高信頼性・高性能 超精密加工機

<ROBONANO @-NM+A

•このカタログの内容は2019年8月現在の仕様です。•本カタログからの無断転載を禁じます。•全ての仕様は予告なしに変更される場合があります。•写真にはオプション品も含まれています。•本カタログに記載された商品は、「外国為替及び外国貿易法」に基づく規制対象です。ROBONANOα-NMiAの輸出には日本政府の許可が必要です。他の商品も許可が必要な場合があります。また、商品によっては米国政府の再輸出規制を受ける場合があります。本商品の輸出に当たっては当社までお問い合せください。

主な仕様

ストローク

軸受

指令分解能

ワークテーブル径

最大送り速度

運動精度

ミリングスピンドル

機械重量

標準付属品

オプション品

X軸（水平） 450mm

Z軸（水平） 300mm

Y軸（垂直） 200mm

B軸（水平）

C軸（垂直）

油静圧軸受（全軸）

X, Z, Y 軸 0.1nm

B, C 軸 0.000001°

B 軸 Φ215mm

X, Z 軸 1000mm/min

Y 軸 200mm/min

B 軸 3600°/min

C 軸 3600°/min

X 軸 0.2μm/450mm

Z 軸 0.2μm/300mm

Y 軸 0.2μm/200mm

B, C 軸 ±3 arcsec / 360°

最大回転速度 50000min－1

駆動機構 空気静圧軸受、エアタービン

約 3600 kg

Smart M-Setup、Smart M-Form

RNANO α-NMiA(J)-01, 2019. 9, Printed in Japan2019

360°（連続回転）

本社　〒401-0597　山梨県忍野村TEL:(0555)-84-5555(代) FAX:(0555)-84-5512 http://www.fanuc.co.jp

