CAT NO.204

SMIF POD & FOUP OPENER SERIES

オープナシステム

生産設備と産業用ロボットの　　　　　が、その豊富な経験と最新のテクノロジーを結集して作り上げた新世代ウェーハ搬送システムのためのベストソリューションです。搬送信頼性・安全性に優れ、あらゆる生産環境・レイアウトに対応した全自動オープナシステムをご紹介いたします。The Hirata has grown in the service of production system and industrial robot proposes here the best solution for wafer transfer system in next generation through our long experience and advanced technology. Hirata automatic opener systems dedicated for all wafer production environments can be satisfied you with higher reliability and safety.

300mm(12")ウェーハ対応FOUP専用オープナ。高い剛性と多彩な検出機能により、信頼性の高い開閉動作をお約束いたします。

コンパクトな卓上型と台座付きの据置型が選択できます。シンプルな構造と簡単なボタン操作で、安全性の高い開閉動作が可能です。

FOUP オープナFOUP Opener

Page4-7Check!

SMIF ポッド開閉ユニットSMIF Pod Open/Close Unit

Page8-9Check!

＜KWFシリーズ＞＜KWF series＞

＜KWYシリーズ＞＜KWY series＞

Dedicated for FOUP of 300mm(12") size wafer. Rigid mechanism and various detection functions serve reliable and stable operation.

Select between compact tabletop type and stand-alone type with a pedestal. Simple mechanism and easy button operation for safe and stable open/close motion.

2

●クリーン度クラス１対応●柔軟な外部インターフェース仕様対応●高い信頼性で高稼働率を保証●弊社製ハンドリングロボットとプリアライナとの組み合わせで搬送システムをトータ 　ルサポート

チルト機構付アームを備えた、低フットプリントのオープナです。他機器との接続により、フレキシブルなミニエンシステムを実現します。

徹底した密閉・排気機構でポッド内をパーティクルから完全に隔離します。最適化された設計で信頼性の高い開閉動作をお約束します。

特　長　Feature

OPENER SYSTEM

●Compatible for Class 1 particle density●We accept your custom interface●Confident in long MTBF and short MTTR●Wafer handling robot and prealigner are also available as a part of wafer transfer system

Check! SMIF ポッドオープナ

SMIF Pod Opener

Page12-13

Check! SMIF ポッドオープナ

SMIF Pod Opener

＜KWOシリーズ＞＜KWO series＞

＜KWPシリーズ＞＜KWP series＞

Page10-11

Optimized design for isolating wafer cassette in pod from any particles completely keeps high quality and productivity.

Handling arm with tilt mechanism can moves cassette into any vertical position. Docking with peripheral devices brings you flexible system.

3

4

FOUPオープナ　FOUP Opener

●22nm対応　●22nm applicable当社独自の気流解析により清浄空間の確保Cleanliness secured by unique airflow analysis

●スループット短縮　●High Throughput開閉時間の高速化を実現（マッピングあり12秒以下）Accelerated open/close time (< 12sec with mapping)

●バッテリーレス　●Battery-free新型エンコーダの採用により、エンコーダーバックアップのバッテリーを廃止New encoder adopted to eliminate encoder data backup battery

●高信頼性　●High Reliability300mmロードポートにて培った機能を搭載し信頼性を確保MCBF、100万サイクルHigh reliability achieved by accumulated technology of 300mm load port(MCBF:1,000,000cycle)

●多彩な容器に対応　●Support a variety of containersFOUP、MAC、AUTO-FOSBに標準対応Standard support for FOUP、MAC and AUTO-FOSB

KWFシリーズ KWF series

KWF-18-＊＊＊-＊＊-＊＊-＊-＊

KWF-18-M

型式構成 Model Code

450mmウェーハ対応

の

p

of

KWF series

KWF-18-M

※印のオプションに関しましては、近日対応予定　12インチ対応に関しましては、オープンカセットでの対応予定です。　また、オープンカセットアダプタを使用した対応になります。

FOUPオ－プナシリーズ

表記 DescriptionM12M

無記号 None

マッピング仕様 Mapping Type18インチ対応 18-inch Applicable

12／18インチ対応※12/18-inch Applicableなし None

マッピング仕様 Mapping Type

表記 DescriptionQZ

無記号 None

ウェーハ仕様 Wafer Type石英対応※ Quartz Applicable

シリコン（標準）Silicon (Standard)

