Universal Semiconductor Technology

(주) 유에스티WWW.SEMI-UST.COMServices provide by UST CO.,LTD

UST Co.,Ltd will put customer' need before us andpromise that all UST staffs will do their best for maximization of satisfaction

Head Office & R&D Center경기도 성남시 분당구 야탑동 151분당테크노파크 D동 908호 (463-760)

TEL : +82-31-604-1004FAX : +82-31-711-6344E-mail : admin@semi-ust.com

Clean Room & Facility경기도 안성시 원곡면 성주리 150-1

E-mail : sales@semi-ust.com

야탑 사거리

Head Office & R&D Center경기도 성남시 분당구 야탑동 151 분당테크노파크 D동 908호 (463-760)

Clean Room & Facility경기도 안성시 원곡면 성주리 150-1 ㈜ 씨앤지 하이테크 內

반도체 전 공정 장비TRACK 장비 및 CMP장비개조,개선 및 OVERHAUL

확고한 기술경쟁력 및 품질 우선주의를바탕으로 고객에게 신뢰받는 기업

독자적인 장비 및 아이템 개발

“신속함과 정확함을 기본으로 최고의 제품을 고객에게 제공한다”

대표이사대표이사

경영 지원팀 영업팀영업팀

개발부개발부

TRACK 부TRACK 부

CMP 부CMP 부

기술팀기술팀

국내,외 영업 및장비 사업부

국내,외 영업 및장비 사업부

전, 후 공정의 반도체 장비 및 솔루션을 고객에게 빠르게 제공㈜ UST는 전, 후 공정의 모든 반도체 장비와 개조를 고객에게 제공합니다.

TEL MARK-7,8 and ACT-8,12 개조/개선 및 Overhaul

User Base의 자유로운 System Configuration 수정, Module 추가 및 Up-grade.Open Cassette Type을 SMIF Type으로 개조 및 Size 변경가능

6inch, 8inch 동시 사용 가능으로 개조Cassette Unit 및 Robot 개조Mapping Sensor Block 개조Main Robot Arm 개조COAT Unit 및 Cup 개조DEV Unit 및 Cup 개조WDS/Plate 개조

TEL MARK-II,V,VZ,7,8 및 TEL ACT-8,12 장비의 자유로운 Size 개조 (4,6,8 inch)

L/E Tank (45cc, 100cc, 150cc, 200cc, etc) 제작TEL MARK 및 ACT SMIF Type Unit 을 동일한 성능으로 제작COAT Nozzle Assembly (EBR, Back Side Rinse and Photo Resist Nozzle Tip)제작DEV Nozzle Assembly (H, SH, Spray and Stream type) 제작저렴한 비용으로 TEL MARK의 Plasma를 TFT LCD 로 개조 및 Upgrade

TEL MARK-II,V,VZ,7,8 및 ACT-8,12 의 2nd Source Parts 및 Unit 제공

OEM보다 빠른 납기 및 저렴한 가격으로 OEM과 동일한 성능을 구현Cassette Stage Assembly 제작C/A Arm, Main Arm (Ceramic, Vacuum Arm, Aluminum 및 Anodizing Type) 제작Plate (LHP, HHP, CPL, HCP, ADH, HEL 및 CP Power Supply) 제작Fan Filter Unit A,B Type (Included HEPA Filter) 공급TEL ACT8, 12 의 Oven Central Stack 제작

TEL MARK-II,V,VZ,7,8 및 ACT-8,12 의 2nd Source Parts 및 Unit 제공

Chemical Cabinet / Auto Chemical Supply System 개조 및 개선

CSS 나 Manual Supply 또는 혼용 방식으로 개조Buffer Tank Auto Exchange Type System 개조Solvent/Develop/HMDS Chemical Supply System 제작 및 개조Resist Cabinet Photo Resist Auto-Exchange 제작 및 개조Auto Drain Controller 및 Tray 제작 및 개조

TEL Clean Track Mark 및 ACT-8,12 Hot and Cooling Plate 제공

Hot / Cooling Plate 제작CPL, HCP, ADH, LHP, HHP Assembly 제작Hot Plate 개조 (LHP ⇔ HHP, CPL ⇔ HCP)Thermo Controller 제작OEM과 동일 성능Thermo Controller 및 SMC 200mm / 300mm 용 Circulator 수리

