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Selete/ISMT 300 mm 製造装置ソフトウェア基本機能要求書製造装置ソフトウェア基本機能要求書製造装置ソフトウェア基本機能要求書製造装置ソフトウェア基本機能要求書

300 mm Equipment Base Software FunctionalityRequirements - Error Handling and Extended Scenarios:

Selete/ISMT CIM Base Functionality RequirementsCollaboration, Phase 2

ドラフト 16

300 mm Equipment Base Software Functionality Requirements -Error Handling and Extended Scenarios: Selete/ISMT CIM Base

Functionality Requirements Collaboration, Phase 2

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printed by Prattm on 12/04/00 3:43 PM

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Technology Area(s):

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Team Leader:

97.0/97.0

300 mm Equipment Base Software Functionality Requirements - ErrorHandling and Extended Scenarios: Selete/ISMT CIM Base

Functionality Requirements Collaboration, Phase 2Technology Transfer # Project-Draft

UNDETERMINED CLASSIFICATIONUNDETERMINED

発行許可:

____________________________________________________________ ____________ 情報および制御スタンダードプロジェクトマネージャー、Margaret Pratt 日付

___________________________________________________________ ____________ガイドラインおよびスタンダードプログラムマネージャー、Jackie Ferrell 日付

_____________________________________________________ ____________製造方式および生産性アソシエイトディレクター、Randy Goodall 日付

_____________________________________ ____________技術情報移転チームリーダー、Dan McGowan 日付

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UNDETERMINED CLASSIFICATION

Technology Transfer # Project-Draft

300 mm Equipment Base Software Functionality Requirements- Error Handling and Extended Scenarios: Selete/ISMT CIM

Base Functionality Requirements Collaboration, Phase 2

SEMATECH および SEMATECH ロゴロゴロゴロゴは、SEMATECH, Inc.の登録サービスマークである。

International SEMATECH および International SEMATECH ロゴロゴロゴロゴは、 SEMATECH, Inc.が 100%所有する

子会社である International SEMATECH, Inc.の登録サービスマークである。

本文書で使用されている製品名と社名は、単に識別を目的とするものであり、それぞれの会社の商標または

サービスマークである。

300 mm Equipment Base Software Functionality Requirements - ErrorHandling and Extended Scenarios: Selete/ISMT CIM Base

Functionality Requirements Collaboration, Phase 2Technology Transfer # Project-DraftUNDETERMINED CLASSIFICATION

UNDETERMINED

要約:

キーワード:

著者: Selete/ISMT 作業グループ: D. Bloss、P. Cross、 L. Pivin (Intel)、K. Gartland (IBM)、G.Crispieri、M. Pratt (ISMT)、Y. Kominato（三菱電機）、T. Katsuyama (NEC)、M. Fujita、S.Kono、T. Masui (Selete)、B. Crandell (TI)、T. Miki（東芝）

許可: 情報および制御スタンダードプロジェクトマネージャー、Margaret Prattガイドラインおよびスタンダードプログラムマネージャー、Jackie Ferrell製造方式および生産性アソシエイトディレクター、Randy Goodall技術情報移転チームリーダー、Dan McGowan

iii

ｴﾗｰ! 入力支援項目が定義されていません。Technology Transfer # ｴﾗｰ! 入力支援項目が定義されていません。ｴﾗｰ! 入

目次

1 管理者向け要約..............................................................................................................................1

2 序論 ................................................................................................................................................2

2.1 範囲 .........................................................................................................................................................2

2.2 本書について .........................................................................................................................................22.2.1 位置付け........................................................................................................................................22.2.2 章構成............................................................................................................................................22.2.3 改版履歴........................................................................................................................................3

2.3 参考文献 .................................................................................................................................................32.3.1 Selete/ISMT CIM Collaboration....................................................................................................32.3.2 300 mm Semiconductor Factory Guidelines ..................................................................................32.3.3 SEMI スタンダード .....................................................................................................................32.3.4 SEMI バロット .............................................................................................................................42.3.5 300 mm ソフトウェア試験方法..................................................................................................4

3 拡張シナリオ .................................................................................................................................4

3.1 キャリアにおける複数製品 .................................................................................................................43.1.1 基本機能要求................................................................................................................................53.1.2 作業手順........................................................................................................................................63.1.3 シナリオ詳細................................................................................................................................73.1.4 メッセージ詳細..........................................................................................................................12

4 障害および回復............................................................................................................................16

4.1 概要 .......................................................................................................................................................16

4.2 アプローチ ...........................................................................................................................................17

4.3 E84 障害 ...............................................................................................................................................174.3.1 説明..............................................................................................................................................174.3.2 E84 エラーのタイプ ..................................................................................................................184.3.3 選択された E84 障害 .................................................................................................................19

4.3.3.1 配送時の製造装置のキャリアセンサ障害.....................................................................194.3.3.1.1 基本機能要求 .................................................................................................................204.3.3.1.2 E84 障害に対するフローチャート ..............................................................................21

4.4 FIMS ポートでのスロットマップ障害.............................................................................................254.4.1 説明..............................................................................................................................................254.4.2 FIMS ポートスロットマップ障害のタイプ............................................................................254.4.3 選択された障害..........................................................................................................................25

4.4.3.1 固定バッファ製造装置.....................................................................................................25

iv

Technology Transfer # ｴﾗｰ! 入力支援項目が定義されていません。ｴﾗｰ! 入力支援項目が定義されてい

ません。-ｴﾗｰ! 入力支援項目が定義されていません。ｴﾗｰ! 入力支援項目が定義されていません。

4.4.3.1.1 基本機能要求 .................................................................................................................254.4.3.1.2 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害に対するフローチャート: 固定

バッファ製造装置 .........................................................................................................264.4.3.2 内部バッファ製造装置.....................................................................................................32

4.4.3.2.1 基本機能要求 .................................................................................................................324.4.3.2.2 FIMS ポートにおけるスロトマップ障害に対するフローチャート – 内部

バッファ製造装置 .........................................................................................................33

4.5 キャリア IDリード障害 .....................................................................................................................354.5.1 説明..............................................................................................................................................354.5.2 障害のタイプ..............................................................................................................................354.5.3 選択された障害..........................................................................................................................35

4.5.3.1 基本機能要求.....................................................................................................................354.5.3.2 キャリア ID 読込み障害に対するフローチャート .......................................................36

4.6 ジョブ作成障害 ...................................................................................................................................404.6.1 説明..............................................................................................................................................404.6.2 障害のタイプ..............................................................................................................................404.6.3 選択された障害..........................................................................................................................40

4.6.3.1.1 基本機能要求 .................................................................................................................404.6.3.1.2 ジョブ作成障害に対するフローチャート..................................................................41

4.7 ドッキング/クランピング障害 .........................................................................................................424.7.1 説明..............................................................................................................................................424.7.2 障害のタイプ..............................................................................................................................434.7.3 選択された障害..........................................................................................................................43

4.7.3.1 基本機能要求.....................................................................................................................434.7.3.2 クランプ / ドック障害に対するフローチャート..........................................................444.7.3.3 アンドック / アンクランプ障害に対するフローチャート ..........................................47

5 用語解説.......................................................................................................................................51

6 連絡先 ..........................................................................................................................................52

v


図一覧図一覧図一覧図一覧

図 1 E84 障害 – 1/4 ...........................................................................................................................................21

図 2 E84 障害 - 2/4............................................................................................................................................22

図 3 E84 障害 - 3/4............................................................................................................................................23

図 4 E84 障害 - 4/4............................................................................................................................................24

図 5 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 固定バッファ - 1/6 ......................................................26





図 10 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 固定バッファ - 6/6 ....................................................31

図 11 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 内部バッファ - 1/2 ....................................................33

図 12 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 内部バッファ - 2/2 ....................................................34

図 13 キャリア ID 障害 - 1/4 ...........................................................................................................................36

図 14 キャリア ID 障害 - 2/4 ...........................................................................................................................37

図 15 キャリア ID 障害 - 3/4 ...........................................................................................................................38

図 16 キャリア ID 障害 - 4/4 ...........................................................................................................................39

図 17 ジョブ作成障害 - 1/2 .............................................................................................................................41

図 18 ジョブ作成障害 - 2/2 .............................................................................................................................42

図 19 クランプ / ドック障害 - 1/3 ..................................................................................................................44

図 20 クランプ / ドック障害 - 2/3 ...................................................................................................................45

図 21 クランプ / ドック障害 - 3/3 ..................................................................................................................46

図 22 アンドック / アンクランプ障害 - 1/5 ...................................................................................................47

図 23 アンドック / アンクランプ障害 - 2/5 ..................................................................................................48

図 24 アンドック / アンクランプ障害 - 3/5 ..................................................................................................49

図 25 アンドック / アンクランプ障害 - 4/5 ..................................................................................................50

図 26 アンドック / アンクランプ障害 - 5/5 ..................................................................................................51

vi



表一覧表一覧表一覧表一覧

表 1 改版履歴 .....................................................................................................................................................3

表 2 キャリアにおける複数製品シナリオに対する基本機能要求 ..............................................................5

表 3 キャリアにおける複数製品に対するシナリオ......................................................................................7

表 4 E84 TP3/TA4 タイムアウトに対する基本機能要求 ............................................................................20

表 5 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害に対する基本機能要求: 固定バッファ

製造装置 ......................................................................................................................................25

表 6 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害に対する基本機能要求: 内部バッファ.......................32

表 7 キャリア ID 読込み障害に対する基本機能要求..................................................................................35

表 8 ジョブ作成障害に対する基本機能要求................................................................................................40

表 9 アンドッキング障害に対する基本機能要求........................................................................................43

vii


1


1 管理者向け要約

IC メーカーは、CIM グローバルジョイントガイダンスと SEMI スタンダードに基づいた 300 mm 向

け製造装置の実装を要求している。Selete および International SEMATECH は、300 mm 向けソフト

ウェアに対する要求の実装をサポートするために、共同作業を進めている。共同作業では、IC メー

カー業界の基本要求を含んだ製造装置に対する基本的な機能要求のセットと運用シナリオを開発す

る。この作業の目的は、CIM グローバルジョイントガイダンスと SEMI スタンダードの解釈ならび

に適用方法を、製造装置メーカに対して提供することである。この試みによって、運用要求のバリ

エーションの削減と、すべての製造装置に対する一貫した実装の促進を図ることができる。

共同作業は、以下のフェーズに分けられている。

• フェーズ 1 では、固定バッファ単一ウェーハプロセスタイプならびに内部バッファバッチプロ

セスタイプの製造装置に対する基本機能要求と運用シナリオの例を提供する。これらの基本的

な要求は、IC メーカー間で共通な領域が反映されているだけでなく、各社で生産している製品

のタイプが異なることや運用に対する考え方が異なることから要求ならびに使用方法が異なっ

ている領域についても反映されている。固定バッファ単一ウェーハプロセスタイプ装置を対象

としたフェーズ 1 は、2000 年 4 月に完了している。内部バッファバッチ処理装置のフェーズ 1は、2000 年 7 月に完了している。（フェーズ 1 については、International Sematech および Selete文書、『300mm Equipment Base Software Functionality Requirements – Fixed Buffer and InternalBuffer Type Equipment: Selete/International SEMATECH CIM Base Functionality RequirementsCollaboration, Phase 1B』を参照のこと。これは、International SEMATECH のウェブサイト、

www.sematech.org から入手可能である）。

• フェーズ 2 では、拡張機能に関するサンプルシナリオおよび障害/復旧に関するサンプルシナリ

オを追加することにより、フェーズ 1 における要求とシナリオ例を拡張する。拡張機能に関す

るサンプルシナリオは、「キャリア内の複数製品」を対象としている。障害/復旧シナリオは、

次のものを含んでいる。

• AMHS パラレル I/O（E84）障害

• FIMS ポートでのスロットマップ障害

• キャリア ID 読込み障害

• ジョブ作成障害

• ドッキング / クランピング障害

これらの障害/復旧シナリオは、すべての工場の製造装置で見られる障害のタイプの代表的な例

である。フェーズ 2 は、2000 年 10 月に発行されている。

• フェーズ 3 では、ラウンドトリップオペレーションに対する一般的な装置利用シナリオの代表

的なサンプルセットに対する装置試験仕様のセットを提供することを計画している。それには、

その他の拡張機能に関するシナリオも含まれる。フェーズ 3 は、2000 年 12 月に発行される予定

である。

http://www.sematech.org/

2



2 序論

2.1 範囲

本書は、製造装置メーカによる CIM グローバルジョイントガイダンスと SEMI スタンダードの解釈

を補助するために、製造装置の運用および実装を説明している。本書は、最も共通的な製造装置の

構成に限定されたものになっている。本文書は、全ての IC メーカーの要求または装置タイプをカ

バーしている訳ではない。本書は、製造装置メーカに対する特定の実装スケジュールを規定してい

ない。製造装置メーカは、この協力における全てのフェーズが完了する前に、IC メーカーが必要と

する期日に基づいた全ての要求に対する特定の実装スケジュールを規定すべきである。

2.2 本書について

2.2.1 位置付け

本書は、IC メーカーとソフトウェアメーカそして製造装置メーカによる使用を目的としている。

IC メーカーは、本書を次のことに使用するべきである。

• 装置メーカに対する CIM グローバルジョイントガイダンスと SEMI スタンダードの解釈ならび

に適用方法に関するガイドラインの提供

• 300 mm 製造装置に対する独自の機能要求、運用シナリオ、検証試験計画の文書化

ソフトウェアメーカおよび製造装置メーカは、本書を次のために使用すべきである。

• IC メーカ業界において共通な機能要求と共通でない機能要求の識別

• 特定の要件の実装をどのように検証するかの決定

2.2.2 章構成

管理者向け要約（第 1 章）

共同作業の概要

序論（第 2 章）

共同作業の範囲と文書に関する詳細の説明

拡張シナリオ（第 3 章）

フェーズ 1 の機能を拡張する追加シナリオ

障害および回復（第 4 章）

工場回復の例と共にフローチャート形式で示す障害の主要なタイプ

用語解説（第 5 章）

主要な用語の定義

連絡窓口（第 6 章）

主要連絡窓口情報

3


2.2.3 改版履歴

表1 改版履歴

版日付内容

第 1.0 版 10/18/00 フェーズ 2 - 拡張シナリオおよび障害/回復フロー

2.3 参考文献

2.3.1 Selete/ISMT CIM Collaboration

フェーズ 1（a および b）ドキュメント

http://www.sematech.org/public/docubase/document/3953cxfr.pdf

2.3.2 300 mm Semiconductor Factory GuidelinesGeneral index for 300 mm Program documents