ウェーハ仕様 Wafer Type

表記 DescriptionHE

無記号 None

腐食ガス対応 Corrosive Gas Resistance耐食仕様※ Corrosion-proofなし（標準）None (Standard)

腐食ガス対応 Corrosive Gas Resistance表記 Description

R無記号 None

ドックプレート仕様 Dock Plate Type180°回転対応※ 180°Rotationなし（標準）None (Standard)

ドックプレート仕様 Dock Plate Type

表記 DescriptionP

無記号 None

N2パージ仕様 N2 Purge TypeN2パージ対応※ N2 Purge Applicableなし（標準）None (Standard)

N2パージ仕様 N2 Purge Type

FOUP Opener Series

※ marked options will be available in the near future　12-inch application is limited to open cassette. Adapter is also required.

5

名称　Item

型式　Type

適用　Application

外形寸法　Dimensions

本体重量　Weight

動作サイクル　Cycle Time

供給電源　Power Supply

必要電気容量　Consumption Current

圧縮空気　CDA

真空空気　Vacuum

FOUPオープナ　FOUP opener

KWF-18-Ｍ

450mm FOUP、MAC、AUTO-FOSB (SEMIスタンダード準拠品)　(conforming to SEMI standard)

1433H×622W×633.3D (mm)

105kgf

FOUPオープン動作11sec／FOUPクローズ動作13sec／マッピングオープン動作12sec　Open 11sec／Close 13sec／Mapping 12sec

DC24V±5%

4.5A

0.5～0.6Ｍpa (10.0 /min未満) 接続径φ6　0.5～0.6Mpa (Less than 10.0 /min) Diameterφ6

-40～-80kpa (1.0 /min未満) 接続径φ6　-40～-80kpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6

FOUP有無・載置状態検知

キャリアウェーハ飛出し検知

ドッキング時干渉物検知

FOUP蓋状態確認

FOUP内ウェハ検知（有無検知・厚み検知・クロス検知）

透過型光センサ

透過型光センサ

透過型光センサ

透過型光センサ

マッピングMapping

FOUP蓋検知FOUP Door Detection

FOUP presence / placement detection

Wafer protrusion detection

Docking interference detection

FOUP Door Status Detection

Wafer detection

検出機能Detection

FOUP確認FOUP Detectionウェーハ飛出しWafer protrusion

Through-beam sensor

Through-beam sensor

Through-beam sensor

Through-beam sensor

機構Mechanism 駆動

Actuator

ドア昇降Door Elevator

ロッドレスシリンダRodless Cylinder

ドックスライドDock slide

エアシリンダAir Cylinder

クランプClamp

エアシリンダAir Cylinder

ラッチ開閉Latch open/close

DCモータDC motor

ドア待避Door shunt

DCモータDC motor

マッピング駆動Mapping

DCモータDC motor

マッピング昇降Mapping Elevator

ACサーボモータAC servo motor

手挟みHand-pinch

仕　様 Specification

外形寸法図 Dimensions

KWF-18-M

6

FOUPオープナ　FOUP Opener

●パーティクルフリー　●Particle-free装置側の差圧を必要としない気流解析による清浄空間の確保Cleanliness achieved by design based on airflow analysis requires no possitive pressure of process equipment

●Auto-FOSB対応　●Auto-FOSB CompatibleAuto-FOSBの開閉は標準装備Open/close Auto-FOSB as standard feature

●バッテリーレス　●Battery-free新型エンコーダの採用により、エンコーダーバックアップのバッテリーを廃止New encoder adopted to eliminate encoder data backup battery

●据付性能の向上　●Easy Installation取付機構改善により、取付け再現性・MTTRの向上Improved mounting/adjusting structure realizes better installation repeatability and MTTR

●N2パージ対応　●N2 Purge Function標準容器に対応した短時間でのN2パージ機構を搭載（オプション対応）Quick N2 purge function to accommodate traditional FOUP (option)