制御部ロッカ、操作キャビネット、ミリングスピンドル、引き切り工具台、油圧ユニット、アクティブダンパ、切削液供給ユニット、精密圧縮空気温度制御システム

< ROBONANO @-NM+A

高信頼性・高性能超精密加工機

高い加工性能

安定加工

0.1nm指令

5軸加工

高い稼働率

非接触軸受

簡単な部品交換

ファナック標準CNC&サーボ技術

使いやすさ

機上計測

安全規格への適合

Smart M-Setup

ファナック最新のCNC、サーボ技術を適用

高い加工性能5軸制御のマシニング機油静圧軸受の採用により、安定した超精密加工を実現ファナックのCNCとサーボ技術により0.1nmの指令と制御を実現

高い稼働率ファナック標準CNCとサーボ技術により高い信頼性を実現全ての制御軸に非接触軸受を採用シンプルな機械構成により、メンテナンス時に素早い部品交換を実現

使いやすさSmart M-Setupによる優れた操作性を実現Smart M-Formによる機上計測を実現安全規格への適合（CEとKCsマーキングの取得）

2 3

< ROBONANO @-NM+A

高信頼性・高性能超精密加工機

高い加工性能

安定加工

0.1nm指令

5軸加工

高い稼働率

非接触軸受

簡単な部品交換

ファナック標準CNC&サーボ技術

使いやすさ

機上計測

安全規格への適合

Smart M-Setup

ファナック最新のCNC、サーボ技術を適用

高い加工性能5軸制御のマシニング機油静圧軸受の採用により、安定した超精密加工を実現ファナックのCNCとサーボ技術により0.1nmの指令と制御を実現

高い稼働率ファナック標準CNCとサーボ技術により高い信頼性を実現全ての制御軸に非接触軸受を採用シンプルな機械構成により、メンテナンス時に素早い部品交換を実現

使いやすさSmart M-Setupによる優れた操作性を実現Smart M-Formによる機上計測を実現安全規格への適合（CEとKCsマーキングの取得）

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高い加工性能

・自動車関連金型（ヘッドアップディスプレイ、　ヘッドランプ）

・時計金型、時計部品

・引き切り

・ミリング

X450×Z300×Y200mm

加工ターゲット

加工方法

ストローク

ペルチェ定電流制御

設定 ±0.01℃

200VAC±10% 50/60Hz

0.5kW

W320×D550×H510mm／38kg

仕様

温度管理システム

空気温度管理精度

入力電源

消費電力

寸法/質量

５軸制御マシニング機

・複雑形状の金型、部品加工に対応

・自動車、高級時計など、超精密加工の需要増大が期待される分野に適した性能

・ファナック最新のCNCとサーボ技術を用いてロボナノに0.1nm指令の加工プログラムを適用可能

・0.1nm指令と制御によって加工品の表面粗さと精度が向上

安定した超精密加工を実現する油静圧軸受

・直線軸、割出軸には高い剛性と減衰性を備えた油静圧軸受を採用

・早い送り速度と深い切込み量を実現させる機械剛性と、床や機械の振動を抑える高い減衰性により、安定加工を実現

・低発熱なファナック製の油圧ユニットを採用

安定した加工を実現する周辺機器

移動部

潤滑油

位置フィードバック 加工結果（断面測定）

固定部

油静圧軸受 油圧ユニット

ファナックのCNCとサーボ技術による0.1nmの指令と制御

アクティブダンパ・アクティブダンパの採用により床から

伝わる振動を低減

精密圧縮空気温度制御システム・圧縮空気の温度管理をすることで長期間の安定加工を実現

振動を減衰減衰

率（

dB）

床振動の周波数（Hz）

4 5

高い加工性能

・自動車関連金型（ヘッドアップディスプレイ、　ヘッドランプ）

・時計金型、時計部品

・引き切り

・ミリング

X450×Z300×Y200mm

加工ターゲット

加工方法

ストローク

ペルチェ定電流制御

設定 ±0.01℃

200VAC±10% 50/60Hz

0.5kW

W320×D550×H510mm／38kg

仕様

温度管理システム

空気温度管理精度

入力電源

消費電力

寸法/質量

５軸制御マシニング機

・複雑形状の金型、部品加工に対応

・自動車、高級時計など、超精密加工の需要増大が期待される分野に適した性能

・ファナック最新のCNCとサーボ技術を用いてロボナノに0.1nm指令の加工プログラムを適用可能

・0.1nm指令と制御によって加工品の表面粗さと精度が向上

安定した超精密加工を実現する油静圧軸受

・直線軸、割出軸には高い剛性と減衰性を備えた油静圧軸受を採用

・早い送り速度と深い切込み量を実現させる機械剛性と、床や機械の振動を抑える高い減衰性により、安定加工を実現

・低発熱なファナック製の油圧ユニットを採用

安定した加工を実現する周辺機器

移動部

潤滑油

位置フィードバック 加工結果（断面測定）

固定部

油静圧軸受 油圧ユニット

ファナックのCNCとサーボ技術による0.1nmの指令と制御

アクティブダンパ・アクティブダンパの採用により床から

伝わる振動を低減

精密圧縮空気温度制御システム・圧縮空気の温度管理をすることで長期間の安定加工を実現

振動を減衰減衰

率（

dB）

