イワキエアー駆動ベローズポンプ‚¨アー駆動ベローズポンプff/ff-h 型式...

Fs e r i e s

イワキエアー駆動ベローズポンプ半導体プロセスの超クリーン化に対応

Fシリーズは半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプです。充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMPプロセスなどに幅広く対応します。

Pneumatic drive bellows pumps

1

FW

FW-H

FF

FF-H

FA

FWシリーズ名用途

最大エアー消費量(NL/min) 液温範囲(℃)主材質

PTFE

最大吐出量(L/min)

最高供給エアー圧力(MPa)

0.5 820 10～100

480 10～180

180 5～100

200 20～180

200 5～100

400.5

220.3400.2

400.4

PFAシリーズ名

FW-H FF FF-H

薬液供給装置

希釈液循環 / 移送

洗浄液循環(後洗浄)CMPプロセス

バッチ(洗浄液循環)ウェハー洗浄装置

枚葉(洗浄液循環)

薬液補充装置

FA CFD

80

選定の目安

用途例使用可能条件により使用可能

FW

FW-H

FF

FF-H

FA

FW

最大エアー消費量(NL/min) 液温範囲(℃)主材質

PTFE

最大吐出量(L/min)

最高供給エアー圧力(MPa)

0.5 820 10～100

480 10～180

180 5～100

200 20～180

200 5～100

400.5

220.3400.2

400.4

PFAシリーズ名

FW-H FF FF-H

薬液供給装置

希釈液循環/移送

洗浄液循環(後洗浄)CMPプロセス

バッチ(洗浄液循環)ウェハー洗浄装置枚葉(洗浄液循環)

薬液補充装置

FA CFD

80

選定の目安

用途例使用可能条件により使用可能

FA-40VEWFF-20HT

半導体プロセスの超クリーン化に対応

Fseries

FW-20

Iwaki Pneumatic Drive Bellows Pump

Fシリーズは半導体製造プロセス専用設計のエアー駆動ベローズポンプです。発売以来10 有余年、イワキは常に市場ニーズにお応えして、新製品開発を積極的に展開してきました。現在では標準品だけでも20 機種以上を数え、その品質と性能は世界のデバイス・ウェハーメーカーより高い評価をいただいています。また、ポンプのみならずコントローラ・ダンパーなどの周辺機器や薬液補充ポンプシステムも標準化。一段と充実した製品ラインアップでウェット洗浄プロセスをはじめ、薬液供給装置やCMPプロセスなどに幅広く対応します。

Fs e r i e s

2

設置例豊富なラインアップ高温・高圧移送が可能なシリーズ最強モデルFW-H 型から、FA 型まで Fシリーズのラインアップは20 機種。用途に応じた最適機種が選定できます。

コンタミフリー設計全ての接液部に耐薬品性・耐熱性に優れたフッ素樹脂を採用。強腐食性薬液のケミカルアタックに耐え、パーティクル発生の少ない送液を行います。

センサ駆動方式ポンプに内蔵された近接スイッチ（非接液）により電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。作動が確実で低ストローク時でも安定した性能を発揮します。

リークセンサ内蔵ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサを標準装備しました。

アクセサリーも充実ダンパーやコントローラなどのアクセサリーも充実。これらを使用することでパーティクルの抑制やベローズ寿命の向上が図れます。

●PFCユニットについては、別冊のPFCカタログをご参照ください。

●電磁定量ポンプ、CMPポンプについては、各単品カタログをご請求ください。

薬液補充ポンプCFD-1T-B

循環ポンプ Fシリーズ

フィルタ

NH4OH, H2O2

HCl, HF, H2SO4

ウェハー洗浄装置

ダンパー　　　PDA-H1 / PDA-W / PD-H1

コントローラSC

PIC

電磁弁電空レギュレータ

フィルタ

PFCユニット

外部ON/OFF外部設定信号(DC4-20mA)

