ultra high vacuum componentsvoltage:d.cvmax. insulation: Ω min. frequency:mhz impedance: Ω leak...

超高真空用部品

ULTRA HIGH VACUUMCOMPONENTS

超高真空用部品



00_hyo1-hyo2.qxd 13.9.25 15:57 ページ 1

HASHIMOTO RIKEN KOGYO CO.,LTD

タイプライター

　　　　　　　　　　　　　　　【代理店】　　　　　　　　　　　　　橋本理研工業株式会社　　　　　　　　　　　　〒123-0841 東京都足立区西新井4-1-8 　　　　　　　　　　　　TEL:03-3853-5151　FAX:03-3853-7878 　　　　　　　　　　　　HP: http://www.h-riken.co.jp/index.html

00_hyo1-hyo2.qxd 13.9.25 15:57 ページ 2

・BNC TYPE・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2～3

・SHV TYPE・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・4

・MHV TYPE ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・5

・N TYPE・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・6

・SMA TYPE ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・7

・LEMO TYPE・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・8

・ALMINUM TYPE・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・9～10

・MULTI PIN TYPE〔BAYONET LOCK SERIES〕・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11～13

・MULTI PIN TYPE〔MS SERIES〕・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・14

・HERMETIC SEAL TYPE ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・15

・〔BAYONET LOCK SERIES〕〔MS SERIES〕・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・16

・FEEDTHROUGH ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・17～23

・絶縁フランジ（ISOLATORS）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・24

・ベローズ付絶縁フランジ（ISOLATORS WITH BELLOWS）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・25

・サファイヤ窓（SAPPHIRE WINDOWS）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・26

・サファイヤ窓（真空フランジ付）（SAPPHIRE WINDOWS WITH VACUUM FLANGE）・・・・・・・・・・・・・・・27

・特注品加速管、チャンバー、フィードスル、etc（CUSTOM-DESIGNED ACCELERATORS, CHAMBERS, FEEDTHROUGHS, etc）・・28～36

・製造工程（MATERIAL PROCESS）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・37

・セラミックスの特性表（CHARACTERISTICS OF CERAMICS）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・38

・接合金属の特性表（CHARACTERISTICS OF MATERIAL）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・39

・メタライズ技術、各種素材と加工（METALLIZATION TECHNOLOGIES AND MATERIALS）・・・・・・・・・・・40

1

はじめに INTRODUCTION超高真空技術の進歩により、多種多様な分野での技術革新が行われています。京セラは、長年の経験に基づくセラミックスと金属の接合技術により、新しい超高真空の世界を招き、技術社会の未来への貢献を目指します。

There are many technical innovations in various fields by progress of ultra high vacuum world byceramic and metal bonding technology which is developed from longtime experience, Kyocera aimscontribution to future of technical society.

目　次　 CONTENTS・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1

超高真空気密端子／ULTRA HIGH VACUUM FEEDTHROUGH

技術情報／TECHNICAL INFORMATION

正しいご使用法／SUGGESTIONS 41

セラミックの特性／MATERIALS COMPARISON CHART INFORMATION 44～49

1

形状と加工精度／PRECISION SHAPING AND MACHING 42～43

超高真空気密部品／ULTRA HIGH VACUUM COMPONENTS

00ultra_components_P01_27.qxd 13.9.25 15:52 ページ 1

Ultra High Vacuum Feedthrough

BNC TYPE50Ω impedance matching and coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

インピーダンス50Ω､同軸タイプのフィードスルーです｡片側､両側脱着の2タイプに､各々フローティングの有無の組合せがあります｡


2

unit : mm

BNC-R

43.75

30.75

26

φ9.6φ1.0

φ2.4

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

BNC-R-F

43.7530.758 4 11

φ9.6φ1.0

φ2.4

φ16.5

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

BNC-JJ

10 13

36.5

φ9.6φ1.0

φ16.5

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

BNC-JJ-F

1148

36.5

φ9.6

φ16.5 φ1.0

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

TypePart Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzImpedance:ΩLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlug

BNC-R BNC-R-F BNC-JJ BNC-JJ-FCoaxial16155

Coaxial-floating14516

Coaxial15760

3D.C1,000

109

5010-10

300Liquid-N2

BNC-P-3*1


*1 DDK

DCto100 DCto4,000

unit : mm

2



BNC TYPE50Ω impedance matching and coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

インピーダンス50Ω、同軸タイプのフィードスルーです。片側、両側脱着の2タイプに、各々フローティングの有無の組合せがあります。


unit : mm

3

BNC-R-M2 SCREW

2623

34.7

φ9.6φ1.0

Fe-Ni-CoALLOYFe-Ni-Co

ALLOY

M2X0.4

CERAMICAl2O3

BNC-R-F-M2 SCREW

30.758 4 11

43.75

φ9.6

φ16.5 φ1.0

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

M2X0.4

CERAMICAl2O3

5KV-BNC-R

50

26φ2.4 φ9.6φ1.0

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

15KV-F-Coaxial

6155

100

φ13.5

φ25

φ4

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOYFe-Ni-Co

ALLOYCERAMICAl2O3

CoaxialTypePart Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzImpedance:ΩLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlug

BNC-R-L-M2 screw BNC-R-F-M2 screw 5KV-BNC-R 15KV-F-CoaxialCoaxial17290


94331

3D.C5,000

11H4-50-4-4*2

109

D.C or A.C100 (MHz) max50

10-10

300Liquid-N2

3D.C1,000

BNC-P-3

A505110

D.C15,000

*2 SUHNER

3



SHV TYPEFor high voltage application.50Ω impedance matching and coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

インピーダンス50Ω、同軸タイプ、高電圧用のフィードスルーです。片側、両側脱着の2タイプに、各々フローティングの有無の組合せがあります。


4

unit : mm

SHV-R

30.534.5

45.5

φ9.65

φ1.65

φ1.35

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

SHV-R-F

1134.545.5

48

φ9.65

φ17.5

φ1.65

φ1.35

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

Flange Shell

SHV-JJ

27.86

43.36

φ9.65

φ17.5 φ1.35

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

SHV-JJ-F

8

43.36

4 15.5

φ1.35

φ9.65

φ17.5

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

Fe-Ni-CoALLOY

Flange Shell

TypePart Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzImpedance:ΩLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlugContact

SHV-R SHV-JJ SHV-JJ-FCoaxial17847

SHV-R-FCoaxial-floating

90162

RC20M-13ELD28*5 RC20M-13ELD28*5

Coaxial90165

3

109


10-10

300Liquid-N2

11SHV50-4-1C*4


*4 SUHNER*5 SOURIAU

D.C6,000 D.C6,000 (Shell-to-Flange D.C1,000)

4



MHV TYPEFor high voltage application.50Ω impedance matching and coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

インピーダンス50Ω、同軸タイプ、高電圧用のフィードスルーです。片側、両側脱着の2タイプに、各々フローティングの有無の組合せがあります。


5

unit : mm

5

MHV-R

47

30.75

26

φ9.6φ1.0

φ2.4

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

MHV-R-F

4730.75

8 4 12.5

φ9.6

φ16.5 φ2.4

φ1.0

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

MHV-JJ

10 14.5

36.5

φ9.6

φ16.5 φ1.35

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

MHV-JJ-F

12.548

36.5

φ16.5

φ9.6φ1.35

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3


MHV-R MHV-R-F MHV-JJ MHV-JJ-FCoaxial86537


Coaxial20414

3D.C5,000

109


10-10

300Liquid-N2

11H4-50-4-4




N TYPE50Ω impedance matching and coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

インピーダンス50Ω、同軸タイプのフィードスルーです。片側、両側脱着の2タイプに、各々フローティングの有無の組合せがあります。


6

unit : mm

6

N-R

32.5

φ13.5

φ16

φ1.65

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

5/8-24UNEFSCREW

N-R-F

18.532.5

11 3

φ13.5

φ16

φ24

φ1.65

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

5/8-24UNEFSCREW

N-JJ

14 18.544.5

φ13.5

φ24

φ1.65

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

5/8-24UNEFSCREW

5/8-24UNEFSCREW

N-JJ-F

18.531144.5

φ13.5φ1.65

φ24

Fe-Ni-CoALLOY

5/8-24UNEFSCREW

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

5/8-24UNEFSCREW


N-R N-R-F N-JJ N-JJ-FCoaxial16297


D.C or A.C200 (MHz) max D.C or A.C6,500 (MHz) max

RM20M-13D28*7

Coaxial16634

5D.C3,000

109

5010-10

300Liquid-N2

N-P-58U*6


*6 DDK*7 SOURIAU



SMA TYPEFor high frequency application.50Ω impedance matching and coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

インピーダンス50Ω、同軸タイプ、高周波用のフィードスルーです。片側、両側脱着の2タイプに、各々フローティングの有無の組合せがあります。


7

unit : mm

7

SMA-R

28

22.5φ1.8 φ9.5

φ5.4

φ0.9

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

1/4-36UNSSCREW

SMA-R-F

5.54.57

22.5

φ5.4

φ1.8φ9.5

φ16.5 φ0.9

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

1/4-36UNSSCREW

SMA-JJ

71022.5

φ9.5

φ16.5

φ5.4φ0.9

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

1/4-36UNSSCREW

1/4-36UNSSCREW

SMA-JJ-F

7 4.51722.5

5.5

φ5.4

φ16.5 φ0.9

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

1/4-36UNSSCREW

1/4-36UNSSCREW


SMA-R SMA-R-F SMA-JJ SMA-JJ-FCoaxial17545


Coaxial17717

3D.C1,000

109

6,50050

10-10

300Liquid-N2

11SMA-50-3-7C*8


*8 SUHNER



LEMO TYPESmall coaxial type feedthrough.Single and both side conjunctive with floating option available.