http://www.sematech.org/public/resources/300mm/guide.htm

CIM Global Joint Guidance for 300 mm Semiconductor Factories Release Five

http://www.sematech.org/public/docubase/document/3534deng.pdf

Global Joint Guidance for 300 mm Semiconductor Factories

http://www.sematech.org/public/docubase/support/j300.pdf

300 mm Integrated Vision for Semiconductor Factories: Release Three

http://www.sematech.org/public/docubase/abstract/3659ceng.htm

2.3.3 SEMI スタンダード

SEMI E1-0697 Specification for 3 inch, 100 mm, 125 mm and 150 mm Plastic and Metal Wafer Carriers

SEMI E5-1000 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

SEMI E30-1000 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

SEMI E37-0298 High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

SEMI E39-0600 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services (OSS)

SEMI E40-1000 Standard for Processing Management

SEMI E42-0299E Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Service

SEMI E47-95 Specification for 150 mm/200 mm Pod Handles

SEMI E62-0999 Provisional Specification for 300 mm Front Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)

SEMI E63-0600A Mechanical Specification for 300 mm Box Opener/Loader to Tool Standard (BOLTS-M)Interface

SEMI E84-1000 Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

SEMI E87-1000 Provisional Specification for Carrier Management (CMS)

SEMI E90-1000 Specification for Substrate Tracking

SEMI E94-1000 Provisional Specification for Control Job Management

SEMI E99-1000 The Carrier ID Reader/Writer Functional Standard: Specification of Concepts, Behavior,and Services

4



SEMI E102-0600 Provisional Specification for CIM Framework Material Transport and Storage Component

SEMI E105-1000 Provisional Specification for CIM Framework Scheduling Component

SEMI E101-1000 Provisional Guide for EFEM Functional Structure Model

SEMI M1-0600 Specification for Polished Monocrystaline Silicon Wafers

これらのドキュメントは、SEMI より入手可能である。

SEMI North America（本社）3081 Zanker RoadSan Jose, California 95134-2127 USATel: 1-408-943-6900Fax: 1- 408-928-9600E-mail: [email protected]: http://www.semi.org

2.3.4 SEMI バロット

Document 3115C Revisions to SEMI E87: Standard for Carrier Management

Document 3098 Provisional Specification For Manual Handoff Operation Interface at E15.1 Load Port

これらのドキュメントは、SEMI より入手可能である。

SEMI North America（本社）3081 Zanker RoadSan Jose, California 95134-2127 USATel: 1-408-943-6900Fax: 1- 408-928-9600E-mail: [email protected]: http://www.semi.org

2.3.5 300 mm ソフトウェア試験方法

300 mm Operational Flowcharts

http://www.sematech.org/public/resources/300mm/methdocs/300opscen-v5.pdf

Equipment Integration and Automation Testing Users Group によるドキュメントへのインデックス

http://www.sematech.org/public/resources/300mm/methods.htm

これらのドキュメントに関する重要な情報

http://www.sematech.org/public/resources/300mm/impinfo.htm

3 拡張シナリオ

3.1 キャリアにおける複数製品

このシナリオは、フェーズ 1a の固定バッファ装置に対するシナリオとほとんど同じである。現在の

シナリオで異なる点は、コントロールジョブが、1 つのプロセスジョブではなく 2 つのプロセス

ジョブを持つキャリアに送られることである。2 つのプロセスジョブは、2 つの異なる製品を表すこ

とができる。2 つのプロセスジョブに提供されるレシピと可変パラメータは、同じである場合もあ

れば、異なっている場合もある。

mailto:[email protected]

mailto:[email protected]

5


3.1.1 基本機能要求

表 2 に、このシナリオの基本機能要求の詳細を示す。

表2 キャリアにおける複数製品シナリオに対する基本機能要求

# 機能バリエーションGL

またはStd

固定

バッファ

単一

ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

1a 固定バッファ E101 √ ✕ √

1bEFEM タイプ

内部バッファ E101 ✕ √

2a 単一ウェーハ √ ✕ √

2b 1 キャリア M ウェーハバッチ Op n.c.

2c

単位サイクル

サイズN キャリアバッチ √ √

3 ロードポートの数 2 以上Factory

GJG √ √ √

4a FOUP E47.1 √ √ √

4bキャリアタイプ

オープンカセット E1.9 Hw n.c. Hw n.c.

5a デリバリ位置 Hw n.c. Hw n.c. √

5bFOUP

クランピングドック位置 Hw n.c. Hw n.c. √

6a キャリア処理完了時 E87 Op n.c. Op n.c. √

6b

FOUPアンドッキング AMHS トリガー 3115c Op n.c. Op n.c.

7a 自動（AMHS） E84 √ √ √

7bキャリアの移載

手動（PGV） 3098 Hw n.c. Hw n.c.

8a 読込み専用タグ（バーコード）GL2.6 –

2.8 Hw n.c. Hw n.c. √

8b 電気的読込み書込み可能タグ

（IR/RF）GL2.6 –

2.8 Hw n.c. Hw n.c.

8c

キャリア ID タイプ

電気的読込み専用タグ（RF） GL2.6 –2.8 Hw n.c. Hw n.c.

9a 自動 E87 √ √ √

9bキャリアデリバリとピック

アップ（アクセスモード）手動 E87 √ √

10a 頻繁に変更しない E87 Op n.c. Op n.c. √

10bアクセスモード変更

頻繁に変更する E87 Op n.c. Op n.c.

11a ホスト照合 E87 √ √

11bキャリア ID 照合

装置照合 E87 Op n.c. Op n.c. √

12a バインド E87 Op n.c. Op n.c. √

12bロードポート予約

リザーブ E87 Op n.c. Op n.c.

13 スロットマップリーダーウェーハ存在の確認 E87 √ √ √

14a ホスト照合 E87 Op n.c. Op n.c.

14bスロットマップ照合


6




またはStd

固定

バッファ

単一

ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

15 基板トラッキング Yes E90 √ √ √

16ホストによるウェーハ ID/

コンテンツマップの

提供

Yes E87, E90 √ √ √

17 ウェハ ID リーダー Yes E90 ✕ ✕

18a デリバリ前 E94 Op n.c. Op n.c.

18b

プロセスジョブ / コントロー

ルジョブの作成と

キャリアデリバリデリバリ後 E94 √ √ √

19a 1 プロセス 1 キャリア E40,E94 √ √

19b 1 プロセス M キャリア E40,E94 ✕ √

19c N プロセス 1 キャリア E40,E94 √ ✕ √

19d

プロセスジョブ /コントロールジョブの用法

N プロセス M キャリア E40,E94 Op n.c. ✕

20コントロールジョブ /

プロセスジョブで管理される

NPW オペレーション

Yes E94 √ √

21 同一キャリアの同一

スロットの保持Yes E87 √ √ √

22 ウェーハキャリア /スロット行き先位置

利用者提供 E94 Op n.c. Op n.c.

23a ホスト指示 E30,E42 √ √ √

23bレシピダウンロード

オペレータ指示 E30,E42 √ √

24 キャパシティチェック Yes √

25a ロードポート Hw n.c.

25bスロットマップリード

タイミング FIMS ポート √ √

3.1.2 作業手順

アクションの順番は、フェーズ 1a 固定バッファ単一ウェーハ装置基本作業手順と同じである。異な

る点は、ステップ 21 でプロセスジョブを定義するメッセージが、PJ1 と PJ2 の 2 つのプロセスジョ

ブを定義し、次にコントロールジョブが同一キャリアに対して PJ1 と PJ2 の両方を指定しているこ

とである。

スロット 1～12 のウェーハは、PJ1 プロセスジョブを使用して処理され、スロット 13～25 のウェー

ハは、PJ2 を使用して処理される。

7


3.1.3 シナリオ詳細

表3 キャリアにおける複数製品に対するシナリオ

# 説明メッセージ SECS メッセージ注

1 ホストは、CarrierID、PortID、

コンテンツマップおよび WaferID情報が含まれた Bind コマンドを

送る（E87）

H->E S3F17 (Bind)

2 製造装置は、Bind に対して

応答する

H<-E S3F18 (Ack)

3 AMHS は、材料の配送を試みる

（E84 搬送開始）

4 製造装置は、キャリア Xfr が XferState Blocked イベントを開始する

ことをホストに通知する（E87）

H<-E S6F11

(TransferBlocked)

5 ホストは、Xfer State Blockedイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

6 AMHS は、材料の搬送を

完了する（E84 搬送完了）

7 製造装置は、材料が到着したこと

を Material Received イベントに

よってホストに通知する（E30）

H<-E S6F11

(MaterialReceived)

8 ホストは、Material Receivedイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

製造装置は、キャリア ID を読み

込む（イベントは送られない）

9 製造装置は、ID Verification OK イ

ベントをホストに通知する

（E87）

H<-E S6F11 (IDVerificationOK)

10 ホストは、ID Verification OKイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

キャリアは、ドックされる

（イベントは送られない）

11 製造装置は、FOUP ドアーを

開き、Carrier Opened イベントを

送る（E87）

H<-E S6F11(CarrierOpened)

12 ホストは、Carrier Openedイベントレポートに応答する

H->E S6F12 (Ack)

製造装置は、スロットマップを読

み込む（イベントは送られない）

13 製造装置は、スロットマップを

照合し、Slot Map Verify OKイベントを送る（E87）

H<-E S6F11 (Slot MapVerify OK)

8




14 ホストは、Slot Map Verify OKイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

15 ホストは、装置へマルチブロック

レシピの送信を要求する（E30） H->E S7F1 (Process

ProgramLoadInquire)

16 製造装置は、ホストからのマルチ

ブロックレシピの送信要求に

応答する

H<-E S7F2 (Ack)

17 ホストは、製造装置にマルチ

ブロックレシピを送る（E30）H->E S7F3

(ProcessProgramSend)

18 製造装置は、ホストからマルチ

ブロックレシピを受け取ったこと

を応答する

H<-E S7F4 (Ack)

19 ホストは、使用可能なプロセス

ジョブキュースペースを要求する

（E40）

H->E S16F21 (PRGetSpace)

20 製造装置は、使用可能なプロセス

ジョブキュースペースを送る

H<-E S16F22 (PRGetSpaceResponse)

21 ホストは、PJ Multi Createコマンドを出す（E40）

H->E S16F15 (PRJobMultiCreate)

2 つのプロセスジョブ（PJ1 お

よび PJ2）を作成する（PJ1は、スロット 1～12 のウェーハ

を処理し、PJ2 は、スロット 13～25 のウェーハを処理する）

22 製造装置は、PJ Multi Createコマンドに応答する

H<-E S16F16 (Ack)

23 製造装置は、プロセスジョブが

キューされたことをホストに

通知する

Process Job Queued イベントレ

ポートが送られる（E40）

H->E S6F11(PRJobQueued)

24 ホストは、Process Job Queuedイベントレポートに応答する

H<-E S6F12 (Ack)

25 ホストは、使用可能なコントロー

ルジョブキュースペースを

要求する（E30, 94）

H->E S1F3 (CJQueueSpace)

26 製造装置は、使用可能なコント

ロールジョブスペースを送る

H<-E S1F4(CJQueueSpaceRespo

nse)

27 ホストは、CJ Create コマンドを

出す（E94, E39）H->E S14F9 (ControlJob)

28 製造装置は、CJ Create コマンド

に応答する

H<-E S14F10 (Ack)

29 製造装置は、CJ Queued イベント

を送る（E94）H<-E S6F11 (Queued)

9



30 ホストは、Control Job Queuedイベントレポートに応答する

H->E S6F12 (Ack)

31 製造装置は、ホストに CJ Selectedイベントを送る（E94）

H<-E S6F11 (Selected)

32 ホストは、CJ Selected イベントに

応答する

H->E S6F12 (Ack)

