø1.2
(10.5)
ø0.9
六角対辺4.5 (13.9)
六角対辺5.5
ø7二面幅6
六角対辺10
3
13
AD
B
22
M8×0.75
M3×0.5
730.3
8
8
8
8
8
8
ø0.8ø1.5ø2
ø7二面幅6
六角対辺10
ø0.8ø2
ø2.5
ø4
ø0.8ø3.5
3
13
BD
A
70.3
3
M3×0.5M8×0.75
22
ø7二面幅6
六角対辺10
3
13
AD
B
22
7M3×0.5M8×0.75
3
0.3
六角対辺8
二面幅4 ø5
M6×0.75
3
ø2ø1.5ø0.8
8
六角対辺8
二面幅4 ø5
M6×0.75
3
ø2ø2.5
ø0.8
8
六角対辺8
二面幅4 ø5
M6×0.75
3
ø4ø3.5
ø0.8
8
313
AD
B
M3×0.5
70.3
8
313
AD
B
M3×0.5
70.3
8
3
13
AB
22D
M3×0.5
70.3
8
22
22
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y015U□J■-B3 ZP3-Y02U□J■-B3
ZP3-Y035U□J■-B3
横
真空取出口寸法図
M-3AU-2[質量:0.7g]※2
ZP3-Y015U□J■-U2ZP3-Y02U□J■-U2ZP3-Y035U□J■-U2
M-3AU-4-X83[質量:0.7g]※2
ZP3-Y015U□J■-U4ZP3-Y02U□J■-U4ZP3-Y035U□J■-U4
バーブ継手
KJH02-M3[質量:1.1g]※2
ZP3-Y015U□J■-02ZP3-Y02U□J■-02ZP3-Y035U□J■-02
KJH04-M3-X83[質量:1.9g]※2
ZP3-Y015U□J■-04ZP3-Y02U□J■-04ZP3-Y035U□J■-04
ワンタッチ管継手
ZP3-Y015U□K■-B3 ZP3-Y02U□K■-B3
ZP3-Y035U□K■-B3
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y015U□J3-B3ZP3-Y015U□J6-B3
A1720
型式
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
B3037
D1014
7.78.6
質量(g)寸法表(ストローク別)
ZP3-Y02U□J3-B3ZP3-Y02U□J6-B3
A1720
型式
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
B3037
D1014
7.78.6
質量(g)寸法表(ストローク別)
ZP3-Y015U□K3-B3ZP3-Y015U□K6-B3
A1720
型式
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
B34 40.5
D11 14.5
11.012.2
質量(g)寸法表(ストローク別)
ZP3-Y02U□K3-B3ZP3-Y02U□K6-B3
A1720
型式
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
B34 40.5
D11 14.5
11.012.2
質量(g)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y035U□J3-B3ZP3-Y035U□J6-B3
A1720
型式
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
B3037
D1014
7.78.6
質量(g)寸法表(ストローク別)
ZP3-Y035U□K3-B3ZP3-Y035U□K6-B3
A1720
型式
注)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
B34 40.5
D11 14.5
11.012.2
質量(g)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲▲U□☆■-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲▲U□☆■-B3」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø1.5~ø3.5パッド形状 平形ストローク 3, 6mm
1153
横バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ø1.8
ø0.9
六角対辺7
六角対辺8
(17.8)
(12.6)(10.5)
(12.5)
六角対辺7
六角対辺7
M8×0.75
六角対辺10
二面幅6
4
ø4.5ø4
ø1.8ø1.2
ø7
8
二面幅6
M8×0.75
六角対辺10
ø6.5
ø1.8ø6
ø7
4
8
二面幅6
M8×0.75
六角対辺10
ø8ø8.5
ø7
4
ø1.8
8
618
AB
22
D
11
0.5
M5×0.8
8
0.8
618
AB
22
D
M5×0.8
11
8
0.8
618
AB
22
D
M5×0.8
11
8
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y04UM□J■■-B5 ZP3-Y04UM□K■■-B5 ZP3-Y06UM□J■■-B5 ZP3-Y06UM□K■■-B5
ZP3-Y08UM□J■■-B5 ZP3-Y08UM□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y04UM□☆3-B5ZP3-Y04UM□☆6-B5ZP3-Y04UM□☆10-B5
A
22.525 29
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
404656
D
11 14.520.5
12.814.216.6
12.213.415.4
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y08UM□☆3-B5ZP3-Y08UM□☆6-B5ZP3-Y08UM□☆10-B5
A
22.525 29
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
404656
D
11 14.520.5
12.814.216.6
12.213.415.4
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y06UM□☆3-B5ZP3-Y06UM□☆6-B5ZP3-Y06UM□☆10-B5
A
22.525 29
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
404656
D
11 14.520.5
12.814.216.6
12.213.415.4
真空取出口寸法図
横
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-U2ZP3-Y06UM□☆■■-U2ZP3-Y08UM□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-U4ZP3-Y06UM□☆■■-U4ZP3-Y08UM□☆■■-U4
