マイクロ波電源 - aet,inc...2450mhz ± 20mhz mw5002a vswr

マイクロ波ジェネレータ

INDEX

915MHz 10KW/15KW/20KW/30KW

915MHz 5KW/6KW

915MHz （スイッチングモード）75KW

915MHz 100KW

2.45GHz 300W/500W

2.45GHz 5KW/6KW

2.45GHz （スイッチングモード）1.2KW/2KW/3KW/6KW

2.45GHz 2KW/3KW

2.45GHz 10KW/15KW/20KW/30KW

5.8GHz 750W

… 2

… 3

… 4

… 5

… 6

… 7

… 8

… 9

… 10

… 11

MW2009A（最大電力３KW） … 12

3スタブチューナ

MW2006A（最大電力75KW） … 12

コアクシャルチューナ … 13

TRISTAN オートチューニングシステム … 14

トランジション … 16

方向性結合器

… 15MW7007A（最大電力100KW）

MW7009A（最大電力 30KW） … 15

ウォーターロード

アイソレータ

… 17

… 17

… 18ショートプランジャー

… 18真空窓

E-Bend 90°

H-Bend 90°… 19

… 19

… 19MW3001A（周波数 915MHz ± 25MHz）

MW3007A（周波数 2.45MHz ± 30MHz） … 19

MW3001A（周波数 915MHz ± 25MHz）

MW3007A（周波数 2.45MHz ± 30MHz）

マイクロ波電源マイクロ波電源MICROWAVE SOURCES

同軸導波管変換器 … 13

MW4001M（最大電力 2KW） … 16

マイクロ波ジェネレータ 915MHz

特長プラズマに最適

マイクロ波加熱に最適

低リップル10% 以下　最大出力時

可変出力が可能

コントローラ

マイクロ波電源

アイソレータ

仕様

２

5KW/6KW

マイクロ波電源出力

型式

周波数

出力可変

電力ソース

整流方式

リップル（最大出力時）

接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

５KW ６KW

MG5000D

915MHz

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

5% 以下

WR975

不可

有り

3 相 200V

水冷

MG6000D

マグネトロンヘッド




低リップル 5% 以下　最大出力時



仕様

10KW/15KW/20KW/30KW


型式

周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

10KW 20KW

MG010KE

915MHz

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

5% 以下

WR975

不可

有り

3 相 400V

水冷

コントローラ　一体型

15KW 30KW

MG015KE MG020KE MG030KE

3






仕様

75KW


型式

周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

75KW

MG075KE

915MHz

10% ～100%

マグネトロン

スイッチング

10% 以下

CPR975

不可

有り

3 相 400V

水冷

スイッチングモード

マグネトロンヘッドマイクロ波電源

4






仕様

100KW


型式

周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

100KW

MG100KE

915MHz

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

10% 以下

WR975

不可

有り

3 相 400V

水冷

5



コントローラ

マイクロ波ジェネレータ 2.45GHz



低リップル 5% 以下　最大出力時


仕様

300W/500W


型式

周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

300W

MG0300D

2.45GHz

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

5% 以下