小型同軸タイプのフィードスルーです。片側、両側脱着の2タイプに、各々フローティングの有無の組合せがあります。


8

unit : mm

8

LEMO-OOR

20

30

φ6.45

φ2

φ1.0

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

LEMO-R-F

15282530

φ6.45

φ2

φ13

φ1.0

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

LEMO-JJ

9 15.5

27.7

φ6.45

φ2

φ11

φ1.2

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

LEMO-JJ-F

8 2 15

25

27.5

φ2

φ1.2

φ13

φ6.45

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3


LEMO-OOR LEMO-R-F LEMO-JJ LEMO-JJ-FCoaxial17057


B1-No41.0001*10B1-No41.0001*10

Coaxial18666

2D.C1,000

109

1,30050

10-10

300Liquid-N2

FFA00 250 CTAC31*9


*9 LEMO*10 MULTI CONTACT



ALMINUM TYPEThese feedthroughs use alminum sleeves.Cutom types can be produced.

標準のフィードスルーはすべて金属部分にFe-Ni-CoAlloyを使用しています。このページに記載したものはアルミニウムのスリーブ部品を使用しておりアルミニウム真空装置用に開発したシリーズです。ここに無いモデルも製作が可能です。


9

unit : mm

9

AL-BNC-R

10.5426

43.75

φ2.4 φ13

φ9.6

φ1.0

ALMINUMALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

AL-SHV-R

10.5430.5

45.5

φ13

φ1.65 φ9.65

φ1.35

Fe-Ni-CoALLOY

ALMINUMALLOY

CERAMICAl2O3

AL-SMA-R

2822.5

φ13

φ5.4φ0.9

φ9.5

φ1.8

ALMINUMALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

STAINLESSSTEEL

1/4-36UNSSCREW

AL-N-R

9.51032.540

φ21

φ16

φ1.65

φ13.5

ALMINUMALLOYFe-Ni-Co

ALLOY

CERAMICAl2O3

STAINLESSSTEEL

5/8-24UNEFSCREW


AL-BNC-R AL-SHV-R AL-SMA-R AL-N-RCoaxial19314

D.C1,000

BNC-P-3

Coaxial19317

D.C5,000

11SHV50-4-1CRC20M-13ELD28

Coaxial89421

D.C1,000

D.C or A.C4,000 (MHz) max

11SMA-50-3-7C

3

109

50

10-10

150Liquid-N2

Coaxial20422

D.C3,000

D.C or A.C200 (MHz) max

N-P-58URM20M-13D28




ALMINUM TYPEThese feedthroughs use alminum sleeves.Custom types can be produced.

標準のフィードスルーはすべて金属部分にFe-Ni-CoAlloyを使用しています。このページに記載したものはアルミニウムのスリーブ部品を使用しておりアルミニウム真空装置用に開発したシリーズです。ここに無いモデルも製作が可能です。


10

unit : mm

10

AL-22-PIN

35

φ1.57

φ28.5

Fe-Ni-CoALLOY

ALMINUMALLOY

CERAMICAl2O3

AL-48-PIN

35

φ1.57

φ38

Fe-Ni-CoALLOY

ALMINUMALLOY

CERAMICAl2O3

AL-14-PIN-BNC

35

φ28.5

φ2.4

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

ALMINUMALLOY

CERAMICAl2O3

TypePart Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlugContact

AL-22PIN AL-48PIN AL-14PIN-BNC22-PIN19416

D.C500

G6A18-22SNE-JGRC20M-13ELD28

48-PIN19417

D.C500


G6A24-48SNE-JGRC20M-13ELD28

14-PIN

D.C500

G6F18-14SNE-JGRC20M-13ELD28

3

109

10-10

150Liquid-N2

Coaxial

D.C1,000


BNC-P

19418


11

unit : mm

11



4PIN

35

φ15.1

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

8PIN

35

φ19

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

12PIN

35

φ22.2φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

TypePart Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlugResin InsertContact

4-pin 8-pin 12-pin22320

G6A10-4SNE-JG*11

G10-4S

187873

D.C500109

D.C or A.C10 (MHz) max10-10

300Liquid-N2

G6A12-88SNE-JG*12

G12-88SRC20M-13ELD28

18955

G6A14-92SNE-JG*13

G14-92S

*11 *12 *13 SOURIAU

MULTIPIN TYPE(BAYONET LOCK SERIES) Measurement and control use. Bayonet lock socket compatible.

Various shape and type are available.

計測、制御用の丸型多ピンフィードスルーです。バイヨネットロック型のプラグと、はめ合わせが可能です。ストレートチューブ構造のものの他、Oリングシール可能なフランジ付きまた、パネルマウント付きのものも製作が可能です。


12

unit : mm

12



19PIN

35

φ25.3

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

22PIN

35

φ28.5

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

22PIN-T

35

φ28.5

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

TypePart Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlugResin InsertContact

19-pin 22-pin 22-pin-through90474

G6A16-19SNE-JG*14

G16-19S

148203

D.C500109

D.C or A.C10 (MHz) max10-10

300Liquid-N2

G6A18-22SNE-JG*15

G18-22SRC20M-13ELD28

16891

G6A18-22SNE-JG*16

G18-22S

*14 *15 *16 SOURIAU





13

unit : mm

13



30PIN

35

φ31.8φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

48PIN

35

φ38φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

14PIN-BNC-R

35

φ2.4 φ28.5

φ1.57

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3

Type

Part Number Current:Amax.Voltage:D.CVmax.Insulation:Ωmin.Frequency:MHzImpedance:ΩLeak rate:1.3xPa・m3/sBakeout Temp:℃CoolingPlugResin InsertContact

30-pin 48-pin 14-pin14-pin-BNC-R

Coaxial90366

G6A20-30SNE-JG*17

G20-30S

16522

G6A24-48SNE-JG*18

G24-48S

D.C500109

-

-RC20M-13ELD28

D.C1,000109

50

-

3D.C500

109

-10-10

300Liquid-N2

RC20M-13ELD28

162283

10-10

300Liquid-N2

G6F18-14SNE-JG*19

*17 *18 *19 SOURIAU






Ultra High Vacuum FeedthroughMULTIPIN TYPE

(MS SERIES) MIL-STD plug compatible multi pin types.With panel mount and flange for O-ring-seal option.

計測、制御用の丸型多ピンフィードスルーです。MIL規格準拠のプラグと、はめ合わせが可能です。ストレートチューブ構造のものの他、Oリングシール可能なフランジ付きまた、パネルマウント付きのものも製作が可能です。


14

unit : mm

14

SHEEL SIZE Pin Diaφ1.6

φ1.6

φ2.4φ1.6φ1.6φ2.4φ1.6φ1.6φ5.7φ1.6φ1.6φ1.6

Pin Qty2P3P4P6P5P

10P14P8P

19P24P3P

26P37P48P

12S-314S-714S-214S-618-1118-120-2722-2322-1424-2828-628-1228-2136-10

Part Number9056390564905669056890567905709057190569931909057390565905749057590576

A.750-20UNEF

.875-20UNEF

1.125-18UNEF

1.250-18UNEF

1375-18UNEF

1.500-18UNEF

1.750-18UNS

2.250-16UNS

B14.2

17.3

23.7

26.8

30.0

33.1

38.7

50.4

C15.2

18.3

24.8

27.9

31.5

34.6

40.7

52.4

D30

30

49

49

49

49

49

49

E12

12

18

18

18

18

18

18

ソルダーカップ形状Solder Cup Shape

ソルダーカップ無しの対応も可。Correspondence without Solder Cup is possible, too

R55

8

0.5

φC

φ1.6

φ1.6

φ2.2

φ1.0

φB

Fe-Ni-CoALLOY

A

E

D

Fe-Ni-CoALLOY

CERAMICAl2O3


15

unit : mm

15



Pin Qty481219223048

Pin Diaφ1.57φ1.57φ1.57φ1.57φ1.57φ1.57φ1.57

Part Number90529905309053190532905339053490535

A12.512.512.512.512.512.512.5

B20202020202020

C15.119

22.225.328.531.838

φC

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

AA B

45

4-PIN

BAYONET LOCK SERIES

22-PIN 30-PIN 48-PIN

8-PIN 12-PIN 19-PIN

CERAMICAl2O3

HERMETIC SEAL TYPE(BAYONET LOCK SERIES) Measurement and control use. Bayonet lock socket compatible.




