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TRANSCRIPT
OILL-SEALED-L-ROTARYOILROT
L SEALTARYTL
VACUUMROTARYVACUUMPUMPSVACUUPUMPS
小型直結型油回転真空ポンプカタログ小型直結型油油回転油回転真空ポンプカタログ回転回
G Series
CATALOGCATALOGCATALOG
GHD Series
GVD/GLS/GLD Series
GLD(LD Global-type( )e Series)S
GCD Series
小型オイルフィルトレーションシステム
オプショナルパーツ
真空配管部品
Creating Small Vacuum Pumps
www.ulvac-kiko.com
アルバック機工株式会社
No. VP-0704
原材料入 荷
機 械加 工
部 品検 査
組 立準 備
塗 装
ポンプヘッド組 立
総 合組 立
製 品検 査
梱 包出 荷
ローター加工工程
シリンダー中間カバー加工工程
製品1次検査
製品2次検査
前カバーケーシング加工工程
2
油回転真空ポンプの最高品質と高次元応用分野を目指す
油回転真空ポンプのできるまで
ISO9001、ISO14001認証取得
アルバックソリューションズがニーズにお応えします
徹底した品質保持を追求する油回転ポンプ専門工場
Creating Small Vacuum Pumpss――アルバック機工
アルバック機工の小型真空ポンプは、さまざまな産業分野で多彩な役割を担っています。理化学・分
析、一般産業機械、医薬、生科学、半導体・電子機器プロセスなど、研究開発用装置から製造ライン、
民生用家電製品まで、じつに多岐にわたり活躍しております。
アルバック機工は、小型真空ポンプの専門メーカーとして、真空ポンプの最高品質、さらなる高次
元応用分野の創生を目指しており、事業活動も日本はもとよりアジア、欧米向けに製造、販売、サー
ビス、開発とグローバルに展開しております。こうした活動は、真空技術をベースとする革新的技術
企業集団アルバックグループ各社との緊密な連携と共同によるものです。
私たちは、アルバックのトータルソリューションにより、お客様のさまざまなニーズ/性能・品質・
コスト・サービスにお応えできるものと信じております。
基本方針
各業界顧客の要求を満足する小型・高性能・高信頼性の製品を市場に供給することを
基本方針とする
品質方針
品質向上みんなの努力と協力で
3
8–12
13–14
15–16
21–22
G Series
C O N T E N T S目 次
G-5 G-5DA G-10DA G-20DA G-25SA G-50SA G-50DAG-100S G-100D
GHD Series GHD-030 GHD-060 GHD-120
GVD/GLS/GLD GVD-050A GLS-051 GLD-051
GCD Series GCD-051X GCD-136X GCD-201X
17–20GLD Global-type Series GLD-040 GLD-136A GLD-136C GLD-201A GLD-201B GLD-280
直結型油回転真空ポンプ Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
吸気管φ18(M20×P1)排気管
スイッチ
オイルレベルゲージ
排油栓 M8
ゴム脚
銘板
1466.5
754440
4038
91
288167
17015 15
17.5200
63.5 52 5.529 20 30
25
12.5
125131156
Outlet port
Switch
Oil level gauge
Drain plug
Rubber legs
モータ
ハンドル
サーマル
PowerCord
Motor
Handle
ベースBase
Nameplate
Inlet port
4-M4
実効排気速度表示Actual pumping speedActual pumping sp
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 20 24実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 3.7 3.0全負荷電流Oil capacity mL 230油量
l SMR-100使用油Weight kg 8.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×288(L)×199.5(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(ー 手動復帰(手( )帰With built-in thermal protectorWith built-in in thermain t al protectoa torto
直結型油回転真空ポンプ空Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G 25SAG-25SA
スタンダードタイプイプイ
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
RoHS対応
ポンプ使用はこの雰囲気温度にて行ってください。
標準の吸気管の外径を示します。これと異なる場合はお問い合わせください。
電源コード、接続チューブを含まないポンプの単体の質量です。
使用しているモータの定格を示します。カタログ仕様(標準仕様)以外の電圧をご希望の場合はご照会ください。別途お見積いたします。
到達圧力を示します。到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に達するとポンプの排気速度は0となります。
大気圧の気体を吸入した場合の実効排気速度を示します。メーカによっては設計排気速度標示の場合がありますが、その場合は1.2倍程度にすることによって換算できます。
実効排気速度Actual pumping speed
型式Type of pump
1段型、2段型の区分
表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示します。60Hzの場合は1.2倍の能力が得られます。(他社の場合、排気速度を設計排気速度で示している例がありますが、当社では実効排気速度を採用しています)