KWFシリーズ KWF series

KWF-12E2

KWF-12E2-＊＊-＊＊-＊＊-＊-＊-＊＊

KWF-1

型式構成 Model Code

FOUPオ－プナシリーズ

表記 DescriptionM8M

無記号 None

マッピング仕様 Mapping Type12インチ対応 12-inch Applicable

8／12インチ対応※8/12-inch Applicableなし None

マッピング仕様 Mapping Type

表記 DescriptionQZ

無記号 None

ウェーハ仕様 Wafer Type石英対応 Quartz Applicable

シリコン（標準）Silicon (Standard)

ウェーハ仕様 Wafer Type

表記 DescriptionHE

無記号 None

腐食ガス対応 Corrosive Gas Resistance耐食仕様 Corrosion-proofなし（標準）None (Standard)

腐食ガス対応 Corrosive Gas Resistance

表記 DescriptionIS

無記号 None

インフォパッド仕様 Info Pad Typeインフォパッドセンサ Info Pad Sensor

インフォパッドピン（標準）Info Pad Pin (Standard)

インフォパッド仕様 Info Pad Type

表記 DescriptionR

無記号 None

ドックプレート仕様 Dock Plate Type180°回転対応 180°Rotationなし（標準）None (Standard)

ドックプレート仕様 Dock Plate Type

表記 DescriptionP

無記号 None

N2パージ仕様 N2 Purge TypeN2パージ対応 N2 Purge Applicableなし（標準）None (Standard)

N2パージ仕様 N2 Purge Type

※8インチ対応に関しましては、オープンカセットでの対応予定です。　また、オープンカセットアダプタを使用した対応になります。

FOUP Opener Series

8-inch application is limited to open cassette. Adapter is also required.

7

名称　Item

型式　Type

適用　Application

外形寸法　Dimensions

本体重量　Weight

動作サイクル　Cycle Time

供給電源　Power Supply

必要電気容量　Consumption Current

圧縮空気　CDA

真空空気　Vacuum

FOUPオープナ　FOUP opener

KWF-12E2

300mm FOUP、AUTO-FOSB (SEMIスタンダード準拠品)　(conforming to SEMI standard)

1386H×470W×571.2D (mm)

59kgf

FOUPオープン動作7.5sec／FOUPクローズ動作8.5sec／マッピングオープン動作11.0sec　Open 7.5sec／Close 8.5sec／Mapping 11.0sec

DC24V±5%

4.3A

0.4～0.5Ｍpa (10.0 /min未満) 接続径φ6　0.4～0.5Mpa (Less than 10.0 /min) Diameterφ6

-40～-80kpa (1.0 /min未満) 接続径φ6　-40～-80kpa (Less than 1.0 /min) Diameterφ6

FOUP有無・載置状態検知

キャリアウェーハ飛出し検知

ドッキング時干渉物検知

FOUP蓋状態確認

FOUP内ウェハ検知（有無検知・厚み検知・クロス検知）

透過型光センサ

透過型光センサ

透過型光センサ

透過型光センサ

マッピングMapping

FOUP蓋検知FOUP Door Detection

FOUP presence / placement detection

Wafer protrusion detection

Docking interference detection

FOUP Door Status Detection

Wafer detection

検出機能Detection

FOUP確認FOUP Detectionウェーハ飛出しWafer protrusion

Through-beam sensor

Through-beam sensor

Through-beam sensor

Through-beam sensor

機構Mechanism 駆動

Actuator

ドア昇降Door Elevator

ロッドレスシリンダRodless Cylinder

ドックスライドDock slide

エアシリンダAir Cylinder

クランプClamp

DCモータDC motor

ラッチ開閉Latch open/close

DCモータDC motor

ドア待避Door shunt

DCモータDC motor

マッピング駆動Mapping

DCモータDC motor

マッピング昇降Mapping Elevator

ACサーボモータAC servo motor

手挟みHand-pinch

KWF-12E2

仕　様 Specification

外形寸法図 Dimensions

8

KＷY-08-（2）（1）

クリーン度 クラス1 （0.1μｍ/cft）対応Class 1 particle density (0.1μm/cft)

SMIFポッド開閉動作制御による乱流･巻き込み防止SMIF Pod open / close motion control for suitable air flow

ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ採用により原点復帰動作不要（制御性向上／低振動）No need for zero adjustment with AC servo motor and absolute encoder usage

検出機能　　Detecting Function-ウェーハ飛び出し（オプション）-Wafer protrusion sensor (Option)-フローティングセンサー／挟み込み防止（オプション）-SMIF pod stage floating sensor (Option)-排気ファン回転検出　-Exhaust fan motion sensor-SMIFポッド在席　　 -SMIF pod present sensor

コンパクトボディ構造による容易なメンテナンス性能Compact body for easy maintenance

導電材料使用及び導電表面処理による静電気帯電防止Electric conductor materials usage and electric conductor surface finish for anti-static.

特殊仕様　Special specification i : 据置型 Customer engineering special

KWY-08

KＲY-08-i

用途　Application W : ウェーハ用　Wafer

R : レチクル用　Reticule

SMIFポッド開閉ユニット　SMIF Pod Open / Close Unit

KWYシリーズ KWY series

型式構成 Model Code

9

名　　称　　　　　　　Description

(mm)

型　　式

外形寸法

本体重量

SMIFポッド開閉ストローク

SMIFポッド開閉機構

ラッチ開閉機構

SMIFポッド押え機構

ウェーハマッピング機能

ウェーハ飛出し検知機能

挟み込み防止機能

SMIFポッド在席検知

サイクルタイム

供給電源

Type

Dimensions

Weight

SMIF Pod Open/ Close Stroke

SMIF Pod Open / Close Mechanism

Latch Open/Close Mechanism

SMIF Pod Clamp / Unclamp Mechanism

Wafer Mapping Sensor

Wafer Protrusion Sensor

Hands Safety Sensor

SMIF Pod Present Sensor

Cycle time

Power Supply

卓上型 Desktop type

ＫＷY-08

355W＊452D＊705H

30kgf

開動作12秒　Open motion 12 sec

据置型 Stand alone type

KWY-08-i

350W＊418D＊927（1227）H*1

35kgf

閉動作14秒　Cloese motion 14 sec

SMIFポッド開閉ユニット　SMIF pod open/close unit

Max. 410 mm

ボールネジ／ACサーボモータ Ball screw / AC servo motor

ギヤ／DCギヤードモータ Gear / DC geared motor

遊星ギヤ／DCギヤードモータ Planetary gear / DC geared motor

-

有り　　Available

有り　　Available

有り　　Available

単相AC100V　1 phase AC100V

*1：全高（上昇時）　Overall height (when opening)

KWY-08 KWY-08-iDepth

695

795 <815>

832　<852>（下降時全高）

410（ストローク）

8245

1242　<1262>（上昇時全高）

148348

268

銘番

内径φ100以上

排気用ダクト必要内径

5050+20 0

電源ケーブル（5m)2

1

286

418（奥行き）

裏面図 上面図

370

Hirata

EMER

STOP

GENCY

POWER

COMPLETE

ARARM

POD OPENERKWY-08

CLOSE

65

アジャスト位置

アジャストサイズ108.5193

OPENCLOSE

25

排気ファン吹出し口

362 25

100

Exhaust fan outlet

Adjust position

Adjust size

ウェーハセンター位置

電源スイッチPower switch

Power cable

Label

Min.φ100

Min. inside diameter for exhausting

サーキットプロテクタ

Wefer center position

Power cable inletUnderside

Overall height when opening

Top view

Circuit protector

Mode select key switch設定用切替えキースイッチ

Stroke

Overall height when closing

Clearance for adjustmentアジャスト調整代

Clearance for exhausting

電源ケーブル取出し位置

9.7 Wafer protrusion detection line

Overall width

350（全幅）

100

排気用必要高さ

※Secure two points ① and ② to ensure exhausting.※Max. dimensions of adjustment are indicated in < >.