TEL/DNS/SEMES Spin Scrubber 개조/개선 및 Overhaul

6inch, 8inch 동시 사용 가능으로 개조Cassette Unit 및 Robot 개조Mapping Sensor Block 개조Consumable Parts 제공2nd Source Parts 제작Controller Up-grad 및 교체Labor 및 Service 제공

Stepper HP Laser 5711X Series 수리

MODEL MACHINEG Line I Line

5517A NSR-G6 , G7 , G8 NSR-I6 , I7 , I8 5517B NSR-I9 , I10 , I11 5517C NSR-I12, NSR-I14

REFERENCEFREQUENCY BEAM DIAMETER POLARIZATION INDICATORS SHUTTER

5517A 1.5 MHz to 2.0 MHz 6mm f1 Horiz f2 Vert LASER ON READY

Open,Reduced, Closed

5517B 1.9 MHz to 2.4 MHz 6mm f1 Horiz f2 Vert

+15V POWER ON -15VPOWER ON LASER ON READ

Y

Open, Reduced,

Closed

5517C 2.4 MHz to 3.0 MHz

6mm(std) 3mm(5517C-003) 9mm(5517C-009)

f1 Horiz f2 Vert+15V POWER ON -15V

POWER ON LASER ON READY

Open, Reduced,

Closed

5517D 3.4 MHz to 4.0 MHz 6mm f1 Horiz f2 Vert

+15V POWER ON -15V POWER ON LASER ON READ

Y

Open, Reduced,

Closed f1 is the lower frequency, and f2 is the higher frequency. The Agilent 5517A is the basic head.

HP Laser’s Model 에 따른 장비

HP Laser 5517x 스펙

Stepper LSA (Laser Step Alignment) / LIA 수리

LSA(LIA) Model Out Put Polarization Mode Wavelength

LSA(5mW) ≥ 5mW 500:01:00 TEM00 632.8nm

LIA(10mW) (Option) ≥ 10mW 500:01:00 TEM00 632.8nm

LAS (5mW)

LIA (10mW)Repair

LSA and LIA Specification

EPO2226/EPO2228- Trouble Shooting 및 Software 수정- 6inch 및 8inch간의 자유로운 개조- I-Head 수리 및 교체- 2nd Source Parts 제공- Rotary Joint 제작 및 개조- I-Head 제작 및 개조- Consumable Parts 제공

EBARA EPO2226,2228 개조 / 개선 및 Overhaul

단면/양면 Single/Double-Layer PCB다층 Multi-Layer PCB (4Layer ~ 26Layer)P.C.B Art WorkMetal / Flexible PCBMicom Firmware 개발Wire 설계PCA 회로설계 및 Test Zig 개발Build up etc.

P.C.B (Printed Circuit Board) Art-work and Assembly

OEM / ODM R&D Service

양면 제품에서 CARBON, MLB-B/D에 이르기까지 모든 종류의 PCB개발과 공급이 가능

기구 개발 업무 내역개발기획 및 Review- Item Concept 정리- Item 요구기술 전개 및 Review- 개발계획안 수입제품 Design- 제품 특장점에 따른 Design 진행- 3D Rendering 또는 Design Mock-up 제작 및 평가설계 및 금형 개발- 기구/회로/전장 각 Parts별 설계 기준서 작성- 3D Modeling 설계 및 2D 도면 작성

시생산및 제품 출하- 시제품 조립, Test 및 평가- 제품(부품) 규격서 작성

제품설계 , 개발 지원 및 제품 디자인 지원

OEM / ODM R&D Service

- 웨이퍼 사이즈 (2inch ~ 18inch)- Notch, Flat Wafer, Ring Type, Thin Wafer (50um)- Si, Glass, Film, Sapphire - 초소형 사이즈- 빠른 속도의 얼라인 (< 3.5sec)- 높은 재현성 및- 쉬운 설치 및 기능- Ethernet 및 RS-232 통신- 노치 및 플랫타입의 웨이퍼를 자동으로 감지하여 Alignment하는 스마트 기능- Si, Glass, Sapphire Type 동시 사용가능- 웨이퍼 에지의 불량 및 깨짐 감지 기능-2인치 부터 18인치까지 개발 완료 (CCD Stage 이동 타입)- 코팅불량 및 크랙 검출 기능-얇은 Thin 웨이퍼 얼라인 가능하며 크랙 웨이퍼도 사용가능- 웨이퍼의 크랙 부분의 각도 및 수량(최대 500개) 정보 표시 출력- Laminator등으로 Taping된 웨이퍼의 노치 부분의 정보 출력 (노치의 각도, 크기, 깊이 등)

