マイクロ波電源 - aet,inc...2450mhz ± 20mhz mw5002a vswr
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マイクロ波ジェネレータ
INDEX
915MHz 10KW/15KW/20KW/30KW
915MHz 5KW/6KW
915MHz (スイッチングモード)75KW
915MHz 100KW
2.45GHz 300W/500W
2.45GHz 5KW/6KW
2.45GHz (スイッチングモード)1.2KW/2KW/3KW/6KW
2.45GHz 2KW/3KW
2.45GHz 10KW/15KW/20KW/30KW
5.8GHz 750W
… 2
… 3
… 4
… 5
… 6
… 7
… 8
… 9
… 10
… 11
MW2009A(最大電力3KW) … 12
3スタブチューナ
MW2006A(最大電力75KW) … 12
コアクシャルチューナ … 13
TRISTAN オートチューニングシステム … 14
トランジション … 16
方向性結合器
… 15MW7007A(最大電力100KW)
MW7009A(最大電力 30KW) … 15
ウォーターロード
アイソレータ
… 17
… 17
… 18ショートプランジャー
… 18真空窓
E-Bend 90°
H-Bend 90°… 19
… 19
… 19MW3001A(周波数 915MHz ± 25MHz)
MW3007A(周波数 2.45MHz ± 30MHz) … 19
MW3001A(周波数 915MHz ± 25MHz)
MW3007A(周波数 2.45MHz ± 30MHz)
マイクロ波電源マイクロ波電源MICROWAVE SOURCES
同軸導波管変換器 … 13
MW4001M(最大電力 2KW) … 16
マイクロ波ジェネレータ 915MHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル10% 以下 最大出力時
可変出力が可能
コントローラ
マイクロ波電源
アイソレータ
仕 様
2
5KW/6KW
マイクロ波電源出力
型式
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
5KW 6KW
MG5000D
915MHz
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
5% 以下
WR975
不可
有り
3 相 200V
水冷
MG6000D
マグネトロンヘッド
マイクロ波ジェネレータ 915MHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル 5% 以下 最大出力時
可変出力が可能
マイクロ波電源
仕 様
10KW/15KW/20KW/30KW
マイクロ波電源出力
型式
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
10KW 20KW
MG010KE
915MHz
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
5% 以下
WR975
不可
有り
3 相 400V
水冷
コントローラ 一体型
15KW 30KW
MG015KE MG020KE MG030KE
3
マイクロ波ジェネレータ 915MHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル10% 以下 最大出力時
可変出力が可能
仕 様
75KW
マイクロ波電源出力
型式
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
75KW
MG075KE
915MHz
10% ~100%
マグネトロン
スイッチング
10% 以下
CPR975
不可
有り
3 相 400V
水冷
スイッチングモード
マグネトロンヘッド マイクロ波電源
4
マイクロ波ジェネレータ 915MHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル10% 以下 最大出力時
可変出力が可能
仕 様
100KW
マイクロ波電源出力
型式
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
100KW
MG100KE
915MHz
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
10% 以下
WR975
不可
有り
3 相 400V
水冷
5
マイクロ波電源
マグネトロンヘッド
コントローラ
マイクロ波ジェネレータ 2.45GHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル 5% 以下 最大出力時
可変出力が可能
仕 様
300W/500W
マイクロ波電源出力
型式
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
300W
MG0300D
2.45GHz
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