床振動の周波数（Hz）

4 5

高い稼働率 使いやすさ

ファナック標準CNCとサーボ技術による高い信頼性

・FANUC Series 30i-B と PANEL iH Pro（15'' カラーLCD搭載）を採用

・プログラミングや加工、設定の操作が容易なiHMIにより、直観的操作が可能なインタフェースを実現

・直動軸と回転軸（割出軸）にリニアモータと同期ビルトインサーボモータを採用

・ロボナノ画面での周辺測定機器の操作と観測

・周辺測定機器の測定情報をロボナノ画面に集約し使いやすさを向上

全ての制御軸に非接触軸受を採用した機構部

・全ての制御軸にそれぞれ最適化された非接触軸受を採用

・個体摩擦による摩耗や振動、発熱のない非接触軸受のため、定期的なオーバホールが不要

・直線軸と割出軸には油静圧軸受、ミリングスピンドルには空気静圧軸受を採用

移動部

潤滑油

圧縮空気

直線軸&割出軸：油静圧軸受

ミリングスピンドル：空気静圧軸受

従来モデル @-NM+A

固定部

移動部

固定部

FANUC Series 30+-B+HMI 搭載 PANEL +H Pro

+HMI に基づくロボナノの操作画面

顕微鏡による観察 電気マイクロメータによる加工ワークの心出し

フィールドバランサによる主軸のバランス調整

直線軸（X, Y, Z）

FANUC リニアモータ

回転軸（B, C）

FANUC 同期ビルトインサーボモータ

工具先端

Smart M-Setup（オプション）

6 7

高い稼働率 使いやすさ

ファナック標準CNCとサーボ技術による高い信頼性

・FANUC Series 30i-B と PANEL iH Pro（15'' カラーLCD搭載）を採用

・プログラミングや加工、設定の操作が容易なiHMIにより、直観的操作が可能なインタフェースを実現

・直動軸と回転軸（割出軸）にリニアモータと同期ビルトインサーボモータを採用

・ロボナノ画面での周辺測定機器の操作と観測

・周辺測定機器の測定情報をロボナノ画面に集約し使いやすさを向上

全ての制御軸に非接触軸受を採用した機構部

・全ての制御軸にそれぞれ最適化された非接触軸受を採用

・個体摩擦による摩耗や振動、発熱のない非接触軸受のため、定期的なオーバホールが不要

・直線軸と割出軸には油静圧軸受、ミリングスピンドルには空気静圧軸受を採用

移動部

潤滑油

圧縮空気

直線軸&割出軸：油静圧軸受

ミリングスピンドル：空気静圧軸受

従来モデル @-NM+A

固定部

移動部

固定部

FANUC Series 30+-B+HMI 搭載 PANEL +H Pro

+HMI に基づくロボナノの操作画面

顕微鏡による観察 電気マイクロメータによる加工ワークの心出し

フィールドバランサによる主軸のバランス調整

直線軸（X, Y, Z）

FANUC リニアモータ

回転軸（B, C）

FANUC 同期ビルトインサーボモータ

工具先端

Smart M-Setup（オプション）

6 7

光学分野

自動車分野

使いやすさ 幅広い分野への応用

機上計測装置 Smart M-Form（オプション）

・他の計測装置を用いることなく、機上に設置したSmart M-Formで加工ワークの形状精度を測定し補正加工が可能

・3次元機上計測により加工ワークを全面計測

・軸対称形状はもちろん、複雑な自由曲面形状も計測可能

・複雑形状部品や金型コアの加工に適用

・長時間安定した信頼性の高い加工を実現

安全規格対応

・ヨーロッパと韓国の安全規格認証を取得

ヘッドアップディスプレイ（HUD）金型コアの加工

時計部品の加工

材　　質：STAVAX大 き さ：A4 サイズ（300mm×210mm）面 粗 度：Ra 6nm加工時間：50時間

フレネルレンズコア LEDレンズコア

レンズアレイコア

名刺入れ金型

スマートフォンカバー金型

時計金型、時計部品

（ベゼル＆ホログラム）ヘッドアップディスプレイ（HUD）

金型コア

ヘッドランプ金型コア

210mm

300mm

1µm ピッチ溝

ロボナノに適した加工分野

Smart M-Form

1000mm/min以下

0.1nm

500mgf以下

±60°（下り75°）

垂直

計測速度

計測分解能

接触力

計測可能傾斜角

取り付け方向

計測ソフト（CAD/CAM機能付）

時計＆装飾品分野

A4サイズ

材　　質：NiPメッキ大 き さ：Φ20mm

溝　　数：20,000加工時間：30時間

中央部プレートへのホログラム加工

材　　質：真鍮面 粗 度：Ra1.1nm

加工時間：10分

ベゼル部へのブリリアントカット

CECE欧州

KCsKCs韓国

8 9

光学分野

自動車分野

使いやすさ 幅広い分野への応用

機上計測装置 Smart M-Form（オプション）

・他の計測装置を用いることなく、機上に設置したSmart M-Formで加工ワークの形状精度を測定し補正加工が可能

・3次元機上計測により加工ワークを全面計測

・軸対称形状はもちろん、複雑な自由曲面形状も計測可能

・複雑形状部品や金型コアの加工に適用

・長時間安定した信頼性の高い加工を実現

安全規格対応

・ヨーロッパと韓国の安全規格認証を取得

ヘッドアップディスプレイ（HUD）金型コアの加工