16

unit : mm

16



MS SERIES12S-314S-714S-214S-618-1118-120-2722-2322-1424-2828-628-1228-2136-10

Pin Qty2P3P4P6P5P

10P14P8P

19P24P3P

26P37P48P

Pin Diaφ1.6φ1.6φ1.6φ1.6φ2.4φ1.6φ1.6φ2.4φ1.6φ1.6φ5.7φ1.6φ1.6φ1.6

Part Number9057890579905819058390582905859058690584905879058890580905899246690591

A1515151515151515151515151515

B1515151515151515151515151515

C15.218.318.318.325.225.228.331.531.534.640.740.740.747.1

φC

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

AA B

45

CERAMICAl2O3

2#16

（ピン径）φ1.6

6#16


24#16


3#16


8#12


26#16

φ1.6

3#4


10#16


37#16

φ1.6

4#16


14#16


48#16

φ1.6

5#12


19#16


WIRE No(#4・12・16)SHELL SIZE: 12S・14S18・20・22・24・28・36

MS SERIESSHELL SIZENUMBERINGSYMBOL

PIN 1/0WIRE No

12S-3 14S-6 24-28

14S-7 22-23 28-12

28-6 18-1 28-21

14S-2 20-27 36-10

18-11 22-14

AB

AC

B

A

C B

A

BD

C

AB

CD

E

AB

CE

F

D

A

B

CD

H

G

F

E

D

HG

FE

J

I

G

F

A

B

C

N

ML

UK

R

W

V

J

Q

AA B C DD

e

m

f

R AB

Tb

C

DU

VE

H

WF

C G

V

y z

HERMETIC SEAL TYPE(MS SERIES) MIL-STD plug compatible multi pin types.

With panel mount and flange for O-ring-seal option.

計測、制御用の丸型多ピンフィードスルーです。MIL規格準拠のプラグと、はめ合わせが可能です。ストレートチューブ構造のものの他、Oリングシール可能なフランジ付きまた、パネルマウント付きのものも製作が可能です。


17

unit : mm

17



TYPE PartNumber

VOLTAGE 使用電圧

(D.C)

DIMENSION・寸法 GLAZE釉薬

ELECTRODE MATERIALE：電極材質

MATERIAL OF SLEEVEF：スリーブ材質

D D1 D2 M H O.F.H.C SUS SUS NOYESFe-Ni-Co Fe-Ni-Co5KV5KV5KV5KV5KV5KV5KV5KV5KV5KV5KV5KV

191919191919191919191919

666666666666

M6M6M6M6M6M6M6M6M6M6M6M6

151515151515151515151515

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

191919191919191919191919

5KV-6-KV-KV-G5KV-6-KV-KV5KV-6-KV-SUS-G5KV-6-KV-SUS5KV-6-Cu-KV-G5KV-6-Cu-KV5KV-6-Cu-SUS-G5KV-6-Cu-SUS5KV-6-SUS-KV-G5KV-6-SUS-KV5KV-6-SUS-SUS-G5KV-6-SUS-SUS

87000-1387000-1687000-1187000-1987000-1587000-1887000-6087000-2187000-1487000-1787000-187000-20

TYPE

Fe-Ni-Co O.F.H.C SUS

ELECTRODE MATERIAL 電極材質

WITHSTAND VOLTAGE(Outside, atmosphere, inside vacuum, less than 10E-1 Pa)

耐電圧（外側、大気、内側真空10E-1Pa以下）

INSULATIONRESISTANCE 絶縁抵抗

(atD.C500V)

HERMETICITY 気密性

Pa・m3/s

Current:A max.電流容量

27 145 22 D.C.5KV 1000MΩ 1.3×10-105KV-6

25164H525

E

φD

φD1

φD2

Fe-Ni-CoALLOY

MSCREW

F

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

GLAZE CERAMICAl2O3

FeedthroughFor high rating use (generators. Heaters. Lamps) lsolation and electrode materials can be changed Pleasecontact local sales office.

電力、ヒーター、ランプなど大きな電流を使用するのに適しています。耐電圧も各種取り揃えていますので用途に応じて選択して頂けます。また、電極材料は任意に変更が可能です。特別な材料の場合は、お問合せ下さい。


18

unit : mm

18





25164H525

E

φD

φD1

φD2

Fe-Ni-CoALLOY

MSCREW

F

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

GLAZE CERAMICAl2O3

TYPE PartNumber


(D.C)





292929292929292929292929

161616161616161616161616

M16M16M16M16M16M16M16M16M16M16M16M16

151515151515151515151515

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

303030303030303030303030


87000-2287000-2887000-2587000-3187000-2487000-3087000-2787000-3387000-2387000-2987000-2687000-32

TYPE






(atD.C500V)


Pa・m3/s


88 476 73 D.C.5KV 1000MΩ 1.3×10-105KV-16


19

unit : mm

19





25164H525

E

φD

φD1

φD2

Fe-Ni-CoALLOY

MSCREW

F

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

GLAZE CERAMICAl2O3

TYPE PartNumber


(D.C)





454545454545454545454545

252525252525252525252525

M24M24M24M24M24M24M24M24M24M24M24M24

151515151515151515151515

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

505050505050505050505050


87000-3487000-4087000-3787000-4387000-3687000-4287000-3987000-4587000-3587000-4187000-3887000-44

TYPE






(atD.C500V)


Pa・m3/s


149 808 124 D.C.5KV 1000MΩ 1.3×10-105KV-25


20

unit : mm

20



TYPE PartNumber


(D.C)





202020202020202020202020

666666666666

M6M6M6M6M6M6M6M6M6M6M6M6

303030303030303030303030

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

252525252525252525252525


87000-387000-4787000-4687000-5087000-487000-4987000-287000-5287000-687000-4887000-787000-51

TYPE






(atD.C500V)


Pa・m3/s


27 145 22 D.C.10KV 1000MΩ 1.3×10-1010KV-6

25164H525

E

φD

φD1

φD2

Fe-Ni-CoALLOY

MSCREW

F

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

GLAZE CERAMICAl2O3




21

unit : mm

21





25164H525

E

φD

φD1

φD2

Fe-Ni-CoALLOY

MSCREW

F

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

GLAZE CERAMICAl2O3

TYPE PartNumber


(D.C)





353535353535353535353535

161616161616161616161616

M16M16M16M16M16M16M16M16M16M16M16M16

303030303030303030303030

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

404040404040404040404040


87000-5-0187000-5387000-5-0287000-5687000-5-0387000-5587000-5-0487000-5887000-5-0587000-5487000-5-0687000-57

TYPE






(atD.C500V)


Pa・m3/s


88 476 73 D.C.10KV 1000MΩ 1.3×10-1010KV-16


22

unit : mm

22





25164H525

E

φD

φD1

φD2

Fe-Ni-CoALLOY

MSCREW

F

Fe-Ni-CoALLOY

Fe-Ni-CoALLOY

GLAZE CERAMICAl2O3

TYPE PartNumber


(D.C)





505050505050505050505050

252525252525252525252525

M24M24M24M24M24M24M24M24M24M24M24M24

303030303030303030303030

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○

555555555555555555555555


87000-5987000-6687000-6187000-6787000-6487000-7087000-6587000-7187000-6287000-6887000-6387000-69

TYPE






(atD.C500V)


Pa・m3/s


149 808 124 D.C.10KV 1000MΩ 1.3×10-1010KV-25


Ultra High Vacuum FeedthroughMULTI PIN

FEEDTHROUGH Material of electrode.design and voltage can be designed to meet customers requirement Pleasecontact local seles.