5% 以下
可 25KHz 最大
有り
100V
空冷
マイクロ波ジェネレータ
6
アイソレータ/ マグネトロン一体型
500W
MG0500D
3 相 200V
7/16 コネクタ
マイクロ波ジェネレータ
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル 5% 以下 最大出力時
Low RFI / EMI
仕 様マイクロ波電源出力
マグネトロンヘッド型式
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
1.2KW
MX1200D MX2000D
固定
マグネトロン
スイッチング
5% 以下
WR340
可 500Hz 最大
有り
3 相 400V
空冷/水冷
マイクロ波ジェネレータ
7
アイソレータ/ マグネトロンヘッド小型
3KW
MX3000D
2KW 6KW
MX6000D
MH1200S MH2000S MH3000S MH6000S
電源型式
2.45GHz
2.45GHz 1.2KW/2KW/3KW/6KWスイッチングモード
マイクロ波ジェネレータ 2.45GHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル 5% 以下 最大出力時
可変出力が可能
仕 様
2KW/3KW
マイクロ波電源出力
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
2KW
ML2000D
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
5% 以下
可 25KHz 最大
有り
3 相 200V
水冷
マイクロ波ジェネレータ
8
アイソレータ/ マグネトロンヘッド
3KW
ML3000D型式
2.45GHz
3 相 200V
WR340
マイクロ波ジェネレータ 2.45GHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル 5% 以下 最大出力時
可変出力が可能
仕 様
5KW/6KW
マイクロ波電源出力
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
5KW
MG5000D
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
5% 以下
WR340
不可
有り
3 相 200V
水冷
アイソレータ
9
6KW
MG6000D型式
2.45GHz
コントローラ
マイクロ波電源
マグネトロンヘッド
マイクロ波ジェネレータ 2.45GHz
特 長プラズマに最適
マイクロ波加熱に最適
低リップル 5% 以下 最大出力時
可変出力が可能
仕 様
10KW/15KW/20KW/30KW
マイクロ波電源出力
周波数
出力可変
電力ソース
整流方式
リップル(最大出力時)
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
10KW
MG010KE
10% ~100%
マグネトロン
全波整流
5% 以下
WR340
不可
有り
3 相 400V
水冷
アイソレータ・マグネトロンヘッド
20KW
MG020KE型式
2.45GHz
マイクロ波電源コントローラ 一体型
15KW
MG015KE
30KW
MG030KE
10
マイクロ波ジェネレータ
特 長プラズマに最適
Low EMI
軽量 / 小型
5.8GHz 750W
11
仕 様マイクロ波電源出力
周波数
出力可変
電力ソース
接続形式
パルス制御
アイソレータ
電源
冷却方式
備考 E/H チューナ、方向性結合器はオプション
750W
MG0750D
10%~100%
マグネトロン
WR159
不可
有り
1相 230V/50HZ/13A
水冷
型式
5.8GHz
3スタブチューナ
仕 様電力
周波数
チューニングカップ
導波管
2.45GHz ± 50MHz
VSWR 10(1KW)
WR340/R26
最大 3KW
MW2009A
3スタブチューナ
仕 様電力
周波数
チューニングカップ
導波管
915MHz ± 25MHz
VSWR 10(1KW)
WR975/R9
最大 75KW
MW2006A
1
2
09
87
6 5 4
3
12
09
87
6 5 4
31
2
09
87
6 5 4
3
95.00
138.10
107.00
5.00
173.00
154.50
12
同軸導波管変換器
仕 様
周波数
導波管
コネクタ
最大 800W
WR340/R26
7/16(50Ω) fem
電力
2450MHz ± 20MHz
MW5002A
V SW R <1.15
コアクシャルチューナ MW4008G
138.10
86.00
90.40
12.00
47.20 21.00
95.00
13
仕 様
周波数
同軸コネクタ
最大 3KW
7/16(50Ω) fem
電力
2450MHz ± 50MHz
TRISTAN 自動チューニングシステム
仕 様
周波数帯
順方向電力(最大)
ダイナミックレンジ
チューニング速度
WR340 IEC
6KW
20 dB
TYP 1sec.
