真空パッド - smc corporationca01.smcworld.com/catalog/best-5-jp/pdf/4-p1121-1173-zp3.pdfm3, m5...

ZP3 Series

真空パッド

ø1.5, ø2, ø3.5, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16

パッド径材質形状ページ

ページ

ø1.5 ø2 ø3.5 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16

ベロウ形

平形溝付

NBR

シリコーンゴム

ウレタンゴム

FKM

導電性NBR

導電性シリコーンゴム

バッファなし（アダプタ付）

バッファなし（アダプタ付）

バッファ付ストローク 3mm 6mm10mm15mm20mm

バッファ付ストローク 3mm 6mm10mm15mm20mm

P.1122

P.1124

P.1136

P.1146

一般的なワーク吸着用。ワーク吸着面が平面で変形等ない場合。

ワークが変形しやすい場合。ワーク離脱を確実に行いたい場合。

吸着面が斜めのワークの場合。

真空取出方向バッファの有無真空取出口

おねじ

めねじ

バーブ継手

ワンタッチ管継手

M3, M5

M3, M5

ø2, ø4, ø6

ソフトナイロン・ポリウレタンチューブø4, ø6

ポリウレタンチューブø2





M3, M5

めねじ

バーブ継手


めねじ

バーブ継手


M3, M5

P.1152ソフトナイロン・ポリウレタンチューブø4, ø6


ø2, ø4, ø6

めねじ

バーブ継手


M3, M5

ø2, ø4, ø6

ø2, ø4, ø6

構造図 P.1162アダプタ適応パッド一覧 P.1163バッファ適応パッド一覧 P.1164

取付用アダプタ品番 P.1168バッファAss'y品番 P.1170

縦

縦

横

横

ZP3-T　　□□-　　

ZP3-T　　□□-　□-□J

JBK

ZP3-Y　　□□-　□-□J

JBK

ZP3-Y　　□□-□-□

平形

RoHS

1121

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ø3

ø2

ø1.5

0.3

10.5

ø2ø1.5

ø0.8

3

ø3ø2

ø1.5

10.5

0.3

ø2.5

ø2

ø0.8

3

ø3ø2

ø1.5

3

ø0.8

ø3.5ø4

0.3

0.5

1

ø7

ø5

ø3

21.5

0.5

ø4.5

ø4

ø1.2

ø7

ø5

ø3

21.5

0.8

ø6.5

ø6

ø2

6

ø7

ø5

ø3

21.5

0.8

ø8.5

ø8

ø2

66

外形寸法図／パッド単体

ZP3-015U□ ［質量：0.1g］ ZP3-02U□ ［質量：0.1g］ ZP3-035U□ ［質量：0.1g］

ZP3-04UM□ ［質量：0.3g］ ZP3-06UM□ ［質量：0.3g］ ZP3-08UM□ ［質量：0.3g］

U 平形UM 平形溝付B ベロウ形

小形パッド記号形状

型式表示方法

ZP3 015 Uパッド材質

NSUF

GNGS

材質NBR

シリコーンゴムウレタンゴムFKM

導電性NBR導電性シリコーンゴム

記号

Nパッド単体

パッド径

01502035040608101316

パッド径ø1.5ø2

ø3.5ø4ø6ø8

ø10ø13ø16

記号

パッド形状―パッド径

U（平形）UM（平形溝付）B（ベロウ形）

015

●――

02

●――

035

●――

04

―●●

06

―●●

08

―●●

10

―●●

13

―●●

16

―●●

パッド径（記号）パッド形状

ø1.5, ø2, ø3.5, ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16パッド径

平形

平形溝付

※販売単位ø1.5～ø8 ：10個ø10～ø16： 5個

1122

ø9ø6ø4

22

1

ø11ø10

ø2

7

ø9ø6

ø4

7

ø14ø13

ø2

1.2

22

7

ø4ø6

ø9

22

1.2

ø17ø16

ø2

ø7ø5

ø3

21.5

2.2

ø9

ø4ø1.8

8

ø6ø4

22

2

ø11ø10ø6

ø2

10

ø7ø5

ø3

8

ø7ø6

ø3.4ø2

3 1.5

2

ø9ø8

ø5.2ø2

3

8

ø7ø5

ø3

21.5

ø9ø6ø4

10

22

2

ø14ø13ø8.4ø3

10

ø4ø6ø9

22

2

ø17ø16

ø11.4ø3

ø4.5

0.41.5

ø1.5ø0.8

ø2

R

R

R

1.4

3.5

R R

R

R

R

ø5ø3

ø1.8

RR

R

R

ø6ø4

ø1.8

1.8

4

R

外形寸法図／パッド単体

ZP3-10UM□ ［質量：0.6g］ ZP3-13UM□ ［質量：0.7g］ ZP3-16UM□ ［質量：0.8g］

ZP3-04B□ ［質量：0.3g］ ZP3-06B□ ［質量：0.3g］ ZP3-08B□ ［質量：0.4g］

ZP3-10B□ ［質量：0.8g］ ZP3-13B□ ［質量：1.0g］ ZP3-16B□ ［質量：1.1g］

適応パッド015U/02U/035U

適応パッド04UM/06UM/08UM/04B/06B/08B

適応パッド10UM/13UM/16UM/10B/13B/16B

お客様にて金具を製作される場合、下記寸法をご参考ください。

パッド取付部金具寸法

注）R部は角のないよう滑らかにとること。　※適用アダプタは、P.1168、1169をご参照ください。

平形溝付

ベロウ形

1123

パッド単体 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

六角対辺5M3×0.5

8

32.5

2.5

2.5

2.5

ø2

0.3


8

0.3

ø2


3

8

ø4

ø3.5

0.3

ø1.5

ø0.8

ø2.5

ø0.8 ø0.8

2.5

2.5

3

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口縦

交換品番

ZP3-T015U□-A3［質量：0.6g］

ZP3-T02U□-A3［質量：0.6g］

ZP3-T035U□-A3［質量：0.6g］

ZP3 T 015 U A6

パッド材質（□）

NSUF

GNGS

材質NBR



記号

N縦方向真空取出形／アダプタ付

取付ねじ径

B3

A3※ A5※

A6A10A12

B3※ B5※めねじ

おねじ

取付接続ねじ径記号 ø1.5

～ø3.5M3×0.5M5×0.8M6×0.75M10×1M12×1M3×0.5M5×0.8

●―●――●―

ø4～ø8―●―●――●

ø10～ø16―●――●―●

真空取出口（◇）

M3×0.5 めねじM5×0.8 めねじ

ø2チューブ／バーブ継手※1ø4チューブ／バーブ継手※2ø6チューブ／バーブ継手※2

ø2チューブø4チューブø6チューブ

―

B3B5U2U4U6020406無記号

取付ねじ径

A3/A5/B3/B5の場合

A6●―●●―●●―

型式表示方法



015

●――

02

●――

035

●――

04

―●●

06

―●●



08

―●●

10

―●●

13

―●●

16

―●●


A10―●●●―●●―

A12―●●●●●●●

※1 ポリウレタンチューブを配管※2 ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管

ZP3-T（04・06・08）UM□-A5ZP3-T（04・06・08）B□-A5ZP3-T（04・06・08）UM□-B5ZP3-T（04・06・08）B□-B5ZP3-T（04・06・08）UM□-A10-◇ZP3-T（04・06・08）B□-A10-◇ZP3-T（04・06・08）UM□-A10-04ZP3-T（04・06・08）B□-A10-04

ZP3-（04・06・08）UM□ZP3-（04・06・08）B□ZP3-（04・06・08）UM□ZP3-（04・06・08）B□ZP3-（04・06・08）UM□ZP3-（04・06・08）B□ZP3-（04・06・08）UM□ZP3-（04・06・08）B□

ZP3A-T2-A5

ZP3A-T2-B5

ZP3A-T2-A10-B5

ZP3A-T2-A10-04

アダプタ品番パッド単体品番型式

注1）表の□は、パッド材質を示す。注2）表の◇は、真空取出口を示す。注3）継手は別途手配となります。

型式末尾品番（◇）　U2：M-5AU-2,U4：M-5AU-4-X83,02：KJH02-M5

パッド径：ø4～ø8

ZP3-T（015・02・035）U□-A3ZP3-T（015・02・035）U□-B3ZP3-T（015・02・035）U□-A6-◇

ZP3-（015・02・035）U□ZP3A-T1-A3ZP3A-T1-B3ZP3A-T1-A6-B3



型式末尾品番（◇）　U2：M-3AU-2,U4：M-3AU-4-X8302：KJH02-M3,04：KJH04-M3-X83

パッド径：ø1.5～ø3.5

ZP3-T（10・13・16）UM□-A5ZP3-T（10・13・16）B□-A5ZP3-T（10・13・16）UM□-B5ZP3-T（10・13・16）B□-B5ZP3-T（10・13・16）UM□-A12-◇ZP3-T（10・13・16）B□-A12-◇ZP3-T（10・13・16）UM□-A12-04ZP3-T（10・13・16）B□-A12-04ZP3-T（10・13・16）UM□-A12-06ZP3-T（10・13・16）B□-A12-06

ZP3-（10・13・16）UM□ZP3-（10・13・16）B□ZP3-（10・13・16）UM□ZP3-（10・13・16）B□ZP3-（10・13・16）UM□ZP3-（10・13・16）B□ZP3-（10・13・16）UM□ZP3-（10・13・16）B□ZP3-（10・13・16）UM□ZP3-（10・13・16）B□