Sは1段型、Dは2段型を示します。
G 直結型油回転真空ポンプ
GHD 直結型油回転真空ポンプ
GLS 直結型油回転真空ポンプ
GVD 直結型油回転真空ポンプ
GLD 直結型油回転真空ポンプ
GCD 直結型油回転真空ポンプ(耐食型)
G-25SA
コード付きプラグ
スイッチ付き
端子のみコードなし
コード付き先ばら
・カタログ仕様(標準仕様)以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
カタログの見方
kgf/cm2
大気圧 絶対真空1 00.01 1×10-2 1×10-3 15×10-5 1×10-4 50×10-6
トール Torr水銀柱 mmHg
760 07.5×10-2 3.8×10-2 7.5×10-375×10-2 7.5×10-3 1.1×10-3 3.8×10-4
バール bar
1.01 00.1 0.05 101 1×10-2 15 5
パスカル Pa
L/min
101300Pa 010 5100 1 15×10-2 5×10-210×10-2
250 200 150 100 50 0
最高到達圧力マクラウド真空計による測定値( )はピラニー真空計による測定値排気速度 機 種
G-5
G-5DA
G-10DA
G-25SA
G-20DA
G-50SA
G-50DA
G-100S
G-100D
GHD-030
GHD-060
GHD-120
GVD-050A
GLS-051
GLD-040
GLD-051
GLD-136A
GLD-136C
GLD-201A
GLD-201B
GLD-280
GCD-051X
GCD-136X
GCD-201X
4×103Pa5/6 L/min (50/60Hz)
5/6
10/12
20/24
20/24
50/60
50/60
50/60
50/60
50/60
280/336
40/48
100/120
100/120
50/60
135/162
135/162
200/240
60/72
120/144
30/36
6.7Pa
1.3Pa
9.3Pa
9.3Pa
9.3Pa
9.3Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
135/1626.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
200/240
200/240
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa
その他の単位
表記との比較
アルバック機工
の単位表記
1.3×10 -1Pa
1.3×10 -1Pa
4
幅広い産業分野で利用される真空ポンプ
直結型油回転真空ポンプ排気速度・到達圧力一覧
特長・最適用途電圧対応その他逆流防止ガスバラストバルブ付属
サーマルプロテクタ
小型でハンディです。・デシケータ排気・真空乾燥、真空ろ過、真空濃縮・吸着・真空チャック・吸気分析・ガスクロマトグラフ・小型アスピレータ・歯科用焼成炉・小型空調機配管引き・冷媒回収・精密鋳造
直結型でコンパクトな真空ポンプです。環境対応(省エネ・低騒音・低振動)にも配慮いたしました。中真空用ポンプまたは高真空ポンプ(ターボ分子ポンプ・クライオポンプ・油拡散ポンプ)のバックポンプとして最適です。GHDシリーズ:2極高速モータ使用。コンパクトです。GVD/GLDシリーズ:小型真空ポンプのベストセラーです。GCDシリーズ:耐食型。ケミカル用途に最適です。GLD Global シリーズは、ユニバーサルモータ付、世界中の電圧に対応します。CEマーク付です(GLD-280を除く[2006年4月1日現在])。・GLD、GCDシリーズは耐圧防爆、安全増防爆モータ対応ができます。お問合せください。
・CE対応-お問合せください。分析機器、理化学機器・電子顕微鏡、X線分析、質量分析・真空濃縮、ろ過、遠心分離・ガス分析、ガスクロ脱気半導体・電子電機・真空乾燥、脱ガス、脱泡、射出成型、真空含浸・スパッタ、真空蒸着、CVD、真空炉、ガス雰囲気炉・リークディテクタ、検査装置冷凍空調・吸収式冷凍機・冷凍機、空調機の配管内水分除去医科・歯科・歯科焼成炉、埋没材脱泡・アスピレータ、レーザーメス、バリウム脱泡印刷・包装・食品・真空パック、真空包装、ラベリング・脱泡、脱ガスその他・真空チャック・ガス充填・レーザー機器・真空成型・ランプ排気
なし
なし
なし
なし
なし
なし
なし
なし
あり
あり
あり
あり
あり
なし
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
自動復帰
自動復帰
自動復帰
手動復帰
手動復帰
手動復帰
手動復帰
手動復帰
手動復帰
自動復帰
自動復帰
自動復帰
手動復帰
手動復帰
自動復帰
手動復帰
なし
自動復帰
なし
自動復帰
なし
手動復帰
手動復帰
手動復帰
なし
なし
なし
なし
なし
あり
なし
あり
なし
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
あり
電圧変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
電圧変更
吸気口変更
安増防爆
電圧変更
吸気口変更
安増防爆
電圧変更
吸気口変更
吸気口変更
安増防爆
安増防爆
電圧変更
吸気口変更
安増防爆
電圧変更
吸気口変更
安増防爆
耐圧防爆
電圧変更
吸気口変更
安増防爆
耐圧防爆
吸気口変更
マルチレンジ電圧
マルチレンジ電圧
C E対応
C E対応
※
※
吸気口変更
マルチレンジ電圧
C E対応
※
吸気口変更
マルチレンジ電圧
C E対応
※
吸気口変更
マルチレンジ電圧
吸気口変更
マルチレンジ電圧
C E対応
※
5
6
吸気口排気弁
2段式(Two-stage)油回転真空ポンプの排気状態
油回転真空ポンプに関する一般事項
油回転真空ポンプの排気原理
大気圧付近での連続運転には不適です。
油回転真空ポンプは、中真空/高真空(100~0.1Pa)
用ポンプとしてすぐれた性能をもっていますが、低真
空とくに大気圧付近での連続運転には不適です。これ
は真空のシールに真空ポンプ油の油膜を利用している
ため、大気圧付近で連続運転いたしますと、ポンプ油
がオイルミストとして飛散するためです。大気圧付近
での連続運転には、ドライ真空ポンプをおすすめいた