多ピンタイプのフィードスルーでは、電流値の制限があります。この場合、電流導入端子を最小のスペースで配置し1枚のフランジに取り付けることができます。また、電極材料は、任意な変更が可能です。特別な材質の場合は、お問合せ下さい。


23

unit : mm

23

A

FLANGEJIS フランジ

（組合せ例）

（例）

EXAMPLE OF COMBINATION

電流導入端子（5KV-6）を7本、JIS VF100フランジに取り付けた例EXAMPLE : THIS COUSTOMER REQUESTS 7PCS OF 5KV-6 FEEDTHROUGHON JIS VF100 FLANGE

（配列確認法）DESING GUIDELINE

P.C.D100

5KV-6 7PINS JIS VF100 FLANGE

FEED THROUGH

5KV-6

外径φ19FEEDTHROYGH O.D

溶接部開先すきまGAP BETWEENWELDINGMIN.4mm

碍子間すきまGAP BETWEENINSULATORS5KV-25 MIN.4mm（UL規格の場合）

Oリング溝とのすきまGAP TO“O”TYPERING MIN.4mm

Oリング溝“O”TYPE RING

7

本数PIN 1/O

P.C.D100

等ピッチPITCH

VF100

FLANGE TYPE

PIN/O PITCH FLANGE

φ185

90


Ultra High Vacuum Components

ISOLATORSIsolator flanges for vacuum application.Standard sizes and custom made are available.

真空用の規格フランジに合わせた絶縁フランジです。標準寸法の他、ご希望の電圧、用途に合わせたものが製造可能です。


24

unit : mm

24

ABCDEFGHIJKL

No

ISOLATORS No.AISOLATORS No.BISOLATORS No.CISOLATORS No.DISOLATORS No.EISOLATORS No.FISOLATORS No.GISOLATORS No.HISOLATORS No.IISOLATORS No.JISOLATORS No.KISOLATORS No.L

PART NAME・（品名）

90283-190283-290283-390283-490283-590283-690283-790283-890283-990283-1090283-1190283-12

Part Number

ABCDEFGHIJKL

No

252542427070100100148148190190

φD1

1414272756567575

122122135135

φD2

15.415.42929

58.558.576.576.5

101.5101.5136136

φD3

34347070

114114152152203203253253

φD4

6070628280

10095

115105125110130

L1

102020402040204020402040

L2

7.57.5

12.712.71919212124242525

T1

7.57.5

12.712.717.517.5202022222525

T2

2727

58.758.792.292.2

130.3130.3181.1181.1231.9231.9

P.C.D

4.54.56.76.78.48.48.48.48.48.48.48.4

φH

666688

161620202424

n

0.50.50.50.50.50.5

0.750.750.750.751.01.0

t

φD4

φD4

φD3φD2

φD1

tt

φD3

P.C.D

P.C.D

SLEEVEFe-Ni-CoALLOY

参考値：沿面耐電圧DC600V/㎜AC400V/㎜

L2L1

T1 T2 n-φHn-φH

TIGTIG

FLANGE(FIXED)SUS304FLANGE

SUS304

CERAMICAl2O3

GLAZE


Ultra High Vacuum ComponentsISOLATORS WITH

BELLOWS Isolator flanges for vacuum application.Standard sizes and custom made are available.

真空用の規格フランジに合わせた絶縁フランジです。標準寸法の他、ご希望の電圧、用途に合わせたものが製造可能です。


25

unit : mm

25

No. A, B, E, F は内側からボルトが入りません。ナットの使用のみとなります。

No. A, B, E, F apply Only nut not bolt from inside.

ABCDEFGHIJKL

No

ISOLATORS WITH BELLOWS No.AISOLATORS WITH BELLOWS No.BISOLATORS WITH BELLOWS No.CISOLATORS WITH BELLOWS No.DISOLATORS WITH BELLOWS No.EISOLATORS WITH BELLOWS No.FISOLATORS WITH BELLOWS No.GISOLATORS WITH BELLOWS No.HISOLATORS WITH BELLOWS No.IISOLATORS WITH BELLOWS No.JISOLATORS WITH BELLOWS No.KISOLATORS WITH BELLOWS No.L

PART NAME・（品名）

90284-190284-290284-390284-490284-590284-690284-790284-890284-990284-1090284-1190284-12

Part Number

ABCDEFGHIJKL

No

252542427070100100148148190190

φD1

ABCDEFGHIJKL

No

7.57.5

12.712.71919212124242525

T1

7.57.5

12.712.717.517.5202022222525

T2

4.54.56.76.78.48.48.48.48.48.48.48.4

H

666688

161620202424

n

0.50.50.50.50.50.50.750.750.750.751.01.0

t

2727

58.758.792.292.2

130.3130.3181.1181.1231.9231.9

P.C.D

1414272756567575

122122135135

φD2

15.415.42929

58.558.576.576.5

101.5101.5136136

φD3

14143131

60.560.579.579.5

104.5104.5140140

φD4

34347070

114114152152203203253253

φD5

262640408080

100100162162185185

φD6

1212272760607575

132132135135

φD7

102020402040204020402040

L2

63~7171~79

88.5~96.5108.5~116.5100.5~108.5120.5~128.5105.5~113.5125.5~133.5

118~126138~147117~125

137~145

L3

φD5

φD5 φD2

φD1

φD3

φD4 φD6

φD7

t t

P.C.D

P.C.D

RINGFe-Ni-CoALLOY

SLEEVEFe-Ni-CoALLOY

L2L3（伸縮長）VARIABLE

T2T1n-φH n-φH

TIGTIG

TIG

FLANGE(FIXED)SUS304

FLANGESUS304

BELLOWSSUS304

BLOCKSUS304

CERAMICAl2O3

GLAZE

参考値：沿面耐電圧DC600V/㎜AC400V/㎜


26

unit : mm

26

Ultra High Vacuum ComponentsSAPPHIREWINDOWS


90167-190167-290167-390167-490167-590167-690167-790167-890167-990167-10

PART NAME（φ）mm・名称 Part NumberSAPPHIRE WINDOWS φ20SAPPHIRE WINDOWS φ30SAPPHIRE WINDOWS φ35SAPPHIRE WINDOWS φ40SAPPHIRE WINDOWS φ50SAPPHIRE WINDOWS φ60SAPPHIRE WINDOWS φ70SAPPHIRE WINDOWS φ80SAPPHIRE WINDOWS φ100SAPPHIRE WINDOWS φ150

A2030354050607080

100150

C182833384858687898

148

t22

2.52.52.533344

B21.631.636.641.651.661.671.681.6

101.6151.6

0.5T

5.0T

10.0T

10050.00

0 190.0

300.0

500.0

700.0

900.0

1.0

22

t2

Fe-Ni-CoALLOY

SAPPHIREKYOCERA SA-100

透過率（％）

TRANSMISSIVITY（％）

通過光波長（nm）WAVE LENGTH（nm）

サファイア（SA-100）肉厚透過光波長（0.2μ～0.9μ）透過データSAPPHIRE（SA-100）TRANSMISSIVITY THICKNESS VS WAVE LENGTH

注意：透過率が必要な場合は、（透過光波長）および（透過率）を予め御連絡下さい。　　サファイアの肉厚により、透過率が変わります。（図御参照）　　尚、サファイアの肉厚が薄くなる場合、ろう付けとのかねあいで製作が出来ない　　事がありますので御了承下さい。

NOTE:・THESE DATA ARE REFERENCE ONLY・TO REQUIRE SPECIFIC TRANSMISSIVITY,PLEASE CONSULT KYOCERA・TRANSMISSIVITY MAY VARY DEPENDING ON THICKNESS OF SAPPHIRE・TOO THIN OF SAPPHIRE THICKNESS MAY AFFECT ON BRAZING OPERATION

φC

φA

φB

Single crystal sapphire is used. AR coating is option.

単結晶サファイアを使った覗き窓です。真空用の規格フランジに合わせたサイズの他、耐圧用の窓の製作も行います。光学用の計測窓には、無反射コーティングを行うこともできます。


Ultra High Vacuum ComponentsSAPPHIRE WINDOWS WITH

VACUUM FLANGE Products for vacuum flange assembled with sapphire windows. They canbe used by attaching directly to vacuum equipment.