ZP3A-T3-A5

ZP3A-T3-B5

ZP3A-T3-A12-B5

ZP3A-T3-A12-04

ZP3A-T3-A12-06



型式末尾品番（◇）　U2：M-5AU-2,U4：M-5AU-4-X83U6：M-5AU-6-X83,02：KJH02-M5


※印は、真空取出口は無記号

記号真空取出口

パッド径 ø1.5～ø3.5パッド形状平形

真空取出方向

T方向縦

記号

パッド径

08101316

パッド径ø8

ø10ø13ø16

記号015020350406


ø3.5ø4ø6

記号

1124

ZP3 Series

32

22

12

15

六角対辺8

二面幅5

M6×0.75 M3×0.5

3.5

0.3

ø2

ø1.5

ø0.8

六角対辺8

M6×0.75 M3×0.5

3.5

0.3

ø2

ø2.5

ø0.8

22

六角対辺8

M6×0.75 M3×0.5

3.5

0.3

ø4

ø3.5

ø0.8

ø0.9

（6.5）

六角対辺4.5

ø1.2

（7.4）六角対辺5

六角対辺5.5

（10）

六角対辺8

（13.7）

六角対辺5

3.5

8.5

3

ø3.5

ø4

0.3

六角対辺5

3.5

8.5

3

0.3

ø2

六角対辺5

3.5

8.5

3

0.3

ø2

M3×0.5

ø1.5

ø0.8

M3×0.5

ø2.5

ø0.8

M3×0.5

ø0.8

10

32

12

15

二面幅5

10

32

12

15

二面幅510

22

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口

ZP3-T015U□-A6-B3［質量：2.8g］

ZP3-T02U□-A6-B3［質量：2.8g］

ZP3-T035U□-A6-B3［質量：2.8g］

縦

M-3AU-2［質量：0.7g］※2

ZP3-T015U□-A6-U2ZP3-T02U□-A6-U2ZP3-T035U□-A6-U2

ZP3-T015U□-A6-U4ZP3-T02U□-A6-U4ZP3-T035U□-A6-U4

M-3AU-4-X83［質量：0.7g］※2

ZP3-T015U□-B3［質量：0.9g］

ZP3-T02U□-B3［質量：0.9g］

ZP3-T035U□-B3［質量：0.9g］


KJH02-M3［質量：1.1g］※2

ZP3-T015U□-A6-02ZP3-T02U□-A6-02ZP3-T035U□-A6-02

ZP3-T015U□-A6-04ZP3-T02U□-A6-04ZP3-T035U□-A6-04

KJH04-M3-X83［質量：1.9g］※2

※1 寸法は、「ZP3-T▲▲▲U□-A6-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲▲U□-A6-B3」に継手の質量を加算ください。

真空取出口寸法図

バーブ継手


1125

縦アダプタ付真空取出口　 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

62.5

3

11.5


0.5

ø4.5

ø1.26

2.5

3

11.5


0.8

ø6.5

62.5

3

11.5


0.8

ø8.5

ø1.8ø1.8

ø6 ø8ø4

6

13.5


50.5

ø4.5

ø1.2

6

13.5


50.8

ø6.5

ø1.8

6

13.5


50.8

ø8.5

ø1.8

ø4 ø6 ø8


ZP3-T04UM□-A5［質量：1.7g］



縦

ZP3-T04UM□-B5［質量：2.3g］



パッド径 ø4～ø8パッド形状平形溝付

1126

ZP3 Series

ZP3-T08UM□-A10-04［質量：10.2g］

ZP3-T06UM□-A10-04［質量：10.2g］

ZP3-T04UM□-A10-04［質量：10.2g］

20

12

14

63

3

六角対辺14

二面幅7 二面幅7 二面幅7

M10×1

M5×0.8

5

ø4.5

六角対辺14

M10×1

20

12

14

63

3

ø6.5

5

M5×0.8 M5×0.8六角対辺14

M10×1

20

33

12

14

222

6

ø8.5

5

0.5

ø4

ø1.2 ø1.8

ø6 0.8

0.8

ø8

ø1.8

（6.5）

ø0.9

六角対辺7

六角対辺7（8.7）


ø1.8

六角対辺14 適用チューブ径：ø4

M10×1ø8

0.5

ø4.5

ø4

ø1.2

二面幅7

33

12

2

617

23


M10×1ø8

0.8

ø6.5

ø6

ø1.8

二面幅7

33

1217

2

6

23


M10×1ø8

0.8

ø8.5

ø8

ø1.8

二面幅7

33

12

2

17

23

6

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口縦ZP3-T04UM□-A10-B5

［質量：11.0g］ZP3-T06UM□-A10-B5

［質量：11.0g］ZP3-T08UM□-A10-B5

［質量：11.0g］

M-5AU-2［質量：1.5g］※2 M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

ZP3-T04UM□-A10-U2ZP3-T06UM□-A10-U2ZP3-T08UM□-A10-U2


KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T04UM□-A10-02ZP3-T06UM□-A10-02ZP3-T08UM□-A10-02


バーブ継手



※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□-A10-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□-A10-B5」に継手の質量を加算ください。

1127


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

7

14.5


5

1.2

ø17

ø1.8

7

14.5


51.2

ø14

ø1.8

ø11

ø1.8

7

14.5


51

ø16ø13ø10

72.5

3

12.5


1.2

ø17

ø1.8

72.5

3

12.5


1.2

ø14

ø1.8

72.5

3

12.5


1

ø11

ø1.8

ø16ø13ø10





縦ZP3-T10UM□-A5［質量：3.0g］




1128

ZP3 Series

30

12

18 22

7

5

30

18

12

7

ø11

ø10

六角対辺14

六角対辺14

M12×1

M5×0.8 M5×0.8

六角対辺14

M12×1

5ø14

ø13

ø1.8 1 ø1.8

1.2

六角対辺1430

18

12

7

5 5 5

ø17

ø16

ø1.8

M5×0.8

5

1.2

M12×1

六角対辺7 ø0.9

（6.5）

（8.5）

ø1.8

六角対辺7

ø2.5

六角対辺7

（10.5）

六角対辺7

（8.7）

22

六角対辺14

22

六角対辺14

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口縦ZP3-T10UM□-A12-B5

［質量：18.8g］ZP3-T13UM□-A12-B5

［質量：18.9g］ZP3-T16UM□-A12-B5

［質量：19.0g］


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T10UM□-A12-02ZP3-T13UM□-A12-02ZP3-T16UM□-A12-02ワ

ンタッチ管継手


※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□-A12-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□-A12-B5」に継手の質量を加算ください。

1129


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ZP3-T16UM□-A12-04［質量：20.4g］

ZP3-T13UM□-A12-04［質量：20.3g］

ZP3-T10UM□-A12-04［質量：20.2g］


M12×1

1.2

ø17ø16

ø1.8

六角対辺14

22

57

12

18

33

1.2

M12×1

適用チューブ径：ø4六角対辺14

ø13ø14

ø1.8

六角対辺142

25

7

12

18

33


M12×1

1

ø11ø10

ø1.8

六角対辺14

22

57

12

18

33

33.2

18

12

75 5 5

22

適用チューブ径：ø6

ø11

ø10

ø1.8 1

六角対辺14

M12×1

六角対辺14


六角対辺14

六角対辺14

2218

12

7

33.2

ø14

ø13

ø1.8

1.2

M12×1

33.2

22

7

12

18


六角対辺14

M12×1

六角対辺14

ø17

ø16

ø1.8

1.2

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口縦

ZP3-T10UM□-A12-06［質量：18.1g］

ZP3-T13UM□-A12-06［質量：18.2g］

ZP3-T16UM□-A12-06［質量：18.3g］


1130

ZP3 Series

M5×0.8六角対辺7

38

2.5

13.5

ø4.5

ø4

ø1.8


38

2.5

13.5

3

ø7ø6

ø3.4

ø1.8


38

2.5

13.5

3

ø9

ø8

ø5.2ø1.8

2.2

M5×0.8

5

2.2

8

15.5

ø4.5

ø4

ø1.8

六角対辺7 M5×0.8六角対辺7

53

8

15.5

ø7

ø6

ø3.4

ø1.8

8

15.5


53

ø9

ø8

ø5.2

ø1.8

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口縦ZP3-T04B□-A5［質量：1.7g］

ZP3-T06B□-A5［質量：1.7g］

ZP3-T08B□-A5［質量：1.8g］

ZP3-T04B□-B5［質量：2.3g］

ZP3-T06B□-B5［質量：2.3g］

ZP3-T08B□-B5［質量：2.4g］

パッド径 ø4～ø8パッド形状ベロウ形

1131


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ZP3-T08B□-A10-04［質量：10.3g］

ZP3-T06B□-A10-04［質量：10.2g］

ZP3-T04B□-A10-04［質量：10.2g］

M10×1

六角対辺14

33

812

22

ø1.8

ø4

ø4.5

2.2

5

M5×0.8 六角対辺14

M10×1

M5×0.8

5

83

3

12

22

3ø7

ø6

ø3.4

ø1.8

M10×1

M5×0.8

5

3

ø9

ø8

ø5.2ø1.8

82

22

12

14

2

14

2

14

33

六角対辺14

（6.5）

ø0.9

六角対辺7

ø1.8

六角対辺7

（8.7）

六角対辺7

（8.5）


M10×1

ø8

2.2

ø4.5

ø4

ø1.8

二面幅7

33

12

2

17

8

25


M10×1

ø8

3

ø7

ø6

ø3.4

ø1.8

二面幅7

33

12

2

17

8

25


M10×1

ø8

3

ø9

ø8

ø5.2

ø1.8

二面幅7

33

12

2

17

8

25

二面幅7 二面幅7 二面幅7


ZP3-T04B□-A10-B5［質量：11.0g］

ZP3-T06B□-A10-B5［質量：11.0g］

ZP3-T08B□-A10-B5［質量：11.1g］

縦

M-5AU-2［質量：1.5g］※2 M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

ZP3-T04B□-A10-U2ZP3-T06B□-A10-U2ZP3-T08B□-A10-U2


KJH02-M5［質量：1.8g］※2

ZP3-T04B□-A10-02ZP3-T06B□-A10-02ZP3-T08B□-A10-02


バーブ継手



※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□-A10-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□-A10-B5」に継手の質量を加算ください。

1132

ZP3 Series

52


10

17.5

ø11

ø10

ø6

ø1.8

5


17.5

10

ø14

ø13

ø8.4

ø1.8

2

5


17.5

10

ø17ø16

ø11.4

ø1.8

2


310

2.5

15.5

ø11ø10ø6

ø1.8

2

ø14ø13

ø8.4

ø1.8

2

10

2.5

15.5

3

六角対辺10 M5×0.8

ø17ø16

ø11.4ø1.8

2


310

2.5

15.5


ZP3-T10B□-B5［質量：5.9g］

ZP3-T13B□-B5［質量：6.1g］

ZP3-T16B□-B5［質量：6.2g］

縦ZP3-T10B□-A5［質量：3.2g］

ZP3-T13B□-A5［質量：3.4g］

ZP3-T16B□-A5［質量：3.5g］


1133


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

33

ø11ø10ø6

ø1.8

25

M5×0.8

18

15

10

六角対辺14

M12×1

22

六角対辺14

18

33

15

10

六角対辺14

M12×1

六角対辺14

M5×0.8

ø14ø13ø8.4

ø1.8

2

18

33

15

10

5 5 5

六角対辺14

M12×1

六角対辺14

M5×0.8

5

2

ø17ø16

ø11.4ø1.8

5

（6.5）

ø0.9六角対辺7

（8.5）

ø1.8

六角対辺7

（10.5）

六角対辺7

（8.7）

六角対辺7

ø2.5


ZP3-T10B□-A12-B5［質量：19.0g］

ZP3-T13B□-A12-B5［質量：19.2g］

ZP3-T16B□-A12-B5［質量：19.3g］

縦


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T10B□-A12-02ZP3-T13B□-A12-02ZP3-T16B□-A12-02ワ