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-02ZP3-Y06UM□☆■■-02ZP3-Y08UM□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-04ZP3-Y06UM□☆■■-04ZP3-Y08UM□☆■■-04
ワンタッチ管継手
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付ストローク 3, 6, 10mm
1154
ZP3 Series
(12.6)
(17.8)
六角対辺7
六角対辺8
(12.5)
(10.5)
六角対辺7
六角対辺7
ø0.9
ø1.8
ø7
M8×0.75
4
ø4
8
六角対辺10
二面幅6
ブッシュ
ø1.8ø1.2
ø4.5
ø7
4
ø6ø1.8
二面幅6
六角対辺10
8
ø6.5
M8×0.75
ブッシュ
8
ø7
4
ø8
二面幅6
六角対辺10
ø8.5
ø1.8
ブッシュ
M8×0.75
618
AB
2210
11
0.8
M5×0.8
AB
2210
M5×0.8
11
0.5
86
18
86
18
AB
2210
M5×0.8
11
0.8
8
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y04UM□JB■■-B5 ZP3-Y06UM□JB■■-B5
ZP3-Y08UM□JB■■-B5
ZP3-Y04UM□K■■-B5 ZP3-Y06UM□K■■-B5
ZP3-Y08UM□K■■-B5
横
真空取出口寸法図
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-U2ZP3-Y06UM□☆■■-U2ZP3-Y08UM□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-U4ZP3-Y06UM□☆■■-U4ZP3-Y08UM□☆■■-U4
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-02ZP3-Y06UM□☆■■-02ZP3-Y08UM□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y04UM□☆■■-04ZP3-Y06UM□☆■■-04ZP3-Y08UM□☆■■-04
ワンタッチ管継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y04UM□☆15-B5ZP3-Y04UM□☆20-B5
A
42.550
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
59 66.5
14.315.1
15.516.6
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y08UM□☆15-B5ZP3-Y08UM□☆20-B5
A
42.550
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
59 66.5
14.315.1
13.516.6
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y06UM□☆15-B5ZP3-Y06UM□☆20-B5
A
42.550
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
59 66.5
14.315.1
15.516.6
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 平形溝付ストローク 15, 20mm
1155
横バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
ø2.5
ø1.8
(18.6)
(17.8)
六角対辺7
六角対辺7
(10.5)
ø0.9
(12.6)
六角対辺7
六角対辺8六角対辺7
(12.5)
(14.5)
六角対辺10
六角対辺10
二面幅6
ø7
M8×0.75
4
ø11ø10
ø1.8
四角8
二面幅6
ø7
六角対辺10
M8×0.75
4
ø14ø13
ø1.8
四角8
ø7
四角8
二面幅6
六角対辺10
M8×0.75
4
ø17
ø16ø1.8
7
19
AB
22D
12
1M5×0.8
719
AB
22D
M5×0.8
12
1.2
719
AB
22D
M5×0.8
12
1.2
KJH04-M5[質量:2.4g]※2M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
KJH06-M5[質量:3.3g]※2M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y10UM□J■■-B5 ZP3-Y13UM□J■■-B5
ZP3-Y16UM□J■■-B5
ZP3-Y10UM□K■■-B5 ZP3-Y13UM□K■■-B5
ZP3-Y16UM□K■■-B5
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y10UM□☆3-B5ZP3-Y10UM□☆6-B5ZP3-Y10UM□☆10-B5
A
23.526 30
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
414757
D
11 14.520.5
13.614.917.3
13.014.216.1
横
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y10UM□☆■■-02ZP3-Y13UM□☆■■-02ZP3-Y16UM□☆■■-02
ZP3-Y10UM□☆■■-04ZP3-Y13UM□☆■■-04ZP3-Y16UM□☆■■-04
ZP3-Y10UM□☆■■-06ZP3-Y13UM□☆■■-06ZP3-Y16UM□☆■■-06
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y10UM□☆■■-U2ZP3-Y13UM□☆■■-U2ZP3-Y16UM□☆■■-U2
ZP3-Y10UM□☆■■-U6ZP3-Y13UM□☆■■-U6ZP3-Y16UM□☆■■-U6
ZP3-Y10UM□☆■■-U4ZP3-Y13UM□☆■■-U4ZP3-Y16UM□☆■■-U4
バーブ継手
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y16UM□☆3-B5ZP3-Y16UM□☆6-B5ZP3-Y16UM□☆10-B5
A
23.526 30
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
414757
D
11 14.520.5
13.815.117.5
13.214.416.3
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y13UM□☆3-B5ZP3-Y13UM□☆6-B5ZP3-Y13UM□☆10-B5
A
23.526 30