真空用フランジ（コンフラットフランジ）にサファイア窓を取りつけたものです。真空装置にこのまま取り付けて使用して頂けます。


27

unit : mm

27

B

25

φA

P.C.D

TIG

Fe-Ni-CoALLOY

n-φH

FLANGESUS304


90170-190170-290170-390170-4

PART NAME・名称 Part Number70F SW35

114F SW70152F SW100203F SW150

A70

114152203

B12.717.52022

n68

1620

H6.78.48.48.4

P.C.D58.792.2

130.3181.1

1.0

t TφB

φA

φC

P.C.D

TIG

Fe-Ni-CoALLOY

n-φH

FLANGESUS304


9711190173-190173-290173-3

PART NAME・名称 Part Number70F SW35S

114F SW70S152F SW100S203F SW150S

A3570

100150

B36.671.6

101.6151.6

C70

114152203

t2.5344

T12.717.52022

n68

1620

H6.78.48.48.4

P.C.D58.792.2

130.3181.1


unit : mm

2828

Custom-designed Ceramic Chambers


POSTECH様

キッカーM/Gビーム用

POSTECH様

50×100×L700 64×116×L400

40×100×L710

119×264×L1150

トリスタン用KEK様

トリスタン用KEK様

by courtesy of Pohang University of Science and Technology

Application: Kicker Magnet Beam

by courtesy of Pohang University of Science and Technology

by courtesy of High Energy Accelerator Research OrganizationApplication: TRISTAN

by courtesy of High Energy Accelerator Research OrganizationApplication: TRISTAN


unit : mm

2929

Custom-designed Ceramic Chambers


KEK様

100×180×L1000

90×100×1500KEK様

□70×L1580

W280×L400

90×110×520

φ90×L1150

100×350×350

CERN様LHC用

大型放射光施設（SPring-8）用

三菱電機株式会社様重粒子線ガン治療装置用

IHI様J-PARC用

by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization

Application: SPring-8


by courtesy of European Organization for Nuclear Research (CERN)Application: Large Hadron Collider (LHC)

by courtesy of Mitsubishi Electric CorporationApplication: Heavy Particle Radiotherapy

by courtesy of Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co.,LtdApplication: J-PARC


unit : mm

3030

Custom-designed Isolator Flanges


φ450×L580

φ120

φ450×L350

500×500×L70

φ540×L70

LHD用

JT60用矩形絶縁フランジ

NIFS様

日本原子力研究開発機構様

LHD用NIFS様

by courtesy of National Institute for Fusion ScienceApplication: Large Helical Device

by courtesy of National Institute for Fusion ScienceApplicaton: Large Helical Device

by courtesy of Japan Atomic Energy AgencyApplicaton: JT-60


unit : mm

3131

Custom-designed Accelerator Tubes


φ435×L515

φ380×L700

φ180×L480

φ150×L250

φ111×L173

φ160×L247

筑波大学様

日本原子力研究開発機構様電子銃用

超高圧電子顕微鏡用株式会社日立製作所基礎研究所様

電子顕微鏡用株式会社日立製作所様

タンデム用九州大学様

by courtesy of Advanced Research Laboratory, Hitachi, Ltd.Application: Super High Voltage Electron Microscope

by courtesy of Japan Atomic Energy AgencyApplication: Electron Gun

by courtesy of Tsukuba University

by courtesy of Kyushu UniversityApplication: Tandem Accelerator

by courtesy of Hitachi, Ltd.Application: Electron Microscope


unit : mm

3232

Custom-designed Sapphire and Silicon Nitride Windows


70×160×L252

φ180

114×185×t7

LHD用NIFS様

LHD用NIFS様

LHD用NIFS様

LHD用NIFS様

SORリング「オーロラ1号」搭載住友重機械工業株式会社様

TRIAM-1M用SA窓九州大学様


by courtesy of Sumitomo Heavy Industries, Ltd.Application: SORring "AURORA"

by courtesy of Kyushu UniversityApplication: TRIAM-1M




150mm

100mm


unit : mm

3333

Custom-designed Beam Feedthroughs


KEK様

東京大学様


by courtesy of University of Tokyo

70mm 100mm

150mm


unit : mm

3434

Custom-designed Ion Source Feedthroughs


100mm

100mm


unit : mm

3535

Custom-designed Feedthroughs


30mm

70mm 20mm


unit : mm

3636

Custom-designed Feedthroughs and Isolators


φ415×φ335×L220 φ330×φ250×φ245×φ165×L220電子線装置用電子線装置用

30mm

Application: Electron Beam Processing System Application: Electron Beam Processing System


3737

原料　調合

粉砕・混合

噴霧　乾燥

ラバープレス

素　　　焼

乾式プレス押出し成型

乾　　　燥

切　　　断

素　　　焼

切削　加工切削　加工

焼　　　成

焼　　　成

印　　　刷

ラッピング

研　　　削

釉　　　焼

施　　　釉

Niメッキ

ロー付け

Ni/Auメッキ

検　　　査検　　　査

CERAMIC BODYINGREDIENTS

MIXING

MILLING

SPRAY DRYING

ISOSTATIC PRESS

FIRING

DRY PRESSEXTRUSION

DRYING

CUTTING

FIRING

MACHINING MACHINING

SINTERING

SINTERING

PRINTING

LAPPING

GRINDING

FIRING

GLAZING

NICKEL PLATING

METAL BRAZING

Ni/Au PLATING

INSPECTION INSPECTION

技術情報／製造工程Technical Information／Material Process



3838

MaterialItem

AlUMINA(Al2O3)

SILICONCARBIDE

(SiC)

SILICONNitride(Si3N4)

FORSTTERITE(2MgO・SiO2)

SINGLECRYSTALSAPPHIRE

(Al2O3)

Kyocera No. A-459 A-473 A-476 A-479 A-479SS SC-211 SN-220 F-1120 SA-100

Dense Dense Dense Dense Dense

Russet White White White Ivory

Dense Dense Dense Dense

Good forMetallizing

Magnetron Hybrid ICSubstrates

IC MultiLayer

PackagesElectrontube

Housing

MechanicalSeal

Gas TurbinePartsHigh

TemperatureResistance

Parts

InternalCombustionEngine PartsMolten Metal

PartsGas TurbineParts Metal

Forming Tool

FilmResistor

CoreSubstrate

Parallel toC-axis

Parallel to C-axisVertical to C-axis

Vertical toC-axis

Heat.Corrosion

AndWear

ResistantParts

PumpShafts

Good forMetallizing

MechanicallyStrong

GoodSurface

Smoothness

Hard andChemically

Stable

Hard andChemically

StableFine GrainStrong and

Smooth

High Mechanical StrengthHigh Heat Resistance

High Chemical ResistanceHigh Electric Insulation

Resistance

SOS SubsrtateWindow for High

TemperatureHigh Pressure Equipment

Construction PartsParts for Scientific

Equipment

High Temperature

StrengthWear Resistant

ExcellentThermalShock

ResistanceLight

Weight

GoodSurface

Smoothness

HighTemperature

StrengthHigh

ChemicalResistanceExcellentThermal

ConductivityFracture

Toughness

Black Black LightYellow Transparent

89 92 96

High Mechanical Strength,High Temperature Resistance,High Frequency Insulation,High Chemical Resistance

99 99.5 - - - 99.99

3.6 3.6 3.7 3.8 3.9 3.2 3.2 3.0 3.97

0.75 0.78 0.78 0.79 0.78 0.67 0.66 0.78 0.75

15 16 15 15 15 - 10 17 48

＞1014 ＞1014 ＞1014 ＞1014 ＞1014 105 ＞1014 ＞1014 ＞1014

1010 1012 1010 1010 1013 104 1012 1013 -

108 1010 108 108 1010 103 1010 1010 1011

0 0 0 0 0 0 0 0 0

12.1 12.3 13.7 15.2 16.0 22.0 13.9 7.3 22.5

14 18 24 29 32 60 20 5 41

- 0.32 - 0.10 0.07 0.04 1.00 - ≒0.00

- 0.65 - 0.33 0.25 0.01 0.40 - ≒0.00

- 0.91 - 0.26 0.05 ≒0.00 0.36 - ≒0.00

52 54 38 20 10 - - 20 -

6 6 4 2 1 - - 3 ＜1

- 200 200 200 250 400 550 - -

7.0 6.9 7.2 7.2 7.2 3.7 2.6 9.7

7.9 7.8 7.9 8.0 8.0 4.4 3.2 -

7.7

7.0

310 340 350 310 360 540 610 180 690

280 280 320 360 370 430 290 150 470

8.8 9.0 9.4 9.9 9.9 - - 6.511.59.3

0.23 0.23 0.23 0.23 0.23 0.16 0.28 0.24 -

- - - 3～4 4 4～5 5 - -

- 2,300 - 2,160 2,350 - 3,820 - 2,940

Appearance

Color

Alumina Content (%)

Main Characteristics

Main Applications

Bulk Density g/cm3 JISR1634

Vickers Hardness HV1 (GPa) JISR

1610

Flexural Strenght MPa JISR1601

Specific HeatJ/

(g・K)JISR1611

JISC2141

Heat ShockResistance

Dielectric(1MHz)Constant

Dielectric(1MHz)Loss Angle

Nitric Acid (60%)90℃,24H

Sulphuric Acid (95%)95℃,24H

Caustic Soda (30%)80℃,24H

Loss Factor

℃ JISR1648

JISR1614

ThermalConductivity 20℃

W/(m・K)

JISR1611

JISR1618

FractureToughness

CoefficientOf LinearThermal

Expansion

MPam1/2

Dielectric Strength

VolumeResistivity

KV/mm

WTLossmg/cm2

JISR1607

CompressiveStrength MPa JISR

1608Young's Modulus

Of Elasticity GPa

Poisson's Ratio -

-

JISR1602

JISR1634Water Absorption %

40～ 400℃ 40～ 800℃

20℃ Ω・ cm300℃

500℃

×10-6

/℃

(×10-4)

(×10-4)

Mec

han

ical

Ch

arac

teri

stic

sTh

erm

al C

hara

cter

istic

sE

lect

rica

l Ch

arac

teri

stic

sC

hem

ical

Cha

ract

eris

tics

※これらの値はテストピースの測定による参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。 ※The values are typical material properies and may vary according to products configuration and manufacturing process. For more details,

please feel to contact us.

