zp serieszptシリーズバッファなしパッド径（mm）パッド形状真空取出口...

真空取出口

ZPT

取付接続

形式バッファなしバッファ付

回り止め付回り止めなしø2～ø8：ストローク6、10、15、25mmø10～ø32：ストローク10、20、30、40、50mmø40・ø50：ストローク10、20、30、50mm

おねじ

めねじ

ワンタッチ継手付

ワンタッチ継手付

バーブ継手付

バーブ継手付

平形（U）平形リブ付（C）深形（D）ベロウ形（B）薄形（UT）薄形リブ付（CT）

（兼用）

（兼用）

おねじ

めねじ

おねじ

めねじ

真空取出口取付接続

めねじ

ワンタッチ管継手付

バーブ継手付

バッファボディ

バーブ継手付


ワンタッチ管継手付




縦方向真空取出

ZPR

横方向真空取出ワンタッチ継手付

ZPY

横方向真空取出バーブ継手付

シリーズ

P.1146～P.1161

シリーズ

P.1162～P.1177

シリーズ

P.1120～P.1145

VAC

VAC

VACVAC

VAC

VAC

VAC

めねじ

バーブ継手

ワンタッチ継手

ワンタッチ継手

バーブ継手

VAC

VACVAC

パッド形状（全機種に接続可）

パッド径（ø2～ø125）

パッドサイズ

ø2～ø125

リフト計算の求め方、応答時間の求め方については真空用機器機種選定方法P.828～834をご参照ください。

パッド材質

パッドの選定について

NBR（黒色）・シリコンゴム（白色）・ウレタンゴム（茶色）・フッ素ゴム（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）・導電性シリコンゴム（銀色2点マーク付黒色）

平形平形リブ付深形ベロウ形

ø50ø40ø32ø25ø20ø16ø13ø10ø8ø6ø4ø2

－－－

－－

－－

－－

－－

－－

－－－

－－

－－－－

－－－

－－－

薄形－薄形リブ付－

4×10

－－－

3.5×7

－－－

－－－－－－－－

2×4

－－－

項目材質

NBRシリコンゴムウレタンゴムフッ素ゴム導電性NBR

導電性シリコンゴム

硬度HS（±5°）

使用温度範囲℃0～120－30～2000～600～2500～100－10～200

耐油性ガソリン◎

×

◎

◎

◯

×

耐油性ベンゾール

×

×

×

◎

×

×

耐アルカリ性

◯

◯

×

×

◯

◯

耐酸性

◯

×

×

◎

×

×

耐候性

×

◎

◯

◎

◯

◎

耐オゾン性

×

◎

◎

◎

×

◎

耐摩耗性

◎

×

◎

◯

◯

×

耐水性

◯

◯

×

◎

◯

◯

耐溶剤性ベンゼン・トルエン

×

×

×

◎

×

×

※上記の物性は、ゴムの一般物性を表したものです。SMCが使用しているパッド材質は、JIS規格の物性基準をクリアしているものですがパッドでJIS物性試験と同様な試験をしても形状、使用条件によって異なってきますのであらかじめご了承願います。

◎：使用に対してほとんど影響なし ◯：条件により使用に耐える ×：使用に適さない

A50/SA40/SA60/SA60/SA50/SA50/S

ゴムの材質と特性

VAC

ZP Series

真空パッド

1119

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

縦方向真空取出形／バッファなし

ZPT Series

取出方向縦方向接続方法おねじめねじ

ø2～ø8長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）

M5×0.8、M6×1 M4×0.7、M5×0.8

M5×0.8、M6×1（Rc,NPT,NPTF）

M5×0.8、M6×1、M8×1.25（Rc,NPT,NPTF）

M6×1、M8×1.25（Rc,NPT,NPTF）

M5×0.8、M6×1

M6×1、M8×1

M6×1、M8×1

ø10～ø16

ø20～ø32

ø40・ø50

ねじ径

取付接続真空取出口接続と兼用になります。

真空取出口

1 8

1 8

1 8

パッド形状

パッド径mm

10、13、16、20、25、32、40、50

材質（色） NBR（黒色）、シリコンゴム（白色）、ウレタンゴム（茶色）、フッ素ゴム（緑色マーク付黒色）導電性NBR（銀色1点マーク付黒色）、導電性シリコンゴム（銀色2点マーク付黒色）

NBR（A50/S）、シリコンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・フッ素ゴム（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコンゴム（A50/S）硬度

平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50

6、8、10、13、16、20、25、32、40、50

平形リブ付深形ベロウ形

10、13、16

薄形／薄形リブ付

10、16、25、40

（）

平形平形リブ付深形ベロウ形M4

―（3.5）

2.5（3）

3.5（―）

10（7）

10（6.5）

12（6）

―（13）

10（6.5）

12（6）

―（12）

12（6）

―（13）

―

11（7）

15（7）

15（13）

―

―― ― 10（6.5）

12（6）

―（13）

― ――

―（8.5）

15（8）

26（17）

―（16）

―（8.5）

15（8）

26（17）

―（16）

―（10）

15（10）

15（18）

―（17）

―

28（26）

30（25）

―（23）

28（26）

30（25）

―（16）

―

30（29）

32（27）

―（25）

32（30）

34（29）

―（27）

28（26）

30（25）

―（23）

30（29）

32（27）

―（25）

―

―

―

―

―

― 30（28）

32（26）

―（20）

― ―

― ― ― ― ― ―

―（8.5）

15（8）

16（17）

―（16）

―

― ― ―

― ― ― ―

― ― ― ―

― ― ― ― ― ― ― ― ― ― ― ――

（3.5）ø2、ø4除く

2.5（3）

ø2、ø4除く

3.5（―）

ø2、ø4除く

M5 M6 M8 □ □ □ □M5 M6 M8 M5 M6 M8 M4 M5 M6 M8

（g）

型式接続

パッド形状

ZPT02

ZPT08

ZPT10

ZPT13

ZPT16

ZPT20

ZPT25

ZPT32

ZPT40

ZPT50

〜

1 1 1 18 8 8 8

（）（）

※（）内数値はめねじ接続の場合

標準仕様

パッドの種類

質量表／おねじ（めねじ）

RoHS

1120

ZPTシリーズバッファなし

パッド径（mm）

真空取出口

パッド形状

材質

ZPT U N02 A5

UC

平形平形リブ付

D 深形B ベロウ形

UT 薄形CT 薄形リブ付

真空取出口（取付接続ねじ径と兼用）

パッド形状（適用は下表qを参照ください）

NS

NBRシリコンゴム

U ウレタンゴムF フッ素ゴム

GN 導電性NBRGS 導電性シリコンゴム

材質

接続ねじ径

M5×0.8M6×1M8×1

ø2～ø82×4,3.5×7,4×10

ø10～ø16（薄形シリーズ）

－－－－

－－

－－

－－－－

記号

A5A6A8

M4×0.7B4M5×0.8B5M6×1B6M8×1.25B8RcB01

ø10～ø16 ø20～ø32 ø40・ø50

1 8－NPTN01 1 8－NPTFT01 1 8

おねじ

めねじ

0204

24010 4×103507 3.5×72004 2×4

406 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50


径mm形状

2

－－

－－

－－

－－－－－－

－－

平形リブ付平形

深形ベロウ形

4×10

－－－

3.5×7

－－－

2×4

－－－

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

－－薄形－－－－－

－－－－

－－－－

－－－－

－－薄形リブ付－－－

製品個別注意事項

設計上のご注意

qワークが重量物、危険物等の場合は吸着力を失った時の対策（落下防止用ガイド等の設置）を行ってください。真空パッドを使用した真空吸着搬送は真空圧力の低下により吸着力を失います。また、真空パッドの摩耗、亀裂、配管からの真空の漏れ等によっても真空圧力は低下しますので真空機器のメンテナンスを必ず行ってください。

警告

保守点検

q定期的にパッドのメンテナンスを行ってください。パッドの材料はゴムであるため必ず劣化します。その度合は使用状態、環境、温度等により異なります。パッドに有害と思われるキズ、ヒビ、ワレ、摩耗等が起こりましたらすぐに交換してください。また、キズをつけないでください。

注意

選定

q使用環境により使用可能なパッド材質が異なります。適切なパッド材質を選定してください。また、真空パッドは工業製品用に製造されたもので医薬品、食品等を直接パッドで触れることはできません。

wワークの重量、形状により使用する適切なパッド径、使用数量、パッド形状等は異なってきます。パッドのリフト力表を参考にしてください。また、上記条件以外にワークの表面状態（油分、水分の有無）、ワークの材質、ワークの通気性等により選定するパッドは異なります。ワークを実際に真空吸着し確認することが必要です。

e衝撃に弱いワークの吸着にはバッファを用いてください。また、ワークの高さにバラツキがある場合には、バッファによる緩衝を行うことが必要です。さらに、ワークとパッドの位置決めを行いたい場合には、回り止めのバッファを使用してください。

rバッファの軸に対して横方向の力が加わると寿命が低下します。配管チューブによりバッファに負荷がかかる（横方向への引っ張り、押さえ付け等）場合がありますので注意してください。

tワーク吸着時にパッドに衝撃や大きな力を加えないでください。パッドの変形、亀裂、摩耗が早くなります。パッドのスカートの変形範囲内か、リブ等が軽くあたる程度にします。特に小径パッドでは位置決めを正確に行ってください。

y上方に搬送する場合は、ワークの重量だけでなく加速度、風圧、衝撃力等を考慮してください。特にガラス板、基盤ボード等を持ち上げる場合は風圧により大きな力が加わりますので注意してください。垂直姿勢で水平方向ヘワークを移動する場合、動き出し、停止時の加速度によっては大きな力がかかります。また、パッドとワークが滑りやすい場合は水平移動の加速、減速を小さくしてください。

u面積の広い板状のようなワークを複数個のパッドで搬送する場合にはワークのバランスを考えパッドの配置に注意してください。

注意

型式表示方法

表qパッド径パッド形状

ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意については前付38、39、真空用機器／共通注意事項についてはP.844～846をご確認ください。