ンタッチ管継手


※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□-A12-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□-A12-B5」に継手の質量を加算ください。

1134

ZP3 Series


M12×1

ø17ø16

ø11.4ø1.8

2

六角対辺14

10

515

22

18

36


M12×1

ø142

ø13ø8.4

ø1.8

六角対辺1410

515

22

18

36


M12×1

2

ø11ø10ø6

ø1.8

六角対辺14

10

515

22

18

36


六角対辺14

六角対辺14

M12×1

1015

36.2

18 22

ø11ø10ø6

ø1.8

2

36.2

15

10

ø14ø13ø8.4

ø1.8

2

六角対辺14

M12×1

六角対辺14

2218


36.2

15

10

5 5 5

六角対辺14

M12×1

六角対辺14


2218

ø17ø16

ø11.4ø1.8

2


ZP3-T10B□-A12-06［質量：18.3g］

ZP3-T13B□-A12-06［質量：18.5g］

ZP3-T16B□-A12-06［質量：18.6g］

縦ZP3-T16B□-A12-04［質量：20.7g］

ZP3-T13B□-A12-04［質量：20.6g］

ZP3-T10B□-A12-04［質量：20.4g］


1135


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ZP3 T 015 U J 3 B3N

真空取出口（◇）

B3B5U2U4U6020406

めねじ

バーブ継手


接続ねじ径／配管記号

M3×0.5M5×0.8

ø2チューブ※1ø4チューブ※2ø6チューブ※2


●―●●―●●―

ø4～ø8

ø1.5～ø3.5

―●●●―●●―

ø10～ø16―●●●●●●●

型式表示方法

パッド径

01502035040608101316


ø3.5ø4ø6ø8

ø10ø13ø16

記号

バッファ仕様（☆）J

JBK

回り止めなし回り止めなし、ブッシュ入り

回り止め付

※1 ポリウレタンチューブを配管。※2 ソフトナイロン・ポリウレタンチューブを配管。

※適用ストロークについては、下記「仕様」を参照してください。

ストローク（■）―バッファ仕様

3 6101520

●●―――

ストローク ø1.5～ø3.5J J JBK K

●●―――

ø4～ø16

●●●――

―――●●

●●●●●



015

●――

02

●――

035

●――

04

―●●

06

―●●



08

―●●

10

―●●

13

―●●

16

―●●



NSUF

GNGS

材質NBR



記号

縦方向真空取出形／バッファ付

真空取出方向

T方向縦

記号

仕様

JKJ

JBK

ø1.5～ø3.5

ø4～ø16

M6×0.751.5～1.8

2.0～2.50.2

0.5

0.4

M8×0.75

ストローク（mm）

締付トルク（N・m）取付接続スプリング反力

0ストローク時（N）フルストローク時（N）バッファ仕様パッド径

3, 6

3, 6, 1015, 20

3, 6, 10, 15, 20

交換品番

ZP3-T（04/06/08）UM□（J/K）3-◇ZP3-T（04/06/08）B□（J/K）3-◇ZP3-T（04/06/08）UM□（J/K）6-◇ZP3-T（04/06/08）B□（J/K）6-◇ZP3-T（04/06/08）UM□（J/K）10-◇ZP3-T（04/06/08）B□（J/K）10-◇ZP3-T（04/06/08）UM□（JB/K）15-◇ZP3-T（04/06/08）B□（JB/K）15-◇ZP3-T（04/06/08）UM□（JB/K）20-◇ZP3-T（04/06/08）B□（JB/K）20-◇

ZP3-（04/06/08）UM□ZP3-（04/06/08）B□ZP3-（04/06/08）UM□ZP3-（04/06/08）B□ZP3-（04/06/08）UM□ZP3-（04/06/08）B□ZP3-（04/06/08）UM□ZP3-（04/06/08）B□ZP3-（04/06/08）UM□ZP3-（04/06/08）B□

ZP3B-T2A（J/K）3-B5



ZP3B-T2A（JB/K）15-B5

ZP3B-T2A（JB/K）20-B5

バッファ Ass'y品番注3）パッド単体品番型式


型式末尾品番（◇）　U2：M-5AU-2,U4：M-5AU-4-X8302：KJH02-M5,04：KJH04-M5


ZP3-T（015/02/035）U□（J/K）3-◇ZP3-T（015/02/035）U□（J/K）6-◇ ZP3-（015/02/035）U□ ZP3B-T1（J/K）3-B3

ZP3B-T1（J/K）6-B3





ZP3-T（10/13/16）UM□（J/K）3-◇ZP3-T（10/13/16）B□（J/K）3-◇ZP3-T（10/13/16）UM□（J/K）6-◇ZP3-T（10/13/16）B□（J/K）6-◇ZP3-T（10/13/16）UM□（J/K）10-◇ZP3-T（10/13/16）B□（J/K）10-◇ZP3-T（10/13/16）UM□（JB/K）15-◇ZP3-T（10/13/16）B□（JB/K）15-◇ZP3-T（10/13/16）UM□（JB/K）20-◇ZP3-T（10/13/16）B□（JB/K）20-◇


ZP3B-T2B（J/K）3-B5



ZP3B-T2B（JB/K）15-B5

ZP3B-T2B（JB/K）20-B5



型式末尾品番（◇）　U2：M-5AU-2,U4：M-5AU-4-X83U6：M-5AU-6-X83,02：KJH02-M504：KJH04-M5,06：KJH06-M5


1136

ZP3 Series

ADB

22

ø2

ø1.5

ø0.8 0.3

M6×0.75

ø5

ø2.5

ø0.8

ø2

0.3

3

ADB

22

ø5

M6×0.75

ø5

22

3

ADB

M6×0.75

0.3ø0.8

ø4

ø3.5

3

二面幅4

二面幅4

六角対辺8

六角対辺8

二面幅4

六角対辺8

六角対辺4.5

（10）

（6.5）

（7.4）

六角対辺5.5ø0.9

六角対辺5

ø1.2

（13.7）

六角対辺8

ø7

3

0.3

M8×0.75

ø2

ø0.8

ø1.5

六角対辺5.5

3

A

22

DB

六角対辺10

二面幅6

0.3

3

ø7

二面幅6

六角対辺10

22

DBA

3

六角対辺5.5 ø0.8

ø2

ø2.5

M3×0.5M3×0.5

M3×0.5 M3×0.5 M3×0.5 M3×0.5

ø7

3

M8×0.75

M8×0.75

0.3

ø4

ø3.5

ø0.8六角対辺5.5

3

A

22

DB

六角対辺10

二面幅6

外形寸法図／バッファ付：真空取出口

ZP3-T015U□J■-B3 ZP3-T02U□J■-B3ZP3-T015U□K■-B3 ZP3-T02U□K■-B3

ZP3-T035U□J■-B3

寸法表（ストローク別）

ZP3-T015U□J3-B3ZP3-T015U□J6-B3

A 710

型式 B2431

D1014



A 710

型式 B2431

D1014



A 710

型式 B2431

D1014

質量（g）3.44.4

質量（g）3.44.4

質量（g）3.44.4

ZP3-T035U□K■-B3


ZP3-T015U□K3-B3ZP3-T015U□K6-B3

A 811

型式 B26.533

D11 14.5



A 811

型式 B26.533

D11 14.5



A 811

型式 B26.533

D11 14.5

質量（g）6.88.2

質量（g）6.88.2

質量（g）6.88.2

縦


KJH02-M3［質量：1.1g］※2

ZP3-T015U□☆■-02ZP3-T02U□☆■-02ZP3-T035U□☆■-02

KJH04-M3-X83［質量：1.9g］※2

ZP3-T015U□☆■-04ZP3-T02U□☆■-04ZP3-T035U□☆■-04


M-3AU-2［質量：0.7g］※2

ZP3-T015U□☆■-U2ZP3-T02U□☆■-U2ZP3-T035U□☆■-U2

M-3AU-4-X83［質量：0.7g］※2

ZP3-T015U□☆■-U4ZP3-T02U□☆■-U4ZP3-T035U□☆■-U4

バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-T▲▲▲U□☆■-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲▲U□☆■-B3」に継手の質量を加算ください。

注）表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。






パッド径 ø1.5～ø3.5パッド形状平形ストローク 3, 6mm

1137

縦バッファ付真空取出口　 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

6A

BD 22

4

ø4.5 ø6.5

6A

B

22D

M5×0.8M5×0.8

0.8

0.5

ø4ø1.2

ø6ø1.8

六角対辺7

六角対辺10

M8×0.75

4

6

AB 22D

六角対辺7

六角対辺10

二面幅6

ø8.5ø8

ø1.8

0.8

4

M5×0.8ø7

（6.5）

ø0.9

（8.5）

ø7 ø7

六角対辺10

六角対辺7

二面幅6 二面幅6

M8×0.75

M8×0.75

六角対辺7

ø1.8

六角対辺7

六角対辺7

（8.7）

六角対辺8

（13.9）


ZP3-T04UM□J■■-B5 ZP3-T04UM□K■■-B5 ZP3-T06UM□J■■-B5 ZP3-T06UM□K■■-B5

ZP3-T08UM□J■■-B5 ZP3-T08UM□K■■-B5


ZP3-T04UM□☆3-B5ZP3-T04UM□☆6-B5ZP3-T04UM□☆10-B5

A

111418

型式

注1）表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。注2）表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。

B

30.53747

D

1114.520.5



A

111418

型式


B

30.53747

D

1114.520.5



A

111418

型式


B

30.53747

D

1114.520.5

質量（g）

7.4 8.610.5

質量（g）

7.4 8.610.5

質量（g）

7.4 8.610.5

7.3 8.610.5

7.3 8.610.5

回り止めなし（J）



回り止め付（K）


回り止め付（K） 7.3 8.610.5

縦


KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T04UM□☆■■-02ZP3-T06UM□☆■■-02ZP3-T08UM□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2



M-5AU-2［質量：1.5g］※2

ZP3-T04UM□☆■■-U2ZP3-T06UM□☆■■-U2ZP3-T08UM□☆■■-U2

M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。

パッド径 ø4～ø8パッド形状平形溝付ストローク 3, 6, 10mm

1138

ZP3 Series

4

ø6.5

ø6

ø1.80.8

612

六角対辺7A

B

2210

六角対辺10

M8×0.75

ブッシュ

ブッシュ

4

M5×0.8ø7

二面幅6

六角対辺7

612

AB

ø8.5ø8

ø1.8

0.8

M8×0.75

ブッシュ

ブッシュ

二面幅6

M5×0.8ø7

4

六角対辺10

2210

BA

12

6

ø4.5

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

二面幅6

六角対辺10

2210

六角対辺7

ø1.2

ø4

0.5

M5×0.8ø7

（6.5）

（8.7）

六角対辺7

六角対辺7

ø0.9

（8.5）

（13.9）

ø1.8

六角対辺7六角対辺8

ZP3-T04UM□JB■■-B5 ZP3-T06UM□JB■■-B5

ZP3-T08UM□JB■■-B5



ZP3-T08UM□☆15-B5ZP3-T08UM□☆20-B5

型式

注1）表の□は、パッド材質「N,S,U,F,GN,GS」を示す。注2）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