します。(ドライ真空ポンプカタログをご参照ください)
・真空ポンプ油
溶剤あるいは水蒸気など蒸気圧の高い物質がオイル
に混入しますと、真空ポンプ油の蒸気圧が高くなり、
性能が低下するだけでなく、サビの発生、スラッジの
発生などにより機械的な故障を起す原因になります。
これらの物質を吸引する場合は、ポンプを保護するた
め凝縮器(コンデンサ)を取付けるか、または頻繁に
油を交換するようお願いいたします。
空気のみを排気する場合も、長期間使用致しますと
空気中の水分が少しずつポンプ油に混入し、到達圧力
が悪くなります。使用頻度、使用条件によって期間は
一概にはいえませんが、真空ポンプ油は定期的に交換
する必要があります。また長期間ポンプを使用しない
場合はポンプ油を抜き取り、新しい油に入れ替えてお
くことをおすすめいたします。
・ガスバラストバルブ
水蒸気を吸引する場合の対策として、ガスバラスト
バルブがあります。水蒸気を吸引した場合、ポンプ内
の圧縮工程で圧縮され、凝縮して水になりオイルに混
入いたします。これを防ぐため、ガスバラストバルブ
を開け、圧縮室に適量の空気をいれると、水蒸気は凝
縮せずそのまま排出されます。ガスバラストバルブ開
のままでは到達圧力が低下いたしますので、通常は引
き始めの水蒸気の多い段階のみガスバラストバルブを
開け、ある程度圧力が下がったら閉じておきます。
・オイルミストについて
低真空領域(大気圧~100Pa)では排気される空気
の量が多いため、空気流に同伴されて、わずかですが
ポンプ油がオイルミストとして排出されます。室内を
汚すだけでなく、ポンプ油が減って本体に油の供給が
できなくなります。これを防ぐためポンプの排気口に
オイルミストトラップ、オイルミストセパレータの取
付をおすすめいたします。(オイルミストトラップは、
24ページをご参照ください)
・使用電圧について
各機種とも、標準品電圧(カタログ仕様欄に記載)
の他各種電圧に対応いたします。お申し付けください。
・吸気管、排気管
吸気管、排気管は変換可能です。25ページの対応表
をご参照ください。
アルバック機工の油回転真空ポンプは、ゲーデ型真
空ポンプで、動作原理は次の通りです。2段式はロー
タおよびシリンダを2式そなえ、吸入圧縮排気を2回
くり返しますので、1段式より高真空が得られます。カ
タログ中の「Single-stage」が1段式、「Two-stage」
が2段式です。
吸気口
吸入 圧縮2圧縮1 排気
排気弁
7
真空の圧力単位について新計量法による圧力の単位には、SIに係
る計量単位としてPa(パスカル)、N/m2(ニュートン毎方平メートル)およびbar(バール)が用いられるほか、非SI単位として、生体内の圧力にTorr(トール)が、そして血圧にmmHg(水銀柱ミリメートル)が認められています。
真空圧力の表記には、次の二通りの方法があります。真空業界では、絶対圧力を使用しますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われるので、資料やカタログをご覧になるときは、どちらの方法で圧力が表記されているか確認する必要があります。
1. 絶対真空を0(ゼロ)とした絶対圧単位の後にaまたはabsと記す(省略することが多い)
2. 大気圧を0(ゼロ)としたゲージ圧単位の後にGまたはGaugeと記す(省略されることが多い)
■各圧力単位における大気圧の値
絶対圧表記 ゲージ圧表記
単位 読み方 大気圧 真空圧力 絶対真空 大気圧 真空圧力 絶対真空範囲 範囲
Pa(N/m2) パスカル 101325 ←→ 0 0 ←→ -101325
kPa キロパスカル 101.3 ←→ 0 0 ←→ -101.3
M Pa メガパスカル 0.101 ←→ 0 0 ←→ -0.101
bar バール 1.013 ←→ 0 0 ←→ -1.013
mbar ミリバール 1013 ←→ 0 0 ←→ -1013
Torr トール 760 ←→ 0 0 ←→ -760
mmHg ミリメータ水銀柱 760 ←→ 0 0 ←→ -760
mmH2O ミリメータ水柱
(Aq) (アクア)10342 ←→ 0 0 ←→ -10342
atm 気圧 1 ←→ 0 0 ←→ -1
psi(bf/in2) ポンド平方インチ 14.696 ←→ 0 0 ←→ -14.696
kgf/cm2キログラム
平方センチメートル1.0332 ←→ 0 0 ←→ -1.0332
Pa(N/m2) Torr(mmHg) atm mbar psi(bf/in2) kgf/cm2 mH2O(15°)
1 Pa(N/m2) 1 7.50×10-3 9.87×10-6 10-2 1.45×10-4 1.02×10-5 1.02×10-4
1 Torr(mmHg) 133.32 1 1.316×10-3 1.33 1.93×10-2 1.359×10-3 1.36×10-2
1 atm 1.013×105 760 1 1.013×103 14.696 1.033 10.34
1 mbar 100 0.750 9.87×10-4 1 1.45×10-2 1.02×10-3 10.206×10-3
1 psi(bf/in2) 6.89×103 51.71 6.8×10-2 68.9 1 7.031×10-2 0.703
1 kgf/cm2 9.8×104 735.56 0.968 9.81×102 14.223 1 10
1 mH2O 9.8×103 73.49 9.68×10-2 98.0 1.421 0.1 1
(絶対真空) 減圧(真空圧) (大気圧) 加圧100 200 300 400 500 600 700
-10×103-20×103-30×103-40×103-50×103-60×103-70×103-80×103-90×103-101325 0
-1.01 -0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0
9.8 19.6-101 -90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0
0-10×10-3-20×10-3-30×10-3-40×10-3-50×10-3-60×10-3-70×10-3-80×10-3-90×10-3-101×10-3 9.8×10-3 19.6×10-3
1 1.0130.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.90
