Адрес 124460, г.Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.4, стр.1 ООО «ЭСТО-Вакуум»

Телефон +7 (499) 710-6000, +7 (499) 710-6011, +7 (499) 729-7910, +7 (499) 729-8001

E-mail marketing@esto-vacuum.ru

Конфигурация

Вакуумная камера с

транспортной системой, тремя

магнетронами, источником

ионов.

Безмасляная система

вакуумной откачки на базе

криогенного насоса.

Трехканальная система

газонапуска.

Чиллер вода-вода.

Один блок питания

магнетронов мощностью 6 Квт.

Габаритные

размеры

установки

Solvac D19

www.esto-vacuum.ru

Solvac D19

Эксплуатационные требования

Потребляемая мощность 3х380 V ± 5%, 160A/phase,

50 Hz/ 60 Hz, N, G

Сжатый воздух 6 кг/см2

Охлаждающая вода 3-4 кг/см2, 40 л/мин

Выхлоп DN 40 KF (рабочие газы)

Азот марки «особо чистый» газообразный под давлением, кгс/см

2

1÷1,5

Кислород марки «особо чистый» газообразный под давлением, кгс/см

2

1÷1,5

Аргон марки «особо чистый» газообразный под давлением, кгс/см

2

1÷1,5

Опции

Второй высоковакуумный

криогенный насос.

Два или три блока питания

магнетронов для

одновременной работы

магнетронов.

Блоки питания магнетронов

увеличенной мощности (до

20квт).

Система электрического

смещения на рабочий стол.

Модуль ламповых

нагревателей, вместо одного

из магнетронов.

Чиллер увеличенной

мощности.

Автономный чиллер.

Solvac

Установка магнетронного напыления Solvac D19

Служба сервиса «Эсто-Вакуум» Обеспечивается три уровня поддержки:

постоянно действующая он-лайн техподдержка;

обслуживание установки через удаленный доступ;

выезд сервис-инженера на предприятие заказчика.

Служба сервиса имеет собственный склад запасных частей для быстрой замены в случае необходимости. Гарантийное обслуживание осуществляется в соответствии с договором поставки. Послегарантийное обслуживание осуществляется по дополнительным договорам или по разовым заказам.

Система управления

Установка

магнетронного

напыления Solvac D19

от ЭСТО-Вакуум

Система управления

Установка предназначена для нанесения металлических покрытий методом магнетронного нанесения и диэлектрических покрытий методом реактивного магнетронного нанесения c предварительной ионной очисткой поверхности. Установка представляет собой цилиндрическую камеру, установленную на раме. Камера состоит из трех секций. Правая секция отъезжает, позволяя вести загрузку-выгрузку изделий на тележку. На левой секции смонтирована вакуумная система. В центральной секции установлены технологические устройства: три магнетрона (в качестве опции вместо одного из магнетронов может быть установлен ламповый нагреватель), источник ионов и транспортная система тележки. Тележка с загруженными изделиями имеет возможность сканировать под технологическими устройствами. На изделие может быть подано электрическое смещение. Технологические устройства установлены на телескопических направляющих, облегчает их обслуживание. Вакуумная система установки построена на базе криогенного насоса и сухого форвакуумного насоса. В качестве опции может быть установлен второй криогенный насос для снижения предельного давления. Система газонапуска трехканальная. Максимальный размер обрабатываемого изделия: (ДхШхВ) 1500х900х300 мм. Максимальный вес: 400кг. пластмассах.

Операторский вид

интерфейса

Инженерный вид

интерфейса

Простая замена

мишени

Удобная загрузка

Полностью автоматическая. Гибкая система технологического программирования. Четыре уровня распределения прав доступа. Два вида интерфейса: операторский (простой) и инженерный. Режим редактирования параметров во время выполнения программы. Автоматическое архивирование всех параметров каждого технологического процесса в цифровом и графическом виде, в том числе данных журнала операций и предупреждений и самой технологической программы. Развитая система самодиагностики и раннего предупреждения. Модем сотовой связи, укомплектованный корпоративной СИМ-картой ЭСТО-Вакуум для обеспечения удаленного доступа.

Solvac D19