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
414757
D
11 14.520.5
13.715.017.4
13.114.316.2
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付ストローク 3, 6, 10mm
1156
ZP3 Series
(18.6)
ø2.5
ø1.8
六角対辺7
(12.6)(10.5)
ø0.9
六角対辺7
六角対辺8
(17.8)(12.5)
六角対辺7
(14.5)六角対辺10
六角対辺7
ø7
ブッシュ
M8×0.75
4
ø11ø10
ø1.8
六角対辺10
二面幅6
四角8
四角8
四角8
ø7
ブッシュ
M8×0.75
4
ø14ø13
ø1.8
六角対辺10
二面幅6
ø7
ブッシュ
M8×0.75
4
ø17
ø1.8ø16
二面幅6
六角対辺10
719
AB
2210
M5×0.8
12
1
719
AB
2210
M5×0.8
12
1.2
719
AB
22
10
M5×0.8
12
1.2
KJH04-M5[質量:2.4g]※2M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
KJH06-M5[質量:3.3g]※2M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y10UM□JB■■-B5 ZP3-Y13UM□JB■■-B5
ZP3-Y16UM□JB■■-B5
ZP3-Y10UM□K■■-B5 ZP3-Y13UM□K■■-B5
ZP3-Y16UM□K■■-B5
横
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y10UM□☆■■-02ZP3-Y13UM□☆■■-02ZP3-Y16UM□☆■■-02
ZP3-Y10UM□☆■■-04ZP3-Y13UM□☆■■-04ZP3-Y16UM□☆■■-04
ZP3-Y10UM□☆■■-06ZP3-Y13UM□☆■■-06ZP3-Y16UM□☆■■-06
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y10UM□☆■■-U2ZP3-Y13UM□☆■■-U2ZP3-Y16UM□☆■■-U2
ZP3-Y10UM□☆■■-U4ZP3-Y13UM□☆■■-U4ZP3-Y16UM□☆■■-U4
ZP3-Y10UM□☆■■-U6ZP3-Y13UM□☆■■-U6ZP3-Y16UM□☆■■-U6
バーブ継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y10UM□☆15-B5ZP3-Y10UM□☆20-B5
A
43.551
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
60 67.5
15.015.8
16.217.3
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y16UM□☆15-B5ZP3-Y16UM□☆20-B5
A
43.551
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
60 67.5
15.216.0
16.417.5
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y13UM□☆15-B5ZP3-Y13UM□☆20-B5
A
43.551
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
60 67.5
15.115.9
16.317.4
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 平形溝付ストローク 15, 20mm
1157
横バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
(12.6)
(17.8)
六角対辺8
六角対辺7
(12.5)
(10.5)
六角対辺7
ø0.9
六角対辺7
ø1.8
ø7
4
ø4
ø1.8
8
M8×0.75
ø4.5
二面幅6
六角対辺10
ø7
4
M8×0.75
六角対辺10
二面幅6
ø7ø6
ø3.4ø1.8
8
8
ø7
4
ø9ø8
ø5.2ø1.8
六角対辺10
二面幅6
M8×0.75
820A
BD 22
M5×0.8
13
2.2
8
820A
BD 22
M5×0.8
13
3
8
88
20A
B
22D
13
3M5×0.8
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y04B□J■■-B5 ZP3-Y04B□K■■-B5
ZP3-Y08B□J■■-B5 ZP3-Y08B□K■■-B5
ZP3-Y06B□J■■-B5 ZP3-Y06B□K■■-B5
横
真空取出口寸法図
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-U2ZP3-Y06B□☆■■-U2ZP3-Y08B□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-U4ZP3-Y06B□☆■■-U4ZP3-Y08B□☆■■-U4
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-02ZP3-Y06B□☆■■-02ZP3-Y08B□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-04ZP3-Y06B□☆■■-04ZP3-Y08B□☆■■-04
ワンタッチ管継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y04B□☆3-B5ZP3-Y04B□☆6-B5ZP3-Y04B□☆10-B5
A
24.527 31
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
424858
D
11 14.520.5
12.814.216.6
12.213.415.4
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y08B□☆3-B5ZP3-Y08B□☆6-B5ZP3-Y08B□☆10-B5
A
24.527 31
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
424858
D
11 14.520.5
12.914.316.7
12.313.515.5
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y06B□☆3-B5ZP3-Y06B□☆6-B5ZP3-Y06B□☆10-B5
A
24.527 31
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
424858
D
11 14.520.5
12.814.216.6
12.213.415.4
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形ストローク 3, 6, 10mm