0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 1.1 1.20
0.1 0.2-0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0-1
760
kPa G
MPa G
Torr abs
bar abs
Pa abs
kPa abs
bar G
(mmHg abs)
バール
パスカル
キロパスカル
キログラム毎平方センチメートル
キログラム毎平方センチメートル
バール
Pa G パスカル
キロパスカル
メガパスカル
トール(ミリメータHg)
トール(ミリメータHg)
kg/cm2 abs
kg/cm2 G
10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000 101.32
MPa abs メガパスカル0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.10 0.101
0 10×103 20×103 30×103 40×103 50×103 60×103 70×103 80×103 90×103 100×103 101325
-760 -700 -600 -500 -400 -300 -200 -100 0 Torr G(mmHg)
From To
■単位の比較
■単位換算表
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-5G-5DAG-10DAG-25SAG-20DA
G-50SAG-50DAG-100SG-100D
■スタンダードタイプ Standard type
8
特 長
当社の直結型油回転真空ポンプはゲーデ型の回転翼型真空ポンプです。ゲーデ型の特長は、真空ポンプ油の使用により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られる信頼性の高いポンプです。またモータ直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られます。Gシリーズは長年にわたり豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプのスタンダードタイプです。GシリーズはSingle stageとTwo-stageの2種類があり、その排気量も5~100 L/min.まで豊富に取り揃えています。
使用上の注意
1.油回転真空ポンプは油の減少や汚れを定期的にチェックしてください。
2.ポンプを停止する場合は、油の逆流を防ぐためにポンプ内を大気圧にもどしてください。(詳細についてはお問い合わせください)
3.大気圧近くでは排気口から油が発散することがあります。これを防ぐためには、当社のオイルミストトラップ(OMTシリーズ)あるいはオイルミストセパレーターのご使用をおすすめします。また吸気側には、フォアライントラップ(油の逆拡散防止用及び水分、粉体混入防止用の2種)を用意しております。
4.油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。
主な利用分野
1.理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2.小型食品包装機、真空成型機3.真空排気装置、電子顕微鏡のバック4.半導体製造装置5.真空蒸着装置、凍結乾燥器6.医療用機器全般
吸気管φ12(M14×P1)
Suction port
注油栓
17 17
Oil inlet plug
排気管φ12(M17×P1)
60
199
123
150
17
42 17 85 55
80
Exhaust port
レベルゲージOil level Gauge
ハンドルHandle
コンデンサCondenser
モータMotor
レベルゲージOil level gauge排油栓 M6Drain plug
ベースBaseゴム脚 4-M3
Rubber legs
2140
95
156
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 5 6実効排気速度Ultimate pressure Pa 4×103到達圧力Motor 1φ,100V,25W,4 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 0.6 0.6全負荷電流Oil capacity mL 20油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 2.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ12×I.D.φ6吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 80(W)×199(L)×156(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
G S
eriesG
Series
GS
eriesG
S
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-5
スタンダードタイプ
9
銘板Name plate
モータMotor
ハンドルHandle
電源コード Power Cord
ベース Base
ゴム脚 4-M4Rubber legs
排気管Exhaust port
レベルゲージOil level gauge
スイッチSwitch
排油栓Drain plug
1451
51933 34.5
159.5
コンデンサーカバーCapacitorcover
吸気管Suction port
20361 33 10539 16
120150
1517.5
11.5
74110130
2018 18
ベース Base
ゴム脚 4-M4Rubber legs
排気管Exhaust port
排気管Exhaust port
レベルゲージOil level gauge
スイッチSwitch
排油栓Drain plug
1451
51940
165
コンデンサーカバーCapacitorcover
228714 33 12040 16
120 151527.5
11.5
74110130
2018 18