A

36.544

B

5562.5


ZP3-T06UM□☆15-B5ZP3-T06UM□☆20-B5

型式


A

36.544

B

5562.5


ZP3-T04UM□☆15-B5ZP3-T04UM□☆20-B5

型式


A

36.544

B

5562.5

回り止めなし（J）10.310.9



回り止め付（K）12.313.4

回り止め付（K）12.313.4


質量（g）

質量（g）質量（g）

12.313.4

縦


KJH02-M5［質量：1.9g］※2


KJH04-M5［質量：2.4g］※2



M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

ZP3-T04UM□K■■-B5 ZP3-T06UM□K■■-B5

ZP3-T08UM□K■■-B5


パッド径 ø4～ø8パッド形状平形溝付ストローク 15, 20mm

1139


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

7

AB 22D

M5×0.8

ø74二面幅6

六角対辺10

M8×0.75

六角対辺10 ø1.8

ø11

ø10

1

4

M5×0.8

ø7

二面幅6

六角対辺10

六角対辺10

1.2ø1.8

ø14

ø13

7

AB 22D

M8×0.75

4

ø17

1.2ø1.8

ø16

722D

AB

M8×0.75

六角対辺10

六角対辺10

二面幅6

M5×0.8

ø7

（10.5）

ø2.5

（14.7）

六角対辺10

（13.9）

六角対辺8

（8.5）

ø1.8

六角対辺7


六角対辺7

ø0.9

（6.5）

六角対辺7




A

121519

型式

注1）表の□は、パッド材質「N, S, U, F, GN, GS」を示す。

注2）表の☆は、バッファ形状「J, K」を示す。

B

31.53848

D

1114.520.5



A

121519

型式



B

31.53848

D

1114.520.5



A

121519

型式



B

31.53848

D





1114.520.5

8.4 9.611.7


質量（g）

質量（g）

質量（g）

8.5 9.711.8

8.6 9.811.9

8.3 9.611.7

回り止め付（K） 8.4 9.711.8

8.5 9.811.9

ZP3-T16UM□K■■-B5ZP3-T16UM□J■■-B5

ZP3-T13UM□K■■-B5ZP3-T13UM□J■■-B5ZP3-T10UM□K■■-B5ZP3-T10UM□J■■-B5

縦


KJH02-M5［質量：1.9g］※2


KJH04-M5［質量：2.4g］※2



M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


KJH06-M5［質量：3.3g］※2


M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


バーブ継手



1140

ZP3 Series

ø11

7

13

AB

22

10

M5×0.8ø7

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

二面幅6

六角対辺10

4

六角対辺10

1ø1.8

ø107

13

AB

22

10

六角対辺10

二面幅6

ø14ø13

ø1.8

1.2

六角対辺10

M8×0.75

ブッシュ

ブッシュ

4

M5×0.8ø7

ø17

7

13

AB

ø1.8

ø16

1.2

六角対辺10

六角対辺10

M8×0.75

二面幅6

M5×0.8ø7

ブッシュ

ブッシュ

4

22

10

六角対辺7

（6.5）

ø0.9

（8.5）

六角対辺7

ø1.8

ø2.5

六角対辺7

（10.5）

（14.7）

六角対辺10

六角対辺8

（13.9）

六角対辺7（8.7）


ZP3-T10UM□JB■■-B5 ZP3-T13UM□JB■■-B5

ZP3-T16UM□JB■■-B5

縦

ZP3-T16UM□K■■-B5

ZP3-T13UM□K■■-B5ZP3-T10UM□K■■-B5


ZP3-T16UM□☆15-B5ZP3-T16UM□☆20-B5

型式


A

37.545

B

5663.5

13.316.4

15.316.4


ZP3-T13UM□☆15-B5ZP3-T13UM□☆20-B5

型式


A

37.545

B

5663.5

13.216.3

15.216.3


ZP3-T10UM□☆15-B5ZP3-T10UM□☆20-B5

型式


A

37.545

B

5663.5







質量（g）


15.116.2


KJH02-M5［質量：1.9g］※2


KJH04-M5［質量：2.4g］※2



M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


KJH06-M5［質量：3.3g］※2


M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


バーブ継手



1141


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

M5×0.8ø7

4二面幅6

六角対辺10

22

M8×0.75

六角対辺7

2.2

ø4.5

ø4

ø1.8

8

AD

B

4

M5×0.8ø7

8

A

B

D

3

ø7ø6

ø3.4

ø1.8

六角対辺7

M8×0.75

22

六角対辺10

二面幅6

ø9ø8

ø5.2

ø1.8

3

8

A

B

D

22

六角対辺10

二面幅6

M8×0.75

六角対辺7

4

M5×0.8

ø7

ø0.9

（6.5）

六角対辺7

（8.7）

六角対辺7

六角対辺8

（13.9）

六角対辺7

ø1.8

（8.5）


ZP3-T04B□K■■-B5ZP3-T04B□J■■-B5 ZP3-T06B□J■■-B5 ZP3-T06B□K■■-B5

ZP3-T08B□J■■-B5 ZP3-T08B□K■■-B5


ZP3-T04B□☆3-B5ZP3-T04B□☆6-B5ZP3-T04B□☆10-B5

A

131620

型式


B

32.539 49

D

1114.520.5



A

131620

型式


B

32.539 49

D

1114.520.5



A

131620

型式


B

32.539 49

D

11 14.520.5

質量（g）

7.4 8.610.5

質量（g）

7.5 8.710.6

質量（g）

7.4 8.610.5

7.3 8.610.5

7.4 8.710.6



回り止めなし（J）回り止め付（K）


回り止め付（K） 7.3 8.610.5

縦


KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T04B□☆■■-02ZP3-T06B□☆■■-02ZP3-T08B□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-T04B□☆■■-04ZP3-T06B□☆■■-04ZP3-T08B□☆■■-04


M-5AU-2［質量：1.5g］※2

ZP3-T04B□☆■■-U2ZP3-T06B□☆■■-U2ZP3-T08B□☆■■-U2

M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-T▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。

パッド径 ø4～ø8パッド形状ベロウ形ストローク 3, 6, 10mm

1142

ZP3 Series

ブッシュ

ブッシュブッシュ

ブッシュ

二面幅6

六角対辺10

M8×0.75

4

M5×0.8ø7

M5×0.8ø7

2210

AB

814

六角対辺7

2.2

ø4.5ø4

ø1.8

ø7ø6

ø3.4ø1.8

3

814

六角対辺7AB

2210

M8×0.75

二面幅6

六角対辺10

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

六角対辺10

二面幅6

M5×0.8ø7

2210

BA

14

8

六角対辺7

3

ø9ø8

ø5.2ø1.8

44

ø0.9

六角対辺7

（6.5）

（8.7）

六角対辺7

（8.5）

（13.9）

六角対辺8

六角対辺7

ø1.8

ZP3-T04B□JB■■-B5 ZP3-T06B□JB■■-B5

ZP3-T08B□JB■■-B5

外形寸法図／バッファ付：真空取出口縦

ZP3-T08B□K■■-B5

ZP3-T06B□K■■-B5ZP3-T04B□K■■-B5


ZP3-T08B□☆15-B5ZP3-T08B□☆20-B5

型式


A

38.546

B

5764.5

10.411.0

12.413.5


ZP3-T06B□☆15-B5ZP3-T06B□☆20-B5

型式


A

38.546

B

5764.5

10.310.9

12.313.4


ZP3-T04B□☆15-B5ZP3-T04B□☆20-B5

型式


A

38.546

B

5764.5

10.310.9

12.313.4







質量（g）



KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T04B□☆■■-02ZP3-T06B□☆■■-02ZP3-T08B□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-T04B□☆■■-04ZP3-T06B□☆■■-04ZP3-T08B□☆■■-04


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手


パッド径 ø4～ø8パッド形状ベロウ形ストローク 15, 20mm

1143


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

M5×0.8ø7

4二面幅6

六角対辺10

六角対辺10

ø11

ø10

ø6

ø1.8

2

10

A

M8×0.75

22D

B

ø14

ø13

ø8.4

ø1.8

2

M5×0.8ø7

4二面幅6

六角対辺10

10

A

B

D 22

M8×0.75

六角対辺10

M5×0.8ø7

4二面幅6

ø17

ø16

ø11.4

ø1.8

2

10

六角対辺10

M8×0.75

六角対辺10

DA

B

22

（6.5）

（8.5）

（10.5）

（8.7）

（14.7）

（13.9）

ø0.9

六角対辺7

ø1.8

六角対辺7

ø2.5

六角対辺7 六角対辺10

六角対辺8

六角対辺7


ZP3-T10B□K■■-B5ZP3-T10B□J■■-B5 ZP3-T13B□J■■-B5 ZP3-T13B□K■■-B5

ZP3-T16B□J■■-B5 ZP3-T16B□K■■-B5

縦


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T10B□☆■■-02ZP3-T13B□☆■■-02ZP3-T16B□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-T10B□☆■■-04ZP3-T13B□☆■■-04ZP3-T16B□☆■■-04