1158
ZP3 Series
(12.6)
六角対辺7
(17.8)
六角対辺8
(12.5)
六角対辺7
(10.5)
六角対辺7
ø0.9
ø1.8
ø7
M8×0.75
ブッシュ
4
ø4ø1.8
8
ø4.5
二面幅6
六角対辺10
4
ø7ø6
ø3.4ø1.8
ブッシュ
M8×0.75
8
ø7
六角対辺10
二面幅6
8
ø7
ブッシュ
M8×0.75
4
ø9ø8
ø5.2ø1.8
二面幅6
六角対辺10
820
AB
2210
M5×0.8
13
2.2
8
2.2
13
M5×0.8
820
AB
2210
8
3
8820
AB
2210
3M5×0.8
13
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y04B□JB■■-B5 ZP3-Y04B□K■■-B5
ZP3-Y08B□JB■■-B5 ZP3-Y08B□K■■-B5
ZP3-Y06B□JB■■-B5 ZP3-Y06B□K■■-B5
横
真空取出口寸法図
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-U2ZP3-Y06B□☆■■-U2ZP3-Y08B□☆■■-U2
M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-U4ZP3-Y06B□☆■■-U4ZP3-Y08B□☆■■-U4
バーブ継手
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-02ZP3-Y06B□☆■■-02ZP3-Y08B□☆■■-02
KJH04-M5[質量:2.4g]※2
ZP3-Y04B□☆■■-04ZP3-Y06B□☆■■-04ZP3-Y08B□☆■■-04
ワンタッチ管継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y04B□☆15-B5ZP3-Y04B□☆20-B5
A
44.552
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は,バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
61 68.5
14.315.1
15.516.6
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y08B□☆15-B5ZP3-Y08B□☆20-B5
A
44.552
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は,バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
61 68.5
14.415.2
15.616.7
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y06B□☆15-B5ZP3-Y06B□☆20-B5
A
44.552
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は,バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
61 68.5
14.315.1
15.516.6
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø4~ø8パッド形状 ベロウ形ストローク 15, 20mm
1159
横バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
六角対辺7
ø2.5
(14.5) (18.6)
六角対辺10
(17.8)
六角対辺8
ø1.8
六角対辺7
六角対辺7
ø0.9
六角対辺7
(12.6)(10.5)
(12.5)
ø7
4
ø11
ø1.8
二面幅6
四角8
六角対辺10
M8×0.75
ø10ø6
ø7
M8×0.75
六角対辺10
二面幅6
4
四角8
ø14
ø1.8ø8.4ø13
六角対辺10
二面幅6
四角8
ø7
M8×0.75
4
ø17ø16
ø11.4ø1.8
10
22A
B
22D
M5×0.8
15
2
10
22A
B
22D
15
2M5×0.8
10
22A
B
22D
M5×0.8
15
2
KJH04-M5[質量:2.4g]※2M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
KJH06-M5[質量:3.3g]※2M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y10B□J■■-B5 ZP3-Y10B□K■■-B5
ZP3-Y16B□J■■-B5 ZP3-Y16B□K■■-B5
ZP3-Y13B□J■■-B5 ZP3-Y13B□K■■-B5
横
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y10B□☆■■-02ZP3-Y13B□☆■■-02ZP3-Y16B□☆■■-02
ZP3-Y10B□☆■■-04ZP3-Y13B□☆■■-04ZP3-Y16B□☆■■-04
ZP3-Y10B□☆■■-06ZP3-Y13B□☆■■-06ZP3-Y16B□☆■■-06
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y10B□☆■■-U2ZP3-Y13B□☆■■-U2ZP3-Y16B□☆■■-U2
ZP3-Y10B□☆■■-U4ZP3-Y13B□☆■■-U4ZP3-Y16B□☆■■-U4
ZP3-Y10B□☆■■-U6ZP3-Y13B□☆■■-U6ZP3-Y16B□☆■■-U6
バーブ継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y10B□☆3-B5ZP3-Y10B□☆6-B5ZP3-Y10B□☆10-B5
A
26.529 33
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
445060
D
11 14.520.5
13.815.117.5
13.214.216.3
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y16B□☆3-B5ZP3-Y16B□☆6-B5ZP3-Y16B□☆10-B5
A
26.529 33
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
445060
D
11 14.520.5
14.115.417.8
13.514.516.6
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y13B□☆3-B5ZP3-Y13B□☆6-B5ZP3-Y13B□☆10-B5
A
26.529 33
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
B
445060
D
11 14.520.5
14.015.317.7
13.414.416.5