1121

縦方向真空取出形／バッファなし ZPT Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

øe

ca

db

型式 A B C YD

ZPT02U 2468

2.64.879

1.21.6

3 19 7 4 20 82.5

ZPT04UZPT06UZPT08U

E G D EH：M5×0.8 H：M6×1

G

110 11ZPT10UT13 14ZPT13UT

1.516 17ZPT16UT10 11ZPT10CT 0.813 14ZPT13CT

116 17ZPT16CT

0.8

0.5

型式 aZPT2004U 42 2.6 4.6 1.2 0.3

73.5 4.3 7.8 1.8 0.5104 5 11 2 0.8

ZPT3507UZPT4010U

b c d e Y

型式 A

20

25

32

23

28 3 25

35

1.7

1.8

2.3

14

14.5

19

19.5

8 3.545

45.5

1524

24.5

1240

40.5

4

4.5

BC E F G I C E F G I 平形平形リブ付

D

ZPT20

ZPT25

ZPT32

H：M6×1 H：M8×1 Y

UCUCUC

型式 A

25 28 20 3 25 25 51 8 3.5 30 15 46 12 10

BC E F G I C E F G I

D

ZPT25D

H：M6×1 H：M8×1Y

型式 A

10

13

16

12

15

18

12

12.5

17 38 43 3

17.5

20

38.5

25

43.5 3.5

1.7

1.8

1.2

B C D E F E F 平形平形リブ付H：M5×0.8 H：M6×1 Y

ZPT10 UC

ZPT13 UC

ZPT16 UC

型式 A

10 12 15 20 41 25 46 6

B E F E FC

20

D

ZPT10D16 18 16 20 42 25 47 721ZPT16D

H：M5×0.8 H：M6×1Y

型式 A

40

50

43

53

18.5

19.5

24.5

25.5 51.5

50.5 3.3

3.8253

41.5

40.5

7.5

6.5154.5

B C F G C F G 平形平形リブ付D E

ZPT40

ZPT50

H：M6×1 H：M8×1 Y

UCUC

型式 A

40 43 29 35.5 3 25 61 4.5 15 51 17

BC F G C F G

D E

ZPT40D

H：M6×1 H：M8×1 Y

接続真空取出口

おねじ取出方向／縦方向

パッド形状取付接続

平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形真空取出口接続と兼用

薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010

平形、薄形、薄形リブ付長円形

平形

平形リブ付

深形／ZPT10D,16Dのみ平形

平形リブ付

深形／ZPT40Dのみ

平形深形／ZPT25Dのみ

平形リブ付

平形、薄形、薄形リブ付平形・平形リブ付

深形

平形・平形リブ付平形・平形リブ付

深形深形

長円形

※D,E,Gは同寸法となります。

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16

1122

ZPT Series

呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32

型式 A B C K L YD E G D E G

H：M5×0.8 H：M6×1

ZPT06B 6879

3.34.7

910

2.5 3 20 7 4 21 8 4ZPT08B

型式 A B D K L YC E F C E F

H：M6×1 H：M8×1

ZPT20B 20252227

12162528

19 37

10.510.514

G I G I

3 25 8 3.5 15 12ZPT25B32 34

23.52429

28.52934

54.55560

33.53439

49.55055ZPT32B

型式 A B C K L YE F E F

H：M5×0.8 H：M6×1

ZPT10B 1013

1215

69141920 25ZPT13B

16 18

1618.520

D

2123.525

4244.546

4749.551 10

5.57.58.521ZPT16B

型式 A B D K L YC GF FC GH：M6×1 H：M8×1

ZPT40B 4050

4353

2432

4857

3 154.5ZPT50B

3438

E

4044

6670

255660

1619


おねじ取出方向／縦方向


ベロウ形真空取出口接続と兼用

ベロウ形ベロウ形


呼び径／ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32

呼び径／ø10, ø13, ø16 呼び径／ø40, ø50

1123


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

øeca

db


めねじ取出方向／縦方向


平形、平形リブ付、深形真空取出口接続と兼用

薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010

平形、薄形、薄形リブ付平形深形／ZPT25Dのみ

平形リブ付

長円形

平形

長円形

平形平形・平形リブ付

深形

深形／ZPT10D,16Dのみ平形深形／ZPT40Dのみ

平形リブ付

平形リブ付

平形・平形リブ付平形・平形リブ付

深形深形

型式 A2468

2.64.879

0.8

0.5

1

1.2

M4×0.7

1.6

2.5 M5×0.8

B C F YZPT02UZPT04UZPT06UZPT08U

10 11ZPT10UT13 14 1.5ZPT13UT16 17ZPT16UT10 11 0.8ZPT10CT13 14ZPT13CT16 17

1ZPT16CT

ZPT20 UC

ZPT25 UC

ZPT32 UC

型式 A

20

25

32

23

28 5 8 8 12 12

35

1.7

1.8

2.3

14

14.5

23

23.5

6 823

23.5

29

29.5

29

29.5

4

4.5

B C D E G D E G D E G E G 平形平形リブ付F：M5×0.8 F：M6×1 F：M8×1.25 F：（Rc,NPT,NPTF） Y1 8

ZPT25D

型式 A

25 28 20 5 29 8 6 29 8 8 35 12 35 12 10

B C D E G D E G D E G E GF：M5×0.8 F：M6×1 F：M8×1.25 F：（Rc,NPT,NPTF）

Y1 8

型式 aZPT2004U 42 2.6 4.6 1.2 0.3

73.5 4.3 7.8 1.8 0.5104 5 11 2 0.8

ZPT3507UZPT4010U

b c d e Y

型式 A

10

13

16

12

15

18

12

12.5

3272121

3.527.521.521.5

1.7

1.8

1.2

B CED G E

6

D G 平形平形リブ付F：M5×0.8 F：M6×1

E

125 8 8

GF：（Rc,NPT,NPTF） Y

ZPT10 UC

ZPT13 UC

ZPT16 UC

1 8

型式 A

101612181516

2425

2425

3031

67

B CED G ED G

F：M5×0.8 F：M6×1E

5 8 6 8 12

GF：（Rc,NPT,NPTF）

Y

ZPT10DZPT16D

1 8

型式 A

40

50

43

53

18.5

19.586

3.3

3.8

6.5

7.5

32

33

B CD D 平形E

32

33

E32

33

E 平形リブ付F：M6×1 F：M8×1.25 F：Rc Y

ZPT40 UC

ZPT50 UC

1 8

型式 A

40 43 29 6 8 1742.5

B CD D E42.5

E42.5

EYF：M6×1 F：M8×1.25 F：（Rc,NPT,NPTF）

ZPT40D

1 8

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16

1124

ZPT Series

呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32


めねじ取出方向／縦方向


ベロウ形真空取出口接続と兼用



型式 A68

7 2.59

3.34.7

9 410

B C FM4×0.7M5×0.8

K L YZPT06BZPT08B

型式 A

20252227 5 8

B CF：M5×0.8 F：M6×1 F：M8×1.25 F：（Rc,NPT,NPTF）

K L YE32.53338

6 832.53338

8 1238.53944

1238.53944

16 10.519 14

12 10.5252837

D G ED G ED G E GZPT20BZPT25B

32 34

23.52429ZPT32B

1 8

型式 A

10131215 5 8

B CF：M5×0.8 F：M6×1 F：（Rc,NPT,NPTF）

K L YE2527.529

6 82527.529

123133.535

9 7.510 8.5

6 5.5141921

D G ED G E GZPT10B

ZPT13B

16 18

1618.520ZPT16B

1 8型式 A

4050

4353

B CF：M6×1 F：M8×1.25 F：（Rc,NPT,NPTF）

K L YD

32 1924 1648

57

DZPT40BZPT50B

34 6 838

E

51.547.5

E

51.547.5

E

51.547.5

1 8

呼び径／ø10, ø13, ø16

呼び径／ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32

呼び径／ø40, ø50

1125


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

縦方向真空取出形／バッファ付

ZPT Series

真空取出方向縦方向接続方法めねじ

M5×0.8

M8×1おねじM10×1おねじM14×1おねじ

M3×0.5M5×0.8

M5×0.8（Rc,NPT,NPTF）

ø6ナイロンチューブø6ウレタンチューブ

ø4チューブø6チューブ





バーブ継手ワンタッチ管継手ø2～ø8長円（2×4, 3.5×7, 4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）