可　25KHz 最大

有り

100V

空冷


6

アイソレータ/ マグネトロン一体型

500W

MG0500D

3 相 200V

7/16 コネクタ




低リップル　5% 以下　最大出力時

Low RFI / EMI

仕様マイクロ波電源出力

マグネトロンヘッド型式

周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

1.2KW

MX1200D MX2000D

固定

マグネトロン

スイッチング

5% 以下

WR340

可　500Hz 最大

有り

3 相 400V

空冷／水冷


7

アイソレータ/ マグネトロンヘッド小型

3KW

MX3000D

2KW 6KW

MX6000D

MH1200S MH2000S MH3000S MH6000S

電源型式

2.45GHz

2.45GHz 1.2KW/2KW/3KW/6KWスイッチングモード






仕様

2KW/3KW


周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

2KW

ML2000D

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

5% 以下

可　25KHz 最大

有り

3 相 200V

水冷


8

アイソレータ/ マグネトロンヘッド

3KW

ML3000D型式

2.45GHz

3 相 200V

WR340






仕様

5KW/6KW


周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

5KW

MG5000D

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

5% 以下

WR340

不可

有り

3 相 200V

水冷

アイソレータ

9

6KW

MG6000D型式

2.45GHz

コントローラ








仕様

10KW/15KW/20KW/30KW


周波数

出力可変

電力ソース

整流方式


接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

10KW

MG010KE

10% ～100%

マグネトロン

全波整流

5% 以下

WR340

不可

有り

3 相 400V

水冷

アイソレータ・マグネトロンヘッド

20KW

MG020KE型式

2.45GHz

マイクロ波電源コントローラ　一体型

15KW

MG015KE

30KW

MG030KE

10



Low EMI

軽量 / 小型

5.8GHz 750W

11

仕様マイクロ波電源出力

周波数

出力可変

電力ソース

接続形式

パルス制御

アイソレータ

電源

冷却方式

備考　E/H チューナ、方向性結合器はオプション

750W

MG0750D

10%～100%

マグネトロン

WR159

不可

有り

1相 230V/50HZ/13A

水冷

型式

5.8GHz

３スタブチューナ

仕様電力

周波数

チューニングカップ

導波管

2.45GHz ± 50MHz

VSWR 10（1KW）

WR340/R26

最大 3KW

MW2009A

３スタブチューナ

仕様電力

周波数

チューニングカップ

導波管

915MHz ± 25MHz

VSWR 10（1KW）

WR975/R9

最大 75KW

MW2006A

1

2

09

87

6 5 4

3

12

09

87

6 5 4

31

2

09

87

6 5 4

3

95.00

138.10

107.00

5.00

173.00

154.50

12

同軸導波管変換器

仕様

周波数

導波管

コネクタ

最大 800W

WR340/R26

7/16(50Ω) fem

電力

2450MHz ± 20MHz

MW5002A

V SW R <1.15

コアクシャルチューナ MW4008G

138.10

86.00

90.40

12.00

47.20 21.00

95.00

13

仕様

周波数

同軸コネクタ

最大 3KW

7/16(50Ω) fem

電力

2450MHz ± 50MHz

TRISTAN 自動チューニングシステム

仕様

周波数帯

順方向電力（最大）

ダイナミックレンジ

チューニング速度

WR340 IEC

6KW

20 dB

TYP 1sec.