導波管
2.425 ~ 2.475GHz
インタフェース RS232 and CAN
寸法
6kg
空冷
+5℃ ~ +40℃
138mm(W) × 260mm(D) × 226mm(H)
-10℃ ~ +75℃
重量
冷却方法
動作温度
保存温度
チューニングレンジ VSWR <10:1
特 長
高速自動インピーダンス整合
ベクトル反射係数測定に基づいた正確なチューニングアルゴリズム
順方向電力、反射電力、反射係数(大きさと位相)、スタブポジションなどの読み出し
データ収集用のシングルボードコンピュータ内臓
Windows 形式のデータ記録ソフトウェア
計測器やモニタリングシステム付きコンピュータにも簡単に組み込み可能
コンパクトな設計
14
双方向性結合器
仕 様
VSWR
最大入力電力
結
合
部
WR975/R9
最大 100KW
導波管
1.05
コネクタ N 型
周波数
70dB±1
25dB min
915MHz± 5MHz
結合度
方向性
MW7007A
仕 様
VSWR
最大入力電力
結
合
部
WR340/R26
最大 30KW
導波管
1.05
コネクタ N 型
周波数
60dB±1
25dB min
2.45GHz± 25MHz
結合度
方向性
双方向性結合器 MW7009A
15
221
Φ50
336
Φ10.5
212 268
12 .00
86.00
138. 10
方向性結合器
仕 様
周波数
コネクタ
結合度
方向性
2KW
7/16(50Ω) fem
60dB±1
25dB min
電力
2450MHz±50MHz
MW4001M
トランジション MW5003B
仕 様
周波数
WR340-WR430導波管
2.45GHz
16
157
Φ60
ウォータロード
仕 様
VSWR
モニター
電力(cw)
2.45GHz ± 25MHz
N-Connecter f. 1.5±0.5mW at 6.5KW
6.5KW
周波数
<1.15
MW1002E
圧力
流量
最大 8 bar
TYP 3ℓ/min
アイソレータ
仕 様
リターンロス
挿入損失
アイソレーション
入力電力(cw)
2.425 ~ 2.475GHz
最大 0.2dB
最小 23dB
3KW
周波数
入力側:23dB 出力側:14dB
MW1003A
反射電力(cw)
温度
3KW
+10 ~ +50℃
モニター 66.5 ± 1dB(N 型)
138.10
95.00 115.00107.0
0
10.00
300 max
182 max
R3/8”
Φ10
69±0.2
98 max
17
ショートプランジャー
仕 様
周波数
可動範囲
導波管
最大 6KW
170mm
WR340/R26
電力
2.45GHz
MW2001D
真空窓
仕 様
電力
圧力
導波管
2.45GHz ± 50MHz
10-3 mbar
WR340
周波数
6KW
MW0002A
素材 アルミニウム、石英ガラス
264.00 - 435.00 max.
138.10
95.00
210.00
95
34.08
138.1
68.28
Φ6.5
86.4
石英ガラス 10mm
30
18
E-Bend 90°
仕 様
周波数
電力
導波管
MW3001A-260ED
30KW
WR340
型式
2.45GHz±30MHz
MW3001A-260ED / MW3007A-260CD
H-Bend 90°MW3001B-260ED / MW3007B-260CD
MW3007A-260CD
100KW
WR975
915MHz±25MHz
材質 アルミニウム アルミニウム
仕 様
周波数
電力
導波管
MW3001B-260ED
6KW
WR340
型式
2.45GHz±30MHz
MW3007B-260CD
100KW
WR975
915MHz±25MHz
材質 アルミニウム アルミニウム
※ 写真と図面は MW3007A-260CD のものです。
※ 写真と図面は MW3001B-260ED のものです。
242
242
123.8
212
336
247.6
150.00
12.00
138.10
95.00
219.00
150.00
19
©2012 AET, Inc. All rights reserved. C120217-HA117-004
※ その他プラズマ製品も取り扱っております。詳細は弊社までお問い合わせください。
マイクロ波電源パワーサプライ
マイクロ波電源パワーサプライ
(アイソレーター内蔵)
マグネトロンヘッドアイソレータ
双方向性結合器同軸タイプ
双方向性結合器導波管タイプ
スタブチューナ導波管タイプ
スタブチューナ同軸タイプ
ペン型プラズマ源
キャビネット型プラズマ源
使用周波数
使用最大電力
V SW R
接続方式
冷却方式
モニター
2.45GHz
500W
1.15 以下
7/16 コネクタ
強制空冷
50dB
終端器
アイソレータ 双方向性結合器使用周波数
挿入損失
耐電力
結合度
方向性
接続コネクタ
2.45GHz
0.1dB 以下
500W 以下
50dB
23dB 以上
入出力 7/16(J)結合 N 型
使用周波数
使用最大電力
アイソレーション
V SW R
挿入損失
接続方式
冷却方式
モニター
2 . 45 G H z
5 0 0W
2 0 d B 以上
1 . 2 以下
0 . 5 d B 以下
7/ 16 コネクタ
強制空冷
50 d B
エーイーティーは自社製の各種プラズマ製品も取り扱っております。
ACDL0064
ACIS0077 ADC2450-50-0003
プラズマシステム構成図
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