セラミックスの特性表Characteristics Of Ceramics



3939

Composition by Weight(%)

Fe-Ni-CoAlloy

Fe54Co17Ni29

1/0pinLead

FrameSeal Ring

8.3 8.2 8.8 10.3 2.7 8.9 8.7 7.8 7.98 17.3 16.4 4.51

5 40 40 35 60 60 - - -

70-85 60-80 50-80 54-58 - 12-43 55 90 90 105 103 -

0.105 0.120 0.130 0.060 0.210 0.090 - 0.120 0.120 0.05 0.07 0.124

48 58 6.8 5.8 2.7 1.7 12 72 74 - - 55

- - - - 64 100 18 2.4 - 26 34 3.1

16.718.4

14.716.7

84.182.9

155147

151-

391393

58.6-

-16.3

-16.3

170-

190-

-17.2

5.7-6.2 7.5-8.5 15 5.723

(20-100℃)18.3 13.9 18.7 16.0 6.0 6.5 8.4

490-51071-74

47164

343-54950-80

Brazed35

Brazed35

Brazed35

686-980100-142

167-38224-55

20630

39257

58884

58884

49071

52977

--

13720.0

14721.4

20029.0

32447.1

6910.0

11717.0

19628.4

19328.1

19328.1

33348.5

31445.7

106-

1/0pinLead

FrameSeal Ring

LeadFrame

HeatSink

HeatSink

HeatSink

HeatSink

FlangeSleeve

FlangeSleeve

FlangeSleeve

FlangeSleeveConnector

Fe67Cr20Ni10

Fe62Cr18Ni14

Fe58Ni42

Cu10W90

Cu15W85

Ni99.0min Mo99.9 Al99.4 Cu99.96 Fe99.2 Ti99.1

OFHC(COPPER)

Alloy42 Ni Mo Al TiSTEEL SUS304 SUS316 Cu/W-10 Cu/W-15

Application

Bulk Density

Hardness Rockwell-B

TensilStrength

MpaKpsi

GpaMpsi

×10-6/℃20-500℃

20℃100℃

Cal/g℃

%lacs

μΩ・cm 20℃

%Elongation

Young'sModulus ofElasticity

SpecificHeat

VolumeResistivity

ElectricalConductivity

CoefficientOf LinearThermal

Expansion

ThermalConductivity

WM・K

Mec

han

ical

Ch

arac

teri

stic

sT

her

mal

Ch

arac

teri

stic

sEl

ectr

ical

Cha

ract

eris

tics

※これらの値は参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。 ※The values are typical material properies and may vary according to products configuration and manufacturing process.

接合金属の特性表Characteristics Of Material



4040

NON-MAGNETIC METALS（非磁性）

Mo-Mnメタライズ法Mo-Mn METALLIZATION

活性金属法ACTIVE METAL BONDING

MAGNETIC METALS（磁性）

29％Ni17％CoFeAlloy Ni42％NiFeAlloy 430Stn.Stl.52％NiFeAlloy Monel*

Titanium Gold(Au) Tantalum Silver(Ag) Inconel Copper(Cu) Niobium 70％Cupro NickelTungsten Aluminum(Al)Molybdenum Aluminum Alloy304Stn.Stl.

Silver Copper

Gold Copper

Gold Nickel

Aluminum Alloy

Gold

Silver

Copper

MELTINGTEMP（℃）

BRAZINGMATERIAL

780

990

950

580

1064

961

1084

72％Ag-28％Cu

37％Au-63％Cu

82％Au-18％Ni

Al-Si-Mg

99.9％Au

99.9％Ag

99.9％Cu

COMPOSITON

セラミックスCERAMIC

ナイロンNYLON

フッ素ゴムFKM

フッ素樹脂PTEF

ガラスGLASS

金属METAL

2×10-8

（51hrs after Vacuum）

7×10-8


10-9～10-8


10-15～10-14（400）

4×10-11（120）

1.3×10-9（200）

小さい（Less）（250）

10-15～10-14（400）

10-15～10-14（400）

真空用材料Material

室温におけるガス放出速度OUTGAS SPEED at RT[Torr・l/cm2 sec]

After Vacuum at RT 24hrs after Baking（℃）

10-9～10-8

10-8～10-7

10-9～10-8

アルミナ ALUMINA(Al2O3) Good

サファイア SAPPHIRE(Al2O3) Good

フォルステライト FORSTERITE(2MgO · SIO2) Good

窒化ケイ素 SILICON NITRIDE(Si3N4) Good

炭化ケイ素 SILICON CARBIDE(SiC) Good

窒化アルミ ALUMINUM NITRIDE(AIN) Good

メタライズ技術、各種素材と加工Metallization Technologies And Materials


接合金属BONDING METALS

ロウ材BRAZING MATERIALS

室温における各種真空用材料のガス放出速度COMPARISON OUTGAS SPEED OF VARIOUS MATERIAL

* Monel and Inconel are registered trademarks of the International Nickel Co.,Inc.


4141

正しいご使用方法SUGGESTION

ceramic

ceramic

ceramicmetal

metal

metalceramic

metal

ceramic metal

（1）アウトサイドシールOutside sealセラミックスに金属による圧縮応力がかかるため信頼性の高い構造です。

High Valialble constraction ceramichas compression stress form metal

（3）バットシールButt seal組立が容易な構造

easy assemble constraction

（2）インサイドシールInside seal内側の金属の熱膨張係数に注意する必要があります。セラミックスより大きい場合、セラミックスが割れることがあります。

Need to be careful to metals coefficient ofthermal expansion.Possible to be cracked when metals coefficient ofthermal expansion is higher than ceramic.

（4）バックアップリング付バッドシールButt seal with back-up ring組立が容易な構造で応力を分散させるためにバックアップリングを用いています。

easy assemble constraction Back-up ring isused to dis perse stress.

（5）エッジシールEdge seal接合面の平面度が必要な構造です。平面度が悪いと信頼性が低下します。

Need flatness for conbining sarface.If flatness is not good, veliability is poor.

DO NOT:

１.衝撃、無理な力をかけないで下さい。Apply mechanical shocks.

2. 汚れた場合、薬品や水を使って洗浄しないで下さい。アルコール等をしみ込ませたガーゼで軽くふき取って下さい。

Wash with chemicals and water.In case of cosmetic contamination,Please wipe with soft cloth byUsing alcohol.

3. 溶接時は入熱量を加減して下さい。セラミックス近辺が素手で持てる程度の温度（約60℃）以下が望ましい。溶接時はヒートシンクを取り付け加熱しないような準備をして下さい。

Apply extra high temperature at weldingStage. Please use heat sink to avoidHeating up the parts. It is recommendableto control the surface temperature ofCeramic as low as passible less than 60℃

4. ガス溶接等で金属表面が変色、酸化するまで加熱しないで下さい。

Apply heat which discolor and oxidize Metalsurface at gas and other brazing Process.

5. 耐真空用の製品設計を行っています。圧力容器などに組み付ける場合、圧力値と使用方法を申し出て下さい。

Hesitate to contact with KYOCERA when-Ever you need design support for vacuumComponents.

6. 性能表にある規格内で使用して下さい。規格値を超えて使用すると破損することがあります。

Use parts beyond their capability Statedin performance tables.

7. エポキシ樹脂などでピン部をモールドしないで下さい。熱膨張差が大きくセラミックスやピンのシール部が割れるおそれがあります。

Mold terminal pins by resin owing Todifferent T.C.E, ceramics or Brazing areacould be broken.

8. コンタクトピンへの結線作業は指定工具を使用して下さい。他の工具では接触不良やコンタクトピン破損のおそれがあります。

Use non-recommendable tools at Wiringprocess. Non-recommendable Toolscould cause loose connections.