KJH06-M5［質量：3.3g］※2

ZP3-T10B□☆■■-06ZP3-T13B□☆■■-06ZP3-T16B□☆■■-06




A

151822

型式



B

34.541 51

D

11 14.520.5

8.6 9.711.7

8.5 9.711.7



A

151822

型式



B

34.541 51

D

11 14.520.5

8.7 9.811.8

8.6 9.811.8



A

151822

型式



B

34.541 51

D





11 14.520.5

8.8 9.911.9

8.7 9.911.9


質量（g）

質量（g）

質量（g）回り止め付（K）



1144

ZP3 Series

M5×0.8ø7

4二面幅6

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

ø11ø10ø6

ø1.8

2

1016

AB

10

六角対辺10

22

六角対辺10

ø7M5×0.8

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

4二面幅6

ø14ø13ø8.4

ø1.8

2

1016

AB

2210

六角対辺10

六角対辺10

M5×0.8ø7

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

ø17

ø16ø11.4

ø1.8

2

六角対辺10

1016

AB

2210

4二面幅6

六角対辺10

ø0.9

六角対辺7

（6.5）

（8.5）

ø1.8

六角対辺7

（10.5）

ø2.5

六角対辺7


（13.9）

六角対辺8

（14.7）

六角対辺10


ZP3-T10B□JB■■-B5 ZP3-T13B□JB■■-B5

ZP3-T16B□JB■■-B5

縦

ZP3-T16B□K■■-B5

ZP3-T13B□K■■-B5ZP3-T10B□K■■-B5


ZP3-T16B□☆15-B5ZP3-T16B□☆20-B5

型式


A

40.548

B

59 66.5

13.616.7

15.616.7


ZP3-T13B□☆15-B5ZP3-T13B□☆20-B5

型式


A

40.548

B

59 66.5

13.516.6

15.516.6


ZP3-T10B□☆15-B5ZP3-T10B□☆20-B5

型式


A

40.548

B

59 66.5

13.316.4

15.316.4







質量（g）



KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-T10B□☆■■-02ZP3-T13B□☆■■-02ZP3-T16B□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-T10B□☆■■-04ZP3-T13B□☆■■-04ZP3-T16B□☆■■-04


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


KJH06-M5［質量：3.3g］※2

ZP3-T10B□☆■■-06ZP3-T13B□☆■■-06ZP3-T16B□☆■■-06

M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


バーブ継手



1145


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ZP3 Y 015 U B3 B3N真空取出方向

Y方向横

記号真空取出口（◇）

B3B5U2U4U6020406

めねじ

バーブ継手


接続記号 ø1.5～ø3.5

M3×0.5M5×0.8


ø2ø4ø6

●―●●―●●―

ø4～ø8―●●●―●●―

ø10～ø16―●●●●●●●

型式表示方法

パッド径

01502035040608101316


ø3.5ø4ø6ø8

ø10ø13ø16

記号



015

●――

02

●――

035

●――

04

―●●

06

―●●

08

―●●

10

―●●

13

―●●

16

―●●



NSUF

GNGS

材質NBR



記号

取付ねじ径

B3B5めねじ

ねじ径記号 ø1.5～ø3.5

M3×0.5M5×0.8

●―

ø4～ø16―●

横方向真空取出形／アダプタ付


交換品番

ZP3-Y（015・02・035）U□-B3-◇ ZP3-（015・02・035）U□ ZP3A-Y1-B3アダプタ品番パッド単体品番型式




ZP3-Y（04・06・08）UM□-B5-◇ZP3-Y（04・06・08）B□-B5-◇

ZP3-（04・06・08）UM□ZP3-（04・06・08）B□ ZP3A-Y2-B5





ZP3-Y（10・13・16）UM□-B5-◇ZP3-Y（10・13・16）B□-B5-◇

ZP3-（10・13・16）UM□ZP3-（10・13・16）B□ ZP3A-Y3-B5





1146

ZP3 Series

14

53

2

ø2

5

3 3 3

5

5

5

5

ø1.5

0.3

ø0.8

7M3×0.53

M3×0.5

ø5

14

23

7M3×0.53

M3×0.5

ø5

ø0.8

ø2.5

ø2

14

32

ø4

ø5

M3×0.53

70.3

ø0.8

ø3.5

M3×0.5

0.3

六角対辺5.5

（12.4）

ø0.9

六角対辺4.5

（9）（9.9）

ø1.2

六角対辺5

（16.2）

六角対辺8


ZP3-Y015U□-B3-B3［質量：1.9g］

ZP3-Y02U□-B3-B3［質量：1.9g］

ZP3-Y035U□-B3-B3［質量：1.9g］

横


KJH02-M3［質量：1.1g］※2 KJH04-M3-X83［質量：1.9g］※2

ZP3-Y015U□-B3-02ZP3-Y02U□-B3-02ZP3-Y035U□-B3-02

ZP3-Y015U□-B3-04ZP3-Y02U□-B3-04ZP3-Y035U□-B3-04


M-3AU-2［質量：0.7g］※2 M-3AU-4-X83［質量：0.7g］※2

ZP3-Y015U□-B3-U2ZP3-Y02U□-B3-U2ZP3-Y035U□-B3-U2

ZP3-Y015U□-B3-U4ZP3-Y02U□-B3-U4ZP3-Y035U□-B3-U4

バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲▲U□-B3-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲▲U□-B3-B3」に継手の質量を加算ください。


1147

横アダプタ付真空取出口　 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

22

6

0.5

8

8 8

8

6

22

11

M5×0.8

ø8

M5×0.8

ø8

11

ø6.5

ø4.5

M5×0.8

M5×0.85 5

4 4

0.8

ø4

ø1.8

ø1.2

ø6

ø1.8

8

8

6

22

M5×0.8

ø8

11

0.8

ø8.5

ø8

ø1.8

4

M5×0.85


（12.6）（17.8）

六角対辺7

（12.5）

ø1.8

（10.5）

六角対辺7

ø0.9


ZP3-Y04UM□-B5-B5［質量：7.0g］




横

KJH02-M5［質量：1.9g］※2 KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-Y04UM□-B5-02ZP3-Y06UM□-B5-02ZP3-Y08UM□-B5-02



M-5AU-2［質量：1.5g］※2 M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

ZP3-Y04UM□-B5-U2ZP3-Y06UM□-B5-U2ZP3-Y08UM□-B5-U2


バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。


1148

ZP3 Series

23

7

12

M5×0.8

ø1.8

ø11

ø10

1

4

M5×0.85

ø8

四角8 四角8

ø1.8

ø13

ø14

7

23

M5×0.8

ø8

M5×0.85

12

4

1.2

7

23

ø17

ø16

ø1.8

12

1.2

4

M5×0.85

M5×0.8

四角8

ø8

（12.6）（17.8）（18.6）

（14.5）（12.5）（10.5）

ø1.8

ø2.5


六角対辺7

ø0.9

六角対辺7 六角対辺8 六角対辺10





横


KJH02-M5［質量：1.9g］※2 KJH04-M5［質量：2.4g］※2




M-5AU-2［質量：1.5g］※2 M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2 M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2

KJH06-M5［質量：3.3g］※2





バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。


1149


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

8

8

8

8

24

82

ø4.5

13

24

28

ø7

13

M5×0.8 M5×0.8

M5×0.8

M5×0.85 5

ø8ø8

4 4

3

2.2

ø4

ø1.8

ø6

ø3.4

ø1.8

8

8

8

24

2

13

3

ø9

ø8

ø5.2

ø1.8

4

M5×0.85

M5×0.8

ø8

六角対辺7

（12.6）

六角対辺7

（12.5）

ø1.8

（10.5）

六角対辺7

ø0.9

（17.8）

六角対辺8


ZP3-Y04B□-B5-B5［質量：7.0g］

ZP3-Y06B□-B5-B5［質量：7.0g］

ZP3-Y08B□-B5-B5［質量：7.1g］


横

KJH02-M5［質量：1.1g］※2 KJH04-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-Y04B□-B5-02ZP3-Y06B□-B5-02ZP3-Y08B□-B5-02



M-5AU-2［質量：0.7g］※2 M-5AU-4-X83［質量：0.7g］※2

ZP3-Y04B□-B5-U2ZP3-Y06B□-B5-U2ZP3-Y08B□-B5-U2


バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。


1150

ZP3 Series

15

2

26

210

四角8

M5×0.8

ø8

六角対辺7



六角対辺10

（10.5）

ø0.9

（12.5）

ø1.8

ø2.5

（14.5）

（18.6）（17.8）（12.6）

10

2

5

M5×0.8

ø1.8

ø10

ø6

ø11

26

M5×0.8

ø8

15

2

ø14

ø13

ø8.4

ø1.8

四角8

M5×0.85

10

26

2

ø17

15

2M5×0.85

M5×0.8

ø8

四角8

ø16

ø11.4

ø1.8

4 4 4

ZP3-Y10B□-B5-B5［質量：7.9g］

ZP3-Y13B□-B5-B5［質量：8.1g］

ZP3-Y16B□-B5-B5［質量：8.2g］

外形寸法図／アダプタ付：真空取出口横


KJH02-M5［質量：1.9g］※2 KJH04-M5［質量：2.4g］※2




KJH06-M5［質量：3.3g］※2

M-5AU-2［質量：1.5g］※2 M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2 M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2





バーブ継手

※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□-B5-B5」に継手の質量を加算ください。


1151


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ZP3 Y 015 U J 3 B3


NSUF

GNGS

材質NBR



記号

N真空取出方向

Y方向横

記号真空取出口（◇）

B3B5U2U4U6020406

めねじ

バーブ継手


接続ねじ径記号

M3×0.5M5×0.8



●―●●―●●―

ø4～ø8

ø1.5～ø3.5

―●●●―●●―

ø10～ø16―●●●●●●●

型式表示方法

仕様

パッド径

01502035040608101316


ø3.5ø4ø6ø8

ø10ø13ø16

記号

バッファ仕様（☆）J

JBK

回り止めなし回り止めなし、ブッシュ入り

回り止め付

ストローク（■）―バッファ仕様

3 6101520

●●―――

ストローク ø1.5～ø3.5J K J JB K

●●―――

●●●――

―――●●

ø4～ø16

●●●●●



015

●――

02

●――

035

●――

04

―●●

06

―●●



08

―●●

10

―●●

13

―●●

16

―●●


JKJ

JBK

ø1.5～ø3.5

ø4～ø16

M6×0.75M8×0.75

1.5～1.82.0～2.5

2.0～2.5 M8×0.75

0.2

0.2

0.40.5

0.5

ストローク（mm）

締付トルク（N・m）取付接続スプリング反力

0ストローク時（N）フルストローク時（N）バッファ仕様パッド径

3, 6

3, 6, 1015, 20

3, 6, 10, 15, 20

横方向真空取出形／バッファ付


交換品番

ZP3-Y（015/02/035）U□（J/K）3-◇ZP3-Y（015/02/035）U□（J/K）6-◇ ZP3-（015/02/035）U□ ZP3B-Y1（J/K）3-B3

ZP3B-Y1（J/K）6-B3

バッファAss'y品番注3）パッド単体品番型式




ZP3-Y（04/06/08）UM□（J/K）3-◇ZP3-Y（04/06/08）B□（J/K）3-◇ZP3-Y（04/06/08）UM□（J/K）6-◇ZP3-Y（04/06/08）B□（J/K）6-◇ZP3-Y（04/06/08）UM□（J/K）10-◇ZP3-Y（04/06/08）B□（J/K）10-◇ZP3-Y（04/06/08）UM□（JB/K）15-◇ZP3-Y（04/06/08）B□（JB/K）15-◇ZP3-Y（04/06/08）UM□（JB/K）20-◇ZP3-Y（04/06/08）B□（JB/K）20-◇