銘板Name plate
モータMotor
ハンドルHandle
電源コード Power Cord
実効排気速度表示Actual pumping speed
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 10 12実効排気速度Ultimate pressure Pa 1.3 到達圧力Motor 1φ,100V,60W,4 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 1.38 1.22全負荷電流Oil capacity mL 250油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 5.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 130(W)×228(L)×165(H)最大寸法
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 5 6実効排気速度Ultimate pressure Pa 6.7到達圧力Motor 1φ,100V,40W,4 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 0.92 0.73全負荷電流Oil capacity mL 180油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 5質量Inlet port diameter mm O.D.φ12×I.D.φ6吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 130(W)×203(L)×159.5(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
G S
eriesG
Series
GS
i
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
オプショナルパーツOptional parts オプショナルパーツOptional parts
仕様 Specifications 仕様 Specifications
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-5DA
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-10DA
スタンダードタイプ
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) 逆止弁
フィルター付吸気管(O.D.9)
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) 逆止弁
フィルター付吸気管(O.D.9)
※詳しくはp.24~28をご覧ください。 ※詳しくはp.24~28をご覧ください。
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
10
吸気管φ18(M20×P1)排気管
スイッチ
オイルレベルゲージ
排油栓 M8
ゴム脚
銘板
199.5
1466.5
754440
4038
91
288167
17015 15
17.5200
63.5 52 5.529 20 30
25
12.5
125131156
Exhaust port
Switch
Oil level gauge
Drain plug
Rubber legs
電源コード
モータ
ハンドル
サーマルプロテクター
PowerCord
Motor
Handle
Thermalprotector
ベースBase
Nameplate
Suction port
4-M4
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 20 24実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 3.7 3.0全負荷電流Oil capacity mL 230油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 8.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×288(L)×199.5(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
吸気管φ18(M20×P1)排気管
スイッチ
オイルレベルゲージ
排油栓 M8
ゴム脚
銘板
199.5
1466.5
754440
4038
91
299.5167
17015 15
29200
63.5 63.5 5.529 20 40
25
12.5
125131156
Exhaust port
Switch
Oil level gauge
Drainplug
Rubber legs
電源コード
モータ
ハンドル
サーマルプロテクター
PowerCord
Motor
Handle
Thermalprotector
ベースBase
Nameplate
Suction port
4-M4
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 20 24実効排気速度Ultimate pressure Pa 1.3×10-1到達圧力Motor 1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 3.7 3.0全負荷電流Oil capacity mL 180油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 9質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×299.5(L)×199.5(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
G S
eriesG
Series
GS
eriesG
S
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-25SA
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-20DA