33 製造装置は、ホストに CJExecuting イベントを送る（E94）

H<-E S6F11 (Executing) E94 の ‘Execution Began’イベントに対応

34 ホストは、CJ Executing イベント

に応答する

H->E S6F12 (Ack)

35 製造装置は、ホストに PJ1 が

Active/Setup 状態に遷移した旨を

PR Job Active/Setup イベントに

よって通知する（E40）

H<-E S6F11 (PR Job Setup) PJ1 は Active/Setup 状態となる

36 ホストは、PR Job Active/Setupイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)


Processing 状態に遷移した旨を PRJob Processing イベントによって

通知する（E40）

H<-E S6F11 (Processing) PJ1 は Processing 状態となる

38 ホストは、PJ Processingイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

39 ウエーハは、キャリアから取り出

され、キャリアアクセスステータ

スが In Access 状態に遷移した旨

を In Access イベントによって


H<-E S6F11 (InAccess)

40 ホストは、In Access イベントに

応答する

H->E S6F12 (Ack)

41 製造措置は、Substrate At Workイベントを送る（E90）

H<-E S6F11 (Substrate AtWork)

スロット 1 から基板が出る

42 ホストは、Substrate AT Workイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

43 製造装置は、Substrate In Processイベントを送る（E90）

H<-E S6F11 (Substrate InProcess)

プロセスがウエーハに対し

開始される

44 ホストは、Substrate In Processイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

基板に対するプロセスが完了する

45 製造装置は、Substrate ProcessingComplete イベントを送る（E90）

H<-E S6F11 (SubstrateProcessing Complete)

46 ホストは、Substrate ProcessingComplete イベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

47 製造装置は、Substrate ATDestination イベントを送る

H<-E S6F11 (Substrate AtDestination)

基板は元のキャリアへ戻される

10




48 ホストは、Substrate At Destinationイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

ステップ 41～ 48 が PJ1 に対する

ウェーハ 2～12 に対して

繰り返される


Processing Complete 状態に遷移し

た旨を PR Job Processing Completeイベントによって通知する

（E40）

H<-E S6F11(PRJobProcessingCo

mplete)

プロセスジョブ PJ1 完了

50 ホストは、PR Job ProcessingComplete イベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)


Active/Setup 状態に遷移した旨を

PR Job Setup イベントによって通

知する（E40）

H<-E S6F11 (PR Job Setup) キャリアは、内部バッファから

FIMS ポートへの移動を

開始する

PJ2 アクティブ/セットアップ

52 ホストは、PR Job Active/Setupイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)


Processing 状態に遷移した旨を PRJob Processing イベントによって


H<-E S6F11 (Processing) PJ2 プロセス

54 ホストは、PJ Processing イベント

に応答する

H->E S6F12 (Ack)

55 製造装置は、Substrate At Workイベントを送る（E90）

H<-E S6F11 (Substrate AtWork)

スロット 13 からの基板

56 ホストは、Substrate AT Work イベ

ントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

57 製造装置は、Substrate In Processイベントを送る（E90）

H<-E S6F11 (Substrate InProcess)

プロセスがウェーハで

開始される

58 ホストは、Substrate In Processイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

基板に対するプロセスが完了する

59 製造装置は、Substrate ProcessingComplete イベントを送る（E90）

H<-E S6F11 (SubstrateProcessing Complete)

60 ホストは、Substrate ProcessingComplete イベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

61 製造装置は、Substrate ATDestination イベントを送る

H<-E S6F11 (Substrate AtDestination)

基板は、元のキャリアへ

戻される

62 ホストは、Substrate At Destinationイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

11



ステップ 55～62 が、PJ2 の対象で

あるスロット 14～25 のウェーハ

に対し繰り返される


Processing Complete 状態に遷移し

た旨を PR Job Processing Completeイベントに通知する（E40）

H<-E S6F11(PRJobProcessing

Complete)

プロセスジョブ PJ2 が完了する

64 ホストは、PR Job ProcessingComplete イベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

65 製造装置は、CJ Complete イベン

トを送る（E94）H<-E S6F11 (CJ Complete)

66 ホストは、CJ Complete イベント

に応答する

H->E S6F12 (Ack)

67 製造装置は、ホストにキャリアア

クセッシングステータスが CarrierComplete 状態に遷移した旨を

Carrier Complete イベントによっ

て通知する（E87）

H<-E S6F11 (Carrier

Complete)

68 ホストは、Carrier Completeイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

69 製造装置は、FOUP ドアを閉じ、

Carrier Closed イベントを送る

（E87）

H<-E S6F11 (CarrierClosed)

70 ホストは、Carrier Closed イベント

に応答する

H->E S6F12 (Ack)

71 製造装置は、ホストに Ready toUnload イベントを通知する

（E87）

H<-E S6F11 (Ready toUnload)

72 ホストは、Ready to Unloadイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

73 AMHS は、材料のピックアップを

試みる

（E84 トランザクション開始）

74 製造装置は、ホストに Xferblocked イベントを通知する

（E87）

H<-E S6F11 (Xfr Blocked)

75 ホストは、Xfer Blocked イベント

に応答する

H->E S6F12 (Ack)

76 AMHS は、材料のピックアップを

完了する

（E84 トランザクション完了）

77 製造装置は、ホストに材料が取り

除かれたことを Material Removedイベントによって通知する

（E30）

H<-E S6F11(MaterialRemoved)

12




78 ホストは、Material Removedイベントに応答する

H->E S6F12 (Ack)

79 製造装置は、ホストに Ready toLoad イベントを通知する（E87）

H<-E S6F11(ReadyToLoad)

80 ホストは、Ready to Load イベント

に応答する

H->E S6F12 (Ack)

3.1.4 メッセージ詳細

Step 21 : S16F15 (PR Job Multi Create)

< S16F15 W < L < A > // DataID < L < L < A “PJ1” > // Process Job ID < B 0x0d> // Material Format Code (0x0d = Quantitiesin Carriers) < L < L < A “CARRIERXYZ” > // Carrier ID < L < U1 1 > // Slot 1 < U1 2 > // Slot 2 ~ ~ < U1 12 > // Slot 12 > > < L < A "STANDARD" > // Run standard recipe, no recipetuning <A “RECIPE1”> // Recipe name to apply <L < L > // No recipe tuning parameters >

13


> < Bool 1 > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID > > > < L < L < A “PJ2” > // Process Job ID < B 0x0d> // Material Format Code (0x0d = Quantities inCarriers) < L < L < A “CARRIERXYZ” > // Carrier ID < L < U1 13 > // Slot 13 < U1 14 > // Slot 14 ~ ~ < U1 25 > // Slot 25 > > < L < A "STANDARD" > // Run standard recipe, no recipetuning <A “RECIPE2”> // Recipe name to apply <L < L > // No recipe tuning parameters > > < Bool 1 > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID > > > >>

14



Step 22: S16F16(PJMultiJobCreate Acknowledge)< S16F16 < L < A “PJ1”> // Process Job ID (#1) < A “PJ2”> // Process Job ID (#2) > < L < Bool TRUE > // ACKA TRUE/FALSE < L // # of Error Count > >>Step 27: S14F9(CJCreate)< S14F9 W < L < A “EQUIPMENT" > // ObjSpec – Owner of Control Job < A "ControlJob" > // ObjType - Created Object Type < L < L < A “ObjID" > // AttrID – Object ID (Control Job ID) < A "MYCONTROLJOB" > // AttrData - Control Job Name > < L 2 < A "ProcessCtrlSpec" > // AttrID - Processing Ctrl Spec < L < A "PJ1" > // AttrData - Process Job Name (#1) < A "PJ2" > // AttrData - Process Job Name (#2) > > < L < A "CarrierInputSpec" > // AttrID - Maps of source < L < A "CARRIERXYZ" > // AttrData - Source Carrier ID > > < L < A "MtrlOutSpec" > // AttrID - Maps of destination

15


< A > // AttrData - Empty list since unicassette > < L 2 < A "ProcessOrderMgmt" > // AttrID - Processing Job Order < A "LIST" > // AttrData - According to Porcessing Ctr lSpec > < L 2 < A "StartMethod" > // ATTRID - Start Method < BOOL 1 > // AttrData - Auto Start Set to True > > >>

Step28: S14F10(CJCreate Acknowledge)< S14F10 < L < A “EQUIPMENT” > // ObjSpec – Owner of Control Job < L < L < A “ObjID" > // AttrID – Control Job ID < A “MYCONTROLJOB" > // AttrData – Control Job Name > < L < A "ProcessingCtrlSpec" > // AttrID – Processing Ctrl Spec < L < A "PJ1" > // AttrData – Process Job Name (#1) < A "PJ2" > // AttrData – Process Job Name (#2) > > < L < A "CarrierInputSpec" > // AttrID – Maps of Source < L < A "CARRIERXYZ" > // AttrData – Source Carrier ID > > < L < A "MtrlOutSpec" > // AttrID – Maps of destination

16



< A > // AttrData – Empty list since unicassette > < L < A "ProcessOrderMgmt" > // AttrID – Processing Job order < A "LIST" > // AttrData – According to PorcessingCtrlSpec > < L < A "StartMethod" > // ATTRID – Start Method < B TRUE > // AttrData – Auto start set to True > > < L 2 < U1 0 > // OBJACK < L > > >