ZP3B-Y2A（J/K）3-B5



ZP3B-Y2A（JB/K）15-B5

ZP3B-Y2A（JB/K）20-B5





ZP3-Y（10/13/16）UM□（J/K）3-◇ZP3-Y（10/13/16）B□（J/K）3-◇ZP3-Y（10/13/16）UM□（J/K）6-◇ZP3-Y（10/13/16）B□（J/K）6-◇ZP3-Y（10/13/16）UM□（J/K）10-◇ZP3-Y（10/13/16）B□（J/K）10-◇ZP3-Y（10/13/16）UM□（JB/K）15-◇ZP3-Y（10/13/16）B□（JB/K）15-◇ZP3-Y（10/13/16）UM□（JB/K）20-◇ZP3-Y（10/13/16）B□（JB/K）20-◇


ZP3B-Y2B（J/K）3-B5



ZP3B-Y2B（JB/K）15-B5

ZP3B-Y2B（JB/K）20-B5





1152

ZP3 Series

六角対辺8

（17.7）

六角対辺5

（11.4） ø1.2

（10.5）

ø0.9

六角対辺4.5 （13.9）

六角対辺5.5

ø7二面幅6

六角対辺10

3

13

AD

B

22

M8×0.75

M3×0.5

730.3

8

8

8

8

8

8

ø0.8ø1.5ø2

ø7二面幅6

六角対辺10

ø0.8ø2

ø2.5

ø4

ø0.8ø3.5

3

13

BD

A

70.3

3

M3×0.5M8×0.75

22

ø7二面幅6

六角対辺10

3

13

AD

B

22

7M3×0.5M8×0.75

3

0.3

六角対辺8

二面幅4 ø5

M6×0.75

3

ø2ø1.5ø0.8

8

六角対辺8

二面幅4 ø5

M6×0.75

3

ø2ø2.5

ø0.8

8

六角対辺8

二面幅4 ø5

M6×0.75

3

ø4ø3.5

ø0.8

8

313

AD

B

M3×0.5

70.3

8

313

AD

B

M3×0.5

70.3

8

3

13

AB

22D

M3×0.5

70.3

8

22

22


ZP3-Y015U□J■-B3 ZP3-Y02U□J■-B3

ZP3-Y035U□J■-B3

横


M-3AU-2［質量：0.7g］※2

ZP3-Y015U□J■-U2ZP3-Y02U□J■-U2ZP3-Y035U□J■-U2

M-3AU-4-X83［質量：0.7g］※2

ZP3-Y015U□J■-U4ZP3-Y02U□J■-U4ZP3-Y035U□J■-U4

バーブ継手

KJH02-M3［質量：1.1g］※2

ZP3-Y015U□J■-02ZP3-Y02U□J■-02ZP3-Y035U□J■-02

KJH04-M3-X83［質量：1.9g］※2

ZP3-Y015U□J■-04ZP3-Y02U□J■-04ZP3-Y035U□J■-04


ZP3-Y015U□K■-B3 ZP3-Y02U□K■-B3

ZP3-Y035U□K■-B3


ZP3-Y015U□J3-B3ZP3-Y015U□J6-B3

A1720

型式


B3037

D1014

7.78.6

質量（g）寸法表（ストローク別）


A1720

型式


B3037

D1014

7.78.6


ZP3-Y015U□K3-B3ZP3-Y015U□K6-B3

A1720

型式


B34 40.5

D11 14.5

11.012.2



A1720

型式


B34 40.5

D11 14.5

11.012.2

質量（g）



A1720

型式


B3037

D1014

7.78.6



A1720

型式


B34 40.5

D11 14.5

11.012.2

質量（g）

※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲▲U□☆■-B3」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲▲U□☆■-B3」に継手の質量を加算ください。

パッド径 ø1.5～ø3.5パッド形状平形ストローク 3, 6mm

1153

横バッファ付真空取出口　 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ø1.8

ø0.9

六角対辺7

六角対辺8

（17.8）

（12.6）（10.5）

（12.5）

六角対辺7

六角対辺7

M8×0.75

六角対辺10

二面幅6

4

ø4.5ø4

ø1.8ø1.2

ø7

8

二面幅6

M8×0.75

六角対辺10

ø6.5

ø1.8ø6

ø7

4

8

二面幅6

M8×0.75

六角対辺10

ø8ø8.5

ø7

4

ø1.8

8

618

AB

22

D

11

0.5

M5×0.8

8

0.8

618

AB

22

D

M5×0.8

11

8

0.8

618

AB

22

D

M5×0.8

11

8


ZP3-Y04UM□J■■-B5 ZP3-Y04UM□K■■-B5 ZP3-Y06UM□J■■-B5 ZP3-Y06UM□K■■-B5

ZP3-Y08UM□J■■-B5 ZP3-Y08UM□K■■-B5


ZP3-Y04UM□☆3-B5ZP3-Y04UM□☆6-B5ZP3-Y04UM□☆10-B5

A

22.525 29

型式


注2）表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。

B

404656

D

11 14.520.5

12.814.216.6

12.213.415.4

質量（g）回り止めなし（J）




A

22.525 29

型式



B

404656

D

11 14.520.5

12.814.216.6

12.213.415.4



A

22.525 29

型式



B

404656

D

11 14.520.5

12.814.216.6

12.213.415.4


横

M-5AU-2［質量：1.5g］※2

ZP3-Y04UM□☆■■-U2ZP3-Y06UM□☆■■-U2ZP3-Y08UM□☆■■-U2

M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-Y04UM□☆■■-02ZP3-Y06UM□☆■■-02ZP3-Y08UM□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2







※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲UM□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。


1154

ZP3 Series

（12.6）

（17.8）

六角対辺7

六角対辺8

（12.5）

（10.5）

六角対辺7

六角対辺7

ø0.9

ø1.8

ø7

M8×0.75

4

ø4

8

六角対辺10

二面幅6

ブッシュ

ø1.8ø1.2

ø4.5

ø7

4

ø6ø1.8

二面幅6

六角対辺10

8

ø6.5

M8×0.75

ブッシュ

8

ø7

4

ø8

二面幅6

六角対辺10

ø8.5

ø1.8

ブッシュ

M8×0.75

618

AB

2210

11

0.8

M5×0.8

AB

2210

M5×0.8

11

0.5

86

18

86

18

AB

2210

M5×0.8

11

0.8

8


ZP3-Y04UM□JB■■-B5 ZP3-Y06UM□JB■■-B5

ZP3-Y08UM□JB■■-B5

ZP3-Y04UM□K■■-B5 ZP3-Y06UM□K■■-B5

ZP3-Y08UM□K■■-B5

横


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2


KJH04-M5［質量：2.4g］※2




ZP3-Y04UM□☆15-B5ZP3-Y04UM□☆20-B5

A

42.550

型式


注2）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

B

59 66.5

14.315.1

15.516.6




ZP3-Y08UM□☆15-B5ZP3-Y08UM□☆20-B5

A

42.550

型式



B

59 66.5

14.315.1

13.516.6




ZP3-Y06UM□☆15-B5ZP3-Y06UM□☆20-B5

A

42.550

型式



B

59 66.5

14.315.1

15.516.6





1155


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

ø2.5

ø1.8

（18.6）

（17.8）

六角対辺7

六角対辺7

（10.5）

ø0.9

（12.6）

六角対辺7


（12.5）

（14.5）

六角対辺10

六角対辺10

二面幅6

ø7

M8×0.75

4

ø11ø10

ø1.8

四角8

二面幅6

ø7

六角対辺10

M8×0.75

4

ø14ø13

ø1.8

四角8

ø7

四角8

二面幅6

六角対辺10

M8×0.75

4

ø17

ø16ø1.8

7

19

AB

22D

12

1M5×0.8

719

AB

22D

M5×0.8

12

1.2

719

AB

22D

M5×0.8

12

1.2

KJH04-M5［質量：2.4g］※2M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

KJH06-M5［質量：3.3g］※2M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


ZP3-Y10UM□J■■-B5 ZP3-Y13UM□J■■-B5

ZP3-Y16UM□J■■-B5





A

23.526 30

型式



B

414757

D

11 14.520.5

13.614.917.3

13.014.216.1

横


KJH02-M5［質量：1.9g］※2





M-5AU-2［質量：1.5g］※2




バーブ継手





A

23.526 30

型式



B

414757

D

11 14.520.5

13.815.117.5

13.214.416.3





A

23.526 30

型式



B

414757

D

11 14.520.5

13.715.017.4

13.114.316.2





1156

ZP3 Series

（18.6）

ø2.5

ø1.8

六角対辺7

（12.6）（10.5）

ø0.9

六角対辺7

六角対辺8

（17.8）（12.5）

六角対辺7

（14.5）六角対辺10

六角対辺7

ø7

ブッシュ

M8×0.75

4

ø11ø10

ø1.8

六角対辺10

二面幅6

四角8

四角8

四角8

ø7

ブッシュ

M8×0.75

4

ø14ø13

ø1.8

六角対辺10

二面幅6

ø7

ブッシュ

M8×0.75

4

ø17

ø1.8ø16

二面幅6

六角対辺10

719

AB

2210

M5×0.8

12

1

719

AB

2210

M5×0.8

12

1.2

719

AB

22

10

M5×0.8

12

1.2

KJH04-M5［質量：2.4g］※2M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

KJH06-M5［質量：3.3g］※2M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


ZP3-Y10UM□JB■■-B5 ZP3-Y13UM□JB■■-B5

ZP3-Y16UM□JB■■-B5



横


KJH02-M5［質量：1.9g］※2





M-5AU-2［質量：1.5g］※2




バーブ継手


ZP3-Y10UM□☆15-B5ZP3-Y10UM□☆20-B5

A

43.551

型式



B

60 67.5

15.015.8

16.217.3




ZP3-Y16UM□☆15-B5ZP3-Y16UM□☆20-B5

A

43.551

型式



B

60 67.5

15.216.0

16.417.5




ZP3-Y13UM□☆15-B5ZP3-Y13UM□☆20-B5

A

43.551

型式



B

60 67.5

15.115.9

16.317.4





1157


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

（12.6）

（17.8）

六角対辺8

六角対辺7

（12.5）

（10.5）

六角対辺7

ø0.9

六角対辺7

ø1.8

ø7

4

ø4

ø1.8

8

M8×0.75

ø4.5

二面幅6

六角対辺10

ø7

4

M8×0.75

六角対辺10

二面幅6

ø7ø6

ø3.4ø1.8

8

8

ø7

4

ø9ø8

ø5.2ø1.8

六角対辺10

二面幅6

M8×0.75

820A

BD 22

M5×0.8

13

2.2

8

820A

BD 22

M5×0.8

13

3

8

88

20A

B

22D

13

3M5×0.8


ZP3-Y04B□J■■-B5 ZP3-Y04B□K■■-B5

ZP3-Y08B□J■■-B5 ZP3-Y08B□K■■-B5

ZP3-Y06B□J■■-B5 ZP3-Y06B□K■■-B5

横


M-5AU-2［質量：1.5g］※2

ZP3-Y04B□☆■■-U2ZP3-Y06B□☆■■-U2ZP3-Y08B□☆■■-U2

M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-Y04B□☆■■-02ZP3-Y06B□☆■■-02ZP3-Y08B□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-Y04B□☆■■-04ZP3-Y06B□☆■■-04ZP3-Y08B□☆■■-04