ø10～ø32

ø40～ø50

ø2～ø8

ø10～ø32

ø40～ø50

真空取出口

ねじ径

ねじ径

パッド径（mm）ストローク（mm）

スプリング反力（N）

回り止め仕様回り止めなし（J）、回り止め付（K）

6、10、15、25

0.8

1.2

10、20、30、40、50

1.0

3.0

10、20、30、50

2.0

5.0

取付接続

1 8

※ ø2～ø8

※薄形、薄形リブ付、長円形はø2～ø8を参照してください。

ø10～ø32 ø40、ø50

0ストロークフルストローク

パッド形状

パッド径mmø

10、13、16、20、25、32、40、50


NBR（A50/S）、シリコンゴム（A40/S）、ウレタンゴム・フッ素ゴム（A60/S）導電性NBR（A50/S）、導電性シリコンゴム（ A50/S）硬度

平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50

6、8、10、13、16、20、25、32、40、50


10、16、25、40

ストローク（mm）真空取出口

型式

（g）

ZPT2004 3507 4010ZPT

薄形シリーズ10～16

22 24

B3

パッド形状平形・平形リブ付めねじめねじめねじワンタッチ管継手ワンタッチ管継手ワンタッチ管継手バーブ継手バーブ継手バーブ継手

深形ベロウ形

B5 　01 04 06 08 B5 　01 04 06 08 B3 B5 　01 04 06 08

〜02

08

〜10

16

6

10 ZPT 26

10 ZPT 292025

ZPT 57

26

29

31

33

27

30

33

34

129

135

132

138

133

139

22 22

25

27

27

30

29

32

30

33

25

28

30

129 131 134 134 143 129

133

24

27

31

26

30

34

36 38

141

148

27

31

35

39

145

152

22

26

30

34

140

147

153

160

144

151

141

147

324050

ZPTZPT

10

N UN UN U

（g）

型式 10

＋6 ＋7 ＋8

＋11

＋38

＋13

＋40

＋24＋23

＋67

15 20 25 30 40 50ストローク

（mm）

ZPT2004 3507 4010ZPT02～08薄形シリーズ10～16ZPT10～25ZPT40・50

ストローク別加算質量表

標準仕様

バッファ仕様

パッドの種類

質量表

RoHS

1126

ZPTシリーズバッファ付 ZPT A10U16 KGS 20 06

0204

24010 4×103507 3.5×72004 2×4

406 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50

UC





パッド形状（適用は下表①を参照ください）

取付接続ねじ／おねじ（適用は下表eを参照ください）

真空取出口（適用は下表eを参照ください）

バッファストローク（適用は下表wを参照ください）

NS




パッド材質

JK回り止めなし回り止め付

バッファ仕様

径（mm）形状

2

－－

－－

－－

－－－－－－

－－


深形ベロウ形

4×10

－－－

3.5×7

－－－

2×4

－－－

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

－－－－－－

－－－－－－－－－－－－

薄形薄形リブ付

－－

－－

－－

径（mm）ストローク

2

－－－－－－－－

－－－－－－－－

－－

－－

－－－－－－－－

10mm6mm

15mm20mm

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

25mm－－30mm－－40mm－

4×10

－

－－－

3.5×7

－

－－－

2×4

－

－－－－

－－

－－－－－－

10

－

－－－

13薄形／薄形リブ付

－

－－－

16

－

－－－50mm

ねじ径・配管径

M3×0.5M5×0.8Rc －

－

－

－－

－

－

－

－

－

－

－

－－

記号

B3B5B01

ø4ナイロンチューブN4ø6ナイロンチューブN6ø4ウレタンチューブU4ø6ウレタンチューブU6

ø4チューブ04

ø2～ø82×4,3.5×7,4×10

薄形シリーズø10～ø16

－

ø10～ø32 ø40・ø50

－

－

－－

ø6チューブ06ø8チューブ08M8×1A8M10×1A10M14×1A14

1 8

NPT －－N01 1 8

NPTF －－T01 1 8

めねじ

管継手

ワンタッチ

おねじ

バーブ継手

真空取出口

取付接続

表qパッド径―パッド形状

表wパッド径―ストローク

表e真空取出口―取付接続

型式表示方法

取付ねじ径M8×1M10×1M14×1

2.0±0.53.0±0.57.0±0.5

トルク値締付トルク（N・m）

1127

縦方向真空取出形／バッファ付 ZPT Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

øe

ca

db


めねじ（バッファ）取出方向／縦方向


平形、薄形、薄形リブ付、長円形バッファボディ接続

型式

ZPT02U -B -A8

ZPT04U -B -A8

ZPT06U -B -A8

ZPT08U -B -A8

A

2

4

6

8

2.6

4.8

7

9

1.2

1.6

2.5

0.8

0.5

1

B C Y 型式

ZPT2004U

ZPT3507U

ZPT4010U

a

2

3.5

4

e

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d 型式

ZPT10UT

ZPT13UT

ZPT16UT

A

10

13

16

11

14

17

B C

ZPT10CT

ZPT13CT

10

13

11

14

2.5

1

1.5

Y

0.8

1ZPT16CT 16 17

型式

ZPT 6-B -A8

ZPT 10-B -A8

ZPT 15-B -A8

ZPT 25-B -A8

D

18

23

28

38

15

77

43

92

44

82

79

94

46

843 6 5 8

EG H J G H

F：M3×0.5 F：M5×0.8

J

平形

ストローク別

長円形薄形、薄形リブ付

長円形

平形／ø2, ø4, ø6, ø8、薄形・薄形リブ付／ø10, ø13, ø16、長円形／2004, 3507, 4010

1128

ZPT Series




平形、平形リブ付、深形バッファボディ接続

型式

ZPT10 -B5-A10

A

10

13

16

12

15

18

1.7

1.8

1.2

12

12.5

21

21.5

3

3.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT13 -B5-A10UC

ZPT16 -B5-A10UC

型式

ZPT 10-B5-A10

E

ø10, ø13 ø16

F E F

32.5

42.5

52.5

23

51

77

G

62.5

72.5

68.5

106.5

116.5

152.5

162.5

33

43

53

63

73

69

107

117

153

163

UC

ZPT 20-B5-A10UC

ZPT 30-B5-A10UC

ZPT 40-B5-A10UC

ZPT 50-B5-A10UC

型式 A

10

16

12

18

15

16

B C

24

25

6

7

D Y

ZPT10D -B5-A10

ZPT16D -B5-A10

型式

ZPT D 10-B5-A10

E

ø10 ø16

F E F

35.5

45.5

55.5

23

51

77

G

65.5

75.5

71.5

109.5

119.5

155.5

165.5

36.5

46.5

56.5

66.5

76.5

72.5

110.5

120.5

156.5

166.5

ZPT D 20-B5-A10

ZPT D 30-B5-A10

ZPT D 40-B5-A10

ZPT D 50-B5-A10

平形・平形リブ付深形

ストローク別

ストローク別

ø10, ø13, ø16 ø10, ø16

深形／ø10, ø16平形・平形リブ付／ø10, ø13, ø16

1129


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器





平形・平形リブ付深形

ストローク別

ø20, ø25, ø32 ø25

型式

ZPT20 -B5-A10

A

20

25

32

23

28

35

1.7

1.8

2.3

14

14.5

23

23.5

4

4.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT25 -B5-A10UC

ZPT32 -B5-A10UC

型式 E

40.5

50.5

76.5

114.5

F

60.5 124.5

70.5 160.5

80.5 170.5

23

51

77

G

ZPT25D 10-B5-A10

ZPT25D 20-B5-A10

ZPT25D 30-B5-A10

ZPT25D 40-B5-A10

ZPT25D 50-B5-A10

型式

ZPT 10-B5-A10

E

ø20, ø25 ø32

F E F

34.5

44.5

54.5

23

51

77

G

64.5

74.5

70.5

108.5

118.5

154.5

164.5

35

45

55

65

75

71

109

119

155

165

UC

ZPT 20-B5-A10UC

ZPT 30-B5-A10UC

ZPT 40-B5-A10UC

ZPT 50-B5-A10UC

深形／ø25平形・平形リブ付／ø20, ø25, ø32

1130

ZPT Series





平形・平形リブ付

ストローク別

深形

ø40, ø50 ø40

型式 A

40

50

43

53

18.5

19.5

32

33

6.5

7.5

3.3

3.8

B C D平形

Y

平形リブ付

ZPT50 - -A14UC

ZPT40 - -A14UC

型式

ZPT40D 10- -A14

E

55

65

75

95

K

50

75

124

179

120

134

127

182

121.5

1375 10 13

F H J F

G：M5×0.8 G：（Rc,NPT,NPTF）

J

ZPT40D 20- -A14

ZPT40D 30- -A14

ZPT40D 50- -A14

1 8

型式

ZPT 10- -A14

E G：M5×0.8 G：（Rc,NPT,NPTF）

ø40 ø50 H JF

44.5

54.5

64.5

84.5

45.5

55.55 10 13

65.5

85.5

109.5

113.5

123.5

168.5

110.5

ø40 ø50J

F K

ø40 ø50

114.5

124.5

169.5

111

116.5

126.5

171.5

50

75

112

117.5

127.5

172.5

UC

ZPT 20- -A14UC

ZPT 30- -A14UC

ZPT 50- -A14UC

1 8

深形／ø40平形・平形リブ付／ø40, ø50

1131


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器




ベロウ形バッファボディ接続

ベロウ形

ストローク別ストローク別

ø6, ø8ベロウ形

ø10, ø13, ø16

型式

ZPT06B -B -A8

ZPT08B -B -A8

A

6

8

7

9

3.3

4.7 10

9

B L M

型式

ZPT B 6-B -A8

ZPT B 10-B -A8

ZPT B 15-B -A8

ZPT B 25-B -A8

C

19

24

29

39

15

78

43

93

45

83

80

95

47

853 6 5 8

DE G H E G

F：M3×0.5 F：M5×0.8

H

型式

ZPT10B -B5-A10

A

10

13

16

B

12

15

18

C

16

18.5

20

D

25

27.5

29

L

6

9

10

M

14

19

21

Y

5.5

7.5

8.5

ZPT13B -B5-A10

ZPT16B -B5-A10

型式

ZPT B 10-B5-A10

E

ø10 ø13 ø16

36.5

46.5

56.5

F

72.5

110.5

120.5

E

39

49

59

F

75

113

123

E

40.5

50.5

60.5

F

76.5

114.5

124.5

66.5 156.5 69 159 70.5 160.5

76.5 166.5 79 169 80.5 170.5

G

23

51

77

ZPT B 20-B5-A10

ZPT B 30-B5-A10

ZPT B 40-B5-A10

ZPT B 50-B5-A10

ベロウ形／ø10, ø13, ø16ベロウ形／ø6, ø8

1132

ZPT Series





ベロウ形

ø20, ø25, ø32ベロウ形


ø40, ø50

型式

ZPT20B -B5-A10

A

20

25

32

B

22

27

34

C

23.5

24

29

D

32.5

33

38

L

12

16

19

M

25

28

37

Y

10.5

14

ZPT25B -B5-A10

ZPT32B -B5-A10

型式

ZPT40B - -A14

A

40

50

B

43

53

C

34

38

D

47.5

51.5

L

24

32

M

48

57

Y

16

19ZPT50B - -A14

型式

ZPT B 10-B5-A10

E

ø20 ø25 ø32

44

54

64

F

80

118

128

E

44.5

54.5

64.5

F

80.5

118.5

128.5

E

49.5

59.5

69.5

F

85.5

123.5

133.5

74 164 74.5 164.5 79.5 169.5

84 174 84.5 174.5 89.5 179.5

G

23

51

77

ZPT B 20-B5-A10

ZPT B 30-B5-A10

ZPT B 40-B5-A10

ZPT B 50-B5-A10

型式

ZPT B 10- -A14

E G：M5×0.8 G：（Rc,NPT,NPTF）

ø40 ø50 H JF

60

70

80

100

64

745 10 13

84

104

125

129

139

184

129

ø40 ø50J

F K

ø40 ø50

133

143

188

126.5

132

142

187

50

75

130.5

136

146

191

ZPT B 20- -A14

ZPT B 30- -A14

ZPT B 50- -A14

1 8

ベロウ形／ø40, ø50ベロウ形／ø20, ø25, ø32

1133


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


ワンタッチ管継手（バッファ）取出方向／縦方向


平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形バッファボディ接続

平形長円形

長円形

薄形、薄形リブ付

ストローク別

型式

ZPT02U -0 -A8

ZPT04U -0 -A8

ZPT06U -0 -A8

ZPT08U -0 -A8

A

2

4

6

8

2.6

4.8

7

9

1.2

1.6

2.5

0.8

0.5

1

B C Y

型式

ZPT 6-0 -A8

ZPT 10-0 -A8

ZPT 15-0 -A8

ZPT 25-0 -A8

D

18

23

28

38

15

93

43

108

60

98

94

109

61

99

EG：4 G：6

F

型式

ZPT2004U

ZPT3507U

ZPT4010U

a

2

3.5

4

øe

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d 型式

ZPT10UT

ZPT13UT

ZPT16UT

A

10

13

16

11

14

17

B C

ZPT10CT

ZPT13CT

10

13

11

14

2.5

1

1.5

Y

0.8

1ZPT16CT 16 17

øe

cadb


1134

ZPT Series






ø10, ø13, ø16深形

ø10, ø16

ストローク別

ストローク別

型式

ZPT10 -0 -A10

A

10

13

16

12

15

18

1.7

1.8

1.2

12

12.5

21

21.5

3

3.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT13 -0 -A10UC

ZPT16 -0 -A10UC

型式 A

10

16

12

18

15

16

B C

24

25

6

7

D Y

ZPT10D -0 -A10

ZPT16D -0 -A10

型式 F

ø10, ø13

ZPT 10-0 -A10

E

32.5

42.5

52.5

82.5

G：4 G：6 G：4 G：6

120.5

130.5

83.5

121.5

131.5

23

51

77

UC

62.5 166.5 167.5

72.5 176.5 177.5

F H

ø16

E

33

43

53

83

121

131

84

122

132

63 167 168

73 177 178

ZPT 20-0 -A10UC

ZPT 30-0 -A10UC

ZPT 40-0 -A10UC

ZPT 50-0 -A10UC

型式 F

ø10

ZPT D 10-0 -A10

E

35.5

45.5

55.5

85.5

G：4 G：6 G：4 G：6

123.5

133.5

86.5

124.5

134.5

23

51

7765.5 169.5 170.5

75.5 179.5 180.5

F H

ø16

E

36.5

46.5

56.5

86.5

124.5

134.5

87.5

125.5

135.5

66.5 170.5 171.5

76.5 180.5 181.5

ZPT D 20-0 -A10

ZPT D 30-0 -A10

ZPT D 40-0 -A10

ZPT D 50-0 -A10


1135


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器






ø20, ø25, ø32深形

ø25

ストローク別

型式

ZPT20 -0 -A10

A

20

25

32

23

28

35

1.7

1.8

2.3

14

14.5

23

23.5

4

4.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT25 -0 -A10UC

ZPT32 -0 -A10UC

型式 F

ø20, ø25

ZPT 10-0 -A10

E

34.5

44.5

54.5

84.5

G：4 G：6 G：4 G：6

122.5

132.5

85.5

123.5

133.5

23

51

77

UC

64.5 168.5 169.5

74.5 178.5 179.5

F H

ø32

E

35

45

55

85

123

133

86

124

134

65 169 170

75 179 180

ZPT 20-0 -A10UC

ZPT 30-0 -A10UC

ZPT 40-0 -A10UC

ZPT 50-0 -A10UC

型式F

ZPT25D 10-0 -A10

E

40.5

50.5

60.5

90.5

G：4 G：6

128.5

138.5

91.5

129.5

139.5

70.5 174.5 175.5

80.5 184.5 185.5

H

23

51

77

ZPT25D 20-0 -A10

ZPT25D 30-0 -A10

ZPT25D 40-0 -A10

ZPT25D 50-0 -A10


1136

ZPT Series






ø40, ø50深形

ø40

ストローク別

型式

ZPT40 -0 -A14

A

40

50

43

53

18.5

19.5

32

33

3.3

3.8

6.5

7.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT50 -0 -A14UC

型式 F

ø40

ZPT 10-0 -A14

E

44.5

54.5

64.5

129.5

G：6 G：8 G：6 G：8

124.4

134.4

135

129.4

139.4

UC

84.5 179.4 184.4

F H

ø50

E

45.5

55.5

65.5

130.5

125.4

135.4

136

130.4

140.4

85.5 180.4 185.4

50

75

ZPT 20-0 -A14UC

ZPT 30-0 -A14UC

ZPT 50-0 -A14UC

型式F

ZPT40D 10-0 -A14

E

55

65

75

140

G：6 G：8

134.9

144.9

145.5

139.9 50

149.9

95 189.9 194.9 75

H

ZPT40D 20-0 -A14

ZPT40D 30-0 -A14

ZPT40D 50-0 -A14


1137


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器





ベロウ形


ø10, ø13, ø16


型式

ZPT06B -0 -A8

ZPT08B -0 -A8

A

6

8

7

9

3.3

4.7 10

9

B J K 型式

ZPT10B -0 -A10

A

10

13

B

12

15

C

16

18.5

D

25

27.5

J

6

9

K

14

19

Y

5.5

7.5

16 18 20 29 10 21 8.5

ZPT13B -0 -A10

ZPT16B -0 -A10

型式

ZPT B 6-0 -A8

ZPT B 10-0 -A8

ZPT B 15-0 -A8

ZPT B 25-0 -A8

C

19

24

29

39

15

94

43

109

61

99

95

110

62

100

DF：4 F：6

E

型式

ZPT B 10-0 -A10

ø10 ø13 ø16

E E EF

36.5

46.5

56.5

66.5

86.5

124.5

134.5

170.5

87.5

G：4 G：6

F H

G：4 G：6

125.5

135.5

171.5

89

127

137

173

51

77

90

128

138

174

ZPT B 20-0 -A10

ZPT B 30-0 -A10

ZPT B 40-0 -A10

ZPT B 50-0 -A10

F

G：4 G：6

90.5

128.5

138.5

174.5

91.5 23

129.5

139.5

185.5

76.5 180.5181.5 183 184

39

49

59

69

40.5

50.5

60.5

70.5

79 80.5184.5185.5


1138

ZPT Series





ベロウ形


ø40, ø50


型式

ZPT20B -0 -A10

A

20

25

B

22

27

C

23.5

24

D

32.5

33

J

12

16

K

25

28

Y

10.5

32 34 29 38 19 37 14

ZPT25B -0 -A10

ZPT32B -0 -A10

型式

ZPT40B -0 -A14

A

40

50

B

43

53

C

34

38

D

47.5

51.5

J

24

32

K

48

57

16

19

Y

ZPT50B -0 -A14

型式

ZPT B 10-0 -A10

ø20 ø25 ø32

E E EF

44

54

64

74

94

132

142

178

95

G：4 G：6

F H

G：4 G：6

133

143

179

94.5

132.5

142.5

178.5

51

77

95.5

133.5

143.5

179.5

ZPT B 20-0 -A10

ZPT B 30-0 -A10

ZPT B 40-0 -A10

ZPT B 50-0 -A10

F

G：4 G：6

99.5

137.5

147.5

183.5

100.5 23

138.5

148.5

184.5

84 188 189 188.5189.5

44.5

54.5

64.5

74.5

49.5

59.5

69.5

79.5

84.5 89.5 193.5194.5

型式 F

ø40

ZPT B 10-0 -A14

E

60

70

80

145

G：6 G：8 G：6 G：8

139.9

149.9

150.5

144.9

154.9

100 194.9 199.9

F H

ø50

E

64

74

84

149

143.9

153.9

154.5

148.9

158.9

104 198.9 203.9

50

75

ZPT B 20-0 -A14

ZPT B 30-0 -A14

ZPT B 50-0 -A14


1139


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


バーブ継手付（バッファ）取出方向／縦方向


平形、薄形、薄形リブ付、長円形バッファボディ接続

平形長円形

長円形


ストローク別

型式

ZPT02U - 4-A8

A

2

4

6

8

2.6

4.8

7

9

1.2

1.6

2.5

0.8

0.5

1

B C Y

ZPT04U - 4-A8

ZPT06U - 4-A8

ZPT08U - 4-A8

型式

ZPT 6- 4-A8

D

18

23

28 85

38 95

15

43

47

80

E F

ZPT 10- 4-A8

ZPT 15- 4-A8

ZPT 25- 4-A8

型式

ZPT2004U

ZPT3507U

ZPT4010U

a

2

3.5

4

e

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d 型式

ZPT10UT

ZPT13UT

ZPT16UT

A

10

13

16

11

14

17

B C

ZPT10CT

ZPT13CT

10

13

11

14

2.5

1

1.5

Y

0.8

1ZPT16CT 16 17

øe

ca

db


1140

ZPT Series






ø10, ø13, ø16深形

ø10, ø16

ストローク別

ストローク別

型式

ZPT10 - 6-A10

A

10

13

12

1512 21

1.7

1.83

16 18 12.5 21.5 1.23.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT13 - 6-A10UC