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形ストローク 3, 6, 10mm
1160
ZP3 Series
六角対辺7
ø2.5
六角対辺10
六角対辺8六角対辺7
ø1.8
六角対辺7
六角対辺7
ø0.9
(12.6)(10.5)
(12.5) (17.8)
(18.6)(14.5)
ブッシュ
M8×0.75
4
ø11
ø1.8
ø10ø6
ø7二面幅6
六角対辺10
ø7
ブッシュ
M8×0.75
4
ø14
ø1.8
ø13ø8.4
二面幅6
六角対辺10
ø7
ブッシュ
M8×0.75
4
ø17ø16
ø11.4ø1.8
二面幅6
六角対辺10
1022
AB
2210
M5×0.8
15
2
1022
AB
2210
M5×0.8
15
2
15
1022
AB
2210
M5×0.8
2
四角8 四角8
四角8
KJH04-M5[質量:2.4g]※2M-5AU-4-X83[質量:1.6g]※2
KJH06-M5[質量:3.3g]※2M-5AU-6-X83[質量:1.8g]※2
外形寸法図/バッファ付:真空取出口
ZP3-Y10B□JB■■-B5 ZP3-Y10B□K■■-B5
ZP3-Y16B□JB■■-B5 ZP3-Y16B□K■■-B5
ZP3-Y13B□JB■■-B5 ZP3-Y13B□K■■-B5
横
真空取出口寸法図
KJH02-M5[質量:1.9g]※2
ZP3-Y10B□☆■■-02ZP3-Y13B□☆■■-02ZP3-Y16B□☆■■-02
ZP3-Y10B□☆■■-04ZP3-Y13B□☆■■-04ZP3-Y16B□☆■■-04
ZP3-Y10B□☆■■-06ZP3-Y13B□☆■■-06ZP3-Y16B□☆■■-06
ワンタッチ管継手
M-5AU-2[質量:1.5g]※2
ZP3-Y10B□☆■■-U2ZP3-Y13B□☆■■-U2ZP3-Y16B□☆■■-U2
ZP3-Y10B□☆■■-U4ZP3-Y13B□☆■■-U4ZP3-Y16B□☆■■-U4
ZP3-Y10B□☆■■-U6ZP3-Y13B□☆■■-U6ZP3-Y16B□☆■■-U6
バーブ継手
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y10B□☆15-B5ZP3-Y10B□☆20-B5
A
46.554
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
63 70.5
15.216.0
16.417.5
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y16B□☆15-B5ZP3-Y16B□☆20-B5
A
46.554
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
63 70.5
15.516.3
16.717.8
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
寸法表(ストローク別)
ZP3-Y13B□☆15-B5ZP3-Y13B□☆20-B5
A
46.554
型式
注1)表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。
注2)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
B
63 70.5
15.416.2
16.617.7
質量(g)回り止めなし(J)
回り止め付(K)
※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。
パッド径 ø10~ø16パッド形状 ベロウ形ストローク 15, 20mm
1161
横バッファ付 真空取出口 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
w
e
i
y
t
u
r
e
w
q
i
y
t
u
r
o
e
w
q
i
y
t
u
r
e
w
q
i
y
t
u
r
e
w
q
q
w
q
w
q
t
w
q
tr
ZP3 Series
構造図部品構成表
アダプタ付パッド
バッファ付パッド
構成部品番号 部品名 材質(表面処理) 備考
パッド
アダプタガスケット
ナット
継手
NBR・シリコーンゴムウレタンゴム・FKM
導電性NBR・導電性シリコーンゴム黄銅(無電解ニッケルめっき)
SUS304/NBR
構造用鋼(三価クロメート)
黄銅(ニッケルめっき)―
M6×0.75M8×0.75M12×1M10×1―
1
23
4
5
構成部品番号 部品名 材質(表面処理) 備考
パッド
アダプタピストンロッドリターンスプリングバッファボディバッファアダプタナット継手ブッシュ
NBR・シリコーンゴムウレタンゴム・FKM
導電性NBR・導電性シリコーンゴム黄銅(無電解ニッケルめっき)
ステンレス鋼ステンレス鋼
黄銅(無電解ニッケルめっき)黄銅(無電解ニッケルめっき)構造用鋼(三価クロメート)
――
1
23456789
1162
ZP3 Series 取付用アダプタ品番
ZP3 Series
アダプタ 適応パッド一覧
P.1168
アダプタ型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3A-T1-A3
P.1168ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3A-T1-B3
P.1168ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3A-T1-A6-B3
P.1168
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3A-T2-A5
P.1168
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3A-T2-B5
P.1168
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3A-T2-A10-B5
P.1168
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3A-T2-A10-04
P.1168
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3A-T3-A5
P.1169
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3A-T3-B5
アダプタ型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1169
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3A-T3-A12-B5
P.1169
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3A-T3-A12-04
P.1169
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3A-T3-A12-06
P.1169ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3A-Y1-B3
