op011 doe-beamshaper h1-h4n...長焦点深度 doeビームシェイパ long focal depth doe beam...
TRANSCRIPT
CircleCircle
Long Focal DepthDOE Beam ShaperLong Focal DepthDOE Beam Shaper Focusing LensFocusing Lens
集光レンズ集光レンズImage SurfaceImage Surface像面像面
長焦点深度DOEビームシェイパ長焦点深度DOEビームシェイパ
Single-mode BeamSingle-mode Beamシングルモードビームシングルモードビーム
Flattop BeamFlattop Beamフラットトップビームフラットトップビーム
円形均一強度分布SquareSquare
正方形均一強度分布
(532nm, f=200mm)(532nm, f=200mm)ø20µm≒回折限界*
Diffraction Limit
ø40µm
0
1
* 回折限界:ø27µm(1/e2)Diffraction Limit
強
度(a.u.)
Inte
nsity
Long Focal Depth DOE Beam Shaper
長焦点深度DOEビームシェイパ
(532nm, f=200mm)
ø65µm
ø44µm
0
1
強
度(a.u.)
Inte
nsity
(Reference for Comparison) Aspheric Beam Shaper《比較参考》非球面ビームシェイパ
-600 -450 -300 -150 0 +150 +300 +450 +600 (μm)∆Z=デフォーカス量 (レンズ側がマイナス)
集光レンズと組み合わせて、焦点位置でのビームのピーク強度を低減し、長焦点深度を実現
組み合わせる集光レンズの焦点距離を変えることで、サイズが変化
円形と正方形の2タイプを用意。テーパを抑えた微細な切断・穴あけや正方形ビームを利用した高効率パターニング加工を実現
集光レンズと組み合わせて、焦点位置でのビームのピーク強度を低減し、長焦点深度を実現
組み合わせる集光レンズの焦点距離を変えることで、サイズが変化
円形と正方形の2タイプを用意。テーパを抑えた微細な切断・穴あけや正方形ビームを利用した高効率パターニング加工を実現
The combination with a focusing lens reduces the peak intensity of the beam at the focal position, which achieves the long focal depth.
Flattop beam size can be changed linearly with the focal length of the focusing lens.
We offer two types: circular and square. Micro-cutting and micro-drilling with suppressed taper and effective patterning using a square beam is achieved.
The combination with a focusing lens reduces the peak intensity of the beam at the focal position, which achieves the long focal depth.
Flattop beam size can be changed linearly with the focal length of the focusing lens.
We offer two types: circular and square. Micro-cutting and micro-drilling with suppressed taper and effective patterning using a square beam is achieved.
Defocus margin (a change of work distance)
デフォーカス特性 Defocus characteristics
長焦点深度DOEビームシェイパシングルモードレーザー用集光機能分離型
For Single-mode Laser / Non-Focus
Long Focal Depth DOE Beam Shaper [Diffractive Optical Element]
光学製品ガイド No.011
長焦点深度DOEビームシェイパLong Focal Depth DOE Beam Shaper
像面Image Surface
均一ビーム 0.04mm角Uniform Beam: 0.04mm Square 断面プロファイル
Cross-sectional Profile
波長:532nmWavelength
ø5.0mm平行シングルモードビームCollimated Single-mode Beam
集光レンズFocusing Lens(FL200mm)
型番 DHLQ2-5-S40Cat. No.
0.04mm
■組み合わせ例 Application Example 波長 Wave Length 532nm FL200集光レンズ FL200 Foucsing Lens
■標準品ラインアップ Lineup
DHL Z1-8-290DHL Z1-7.2-S310DHL Q1-4.7-80DHL Q1-5-S80DHL Q2-4.7-40DHL Q2-5-S40DHL Q3-4.7-27DHL Q3-5-S27DHL Q4-4.7-20DHL Q4-5-S20DHL Q4-3-S34
8.07.24.75.04.75.04.75.04.75.03.0
ø290310 × 310
ø8080 × 80
ø4040 × 40
ø2727 × 27
ø2020 × 2034 × 34
約95%約90%約95%約90%約95%約90%約95%約90%約95%約90%約90%
型番Cat. No
波長Wavelength(nm)
入射ビーム径Incident Beam Diameter
(1/e2 ømm)フラットトップ形状(代表例)
Typical Flattop Shape (μm)※
回折効率Diffraction Efficiency
25.425.425.025.025.025.025.025.025.025.025.0
5.085.085.005.005.005.005.005.005.005.005.00
寸法(mm)Dimensions
øD T
※波長10600nmは FL127、それ以外の波長は FL200集光レンズ使用時※The wavelength of 10,600nm is the value with FL 127 focusing lens; the other wavelengths are values with the FL 200 focusing lens
10600
1064
532
355
266
波長、入射ビーム径、フラットトップ形状をご指定ください。Specify wavelength, incident beam diameter and flattop shape.
DHL Q2 - 5 - S40型番例Product No.
波長WavelengthZ1 :10600nmQ1 :1064nmQ2 :532nmQ3 :355nmQ4 :266nm
入射ビーム径Incident Beam Diameter(5mm)
フラットトップ形状Flattop Shape(S:Square 40×40mm)
0.0-60 -40 -20 0 20 40 60
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
X (μm)
強 度(a.u.)
焦点強度分布
0.0-60 -40 -20 0 20 40 60
0.2
0.4
0.6
0.8
1.0
1.2
X (μm)
強
度(a.u.)
焦点強度分布■入射ビーム径変化の影響 The influence of the incident beam diameter change ■入射光軸ズレの影響 The influence of the incident beam decenter
基 準
+10%-10%
0.0mm
0.5mm
1.0mm
532nm, =200mm, 円形f Circle
Standard
Focal Point-Intensity Distribution Focal Point-Intensity Distribution
Inte
nsity
Inte
nsity
(2015.9)Ⅰ NTこの印刷物は再生紙を使用しています。
●廃棄の際は、都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。Disposal should be in compliance with all applicable laws and regulations. 警告
●火中に廃棄しないこと。 ●酸、アルカリに浸さないこと。Do not dispose by incineration. ●レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。Please store away from acid and alkali.
Do not dip in acid or alkali.