4 障害および回復

4.1 概要

300 mm 半導体製造工場は、高度に自動化される。工場は、正常または「通常のビジネス」状態では

オペレータの介入をほとんどまたはまったく必要としない統合化されたシステムとなる。一般的に

製造稼動システム（MES）と呼ばれる、工場管理システムが、工場を稼動するために製造装置、搬

送システム、およびスケジューリングシステムが生成する情報を使用する。これには、製造装置と

の間の配送のためのキャリアの選択、製造装置への配送とピックアップ、セットアップ、プロセス

の実行が含まれる。

半導体製造の複雑な世界では、経験的に工場が完全に「正常な状態」で稼動しないことが分かって

いる。プロセス、製造装置、および材料の多くの問題が毎日のように発見されている。高度に自動

化された 300 mm 工場では、これらの工場への巨額な投資から最大の利益を得るために、これらの

問題の迅速で最少の努力による回復が必要となる。

上位レベルでは、すべてのエラーまたは例外条件は、次に示す 5 つのステップの順に発生するもの

と見なすことができる。

1. 工場または製造装置が正常に稼動している（「正常な状態」）

2. 異常、エラー、または例外条件が発生する

3. エラーが次のものにより検出される

a. 製造装置

b. ホストシステム

c. ラインを監視しているオペレータまたは技術者

17


4. エラー、エラー条件、または問題の原因が修正される

5. 工場は、正常な運用に回復する

ステップ 1 に対する製造装置に対する要求は、グローバルジョイントガイドライン、ビジョンド

キュメント、SEMI スタンダード、および各 IC メーカの個々の製造装置仕様書に部分的に記述され

ている。Selete/International Sematech の共同作業では、発生する可能性のあるエラーを例として定義

し、本文書に一覧として示している。エラーを検出する方法は多数存在することから、必ずしも全

ての検出方法を示していない。本文書には、幾つかの例が含まれているのみである。エラーを修正

する方法は、エラー、製造装置、製造装置が運用される工場に特有である。

IC メーカは、製造装置および MES メーカに必要となる手動介入の量を減らすソリューションを開

発することを要求しているが、工場で予想される多くの問題には手動による介入が必要になること

を認めている。本文書に含まれているフローチャートは、工場を「正常な状態」に戻す「ステップ

5」を取り扱うことを主な目的としている。

4.2 アプローチ

フェーズ 2 に示されている障害の各タイプに対して、基本的なタイプの可能なバリエーションの一

覧が含まれている。例えば、パラレル I/O 障害に対して、SEMI E84 では、10 のタイムアウト、つま

り、アクティブ装置に対する 4 つのタイムアウトとパッシブ装置に対する 6 つのタイムアウトを定

義している。これらのタイムアウトに加えて、パラレル I/O 障害は、他の状態でも発生することが

ある。これら全てを下記のセクション 4.3 に示している。

「シナリオ」と呼ぶ従来のメッセージフローを使用する代わりに、障害のセクションでは、試験の

ための操作フローに使用されるのと同様の方法でフローチャートを使用している。操作フローの

EIATUG URLを参照のこと。

フローチャートは、複数の可能なパスまたはシナリオを示すことが可能であると共に、単一のフ

ローに複数のタイプの障害を示すこともできる。

各フローチャートには、特定のフローにバリエーションを示すための基本機能要求表が示されてい

る。この表では、特定の基本機能要求のバリエーションは、それがフローチャートに明示的に示さ

れているときにのみチェックされている。いずれのバリエーションもチェックされない場合、フ

ローチャートは、いずれかのバリエーションを使用してシナリオに適用する必要がある。基本機能

要求のすべてのバリエーションがチェックされる場合、フローチャートには、それらのすべてが明

示的に含まれている。

障害の各タイプには、障害の説明と障害の各種の発生方法の一覧が含まれている。複数のバリエー

ションが存在する場合には、より詳細なフローチャートを提供するために特定のバリエーションが

選択された理由が説明されている。運用フローチャートにおけるアクターは、オペレータ、ホスト、

AMHS、装置（製造装置）である。メッセージフローシナリオは、エラー回復には不要であるが、

本フローチャートでは、送られるメッセージを含め、アクターの間の相互作用を示している。

4.3 E84 障害

4.3.1 説明

E84 障害には、SEMI E84 に基づくパラレル I/O トランザクションの開始時または途中に発生する障

害が含まれる。基本的に 2 つの主なタイプが存在する。その 1 つは、製造装置が HO_AVBL または

ES を使用して問題を知らせるものであり、他の 1 つは、製造装置または AMHS 装置のいずれかま

たはその両方でのタイムアウトに基づくものである。

18



4.3.2 E84 エラーのタイプ

異なる障害モード、製造装置タイプの影響、回復オプションへの障害のタイミングの影響。

1. 移載インターロック異常 — 製造装置が移載中に異常状態を検出する。これは、移載衝突領域で

の AMHS と製造装置の間の干渉を示す。

2. 移載使用不能 — 製造装置が AMHS への材料移載操作に使用できない。

3. 緊急停止要求 — 緊急停止要求を AMHS に知らせる。このシグナルは、通常 ON である。製造装

置は、AMHS が全てのアクティビティを停止することを示すために、トランザクションの前ま

たはドランザクション中にこのシグナルをいつでも OFF にすることができる。特に、OHT は、

直ちに停止しなければならない。

AMHS タイマ

AMHS は、TA1、TA2、TA3、TA4 および TD1 タイマを備えている。TD1 遅延タイマは、完全を期

すためにここに含まれている。

4. TA1 AMHS に対するインターロックタイムアウト —TA1 タイマの指定により VALID が ON に

セットされた後の時間間隔内に、AMHS が L_REQ（ローディング）または U_REQ（アンロー

ディング）が OFFになるのを検出することに失敗する。

5. TA2 AMHS に対するインターロックタイムアウト —TA2 タイマによって指定された TR_REQON の後の時間間隔内に、AMHS が READY ON の検出に失敗する。

6. TA3 AMHS に対するインターロックタイムアウト —TA3 タイマによって指定された COMPTON 後の時間間隔内に、AMHS が READY OFF の検出に失敗する。

7. TA4 AMHS に対するインターロックタイムアウト —TA4 タイマによって指定された BUSY ON後の時間間隔内に、AMHS が L_REQ OFFまたは U_REQ OFFの検出に失敗する。

注: TA4 タイマは、現在、E84 に定義されていないが、AMHS が移載自体の問題を検出するのに重要

であることが認識されている。

8. TD1 遅延タイマ– 2 つの連続する移載の VALID シグナルの間の遅延を指定する。製造装置は、2番目の VALID シグナルが ON に移行するのを検出するために時間を必要とする。

製造装置タイマ

製造装置は、TP1、TP2、TP3、TP4、TP5、および TP6 タイマを備えている。

9. TP1 製造装置に対するインターロックタイムアウト — TP1 タイマは、L_REQ ON または

U_REQ ON と TR_REQ ON の間の時間間隔を測定する。

10. TP2 製造装置に対するインターロックタイムアウト — TP2 タイマは、READY ON と BUSY ONの間の時間間隔を測定する。

11. TP3 製造装置に対するインターロックタイムアウト — TP3 タイマは、BUSY ON と、新たに置

かれたキャリア（ローディング）または既存のキャリアの削除（アンローディング）のいずれ

かの検出との間の時間間隔を測定する。

キャリアは、キャリア存在センサおよびキャリアプレースメントセンサの両方がアクティブに

なり、変動（バウンシング）を停止したときに検出される。キャリアプレースメントセンサが

アクティブでない場合、キャリアは、存在するが、送り返される。

19


キャリアの削除は、キャリア存在センサとキャリアプレースメントセンサの両方の状態がア

クティブ（キャリア検出）からインアクティブ（キャリア非検出）へ変化したときに検出さ

れる。

12. TP4 製造装置に対するインターロックタイムアウト — TP4 タイマは、L_REQ OFF（ローディ

ング）または U_REQ OFF（アンローディング）と BUSY OFFの間の時間間隔を測定する。

13. TP5 製造装置に対するインターロックタイムアウト — TP5 タイマは、READY OFFと VALIDOFFの間の時間間隔を測定する。

14. TP6 製造装置に対するインターロックタイムアウト — TP6 タイマは、連続する移載トランザ

クションの移載後の VALID OFF と次の移載の VALID ON との間の時間間隔を測定する。連続

する移載トランザクションは、一連の移載の最初の移載中の AMHS シグナル CONT ON によっ

て示される。

4.3.3 選択された E84 障害

ある 1 つの障害が次の障害を引き起こす様子を示すために、キャリアセンサの障害による E84 TP3タイムアウト障害が、キャリアプレゼンス/プレースメント障害と組み合わせて選択されている。さ

らに、AMHS は、COMPT を出す前に永久に L_REQ OFF を待つことが決定された後、AMHS は、

E84 に現在指定されていない追加のタイマ TA4 を備える必要があることが合意されている。TA4 は、

BUSY が ON になるときにセットされ、L_REQ（ローディングに対して）または U_REQ（アンロー

ドに対して）が OFF にされるときにクリアされる。このタイマがない場合、AMHS は、スーパーバ

イザに報告されなければならないアラーム条件を検出することができない。

4.3.3.1 配送時の製造装置のキャリアセンサ障害

1. AMHS は、ロードポートの正面の移載位置に到着し、CS_0 を ON にする

2. AMHS は、VALID シグナルを ON にする

3. 製造装置は、L_REQ（U_REQ）を ON にする

4. AMHS は、TR_REQ を ON にし、製造装置に移載オペレーションを開始することを要求する

5. 製造装置は、移載可能状態になると READY シグナルを ON にする

6. AMHS は、BUSY シグナルを ON にして転送を開始する

7. キャリアは、TP3 タイムアウト前に、製造装置で検出されない（製造装置がタイムアウトを検出

する）

注: キャリアが検出されるためには、キャリアプレゼンスおよびキャリアプレースメントセンサの両

方が適切に作動している必要がある。キャリアは、180 度ずらして置かれるか、またはいずれかの

センサが求められる状態への遷移を失敗し、一定の状態になることができないことがある。

8. 製造装置は、イベントおよびアラームレポートを通してホストに通知する

20



4.3.3.1.1 基本機能要求

表 4 に E84 TP3/TA4 フローチャートに示されている基本機能要求を示す。チェックマークが付けら

れているバリエーションのみが明示的に示されている。

表4 E84 TP3/TA4 タイムアウトに対する基本機能要求


またはStd

固定バッファ

単一ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

4a キャリアタイプ FOUP E47.1 √ √ √

7a キャリアの移載自動（AMHS） E84 √ √ √

9aキャリアデリバリと

ピックアップ

（アクセスモード）

自動 E87 √ √ √

21


4.3.3.1.2 E84 障害に対するフローチャート

AMHSAMHSAMHSAMHS 製造装置製造装置製造装置製造装置ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータ

TP3およびTA4のE84タイムアウトに伴うキャリアセンサ障害（装置がキャリアプレースメントにおけるタイムアウトを検出）

コメントコメントコメントコメント

LP1LP1LP1LP1アクセスモード = 自動アクセスモード = 自動アクセスモード = 自動アクセスモード = 自動

HO_AVAIL = ONHO_AVAIL = ONHO_AVAIL = ONHO_AVAIL = ONES = ONES = ONES = ONES = ON

POWER = ONPOWER = ONPOWER = ONPOWER = ON

装置LP1に対する装置LP1に対する装置LP1に対する装置LP1に対する次のキャリアを次のキャリアを次のキャリアを次のキャリアを

決定決定決定決定

キャリアXを装置のポート1へ移動

ロードポートロードポートロードポートロードポートトランスファストランスファストランスファストランスファステートモデルテートモデルテートモデルテートモデル

(LTSM)(LTSM)(LTSM)(LTSM)-> Ready To-> Ready To-> Ready To-> Ready To

LoadLoadLoadLoad

AMHSビークルがAMHSビークルがAMHSビークルがAMHSビークルがキャリアXと共にキャリアXと共にキャリアXと共にキャリアXと共に

到着到着到着到着

CS_0 ONをセットCS_0 ONをセットCS_0 ONをセットCS_0 ONをセットCS_1 OFFをセットCS_1 OFFをセットCS_1 OFFをセットCS_1 OFFをセットVALID ONをセットVALID ONをセットVALID ONをセットVALID ONをセットTA1タイマをセットTA1タイマをセットTA1タイマをセットTA1タイマをセット

PIOVALID ONを検出VALID ONを検出VALID ONを検出VALID ONを検出CS_0 ONを検出CS_0 ONを検出CS_0 ONを検出CS_0 ONを検出

L_REQ ONをセットL_REQ ONをセットL_REQ ONをセットL_REQ ONをセットTP1タイマをセットTP1タイマをセットTP1タイマをセットTP1タイマをセット

PIO

\

L_REQ ONを検出L_REQ ONを検出L_REQ ONを検出L_REQ ONを検出TA1タイマをクリアTA1タイマをクリアTA1タイマをクリアTA1タイマをクリア

TR_REQ ONをセットTR_REQ ONをセットTR_REQ ONをセットTR_REQ ONをセットTA2タイマをセットTA2タイマをセットTA2タイマをセットTA2タイマをセット

AMHSは、移載を開始可能

TR_REQ ONを検出TR_REQ ONを検出TR_REQ ONを検出TR_REQ ONを検出TP1タイマをクリアTP1タイマをクリアTP1タイマをクリアTP1タイマをクリアREADY ONをセットREADY ONをセットREADY ONをセットREADY ONをセットTP2タイマをセットTP2タイマをセットTP2タイマをセットTP2タイマをセットPIO

装置は、移載を開始可能

READY ONを検出READY ONを検出READY ONを検出READY ONを検出TA2タイマをクリアTA2タイマをクリアTA2タイマをクリアTA2タイマをクリアBUSY ONをセットBUSY ONをセットBUSY ONをセットBUSY ONをセット

AMHSは、移載を開始

AHMSはLP1にキャリAHMSはLP1にキャリAHMSはLP1にキャリAHMSはLP1にキャリアを置くことを開始アを置くことを開始アを置くことを開始アを置くことを開始TA4タイマをセットTA4タイマをセットTA4タイマをセットTA4タイマをセット

BUSY ONを検出BUSY ONを検出BUSY ONを検出BUSY ONを検出TP3タイマをセットTP3タイマをセットTP3タイマをセットTP3タイマをセットキャリアプレゼンスキャリアプレゼンスキャリアプレゼンスキャリアプレゼンスおよびプレースメントおよびプレースメントおよびプレースメントおよびプレースメントセンサが、キャリアをセンサが、キャリアをセンサが、キャリアをセンサが、キャリアを検知し正しく置かれた検知し正しく置かれた検知し正しく置かれた検知し正しく置かれたことを示すのを待つことを示すのを待つことを示すのを待つことを示すのを待つ

装置は、キャリア検出を待つ

AMHSは、装置がキャリアの受取りを応答するのを待つ

1b1b1b1b1a1a1a1a

初期状態

AMHSは、LP1へのアクセスを要求

装置は、LP1でロード可能

PIO

PIO

イベント:イベント:イベント:イベント:Ready To LoadReady To LoadReady To LoadReady To Load

イベント:イベント:イベント:イベント:LP1 Transfer BlockedLP1 Transfer BlockedLP1 Transfer BlockedLP1 Transfer Blocked

図1 E84 障害 – 1/4

22



ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータコメントコメントコメントコメント

1b1b1b1b

キャリアキャリアキャリアキャリア検出?検出?検出?検出?

TP3タイムTP3タイムTP3タイムTP3タイムアウト?アウト?アウト?アウト?

NoNoNoNo

キャリア検出には、キャリア存在センサとキャリアプレースメントセンサの両方が、安定後に予想される条件を検出する必要がある

YesYesYesYes

AMHSAMHSAMHSAMHS 製造装置製造装置製造装置製造装置

1a1a1a1a

L_REQL_REQL_REQL_REQ"OFF"検出?"OFF"検出?"OFF"検出?"OFF"検出?

TA4タイムTA4タイムTA4タイムTA4タイムアウト?アウト?アウト?アウト?

