SeriesPD

03節能型乾式螺旋真空泵浦

Ambitions, Proficiency,Execution

23 Ambitions, Proficiency,Execution

24

Energy Saving Type Dry Vacuum Pump

Ambitions, Proficiency,Execution

25 Ambitions, Proficiency,Execution

26

機型 單位Model PD300 PD400

抽氣速度Pumping Speed 270/330

160/195

5550/6666

199/239

終極壓力 Ultimate Pressure

水冷馬達Water-cooledMotor

頻率 Frequency 50/60

86

NW50

NW40 NW40

電壓 Voltage

額定功率Rated Power

連接Connection

進氣口 Inlet ISO63

NW50

ISO63

排氣口 Outlet

冷卻水

Cooling Water

接頭 Connection

最低流量 Min. Flow

℃

最高壓力 Max Pressure

溫度 Temp.

氮氣 N2

長 × 寬 × 高L× W× H

噪音Noise

Unit

Torr

mbar

Pa

Hz

L/min

cfm

V

HPkW

Pressure壓力 Pre ure壓力0.15~0.2Mpa

L/min

kg/cm2

接頭 接頭Connection n

流量 Purge Flow SLM SLM

mm

dB(A)

℃

尺寸Dim

(50Hz/60Hz)m3/hr

≦ 7.5X 10-3

≦ 1X 10-2

≦ 1

PD120

1336/200080/12047/70

42.98

壓力差 kg/cm2

系統最大漏率System Max. Leak-rate

室溫操作範圍Operation Temp

操作溼度Operation Moisture

控制介面Interface

mbar

RH

3 3 6

4

1

18~25

6~60

RC 3/8" RC 1/2"

814×380×663

＜70＜70

---

---

---

---

4500/5500

1055×425×560

重量Weight kg 350

＜75

1×10

5℃~40℃

-5

280

333/400

2015

1500×650×767

865

220/380/440±5%（3Phase）

SEMI E73-0299

PD系列節能型乾式真空泵技術規格表Technical Data for PD Series Energy Saving Dry Vacuum Pump

機型 單位Model PDE800PDE650

抽氣速度Pumping Speed

4500/5500270/330160/195

終極壓力 Ultimate Pressure

氣冷馬達Air-cooledMotor

50/60

107.5

NW50

NW40連接

Connection NW40

ISO63

冷卻水Cooling

Water

℃

氮氣 N2

長 × 寬 × 高L× W× H

噪音Noise

Unit

Torr

mbar

Pa

Hz

L/min

cfm

V

HPkW

Mpa

L/min

kg/cm2

mm

dB(A)

℃

尺寸

(50Hz/60Hz)m3/hr

≦ 7.5X 10-3

≦ 1X 10-2

≦ 1

1336/200080/12047/70

53.73

kg/cm2

系統最大漏率System Max. Leak-rate

室溫操作範圍Operation Temp

操作溼度Operation Moisture

控制介面Interface

mbar

RH

3 3

4

1

18~25

RC 3/8" RC 1/2"

＜70

---

---

---

---

1150×515×600

重量Weight kg

＜72 ＜80

1×10

5℃~40℃

-5

90%

350280

1365×570×595

PDE300

5550/6666

199/239

NW50

ISO63

6 6

6~60

333/400

2015

865

1820×780×770

PDE400

9033/10833542/650324/388

220/380/440±5%（3Phase）

25/3018.5/22ISO100

ISO63

6

25/3018.5/22ISO100

ISO63

0.05

12~150

Swagelok 3/8"Swagelok 1/4"Swagelok 1/4"

2350×650×903

1050

＜95(無外罩)

1050

＜95(無外罩)

11100/13330660/800393/478

1900×900×1035

SEMI E73-0299

PDE120

Water-Cooled Type Air-Cooled Type

l/s

Pressure Dif

頻率 Frequency

電壓 Voltage

額定功率Rated Power

進氣口 Inlet

排氣口 Outlet

接頭 Connection

最低流量 Min. Flow

最高壓力 Max Pressure

溫度 Temp.

ss

Connectio

流量 Purge Flow

壓力差 Pressure Dif

以下90% 以下

l/s

SLM

Dim

運轉功率低，噪音低，抽速快。‧

氣冷馬達機型可搭配自循環冷卻系統，能使用在無冷卻水系統的環境。

PD Service Dry screw vacuum pump, can be used in water-cooled, air-cooled and explosion-proof motor. High pumping speed, low powerconsumption and low noise.

鍍

製程氣體抽取

PD系列節能型乾式真空泵技術規格表Technical Data for PD Series Energy Saving Dry Vacuum Pamp

Ambitions, Proficiency,Execution

27 Ambitions, Proficiency,Execution

28

＊可依不同需求選配魯式泵浦,抽氣速率最大可達3500m/hBooster pump can be selected by different application demand, and maximum

pumping speed of HANBELL pump can achieve up to 3500 m /h.3

3

PD系列抽氣曲線圖 PD series Pumping Speed Curves

PD系列節能耗功範例曲線圖 PD&PS Series Comparison of Power Consumption Curves

Pressure

Active power

PS PD

SeriesSeries

Low High

High

0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000

Pressure (Torr)

0

2000

6000

10000

14000

Pum

ping

Spee

d (L

/min)

PD800 / 60 HzPD800 / 50 HzPD400 / 60 HzPD400 / 50 HzPD300 / 60 HzPD300 / 50 HzPD120/100 HzPD120 / 60 HzPD120 / 50 Hz

PD系列抽氣曲線圖 PD series Pumping Speed Curves

PD系列節能耗功範例曲線圖 PD&PS Series Comparison of Power Consumption Curves

Pressure(Torr)

Active power(kW)

PS PD

SeriesSeries

PS Series

PD Series

Low High

High

AB

HC

L

D

F

M

E

G

A B C D E F G H L M

PD120 450 380 552 190 814 670 250 663 750 105PD300 500 430 580 215 1053 885 420 745 750 73

Ambitions, Proficiency,Execution

29 Ambitions, Proficiency,Execution

30

PD ser ies 外觀尺寸規格表（Dimension）

A type A type

A

PD400 700

� �

�

�

�

�

�

�

�

�

�

425 350 104 441 1224 413 471 1632 767 694

425719 350 104 441 471 1632 767

B C D J KL M機型Model機型Model

A

C

D

G

B

F

LM

E

KHJ

A B C D E F G H J K L M700 719 425 350 104 441 1224 413 471 1632 767 694

機型Model

PD400

C

H

J

I

AB

F

D

E

K

G

HJ

KM

L

L

H

G

ED

F

AB

C

M

S type

A type

Ambitions, Proficiency,Execution

31 Ambitions, Proficiency,Execution

32

PDE ser ies 外觀尺寸規格表（Dimension）

AF

E

C

B

D

G

A B C D E F G H J K L M694 1043 1276 191 348 461 1051 2028 1967 1506 494 306694 1043 1267 191 348 461 1051 2028 1967 1506 494 306

機型ModelPD800PD650

A B C D E F G H I J K795 550 305 1755 265 1900 1515 1035 460 190 365795 550 305 1755 265 1900 1515 1035 460 190 365

機型ModelPDE800PDE650

A B C D E F G H L M515 250 500 1030 175 440 1150 600 105 815590 270 570 1270 156 580 1365 595 105 825780 325 650 1600 365 780 1820 770 105 1215

機型ModelPDE120PDE300PDE400