供給/循環切替電源：AC100V

圧力信号出力(DC4-20mA)電磁弁同期出力(接点)異常出力(接点)リークアラーム

ダンパーPDA-W

タンク希釈液移送/循環ポンプ FW

フィルタ

薬液供給装置（圧力一定制御システム）

CMPスラリー供給装置

各装置へ

pH調整電磁定量ポンプ EHN

各種薬液補充

砥液原液ボトル

調整槽供給槽

ダンパーPDA-W

切替弁

DIW Acid Alkali

コントローラSC

希釈液移送/循環ポンプ FW

●ベローズ寿命向上のために、コントローラSC型またはポンプドライバーFD型のご使用をお奨めします。詳しくは7ページをご参照ください。

● Fシリーズには高速ストロークタイプのFS型もあります。詳しくは別冊のFSカタログをご参照ください。

シリーズ名

ポンプヘッドとベローズの構造T1T2：チューブ出し/シール構造（ベローズ分離型）：チューブ出し/溶接一体構造


ポンプサイズ204080

：最大吐出量 20L/min：最大吐出量 40L/min：最大吐出量 80L/min

液温範囲記号なし

H：中温仕様（10～100℃）　：高温仕様（10～180℃）

特殊記号記号なし

S：標準仕様：特殊仕様


01：標準仕様：特殊仕様



FW - 20 H T1 - 01

シリーズ名

ポンプサイズ2040：最大吐出量 20L/min：最大吐出量 40L/min


H：中温仕様（10～100℃）　：高温仕様（10～180℃）



FS - 20 H T1 - 01

シリーズ名

ポンプサイズ記号2

40：最大吐出量 2L/min：最大吐出量 40L/min

ポンプ駆動方式

記号なしE：エアーパルスタイマーバルブ方式＋電極棒付　：コントローラ方式＋電極棒付

VEW：コントローラ方式＋電極棒付　ポンプヘッド・ベローズ溶接一体型

FA - 2 E - 01

FA-2

FA-40

シリーズ名

ポンプ接続口径（吸込口×吐出口）TS：チューブ出し：おねじ


：最大吐出量 10L/min：最大吐出量 20(HT)/22(B/CT)L/min：最大吐出量 40L/min

FF ：中温仕様（5～100℃）FF-H：高温仕様（20～180℃）

＊電極棒：ベローズ破損検知用

FF - 20 H T - S

■

■

型式

液温範囲

最大ストローク数

ポンプ接続口径

最大吐出量

供給エアー圧力

最大エアー消費量

供給エアー接続口径

FW-20

10～100

120

φ19×φ16PFAチューブ


20

330

Rc1/4

FW-20H

10～100

120

20

0.2～0.5101～1500.15～0.3

151～1800.15～0.2

330

Rc1/4

FW-40

10～100

80

40

0.2～0.5

480

Rc3/8

FW-40H

80

40

200 140

10～1000.2～0.5

101～1500.15～0.3

151～1800.15～0.2

480 300 220

Rc3/8

FW-80

10～80

80



80

820

Rc1/2

℃

spm

L/min

MPa

NL/min

●最大吐出量は清水20℃の場合の性能です。

ポンプヘッド PTFE（チューブ：PFA）バルブ PTFEバルブケース PTFEベローズ PTFE

3

4 2

1

1234

型式表示

構造と材質

仕様

エアー駆動ベローズポンプ

FW/FW-H肉厚ベローズの採用で高圧・長寿命

FW-20T1

FW-20HT2

■肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3〜4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。

■高圧・中温（10〜100℃）仕様のFW型は薬液供給用に加え、洗浄装置・CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温（10〜180℃）仕様のFW-H型は洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。