※設置時は、排気性能確保の為、①もしくは②の対応が必要。※<　>内寸法は、アジャスト最大高さ。

ウェーハ飛出し検知ライン

（昇降ストローク）

操作パネル部詳細（共通）Details of operation panel

電源スイッチカバー電源スイッチ

設定用切替えキースイッチ

ヒューズホルダ

地震対策用固定タップ（14－Ｍ4）

POWER

COMPLETE

READY

ゴム脚位置排気ファン吹出し口

銘番

電源ケーブル（５ｍ） Power cable

メッセージＬＥＤ

COMPLETEREADYPOWER

ウェーハ飛出し検知ライン

開動作用スイッチ Open switch

閉動作用スイッチ

Hirata

HirataPOD OPENERKWY-08

705（全高）Overall height

69

52

14.7

160

52

25

100

410

37

395

17

108

350

320

101.5

286

71.5

100

26.5 8

225

355（全幅）

20

30

30

148

CLOSE

KWY-08

POD OPENER

CLOSE

OPEN

STOP

CLOSE CLOSEOPEN STOP

103226.5

451.5（奥行き）

310

非常停止ボタン閉動作用スイッチ

Message LED

Emergency stop buttonClose switch Close switch

Fixed tap for antiseismic

Exhaust fan outletRubber stand

Label

Power switchPower switch Cover

Fuse holder

Key switch

Overall width

Wafer protrusion limit

Wafer center positionDepth

Elevator stroke

裏面詳細 Details of underside

ウェーハセンター位置

82

46.5

59.5

28.6

150

仕　様 Specification

外形寸法図 Dimensions

10

クリーン度 クラス1 （0.1μｍ/cft）対応Class 1 particle density (0.1μm/cft)

機構部の遠隔下面設置（隔離･密閉・強制排気･非接触空気シール）による更なるパーティクル低減Separate location, Shut tight, Forced exhaust and Non-contact air sealing for further particle reduction

ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ採用により原点復帰動作不要（制御性向上／低振動）No need for zero adjustment with AC servo motor and absolute encoder usage

検出機能　Detecting Function- ウェーハマッピング（オプション）-ウェーハ飛び出し（オプション）-スミフポッド在席

スモールフットプリント実現により専用機との接続・組込みが容易Small footprint for easy interface and mounting for dedicated systems

シリアル（9P）外部インターフェース対応（SEMI 規格準拠）Parallel (15pins)/Serial (9pins) interface (SEMI standard)

-Wafer mapping sensor (Option)-Wafer protrusion sensor (Option)-SMIF pod present sensor

KWP-08Bポッド開時 KWP-08B, Pod Opened

KWP-08B-（1） （2）

用途　ApplicationW : ウェーハ用 Wafer R : レチクル用 Reticule

オプション　OptionM : ウェーハマッピング　　 Wafer mapping sensor

（3）

特殊仕様　Special specification S : 特殊対応 Customer engineering special

KWP-08B

SMIFポッドオープナ　SMIF Pod Opener

KWPシリーズ KWP series

型式構成 Model Code

11

名　　称　　　　　　　Description

(mm)

型　　式

外形寸法

本体重量

SMIFポッド開閉ストローク

SMIFポッド開閉機構

ラッチ開閉機構

SMIFポッド押え機構

ウェーハマッピング機能

ウェーハ飛出し検知機能

ボックス在席検知

カセット在荷検知

サイクルタイム

供給電源

Type

Dimensions

Weight

SMIF Pod Open/ Close Stroke

SMIF Pod Open / Close Mechanism

Latch Open/Close Mechanism

SMIF Pod Clamp / Unclamp Mechanism

Wafer Mapping Sensor *2

Wafer Protrusion Sensor

Pods Present Sensor

Pods Present Sensor

Cycle time

Power Supply

SMIFポッドオープナ　SMIF pod opener

ＫＷP-08B

370W＊392D＊550（680）H *1

25.5kgf

Max. 268 mm

ボールネジ／ACサーボモータ Ball screw / AC servo motor

ギヤ／DCギヤードモータ Gear / DC geared motor

遊星ギヤ／DCギヤードモータ Planetary gear / DC geared motor

透過型レーザセンサ Transmission laser sensor

透過型レーザセンサ Transmission laser sensor

透過型光センサ Transmission photo sensor

透過型レーザセンサ Transmission laser sensor

7秒　7 sec

DC24V

*1：全幅＊奥行き＊全高（上昇時） Overall width ＊ Depth ＊ Overall height (when opening)　*2：オプション Option