ZPT16 - 6-A10UC

型式

ZPT 10- 6-A10

E

ø10, ø13 ø16

F E F

32.5

42.5

52.5

23

51

77

G

62.5

72.5

70.5

108.5

118.5

154.5

164.5

33

43

53

63

73

71

109

119

155

165

UC

ZPT 20- 6-A10UC

ZPT 30- 6-A10UC

ZPT 40- 6-A10UC

ZPT 50- 6-A10UC

型式 A

10

16

12

18

15

16

B C

24

25

6

7

D Y

ZPT10D - 6-A10

ZPT16D - 6-A10

型式

ZPT D 10- 6-A10

E

ø10 ø16

F E F

35.5

45.5

55.5

23

51

77

G

65.5

75.5

73.5

111.5

121.5

157.7

167.5

36.5

46.5

56.5

66.5

76.5

74.5

112.5

122.5

158.5

168.5

ZPT D 20- 6-A10

ZPT D 30- 6-A10

ZPT D 40- 6-A10

ZPT D 50- 6-A10


1141


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器






ø20, ø25, ø32深形

ø25

ストローク別

型式

ZPT20 - 6-A10

A

20

25

32

23

28

35

1.7

1.8

2.3

14

14.5

23

23.5

4

4.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT25 - 6-A10UC

ZPT32 - 6-A10UC

型式

ZPT 10- 6-A10

E

ø20, ø25 ø32

F E F

34.5

44.5

54.5

23

51

77

G

64.5

74.5

72.5

110.5

120.5

156.5

166.5

35

45

55

65

75

73

111

121

157

167

UC

ZPT 20- 6-A10UC

ZPT 30- 6-A10UC

ZPT 40- 6-A10UC

ZPT 50- 6-A10UC

型式

ZPT25D 10- 6-A10

E

40.5

50.5

60.5

70.577

78.5

126.5

80.5

116.5

162.5

172.5

23

51

F G

ZPT25D 20- 6-A10

ZPT25D 30- 6-A10

ZPT25D 40- 6-A10

ZPT25D 50- 6-A10


1142

ZPT Series






ø40, ø50深形

ø40

ストローク別

型式

ZPT40 - 6-A14

A

40

50

43

53

18.5

19.5

32

33

3.3

3.8

6.5

7.5

B C D平形

Y

平形リブ付UC

ZPT50 - 6-A14UC

型式

ZPT 10- 6-A14

E

ø40 ø50

F E F

44.5

54.5

64.5

G

84.5

113.5

116.5

126.5

171.5

45.5

55.5

65.5

85.5

114.5

117.5

127.5

172.5

50

75

UC

ZPT 20- 6-A14UC

ZPT 30- 6-A14UC

ZPT 50- 6-A14UC

型式

ZPT40D 10- 6-A14

E

55

65

75

124

137

95

127

182

50

75

F G

ZPT40D 20- 6-A14

ZPT40D 30- 6-A14

ZPT40D 50- 6-A14


1143


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器





ベロウ形


ø10, ø13, ø16


型式

ZPT06B - 4-A8

ZPT08B - 4-A8

A

6

8

7

9

3.3

4.7 10

9

B H J

型式

ZPT B 6- 4-A8

ZPT B 10- 4-A8

ZPT B 15- 4-A8

ZPT B 25- 4-A8

C

19

24

29

39

15

81

43

96

48

86

D E

型式

ZPT10B - 6-A10

A

10

13

B

12

15

C

16

18.5

D

25

27.5

H

6

9

J

14

19

Y

5.5

7.5

16 18 20 29 10 21 8.5

ZPT13B - 6-A10

ZPT16B - 6-A10

型式

ZPT B 10- 6-A10

E

ø10 ø13 ø16

36.5

46.5

56.5

F

74.5

112.5

122.5

E

39

49

59

F

77

115

125

E

40.5

50.5

60.5

F

78.5

116.5

126.5

66.5 158.5 69 161 70.5 162.5

76.5 168.5 79 171 80.5 172.5

G

23

51

77

ZPT B 20- 6-A10

ZPT B 30- 6-A10

ZPT B 40- 6-A10

ZPT B 50- 6-A10


1144

ZPT Series





ベロウ形


ø40, ø50


型式

ZPT20B - 6-A10

A

20

25

B

22

27

C

23.5

24

D

32.5

33

H

12

16

J

25

28

Y

10.5

32 34 29 38 19 37 14

ZPT25B - 6-A10

ZPT32B - 6-A10

型式

ZPT B 10- 6-A10

E

ø20 ø25 ø32

44

54

64

F

82

120

130

E

44.5

54.5

64.5

F

82.5

120.5

130.5

E

49.5

59.5

69.5

F

87.5

125.5

135.5

74 166 74.5 166.5 79.5 171.5

84 176 84.5 176.5 89.5 181.5

G

23

51

77

ZPT B 20- 6-A10

ZPT B 30- 6-A10

ZPT B 40- 6-A10

ZPT B 50- 6-A10

型式

ZPT40B - 6-A14

A

40

50

B

43

53

C

34

38

D

47.5

51.5

H

24

32

J

48

57

Y

16

19ZPT50B - 6-A14

型式

ZPT B 10- 6-A14

E

ø40 ø50

60

70

80

F

129

132

142

E

64

74

84

F

133

136

146

100 187 104 191

50

75

G

ZPT B 20- 6-A14

ZPT B 30- 6-A14

ZPT B 50- 6-A14


1145


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付

ZPR Series標準仕様

パッドの種類


取出方向横方向ワンタッチ管継手接続方法

長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8

ø10～ø16

ø20～ø32

ø40～ø50

接続方法おねじめねじ

M4×0.7、M5×0.8

ø4、ø6チューブ

M5×0.8、M6×1

M5×0.8、M6×1


M5×0.8、M6×1

ø4、ø6、ø8チューブ

M6×1、M8×1

M6×1、M8×1

M5×0.8、M6×1、M8×1.25


M6×1、M8×1.25

長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8

ø10～ø16

ø20～ø32

ø40～ø50

チューブ径

ねじ径

真空取出口

取付接続

パッド形状

パッド径mm

10、13、16、20、25、32、40、50



平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、2025、32、40、50

6、8、10、13、16、20、25、32、40、50


10、13、16

薄形/薄形リブ付

10、16、25、40

（g）

型式平形平形リブ付深形ベロウ形

M4

―（19）

26（20）

27（―）

―

29（23）

31（21）

29（23）

31（22）

29（23）

30（22）

29（23）

31（22）

―

―

― ― ― ― ―

― ― ―

―

―

―

―

―

―

―― ―

― ―

―

―（51）

57（50）

61（48）

―

―

―

31（23）

31（22）

―（51）

65（50）

68（48）

―（51）

57（50）

61（48）

―（51）

57（50）

61（48）

― ― ―64（56）

67（54）

64（56）

67（54）

65（57）

68（55）

64（56）

67（54）

66（58）

69（56）

― ― ―66（58）

69（56）

67（59）

70（57）

―

― ― ― ― ― ― ―

M5 M6 M8 M5 M6 M8 M5 M6 M8 M4 M5 M6 M8

パッド形状

接続

ZPR02～082004,3507,4010薄形シリーズ10～16

ZPR10

ZPR13

ZPR16

ZPR20

ZPR25

ZPR32

ZPR40

ZPR50

（19）ø2、ø4除く

26（20）ø2、ø4除く

27（―）ø2、ø4除く

※（）内数値はめねじの場合。

RoHS

1146

ZPRシリーズバッファなし

パッド径

真空取出口

パッド形状

材質

ZPR U N02 04取付接続ねじ

A5

NS




材質

取付接続ねじ（適用は下表wを参照ください）

真空取出口（適用は下表wを参照ください）02

042

4010 4×103507 3.5×72004 2×4

406 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50

UC






－－

ø4チューブ

ねじ径・配管径記号接続

ø2～ø82×43.5×74×10


ø10～ø16 ø40～ø50

－ø6チューブ06

－－

－

ø20～ø32

ø8チューブ08M5×0.8A5M6×1A6M8×1A8

－

－

－－

－M4×0.7B4M5×0.8B5M6×1B6

－－

－M8×1.25B8

管継手

ワンタッチ

おねじ

めねじ

取付接続

真空取出口

04

径mm形状

2

－－

－－

－－

－－－－－－

－－


深形ベロウ形

4×10

－－－

3.5×7

－－－

2×4

－－－

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

－－薄形－－－－－

－－－－

－－－－

－－－－


型式表示方法


表w真空取出口―取付接続

1147

ZPR Series横方向真空取出形／バッファなしワンタッチ管継手付

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


ワンタッチ管継手取出方向／横方向


平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ

平形、薄形、薄形リブ付

平形

平形リブ付長円形

深形／ZPR10D, 16Dのみ

型式 A B C Y

ZPR02U 2468

2.64.879

1.21.6 0.8

0.5

2.52.5

DI：M5×0.8 I：M6×1

E D E

20 65.5 25 70.5

1

ZPR04UZPR06UZPR08U

平形


深形

適用チューブ

適用チューブ

長円形


適用チューブ外径 P Q Rø4 4

620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6

型式

ZPR2004U

ZPR3507U

ZPR4010U

a

2

3.5

4

e

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d

※D,E寸法は同じになります。

型式

ZPR10UT

ZPR13UT

ZPR16UT

A10

13

16

11

14

17

1

1.5

B Y

ZPR10CT

ZPR13CT

10

13

11

14

0.8

1ZPR16CT 16 17

※D,E寸法は同じになります。

型式 A B C D E FG H G H 平形平形リブ付

I：M5×0.8 I：M6×1 Y

ZPR10 10

13

16

1212

15 20 25

18

21

12.5

29.9

21.5

46

30.4 46.5

67

67.5

72

72.5

3

3.5 1.2

1.8

1.7

ZPR13

ZPR16

UCUCUC

型式 A B C D E F YG H G H

I：M5×0.8 I：M6×1

ZPR10D 1016

1218 16 25 33.9 50 71 76 7

15 24 32.9 4920 25

70 75 6ZPR16D


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6

øe

ca

db

呼び径／ø10, ø13, ø16呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010

1148

ZPR Series




平形、平形リブ付、深形おねじ


深形

適用チューブ


深形

適用チューブ

平形

平形リブ付

深形／ZPR40Dのみ

平形リブ付



I：M6×1 I：M8×1 Y

ZPR20 20

25

32

2314

28 25 15

35

29

14.5

39.8

29.5

57.6

40.3 58.1

83.5

84

73.5

74

4

4.5 2.3

1.8

1.7

ZPR25

ZPR32

UCUCUC


I：M6×1 I：M8×1 Y

ZPR40 40

50

43 18.5 32 42.8 60.625

86.515

76.5 6.5

53 19.5 33 43.8 61.6 87.5 77.5 7.5 3.8

3.3

ZPR50

UCUC


I：M6×1 I：M8×1

ZPR25D 25 28 20 35 48.5 63.6 89.525 15 79.5 10


I：M6×1 I：M8×1

ZPR40D 40 43 29 42.5 53.3 71.1 9725 15 87 17


623.324.3

15.816.8

S10.412.8ø6

8 26.2 18.7 15.2ø8


824.326.2

16.818.7

S12.815.2ø8

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø20, ø25, ø32

1149


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器




ベロウ形おねじ


適用チューブ

適用チューブ

適用チューブ

適用チューブ


型式 A B C YLK

ZPR06B 68

79

3.34.7

910

2.5 20 66.5 25 71.5 4

DI：M5×0.8 I：M6×1

E D E

ZPR08B


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6

型式 A B C D E F K L YG H G H

I：M6×1 I：M8×1

ZPR20B 2025

22 23.5 38.5 49.3 67.1 93 83 1227 24 39 49.8 67.6 93.525 15 83.5 16 28

2510.510.5

ZPR25B32 34 29 44 54.8 72.6 98.5 88.5 19 37 14ZPR32B


623.324.3

15.816.8

S10.412.8ø6

8 26.2 18.7 15.2ø8


I：M5×0.8 I：M6×1

ZPR10B 1013

12 16 25 33.9 50 71 76 615 18.5 27.5 36.4 52.5 73.520 25 78.5 9 19

147.55.5

ZPR13B16 18 20 29 37.9 54 75 80 10 21 8.5ZPR16B


I：M6×1 I：M8×1

ZPR40B 4050

43 34 47.5 58.3 76.1 102 92 2453 38 51.5 62.3 80.1 106

25 1596 32 57

481916

ZPR50B


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6


824.326.2

16.818.7

S12.815.2ø8

呼び径／ø20, ø25, ø32呼び径／ø6, ø8

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16

1150

ZPR Series

øe

ca

db




平形、平形リブ付、深形、薄形、薄形リブ付、長円形めねじ

平形

適用チューブ

長円形

薄形・薄形リブ付


深形

適用チューブ

平形

平形リブ付

深形／ZPR10D, 16Dのみ


長円形

型式 A B C Y

ZPR02U 2468

2.64.879

1.2D D

4 5

H：M4×0.7 H：M5×0.8

1.62.52.5

0.8

0.5

1

ZPR04UZPR06UZPR08U


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6

型式

ZPR2004U

ZPR3507U

ZPR4010U

a

2

3.5

4

e

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d

※D寸法は同じになります。

型式

ZPR10UT

ZPR13UT

ZPR16UT

A

10

13

16

11

14

17

1

1.5

B

2.5

C Y

ZPR10CT

ZPR13CT

10

13

11

14

0.8

1ZPR16CT 16 17

※D寸法は同じになります。

型式 A B C D E FG G 平形平形リブ付

H：M5×0.8 H：M6×1 Y

ZPR10 10

13

16

1212

15 5 6

18

21

12.5

29.9

21.5

46

30.4 46.5

3

3.5 1.2

1.8

1.7

ZPR13

ZPR16

UCUCUC

型式 A B C D E F YG G

H：M5×0.8 H：M6×1

ZPR10D 1016

1218

1516

2425

32.933.9

4950

5 6 67ZPR16D


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6

