15 kV 

SEM‐EDS

 e‐

beam

1 μ

0.5 μ

15 kV

electron

s travel 

~1 μ 

into 

sample

5kV

electron

s travel 

~0.5 μ

into 

sample

EDS  X‐rays

EDS  X‐rays

10 kV 

Auger

e‐be

am

5 kV

 SEM‐EDS

 e‐

beam

Vacuum

Sample

XPS 

electron

s

20 μ wide XP

S  X‐ray Beam

surface

near‐surface

bulk

Auger 

electron

s

Alum

inum

 X‐rays (1

.5 kV) 

travel 

~3 μ 

into sam

ple

1‐6 nm

1‐12

 nm

1 μ

1,000 nm

0.1 μ   100

 nm

0.01

 μ   10

 nm

4 μ

4,000 nm

EDS 

X‐rays

B. Vincent Crist ©

 2012

Insulator S

urvey*

Atom

%Ch

emical States

Insulators

Info Dep

th (Z)

Smallest XY Size

Dam

age du

ring an

alysis

Auger

10‐18 min

+/‐20%

some

possible, takes time

1‐6 nm

20 nm  (0.02

 um)

Possible (1

0 kV

 electrons)

EDS (SEM

)11

‐17 min

+/‐10%

none

possible  (20

 nm Au)

>500

 nm

800 nm

  (0.80

 um)

Possible (5

‐25 kV

 electrons)

XPS

8‐15

 min

+/‐10%

man

yEasy

1‐12

 nm 

30,000

  (30

.0 um)

Rare  (1.5 kV

 X‐rays)

ASK Cu

stom

er:   Z size ? (d

epth/height o

f defect),    XY size ? (p

lana

r size of defect),      insulator o

r con

ductor ?,     ne

edchem

ical states ?  

*Tim

e ne

eded

 to cut sa

mple, (gold coat 4 SEM

 = 5 m

in), mou

nt, pum

p do

wn, locate defect, setup, collect, analyze, rem

ove sample

ww

w.n

anol

ab1.

com

1708

McC

arth

y R

dM

ilpita

s, C

ATe

l 1-4

08-4

33-3

320