postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah
DESCRIPTION
Raziskovalna veda: 2 Tehnika Področje: 2.09 Elektronske komponente in tehnologije. Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah. Darko Belavič s sodelavci HIPOT-RR , Institut »Jožef Stefan«, CO NAMASTE Predstavitev znanstvenih dosežkov 2011 SAZU, Ljubljana, 28. 3. 2013. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
![Page 1: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/1.jpg)
Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah
Darko Belavič s sodelavci
HIPOT-RR, Institut »Jožef Stefan«, CO NAMASTE
Predstavitev znanstvenih dosežkov 2011SAZU, Ljubljana, 28. 3. 2013
Raziskovalna veda: 2 TehnikaPodročje: 2.09 Elektronske komponente in tehnologije
![Page 2: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/2.jpg)
Sodelavci
Ožja raziskovalna skupina: • Darko Belavič• Marko Hrovat – vodja raziskovalnih projektov• Janez Holc – vodja raziskovalnih projektov• Marina Santo Zarnik – vodja raziskovalnih projektov• Kostja Makarovič – mladi raziskovalec • Mitja Jerlah• ostali sodelavci iz Odseka za elektronsko keramiko na IJS
Uporabniki oz. aplikativno-razvojne skupine:• Marjan Hodnik s sodelavci iz družbe HYB • Boris Jordan s sodelavci iz družbe KEKON• Tone Konda s sodelavci iz družbe KEKO Oprema• Gregor Dolanc s sodelavci iz Odseka za sisteme in vodenje na IJS• Stanko Hočevar s sodelavci iz Kemijskega inštituta
Podpornica programa: Marija Kosec
![Page 3: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/3.jpg)
Motivacija: Izdelava keramičnih struktur za mikrosisteme
• Mikrosistemi so pomemben segment različnih sektorjev industrije. Uporabljajo se na področjih mikroelektronike, mikrorobotike, mikromehanike, mikrofluidike, mikrooptike in mikrokemije.
• Lahko so izdelani iz različnih materialov in tehnologij. Večinoma je to silicij in polprevodniške tehnologije. Povečuje pa se uporaba drugih materialov in eden izmed teh materialov je tudi keramika.
• Keramični mikrosistemi so pomembni tam, kjer je potrebna miniaturnost, integracija različnih funkcij, velika zanesljivost in delovanje v ekstremnih pogojih, kot so to na primer: kemija, medicina, biologija, avtomobilska industrija, aeronavtika, vesolje...
• Ključen del teh sistemov so keramične 3D strukture. Za njihovo izdelavo se zadnja leta uporablja keramika z nizko temperaturo žganja (LTCC – Low Temperature Co-fired Ceramics).
![Page 4: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/4.jpg)
LTCC (Low Temperature Cofered Ceramic)
LTCC je keramika z nizko temperaturo žganja. Žge se pri temperaturah med 850 in 950°C.
Da se pri teh razmeroma nizkih temperaturah „zasintra“, vsebuje precej steklene faze.
LTCC tehnologija temelji na tankih keramičnih folijah, ki se jih sestavlja v večplastne strukture, izostatsko stiska ter sintra. Na ta način je možno zgraditi 3D strukture. V te strukture se običajno integrira pasivni del elektronskega vezja (debeloplastni prevodniki in upori), v našem primeru pa tudi kanale in druge praznine.
Vir: svetovni splet
![Page 5: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/5.jpg)
LTCC proces
Keramična folija oblikovanje tiskanje in sušenje zlaganje laminacija razrez žganje testiranje ..………………….
Vir: svetovni splet
![Page 6: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/6.jpg)
Izdelava praznin v LTCC strukturi z volumskim materialom
Izdelava keramičnih večplastnih struktur, v katerih so odprte ali zaprte praznine, je zahteven tehnološki postopek, ki je v literaturi slabo opisan, saj pomeni pomemben know-how.
Pri izdelavi praznin ne sme priti do mehanskih deformacij in kemijskih sprememb v keramični strukturi oz. materialu.
Tehnološki postopek mora biti kompatibilen z tehnologijo LTCC
Pri izdelavi praznin v LTCC strukturi se uporabljata dve vrsti volumskih materialov:
• Žrtvovani material • Pomožni oz. začasni material
![Page 7: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/7.jpg)
Izdelava praznin z žrtvovanim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Žrtvovana plast (grafit) zapolnjuje votlino v materialu.
zelen LTCC
žrtvovani material
![Page 8: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/8.jpg)
Izdelava praznin z žrtvovanim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Žrtvovana plast (grafit) zapolnjuje votlino v materialu.
O2 CO2
LTCC
• Delno sintrana LTCC struktura z odprto poroznostjo omogoča difuzijo plinov; kisik difundira v strukturo in nastali ogljikov dioksid iz strukture.
zelen LTCC
žrtvovani material
![Page 9: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/9.jpg)
Izdelava praznin z žrtvovanim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Žrtvovana plast (grafit) zapolnjuje votlino v materialu.
O2 CO2
LTCC
sintran LTCC
praznina
• Delno sintrana LTCC struktura z odprto poroznostjo omogoča difuzijo plinov; kisik difundira v strukturo in nastali ogljikov dioksid iz strukture.