KWP-08B

174

196370（全幅）

174

22

182392（奥行き） 330 22

160

140

140

280

40

115.3

φ90

680（上昇時全高）

463

550（下降時全高）

195

260（開口部）

148

50

18

130 5

265（開口部）132.5

289144.5

100

268（開閉ストローク）

44.4（一段目スロット高さ）

Ａ矢視図（下面）

D-sub 9pD-sub 9p用

ユーザI/F部詳細

インジケータ＆マニュアルスイッチ部詳細

A

ファン風向き

206061-1(AMP)

注記）ユーザ様装置側に、図中※部開口を設けていただきます。

下降時

5

上昇時

ユーザ様にて、PODオープナレベルアジャスト機構を設けていただきます。

ウェーハセンタ

パラレルＩ／Ｏ D-sub 25p

予備コネクタ取付け穴

電源コネクタ：DC24V

65（電源ケーブル張出寸法）

58

92.5

10.5

メンテナンスポート D-sub 9p66.529.5

ウィンド

61

130

50 13108

Ｂ矢視図 Ｃ矢視図

Ｃ

ユーザI/F説明ラベル

シリアル銘番

ユーザ I/F は、「背面出し」、「下面出し」の両方が選択可能です（標準は背面出し）。特記）

60

警告ラベル

警告ラベル

インジケータLED：READY

排気ファン

マッピングセンサライン

モード切替キースイッチ

インジケータLED：POWER

ラッチ開閉マニュアルスイッチインジケータLED：POD IN PLACE

＆ウェーハ飛出しセンサアンプ

マッピングセンサアンプ

100

シャッター

ウェーハ飛出し検知ライン

Ｂ

Details of indicaotr & manual switch

Serial labelシリアル銘番Serial label

Detail of view from B Detail of view from C Detail of view from A(underside)

Opening

Service tap 5-M6 tap depth 8

User I/F at the bottom face

Latch open/close manual switch

クランプ開閉マニュアルスイッチClamp open/close manual switch

Indicator LED：POWERDepthIndicator LED：READY

Indicator LED：POD IN PLACE

Warning label Warning label

Warning label

Wind

Wind

Note)

Important)

Wefer center

Wafer protrusion detection line

Mode select key switch

Mode select key switch

Width

Maintenance port

Exhaust fan

Mapping senser line

Power connector (accessory) at the back face

Shutter

Mapping senser amp

& Wefer center position amp

Wind direction of fan

Power connector (accessory) at the bottom face

User I/F at the back face

Power connecter

Detail of user I/F

User I/F guide label

Service connector mounting hole for D-sub 9 pin

Parallel I/O

シリアル通信コネクタ

Open/close stroke

Height of the first slot

Open/close stroke

Overlall neight when opening

Overlall neight when closing

When closing

51

サービスタップ5-M6タップ深さ8

ユーザI/F 下面出し時

電源コネクタ（添付品）背面出し時

When opening

Serial communication connector

ユーザI/F背面出し時

電源コネクタ（添付品）下面出し時Secure opening holes for some parts marked ※ at user device.

Secure adjusting mechanism POD opener level.

Select user I/F position between back face (standard) and bottom face.

警告ラベル

ウィンド

仕　様 Specification

外形寸法図 Dimensions

12

KWO-T08A-（1） （2）

クリーン度 クラス1 （0.1μｍ/cft）対応Class 1 particle density (0.1μm/cft)

機構部の遠隔下面設置（隔離・密閉・強制排気）によるパーティクル低減Separate location, Shut tight and Forced exhaust for particle reduction

SMIFポッド開閉動作制御による乱流・巻き込み防止SMIF Pod open / close motion control for suitable air flow.

ACサーボモータ・アブソリュートエンコーダ採用により原点復帰動作不要（制御性向上／低振動）No need for zero adjustment with AC servo motor and absolute encoder usage.

検出機能　　Detecting Function- ウェーハ飛び出し（オプション）- SMIFポッド在席

スモールフットプリント実現により専用機との接続が容易Small footprint for easy interface for dedicated systems.