ZP3-Y04B□☆3-B5ZP3-Y04B□☆6-B5ZP3-Y04B□☆10-B5

A

24.527 31

型式



B

424858

D

11 14.520.5

12.814.216.6

12.213.415.4





A

24.527 31

型式



B

424858

D

11 14.520.5

12.914.316.7

12.313.515.5





A

24.527 31

型式



B

424858

D

11 14.520.5

12.814.216.6

12.213.415.4



※1 寸法は、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」をご参照ください。※2 質量を算出する際には、「ZP3-Y▲▲B□☆■■-B5」に継手の質量を加算ください。


1158

ZP3 Series

（12.6）

六角対辺7

（17.8）

六角対辺8

（12.5）

六角対辺7

（10.5）

六角対辺7

ø0.9

ø1.8

ø7

M8×0.75

ブッシュ

4

ø4ø1.8

8

ø4.5

二面幅6

六角対辺10

4

ø7ø6

ø3.4ø1.8

ブッシュ

M8×0.75

8

ø7

六角対辺10

二面幅6

8

ø7

ブッシュ

M8×0.75

4

ø9ø8

ø5.2ø1.8

二面幅6

六角対辺10

820

AB

2210

M5×0.8

13

2.2

8

2.2

13

M5×0.8

820

AB

2210

8

3

8820

AB

2210

3M5×0.8

13


ZP3-Y04B□JB■■-B5 ZP3-Y04B□K■■-B5



横


M-5AU-2［質量：1.5g］※2


M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2


バーブ継手

KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-Y04B□☆■■-02ZP3-Y06B□☆■■-02ZP3-Y08B□☆■■-02

KJH04-M5［質量：2.4g］※2

ZP3-Y04B□☆■■-04ZP3-Y06B□☆■■-04ZP3-Y08B□☆■■-04



ZP3-Y04B□☆15-B5ZP3-Y04B□☆20-B5

A

44.552

型式


注2）表の☆は，バッファ仕様「JB, K」を示す。

B

61 68.5

14.315.1

15.516.6




ZP3-Y08B□☆15-B5ZP3-Y08B□☆20-B5

A

44.552

型式



B

61 68.5

14.415.2

15.616.7




ZP3-Y06B□☆15-B5ZP3-Y06B□☆20-B5

A

44.552

型式



B

61 68.5

14.315.1

15.516.6





1159


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

六角対辺7

ø2.5

（14.5）（18.6）

六角対辺10

（17.8）

六角対辺8

ø1.8

六角対辺7

六角対辺7

ø0.9

六角対辺7

（12.6）（10.5）

（12.5）

ø7

4

ø11

ø1.8

二面幅6

四角8

六角対辺10

M8×0.75

ø10ø6

ø7

M8×0.75

六角対辺10

二面幅6

4

四角8

ø14

ø1.8ø8.4ø13

六角対辺10

二面幅6

四角8

ø7

M8×0.75

4

ø17ø16

ø11.4ø1.8

10

22A

B

22D

M5×0.8

15

2

10

22A

B

22D

15

2M5×0.8

10

22A

B

22D

M5×0.8

15

2

KJH04-M5［質量：2.4g］※2M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

KJH06-M5［質量：3.3g］※2M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2


ZP3-Y10B□J■■-B5 ZP3-Y10B□K■■-B5

ZP3-Y16B□J■■-B5 ZP3-Y16B□K■■-B5

ZP3-Y13B□J■■-B5 ZP3-Y13B□K■■-B5

横


KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-Y10B□☆■■-02ZP3-Y13B□☆■■-02ZP3-Y16B□☆■■-02