呼び径／ø10, ø13, ø16呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010

1151


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器




平形、平形リブ付、深形めねじ

平形

平形リブ付


平形

平形リブ付



深形

適用チューブ


深形

適用チューブ

型式 A B C D E FG G G 平形平形リブ付

H：M5×0.8 H：M6×1 H：M8×1.25 Y

ZPR20 20

25

32

23

2814

5 6 8

35

29

14.5

39.8

29.5

57.6

40.3 58.1

4

4.5 2.3

1.8

1.7

ZPR25

ZPR32

UCUCUC

型式 A B C D E F YG G G

H：M5×0.8 H：M6×1 H：M8×1.25

ZPR25D 25 28 20 35 45.8 63.6 5 6 8 10


623.324.3

15.816.8

S10.412.8ø6

8 26.2 18.7 15.2ø8

型式 A B C D E FG G 平形平形リブ付

H：M6×1 H：M8×1.25 Y

ZPR40 40

50

43

53 19.5 33 43.8 61.6 7.5

18.5 32 42.8 60.66 8

6.5

3.8

3.3

ZPR50

UCUC

型式 A B C D E F YG G

H：M6×1 H：M8×1.25

ZPR40D 40 43 29 42.5 53.3 71.1 6 8 17


824.326.2

16.818.7

S12.815.2ø8

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø20, ø25, ø32

1152

ZPR Series




ベロウ形めねじ


適用チューブ適用チューブ



型式 A B C YLK

ZPR06B 68

79

3.34.7

910

2.5 4 5 4

DH：M4×0.7 H：M5×0.8

D

ZPR08B


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6

型式 A B C D E F K L YG G G

H：M5×0.8H：M6×1 H：M8×1.25

ZPR20B 2025

22 23.538.549.3 67.1 1227 24 39 49.8 67.6 5 6 8 16 28

2510.510.5

ZPR25B32 34 29 44 54.8 72.6 19 37 14ZPR32B


623.324.3

15.816.8

S10.412.8ø6

8 26.2 18.7 15.2ø8

型式 A B C D E F K L YG

ZPR10B 1013

12 16 25 33.9 50 615 18.527.536.4 52.5 5

GH：M5×0.8 H：M6×1

6 9 19147.55.5

ZPR13B16 18 20 29 37.9 54 10 21 8.5ZPR16B

型式 A B C D E F K L YG

ZPR40B 4050

43 34 47.558.3 76.1 2453 38 51.562.3 80.1 6

GH：M6×1 H：M8×1.25

8 32 5748

1916

ZPR50B


620.621.6

15.616.6

S10.412.8ø6


824.326.2

16.818.7

S12.815.2ø8

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16


1153


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付

ZPR Series

取出方向横方向ワンタッチ管継手付


ø4、ø6チューブø4、ø6、ø8チューブ


M8×1おねじ


接続方法長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8

ø10～ø16

ø20～ø32

ø40～ø50

長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8

ø10～ø16

ø20～ø32

ø40～ø50

適用チューブ径

ねじ径

真空取出口

取付接続

パッド形状

パッド径mm

10、13、16、20、25、32、40、50



平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50

6、8、10、13、16、20、25、32、40、50


10、13、16


10、16、25、40

（g）

ストローク（mm）真空取出口

型式

パッド形状平形・平形リブ付深形ベロウ形

04 06 08 04 06 08 04 06 08

2004,3507,4010ZPR02～08

薄形シリーズ（10～16）38

〜10

16

6

10 ZPR

10 ZPR2025

ZPR 324050

ZPRZPR

39

54

56

39

40

55

39

55

40

56

57

38

40

57

61

126

132

39

41

58

62

138

145

59

63

139

146

56

58

127 128

57

129

13310

（g）

型式 10 15 20 25 30 40 50

＋7 ＋8

＋12

－6

＋14＋26

－2

＋28

＋30

＋9

ストローク（mm）

ZPR02～08ZPR10～25ZPR40・50

仕様

パッドの種類

質量表





6、10、15、25

0.8

1.2

10、20、30、40、50

1.0

3.0

10、20、30、50

2.0

5.0

ø2～ø8


ø10～ø32 ø40、ø50


バッファ仕様

RoHS

1154

径mm形状

2

－－

－－

－－

－－－－－－

－－


深形ベロウ形

4×10

－－－

3.5×7

－－－

2×4

－－－

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

－－薄形－－－－－

－－－－

－－－－

－－－－



2

－－－－－－－－

－－－－－－－－

－－

－－

－－－－－－－－

10mm6mm

15mm20mm

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

25mm－－30mm－－40mm－

4×10

－

－－－

3.5×7

－

－－－

2×4

－

－－－－

－－

－－－－－－

10

－

－－－


－

－－－

16

－

－－－50mm

－－

－

ø4チューブ

ねじ径・配管径記号

ø2～ø82×4,

3.5×7,4×10ø10～ø16

（薄形シリーズ）

ø10～ø16 ø40・ø50

－ø6チューブ06

－－

－

－

－

ø20～ø32

ø8チューブ08M8×1A8M10×1A10M14×1A14

－－

管継手

ワンタッチ

おねじ

取付接続

真空取出口

04



表e真空取出口―取付接続

型式表示方法

ZPRシリーズバッファ付 ZPR A10U16 KGS 20 06




NS




パッド材質


バッファ仕様

0204

24010 4×103507 3.5×72004 2×4

406 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50

UC






取付ねじ径M8×1M10×1M14×1

2.0±0.53.0±0.57.0±0.5

トルク値締付トルク（N・m）

1155

ZPR Series横方向真空取出形／バッファ付ワンタッチ管継手付

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器




平形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ

平形長円形薄形、薄形リブ付

長円形

ストローク別

型式

ZPR02U -0 -A8

ZPR04U -0 -A8

ZPR06U -0 -A8

ZPR08U -0 -A8

A

2

4

6

8

2.6

4.8

7

9

1.2

1.6

2.5

0.8

0.5

1

B C Y

型式

ZPR 6-0 -A8

ZPR 10-0 -A8

ZPR 15-0 -A8

ZPR 25-0 -A8

D

52.5

55.5

60.5

70.5

E

78.5

109.5

114.5

124.5

F

15

4310.4

H

20.6

J

12.8

H

21.6

J

G：4 G：6

型式

ZPR2004U

ZPR3507U

ZPR4010U

a

2

3.5

4

e

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d 型式

ZPR10UT

ZPR13UT

ZPR16UT

A

10

13

16

11

14

17

1

1.5

B

2.5

C Y

ZPR10CT

ZPR13CT

10

13

11

14

0.8

1ZPR16CT 16 17

øe

ca

db


1156

ZPR Series






ø10, ø13, ø16深形

平形リブ付

ø10, ø16

ストローク別

ストローク別

ワンタッチ管継手

型式

ZPR10 -0 A10

A

10

13

12

1512 21

1.7

1.83

16 18 12.5 21.5 1.23.5

B C D

29.9

30.4

E

46

46.5

F平形

Y

平形リブ付UC

ZPR13 -0 A10UC

ZPR16 -0 A10UC

型式

ZPR 10-0 -A10

G

ø10, ø13 ø16

H G H

57

67

77

23

51

77

J

87

97

91

129

139

175

185

57.5

67.5

77.5

87.5

97.5

91.5

129.5

139.5

175.5

185.5

UC

ZPR 20-0 -A10UC

ZPR 30-0 -A10UC

ZPR 40-0 -A10UC

ZPR 50-0 -A10UC

型式

ZPR10D -0 -A10

A

10

16

B

12

18

C

15

16

D

24

25

E

32.9

33.9

F

49

50

Y

6

7ZPR16D -0 -A10

型式

ZPR D 10-0 -A10

G

ø10 ø16

H G H

60

70

80

23

51

77

J

90

100

83

132

142

178

188

61

71

81

91

101

84

133

143

179

189

ZPR D 20-0 -A10

ZPR D 30-0 -A10

ZPR D 40-0 -A10

ZPR D 50-0 -A10

型式 K

4

6

10.4

12.8

L

20.6

21.6

M

ZPR -04-A10

ZPR -06-A10


1157


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器






平形リブ付

ø20, ø25, ø32深形

ø25

ストローク別ワンタッチ管継手

型式

ZPR20 -0 -A10

A

20

25

23

2814 29

1.7

1.84

32 35 14.5 29.5 2.34.5

B C D

39.8

40.3

E

57.6

58.1

F平形

Y

平形リブ付UC

ZPR25 -0 -A10UC

ZPR32 -0 -A10UC

型式

ZPR 10-0 -A10

G

ø20, ø25 ø32

H G H

68.6

78.6

88.6

23

51

77

J

98.6

108.6

102.6

140.6

150.6

186.6

196.6

69.1

79.1

89.1

99.1

109.6

103.1

141.1

151.1

187.1

197.1

UC

ZPR 20-0 -A10UC

ZPR 30-0 -A10UC

ZPR 40-0 -A10UC

ZPR 50-0 -A10UC

型式

ZPR25D 10-0 -A10

G

74.6

84.6

94.6

108.6 23

156.6

104.6

146.6

192.6

51

77

H J

ZPR25D 20-0 -A10

ZPR25D 30-0 -A10

ZPR25D 40-0 -A10

114.6 202.6ZPR25D 50-0 -A10

型式 K

4

6

10.4

12.8

L

23.3

24.3

M

ZPR -04-A10

ZPR -06-A10

8 15.2 26.2ZPR -08-A10


1158

ZPR Series






平形リブ付

ø40, ø50深形

ø40

ストローク別ワンタッチ管継手

型式

ZPR40 -0 A14

A

40 43 3.3

50 53 19.5 33 3.87.5

B C D

43.8

E

61.6

18.5 32 6.542.8 60.6

F平形

Y

平形リブ付UC

ZPR50 -0 A14UC

型式

ZPR 10-0 -A14

G

ø40 ø50

H G H

72.6

82.6

92.6

J

112.6

140.6

137.6

147.6

192.6

73.6

83.6

93.6

113.6

141.6

138.6

148.6

193.6

50

75

UC

ZPR 20-0 -A14UC

ZPR 30-0 -A14UC

ZPR 50-0 -A14UC

型式

ZPR40D 10-0 -A14

G

83.1

93.1

103.1

151.1

158.1

148.1

H J

ZPR40D 20-0 -A14

ZPR40D 30-0 -A14

123.1 203.1

50

75ZPR40D 50-0 -A14

型式 K

6

8

12.8

15.2

L

24.3

26.2

M

ZPR -06-A14

ZPR -08-A14


1159


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器





ベロウ形


ø10, ø13, ø16


型式

ZPR06B -0 -A8

ZPR08B -0 -A8

A

6

8

7

9

3.3

4.7

9

10

B N P

型式

ZPR B 6-0 -A8

ZPR B 10-0 -A8

ZPR B 15-0 -A8

ZPR B 25-0 -A8

C

53.5

56.5

61.5

71.5

D

79.5

110.5

115.5

125.5

E

15

4310.4

G

20.6

H

12.8

G

21.6

H

F：4 F：6

型式

ZPR10B -0 -A10

A

10

13ZPR13B -0 -A10

16

B

12

15

18

C

16

18.5

20

D

25

27.5

29

E

33.9

36.4

37.9

F

50

52.5

54

N

6

9

10

P

14

19

21

Y

5.5

7.5

8.5ZPR16B -0 -A10

型式

ZPR B 10-0 -A10

ø10 ø13 ø16J

K：4 K：6

61

71

81

91

95

133

143

179

63.5

73.5

83.5

93.5

97.5

G H G H G H L M L M

135.5

145.5

181.5

51

77

10.4 20.6 12.8 21.6

ZPR B 20-0 -A10

ZPR B 30-0 -A10

ZPR B 40-0 -A10

101 189 103.5 191.5

65

75

85

95

105

99 23

137

147

183

193ZPR B 50-0 -A10


1160

ZPR Series





ベロウ形


ø40, ø50


型式

ZPR20B -0 -A10

A

20

25ZPR25B -0 -A10

32

B

22

27

34

C

23.5

24

29

D

38.5

39

44

E

49.3

49.8

54.8

F

67.1

67.6

72.6

N

12

16

19

P

25

28

37

Y

10.5

14ZPR32B -0 -A10

型式

ZPR B 10-0 -A10

ø20 ø25 ø32J

K：4 K：6

78.1

88.1

98.1

108.1

112.1

150.1

160.1

196.1

78.6

88.6

98.6

108.6

112.6

G H G H G H L M L M

150.6

160.6

196.6

51

77

10.4 23.3 12.8 24.3

K：8

L M

15.2 26.2

118.1 206.1 118.6 206.6

83.6

93.6

103.6

113.6

123.6

117.6 23

155.6

165.6

201.6

211.6

ZPR B 20-0 -A10

ZPR B 30-0 -A10

ZPR B 40-0 -A10

ZPR B 50-0 -A10

型式

ZPR40B -0 -A14

A

40

50

B

43

53

C

34

38

D

47.5

51.5

E

58.3

62.3

F

76.1

80.1

N

24

32

P

48 16

57

Y

19ZPR50B -0 -A14

型式

ZPR B 10-0 -A14

ø40 ø50J

K：6 K：8

88.1

98.1

108.1

156.1

153.1

163.1

92.1

102.1

112.1

160.1

G H G H L M L M

157.1

167.112.8 24.3 15.2 26.2

ZPR B 20-0 -A14

ZPR B 30-0 -A14

128.1208.1132.1212.1

50

75ZPR B 50-0 -A14


1161


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付

ZPY Series標準仕様

パッドの種類


取出方向横方向バーブ継手付接続方法

長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50接続方法おねじめねじ

M4×0.7、M5×0.8

ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ

ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ

M5×0.8、M6×1

M5×0.8、M6×1 M5×0.8、M6×1M6×1、M8×1M6×1、M8×1

M5×0.8、M6×1、M8×1.25

ø6ナイロンチューブ、ø6ウレタンチューブ

M6×1、M8×1.25

長円（2×4、3.5×7、4×10）薄形シリーズ（ø10～ø16）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50