■吸込 / 吐出の接続部はPFAチューブの一体構造。　　パーティクルの滞留がなく、市販の継手が使用可能です。

■専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

■ポンプ作動はセンサ駆動方式。またリークセンサを標準装備しています。

3


FF/FF-H

型式

液温範囲



最大吐出量

最高供給エアー圧力



FF-10BT/CT1

B型：5～100　　C型：5～50※

120

1/2″PFAチューブ

10

0.3

90

Rc1/4

FF-20BT/CT1


22

180

20～180

120 800.2

FF-20HT


20

150

Rc1/4 Rc3/8

FF-40HT1


40

200

℃

spm

L/min

MPa

NL/min

●最大吐出量は清水20℃の場合の性能です。※B型のシリンダー材質はAl＋四フッ化樹脂、C型はPVCです。

エアー消費の少ない省エネ設計

■ FF型は中温仕様（PVCシリンダタイプ：5〜50℃、アルミシリンダタイプ：5〜100℃）、FF-H 型は常温から高温（20〜180℃）までの薬液を幅広く取扱うことができます。

■接液部はオールフッ素樹脂製、ゴム・金属を使用しないコンタミフリー設計です。またFF-H 型の本体とベローズは完全に溶接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。

■空気室のデッドボリュームを極力小さくして、エアー消費量の低減を図りました。

■ポンプシャフトのパッキンはポンプを分解することなく容易に交換できます。



ポンプヘッド PTFE（チューブ：PFA）バルブ PFAバルブケース PTFEベローズ PTFE

3

4 2

1

1234

構造と材質

仕様

FF-20BT1FF-20HT

シリーズ名






H：中温仕様（10～100℃）　：高温仕様（10～180℃）







FW - 20 H T1 - 01

シリーズ名



H：中温仕様（10～100℃）　：高温仕様（10～180℃）



FS - 20 H T1 - 01

シリーズ名






FA - 2 E - 01

FA-2

FA-40

シリーズ名




FF ：中温仕様（5～100℃）FF-H：高温仕様（20～180℃）


FF - 20 H T - S

■

■

型式表示

Fs e r i e s

4


FA

型式

液温範囲



最大吐出量

最高供給エアー圧力


供給エアー接続口径●最大吐出量は清水20℃の場合の性能です。

FA-2E-1

5～100

150

Rc1/8

2

0.4

50

Rc1/4

FA-40VEW

80

Rc1

40

200

Rc3/8

℃

spm

L/min

MPa

NL/min

■横型で少流量モデルの FA-2E-1型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW 型を標準化。2E型はスプレー方式の枚葉処理用、40VEW 型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

■ FA-40VEW型には肉厚のH形状ベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。



仕様

ポンプヘッド PTFEバルブ PFAバルブケース PFAベローズ PTFE

ポンプヘッド PTFEバルブ PFAバルブケース PTFEベローズ PTFE

34

4

3

1

2

2

1

1234

1234

構造と材質

中温液循環用の 2 タイプ

FA-2-1

FA-40VEW

FA-2E-1

FA-40VEW

シリーズ名






H：中温仕様（10～100℃）　：高温仕様（10～180℃）







FW - 20 H T1 - 01

シリーズ名



H：中温仕様（10～100℃）　：高温仕様（10～180℃）



FS - 20 H T1 - 01

シリーズ名






FA - 2 E - 01

FA-2

FA-40

シリーズ名




FF ：中温仕様（5～100℃）FF-H：高温仕様（20～180℃）


FF - 20 H T - S

■

■

型式表示

5

オートダンパー

PDA-H1/PDA-Wパルスダンパー

PD-H1

■フィルタの目づまりなどにより、ポンプの吐出負荷が変動しても最少脈圧に自動調圧。フィルタからのパーティクルスルーや配管の振動を防止します。

■現場での圧力調整作業が不要なため、ダウンタイムの短縮化が図れます。

■既存の設備・装置にも取付け可能です。■ベローズ内部の液抜きが簡単に行えます。（PDA-W 型）■ PDA-H1型は中圧仕様で FF・FF-H・FA ポンプ用、　PDA-W型は高圧仕様で FW・FW-Hポンプに適用します。