NoNoNoNo

YesYesYesYes

AMHSは、ホストにAMHSは、ホストにAMHSは、ホストにAMHSは、ホストに通知通知通知通知

AMHSは、オペレーAMHSは、オペレーAMHSは、オペレーAMHSは、オペレータの介入を要求タの介入を要求タの介入を要求タの介入を要求

AMHSは、キャリアをAMHSは、キャリアをAMHSは、キャリアをAMHSは、キャリアをリリースせずリリースせずリリースせずリリースせずTA4をクリアTA4をクリアTA4をクリアTA4をクリアオペレータのオペレータのオペレータのオペレータの介入を待つ介入を待つ介入を待つ介入を待つ

NoNoNoNo

YesYesYesYes

装置は、ホストに通知装置は、ホストに通知装置は、ホストに通知装置は、ホストに通知装置は、オペレータの装置は、オペレータの装置は、オペレータの装置は、オペレータの

介入を要求介入を要求介入を要求介入を要求TP3をクリアTP3をクリアTP3をクリアTP3をクリア

オペレータの介入をオペレータの介入をオペレータの介入をオペレータの介入を待つ待つ待つ待つ

NoNoNoNo

3d3d3d3d

YesYesYesYes

3e3e3e3e

イベント: PIO Timeoutイベント: PIO Timeoutイベント: PIO Timeoutイベント: PIO Timeout

アラーム: NoCarrierアラーム: NoCarrierアラーム: NoCarrierアラーム: NoCarrierAt LP1 SetAt LP1 SetAt LP1 SetAt LP1 Set

2aまた2aまた2aまた2aまたは3aは3aは3aは3a

2bまたは2bまたは2bまたは2bまたは3b3b3b3b

図2 E84 障害 - 2/4

23


HO_AVBL OFFHO_AVBL OFFHO_AVBL OFFHO_AVBL OFFをセットをセットをセットをセット

HO_AVBL = OFFは、こHO_AVBL = OFFは、こHO_AVBL = OFFは、こHO_AVBL = OFFは、この装置がキャリアを受の装置がキャリアを受の装置がキャリアを受の装置がキャリアを受け入れることができなけ入れることができなけ入れることができなけ入れることができないことおよび移載できいことおよび移載できいことおよび移載できいことおよび移載でき

ないことを示すないことを示すないことを示すないことを示す

オペレータのオペレータのオペレータのオペレータの決定: LP1 Out決定: LP1 Out決定: LP1 Out決定: LP1 Out Of Service Of Service Of Service Of Serviceをセット?をセット?をセット?をセット?

終了終了終了終了


イベント: LP1 Out Ofイベント: LP1 Out Ofイベント: LP1 Out Ofイベント: LP1 Out OfServiceServiceServiceService


オペレータ介入オペレータ介入オペレータ介入オペレータ介入オペレータの決定:オペレータの決定:オペレータの決定:オペレータの決定:

継続？継続？継続？継続？キャンセル?キャンセル?キャンセル?キャンセル?

一般的に、オペレータは、一般的に、オペレータは、一般的に、オペレータは、一般的に、オペレータは、- 手動でAMHSにキャリア- 手動でAMHSにキャリア- 手動でAMHSにキャリア- 手動でAMHSにキャリア

をリリースすることををリリースすることををリリースすることををリリースすることを指示する指示する指示する指示する

- OHVビークルをリセット- OHVビークルをリセット- OHVビークルをリセット- OHVビークルをリセットするするするする

- PGVまたはOHVキャリア- PGVまたはOHVキャリア- PGVまたはOHVキャリア- PGVまたはOHVキャリアをストッカに戻すをストッカに戻すをストッカに戻すをストッカに戻す

PIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションをキャンセルキャンセルキャンセルキャンセル

3c3c3c3c

2b2b2b2b

NoNoNoNo

LP1 Out Of ServiceLP1 Out Of ServiceLP1 Out Of ServiceLP1 Out Of Service

キャンセルキャンセルキャンセルキャンセルPIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションを

キャンセルキャンセルキャンセルキャンセル

READY OFFをセットREADY OFFをセットREADY OFFをセットREADY OFFをセットL_REQ OFFをセットL_REQ OFFをセットL_REQ OFFをセットL_REQ OFFをセット

継続継続継続継続

PIOPIOPIOPIO

PIOPIOPIOPIO

PIOPIOPIOPIO

VALID OFFをセットVALID OFFをセットVALID OFFをセットVALID OFFをセットCS_0 OFFをセットCS_0 OFFをセットCS_0 OFFをセットCS_0 OFFをセットBUSY OFFをセットBUSY OFFをセットBUSY OFFをセットBUSY OFFをセット

TR_REQ OFFをセットTR_REQ OFFをセットTR_REQ OFFをセットTR_REQ OFFをセット

2a2a2a2a


製造装置製造装置製造装置製造装置AMHSAMHSAMHSAMHS

装置でのキャンセル装置でのキャンセル装置でのキャンセル装置でのキャンセル

AMHSでのキャンセルAMHSでのキャンセルAMHSでのキャンセルAMHSでのキャンセル

図3 E84 障害 - 3/4

24



アラームがクリアされアラームがクリアされアラームがクリアされアラームがクリアされると、ホストは、オペると、ホストは、オペると、ホストは、オペると、ホストは、オペレータがアラームをレータがアラームをレータがアラームをレータがアラームをクリアしたことをログクリアしたことをログクリアしたことをログクリアしたことをログ

注: デリバリが成功注: デリバリが成功注: デリバリが成功注: デリバリが成功しない限り、このしない限り、このしない限り、このしない限り、このシナリオでは、シナリオでは、シナリオでは、シナリオでは、

COMPTは、決してCOMPTは、決してCOMPTは、決してCOMPTは、決してONにならないONにならないONにならないONにならない

L_REQ OFFをセットL_REQ OFFをセットL_REQ OFFをセットL_REQ OFFをセット

アラーム: NoCarrierアラーム: NoCarrierアラーム: NoCarrierアラーム: NoCarrierAt LP1 ClearedAt LP1 ClearedAt LP1 ClearedAt LP1 Cleared

PIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションを完了完了完了完了

装置で継続装置で継続装置で継続装置で継続

AMHSで継続AMHSで継続AMHSで継続AMHSで継続

PIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションをPIOトランザクションを完了完了完了完了

キャリアをリリースキャリアをリリースキャリアをリリースキャリアをリリースBUSY OFFをセットBUSY OFFをセットBUSY OFFをセットBUSY OFFをセットCOMPT ONをセットCOMPT ONをセットCOMPT ONをセットCOMPT ONをセット

TR_REQ OFFをセットTR_REQ OFFをセットTR_REQ OFFをセットTR_REQ OFFをセット

PIOPIOPIOPIO


3b3b3b3b3a3a3a3a3c3c3c3c


3d3d3d3d

READYREADYREADYREADYOFFをセットOFFをセットOFFをセットOFFをセット

COMPT OFFをセットCOMPT OFFをセットCOMPT OFFをセットCOMPT OFFをセットVALID OFFをセットVALID OFFをセットVALID OFFをセットVALID OFFをセットCS_1 OFFをセットCS_1 OFFをセットCS_1 OFFをセットCS_1 OFFをセット

PIOPIOPIOPIO

PIOPIOPIOPIO

ステップ7ステップ7ステップ7ステップ7フェーズ1aフェーズ1aフェーズ1aフェーズ1aまたはまたはまたはまたは

ステップ5ステップ5ステップ5ステップ5フェーズ1bフェーズ1bフェーズ1bフェーズ1b

3e3e3e3e

オペレータは、オペレータは、オペレータは、オペレータは、- 手動でAMHSにキャ- 手動でAMHSにキャ- 手動でAMHSにキャ- 手動でAMHSにキャリアをリリースするリアをリリースするリアをリリースするリアをリリースすることを指示することを指示することを指示することを指示する

- OHVビークルをリ- OHVビークルをリ- OHVビークルをリ- OHVビークルをリセットするセットするセットするセットする

- LP1でキャリアを- LP1でキャリアを- LP1でキャリアを- LP1でキャリアをリセットするリセットするリセットするリセットする

ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータコメントコメントコメントコメント製造装置製造装置製造装置製造装置AMHSAMHSAMHSAMHS

図4 E84 障害 - 4/4

25


4.4 FIMS ポートでのスロットマップ障害

4.4.1 説明

スロットマップ障害は、スロットマップリーダーの故障、製造装置が読み込んだスロットマップが

ホストから提供されるスロットマップと一致しない、またはスロットマップコンテンツに問題があ

る（例えば、クロススロットウェーハ）など、幾つかの状態で発生することがある。さらに、固定

バッファ製造装置のロードポートでの障害は、典型的なバッチ装置である内部バッファ装置で、

バッチ内の他のキャリアをロードしている場合よりも回復が簡単である。

4.4.2 FIMS ポートスロットマップ障害のタイプ

1. スロットマップ読込み失敗（スロットマップリーダーのハードウェアの故障）— スロットマッ

プリーダーが応答せず、スロットマップコンテンツを読み込むことができない（データエラー）

2. スロットマップ不一致 — ホストと製造装置が異なるマップを持っている

3. ダブルスロット、クロススロット — キャリアコンテンツが不適切な状態で入っている

4.4.3 選択された障害

製造装置の構成は、回復オプションに非常に強い影響を与えるために、固定バッファ製造装置と内

部バッファ製造装置に対して別々のフローチャートが示されている。いずれも場合も、スロット

マップ障害の全てのタイプが示されている。

4.4.3.1 固定バッファ製造装置

4.4.3.1.1 基本機能要求

表5 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害に対する基本機能要求: 固定バッファ製造装置


またはStd

固定バッファ

単一ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

1a EFEM タイプ固定バッファ E101 √ ✕ √


5a FOUP クランピングデリバリ位置 Hw n.c. Hw n.c. √

6a FOUP アンドッキングキャリア処理完了時 E87 Op n.c. Op n.c. √

7a キャリアの移載自動（AMHS） E84 √ √ √

9a キャリアデリバリとピック

アップ（アクセスモード）自動 E87 √ √ √


14a ホスト照合 E87 Op n.c. Op n.c. √



25a スロットマップリード

タイミングロードポート Hw n.c. √

25b FIMS ポート √ √

26



4.4.3.1.2 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害に対するフローチャート:固定バッファ製造装置

スロットマップ読込みエラー

ID照合が成功FOUPドアが開く

AMHS 装置ホストオペレータ

Yes

状態をwaiting forhost状態に変更

Alarm (Slot map readFailure) を通知

CancelCarrierを装置へ

NO

状態を、carrier stopped、

slot map verificationfailに変更、

FOUPドアを閉じ、キャリアのアンロード

を準備

CancelCarrier

装置は、スロットマップが正しいことをチェック可能?

Yes,[装置照合]

ホストへのイベントSlot map waiting for Host (スロット

マップを含む) [ホスト照合］

スロットマップOK?

Yes

フェーズ1aのステップ14を参照

スロットマップOK?

YesNo

2a

2c

No

4c

サービス (Bind,ProceedWithCarrierまたはCarrierNotification)を通してスロットマップを受け取っていなければならない

7b

一定数の再試行が失敗したもの

と想定

図5 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 固定バッファ - 1/6

27


2a

状態をwaiting forhostに変更

イベント：スロットマップを含む

ドアーを閉じ、状態を、

verificationfailed、

キャリアはストップに変更、

キャリアのアンロードを準備

2c


CancelCarrierを装置へ送る?キャリアの次の場所を決定

キャリアを進める？

NO

ウェーハの位置が不適切?

キャリアをコントロールセンタ

へ送る

トランスポートジョブを作成

キャリアを最善 (使用可能な最も近くの)のソータへ送

る

NO

AMHS装置へコマンドを転送

このオプションは一般的には発生しないと考えられる

Yes

3a

4a

AMHS装置は、ウェーハ位置が

適切でないキャリアをピックアップ

4b

CancelCarrier

Yes

トランスポートジョブ (コントロールセンタへ)

キャリアをソータへ配送


28




3a

このキャリア

は、いずれかのコントロールジョブ / プロセスジョブに関連

けられているか?

スロットマップ照合問題から論理的に回復するために、この装置 / セルコントローラは、これ以上のアクションを必要

としない

No

コントロールジョブをキャンセル

ジョブをキャンセル

CJCancel

IDが読み込まれ、照合された後またはスロットマップが読み込まれ、照合された後、材料が到着する以前に、プロセスジョブとコントロールジョブがホストからのサービスによって作成されることがあるために、このデシジョンブロックが存在する

コントロールジョブは、キューされた状態か?

Yes

Yes

NO

コントロールジョブは、選択された状態か?

コントロールジョブを選択解除する

Yes

選択解除

CJDeselect

停止する方法が存在しない開始待ち状態のジョブをキャンセルする選択後は、ストップするかまたはアボートする必要がある

No

コントロールジョブを停止する

コントロールジョブを停止

CJStop

8a

応答コントロールジョブをキャンセルする

CJCancel


29


トランスポートジョブ作成

トランスポートジョブを作成し、転送コマンドをAMHS装置 (および必要に応じて、ストッカとインターベイシステム) へ送る

トランスポートジョブ (装置からソータへ) を作成

4b4c

キャリアをアンクランプ

Ready to unloadイベント

ビークルを装置ポートへ移動する

E84ハンドシェイクE84ハンドシェイク、LPTSM TransferBlockedに変更

Transfer Blockedイベント

キャリアをピックアップ、E84ハンド

シェイク完了

スロットマップ読込み失敗?

7a

Yes No

アンドック

状態をREADY TOLOADに変更

Ready to Loadイベント

キャリア削除完了キャリアをソータへ

移動

アンドックが正常に行われることを想定

不一致、ダブル、またはクロススロット

4a



30



これは、常にスロットマップリーダーを修理するための手動介入

を意味する

ロードポートOutOf Serviceを通知

(スロットマップリーダーの問題)

オペレータがスロットマップリーダーを物理的に修理し、

再試験する

ロードポートをINSERVICE、READYTO LOADに変更

7b7b7b7b

ロードポートをOutOf Serviceにする

ロードポートステータスを

Out Of Serviceに変更

ChangeServiceStatus

応答

ロードポートステータスをIN SERVICE、READY TO

LOADに変更

サービスステータスを変更

応答

エラー回復完了

7a7a7a7a

手動保守、スロットマップ読込み再試行



31


8a8a8a8a

プロセスジョブは、キュー /プール状態?