適用チューブ径

ねじ径

真空取出口

取付接続

パッド形状

パッド径mm

10、13、16、20、25、32、40、50



平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50

6、8、10、13、16、20、25、32、40、50


10、13、16


10、16、25、40

（g）

型式平形平形リブ付深形ベロウ形

M5 M6 M8 M5 M6 M8 M5 M6 M8 M5 M6 M8

15（11）

15 ― ― ― ― ― ― ――

33（25）

32（25）

33（25）

32（25）

33（25）

33（―）

―（25）

― ―

33（26）

31（27）

―

38（27）

32（27）

―

― ― ―

― ― ―

― ― ―

― ― ―

38（30）

―（30）

38（29）

38（30）（30）

38（29）

38（30）

―（30）

38（28）

38（30）

―（30）

38（29）

― 47（34）

― 49（35）

43（36）44

（38）

― 46（33）

― 50（37）

42（35）

― 48（35）

44（37）

― 47（34）

43（36）

― 49（35）

44（38）

46（38）

パッド形状

接続

ZPY02～08200435074010

10～16（薄形シリーズ）

ZPY10

ZPY13

ZPY16

ZPY20

ZPY25

ZPY32

ZPY40

ZPY50

15（11）ø2、ø4除く

15（11）ø2、ø4除く

※（）内数値はめねじの場合。

1162

ZPYシリーズバッファなし

パッド径

真空取出口

パッド形状

材質

ZPY U N02 N4取付接続ねじ

A5


NS




材質パッド形状

（適用は下表qを参照ください）

取付接続ねじ（適用は下表wを参照ください）

真空取出口（適用は下表wを参照ください）

型式表示方法

ø4ナイロンチューブ

ねじ径・配管径記号接続

ø2～ø82×43.5×74×10


ø10～ø16 ø40～ø50

－

－ø6ナイロンチューブN6

－－

－

ø20～ø32

ø4ウレタンチューブU4ø6ウレタンチューブU6M5×0.8A5M6×1A6M8×1A8

－

－

－－

－M4×0.7B4M5×0.8B5M6×1B6

－－

－M8×1.25B8

おねじ

バーブ継手

めねじ

取付接続

真空取出口

N4

径mm形状

2

－－

－－

－－

－－－－－－

－－


深形ベロウ形

4×10

－－－

3.5×7

－－－

2×4

－－－

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

－－薄形－－－－－

－－－－

－－－－

－－－－



表w真空取出口―取付接続

0204

24010 4×103507 3.5×72004 2×4

406 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50

UC




1163

ZPY Series横方向真空取出形／バッファなしバーブ継手付

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


バーブ継手取出方向／横方向




長円形

平形

深形／ZPY10D, 16Dのみ

平形リブ付

平形

長円形

薄形・薄形リブ付平形・平形リブ付

適用チューブ

深形

適用チューブ

型式 A B C YDH：M5×0.8 H：M6×1

E D EZPY02U 2

468

2.64.879

1.21.6

2.50.8

0.5

1

20 44 25 49.5ZPY04UZPY06UZPY08U

P Q RN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）

適用チューブ外径

N6（ナイロンチューブ、ø6/4）U4（軟質チューブ、ø4/2.5）U6（軟質チューブ、ø6/4）

13.5 5 1.815.5 7 2.513.5 5 1.815.5 7 2.5

型式

ZPY2004U

ZPY3507U

ZPY4010U

a

2

3.5

4

e1.2

1.8

2

Y0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d

型式

ZPY10UT

ZPY13UT

ZPY16UT

A10

13

16

11

14

17

1

1.5

B

2.5

C Y

ZPY10CT

ZPY13CT

10

13

11

14

0.8

1ZPY16CT 16 17

※D,Eは同じになります。

型式 A B C D EF G F G 平形平形リブ付

H：M5×0.8 H：M6×1 Y

ZPY10 101316

1212

15 20 2518

22

12.5

38

22.5 38.5

59

59.5

64

64.5

3

3.5 1.21.81.7

ZPY13 ZPY16

UCUCUC




14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5

型式 A B C D E YF G F G

H：M5×0.8 H：M6×1

10 12 15 25 41 6220 25 67 6ZPY10D16 18 16 26 42 63 68 7ZPY16D

øe

ca

db

呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010

呼び径／ø10, ø13, ø16

1164

ZPY Series





平形

深形／ZPY40Dのみ

平形

平形リブ付


平形リブ付


深形


深形

適用チューブ

型式 A B C D E F G F G 平形平形リブ付H：M6×1 H：M8×1 Y

ZPY20 202532

2314

28 25 1535

24

14.5

42

24.5 42.5

68

68.5

58

58.5

4

4.5 2.31.81.7

ZPY25 ZPY32

UCUCUC




14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5

型式 A B C D E YF G F GH：M6×1 H：M8×1

25 28 20 30 48 7425 15 64 10ZPY25D

型式 A B C D E F G F G 平形平形リブ付H：M6×1 H：M8×1 Y

ZPY40 4050

4353 19.5 29.5 47.5 73.525 15 63.5 7.5 3.8

18.5 28.5 46.5 72.5 62.5 6.5 3.3ZPY50

UCUC

型式 A B C D E YF G F GH：M6×1 H：M8×1

40 43 29 39 57 8325 15 73 17ZPY40D

呼び径／ø20, ø25, ø32 呼び径／ø40, ø50

1165


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器






適用チューブ

適用チューブ

適用チューブ


68

A

79

B

2.5

C

20

D

45

E

25

DH：M5×0.8 H：M6×1

50.5

E3.34.7

K

910

L

4

Y型式

ZPY06BZPY08B

13.515.5

P57

1.82.5

Q R適用チューブN4（ナイロンチューブ、ø4/2.5）N6（ナイロンチューブ、ø6/4）

13.515.5

57

1.82.5

U4（ウレタンチューブ、ø4/2.5）U6（ウレタンチューブ、ø6/4）

2025

A

2227

B

23.524

C

33.534

D

51.552

E

25

F79.58085

G

15

FH：M6×1H：M8×1

69.570

G1216

K

2528

19 37

L

10.5

14

Y型式

ZPY20BZPY25B

32 34 29 39 57ZPY32B 75

14.516.5

P57

1.82.5


14.516.5

57

1.82.5


1013

A

1215

B

1618.5

C

2628.5

D

4244.5

E

20

F6365.567

G

25

FH：M5×0.8 H：M6×1

6870.5

G69

K

1419

5.57.5

10 21

L

8.5

Y型式

ZPY10BZPY13B

16 18 20 30 46ZPY16B 72

14.516.5

P57

1.82.5


14.516.5

57

1.82.5


4050

A

4353

B

3438

C

4448

D

6266

E

25

F8892

G

15

FH：M6×1H：M8×1

7882

G2432

K

4857

1619

L Y型式

ZPY40BZPY50B

呼び径／ø6, ø8 呼び径／ø20, ø25, ø32

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16

1166

ZPY Series






長円形

平形

深形／ZPY10D, 16Dのみ

平形リブ付


長円形

薄形・薄形リブ付

適用チューブ


適用チューブ

深形

øe

ca

db

型式 A B C YDG：M4×0.7 G：M5×0.8

DZPY02U 2

468

2.64.879

1.21.6

2.50.8

0.5

1

4 5ZPY04UZPY06UZPY08U




13.5 5 1.815.5 7 2.513.5 5 1.815.5 7 2.5

型式

ZPY2004U

ZPY3507U

ZPY4010U

a2

3.5

4

e1.2

1.8

2

Y0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d

型式

ZPY10UT

ZPY13UT

ZPY16UT

A10

13

16

11

14

17

1

1.5

B

2.5

C Y

ZPY10CT

ZPY13CT

10

13

11

14

0.8

1ZPY16CT 16 17

※Dは同じになります。

型式 A B C D EF 平形平形リブ付

G：M5×0.8 Y

ZPY10 101316

1212

15 5

FG：M6×1

618

22

12.5

38

22.5 38.5

3

3.5 1.21.81.7

ZPY13 ZPY16

UCUCUC




14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5

型式 A B C D E YFG：M5×0.8

1016

12F

G：M6×1

18 16 26 42 715 25 41

5 66ZPY10D

ZPY16D

呼び径／平形 ø2, ø4, ø6, ø8/薄形・薄形リブ付 ø10, ø13, ø16/長円形 2004, 3507, 4010

呼び径／ø10, ø13, ø16

1167


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器





平形リブ付

平形


平形


平形リブ付


深形

適用チューブ


深形

型式 A B C D E F 平形平形リブ付G：M5×0.8 Y

ZPY20 202532

2314

28 5

FG：M6×1

6

FG：M8×1.25

835

24

14.5

42

24.5 42.5

4

4.5 2.31.81.7

ZPY25 ZPY32

UCUCUC




14.5 5 1.816.5 7 2.514.5 5 1.816.5 7 2.5

型式 A B C D E YFG：M5×0.8

25 5F

G：M6×1

6F

G：M8×1.25

828 20 30 48 10ZPY25D

型式 A B C D E F 平形平形リブ付G：M6×1 Y

ZPY40 4050

43F

G：M8×1.25

53 19.5 29.5 47.5 7.5 3.818.5 28.5 46.5

6 86.5 3.3

ZPY50

UCUC

型式 A B C D E YF

G：M6×1

40F

6 8

G：M8×1.25

43 29 39 57 17ZPY40D

呼び径／ø20, ø25, ø32 呼び径／ø40, ø50

1168

ZPY Series




ベロウ形めねじ



適用チューブ


68

A

79

B

2.5

C

4

D

5

DG：M4×0.7G：M5×0.8

3.34.7

K

910

L

4

Y型式

ZPY06BZPY08B

13.515.5

P57

1.82.5


13.515.5

57

1.82.5


2025

A

2227

B

23.524

C

33.534

D

51.552

E

5

FG：M5×0.8

6

FG：M6×1

8

FG：M8×1.25

1216

K

2528

19 37

L

1410.510.5

Y型式

ZPY20BZPY25B

32 34 29 39 57ZPY32B

14.516.5

P57

1.82.5


14.516.5

57

1.82.5


1013

A

1215

B

1618.5

C

2628.5

D

4244.5

E

5

F

6

FG：M5×0.8G：M6×1

69

K

1419

5.57.5

10 21

L

8.5

Y型式

ZPY10BZPY13B

16 18 20 30 46ZPY16B

14.516.5

P57

1.82.5


14.516.5

57

1.82.5


4050

A

4353

B

3438

C

4448

D

6266

E

6

F

8

FG：M6×1G：M8×1.25

2432

K

4857

1619

L Y型式

ZPY40BZPY50B

呼び径／ø40, ø50呼び径／ø10, ø13, ø16


1169


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付

ZPY Series仕様

パッドの種類

質量表


取出方向横方向バーブ継手付

ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ

ø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブø4、ø6ナイロンチューブ、ø4、ø6ウレタンチューブ

ø6ナイロンチューブ、ø6ウレタンチューブ

M8×1おねじ


接続方法

真空取出口

取付接続ねじ径

チューブ径

適用

長円（2×4、3.5×7、4×10）ø10～ø16（薄形シリーズ）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50長円（2×4、3.5×7、4×10）ø10～ø16（薄形シリーズ）ø2～ø8ø10～ø16ø20～ø32ø40～ø50