落下

セラミックスと金属の基本的な接合構造Basic Design Of Ceramic-To-Metal Bonding



4242

With Kyocera's unique ceramic precision machining technology,

formed material is cut, ground and lapped after sintering to

required shapes.

These products are used for their unirivaled performance in OA

sliding parts as general structural members, precision jigs and

tools, in wear and chemical resistant slinding parts and also in

electromagnetic field and chemical solutions.

Dimensional precision achieved by machiningWhen dimensional precision is required for machined ceramics,

Kyocera is capable of achieving the tolerances as shown in the

table below. If greater tolerances are required, please consult us.

■MACHINING DIMENSIONAL PRECISION(Data are in mm unless otherwise specified)

Ground ceramic blocks and plates

Round and Square Bars

φ100（□100）×100r

■PRECISION MACHINED PRODUCTS

Ultra-precision is possible with Kyocera's unique techniques.

Precision machining is affected by shape and material. Some

practical examples are shown in the table below.

2

1

Surface CharacteristicsKyocera's comprehensive technology, from material control to

forming and sintering allows its fine ceramic produsts excellent

surface smoothness and flatness.

■SURFACE ROUGHNESS (ALUMINA)

As fired (3μRa)

Ground (1μRa)

Lapped (0.4μRa)

Polished (0.2μRa or less)

■ROUNDNESS MEASUREMENT

4

3

2

1

Tolerance

Parameter

Dimension

Standard Tolerance

0.02

0.01

1.5μ Ra

Parallelism

Flatness

Surface Roughness

Mirror Polishing

0.05

0.03

1.5μ Ra

φ（□）5～φ（□）30 φ（□）Over 30

0.2μ Ra

ToleranceParameter Standard Tolerance

0.01

0.01(30')

0.05/100

1.5μ RA

Roundness

Perpendicularity

Straightness

Surface Roughness

φ 6×L20 A-479SS ±3 0.3 0.3 0.2

φ 30×L20 A-479 ±3 0.3 0.3 0.3

φ 4×L20 A-479 ±1 0.3 0.3 0.3

φ 40×L30 A-479SS ±1 0.3 0.3 0.3

φ 40× T5 A-479SS ±1 1 1 0.2

φ100× T5 A-479 ±1 0.3 1 0.1

Exampleof Machining

Parameter

*Surface roughness depends on the material. The date shown here indicates where alumina is used.

Dimensions MaterialDimensional

Tolerance (μm)

SurfaceRoughness (μRa)

Perpen-dicularity

Straightness (μm)

Round-ness (μm)

Inner Diameter

Outer Diameter

Plate Parallelish Parallelish

Parallelish Parallelish

Precision Shaping And Machining



4343

京セラは、独特のセラミックス精密機械加工技術により、原料から成形された生素材を切削加工、あるいは焼成後に研削、ラッピング加工を行い、要求された複雑な形状をしかも高精度に加工しています。このようにして加工された京セラのセラミックス機械加工製品は、超高精度を要求されるOA機器の摺動部品をはじめとして、一般構造用部材、精密治工具、電磁ならびに化学薬品中で摺動する耐摩耗、耐薬品部品等に素晴らしい性能を発揮しています。

機械加工による寸法精度セラミックスに金属部品と同様な寸法精度の加工が要求される場合、下表のような公差まで加工しています。形状、寸法等、表で適用できない範囲は別途ご相談ください。

■加工寸法精度（指示なき単位は㎜）セラミックブロックおよび板類の研磨品

丸棒、角棒φ100（□100）×100r

■精密加工品京セラ独自の加工法により、さらに精密な加工も可能です。精密加工の精度は形状、材質に左右されるため、特に実施例を下表に示します。

2

1

使用目的に適合した表面特性を！セラミックスの表面状態は極めて重要で、各使用目的に適合した特性を持っていなければなりません。京セラのファインセラミックス製品は、原料管理から始まり成形、焼成などの総合的技術により、表面は高度の平滑性、平面性を持っており、さらに必要により研削、ラッピング、ポリシングを行いご要求に応じています。

■表面粗さ（アルミナの例）

無　研　磨（3μRa）

研　　削（1μRa）

ラッピング（0.4μRa）

ポリシング（0.2μRa以下）

■真円度測定データ

4

3

2

1

項目 φ（□）5～φ（□）30 φ（□）30以上

平　行　度 0.02 0.05

平　担　度 0.01 0.03

表面粗さ 1.5μRa 1.5μRa

鏡面研磨 0.2μRa

普通公差公差大きさ

項目

真　円　度 0.01

直　角　度 0.01（30'）

真　直　度 0.05/100

表面粗さ 1.5μRa

普通公差公差

寸法材質寸法公差（μm）真円度（μm）

真直度（μm）

表面粗さ（μRa）加工例

内径加工例 φ 6× L20 A-479SS ±3 0.3 0.3 0.2

φ 30× L20 A-479 ±3 0.3 0.3 0.3

外径加工例 φ 4× L20 A-479 ±1 0.3 0.3 0.3

φ 40× L30 A-479SS ±1 0.3 0.3 0.3

板状品加工例 φ 40× T5 A-479SS ±1 1 1 0.2

φ100× T5 A-479 ±1 0.3 1 0.1

項目

平行度平行度

平行度平行度

※表面粗さは材料により異なり、アルミナの例を示します。

形状と加工精度



4444

Specific Gravity

Flexural Strength

Bul

k D

ensi

ty (×

103 k

g/m

3 )

Sili

con

Nitr

ide

Sili

con

Nitr

ide

Sili

con

Car

bide

Sili

con

Car

bide

Sili

con

Car

bide

Sin

gle

Cry

stal

Sap

phire

Alu

min

a

Alu

min

a

Qua

rtz

Alu

min

a

Cer

met

Cer

met

Zirc

onia

Zirc

onia

Zirc

onia

Ste

el

Cem

ente

dC

arbi

de

Cem

ente

dC

arbi

de

Sta

inle

ssS

teel

Qua

rtz

SN-240 SC-211 A-479

0

5

10

15

20

Hardness

Vic

kers

Har

dnes

s (H

V1

GP

a)0

5

10

15

25

20

（Load 500g）

TC-30 Z-701N

Fle

xura

l Str

engt

h (M

Pa)

Z-701NA-479 SC-211

0 0

1000

2000

3000

4000

5000

6000

200

400

600

800

1000

1200

1400

1600

SN-220

A-479 TC-30Z-201N

Car

bon

Ste

el

Cas

t Iro

n

Hig

h S

peed

Ste

el

Sin

gle

Cry

stal

Sap

phire

Compressive Strength

Com

pres

sive

Str

engt

h (M

Pa)

Sili

con

Nitr

ide

SN-240

Alu

min

a

A-479

Sili

con

Nitr

ide

Zirc

onia

Z-201N SN-240

Materials Comparison Chart (1)



4545

見掛け密度

曲げ強度

見掛け密度（×103 kg/m3 ）

窒

化

珪

素

SN-240

炭

化

珪

素

SC-211

ア

ル

ミ

ナ

A-479

0

5

10

15

20

硬　　　　さ

ビッカース硬さ（HV1 GPa）

0

5

10

15

25

20

（荷重9.807N）

サーメット

TC-30

ジルコニア

Z-701N

鋼超

硬

合

金

曲げ強度（MPa）

石

　

　

英

Z-701N

ア

ル

ミ

ナ

A-479

炭

化

珪

素

SC-211

0 0

1000

2000

3000

4000

5000

6000

200

400

600

800

1000

1200

1400

1600

窒

化

珪

素

SN-220

ジルコニア

ステンレス

石

　

　

英

ジルコニア

A-479

ア

ル

ミ

ナ

TC-30

超

硬

合

金

Z-201N

サーメット

炭

化

珪

素

単結晶サファイア

圧縮強さ

圧縮強度（MPa）

炭　素　鋼

SN-240

ねずみ鋳鉄

高

速

度

鋼

ア

ル

ミ

ナ

A-479


窒

化

珪

素

Z-201N

窒

化

珪

素

SN-240

ジルコニア

セラミックスの特性（1）



4646

Sili

con

Nitr

ide

Car

bon

Ste

el

Sin

gle

Cry

stal

Sap

phire

Cer

met

Sili

con

Car

bide

Sta

inle

ssS

teel

Bra

ss

Alu

min

a

Zirc

onia

Young’s Modulus of Elasticity

You

ng’s

Mod

ulus

(G

Pa)

SC-211 TC-30Z-201N

0

Flexural Strength vs. Temperature

Fle

xura

l Str

engt

h (k

g/m

m2 )

Temp.（℃）＊：３ point bending

Fle

xura

l Str

engt

h (M

Pa)