• Ogljik mora zgoreti, preden se LTCC material gosto zasintra.
zelen LTCC
žrtvovani material
![Page 10: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/10.jpg)
Izdelava praznin s pomožnim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Pomožni material zapolnjuje praznino.
green LTCC
graphite layer
zelen LTCC
pomožni material
![Page 11: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/11.jpg)
Izdelava praznin s pomožnim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Pomožni material zapolnjuje praznino.
green LTCC
graphite layer
zelen LTCC
pomožni material
LTCC
pomožni material
• LTCC struktura ohranja obliko tudi med sintranjem, ker jo podpira pomožni material.
![Page 12: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/12.jpg)
Izdelava praznin s pomožnim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Pomožni material zapolnjuje praznino.
green LTCC
graphite layer
zelen LTCC
pomožni material
sintran LTCC
pomožni material
LTCC
pomožni material
• Po sintranju pomožni material ostane v strukturi. Odstrani se ga v naslednji fazi – izpiranje s pomočjo šibke kisline.
• LTCC struktura ohranja obliko tudi med sintranjem, ker jo podpira pomožni material.
![Page 13: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/13.jpg)
Izdelava praznin s pomožnim materialom
• Nežgana LTCC struktura. Pomožni material zapolnjuje praznino.
green LTCC
graphite layer
zelen LTCC
pomožni material
sintran LTCC
pomožni material
LTCC
pomožni material
• Po sintranju pomožni material ostane v strukturi. Odstrani se ga v naslednji fazi – izpiranje s pomočjo šibke kisline.
• LTCC struktura ohranja obliko tudi med sintranjem, ker jo podpira pomožni material.
sintran LTCC
praznina
![Page 14: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/14.jpg)
LTCC strukture za keramične senzorje tlaka
Osvojili smo tehnologijo izdelave LTCC struktur z geometrijsko pravilno okroglo praznino, ki ima relativno velik premer (do 20 mm) in majhno višino (minimalno 35 mm). Pri tem je pomembno, da je ena stena praznine relativno tanka (od 100 mm naprej).
10 mm
Presek LTCC senzorja tlaka
2 mm
Keramični senzor tlaka LTCC senzor tlaka Inventivna uporaba keramike z nizko temperaturo žganja (LTCC) za izdelavo keramičnih piezoresistivnih senzorjev tlaka omogoča večjo fleksibilnost pri načrtovanju, manjše dimenzije, večje senzorske občutljivosti in lažjo integracijo z drugimi elementi sistema.
![Page 15: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/15.jpg)
Primeri LTCC senzorjev tlaka, razvitih v sodelovanju z družbo HYB (obdobje maj 2011 – maj 2012)
12,5×12,5 mm10×10 mm
20×10 mm
od 0-350 mbar do 0-10 bar
24×13 mm 0-100 mbar
12,7×12,7 mm
0-500 mbar
Premer 25 mm 0-100 mbar Premer 25 mm 0-100 mbar
12,7×12,7 mm
0-500 mbar
13,5×6,0 mm
0-34 bar
Premer 13 mm
0-34 bar
13,5×6,0 mm
0-34 barKapacitivni ST
od 0-350 mbar do 0-10 bar
Na osnovi raziskovalnih rezultatov in v sodelovanju z družbo HYB, ki je sofinancirala raziskovalni projekt, smo razvili več demonstracijskih senzorjev tlaka za različna tlačna področja, ki so praviloma namenjena za uporabo v zahtevnih pogojih okolice.
![Page 16: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/16.jpg)
LTCC strukture za kemijske mikrosisteme
Kemijski mikrosistemi so skupina miniaturnih naprav v katerih izvajamo kemijske reakcije ali analize. Sestavljajo jih: reaktorji, mešalniki, analizatorji, senzorji, aktuatorji, grelniki itd.
Osvojili smo dva tipa LTCC struktur za kemijske mikrosisteme:
Presek keramične (LTCC) strukture s kanali 200×400 mm v skupni dolžini 3 m.
Presek keramične (LTCC) strukture z volumnom približno 3 cm3.
• LTCC struktura z votlino z velikim volumnom je primerna za izdelavo mikrosistemov, ki imajo integrirane rezervoarje.
• LTCC struktura s kanali je primerna za izdelavo mešalnikov in reaktorjev.
![Page 17: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/17.jpg)
3D-LTCC struktura za Keramični procesor za razklop goriva
Dimenzije: 41,0 x 75,0 x 9,0 mm (brez priključkov za fluide)Teža: 73 g
Rezultati projekta KeraPro (MORS)
![Page 18: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/18.jpg)
3D-LTCC struktura
Prerez A-A Prerez B-B Prerez C-C
A
A
B
B
C
C
Rezultati projekta KeraPro (MORS)
Dimenzije: 41,0 x 75,0 x 9,0 mm
![Page 19: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/19.jpg)
Zaključek
• Raziskovalni skupini je uspelo z uporabo ustreznih začasnih polnil (t.i. volumski materiali) razviti tehnološki postopek za izdelovanje praznin v keramičnih strukturah.
• Obvladovanje teh postopkov pa je omogočilo tehnološki preboj pri raziskovalno-razvojnem delu na področju različnih keramičnih mikrosistemov.
![Page 20: Postopek izdelave praznin v keramičnih večplastnih strukturah](https://reader035.vdocuments.mx/reader035/viewer/2022062221/568139f8550346895da1b96a/html5/thumbnails/20.jpg)
ZahvaleSofinanciranje aplikativnih raziskovalnih projektov: ARRS in HYB d.o.o.
Hvala lepa za pozornost!
Darko Belavič[email protected]
Povezovanje: – Center odličnosti NAMASTE
– Program Kera MEMS
– Projekt KeraPro
– Projekt CERACON