■自動調圧機構のないダンパーです。■PD-H1型は中圧仕様で FF・FF-H・FA ポンプ用に適用します。

AA100 100

エアーIN

INOUT

INOUTC

型式 A B C114 119 40

144 138 50

160 212 60

10

20

40

型式 A B C148 215 33

188 255 36

208 323 38

20

40

80

PDA-W PDA-H1PD-H1

B

9

100

B

C

エアーOUT

11エアーOUT

エアーIN

外形寸法図 (mm)

ダンパーPDA-H1/PDA-W/PD-H1

循環ポンプFシリーズ

フィルタ

処理槽

電磁弁減圧弁

減圧弁

圧縮空気源

設置例

作動原理 (PDA-H1 型 )

オプション

仕様型式

液温範囲

脈動圧力幅


適用ポンプ

最高封入エアー圧力

接続口径

接液部材質

PDA/PD-10H1FF-10B/CT1


PDA/PD-20H1

20～180

0.04以内

Rc1/4

FF-20B/CT1FF-20HT

0.3


PTFE/PFA

PDA/PD-40H1FA-40VEWFF-40HT1

0.4


℃

MPaMPa

PDA-20WFW-20/FW-20H/FS-15/FS-30


PDA-40W

101～15010～100 151～180 10～800.5

0.06以内

Rc1/4

FW-40/FW-40H/FS-60

0.5 0.3 0.2


PTFE/PFA

PDA-80WFW-80

●ポンプの仕様圧力以上では使用できません。●脈動圧力幅は使用条件により異なります。詳しくはお問合せください。●FS型ポンプについては、別冊のカタログをご参照ください。

PDA-20W PD-10H1

1.フィルタの目づまりなどでポンプの負荷が大きくなると、ポンプの吐出圧によりダンパーのベローズが下方向に動き、ピンを押し下げます。

2.ピンが押し下げられると給気側のバルブボールが開き、封入エアーが（ポンプ駆動圧と同圧）がシリンダ内に供給されます。

3.エアーが送り込まれたシリンダ内の圧力はベローズ内圧よりも高いため、ベローズは押し上げられます。同時にスライダ・スプリングピンも上方向へ動きます。

4.この時、スプリングピンに連結さている排気側のバルブボールも上に動き、バルブ通路が開いてシリンダ内のエアーが排出されます。

5.この動作により、ベローズ内とシリンダ内の圧力がバランスされた位置（給・排気のバルブボールが閉じた位置）でベローズは振幅し、脈動を吸収します。

● PDA-W 型は構造が異なります。詳しくはお問合せください。

ベローズ

ピン

給気側バルブボール

排気側バルブボール

エアーINエアーOUT

スライダ

シリンダ室

スプリングピン

吸込口吐出口

●吸込口と吐出口を逆にすることも可能です。

Fs e r i e s

6

電源電圧

使用周囲温度

流量切替指令スタートアラームリセット液圧アラーム無視リークアラームポンプ作動不良アラーム液圧上/中/下限アラームトータルカウント数アラームレディ出力

一般仕様

W245×D180×H130外形寸法　mm

入力仕様（外部入力）

出力仕様（外部出力）

消費電力

使用雰囲気

DC24V±10%

0～55℃

入力信号：無電圧接点または　　　　　オープンコレクタON電源： 3V以下OFF電源： 18V以上出力形態： NPNオープンコレクタ開閉容量： DC24V 0.4A