プロセスジョブをキャンセル

Yes

プロセスジョブをキャンセル

PRJobキャンセル

プロセスジョブを停止

No

プロセスジョブを停止

PRJob停止

スロットマップ照合問題から論理的に回復するために、この装置 / セルコントローラは、これ以上のアクションを必要

としない



32



4.4.3.2 内部バッファ製造装置

4.4.3.2.1 基本機能要求

表6 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害に対する基本機能要求: 内部バッファ


またはStd

固定バッファ

単一ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

1b EFEM タイプ内部バッファ E101 ✕ √ √



14a ホスト照合 E87 Op n.c. Op n.c. √



25b スロットマップ

リードタイミングFIMS ポート √ √

33


4.4.3.2.2 FIMS ポートにおけるスロトマップ障害に対するフローチャート – 内部バッファ製造装置

コメントコメントコメントコメント

スロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ読込み読込み読込み読込み

スロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ読込み成功?読込み成功?読込み成功?読込み成功?

スロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ照合OK?照合OK?照合OK?照合OK?

スロットマップは、スロットマップは、スロットマップは、スロットマップは、ホストにより登録さホストにより登録さホストにより登録さホストにより登録さ

れているか？れているか？れているか？れているか？

スロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ照合OK?照合OK?照合OK?照合OK?

2b2b2b2b

2a2a2a2a

2a2a2a2a

ウェーハ位置がウェーハ位置がウェーハ位置がウェーハ位置が不適切?不適切?不適切?不適切?

2a2a2a2a

NoNoNoNo

YesYesYesYes

イベント: Carrierイベント: Carrierイベント: Carrierイベント: CarrierSlot MapSlot MapSlot MapSlot Map

WaitingForHostWaitingForHostWaitingForHostWaitingForHost

NoNoNoNo

YesYesYesYes

NoNoNoNo

イベント:イベント:イベント:イベント:WaitingForHostWaitingForHostWaitingForHostWaitingForHost

NoNoNoNo

スロットマップを照スロットマップを照スロットマップを照スロットマップを照合のために合のために合のために合のためにホストへ送るホストへ送るホストへ送るホストへ送る

YesYesYesYes

2c2c2c2c

2c2c2c2c

YesYesYesYes

ProceedwithProceedwithProceedwithProceedwithCarrierCarrierCarrierCarrier

読み込まれた読み込まれた読み込まれた読み込まれたスロットマップをスロットマップをスロットマップをスロットマップをホストからのホストからのホストからのホストからのスロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ

と比較と比較と比較と比較

NoNoNoNo

YesYesYesYes

AMHSAMHSAMHSAMHS 装置装置装置装置ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータ

イベント:イベント:イベント:イベント:WaitingForHostWaitingForHostWaitingForHostWaitingForHost

初期状態：初期状態：初期状態：初期状態：キャリアアクセスステートキャリアアクセスステートキャリアアクセスステートキャリアアクセスステート＝ NOT Accessed＝ NOT Accessed＝ NOT Accessed＝ NOT Accessed

図11 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 内部バッファ - 1/2

34



NoNoNoNo

キャリアをキャリアをキャリアをキャリアを内部バッファへ内部バッファへ内部バッファへ内部バッファへ

移動？移動？移動？移動？

CancelCarrierCancelCarrierCancelCarrierCancelCarrierコマンド発行コマンド発行コマンド発行コマンド発行

CarrierOutCarrierOutCarrierOutCarrierOut コマンド発行コマンド発行コマンド発行コマンド発行

1ページの2a

移動のために移動のために移動のために移動のためにAMHSをAMHSをAMHSをAMHSを

セットアップセットアップセットアップセットアップ

アラーム: Slot Mapアラーム: Slot Mapアラーム: Slot Mapアラーム: Slot MapVerification FailedVerification FailedVerification FailedVerification Failed

イベント: イベント: イベント: イベント:Waiting For HostWaiting For HostWaiting For HostWaiting For Host

CancelCarrierCancelCarrierCancelCarrierCancelCarrier

キャリアをロードキャリアをロードキャリアをロードキャリアをロードポートへ移動ポートへ移動ポートへ移動ポートへ移動

CarrierOutCarrierOutCarrierOutCarrierOut

キャリアを内部キャリアを内部キャリアを内部キャリアを内部バッファストレッジバッファストレッジバッファストレッジバッファストレッジ

へ移動へ移動へ移動へ移動

1ページの2b

1ページ1ページ1ページ1ページの2cの2cの2cの2c

キャリア、アクセスキャリア、アクセスキャリア、アクセスキャリア、アクセス可能可能可能可能

スロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ障害通知障害通知障害通知障害通知

スロットマップOK -スロットマップOK -スロットマップOK -スロットマップOK -継続、キャリア継続、キャリア継続、キャリア継続、キャリア

アクセスステータスアクセスステータスアクセスステータスアクセスステータス＝In Access＝In Access＝In Access＝In Access

コメントコメントコメントコメントAMHSAMHSAMHSAMHS 装置装置装置装置ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータ

図12 FIMS ポートにおけるスロットマップ障害 - 内部バッファ - 2/2

35


4.5 キャリア ID リード障害

4.5.1 説明

キャリア ID 障害は、製造装置がキャリアの ID タグを読み込もうとして、読み込むことができない

ときに発生する。

4.5.2 障害のタイプ

1. リードエラー

a. キャリア ID リーダー故障、またはキャリアが必要なリードゾーンに置かれていない

などの物理的問題

b. タグのデータ不良。タグを適切に読み込むことができない

c. タグにデータがないかまたは欠落している

2. データエラー

a. 読み込まれたキャリア ID が、予想するキャリア ID と異なる


提供されているフローチャートは、製造装置に基づくものとホストに基づくものの両方のキャリア

ID 照合方法を示している。

このフローチャートでは、キャリア ID 読込みエラーが発生したとき、ホストは、キャリアが確認可

能かどうかおよび継続するのが安全であるかどうかを決定しなければならない。ほとんどの場合、

ID を手動で確認するか、キャリア ID リーダーを置き換えるかまたはキャリアを保守のために戻す

必要がある。

4.5.3.1 基本機能要求

表7 キャリア ID 読込み障害に対する基本機能要求


またはStd

固定バッファ

単一ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ


11a ホスト照合 E87 √ √ √

11bキャリア ID 照合


36



4.5.3.2 キャリア ID 読込み障害に対するフローチャート

装置装置装置装置ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータコメントコメントコメントコメントAMHSAMHSAMHSAMHS

転送完了転送完了転送完了転送完了

ID読込みID読込みID読込みID読込み成功?成功?成功?成功?

ロードポートロードポートロードポートロードポートは、関連付けらは、関連付けらは、関連付けらは、関連付けら

れている?れている?れている?れている?

ProceedProceedProceedProceedWithCarrier?WithCarrier?WithCarrier?WithCarrier?

4a4a4a4a


キャリア状態:キャリア状態:キャリア状態:キャリア状態:AssociatedをAssociatedをAssociatedをAssociatedをインスタンス化インスタンス化インスタンス化インスタンス化

終了 (キャリアID終了 (キャリアID終了 (キャリアID終了 (キャリアID照合OK)照合OK)照合OK)照合OK)

2a2a2a2a

NoNoNoNo

NoNoNoNo

NoNoNoNo

YesYesYesYes

YesYesYesYes

YesYesYesYes

NoNoNoNo

YesYesYesYes

キャリアのキャリアのキャリアのキャリアのアンロードを準備アンロードを準備アンロードを準備アンロードを準備

関連付けられたオブジェクトでのID読込み

失敗イベント: Carrier IDイベント: Carrier IDイベント: Carrier IDイベント: Carrier IDWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOST


イベント: Carrier IDイベント: Carrier IDイベント: Carrier IDイベント: Carrier IDWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOST

イベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDRead FailRead FailRead FailRead Fail

CarrierAtPortをCarrierAtPortをCarrierAtPortをCarrierAtPortをキャンセルキャンセルキャンセルキャンセル

終了 (キャリアID終了 (キャリアID終了 (キャリアID終了 (キャリアID照合OK)照合OK)照合OK)照合OK)

ProceedWithCarrierProceedWithCarrierProceedWithCarrierProceedWithCarrier



イベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDVerficationFailVerficationFailVerficationFailVerficationFail

図13 キャリア ID 障害 - 1/4

37


コメントコメントコメントコメントオペレータオペレータオペレータオペレータホストホストホストホスト装置装置装置装置AMHSAMHSAMHSAMHS

オブジェクトはオブジェクトはオブジェクトはオブジェクトはすでに作成済み?すでに作成済み?すでに作成済み?すでに作成済み?

3a3a3a3a

2a2a2a2a

ポートは他のポートは他のポートは他のポートは他のキャリアと関連付けキャリアと関連付けキャリアと関連付けキャリアと関連付け

られている?られている?られている?られている?

NoNoNoNo

YesYesYesYes

このロードポートとこのロードポートとこのロードポートとこのロードポートと関連付けられている関連付けられている関連付けられている関連付けられている他のキャリアを削除他のキャリアを削除他のキャリアを削除他のキャリアを削除

YesYesYesYes

新規キャリアオブ新規キャリアオブ新規キャリアオブ新規キャリアオブジェクトを作成ジェクトを作成ジェクトを作成ジェクトを作成

NoNoNoNo

新規キャリアを実際新規キャリアを実際新規キャリアを実際新規キャリアを実際のロードポートにのロードポートにのロードポートにのロードポートに

関連付ける関連付ける関連付ける関連付ける



NoNoNoNo

終了 (キャリア終了 (キャリア終了 (キャリア終了 (キャリアID照合OK)ID照合OK)ID照合OK)ID照合OK)

YesYesYesYes

4a4a4a4a



イベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDVerificationFailVerificationFailVerificationFailVerificationFail

イベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOST


38



AMHSAMHSAMHSAMHS コメントコメントコメントコメントオペレータオペレータオペレータオペレータホストホストホストホスト装置装置装置装置

3a3a3a3a

キャリアは他のキャリアは他のキャリアは他のキャリアは他のロードポートと関連付ロードポートと関連付ロードポートと関連付ロードポートと関連付

けられている?けられている?けられている?けられている?

この関連付けこの関連付けこの関連付けこの関連付けをキャンセルをキャンセルをキャンセルをキャンセル

NoNoNoNo

YesYesYesYes

ロードポートはロードポートはロードポートはロードポートは他のキャリアと関連付他のキャリアと関連付他のキャリアと関連付他のキャリアと関連付

けられている?けられている?けられている?けられている?

関連付けられている関連付けられている関連付けられている関連付けられているオブジェクトを削除オブジェクトを削除オブジェクトを削除オブジェクトを削除

YesYesYesYes

NoNoNoNo


YesYesYesYes

NoNoNoNo

4a4a4a4a

終了 (キャリア終了 (キャリア終了 (キャリア終了 (キャリアID照合OK)ID照合OK)ID照合OK)ID照合OK)

イベント:イベント:イベント:イベント:WAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOSTWAITING FOR HOST


実際のキャリア状態:実際のキャリア状態:実際のキャリア状態:実際のキャリア状態:AssociatedをAssociatedをAssociatedをAssociatedをインスタンス化インスタンス化インスタンス化インスタンス化



イベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDイベント: CarrierIDVerificationFailVerificationFailVerificationFailVerificationFail


39


コメントコメントコメントコメントオペレータオペレータオペレータオペレータホストホストホストホスト装置装置装置装置AMHSAMHSAMHSAMHS

4a4a4a4a

キャリアは、キャリアは、キャリアは、キャリアは、いずれかのCJ/いずれかのCJ/いずれかのCJ/いずれかのCJ/

PJに関連付けられPJに関連付けられPJに関連付けられPJに関連付けられている?ている?ている?ている?

キャリアをキャリアをキャリアをキャリアをアンロードアンロードアンロードアンロード

キャリアは、キャリアは、キャリアは、キャリアは、AMHSによりAMHSによりAMHSによりAMHSによりアンロード?アンロード?アンロード?アンロード?

NoNoNoNo

YesYesYesYes

NoNoNoNo

YesYesYesYes

アクセスアクセスアクセスアクセスモードを、ホストモードを、ホストモードを、ホストモードを、ホスト

が変更?が変更?が変更?が変更?