P.1169
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3A-Y2-B5
P.1169
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3A-Y3-B5
1163
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
バッファAss'y品番
ZP3 Series
バッファ 適応パッド一覧
P.1170
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-T1J3-B3
P.1170ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-T1J6-B3
P.1170ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-T1K3-B3
P.1170ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-T1K6-B3
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AJ3-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AJ6-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AJ10-B5
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AK3-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AK6-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AK10-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AJB15-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AJB20-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AK15-B5
P.1170
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-T2AK20-B5
1164
バッファAss'y品番
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BJ3-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BJ6-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BJ10-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BK3-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BK6-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BK10-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BJB15-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BJB20-B5
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BK15-B5
P.1171
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-T2BK20-B5
P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-Y1J3-B3
P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-Y1J6-B3
P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-Y1K3-B3
P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□
ZP3B-Y1K6-B3
1165
バッファ 適応パッド一覧 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
バッファAss'y品番
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AJ3-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AJ6-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AJ10-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AK3-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AK6-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AK10-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AJB15-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AJB20-B5
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AK15-B5
P.1172
ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□
ZP3B-Y2AK20-B5
1166
ZP3 Series
バッファAss'y品番
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BJ3-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BJ6-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BJ10-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BK3-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BK6-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BK10-B5
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BJB15-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BJB20-B5
バッファAss'y型式適応パッド型式
ZP3シリーズページ