24VA以下

周囲に腐食性ガスのなきこと

電源電圧

使用周囲温度

外部スタート信号

一般仕様

W130×D120×H60外形寸法　mm

入力仕様（外部入力）

消費電力

使用雰囲気

DC24V±10%

リークアラーム・タイムアップアラーム出力仕様リレー接点出力

0～55℃

AUTO ：リレー接点外部ストローク数可変/切替信号入力抵抗：0～5kΩにて0～100%可変外部ストローク数可変/切替信号 AUTO ：リレー接点

接点ON/外部信号による可変接点OFF/ボリュームによる可変

Max.ポンプストローク数可変/切替ディップスイッチによる4段切替

12VA


■ Fシリーズ専用のコントローラ。1台で3台のポンプを同時に制御することができます。

■流量一定制御機能により、フィルタの目づまりなどでポンプの吐出圧力が変動してもポンプの吐出量が一定に保たれるため、安定した循環・ろ過が行えます。

■ダンパーへの供給エアー圧力を自動調整することで、ポンプの脈動幅を常に最小にコントロールできるため、現場での調圧作業は不要です。

■ポンプの吐出側負荷が変動してもベローズ内・外の差圧は、最小値にキープされるのでベローズ寿命の向上が図れます。

■流量・ポンプ吐出圧・トータルカウント数などがモニタリングできますのでフィルタの寿命管理に有効です。またリークアラーム・ポンプ作動不良アラームなど、各種アラーム出力機能を標準装備しています。

■ローコストなドライバーです。FD-1型は FF・FF-H・FA ポンプ用、FD-2 型は FW・FW-Hポンプ用です。

■ストローク数一定制御機能により、ポンプの吐出側負荷が変動してもポンプのストローク数を一定に保つことができるため、安定した吐出量が得られます。また、ベローズ内・外の差圧が常に最小値にキープされるのでベローズ寿命が向上します。

■外部信号によるリモート運転やストローク数の設定/変更が行えます。■ポンプの1ショットに要する時間（基準タイム）の設定ができます。基準タイム以下でポンプが作動するとタイムアップアラームを出力し、ポンプの動作不良を知らせます。

■ベローズが破損した場合には、リークアラームが出力して、ポンプを緊急停止することができます。

■流量表示計・供給エアー圧力表示計・ストローク積算表示計などの取付けが可能です。

ダンパー


ポンプドライバー FD-1/FD-2

近接スイッチ

外部入力信号

アラーム出力

フィルタ

ユーザー装置

処理槽

電磁弁

QEV

EXH EXH

QEV

電空レギュレータ

レギュレータ

ダンパー


コントローラ SC

近接スイッチ

外部入力信号

アラーム出力

フィルタ

ユーザー装置

電空レギュレータ

処理槽

電磁弁

QEV

EXH EXH

QEV

電空レギュレータレギュレータ

ポンプコントローラ

SCポンプドライバー

FD-1/FD-2

設置例設置例

仕様仕様

SCFD-2

オプション

●上記の他に FS型ポンプ用の FD-3 型もあります。詳しくは別冊の FSカタログをご参　照ください。

7

薬液補充ポンプ

CFD

■吐出量を1shot 当り1mLとし、従来の8mLに比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入する事で、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。

■接液部はオールフッ素樹脂製。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液に対応します。

■サイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。■ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサを標準装備しました。

型式

液温範囲

最大ストローク数一般仕様

フォトセンサ仕様


吐出量

最高吐出圧力



CFD-1T-B

20～60

30

PFA1/4″チューブ

1

0.05

0.15～0.3

Rc1/8

℃

spm

mL/shot

MPa

MPa

接液部材質方式

出力電源電圧

許容電流●外形寸法図については別途図面をご請求ください。

PTFE/PFA/PCTFE

5～24V DC±10％透過型マイクロフォトセンサ

NPNトランジスタ・オープンコレクタ50mA以下

仕様

■ローコストタイプのＦシリーズ用コントローラです。■ポンプに内蔵された近接スイッチの信号を受け、電磁弁を確実に作動させます。

■ポンプが停止した場合やベローズが破損した場合のアラーム機能を備えています。

ポンプと電磁弁の間に取付けることで、リターンエアーによる電磁弁の腐食を防ぎます。また、排気抵抗を減らしベローズの動きをスムーズにします。

ポンプコントローラ

AC-1

急速排気弁

QEV

仕様

仕様

電源電圧

使用周囲温度

外形寸法　　　　　mm

消費電力

使用雰囲気

AC100V±10%　50/60Hz

0～60℃

W144×D168×H72

24VA


型式

QEV-10VQEV-8V

接続口径

Rc3/8Rc1/4

適用ポンプ

FW-40/40H, FF-40/40H, FA-40FW-20/20H, FF-10/20/20H, FA-2

CFD-1T-B

AC-1

QEV-8V

Fs e r i e s

8

BA

10 F

G

(100)