時計部品の加工

材　　質：STAVAX大 き さ：A4 サイズ（300mm×210mm）面 粗 度：Ra 6nm加工時間：50時間

フレネルレンズコア LEDレンズコア

レンズアレイコア

名刺入れ金型

スマートフォンカバー金型

時計金型、時計部品

（ベゼル＆ホログラム）ヘッドアップディスプレイ（HUD）

金型コア

ヘッドランプ金型コア

210mm

300mm

1µm ピッチ溝

ロボナノに適した加工分野

Smart M-Form

1000mm/min以下

0.1nm

500mgf以下

±60°（下り75°）

垂直

計測速度

計測分解能

接触力

計測可能傾斜角

取り付け方向

計測ソフト（CAD/CAM機能付）

時計＆装飾品分野

A4サイズ

材　　質：NiPメッキ大 き さ：Φ20mm

溝　　数：20,000加工時間：30時間

中央部プレートへのホログラム加工

材　　質：真鍮面 粗 度：Ra1.1nm

加工時間：10分

ベゼル部へのブリリアントカット

CECE欧州

KCsKCs韓国

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設置条件 外形図、フロアプラン

環境条件

・ロボナノの性能を最大限にご利用いただくため、下記環境に設置してください。

・詳細についてはご相談ください。

圧縮空気条件

・機械運転時には、空調した圧縮空気の供給が必要です。

・機械運転時以外の夜間、休日等にも、圧縮空気の供給が必要です。

・上記圧縮空気流量は、機械本体の口元で測定した結果を表しています。

・詳細についてはご相談ください。

コンプレッサ

エアタンク

フィルタレギュレータ バルブ

精密圧縮空気温度

制御システム（標準付属品）

ROBONANO

精密レギュレータドレン

オイルセパレータ

外形図

フロアプラン（最小恒温室サイズ）

保守およびサポート体制

ファナックは、国内および海外各地にサービス拠点を築き、安心してファナックのサービスを受けられるよう、行き届いたサービス体制を整えております。ファナックは、お客様がファナックの商品をお使いになる限り、責任をもって保守対応いたします。

充実した保守体制

200 ～ 220 VAC±10%（3相）、50/60Hz±1Hz

7kVA（20A） *本体のみの所要電力です。

0.1μm以下（加速度：0.1Gal　以下）　*あらかじめ、振動の測定と解析が必要です。

23℃

上記周囲温度の±1℃以内（変動の周期30分以下）　*機械精度要求によります。

50%以下

入力電源

所要電力

床振動振幅

周囲温度

温度変化

相対湿度

0.7 MPa 以上

0.01 MPa 以下

1.0m3/min 以上

15 ～ 28℃

供給圧力

圧力変動

空気流量

空気温度

ユーザ様に用意していただく環境 恒温室

機械本体　質量：約3,600kg 操作キャビネット　質量：100kg 制御部ロッカ　質量：130kg

（18

00）

1500

590 57

0

（20

00）

（1900）

750

ミストコレクタ油圧ユニット

切削液供給ユニット

アクティブダンパコントローラ

操作キャビネット

制御部ロッカ

精密圧縮空気温度制御システム

3.0m

5.0m 5.0m

※ミストコレクタは付属しません。

Headquarters

Coventry

Paris

Bangalore

BeijingChicagoShanghai

ChangwonBarcelonaMilanBudapestSofiaBrusselsLinz

JohannesburgKuala LumpurSingaporeJakarta

Taichung

Bangkok

Detroit

Aguascalientas

Sao Paulo

StuttgartLuxembourg

IstanbulMoscowWroclawStockholmBielCelje

Prague

Ho Chi Minh

Manila

Sydney

FANUC グローバルサービスネットワーク全世界 260 拠点以上

1.2m1.2m

1.0m

ROBONANO@-NM+A

ROBONANO@-NM+A

1610

530

10 11

設置条件 外形図、フロアプラン

環境条件

・ロボナノの性能を最大限にご利用いただくため、下記環境に設置してください。

・詳細についてはご相談ください。

圧縮空気条件

・機械運転時には、空調した圧縮空気の供給が必要です。

・機械運転時以外の夜間、休日等にも、圧縮空気の供給が必要です。

・上記圧縮空気流量は、機械本体の口元で測定した結果を表しています。

・詳細についてはご相談ください。

コンプレッサ

エアタンク

フィルタレギュレータ バルブ

精密圧縮空気温度

制御システム（標準付属品）

ROBONANO

精密レギュレータドレン

オイルセパレータ

外形図

フロアプラン（最小恒温室サイズ）

保守およびサポート体制

ファナックは、国内および海外各地にサービス拠点を築き、安心してファナックのサービスを受けられるよう、行き届いたサービス体制を整えております。ファナックは、お客様がファナックの商品をお使いになる限り、責任をもって保守対応いたします。