アクセスモードがアクセスモードがアクセスモードがアクセスモードが手動へ変化手動へ変化手動へ変化手動へ変化

アクセスモードがアクセスモードがアクセスモードがアクセスモードが手動へ変化手動へ変化手動へ変化手動へ変化

キャリアをキャリアをキャリアをキャリアをオペレータが削除オペレータが削除オペレータが削除オペレータが削除

終了 (キャリアID終了 (キャリアID終了 (キャリアID終了 (キャリアID照合NG)照合NG)照合NG)照合NG)

アクセスモードがアクセスモードがアクセスモードがアクセスモードが自動へ変化自動へ変化自動へ変化自動へ変化

NoNoNoNo

YesYesYesYes

ホストは、アンロードホストは、アンロードホストは、アンロードホストは、アンロードキャリアをAMHSキャリアをAMHSキャリアをAMHSキャリアをAMHSコントローラへ送るコントローラへ送るコントローラへ送るコントローラへ送る

割り当てられた割り当てられた割り当てられた割り当てられたAMHSビークルがAMHSビークルがAMHSビークルがAMHSビークルがキャリアを削除キャリアを削除キャリアを削除キャリアを削除

終了(キャリアID終了(キャリアID終了(キャリアID終了(キャリアID照合OK)照合OK)照合OK)照合OK)

コントロールジョブをコントロールジョブをコントロールジョブをコントロールジョブを


イベント:イベント:イベント:イベント:Ready To UnloadReady To UnloadReady To UnloadReady To Unload

このキャリアのPJをこのキャリアのPJをこのキャリアのPJをこのキャリアのPJを削除しなければならない削除しなければならない削除しなければならない削除しなければならない


40



4.6 ジョブ作成障害

4.6.1 説明

ジョブ作成障害は、ホストがコントロールジョブまたはプロセスジョブを作成できないときに発生

する。


1. プロセスジョブのスペースが不足している

2. コントロールジョブのスペースが不足している

3. プロセスジョブのフォーマットが正しくない

4. コントロールジョブのフォーマットが正しくない

5. コントロールジョブに指定されているプロセスジョブが存在しない


ジョブ作成障害の全ての異なるタイプをフローチャートに示す。

4.6.3.1.1 基本機能要求

表8 ジョブ作成障害に対する基本機能要求


またはStd

固定バッファ

単一ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

表記なし表記なし

41


4.6.3.1.2 ジョブ作成障害に対するフローチャート


ホストは、他のホストは、他のホストは、他のホストは、他のジョブが完了すジョブが完了すジョブが完了すジョブが完了するかまたは既存るかまたは既存るかまたは既存るかまたは既存のジョブをキャンのジョブをキャンのジョブをキャンのジョブをキャンセルするのをセルするのをセルするのをセルするのを

待つ待つ待つ待つ

十分なPJ十分なPJ十分なPJ十分なPJスペースがスペースがスペースがスペースが

存在?存在?存在?存在?

ホストは、プロセホストは、プロセホストは、プロセホストは、プロセスジョブキューススジョブキューススジョブキューススジョブキュースペースを要求ペースを要求ペースを要求ペースを要求

ホストは、ホストは、ホストは、ホストは、PRJOB MultiPRJOB MultiPRJOB MultiPRJOB Multi

CreateコマンドをCreateコマンドをCreateコマンドをCreateコマンドを発行発行発行発行

フォーマットフォーマットフォーマットフォーマット作成受け入作成受け入作成受け入作成受け入れ可能?れ可能?れ可能?れ可能?

ホストは、ホストは、ホストは、ホストは、フォーマットをフォーマットをフォーマットをフォーマットを修正し、再試行修正し、再試行修正し、再試行修正し、再試行

ホストは、他のホストは、他のホストは、他のホストは、他のジョブが完了すジョブが完了すジョブが完了すジョブが完了するかまたは既存るかまたは既存るかまたは既存るかまたは既存のジョブをキャンのジョブをキャンのジョブをキャンのジョブをキャンセルするのをセルするのをセルするのをセルするのを

待つ待つ待つ待つ

十分な十分な十分な十分なCJスペースCJスペースCJスペースCJスペースが存在?が存在?が存在?が存在?

ホストは、コントホストは、コントホストは、コントホストは、コントロールジョブロールジョブロールジョブロールジョブ

キュースペースキュースペースキュースペースキュースペースを要求を要求を要求を要求

2a2a2a2a

装置は、使用可装置は、使用可装置は、使用可装置は、使用可能なPJキュース能なPJキュース能なPJキュース能なPJキュースペースを応答ペースを応答ペースを応答ペースを応答

装置は、使用装置は、使用装置は、使用装置は、使用可能な可能な可能な可能な

CJキュースCJキュースCJキュースCJキュースペースを応答ペースを応答ペースを応答ペースを応答

使用可能スペース

コメント

PRMultiCreatePRMultiCreatePRMultiCreatePRMultiCreate

PRGetSpacePRGetSpacePRGetSpacePRGetSpace

使用可能スペース使用可能スペース使用可能スペース使用可能スペース

YesYesYesYes

NoNoNoNo

YesYesYesYes

NoNoNoNo

YesYesYesYes

NoNoNoNo

使用可能スペース

図17 ジョブ作成障害 - 1/2

42




2a2a2a2a

ホストは、CJホストは、CJホストは、CJホストは、CJCreateコマンドをCreateコマンドをCreateコマンドをCreateコマンドを

発行発行発行発行フォーマットフォーマットフォーマットフォーマット作成受け入作成受け入作成受け入作成受け入れ可能?れ可能?れ可能?れ可能?

ホストは、ホストは、ホストは、ホストは、フォーマットをフォーマットをフォーマットをフォーマットを修正し、再試行修正し、再試行修正し、再試行修正し、再試行

コメント

CJの作成CJの作成CJの作成CJの作成

NoNoNoNo

図18 ジョブ作成障害 - 2/2

4.7 ドッキング/クランピング障害

4.7.1 説明

クランピングは、偶発的な衝突または不適切な削除を避けるために、ロードポートのデリバリ位置

でキャリアをロックする。必ずしも全ての製造装置がデリバリ位置でクランプする機能を備えてい

る訳ではない。固定バッファ製造装置は、FIMS ポートにキャリアをドックすることができ、内部

バッファ製造装置は、キャリアを内部バッファへ移動できる間は、クランプ障害は、優先度の高い

タイプの障害ではない。工場は、次の予定されている予防保守期間までそのロードポートでの運用

を続けることを選択することができる。

他方、アンクランプ障害は、キャリアを取り除くことができないこと、従って、製造装置またはホ

ストのいずれかが自動的にロードポイントを使用不能（OUT OF SERVICE）にしなければならない

ことを意味する。

クランプ障害は、優先度の高いタイプの障害ではない。クランプ障害の間、固定バッファ製造装置

では、FIMS ポートにキャリアをドックしたままにしておくことができ、内部バッファ製造装置では、

内部バッファに移動させたままにしておくことができる。

43



1. デリバリ時のクランプ障害

2. 内部バッファ製造装置での CarrierOut 後のクランプ障害

3. 固定バッファ製造装置でのアンドッキング後のアンクランプ障害

4. AMHS トリガーアンロックでのアンクランプ障害

6. 固定バッファ製造装置での CarrierID 照合後のドック障害

7. 内部バッファ製造装置での SlotMapID 照合前のドック障害

8. 固定バッファ製造装置での CarrierComplete および FOUP ドアーが閉じた後のアンドック障害

9. 内部バッファ製造装置での CarrierComplete および FOUP ドアーが閉じた後のアンドック障害


配送時に発生するクランプおよびアンクランプ障害は、固定バッファ製造装置と内部バッファ製造

装置の両方で同様に取り扱われる。ただし、ドッキングとアンドッキング障害からの復旧は、FIMSポートが製造装置のどこに位置しているかといった、製造装置の設計に大きな影響を受ける。また、

クランピングとドッキング障害は、実行の最初の時点で発生するが、一方、アンドッキングとアン

クランピング障害は、実行の最後に発生する。

2 つのフローチャートを示す。1 つは、クランピングとドッキング障害を示し、他の 1 つは、アン

ドッキングとアンクランピング障害を示している。これらは固定バッファ製造装置と内部バッファ

製造装置の両方の場合を示している。

4.7.3.1 基本機能要求

表9 アンドッキング障害に対する基本機能要求


またはStd

固定バッファ

単一ウェーハ

内部

バッファ

複数

ウェーハ

基本

シナリオ

1a 固定バッファ E101 √ ✕ √

1bEFEM タイプ

内部バッファ E101 ✕ √ √


5a デリバリ位置 Hw n.c. Hw n.c. √

5bFOUP クランピング

ドック位置 Hw n.c. Hw n.c. √

6a キャリア処理完了時 E87 Op n.c. Op n.c. √

6bFOUP アンドッキング

AMHS トリガー 3115c Op n.c. Op n.c. √

7a キャリア移載自動（AMHS） E84 √ √ √

9a キャリアデリバリとピック

アップ（アクセスモード）自動 E87 √ √ √

44



4.7.3.2 クランプ / ドック障害に対するフローチャート

装置装置装置装置オペレータオペレータオペレータオペレータホストホストホストホストコメントコメントコメントコメント

LP1 = キャリアXとLP1 = キャリアXとLP1 = キャリアXとLP1 = キャリアXと関連付けられている関連付けられている関連付けられている関連付けられている

LP1 = 予約LP1 = 予約LP1 = 予約LP1 = 予約アクセスモード = 自動アクセスモード = 自動アクセスモード = 自動アクセスモード = 自動

キャリアは、LP1でキャリアは、LP1でキャリアは、LP1でキャリアは、LP1で受け取られる受け取られる受け取られる受け取られる

LP1 -> 予約されずLP1 -> 予約されずLP1 -> 予約されずLP1 -> 予約されず

装置は、クランプの装置は、クランプの装置は、クランプの装置は、クランプの失敗を報告失敗を報告失敗を報告失敗を報告

ホストに通知ホストに通知ホストに通知ホストに通知

1a1a1a1a

LP1は、キャリアLP1は、キャリアLP1は、キャリアLP1は、キャリアXを受け入れ、Xを受け入れ、Xを受け入れ、Xを受け入れ、

PIOトランザクショPIOトランザクショPIOトランザクショPIOトランザクションは正常に完了ンは正常に完了ンは正常に完了ンは正常に完了

No

キャリアはキャリアはキャリアはキャリアはクランプされクランプされクランプされクランプされている?ている?ている?ている?

ID 読み込みID 読み込みID 読み込みID 読み込み

キャリアのキャリアのキャリアのキャリアのクランプを試みるクランプを試みるクランプを試みるクランプを試みる

クランプは、PIOトランザククランプは、PIOトランザククランプは、PIOトランザククランプは、PIOトランザクションが完了後、直ちに行ションが完了後、直ちに行ションが完了後、直ちに行ションが完了後、直ちに行われなければならないわれなければならないわれなければならないわれなければならない

キャリアIDは、非同期にキャリアIDは、非同期にキャリアIDは、非同期にキャリアIDは、非同期に読み込まれることがある。読み込まれることがある。読み込まれることがある。読み込まれることがある。

IDは、エラーなしにIDは、エラーなしにIDは、エラーなしにIDは、エラーなしに読み込まれたものと想定読み込まれたものと想定読み込まれたものと想定読み込まれたものと想定

ホストは、これまでにLP1とホストは、これまでにLP1とホストは、これまでにLP1とホストは、これまでにLP1とキャリアXにバインド要求をキャリアXにバインド要求をキャリアXにバインド要求をキャリアXにバインド要求を

送出送出送出送出

イベント: Materialイベント: Materialイベント: Materialイベント: MaterialReceivedReceivedReceivedReceived

イベント: LP1イベント: LP1イベント: LP1イベント: LP1Not ReservedNot ReservedNot ReservedNot Reserved

アラーム: Clampアラーム: Clampアラーム: Clampアラーム: ClampFailure LP1Failure LP1Failure LP1Failure LP1

イベント: Clampイベント: Clampイベント: Clampイベント: ClampFailure LP1Failure LP1Failure LP1Failure LP1

AMHSビークルがAMHSビークルがAMHSビークルがAMHSビークルがキャリアXと共にキャリアXと共にキャリアXと共にキャリアXと共に

到着到着到着到着

AMHSビークルAMHSビークルAMHSビークルAMHSビークルが離れるが離れるが離れるが離れる

AMHSAMHSAMHSAMHS

PIOPIOPIOPIO

1b1b1b1b

図19 クランプ / ドック障害 - 1/3

45


AMHSAMHSAMHSAMHS 装置装置装置装置ホストホストホストホストオペレータオペレータオペレータオペレータコメントコメントコメントコメント

1a1a1a1a

オペレータオペレータオペレータオペレータの応答?の応答?の応答?の応答?

キャンセルキャンセルキャンセルキャンセルまたは継続または継続または継続または継続

No

キャリアをキャリアをキャリアをキャリアをFIMSポートにFIMSポートにFIMSポートにFIMSポートに

ドックドックドックドック

アラームはアラームはアラームはアラームはクリア?クリア?クリア?クリア?

オペレータのオペレータのオペレータのオペレータの介入: キャンセル介入: キャンセル介入: キャンセル介入: キャンセルまたは継続?または継続?または継続?または継続?