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BK15-B5
P.1173
ZP3-10UM□ZP3-13UM□ZP3-16UM□ZP3-10B□ZP3-13B□ZP3-16B□
ZP3B-Y2BK20-B5
1167
バッファ 適応パッド一覧 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
1.8
M3×0.5六角対辺5
ガスケット
ø2ø1.5ø0.8
2.5
2.55
0.4
1.5
M6×0.75M3×0.5
3.5
10
12
0.4
1.5
ø2ø1.5ø0.8
3.5
M3×0.5六角対辺5
5.5
0.41.5
ø0.8ø1.5
ø2
ガスケット
M5×0.8
ø5
ø3ø1.8
1.4
3.5
5.5
32.5
六角対辺7
六角対辺8
5
M5×0.8
ø8
M10×1
ø5
ø3ø1.8
1.4
3.5
14
5
M5×0.8六角対辺7
7.5
3.5
1.4
ø5
ø3ø1.8
ガスケット
M5×0.8六角対辺10
六角対辺14
二面幅7
ø6ø4
ø1.8
32.55.5
43
32
12
2
2
2
二面幅5ø6
17
3.5
1.4
12
33
2
六角対辺14 適用チューブ径:ø4
二面幅7M10×1
ø8
ø1.8
ø3
ø5
ZP3 Series
取付用アダプタ品番
ZP3-015UZP3-02UZP3-035U
適応パッド品番
ZP3A-T1-A3[質量:0.5g]アダプタ品番
ZP3-015UZP3-02UZP3-035U
適応パッド品番
ZP3A-T1-A6-B3[質量:2.7g]アダプタ品番
ZP3-015UZP3-02UZP3-035U
適応パッド品番
ZP3A-T1-B3[質量:0.8g]アダプタ品番
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
ZP3A-T2-A5[質量:1.4g]アダプタ品番
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
ZP3A-T2-A10-B5[質量:10.7g]アダプタ品番
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
ZP3A-T2-A10-04[質量:9.9g]アダプタ品番
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
ZP3A-T2-B5[質量:2.0g]アダプタ品番
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3A-T3-A5[質量:2.4g]アダプタ品番
1168
真空取出方向縦
7.5
4
1.8
ø6ø4
ø1.8
5
六角対辺10 M5×0.8
適用チューブ径:ø6
ø6ø4
ø1.8
M12×1
426.2 18
5
六角対辺14
六角対辺142
2
1.8
5
M5×0.8 M12×1
六角対辺14
ø6ø4
ø1.8
1.8
42318
5
六角対辺14
22
51.8
4
適用チューブ径:ø4
六角対辺14
六角対辺14
26 18 22
M12×1
ø1.8ø4ø6
ø5M3×0.5
2
11
0.4
1.5
ø2
ø0.8ø1.5
4M3×0.5
3
3
ø8
M5×0.8
2
16
3.5
1.4
ø5
ø3
ø1.8
5
4
M5×0.8
5
ø8
M5×0.8
16
41.8
ø6
ø4
ø1.8
5
4
M5×0.8
5
8
8
8
8
5
5
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3A-T3-B5[質量:5.1g]アダプタ品番
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3A-T3-A12-04[質量:19.6g]アダプタ品番
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3A-T3-A12-06[質量:17.5g]アダプタ品番
ZP3-015UZP3-02UZP3-035U
適応パッド品番
ZP3A-Y1-B3[質量:1.8g]アダプタ品番
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
ZP3A-Y2-B5[質量:6.7g]アダプタ品番
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3A-Y3-B5[質量:7.1g]アダプタ品番
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3A-T3-A12-B5[質量:18.2g]アダプタ品番
真空取出方向縦
真空取出方向横
1169
取付用アダプタ品番 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
22
ø1.5
ø5M3×0.5
二面幅4
六角対辺8
22D
BA
0.4
1.5
ø2
ø1.5ø0.8
M6×0.75
ø7M5×0.8
4二面幅6
B
DA
1.4
3.5
六角対辺7
M8×0.75
六角対辺10
22
ø7M5×0.8
4
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
二面幅6
ø5
ø1.8ø3
六角対辺7
A
B3.5
六角対辺10
10
ø5
ø3
ø1.8
1.4
ø7
M3×0.5
3
二面幅6
六角対辺10
22D
A
六角対辺5.5B
1.5 ø0.8
ø2
M8×0.75
ZP3B-T1J3-B3ZP3B-T1J6-B3ZP3B-T1K3-B3ZP3B-T1K6-B3
ZP3B-T1J■-B3 ZP3B-T1K■-B3
ZP3B-T2AJ■-B5 ZP3B-T2AK■-B5
ZP3B-T2AJB■■-B5 ZP3B-T2AK■■-B5
バッファAss'y品番 質量(g)3.54.36.78.1
ZP3B-T2AJ3-B5ZP3B-T2AJ6-B5ZP3B-T2AJ10-B5ZP3B-T2AK3-B5ZP3B-T2AK6-B5ZP3B-T2AK10-B5
バッファAss'y品番 質量(g) 7.1 8.310.2 7.0 8.310.2
ZP3B-T2AJB15-B5ZP3B-T2AJB20-B5ZP3B-T2AK15-B5ZP3B-T2AK20-B5
バッファAss'y品番 質量(g)10.010.612.013.1
ZP3 Series
バッファAss'y品番
ZP3-015UZP3-02UZP3-035U
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
47
A2128
B1014
DZP3B-T1J3-B3ZP3B-T1J6-B3
寸法表(ストローク別)型式
58
A23.530
B11 14.5
DZP3B-T1K3-B3ZP3B-T1K6-B3
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
5 812
A24.531 41
B11 14.520.5
D
注)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