充実した保守体制

200 ～ 220 VAC±10%（3相）、50/60Hz±1Hz

7kVA（20A） *本体のみの所要電力です。

0.1μm以下（加速度：0.1Gal　以下）　*あらかじめ、振動の測定と解析が必要です。

23℃

上記周囲温度の±1℃以内（変動の周期30分以下）　*機械精度要求によります。

50%以下

入力電源

所要電力

床振動振幅

周囲温度

温度変化

相対湿度

0.7 MPa 以上

0.01 MPa 以下

1.0m3/min 以上

15 ～ 28℃

供給圧力

圧力変動

空気流量

空気温度

ユーザ様に用意していただく環境 恒温室

機械本体　質量：約3,600kg 操作キャビネット　質量：100kg 制御部ロッカ　質量：130kg

（18

00）

1500

590 57

0

（20

00）

（1900）

750

ミストコレクタ油圧ユニット

切削液供給ユニット

アクティブダンパコントローラ

操作キャビネット

制御部ロッカ

精密圧縮空気温度制御システム

3.0m

5.0m 5.0m

※ミストコレクタは付属しません。

Headquarters

Coventry

Paris

Bangalore

BeijingChicagoShanghai

ChangwonBarcelonaMilanBudapestSofiaBrusselsLinz

JohannesburgKuala LumpurSingaporeJakarta

Taichung

Bangkok

Detroit

Aguascalientas

Sao Paulo

StuttgartLuxembourg

IstanbulMoscowWroclawStockholmBielCelje

Prague

Ho Chi Minh

Manila

Sydney

FANUC グローバルサービスネットワーク全世界 260 拠点以上

1.2m1.2m

1.0m

ROBONANO@-NM+A

ROBONANO@-NM+A

1610

530

10 11

高信頼性・高性能 超精密加工機

<ROBONANO @-NM+A

•このカタログの内容は2019年8月現在の仕様です。•本カタログからの無断転載を禁じます。•全ての仕様は予告なしに変更される場合があります。•写真にはオプション品も含まれています。•本カタログに記載された商品は、「外国為替及び外国貿易法」に基づく規制対象です。ROBONANOα-NMiAの輸出には日本政府の許可が必要です。他の商品も許可が必要な場合があります。また、商品によっては米国政府の再輸出規制を受ける場合があります。本商品の輸出に当たっては当社までお問い合せください。

主な仕様

ストローク

軸受

指令分解能

ワークテーブル径

最大送り速度

運動精度

ミリングスピンドル

機械重量

標準付属品

オプション品

X軸（水平） 450mm

Z軸（水平） 300mm

Y軸（垂直） 200mm

B軸（水平）

C軸（垂直）

油静圧軸受（全軸）

X, Z, Y 軸 0.1nm

B, C 軸 0.000001°

B 軸 Φ215mm

X, Z 軸 1000mm/min

Y 軸 200mm/min

B 軸 3600°/min

C 軸 3600°/min

X 軸 0.2μm/450mm

Z 軸 0.2μm/300mm

Y 軸 0.2μm/200mm

B, C 軸 ±3 arcsec / 360°

最大回転速度 50000min－1

駆動機構 空気静圧軸受、エアタービン

約 3600 kg

Smart M-Setup、Smart M-Form

RNANO α-NMiA(J)-01, 2019. 9, Printed in Japan2019

360°（連続回転）

本社　〒401-0597　山梨県忍野村TEL:(0555)-84-5555(代) FAX:(0555)-84-5512 http://www.fanuc.co.jp

制御部ロッカ、操作キャビネット、ミリングスピンドル、引き切り工具台、油圧ユニット、アクティブダンパ、切削液供給ユニット、精密圧縮空気温度制御システム