パラレル（15P）外部インターフェース対応（SEMI規格準拠）Parallel (15pins) interface (SEMI standard)

-Wafer protrusion sensor (Option)-SMIF pod present sensor

写真上： アーム収納時写真下： アーム展開時

Top : Arm closedBottom: Arm extended

機能　FunctionT : チルト機構　Tilt arm

特殊仕様　Special specification S : 特殊対応　 Customer engineering special

KWO-T08

SMIFポッドオープナ　SMIF Pod Opener

KWOシリーズ KWO series

型式構成 Model Code

13

KWO-T08A

名　　称　　　　　　　Description

(mm)

型　　式

外形寸法

本体重量

SMIFポッド開閉ストローク

SMIFポッド開閉機構

ラッチ開閉機構

SMIFポッド押え機構

ウェーハマッピング機能

ウェーハ飛出し検知機能

挟み込み防止機能

SMIFポッド在席検知

サイクルタイム

供給電源

Type

Dimensions

Weight

SMIF Pod Open/ Close Stroke

SMIF Pod Open / Close Mechanism

Latch Open/Close Mechanism

SMIF Pod Clamp / Unclamp Mechanism

Wafer Mapping Sensor

Wafer Protrusion Sensor

Hands Safety Sensor

SMIF Pod Present Sensor

Cycle time

Power Supply

SMIF ポッドオープナ（アーム付）SMIF pod opener with arm

ＫＷO-T08A

347W＊473D＊170H

94kgf

275 mm

ボールネジ／ACサーボモータ Ball screw / AC servo motor

ギヤ／DCギヤードモータ Gear / DC geared motor

遊星ギヤ／DCギヤードモータ Planetary gear / DC geared motor

-

オプション　Option

-

有り　　Available

46秒　46 sec

単相AC200V 1 phase AC200V

192

取付ピッチ＝357

32

取付ピッチ＝552

32

446

294

336

284

PODセンタ 300（アーム最大到達点）

メンテ開口部

（操作スイッチ 高さ）

742.5

左側面 I/F

右側面 I/F

357 11035

502

1515

ア－ム旋回 センタ －137.5

111.5

1048(ダクトカバ－）

10

980(ダクトカバ－）

10

362

32

189

467

基準

（カセット チルト位置）

回転方向

ポッド 投入高さ

15

5

95（グリップ 幅）

F.L

76（グリップ 取付位置）

グリップア－ム 上限

チルト軸 センタ －

40.3

13(ダクト） 13(ダクト）

投入高さ 範囲

70

25

100ST（ア－ム昇降 可動 ST）

7.5

7.5(ストッパ－時）

85(使用 ST)

153

22.5

22.5 50

背面 開口寸法ロボット 待機位置

右側面

平面図

カセット 　 位置関係

150

571

97.3 12.7

カセット 投入位置

カセット 取り出し位置 175

65ST(取出 ST）

85ﾟ

180

148138

±25

721

179

907

900

175290

286

LC

435ST（ポッド昇降 可動ST）

900

1815（装置 全高）

290

106

カセット 投入高さ

414

(開口寸法）

306(開口寸法）

（装置 外寸）

85ﾟ

（チルト幅 含む）

グリップ 幅

左側面I/F位置

右側面I/F位置

装置背面 取り付け基準

カセット回転角度

F.L

アジャスト寸法

ボルトサイズ(M8)

ラッチセンタ－

ポ－トドア 上面

背面図

右側面

正面図

1709

336

System overall width

Front view

Opening for maintenance

Right side I/F

Duct cover

Duct cover

Operation switch height

Left side I/F

System overall height

POD centerMaximum range of arm

Grip width

Grip width

Mounting position of grip

Plan view

DuctDuct

Right side I/F position

Left side I/F position

Opening size

Opening size

Mounting picth

Mounting picth

Bolt size

Backside view

Cassette loading height

Cassette rotation degree

Rotatition direction

Loading height

Cassete loading position

Arm rotation center

Cassette tilting position

Backface datum line

Robot waiting position

Latch centor

Cassette unloading position

Cassette positioning

Tilt axis center

Grip arm upper limit

Port door upside

Pod loading height

Pod moving stroke

Adjuster height

Standard

Right side

Right side

Interference height

Stooper height

Arm moving stroke

Backface opening size

仕　様 Specification

外形寸法図 Dimensions