キャリアキャリアキャリアキャリアは、ドックは、ドックは、ドックは、ドック

2a2a2a2a

NoNoNoNo

YesYesYesYes

保守担当者を保守担当者を保守担当者を保守担当者を呼ぶ呼ぶ呼ぶ呼ぶ

NoNoNoNo

固定バッファ固定バッファ固定バッファ固定バッファ装置に対する装置に対する装置に対する装置に対する

正常な正常な正常な正常なラウンドトリップラウンドトリップラウンドトリップラウンドトリップシナリオのシナリオのシナリオのシナリオのステップ11ステップ11ステップ11ステップ11へ進むへ進むへ進むへ進む

YesYesYesYes

継続継続継続継続2a2a2a2a

LP1のキャリアXをLP1のキャリアXをLP1のキャリアXをLP1のキャリアXをキャンセルしないキャンセルしないキャンセルしないキャンセルしない

ドッキングが失敗したドッキングが失敗したドッキングが失敗したドッキングが失敗した場合、場合、場合、場合、

シールは行われない。シールは行われない。シールは行われない。シールは行われない。ドアーを開くことはドアーを開くことはドアーを開くことはドアーを開くことは

できない。できない。できない。できない。

YesYesYesYes


キャリアは、ドックキャリアは、ドックキャリアは、ドックキャリアは、ドックされ、され、され、され、

オペレーションをオペレーションをオペレーションをオペレーションを継続継続継続継続

アラーム: Dockアラーム: Dockアラーム: Dockアラーム: DockFailure LP1Failure LP1Failure LP1Failure LP1

イベント: Dockイベント: Dockイベント: Dockイベント: DockFailure LP1Failure LP1Failure LP1Failure LP1



キャリアをキャリアをキャリアをキャリアをキャンセル?キャンセル?キャンセル?キャンセル?

YesYesYesYes

内部バッファは、キャリア内部バッファは、キャリア内部バッファは、キャリア内部バッファは、キャリアを内部FIMSポートへ移動を内部FIMSポートへ移動を内部FIMSポートへ移動を内部FIMSポートへ移動

しなければならないしなければならないしなければならないしなければならない

NoNoNoNo

オペレータは、障害後、オペレータは、障害後、オペレータは、障害後、オペレータは、障害後、装置に指示できなければ装置に指示できなければ装置に指示できなければ装置に指示できなければ

ならないならないならないならない


XORXORXORXOR

クランピングクランピングクランピングクランピング

ドッキングドッキングドッキングドッキング

1b1b1b1b


46



LP1をOUT OFLP1をOUT OFLP1をOUT OFLP1をOUT OFSERVICESERVICESERVICESERVICE にするにするにするにする

2a2a2a2a

LP1をOut OfLP1をOut OfLP1をOut OfLP1をOut OfServiceにするServiceにするServiceにするServiceにする

キャリアが取り除キャリアが取り除キャリアが取り除キャリアが取り除かれるのを待つかれるのを待つかれるのを待つかれるのを待つ

キャリアをデリキャリアをデリキャリアをデリキャリアをデリバリ位置へ戻すバリ位置へ戻すバリ位置へ戻すバリ位置へ戻すことを試みることを試みることを試みることを試みる

ポートのアクション: LP1ポートのアクション: LP1ポートのアクション: LP1ポートのアクション: LP1Out Of ServiceOut Of ServiceOut Of ServiceOut Of Service

イベント: LP1 OUTイベント: LP1 OUTイベント: LP1 OUTイベント: LP1 OUTOF SERVICEOF SERVICEOF SERVICEOF SERVICE

LP1は、Out OFLP1は、Out OFLP1は、Out OFLP1は、Out OFService中、通常のService中、通常のService中、通常のService中、通常の材料プロセスに材料プロセスに材料プロセスに材料プロセスに使用されない使用されない使用されない使用されない


このキャリアに対すこのキャリアに対すこのキャリアに対すこのキャリアに対するすべてのジョブをるすべてのジョブをるすべてのジョブをるすべてのジョブを削除しなければ削除しなければ削除しなければ削除しなければ

ならないならないならないならない

戻りOK?戻りOK?戻りOK?戻りOK?

NoNoNoNo

ドックアラームドックアラームドックアラームドックアラーム

装置装置装置装置AMHSAMHSAMHSAMHS

YesYesYesYes

イベント: LP1 Readyイベント: LP1 Readyイベント: LP1 Readyイベント: LP1 ReadyTo UnloadTo UnloadTo UnloadTo Unload


47


4.7.3.3 アンドック / アンクランプ障害に対するフローチャート


キャリアXは、キャリアXは、キャリアXは、キャリアXは、FIMSポートFIMSポートFIMSポートFIMSポートキャリア完了キャリア完了キャリア完了キャリア完了

FOUPドアーがFOUPドアーがFOUPドアーがFOUPドアーが閉じる閉じる閉じる閉じる

装置は、アンドックの装置は、アンドックの装置は、アンドックの装置は、アンドックの失敗を報告失敗を報告失敗を報告失敗を報告


1a1a1a1a

キャリアのキャリアのキャリアのキャリアのアンドックをアンドックをアンドックをアンドックを

試みる試みる試みる試みる

キャリア、キャリア、キャリア、キャリア、アンドック?アンドック?アンドック?アンドック?

4b4b4b4b

固定バッファ?固定バッファ?固定バッファ?固定バッファ?

YesYesYesYes

NoNoNoNoアラーム:アラーム:アラーム:アラーム:

Undock FailureUndock FailureUndock FailureUndock Failure

イベント: Undock Failureイベント: Undock Failureイベント: Undock Failureイベント: Undock Failure

イベント: Carrier Xイベント: Carrier Xイベント: Carrier Xイベント: Carrier XCompleteCompleteCompleteComplete

イベント: FOUP Closedイベント: FOUP Closedイベント: FOUP Closedイベント: FOUP Closed

YesYesYesYes

NoNoNoNo

ホストは、ホストは、ホストは、ホストは、保守のタイミングを決定保守のタイミングを決定保守のタイミングを決定保守のタイミングを決定他のキャリアを2番目の他のキャリアを2番目の他のキャリアを2番目の他のキャリアを2番目の

FIMSポートにFIMSポートにFIMSポートにFIMSポートにアンロードすることが可能アンロードすることが可能アンロードすることが可能アンロードすることが可能

4c4c4c4c

図22 アンドック / アンクランプ障害 - 1/5

48




1a1a1a1a

キャリアをキャリアをキャリアをキャリアをデリバリ位置デリバリ位置デリバリ位置デリバリ位置

へ移動へ移動へ移動へ移動

AMHSAMHSAMHSAMHSトリガー、トリガー、トリガー、トリガー、アンロック?アンロック?アンロック?アンロック?

AMHSAMHSAMHSAMHSVALID ONVALID ONVALID ONVALID ON

????

2a2a2a2a

YesYesYesYes

YesYesYesYes

キャリアは、アンクラキャリアは、アンクラキャリアは、アンクラキャリアは、アンクランプされるまで取りンプされるまで取りンプされるまで取りンプされるまで取り除くことはできない除くことはできない除くことはできない除くことはできない

AMHS 到着AMHS 到着AMHS 到着AMHS 到着CS_0 ONCS_0 ONCS_0 ONCS_0 ONCS_1 OFFCS_1 OFFCS_1 OFFCS_1 OFFVALID ONVALID ONVALID ONVALID ON

PIOPIOPIOPIO

NoNoNoNo

3a3a3a3a

U_REQ OnU_REQ OnU_REQ OnU_REQ OnPIOPIOPIOPIO

PIOPIOPIOPIOTR_REQ ONTR_REQ ONTR_REQ ONTR_REQ ON

NoNoNoNo

イベント: LP1 Ready To Unloadイベント: LP1 Ready To Unloadイベント: LP1 Ready To Unloadイベント: LP1 Ready To Unload


49


2a2a2a2a


キャリアのアンクキャリアのアンクキャリアのアンクキャリアのアンクランプを試みるランプを試みるランプを試みるランプを試みる

キャリア、キャリア、キャリア、キャリア、アンクランプ?アンクランプ?アンクランプ?アンクランプ?

YesYesYesYes

READY ONREADY ONREADY ONREADY ONPIOPIOPIOPIO

NoNoNoNo

BUSY ONBUSY ONBUSY ONBUSY ONPIOPIOPIOPIO

キャリアはこれ以上キャリアはこれ以上キャリアはこれ以上キャリアはこれ以上検出されない検出されない検出されない検出されないU_REQ OFFU_REQ OFFU_REQ OFFU_REQ OFF

PIOPIOPIOPIO

キャリアは、READYキャリアは、READYキャリアは、READYキャリアは、READYONになる前に、アンONになる前に、アンONになる前に、アンONになる前に、アンドック、アンクランプドック、アンクランプドック、アンクランプドック、アンクランプ

されなければならないされなければならないされなければならないされなければならない

4a4a4a4a

BUSY OFFBUSY OFFBUSY OFFBUSY OFFCOMPT ONCOMPT ONCOMPT ONCOMPT ONTR_REQ OFFTR_REQ OFFTR_REQ OFFTR_REQ OFF

PIOPIOPIOPIO

READY OFFREADY OFFREADY OFFREADY OFFPIOPIOPIOPIO

VALID OFFVALID OFFVALID OFFVALID OFFCOMPT OFFCOMPT OFFCOMPT OFFCOMPT OFF

PIOPIOPIOPIO

フェーズ1aフェーズ1aフェーズ1aフェーズ1aステップ63ステップ63ステップ63ステップ63

イベント: LP1イベント: LP1イベント: LP1イベント: LP1Transfer BlockedTransfer BlockedTransfer BlockedTransfer Blocked


50



3a3a3a3a


キャリアのアンキャリアのアンキャリアのアンキャリアのアンクランプを試みるクランプを試みるクランプを試みるクランプを試みる

キャリア、キャリア、キャリア、キャリア、アンクランプ?アンクランプ?アンクランプ?アンクランプ?

YesYesYesYes

NoNoNoNo

イベント: LP1 Ready To Unloadイベント: LP1 Ready To Unloadイベント: LP1 Ready To Unloadイベント: LP1 Ready To Unload

フェーズ1aフェーズ1aフェーズ1aフェーズ1aステップ59ステップ59ステップ59ステップ59

固定バッファ?固定バッファ?固定バッファ?固定バッファ?YesYesYesYes

NoNoNoNo

フェーズ1bフェーズ1bフェーズ1bフェーズ1bステップ107ステップ107ステップ107ステップ107

HO_AVBL OFFHO_AVBL OFFHO_AVBL OFFHO_AVBL OFFをセットをセットをセットをセット

4a4a4a4a


51


LP1をOut OfLP1をOut OfLP1をOut OfLP1をOut OfService にするService にするService にするService にする

保守を待つ保守を待つ保守を待つ保守を待つ


4a4a4a4a

ロードポイント1は、ロードポイント1は、ロードポイント1は、ロードポイント1は、Out Of ServiceにOut Of ServiceにOut Of ServiceにOut Of Serviceに

されるされるされるされる

LP1をOut OfLP1をOut OfLP1をOut OfLP1をOut OfService にするService にするService にするService にする


アラーム: Clampアラーム: Clampアラーム: Clampアラーム: ClampFailure LP1Failure LP1Failure LP1Failure LP1

イベント: Clampイベント: Clampイベント: Clampイベント: ClampFailure LP1Failure LP1Failure LP1Failure LP1

4b4b4b4b

LP1は、これ以上、自動LP1は、これ以上、自動LP1は、これ以上、自動LP1は、これ以上、自動デリバリまたはホストデリバリまたはホストデリバリまたはホストデリバリまたはホストジョブに使用できないジョブに使用できないジョブに使用できないジョブに使用できない

LP1 OutLP1 OutLP1 OutLP1 OutOf ServiceOf ServiceOf ServiceOf Service

イベント: LP1 OUTイベント: LP1 OUTイベント: LP1 OUTイベント: LP1 OUTOF SERVICEOF SERVICEOF SERVICEOF SERVICE

4c4c4c4c


5 用語解説

Carrier ID tag (tag, ID tag) — a physical device for storing Carrier ID and other information. There are twobasic types of tags, read-only tags and read/write tags. [SEMI E99-1000]

キャリア ID タグ（タグ、ID タグ）— キャリア ID とその他の情報を格納するための物理デバイス。

基本的に、読込み専用タグと読込み書込み可能タグの 2 種類のタグが存在する。[SEMI E99-1000]

Tag fault — any condition that causes errors when reading or writing to the tag, including power faults andtag damage.

タグ障害 — タグを読み込むまたは書き込むときのエラーの原因となる条件、例えば、停電、タグの

損傷など。

52



6 連絡先

本文書に関して更に詳しい情報が必要であれば、下記に連絡のこと。

半導体先端テクノロジーズ生産技術研究部

住所: 株式会社半導体先端テクノロジーズ

〒244-0817 神奈川県横浜市戸塚区吉田町 292株式会社日立製作所生産技術研究所内

電話: +81-45-866-6800

ファックス: +81-45-866-6880

氏名会社電話 E メール

増井知幸 Selete 81-45-866-6772 [email protected]

河野聡 Selete 81-45-866-6975 [email protected]

ISMT Tool Operational Scenario Study Group

住所: International SEMATECH2706 Montopolis DriveAustin, Texas 78741

電話: (512) 356-3232

ファックス: (512) 356-7080

氏名会社電話 E メール

Dave Bloss Intel (480) 554-1099 [email protected]

Blaine Crandell TI (972) 927-5844 [email protected]

Gino Crispieri ISMT (512) 356 7547 [email protected]

Peter Cross Intel (480) 554-8861 [email protected]

Karl Gartland IBM (802) 769-2529 [email protected]

James Y. C. Lu TSMC 886-3-5785112-2712 [email protected]

Margaret Pratt ISMT (512) 356- 3107 [email protected]

International SEMATECH Technology Transfer2706 Montopolis Drive

Austin, TX 78741

http://www.sematech.orge-mail: [email protected]

300 mm equipment base software functionality ...¼ˆ旧)/ライン...iii ｴﾗｰ!...

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