パッド形状

パッド径mm

10、13、16、20、25、32、40、50



平形2、4、6、8、2×4、3.5×7、4×10、10、13、16、20、25、32、40、50

6、8、10、13、16、20、25、32、40、50


10、13、16


10、16、25、40

（g）ストローク（mm）型式

パッド形状平形平形リブ付深形ベロウ形

ZPY2004ZPY3507ZPY4010

ZPY02～08ZPY10～16（薄形シリーズ）

336

10 〜

10 ZPY2025

ZPY10

16

ZPY 324050

ZPYZPY

45

50

52115

45

51

117132

33

46

53

58127134

10

（g）

型式 10 15 20 25 30 40 50

＋7 ＋8＋12－5.5

＋14 ＋26－1.5

＋28＋30

＋9

ストローク（mm）

ZPY02～08ZPY10～25ZPY40・50




6、10、15、250.81.2

10、20、30、40、501.03.0

10、20、30、502.05.0

※ ø2～ø8


ø10～ø32 ø40、ø50


バッファ仕様

1170

ZPYシリーズバッファ付 ZPY A10U16 KGS 20 U6




NS




パッド材質


バッファ仕様

0204

24010 4×103507 3.5×72004 2×4

406 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50

UC






径（mm）形状

2

－－

－－

－－

－－

－－

－－

－－－－

－－－－－

－－－－－

－－


深形ベロウ形

4×10

－－－

3.5×7

－－－

2×4

－－－

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

－－薄形－－－－－薄形リブ付－－－


2

－－－－－－－－

－－－－－－－－

－－

－－

－－－－－－－－

10mm6mm

15mm20mm

4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

25mm－－30mm－－40mm－

4×10

－

－－－

3.5×7

－

－－－

2×4

－

－－－－

－－

－－－－－－

10

－

－－－


－

－－－

16

－

－－－50mm

ねじ径・配管径

－

－－－

記号

ø4ナイロンチューブN4

ø2～ø82×4,3.5×7,4×10


ø10～ø32 ø40・ø50

－

－

－

－

ø6ナイロンチューブN6ø4ウレタンチューブU4ø6ウレタンチューブU6

M8×1A8M10×1A10M14×1A14

管継手

ワンタッチ

おねじ

真空取出口取付接続



表e真空取出口―取付接続取付ねじ径M8×1M10×1M14×1

2.0±0.53.0±0.57.0±0.5

トルク値締付トルク

型式表示方法

（N・m）

1171

ZPY Series横方向真空取出形／バッファ付バーブ継手付

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器




平形、薄形、薄形リブ付、長円形おねじ

長円形

平形長円形薄形、薄形リブ付

ストローク別

型式

ZPY02U - -A8

ZPY04U - -A8

ZPY06U - -A8

ZPY08U - -A8

A

2

4

6

8

2.6

4.8

7

9

1.2

1.6

2.5

0.8

0.5

1

B C Y 型式

ZPY2004U

ZPY3507U

ZPY4010U

a

2

3.5

4

e

1.2

1.8

2

Y

0.3

0.5

0.8

4

7

10

2.6

4.3

5 11

4.6

7.8

b c d 型式

ZPY10UT

ZPY13UT

ZPY16UT

A

10

13

16

11

14

17

1

1.5

B

2.5

C Y

ZPY10CT

ZPY13CT

10

13

11

14

0.8

1ZPY16CT 16 17

型式

ZPY U 6- -A8

D

37

40

45

E

63

94

99

F

15

43

G H J G H

ø4チューブ ø6チューブ

J

15.52.5712.51.85

55 109

ZPY U 10- -A8

ZPY U 15- -A8

ZPY U 25- -A8

øe

ca

db


1172

ZPY Series





平形リブ付


ø10, ø13, ø16深形

ø10, ø16

ストローク別

ストローク別

チューブ別

型式

ZPY10 - A10

A

10

13

12

1512 22

1.7

1.83

16 18 12.5 22.5 1.23.5

B C D

38

38.5

E平形

Y

平形リブ付UC

ZPY13 - A10UC

ZPY16 - A10UC

型式

ZPY 10- -A10

F

ø10, ø13 ø16

G F G

49

59

69

23

51

77

H

79

89

83

121

131

167

177

49.5

59.5

69.5

79.5

89.5

83.5

121.5

131.5

167.5

177.5

UCUCUCUCUC

ZPY 20- -A10

ZPY 30- -A10

ZPY 40- -A10

ZPY 50- -A10

型式 A

10

16

12

18

B

15

16

C

25

26

D

41

42

E

6

7

Y

ZPY10D - -A10

ZPY16D - -A10

型式

ZPY D 10- -A10

F

ø10 ø16

G F G

52

62

72

23

51

77

H

82

92

86

124

134

170

180

53

63

73

83

93

87

125

135

171

181

ZPY D 20- -A10

ZPY D 30- -A10

ZPY D 40- -A10

ZPY D 50- -A10

型式 J

5

7

1.8

2.5

K

14.5

16.5

L

ZPY - 4-A10

ZPY - 6-A10


1173


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器






ø20, ø25, ø32深形

平形リブ付

ø25

ストローク別チューブ別

型式

ZPY20 - A10

A

20

25

23

2814 24

1.7

1.84

32 35 14.5 24.5 2.34.5

B C D

42

42.5

E平形

Y

平形リブ付UC

ZPY25 - A10UC

ZPY32 - A10UC

型式

ZPY 10- -A10

F

ø20, ø25 ø32

G F G

53

63

73

23

51

77

H

83

93

87

125

135

171

181

53.5

63.5

73.5

83.5

93.5

87.5

125.5

135.5

171.5

181.5

UCUCUCUCUC

ZPY 20- -A10

ZPY 30- -A10

ZPY 40- -A10

ZPY 50- -A10

型式

ZPY25D 10- -A10

F

59

69

79

93 23

141

131

G H

ZPY25D 20- -A10

ZPY25D 30- -A10

89 177

51

77ZPY25D 40- -A10

99 187ZPY25D 50- -A10

型式 J

5

7

1.8

2.5

K

14.5

16.5

L

ZPY - 4-A10

ZPY - 6-A10


1174

ZPY Series






ø40, ø50深形

平形リブ付

ø40

ストローク別

型式

ZPY40 - 6-A14

A

40 43 18.5 28.5 46.5 3.3

50 53 19.5 29.5 3.87.5

6.5

B C D

47.5

E平形

Y

平形リブ付UC

ZPY50 - 6-A14UC

型式

ZPY 10- 6-A14

F

ø40 ø50

G F G

58.5

68.5

78.5

H

98.5

126.5

123.5

133.5

178.5

59.5

69.5

79.5

99.5

127.5

124.5 50

134.5

179.5 75

UCUCUCUC

ZPY 20- 6-A14

ZPY 30- 6-A14

ZPY 50- 6-A14

型式

ZPY40D 10- 6-A14

F

69

79

89

137

144

134 50

G H

ZPY40D 20- 6-A14

ZPY40D 30- 6-A14

109 189 75ZPY40D 50- 6-A14


1175


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器





ベロウ形


ø10, ø13, ø16


型式

ZPY06B - -A8

ZPY08B - -A8

A

6

8

7

9

3.3

4.7 10

9

B M N

型式

ZPY B 6- -A8

C

38

41

46

D

64

95

100

E

15

43

F G H F G


H

15.52.5713.51.85

56 110

ZPY B 10- -A8

ZPY B 15- -A8

ZPY B 25- -A8

型式

ZPY10B - -A10

A

10

13

12

15

16

18.5 28.5

25

B C D

44.5

42

E

9

6

M

19

14

N

7.5

5.5

Y

ZPY13B - -A10

ZPY16B - -A10 16 18 20 30 46 10 21 8.5

型式

ZPY B 10- -A10

ø10 ø13 ø16H


53

63

73

83

87

125

135

171

55.5

65.5

75.5

85.5

89.5

F G F G F G J K L J

127.5

137.5

173.5

51

77

5 1.8 14.5 7

K L

2.5 16.5

93 181 95.5 183.5

57

67

77

87

97

91 23

129

139

175

185

ZPY B 20- -A10

ZPY B 30- -A10

ZPY B 40- -A10

ZPY B 50- -A10


1176

ZPY Series





ベロウ形


ø40, ø50


型式

ZPY20B - -A10

A

20

25

22

27

23.5

24 34

33.5

B C D

52

51.5

E

16

12

M

28

25

N

10.5

Y

ZPY25B - -A10

ZPY32B - -A10 32 34 29 39 57 19 37 14

型式ø20 ø25 ø32

Hø4チューブ ø6チューブ

62.5

74.5

84.5

94.5

96.5

136.5

146.5

182.5

63

75

85

95

97

F G F G F G J K L J

137

147

183

51

77

5 1.8 14.5 7

K L

2.5 16.5

104.5 192.5 105 193

68

80

90

100

110

102 23

142

152

188

198

ZPY B 10- -A10

ZPY B 20- -A10

ZPY B 30- -A10

ZPY B 40- -A10

ZPY B 50- -A10

型式

ZPY40B - 6-A14

A

40 43 34 44

B C D

62

E

24

M

48

N Y

ZPY50B - 6-A14 50 53 38 48 66 32 57 19

16

型式

ZPY B 10- 6-A14

F

ø40 ø50

G F G

74

84

94

H

114

142

139

149

194

78

88

98

118

146

143 50

153

198 75

ZPY B 20- 6-A14

ZPY B 30- 6-A14

ZPY B 50- 6-A14


1177


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

真空パッド／部品

e～yの部品品番は、P.1182～1187参照ください。

ZPTシリーズ

バッファ付

劣化したパッド新しいパッド

バッファ付バッファ付

ZPRシリーズ

構成部品

ZPYシリーズ

番号

23456

1

部品名

黄銅

導電性NBR、導電性シリコンゴムNBR・シリコンゴム・ウレタンゴム・フッ素ゴム

材質備考

黄銅無電解ニッケルメッキ無電解ニッケルメッキ無電解ニッケルメッキ無電解ニッケルメッキ無電解ニッケルメッキ

ロックリング

パッド

アダプタ黄銅バッファ

黄銅・PBTアダプタ（ワンタッチ管継手付）黄銅アダプタ（バーブ管継手付）

パッドはゴムであるため必ず劣化します。その度合は、使用状態、環境、温度などにより変ります。定期的なメンテナンスを行ってください。パッドに有害と思われるキズ、ヒビ、ワレ、摩耗などが起こりましたらすぐに交換してください。またパッド表面には、キズをつけないで＜ださい。

zロックリングを上方に引き上げ、アダプタまで持ち上げた後、パッドを下方に引き下げ古いパッドをはずします。

xロックリングを上方に持ったまま、新しいパッドをアダプタに差しこみます。

cパッドが確実に入っているか確認して、ロックリングをパッドの3個所の凸部までしっかり装着してください。

パッドのメンテナンス

交換方法

1178

ZP Series

部品構成

ZP02U□～08U□

ZP10U□～50U□

ZP10C□～50C□

ZP10D□～40D□

パッド単体／型式表示方法ロックリング単体／型式表示方法

X19U N10ZP

0204

24

06 608 810 1013 1316 1620 2025 2532 3240 4050 50

UC




パッド形状

無記号-X19

リング付リング無（ø10以上）

ロックリングの有無

NS




材質

ZPL

12

10～1620～32

3 40・50

適用パッド径（mm）

1

型式呼び径U02

A2ZP02U

B2.6

C1.2

D7

E－

F12

Y0.5

U04 4ZP04U 4.8 1.6 7 － 12 0.8U06 6ZP06U 7 2.5 7 － 12 0.8U08 8ZP08U 9 2.5 7 － 12 1U10 10ZP10U 12 4 13 7.7 12 3U13 13ZP13U 15 4 13 7.7 12 3U16 16ZP16U 18 4 13 8.2 12.5 3.5U20 20ZP20U 23 4 15 9.5 14 4U25 25ZP25U 28 4 15 9.5 14 4U32 32ZP32U 35 4 15 10 14.5 4.5U40 40ZP40U 43 7 18 13.7 18.5 6.5U50 50ZP50U 53 7 18 14.7 19.5 7.5

※型式末尾には、使用する材質を表示してください。

型式呼び径C10

A10ZP10C

B12

C4

D13

E7.7

F12

Y1.7

C13 13ZP13C 15 4 13 7.7 12 1.8C16 16ZP16C 18 4 13 8.2 12.5 1.2C20 20ZP20C 23 4 15 9.5 14 1.7C25 25ZP25C 28 4 15 9.5 14 1.8C32 32ZP32C 35 4 15 10 14.5 2.3C40 40ZP40C 43 7 18 13.7 18.5 3.3C50 50ZP50C 53 7 18 14.7 19.5 3.8

型式呼び径D10

A10ZP10D

B12

C4

D13

E10.7

F15

Y6

D16 16ZP16D 18 4 13 11.7 16 7D25 25ZP25D 28 4 15 15.5 20 10D40 40ZP40D 43 7 18 24.2 29 17

交換部品／パッド単体（ロックリング付、ロックリングなし）

平形パッド（U）長円形については、P.1181をご参照ください。平形リブ付パッド（C）

深形パッド（D）

1179

真空パッド ZP Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

パッド径／ø6～ø8ZP06B□～08B□

パッド径／ø10～ø50ZP10B□～50B□


型式呼び径B06

A6ZP06B

B7

C2.5

D7

E－

F13

G3.3

H9

Y4

B08 8ZP08B 9 2.5 7 － 13 4.7 10 4B10 10ZP10B 12 4 13 11.7 16 6 14 5.5B13 13ZP13B 15 4 13 14.2 18.5 9 19 7.5B16 16ZP16B 18 4 13 15.7 20 10 21 8.5B20 20ZP20B 22 4 15 19 23.5 12 25 10.5B25 25ZP25B 27 4 15 19.5 24 16 28 10.5B32 32ZP32B 34 4 15 24.5 29 19 37 14B40 40ZP40B 43 7 18 29.2 34 24 48 16B50 50ZP50B 53 7 18 33.2 38 32 57 19