E

I

J

(100

)

6

D

H

C

型式 A B C D E F G H J

347 （458） 218 221 105 140 22 90 182

435 （542） 240 250 143 183 25.5 102 220

266 （361） 188 191 84 114 14.5 82 154

288 （400） 218 221 105 140 20 91/80 182

431 （533） 240 250 143 183 23.5 97

I

112

130

97

112

130 220

FW-20/20H

FW-40/40H

464 （600） 302 317 185 240 27 119.5 317158.5FW-80

FF-10/10H

FF-20/20H

FF-40H

50

100

150

0.30

0.30

0.40

0.20

0.20

0.10

0.10

0.25

0.25

0.35

0.35

0.15

0.15

0.05

0.05

20 40 8060

600

200

400

500

100

800

700

300

10 2015 255

80

200

320

40

240

120

280

160

0.10

0.25

0.40

0.05

0.30

0.15

0.35

0.20

0.30

0.40

0.05

0.20

0.20

0.10

0.10

0.25

0.15

0.05

0.35

0.25

0.15

400

240

80

640

160

560

480

320

20 403010

10

10 205 15

2 4 6 8 12

100

20

60

80

40

0.5MPa供給エアー圧力





0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.15MPa

0.2MPa

0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.2MPa

0.3MPa

0.4MPa

0.5MPa

0.2MPa

0.3MPa

0.4MPa

0.5MPa

0.5MPa

H-Qエアー消費量

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.15MPa

0.3MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.2MPa0.15MPa

0.15MPa

FW-20/20H

FW-40/40H

FW-80

FF-20

FF-10

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

性能曲線

FW

FW,FF

FF

外形寸法図 (mm)

9

51

102

(192)

1496

10250

(150)

φ233

(96) 51

240

184 220

545

274

(460

)

88

4×φ18

4×M6

0.08

0.04

0.20

0.28

0.12

0.24

0.32

0.16

1.0 2.00.5 1.5

10

20

30

40

0.30

0.40

0.20

0.10

0.25

0.35

0.15

0.05

4020 5010 30

100

200

300

400

0.02

0.04

0.08

0.10

0.06

0.12

0.14

20

40

80

100

60

120

140

10 20 30 40

50

200

100

150

0.10

0.04

0.08

0.06

0.02

0.18

0.12

0.16

0.14

10 15 20 255

FF-20H

FF-40H

FA-40VEW

FA-2E-1

0.2MPa

0.15MPa

0.15MPa

0.2MPa

0.2MPa

0.15MPa 0.15MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.15MPa

0.1MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.15MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.10

0.04

0.08

0.06

0.02

0.12

0.16

0.14

106420

8

20

40

60

80

FF-10H

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0.2MPa

0.15MPa

0.15MPa

0.2MPa



供給エアー圧力供給エアー圧力


0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

0

エアー消

費量(NL/min)

吐出量(L/min)

吐出圧力(MPa)

エアー消

費量(NL/min)

H-Qエアー消費量

FA-2E-1 FA-40VEW

FF-H FA

Fs e r i e s

10

ワールドワイドなネットワークでお客様をサポートします。販売・サービスネットワーク

お客様のニーズを正確に把握し、きめ細かなサービスを提供するためイワキは早くから販売拠点の整備に力を注いできました。国内では支店・営業所と代理店が全国をカバー。一方海外はドイツの現地法人に加え、世界各国の合弁会社がお客様を強力にサポートしています。単に商品を提供するだけでなく、世界のネットワークを通じて収集した情報と永年の経験に裏打ちされた専門知識を有機的に結合し、お客様にとって価値ある提案を行うことが真のサービスであると考えています。