ZP3B-T2A☆3-B5ZP3B-T2A☆6-B5ZP3B-T2A☆10-B5
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
30.538
A49 56.5
BZP3B-T2A☆15-B5ZP3B-T2A☆20-B5注)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
1170
真空取出方向縦
22
ø7M5×0.8
4二面幅6
B
DA
4
1.8
ø6
ø4ø1.8
六角対辺10
M8×0.75
六角対辺10
22
M5×0.8 ø7
ブッシュ
ブッシュ
M8×0.75
二面幅6
六角対辺10
ø6ø4
ø1.8
1.8
4
A
B
六角対辺10
10
4
ZP3B-T2BJB15-B5ZP3B-T2BJB20-B5ZP3B-T2BK15-B5ZP3B-T2BK20-B5
バッファAss'y品番 質量(g)12.515.614.515.6
ZP3B-T2BJ3-B5ZP3B-T2BJ6-B5ZP3B-T2BJ10-B5ZP3B-T2BK3-B5ZP3B-T2BK6-B5ZP3B-T2BK10-B5
バッファAss'y品番 質量(g) 7.8 8.910.9 7.7 8.910.9
※ナットの締付トルクについては、P.897をご参照ください。
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
5 812
A24.531 41
B11 14.520.5
D
注)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
ZP3B-T2B☆3-B5ZP3B-T2B☆6-B5ZP3B-T2B☆10-B5
寸法表(ストローク別)型式
30.538
A49 56.5
BZP3B-T2B☆15-B5ZP3B-T2B☆20-B5
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3B-T2BJ■■-B5 ZP3B-T2BK■■-B5
ZP3B-T2BJB■■-B5 ZP3B-T2BK■■-B5
注)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
1171
真空取出方向縦
バッファAss'y品番 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
22
1.5
M8×0.75
ø5二面幅4
M6×0.75
六角対辺8
BA
10
0.4
1.5
22D
M3×0.5
43
ø2
8
8
ø1.5ø0.8
ø7二面幅6
M8×0.75
M5×0.8
54
1.4
12A
BD
六角対辺10
8
8
ø5ø3
ø1.8
3.5
8
8
ø7二面幅6
1.4
3.5
12
AB
10
六角対辺10
22
M5×0.8
54
ø5ø3ø1.8
ブッシュ
M8×0.75
ø7二面幅6
六角対辺10
22D
A
B
ø0.8
ø2ø1.5
3
M3×0.5
ZP3B-Y1J3-B3ZP3B-Y1J6-B3ZP3B-Y1K3-B3ZP3B-Y1K6-B3
バッファAss'y品番 質量(g) 7.6 8.510.912.1
ZP3B-Y2AJ3-B5ZP3B-Y2AJ6-B5ZP3B-Y2AJ10-B5ZP3B-Y2AK3-B5ZP3B-Y2AK6-B5ZP3B-Y2AK10-B5
バッファAss'y品番 質量(g)12.513.916.311.913.115.1
ZP3B-Y2AJB15-B5ZP3B-Y2AJB20-B5ZP3B-Y2AK15-B5ZP3B-Y2AK20-B5
バッファAss'y品番 質量(g)14.014.815.216.3
ZP3-015UZP3-02UZP3-035U
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
1417
A31 37.5
B11 14.5
DZP3B-Y1K3-B3ZP3B-Y1K6-B3
寸法表(ストローク別)型式
1417
A2734
B1014
DZP3B-Y1J3-B3ZP3B-Y1J6-B3
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
16.519 23
A344050
B11 14.520.5
D
注)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
ZP3B-Y2A☆3-B5ZP3B-Y2A☆6-B5ZP3B-Y2A☆10-B5
ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
36.544
A53 60.5
BZP3B-Y2A☆15-B5ZP3B-Y2A☆20-B5注)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
ZP3B-Y1J■-B3 ZP3B-Y1K■-B3
ZP3B-Y2AJ■■-B5 ZP3B-Y2AK■■-B5
ZP3B-Y2AJB■■-B5 ZP3B-Y2AK■■-B5
1172
真空取出方向横
ZP3 Series
4
1.8
M5×0.8
ø7
二面幅6
六角対辺10
22
12
DA
B
8
8
ø1.8
ø6ø4
4
5
M8×0.75
8
8
二面幅6
六角対辺10 ø7
ブッシュ
B10
A
12
41.8
22
M8×0.75
4
M5×0.85
ø1.8ø4
ø6
ZP3B-Y2BJ3-B5ZP3B-Y2BJ6-B5ZP3B-Y2BJ10-B5ZP3B-Y2BK3-B5ZP3B-Y2BK6-B5ZP3B-Y2BK10-B5
バッファAss'y品番 質量(g)13.014.316.712.413.615.5
ZP3B-Y2BJB15-B5ZP3B-Y2BJB20-B5ZP3B-Y2BK15-B5ZP3B-Y2BK20-B5
バッファAss'y品番 質量(g)14.415.215.616.7
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
ZP3-10UMZP3-13UMZP3-16UMZP3-10BZP3-13BZP3-16B
適応パッド品番
寸法表(ストローク別)型式
36.544
A53 60.5
BZP3B-Y2B☆15-B5ZP3B-Y2B☆20-B5
寸法表(ストローク別)型式
16.519 23
A344050
B11 14.520.5
D
注)表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。
ZP3B-Y2B☆3-B5 ZP3B-Y2B☆6-B5 ZP3B-Y2B☆10-B5
※ナットの締付トルクについては、P.897をご参照ください。
ZP3B-Y2BJ■■-B5 ZP3B-Y2BK■■-B5
ZP3B-Y2BJB■■-B5 ZP3B-Y2BK■■-B5
注)表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。
1173
真空取出方向横
バッファAss'y品番 ZP3 Series
ZP3
ZP2
ZPZPTZPR
ZP2V
XT661
ZP3
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