0 200

400 800 1200 1600 2000 2400 （°F）

400 600 800 1000 1200 1400

20

40

60

80

100

120

140

200

400

600

800

1000

1200

1400

100

200

300

400

500

SN-240 A-479

＊Zirconia (Z-701N)

＊Alumina (A-479)

Silicon Nitride (SN-220)

Silicon Carbide (SC-211)

Thermal Expansion

The

rmal

Exp

ansi

on R

ate

(％)

0 200 400 600 800 1000

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

1.2

1.4

Temparature (℃)

Stai

nles

s St

eel (A

ISI3

04)

Stai

nles

s St

eel (A

ISI3

04)

Carbo

n Ste

el (A

ISI10

45)

Carbo

n Ste

el (A

ISI10

45)

Zircon

ia (Z-20

1N)

Zircon

ia (Z-20

1N)

Forsterite

(F-1123)

Forsterite

(F-1123)

Alumina (A-479)

Alumina (A-479)





Thermal Conductivity

The

rmal

Con

duct

ivity

(W

/m.K

)

The

rmal

Con

duct

ivity

(ca

l・cm／

cm2 ・

sec・℃

)

0 200 400 800600 1000 1200

10

20

30

40

50

60

700.16

0.12

0.08

0.04

Temparature (℃)

Stainless Steel

0.23C Steel

Zirconia (Z-701N)

Ni-Mo Alloy

Ni-Mo Alloy

Alumina (A-479)






4747

ヤング率

ヤング率（GPa）

黄

　

　

銅

SC-211 TC-30

ジルコニア

炭　素　鋼

Z-201N

ステンレス

0

高温強度

曲げ強度（kg/mm2 ）

温　　度（℃）＊：３点曲げ強度

曲げ強度（MPa）

0 200

400 800 1200 1600 2000 2400 （°F）

400 600 800 1000 1200 1400

20

40

60

80

100

120

140

200

400

600

800

1000

1200

1400

100

200

300

400

500

窒

化

珪

素

SN-240

ア

ル

ミ

ナ

A-479

炭

化

珪

素

サーメット

＊ジルコニア（Z-701N）

＊アルミナ（A-479）

窒化珪素（SN-220）

炭化珪素（SC-211）


熱膨張率

熱膨張率（％）

0 200 400 600 800 1000

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

1.2

1.4

温　　度（℃）

ステンレス（SUS304）

炭素鋼（S45C）

ジルコニア（Z-201N）

フォルステライト（F-1123）

アルミナ（A-479）

炭化珪素

（SC-211）

窒化珪素

（SN-220）

ステンレス（SUS304）

炭素鋼（S45C）


フォルステライト（F-1123）


炭化珪素

（SC-211）

窒化珪素

（SN-220）

熱伝導率

熱伝導率（W/m.K）

熱伝導率（cal・cm／cm2 ・sec・℃）

0 200 400 800600 1000 1200

10

20

30

40

50

60

700.16

0.12

0.08

0.04

温　　度（℃）

ステンレス

0.23C 鋼


Ni-Mo合金


Ni-Mo合金






4848

■StressUnit Conversion Table

■Thermal ConductivityMPa or N/mm2

19.807

9.807×10-26.895

Kgf/mm2

1.0197×10-11

1×10-20.703

Kgf/cm2

1.0197×101×102

170.3

103lb/in2（Kpsi）0.1451.422

1.422×10-21

W/m・k1

1.163418.7

Kcal/m・h・℃0.86

1360

cal/cm・sec・℃2.39×10-32.78×10-3

1

Heat Shock Resistance

Chemical Durability（30 min Boiling）

Fle

xura

l Str

eng

th A

fter

Qu

ench

ing

(kg

/mm

2 )

Fle

xura

l Str

eng

th A

fter

Qu

ench

ing

(M

Pa)

0 200 400 600 800 1000

20

Wei

gh

t L

oss

by

Ero

sio

n（m

g/c

m2 ）

0

1

2

3

5

6

200

Flexural strength id measured after the specimens are kept at given temparatures and quenched into water at 20℃.

95％ H2SO4（Sulphuric Acid）

400

600

800

1000

1200

1400

40

60

80

100

120

140

Quenching Temperature (℃)

300 600 900 1200 1500 （°F）

Zirconia (Z-701N)

Zirconia (Z-201N)



Alumina (A-479)

（）

SN-220A-479

0

1

2

3

5

6

60％ HNO3（Nitric Acid）

SN-220A-479

0

1

2

3

5

6

30％ NaOH（Caustic Soda）

SN-220A-479

Ch

rom

eS

teel

Sta

inle

ssS

teel

Ni-

Mo

Allo

y

Sili

con

Nit

rid

e

Alu

min

a

Ch

rom

eS

teel

Sta

inle

ssS

teel

Ni-

Mo

Allo

y

Sili

con

Nit

rid

e

Alu

min

a

Ch

rom

eS

teel

Sta

inle

ssS

teel

Ni-

Mo

Allo

y

Sili

con

Nit

rid

e

Alu

min

a




4949

■応力換算表

■熱伝導率 MPa or N/mm2

1 9.807

9.807×10-2 6.895

Kgf/mm21.0197×10-1

1 1×10-2 0.703

Kgf/cm21.0197×10 1×102 1 70.3

103lb/in2（Kpsi） 0.145 1.422

1.422×10-2 1

W/m・k1 1.163 418.7

Kcal/m・h・℃ 0.86 1 360

cal/cm・sec・℃ 2.39×10-3 2.78×10-3

1

耐熱衝撃性

耐薬品性（30分煮沸）

急冷後の曲げ強度（kg/mm2 ）

急冷後の曲げ強度（MPa）

0 200 400 600 800 1000

20

浸食減量（mg/cm2 ）

0

1

2

3

5

6

200

テストピースを横軸温度にセットした後、水中（20℃）に投下して熱衝撃率を与え曲げ強さを測定

95％ H2SO4（硫酸）

400

600

800

1000

1200

1400

40

60

80

100

120

140

温　　度（℃）

300 600 900 1200 1500 （°F）






（）

SN-220A-479

ア

ル

ミ

ナ

窒

化

珪

素

Ni―

Mo系合金

ステンレス

ク

ロ

ム

鋼

0

1

2

3

5

6

60％ HNO3（硝酸）

SN-220A-479

ア

ル

ミ

ナ

窒

化

珪

素

Ni―

Mo系合金

ステンレス

ク

ロ

ム

鋼

0

1

2

3

5

6

30％ NaOH（カ性ソーダ）

SN-220A-479

ア

ル

ミ

ナ

窒

化

珪

素

Ni―

Mo系合金

ステンレス

ク

ロ

ム

鋼




2017年11月制作禁無断転載

C 2017 KYOCERA CORPORATION037/005/1711

Printed in Japan

< U.S.A. >KYOCERA International, Inc. CA 49070 Milmont Dr. Fremont, CA 94538 Tel: +1-510-257-0200 Fax: +1-510-257-0125 CA 8611 Balboa Avenue, San Diego, CA 92123 Tel: +1-858-614-2520 Fax: +1-858-715-0871 IL 25 NW Point Blvd., #660 Elk Grove Village, IL 60007 Tel: +1-847-981-9494 Fax: +1-847-981-9495 NJ 220 Davidson Avenue, Suite 108, Somerset, NJ 08873 Tel: +1-732-563-4336 Fax: +1-732-627-9594 NC 100 Industrial Park Rd, Hendersonville, NC 28792 Tel: +1-828-693-8244 Fax: +1-828-692-1340 TX 7801 Capital of Texas Highway, Suite 330, Austin, TX 78731 Tel: +1-512-336-1725 Fax: +1-512-336-8189 WA 5713 East Fourth Plain Blvd., Vancouver, WA 98661 Tel: +1-360-696-8950 Fax: +1-360-696-9804

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KYOCERA Asia Pacific (Thailand) Co., Ltd. Thailand 1 Capital Work Place, Building 7th Floor, Soi Chamchan, Sukhumvit 55 Road, Klongton Nua, Wattana, Bangkok 10110 Tel: +66-(0)2030-6688 Fax: +66-(0)2030-6600

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< CHINA >KYOCERA (China) Sales & Trading Corporation Shanghai 5/F, Ascendas Innovation Place, No.660-686 Jiujiang Road, Huangpu District, Shanghai, 200001 Tel: +86-(0)21-5877-5366 Fax: +86-(0)21-5888-5082 Shenzhen Unit 06-08,29/F,AVIC Center NO.1018 Huafu Road, Futian District, Shenzhen, Guangdong, 518033 Tel: +86-(0)755-8272-4107 Fax: +86-(0)755-8279-0487

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