イワキ埼玉工場（埼玉県狭山市）イワキ三春工場（福島県三春町）徹底した品質管理と効率化の推進が、優れた生産システムを生み出しました。

国内ネットワーク東京支店営業１部

　　　　　営業 2 部　　　　　営業 3 部　　　　　営業 4 部大阪支店営業１部

九州支店営業１部

　　　　　営業 2 部　　　　　営業 3 部名古屋支店営業1部　　　　　営業2部

仙台支店札幌営業所新潟営業所水戸営業所松本営業所熊谷営業所静岡営業所広島営業所高松営業所

TEL 03(5820)7560TEL 03(5820)7561TEL 03(5820)7562TEL 03(5820)7563TEL 06(6943)6441TEL 06(6943)6444TEL 06(6943)6445TEL 052(774)7631TEL 052(774)7631TEL 093(541)1636

TEL 022(374)4711TEL 011(704)1171TEL 025(284)1521TEL 029(247)4861TEL 0263(40)0500TEL 048(523)9186TEL 054(262)2181TEL 082(271)9441TEL 087(834)2177

FAX 5825-0325FAX 5825-0326FAX 5825-0327FAX 5825-0327FAX 6920-5033FAX 6920-5033FAX 6920-5033FAX 769-1677FAX 769-1677FAX 551-0053

FAX 371-1017FAX 704-1077FAX 282-2206FAX 240-1359FAX 40-0517FAX 520-1398FAX 267-1021FAX 273-1528FAX 863-3205

東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031東京都千代田区東神田2-5-15 住友生命東神田ビル7F 〒101-0031大阪市中央区内本町1-3-5 内本町山森・住友生命ビル〒540-0026大阪市中央区内本町1-3-5 内本町山森・住友生命ビル〒540-0026大阪市中央区内本町1-3-5 内本町山森・住友生命ビル〒540-0026名古屋市名東区高社1-251 〒465-0095名古屋市名東区高社1-251 〒465-0095北九州市小倉北区砂津3-3-10 アクセス砂津ビル〒802-0014

　　　　　営業 2 部 TEL 093(541)1636 FAX 551-0053 北九州市小倉北区砂津3-3-10 アクセス砂津ビル〒802-0014仙台市泉区泉八乙女4-18-1 〒981-3112札幌市東区北12条東16-1-25 〒065-0012新潟市中央区鳥屋野1-29-9 〒950-0951水戸市吉沢町297 〒310-0845松本市大字島内3920-1 〒390-0851熊谷市中央1-35 〒360-0018静岡市駿河区栗原16-16 〒422-8008広島市西区庚午北1-10-15 〒733-0821高松市木太町1560-1 〒760-0080

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13の支店・営業所と140 拠点の代理店が全国をカバー。地域密着型の営業を展開しています。

ドイツ現地法人に加え、世界各国に合弁会社を設立。ワールドワイドなネットワークでお客様を強力にサポートしています。

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安全に関するご注意ご使用の前に、取扱説明書をよくお読みのうえ正しくお使いください。本カタログに記載の写真は印刷のため実際の色とは多少異なります。また、性能・寸法なども改良のため予告なく変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。

輸出に係るご注意弊社の製品/部品は、輸出貿易管理令別表第1に定められたリスト規制貨物またはキャッチオール規制貨物のいずれかに該当します。輸出の際は経済産業省の輸出許可が必要となる場合がありますのでご注意願います。

このカタログは地球環境に配慮して作られています。

イワキエアー駆動ベローズポンプ‚¨アー駆動ベローズポンプff/ff-h 型 式...

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