導波管

2.425 ～ 2.475GHz

インタフェース RS232 and CAN

寸法

6kg

空冷

+5℃ ～ +40℃

138mm（W） × 260mm（D） × 226mm（H）

-10℃ ～ +75℃

重量

冷却方法

動作温度

保存温度

チューニングレンジ VSWR　＜10:1

特長

高速自動インピーダンス整合

ベクトル反射係数測定に基づいた正確なチューニングアルゴリズム

順方向電力、反射電力、反射係数（大きさと位相）、スタブポジションなどの読み出し

データ収集用のシングルボードコンピュータ内臓

Windows 形式のデータ記録ソフトウェア

計測器やモニタリングシステム付きコンピュータにも簡単に組み込み可能

コンパクトな設計

14

双方向性結合器

仕様

VSWR

最大入力電力

結

合

部

WR975/R9

最大 100KW

導波管

1.05

コネクタ N 型

周波数

70dB±1

25dB min

915MHｚ± 5MHz

結合度

方向性

MW7007A

仕様

VSWR

最大入力電力

結

合

部

WR340/R26

最大 30KW

導波管

1.05

コネクタ N 型

周波数

60dB±1

25dB min

2.45GHｚ± 25MHz

結合度

方向性

双方向性結合器 MW7009A

15

221

Φ50

336

Φ10.5

212 268

12 .00

86.00

138. 10

方向性結合器

仕様

周波数

コネクタ

結合度

方向性

2KW

7/16(50Ω) fem

60dB±1

25dB min

電力

2450MHz±50MHz

MW4001M

トランジション MW5003B

仕様

周波数

WR340-WR430導波管

2.45GHz

16

157

Φ60

ウォータロード

仕様

VSWR

モニター

電力（cw）

2.45GHz ± 25MHz

N-Connecter f.　1.5±0.5mW at 6.5KW

6.5KW

周波数

<1.15

MW1002E

圧力

流量

最大 8 bar

TYP 3ℓ/min

アイソレータ

仕様

リターンロス

挿入損失

アイソレーション

入力電力（cw）

2.425 ～ 2.475GHz

最大 0.2dB

最小 23dB

3KW

周波数

入力側：23dB　出力側：14dB

MW1003A

反射電力（cw）

温度

3KW

+10 ～ +50℃

モニター 66.5 ± 1dB（N 型）

138.10

95.00 115.00107.0

0

10.00

300 max

182 max

R3/8”

Φ10

69±0.2

98 max

17

ショートプランジャー

仕様

周波数

可動範囲

導波管

最大 6KW

170mm

WR340/R26

電力

2.45GHz

MW2001D

真空窓

仕様

電力

圧力

導波管

2.45GHz ± 50MHz

10-3 mbar

WR340

周波数

6KW

MW0002A

素材アルミニウム、石英ガラス

264.00 - 435.00 max.

138.10

95.00

210.00

95

34.08

138.1

68.28

Φ6.5

86.4

石英ガラス 10mm

30

18

E-Bend 90°

仕様

周波数

電力

導波管

MW3001A-260ED

30KW

WR340

型式

2.45GHz±30MHz

MW3001A-260ED / MW3007A-260CD

H-Bend 90°MW3001B-260ED / MW3007B-260CD

MW3007A-260CD

100KW

WR975

915MHz±25MHz

材質アルミニウムアルミニウム

仕様

周波数

電力

導波管

MW3001B-260ED

6KW

WR340

型式

2.45GHz±30MHz

MW3007B-260CD

100KW

WR975

915MHz±25MHz

材質アルミニウムアルミニウム

※　写真と図面は MW3007A-260CD のものです。

※　写真と図面は MW3001B-260ED のものです。

242

242

123.8

212

336

247.6

150.00

12.00

138.10

95.00

219.00

150.00

19

©2012 AET, Inc. All rights reserved. C120217-HA117-004

※　その他プラズマ製品も取り扱っております。詳細は弊社までお問い合わせください。

マイクロ波電源パワーサプライ

マイクロ波電源パワーサプライ

（アイソレーター内蔵）

マグネトロンヘッドアイソレータ

双方向性結合器同軸タイプ

双方向性結合器導波管タイプ

スタブチューナ導波管タイプ

スタブチューナ同軸タイプ

ペン型プラズマ源

キャビネット型プラズマ源

使用周波数

使用最大電力

V SW R

接続方式

冷却方式

モニター

2.45GHz

500W

1.15 以下

7/16 コネクタ

強制空冷

50dB

終端器

アイソレータ双方向性結合器使用周波数

挿入損失

耐電力

結合度

方向性

接続コネクタ

2.45GHz

0.1dB 以下

500W 以下

50dB

23dB 以上

入出力　7/16(J)結合　　N 型

使用周波数

使用最大電力

アイソレーション

V SW R

挿入損失

接続方式

冷却方式

モニター

2 . 45 G H z

5 0 0W

2 0 d B 以上

1 . 2 以下

0 . 5 d B 以下

7/ 16 コネクタ

強制空冷

50 d B

エーイーティーは自社製の各種プラズマ製品も取り扱っております。

ACDL0064

ACIS0077 ADC2450-50-0003

プラズマシステム構成図

マイクロ波電源 - aet,inc...2450mhz ± 20mhz mw5002a vswr

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