※型式末尾には使用する材質を表示してください。

型式 d

M8×1

C

13.9

B

12

H

3M6×1 9.283M5×0.8ZPNA-M5

ZPNA-M6ZPNA-M8ZPNA-M10ZPNA-M14

9.284

M10×1 16.2143M14×1 21.9195

べロウ形（B）／ロックリング付部品／アダプタ・バッファ取付用ナット

1180

ZP Series


パッド材質

薄型薄型リブ付

パッド形状UT

CT

薄型

薄型リブ付

パッド径10

13

16

10

13

16

ZP 10 UT N

N

S

U

F

GN

GS

NBR

シリコンゴム

ウレタンゴム

フッ素ゴム

導電性NBR


薄型（UT）、薄型リブ付（CT）

パッド材質

パッド形状U 平形

パッド径（短径×長径）2004

3507

4010

2×4

3.5×7

4×10

ZP 2004 U N

N

S

U

F

GN

GS

NBR

シリコンゴム

ウレタンゴム

フッ素ゴム

導電性NBR


長円形

ø7 ø7 ø7

ø1.2

4

4.67 10

117.8

ø1.8 ø2

12

12 12

0.3

2

4 5

2.6

3.5

4.3

0.5

0.8

ZP2004U□□ ZP3507U□□ ZP4010U□□

A10

13

16

B11

14

17

Y1

1.5

寸法表 (mm)

型式

ZP10UT□□ZP13UT□□ZP16UT□□

A10

13

16

B11

14

17

Y0.8

1

寸法表 (mm)

型式

ZP10CT□□ZP13CT□□ZP16CT□□

ø7

øAøB

øAøB

ø7

12 Y Y12

ZP□□UT□□ ZP□□CT□□

パッド単体／型式表示方法外形寸法図

外形寸法図

1181


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

交換部品／ZPTシリーズアダプタ、バッファ

TZP

T 1ZP

02 A5UN

A5

記号1

パッド径02～08

2 10～163 20～324 40・50

【使用中のパッド型式】

変更なし置き換え

【qアダプタ】

●バッファなしの場合

現在使用中のパッド型式から、組合せのアダプタ、バッファ品番が分かります。

部品構成図

ZPT□□□□-A5ZPT□□□□-A6ZPT□□□□-B4ZPT□□□□-B5

ZPT1-A5

ZPT1-A6

ZPT1-B4

ZPT1-B5

適応パッド径：ø2～ø82×4，3.5×7，4×10ø10～ø16（薄形シリーズ）

型式 qアダプタ

ZPT□□□□-A5ZPT□□□□-A6ZPT□□□□-B5ZPT□□□□-B6ZPT□□□□-B01ZPT□□□□-N01ZPT□□□□-T01

ZPT2-A5

ZPT2-A6

ZPT2-B5

ZPT2-B6

ZPT2-B01

ZPT2-N01

ZPT2-T01

適応パッド径：ø10～ø16


ZPT□□□□-A6ZPT□□□□-A8ZPT□□□□-B5ZPT□□□□-B6ZPT□□□□-B8ZPT□□□□-B01ZPT□□□□-N01ZPT□□□□-T01

ZPT3-A6

ZPT3-A8

ZPT3-B5

ZPT3-B6

ZPT3-B8

ZPT3-B01

ZPT3-N01

ZPT3-T01



ZPT□□□□-A6ZPT□□□□-A8ZPT□□□□-B6ZPT□□□□-B8ZPT□□□□-B01ZPT□□□□-N01ZPT□□□□-T01

ZPT4-A6

ZPT4-A8

ZPT4-B6

ZPT4-B8

ZPT4-B01

ZPT4-N01

ZPT4-T01

適応パッド径：ø40・ø50


1182

ZP Series

交換部品／ZPTシリーズアダプタ、バッファ


バッファ接続ねじ

B5

B8

TZP

T 2ZP

16 K20

K20

A1006UGN

B5

06

記号パッド径

2 10～163 20～324 40・50

記号ねじ径1 A82 A103 A14

B 2ZP

【qアダプタ】

【wバッファ】

●バッファ付の場合

パッド径2mm～8mmには使用しません。


部品構成図


ZPT□□□□（J･K）★★-B3-A8ZPT□□□□（J･K）★★-B5-A8ZPT□□□□（J･K）★★-N4-A8ZPT□□□□（J･K）★★-U4-A8ZPT□□□□（J･K）★★-04-A8ZPT□□□□（J･K）★★-06-A8

ZPB1（J･K）★★-B3


ZPB1（J･K）★★-N4

ZPB1（J･K）★★-U4

ZPB1（J･K）★★-04

ZPB1（J･K）★★-06


型式 wバッファのみ

ZPT□□□□（J･K）★★-B5-A10ZPT□□□□（J･K）★★-N6-A10ZPT□□□□（J･K）★★-U6-A10ZPT□□□□（J･K）★★-04-A10ZPT□□□□（J･K）★★-06-A10

ZPT2-B5

ZPT2-B5

ZPT2-B5

ZPT2-B5

ZPT2-B5






ZPB2（J･K）★★-04

ZPB2（J･K）★★-06

wバッファ

ZPT□□□□（J･K）★★-B5-A10ZPT□□□□（J･K）★★-N6-A10ZPT□□□□（J･K）★★-U6-A10ZPT□□□□（J･K）★★-04-A10ZPT□□□□（J･K）★★-06-A10

ZPT3-B5

ZPT3-B5

ZPT3-B5

ZPT3-B5

ZPT3-B5






ZPB2（J･K）★★-04

ZPB2（J･K）★★-06

wバッファ

ZPT□□□□（J･K）★★-B5-A14ZPT□□□□（J･K）★★-□01-A14ZPT□□□□（J･K）★★-N6-A14ZPT□□□□（J･K）★★-U6-A14ZPT□□□□（J･K）★★-06-A14ZPT□□□□（J･K）★★-08-A14

ZPT4-B8

ZPT4-B8

ZPT4-B8

ZPT4-B8

ZPT4-B8

ZPT4-B8




ZPB3（J･K）★★-□01ZPB3（J･K）★★-N6


ZPB3（J･K）★★-06

ZPB3（J･K）★★-08

wバッファ

注）適応バッファストローク（★★）：6，10，15，25mm

注）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，40，50mm

注）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，40，50mm

注）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，50mm

1183


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

交換部品／ZPRシリーズアダプタ、バッファ

RZP

T 2ZP

16 A5UN 04

B5

R SZP 04 A5

【wRタイプアダプタ】

アダプタ接続ねじ

B5

B8

記号パッド径

2 10～161 02～08

3 20～324 40・50

記号S

パッド径02～16

L 20～50

部品構成図



【qアダプタ】


ZPR□□□□-☆☆-A5ZPR□□□□-☆☆-A6ZPR□□□□-☆☆-B4ZPR□□□□-☆☆-B5

ZPT1-B5

ZPT1-B5

ZPT1-B5

ZPT1-B5

ZPRS-☆☆-A5

ZPRS-☆☆-A6

ZPRS-☆☆-B4

ZPRS-☆☆-B5


型式 qTタイプアダプタ wRタイプアダプタ


ZPT2-B5

ZPT2-B5

ZPT2-B5

ZPT2-B5


型式 qTタイプアダプタ

ZPRS-☆☆-A5

ZPRS-☆☆-A6

ZPRS-☆☆-B5

ZPRS-☆☆-B6

wRタイプアダプタ

ZPR□□□□-☆☆-A6ZPR□□□□-☆☆-A8ZPR□□□□-☆☆-B5ZPR□□□□-☆☆-B6ZPR□□□□-☆☆-B8

ZPT3-B8

ZPT3-B8

ZPT3-B8

ZPT3-B8

ZPT3-B8



ZPRL-☆☆-A6

ZPRL-☆☆-A8

ZPRL-☆☆-B5

ZPRL-☆☆-B6

ZPRL-☆☆-B8



ZPT4-B8

ZPT4-B8

ZPT4-B8

ZPT4-B8



ZPRL-☆☆-A6

ZPRL-☆☆-A8

ZPRL-☆☆-B6

ZPRL-☆☆-B8


注）真空取出口（☆☆）：04，06 注）真空取出口（☆☆）：04，06

注）真空取出口（☆☆）：04，06，08

注）真空取出口（☆☆）：06，08

1184

ZP Series

交換部品／ZPRシリーズアダプタ、バッファ


アダプタ接続ねじ

B5

B8

R

R

ZP

T 2ZP

16 K20

K20

A1006UGN

B5

SZP 06 B5

記号パッド径

2 10～161 02～08

3 20～324 40・50

記号ねじ径1 A82 A103 A14

B 2ZP

【qアダプタ】

【wRタイプアダプタ】

【eバッファ】

記号S

パッド径02～16

L 20～50


B5

パッド径

02～32B8 40・50

部品構成図変更なし置き換え



ZPR□□□□（J･K）★★-☆☆-A8 ZPT1-B5 ZPRS-☆☆-B5 ZPB1（J･K）★★


型式qTタイプアダプタ

wRタイプアダプタ eバッファ


ZPR□□□□（J･K）★★-☆☆-A10


型式


注1）適応バッファストローク（★★）：6，10，15，25mm注2）真空取出口（☆☆）：04，06

注1）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，40，50mm注2）真空取出口（☆☆）：04，06，08

ZPT3-B8 ZPRL-☆☆-B5 ZPB2（J･K）★★

qTタイプアダプタ


ZPR□□□□（J･K）★★-☆☆-A10 ZPT2-B5 ZPRS-☆☆-B5 ZPB2（J･K）★★

型式qTタイプアダプタ


ZPR□□□□（J･K）★★-☆☆-A14

型式

注1）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，40，50mm注2）真空取出口（☆☆）：04，06

注1）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，50mm注2）真空取出口（☆☆）：06，08

ZPT4-B8 ZPRL-☆☆-B8 ZPB3（J･K）★★

qTタイプアダプタ


1185


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

交換部品／ZPYシリーズアダプタ、バッファ

Y

Y

ZP

4ZP

50 A8UN

A8

N6

N6

【qYタイプアダプタ】

記号パッド径

2 10～161 02～08

3 20～324 40・50

部品構成図




ZPY□□□□-◆◆-A5ZPY□□□□-◆◆-A6ZPY□□□□-◆◆-B4ZPY□□□□-◆◆-B5

ZPY1-◆◆-A5

ZPY1-◆◆-A6

ZPY1-◆◆-B4

ZPY1-◆◆-B5




ZPY2-◆◆-A5

ZPY2-◆◆-A6

ZPY2-◆◆-B5

ZPY2-◆◆-B6



ZPY□□□□-◆◆-A6ZPY□□□□-◆◆-A8ZPY□□□□-◆◆-B5ZPY□□□□-◆◆-B6ZPY□□□□-◆◆-B8

ZPY3-◆◆-A6

ZPY3-◆◆-A8

ZPY3-◆◆-B5

ZPY3-◆◆-B6

ZPY3-◆◆-B8




ZPY4-◆◆-A6

ZPY4-◆◆-A8

ZPY4-◆◆-B6

ZPY4-◆◆-B8



注）真空取出口（◆◆）：N4，N6，U4，U6 注）真空取出口（◆◆）：N4，N6，U4，U6

注）真空取出口（◆◆）：N6，U6

注）真空取出口（◆◆）：N4，N6，U4，U6

1186

ZP Series

交換部品／ZPYシリーズアダプタ、バッファ



B5

B8

Y

Y

ZP 50 K20

K20

A14U6UGN

4ZP U6 B8

記号パッド径

2 10～161 02～08

3 20～324 40・50

記号ねじ径1 A82 A103 A14B 3ZP

【qYタイプアダプタ】

【wバッファ】

部品構成図変更なし置き換え



ZPY□□□□（J･K）★★-◆◆-A8 ZPY1-◆◆-B5 ZPB1（J･K）★★


型式 wバッファqアダプタ

ZPY□□□□（J･K）★★-◆◆-A10 ZPY2-◆◆-B5



ZPB2（J･K）★★

wバッファ

ZPY□□□□（J･K）★★-◆◆-A10 ZPY3-◆◆-B5




wバッファ

ZPY□□□□（J･K）★★-◆◆-A14 ZPT4-B8




wバッファ

注1）適応バッファストローク（★★）：6，10，15，25mm注2）真空取出口（◆◆）：N4，N6，U4，U6

注1）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，40，50mm注2）真空取出口（◆◆）：N4，N6，U4，U6

注1）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，40，50mm注2）真空取出口（◆◆）：N4，N6，U4，U6

注1）適応バッファストローク（★★）：10，20，30，50mm注2）真空取出口（◆◆）：N6，U6

1187


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

zp serieszptシリーズ バッファなし パッド径 （mm） パッド形状 真空取出口...

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zp serieszptシリーズバッファなしパッド径（mm）パッド形状真空取出口...