真空計g-tranシリーズ マルチイオンゲージ 【st2...

高真空下の測定において、真空計の精度（感度のばらつき、誤差など）や短寿命（測定子の汚れ、放電し難いなど）でお困りではありませんか？ ULVAC はこの様なご要望に応えるため、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化しました。この世界初の三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においても、お役立て頂けるものとなっております。

真空計 G-TRAN シリーズ　マルチイオンゲージ【ST2-1/ST2-2】

世界初の三極管型メタル電離真空計（特許5827532） 真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現

測定精度の向上 測定精度±10％を実現、感度の安定性も向上

測定子が小型・メタル製 ガラスタイプの様な破損の心配はありません

広帯域測定 大気圧から高真空領域（10+5Pa ～ 10-5Pa）の測定が可能（SPU・SAU同時使用の場合）

異なる測定範囲の測定子が接続可能 マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能

正確な大気圧測定 大気圧確認が容易にかつ正確に可能（SAUを使用した場合）

低環境負荷対応 必要に応じた測定子のみの交換が可能なためランニングコストの低減が可能

フィラメントの寿命お知らせ機能 フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能

有機 EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に

真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に

ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気での測定に

真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に

真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に

※腐食性ガス（ハロゲンガス）雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。

視認性の向上 真空計の状態確認が一目でわかるLEDの搭載

メンテナンス性 測定子の交換が容易

適合規格 CE標準対応

用　途

特　長

ST2 ISG1

真空計

真空

計

国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

1858J-1/2016035000TL

仕　様 各　モ　ー　ド　仕　様

外　形　寸　法　図

型　式 ST2-1 ST2-2

機種名 標準タイプ 通信タイプ接続可能センサ マルチイオンイオンゲージセンサ ： 1本

ピラニゲージSPU ： 1本（オプション）圧力センサユニットSAU ： 1本（オプション）

測定圧力範囲 1×10-5～ 1×10+1Pa

測定精度 1×10-4～ 3Pa : ±10%

繰返精度 1×10-4～ 3Pa : ±2％サンプリング時間 50ms 5回の移動平均処理測定値出力 出力電圧　DC 0～ 10V　LOG出力　0.75V/1桁

圧力換算式　V＝7.25+0.75＊（LogP-2）　P＝10｛̂（V-7.25）/0.75+2｝＊セットポイント調整用の出力電圧も兼ねます（ST2-1のみ）

更新時間 50msec

制御入力信号 FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFFオープンコレクタ入力で動作、負論理

制御出力信号 センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格 ： 24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V

シリアル通信 RS232C、RS-485

LED表示 POWER/ERROR：パワー、エラー LEDFIL ： B-Aゲージ　フィラメントなど状態表示SET1~3 セットポイント1~3 LED

エミッション電流 2mA（1×10-2Pa以下）、10μA

DEGAS エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V

センサ耐圧 2×10+5Pa（絶対圧）※フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください。センサ内容積 SWT-16 ： 17cm3、SWT-25 ： 19cm3

使用温度範囲 10～ 50˚C

使用湿度範囲 15～ 80%（ただし、結露なきこと）保管温度 -20～ 65˚C（非通電時、結露なきこと）IP保護等級 IP30

電源電圧 DC20～ 28V（リップル、ノイズ　1%以下）定常時約8W、DEGAS時19W以下、電源投入時6A以下（4ms）

入出力コネクタ D-sub15 ピン　2.6mmネジ本体質量 コントローラ ： 約530g　測定子（SWT-16、SWT-25）： 80g

外形寸法 約183.8×約75×約62.2mm

適合規格 CE

オプション

マルチイオン SWT-16（NW16）、SWT-25（NW25）ゲージセンサ 材質：フィラメント ： Ir/Y2O3コート（1本）

PtC-Mo、SUS304、Kovar glass、Kovar/Niメッキバッフル SWT-16用、SWT-25用ピラニゲージ SPU

ピラニゲージセンサ

WP-16（NW16）材質 ： フィラメントPt、その他Bs/Niメッキ、Ni、半田

圧力センサ SAU（NW16）　材質SUS316L

ユニットケーブル ST2～ SPU、ST2～ SAU間ケーブル 0.5m

ディスプレイ 1CH ISG1（DC24V電源使用）

4CH IM1R1（DC24V電源使用）/IM2R1（AC100V電源使用）ディスプレイユニットケーブル

ST2～ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m

入出力コネクタ（D-sub15-soket（M2.6mmネジ））検査成績書、一般校正試験成績書、JCSS校正証明書

モード ST2 単体モード

ST2＋SPUコンビネーション

ST2＋SPU＋SAUトリプルコンビネーション

測定圧力範囲 1×10-5～ 1×10+1Pa 1×10-5～ 1×10+4Pa 1×10-5～ 1×10+5Pa

測定精度

1×10-4～ 3Pa : ±10% 1×10-4～ 3Pa : ±10%3～ 1×10+3Pa : ±15%1.0×10+3～3.0×10+3Pa ： ±30%

1×10-4～ 3Pa : ±10%3～ 1×10+3Pa : ±15%1.0×10+3～3.0×10+3Pa ： ±30%1.0×10+4～1.0×10+5Pa : ±3%F.S.（3×10+3Pa･基準温度25℃）

繰返精度 1×10-4～ 3Pa : ±2％

接続図（例）

マルチイオンゲージ マルチイオンゲージピラニゲージ

マルチイオンゲージピラニゲージ

圧力センサ

ST2は、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび圧力センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です。

真空計 G-TRAN シリーズ　マルチイオンゲージ【ST2-1/ST2-2】

R50

75

62.2

(31.75

)(100

)

75

62.2

183.

8

(31.75

)(100

)

R50

136.

243

183.

8 136.

243

ディスプレイケーブル

ディスプレイケーブル

133.

1

φ40

51

(30)

82.1

R40 ユニットケーブル（SPU）

ケーブル長さ470±50

D-sub9 コネクター（オス）

φ30

φ30

4512

.567

.5

R10

ユニットケーブル（SAU）

単位：mm

NW16

NW16

NW16

ST2 (SWT-16) SPU (WP-16)

SAU

1.0E-02Pressure (Pa)

Time (h)

1.0E-03

1.0E-04

1.0E-05

1.0E-060 200 400 600 800 1000 1200

油拡散ポンプ直上に取り付けた試験における装置到達圧力での真空計の圧力指示

市販のCCG

市販のB－Aゲージ

ST2