ZP3-Y10B□☆■■-04ZP3-Y13B□☆■■-04ZP3-Y16B□☆■■-04

ZP3-Y10B□☆■■-06ZP3-Y13B□☆■■-06ZP3-Y16B□☆■■-06


M-5AU-2［質量：1.5g］※2




バーブ継手



A

26.529 33

型式



B

445060

D

11 14.520.5

13.815.117.5

13.214.216.3





A

26.529 33

型式



B

445060

D

11 14.520.5

14.115.417.8

13.514.516.6





A

26.529 33

型式



B

445060

D

11 14.520.5

14.015.317.7

13.414.416.5





1160

ZP3 Series

六角対辺7

ø2.5

六角対辺10


ø1.8

六角対辺7

六角対辺7

ø0.9

（12.6）（10.5）

（12.5）（17.8）

（18.6）（14.5）

ブッシュ

M8×0.75

4

ø11

ø1.8

ø10ø6

ø7二面幅6

六角対辺10

ø7

ブッシュ

M8×0.75

4

ø14

ø1.8

ø13ø8.4

二面幅6

六角対辺10

ø7

ブッシュ

M8×0.75

4

ø17ø16

ø11.4ø1.8

二面幅6

六角対辺10

1022

AB

2210

M5×0.8

15

2

1022

AB

2210

M5×0.8

15

2

15

1022

AB

2210

M5×0.8

2

四角8 四角8

四角8

KJH04-M5［質量：2.4g］※2M-5AU-4-X83［質量：1.6g］※2

KJH06-M5［質量：3.3g］※2M-5AU-6-X83［質量：1.8g］※2





横


KJH02-M5［質量：1.9g］※2

ZP3-Y10B□☆■■-02ZP3-Y13B□☆■■-02ZP3-Y16B□☆■■-02

ZP3-Y10B□☆■■-04ZP3-Y13B□☆■■-04ZP3-Y16B□☆■■-04

ZP3-Y10B□☆■■-06ZP3-Y13B□☆■■-06ZP3-Y16B□☆■■-06


M-5AU-2［質量：1.5g］※2




バーブ継手


ZP3-Y10B□☆15-B5ZP3-Y10B□☆20-B5

A

46.554

型式



B

63 70.5

15.216.0

16.417.5




ZP3-Y16B□☆15-B5ZP3-Y16B□☆20-B5

A

46.554

型式



B

63 70.5

15.516.3

16.717.8




ZP3-Y13B□☆15-B5ZP3-Y13B□☆20-B5

A

46.554

型式



B

63 70.5

15.416.2

16.617.7





1161


ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

w

e

i

y

t

u

r

e

w

q

i

y

t

u

r

o

e

w

q

i

y

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u

r

e

w

q

i

y

t

u

r

e

w

q

q

w

q

w

q

t

w

q

tr

ZP3 Series

構造図部品構成表

アダプタ付パッド

バッファ付パッド

構成部品番号部品名材質（表面処理）備考

パッド

アダプタガスケット

ナット

継手

NBR・シリコーンゴムウレタンゴム・FKM

導電性NBR・導電性シリコーンゴム黄銅（無電解ニッケルめっき）

SUS304/NBR

構造用鋼（三価クロメート）

黄銅（ニッケルめっき）―

M6×0.75M8×0.75M12×1M10×1―

1

23

4

5

構成部品番号部品名材質（表面処理）備考

パッド

アダプタピストンロッドリターンスプリングバッファボディバッファアダプタナット継手ブッシュ

NBR・シリコーンゴムウレタンゴム・FKM

導電性NBR・導電性シリコーンゴム黄銅（無電解ニッケルめっき）

ステンレス鋼ステンレス鋼

黄銅（無電解ニッケルめっき）黄銅（無電解ニッケルめっき）構造用鋼（三価クロメート）

――

1

23456789

1162

ZP3 Series 取付用アダプタ品番

ZP3 Series

アダプタ適応パッド一覧

P.1168

アダプタ型式適応パッド型式

ZP3シリーズページ

ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-T1-A3

P.1168ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-T1-B3

P.1168ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-T1-A6-B3

P.1168

ZP3-04UM□ZP3-06UM□ZP3-08UM□ZP3-04B□ZP3-06B□ZP3-08B□

ZP3A-T2-A5

P.1168


ZP3A-T2-B5

P.1168


ZP3A-T2-A10-B5

P.1168


ZP3A-T2-A10-04

P.1168


ZP3A-T3-A5

P.1169


ZP3A-T3-B5

アダプタ型式適応パッド型式


P.1169


ZP3A-T3-A12-B5

P.1169


ZP3A-T3-A12-04

P.1169


ZP3A-T3-A12-06

P.1169ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3A-Y1-B3

P.1169


ZP3A-Y2-B5

P.1169


ZP3A-Y3-B5

1163

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

バッファAss'y品番

ZP3 Series

バッファ適応パッド一覧

P.1170

バッファAss'y型式適応パッド型式


ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1J3-B3

P.1170ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1J6-B3

P.1170ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1K3-B3

P.1170ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-T1K6-B3

P.1170


ZP3B-T2AJ3-B5

P.1170


ZP3B-T2AJ6-B5

P.1170


ZP3B-T2AJ10-B5



P.1170


ZP3B-T2AK3-B5

P.1170


ZP3B-T2AK6-B5

P.1170


ZP3B-T2AK10-B5

P.1170


ZP3B-T2AJB15-B5

P.1170


ZP3B-T2AJB20-B5

P.1170


ZP3B-T2AK15-B5

P.1170


ZP3B-T2AK20-B5

1164




P.1171


ZP3B-T2BJ3-B5

P.1171


ZP3B-T2BJ6-B5

P.1171


ZP3B-T2BJ10-B5

P.1171


ZP3B-T2BK3-B5

P.1171


ZP3B-T2BK6-B5

P.1171


ZP3B-T2BK10-B5

P.1171


ZP3B-T2BJB15-B5

P.1171


ZP3B-T2BJB20-B5



P.1171


ZP3B-T2BK15-B5

P.1171


ZP3B-T2BK20-B5

P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1J3-B3

P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1J6-B3

P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1K3-B3

P.1172ZP3-015U□ZP3-02U□ZP3-035U□

ZP3B-Y1K6-B3

1165

バッファ適応パッド一覧 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3




P.1172


ZP3B-Y2AJ3-B5

P.1172


ZP3B-Y2AJ6-B5

P.1172


ZP3B-Y2AJ10-B5

P.1172


ZP3B-Y2AK3-B5

P.1172


ZP3B-Y2AK6-B5

P.1172


ZP3B-Y2AK10-B5

P.1172


ZP3B-Y2AJB15-B5

P.1172


ZP3B-Y2AJB20-B5



P.1172


ZP3B-Y2AK15-B5

P.1172


ZP3B-Y2AK20-B5

1166

ZP3 Series


P.1173


ZP3B-Y2BJ3-B5

P.1173


ZP3B-Y2BJ6-B5

P.1173


ZP3B-Y2BJ10-B5

P.1173


ZP3B-Y2BK3-B5

P.1173


ZP3B-Y2BK6-B5

P.1173


ZP3B-Y2BK10-B5



P.1173


ZP3B-Y2BJB15-B5

P.1173


ZP3B-Y2BJB20-B5



P.1173


ZP3B-Y2BK15-B5

P.1173


ZP3B-Y2BK20-B5

1167

バッファ適応パッド一覧 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

1.8


ガスケット

ø2ø1.5ø0.8

2.5

2.55

0.4

1.5

M6×0.75M3×0.5

3.5

10

12

0.4

1.5

ø2ø1.5ø0.8

3.5


5.5

0.41.5

ø0.8ø1.5

ø2

ガスケット

M5×0.8

ø5

ø3ø1.8

1.4

3.5

5.5

32.5

六角対辺7

六角対辺8

5

M5×0.8

ø8

M10×1

ø5

ø3ø1.8

1.4

3.5

14

5


7.5

3.5

1.4

ø5

ø3ø1.8

ガスケット


六角対辺14

二面幅7

ø6ø4

ø1.8

32.55.5

43

32

12

2

2

2

二面幅5ø6

17

3.5

1.4

12

33

2


二面幅7M10×1

ø8

ø1.8

ø3

ø5

ZP3 Series

取付用アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U

適応パッド品番

ZP3A-T1-A3［質量：0.5g］アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U


ZP3A-T1-A6-B3［質量：2.7g］アダプタ品番

ZP3-015UZP3-02UZP3-035U


ZP3A-T1-B3［質量：0.8g］アダプタ品番

ZP3-04UMZP3-06UMZP3-08UMZP3-04BZP3-06BZP3-08B








ZP3A-T2-A10-04［質量：9.9g］アダプタ品番







1168

真空取出方向縦

7.5

4

1.8

ø6ø4

ø1.8

5

六角対辺10 M5×0.8


ø6ø4

ø1.8

M12×1

426.2 18

5

六角対辺14

六角対辺142

2

1.8

5

M5×0.8 M12×1

六角対辺14

ø6ø4

ø1.8

1.8

42318

5

六角対辺14

22

51.8

4


六角対辺14

六角対辺14

26 18 22

M12×1

ø1.8ø4ø6

ø5M3×0.5

2

11

0.4

1.5

ø2

ø0.8ø1.5

4M3×0.5

3

3

ø8

M5×0.8

2

16

3.5

1.4

ø5

ø3

ø1.8

5

4

M5×0.8

5

ø8

M5×0.8

16

41.8

ø6

ø4

ø1.8

5

4

M5×0.8

5

8

8

8

8

5

5










ZP3-015UZP3-02UZP3-035U


ZP3A-Y1-B3［質量：1.8g］アダプタ品番











真空取出方向横

1169

取付用アダプタ品番 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

22

ø1.5

ø5M3×0.5

二面幅4

六角対辺8

22D

BA

0.4

1.5

ø2

ø1.5ø0.8

M6×0.75

ø7M5×0.8

4二面幅6

B

DA

1.4

3.5

六角対辺7

M8×0.75

六角対辺10

22

ø7M5×0.8

4

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

二面幅6

ø5

ø1.8ø3

六角対辺7

A

B3.5

六角対辺10

10

ø5

ø3

ø1.8

1.4

ø7

M3×0.5

3

二面幅6

六角対辺10

22D

A

六角対辺5.5B

1.5 ø0.8

ø2

M8×0.75

ZP3B-T1J3-B3ZP3B-T1J6-B3ZP3B-T1K3-B3ZP3B-T1K6-B3

ZP3B-T1J■-B3 ZP3B-T1K■-B3

ZP3B-T2AJ■-B5 ZP3B-T2AK■-B5

ZP3B-T2AJB■■-B5 ZP3B-T2AK■■-B5

バッファAss'y品番質量（g）3.54.36.78.1

ZP3B-T2AJ3-B5ZP3B-T2AJ6-B5ZP3B-T2AJ10-B5ZP3B-T2AK3-B5ZP3B-T2AK6-B5ZP3B-T2AK10-B5

バッファAss'y品番質量（g） 7.1 8.310.2 7.0 8.310.2

ZP3B-T2AJB15-B5ZP3B-T2AJB20-B5ZP3B-T2AK15-B5ZP3B-T2AK20-B5


ZP3 Series


ZP3-015UZP3-02UZP3-035U


寸法表（ストローク別）型式

47

A2128

B1014

DZP3B-T1J3-B3ZP3B-T1J6-B3


58

A23.530

B11 14.5

DZP3B-T1K3-B3ZP3B-T1K6-B3




5 812

A24.531 41

B11 14.520.5

D

注）表の☆は、バッファ仕様「J, K」を示す。

ZP3B-T2A☆3-B5ZP3B-T2A☆6-B5ZP3B-T2A☆10-B5




30.538

A49 56.5

BZP3B-T2A☆15-B5ZP3B-T2A☆20-B5注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

1170


22

ø7M5×0.8

4二面幅6

B

DA

4

1.8

ø6

ø4ø1.8

六角対辺10

M8×0.75

六角対辺10

22

M5×0.8 ø7

ブッシュ

ブッシュ

M8×0.75

二面幅6

六角対辺10

ø6ø4

ø1.8

1.8

4

A

B

六角対辺10

10

4

ZP3B-T2BJB15-B5ZP3B-T2BJB20-B5ZP3B-T2BK15-B5ZP3B-T2BK20-B5


ZP3B-T2BJ3-B5ZP3B-T2BJ6-B5ZP3B-T2BJ10-B5ZP3B-T2BK3-B5ZP3B-T2BK6-B5ZP3B-T2BK10-B5

バッファAss'y品番質量（g） 7.8 8.910.9 7.7 8.910.9

※ナットの締付トルクについては、P.897をご参照ください。




5 812

A24.531 41

B11 14.520.5

D


ZP3B-T2B☆3-B5ZP3B-T2B☆6-B5ZP3B-T2B☆10-B5


30.538

A49 56.5

BZP3B-T2B☆15-B5ZP3B-T2B☆20-B5



ZP3B-T2BJ■■-B5 ZP3B-T2BK■■-B5

ZP3B-T2BJB■■-B5 ZP3B-T2BK■■-B5

注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

1171


バッファAss'y品番 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

22

1.5

M8×0.75

ø5二面幅4

M6×0.75

六角対辺8

BA

10

0.4

1.5

22D

M3×0.5

43

ø2

8

8

ø1.5ø0.8

ø7二面幅6

M8×0.75

M5×0.8

54

1.4

12A

BD

六角対辺10

8

8

ø5ø3

ø1.8

3.5

8

8

ø7二面幅6

1.4

3.5

12

AB

10

六角対辺10

22

M5×0.8

54

ø5ø3ø1.8

ブッシュ

M8×0.75

ø7二面幅6

六角対辺10

22D

A

B

ø0.8

ø2ø1.5

3

M3×0.5

ZP3B-Y1J3-B3ZP3B-Y1J6-B3ZP3B-Y1K3-B3ZP3B-Y1K6-B3

バッファAss'y品番質量（g） 7.6 8.510.912.1

ZP3B-Y2AJ3-B5ZP3B-Y2AJ6-B5ZP3B-Y2AJ10-B5ZP3B-Y2AK3-B5ZP3B-Y2AK6-B5ZP3B-Y2AK10-B5

バッファAss'y品番質量（g）12.513.916.311.913.115.1

ZP3B-Y2AJB15-B5ZP3B-Y2AJB20-B5ZP3B-Y2AK15-B5ZP3B-Y2AK20-B5


ZP3-015UZP3-02UZP3-035U



1417

A31 37.5

B11 14.5

DZP3B-Y1K3-B3ZP3B-Y1K6-B3


1417

A2734

B1014

DZP3B-Y1J3-B3ZP3B-Y1J6-B3




16.519 23

A344050

B11 14.520.5

D


ZP3B-Y2A☆3-B5ZP3B-Y2A☆6-B5ZP3B-Y2A☆10-B5




36.544

A53 60.5

BZP3B-Y2A☆15-B5ZP3B-Y2A☆20-B5注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

ZP3B-Y1J■-B3 ZP3B-Y1K■-B3

ZP3B-Y2AJ■■-B5 ZP3B-Y2AK■■-B5

ZP3B-Y2AJB■■-B5 ZP3B-Y2AK■■-B5

1172


ZP3 Series

4

1.8

M5×0.8

ø7

二面幅6

六角対辺10

22

12

DA

B

8

8

ø1.8

ø6ø4

4

5

M8×0.75

8

8

二面幅6

六角対辺10 ø7

ブッシュ

B10

A

12

41.8

22

M8×0.75

4

M5×0.85

ø1.8ø4

ø6

ZP3B-Y2BJ3-B5ZP3B-Y2BJ6-B5ZP3B-Y2BJ10-B5ZP3B-Y2BK3-B5ZP3B-Y2BK6-B5ZP3B-Y2BK10-B5

バッファAss'y品番質量（g）13.014.316.712.413.615.5

ZP3B-Y2BJB15-B5ZP3B-Y2BJB20-B5ZP3B-Y2BK15-B5ZP3B-Y2BK20-B5







36.544

A53 60.5

BZP3B-Y2B☆15-B5ZP3B-Y2B☆20-B5


16.519 23

A344050

B11 14.520.5

D


ZP3B-Y2B☆3-B5　ZP3B-Y2B☆6-B5　ZP3B-Y2B☆10-B5

※ナットの締付トルクについては、P.897をご参照ください。

ZP3B-Y2BJ■■-B5 ZP3B-Y2BK■■-B5

ZP3B-Y2BJB■■-B5 ZP3B-Y2BK■■-B5

注）表の☆は、バッファ仕様「JB, K」を示す。

1173


バッファAss'y品番 ZP3 Series

ZP3

ZP2

ZPZPTZPR

ZP2V

XT661

ZP3

真空パッド - smc corporationca01.smcworld.com/catalog/best-5-jp/pdf/4-p1121-1173-zp3.pdfm3, m5...

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