웨이퍼 프리 얼라이너

크랙 부분 검출

HyperTerminal 에 의한 쉬운 명령어 입력 및 정보 열람

CCD 웨이퍼 Vision 기능- 초소형 Embedded PC 사용 (Window XP OS)- Vision 기능 및 감시 장치- 사용이 쉬운 GUI 및 화면 Capture 기능

초소형 임베디드 시스템

Auto Track Spinner System

2~4inch, 6~8inch, 8~12inch 멀티 플로우컴팩트하고 심플한 디자인Sapphire, Glass, Si등의 웨이퍼 가능PSS, MEMS, Bumping 공정 적용Programmable EBR, Back Rinse기능Bar Code System (Optional) 및 USB connection 제공

Auto Track Spinner System장비 스펙1) Main frame 시스템 컨트롤러a) System Controller

- 유져 중심의 사용이 편리한 Windows XP- 15” LCD 터치 스크린

b) Program Recipes- Recipe 수정 및 저장: Process, Flow, Dummy Dispense 및 Recipe 수정 작업

- Flow Recipe: 다수의 레서피와 플로우를 화면에서 간편하게 수정

- Recipe Capacity: 20step의 50ro 레서피 저장 가능

c) Throughput: > 60 wafers 이상2) System 사이즈a) 2~4inch Main Body Size : 1,700(W) X 1,400(D) X 1,600(H)b) 12inch Main Body Size : 2,100(W) X 2,000(D) X 2,100(H)

NEW 미라클 4-Spin Auto Track Spinner SystemGeneral Specification 1) Single Block 의 경우 2COAT 2DEV SYSTEM 가능2) High Throughput3) 컴팩트 및 작아진 사이즈4) 2~4inch Main Body Size :1370 x 1340 x 1580

NEW 미라클 4-Spin Auto Track Spinner System

ANALOG CONTRLLER FAN FILTER UNIT

스탠다드 AC Motor Type의 FFU 제작 (FAN FILTER UNIT)

BLDC (BRUSHLESS DC) MOTOR FAN FILTER UNIT

BLDC MOTOR1. 우수한 속도 및 안전성2. 폭 넓은 가변 속도 범위3. 소형화, 고출력화4. 에너지 절감5. 고강도, 장수명 GEAR HEAD6. 저소음화 실현7. BRUSH에 의한 PARTICLE 유발 제거8. 가, 감속시간 제어 가능

DIGITAL CONTROLLER1. RS- 485 통신2. Remote 컨트롤 기능3. 폭 넓은 가변 조정 (0~100 Step)4. 다양한 모니터링 LAMP

- Chemical Filter 제공 (OPTION)- ULPA Filter 제공- 고객이 원하는 다양한 사이즈 제작 가능- 다양한 계측기를 통한 신뢰성 확보 및 DATA 제공- 빠른 제작기간

BLDC (BRUSHLESS DC) MOTOR FAN FILTER UNIT

소음, 진동, 소비 전력, 풍속,풍량 및 Aging 검사 장비

Manual Spinner Coater / Develop / Stripper

응용 웨이퍼- FPD / GaAs / GaNi / OLEDSpecification- Substrate Manual Loading, 12inch 이상가능- Operation : Manual operation switch (Tachometer, Timer), Micom or PLC

본 장비는 매뉴얼 코팅, 현상, 세정에 작업이 용이하게 설계되었으며 대학교, 연구소, 샘플 제작 등의회사에 주로 납품되어 지고 있습니다. 20Step으로 최대 50개의 레서피가 저장되며 GP Panel을 이용하여 간단하게 조정 할 수 있습니다.