スタンダードタイプ
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
仕様 Specifications 仕様 Specifications
※詳しくはp.24~28をご覧ください。 *オイルミストトラップアダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) 逆止弁
フィルター付吸気管(O.D.9)
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) インライントラップ*(OMI-100)
フィルター付吸気管(O.D.9) 逆止弁
RoHS対応
吸気管φ18(M20×P1)
排気管
スイッチ
オイルレベルゲージ
ゴム脚
銘板
199.5
1466.5
754440
4038
91
344.5182
17015 15
59200
63.5 93.5 5.529 20 40
25
12.5
125131156
Exhaust port
Switch
Oil level gauge
Drainplug
Rubber legs
電源コード
モータ
ハンドル
サーマルプロテクター
PowerCord
Motor
Handle
Thermalprotector
ベースBase
Nameplate
Suction port
4-M4
排油栓 M8
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8全負荷電流Oil capacity mL 360油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 11質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×344.5(L)×199.5(H)最大寸法
逆流防止機構付With back flow oil shut-off valve
吸気管φ18(M20×P1)
排気管
スイッチ
オイルレベルゲージ
ゴム脚
銘板
199.5
1466.5
754440
4038
91
344.5182
17015 15
59200
63.5 93.5 5.529 20 40
25
12.5
125131156
Exhaust port
Switch
Oil level gauge
Drainplug
Rubber legs
電源コード
モータ
ハンドル
サーマルプロテクター
PowerCord
Motor
Handle
Thermalprotector
ベースBase
Nameplate
Suction port
4-M4
排油栓 M8
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure Pa 1.3×10-1到達圧力Motor 1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8全負荷電流Oil capacity mL 260油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 11質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×344.5(L)×199.5(H)最大寸法
11
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)
With built-in thermal protector
G S
eriesG
Series
GS
i直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-50SA
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-50DA
スタンダードタイプ
*オイルミストトラップアダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
*オイルミストトラップアダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
仕様 Specifications 仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) インライントラップ*(OMI-100)
フィルター付吸気管(O.D.9) 逆止弁
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) インライントラップ*(OMI-100)
フィルター付吸気管(O.D.9) 逆止弁
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
RoHS対応
12
460.5
5.5 163 79
30
114
15 15200
230
118
146
27.5
173.5
2314
22 30
14
83 50 21
213
φ142
264
6250
4879
1510
1
レベルゲージ
吸気管φ27(□40フランジ)
排油栓 M8
注油栓
Oil level gauge
Drain plug
Oil inlet plug注油栓Oil inlet plugコンデンサ(100V単相モーター)
Capacitor
Thermal protectorサーマルプロテクター
(100V Motor)モータMotor
ゴム脚Rubber legs
ベースBase
ハンドルHandle
排気管
Suction port
Exhaust port
4-M4
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 100 120実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3到達圧力Motor 1φ,100V,400W,4 poles,capacitor starting使用電動機Full load current A 8.6 7.7全負荷電流Oil capacity mL 1,200油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 21.6質量Inlet port diameter mm O.D.φ27×I.D.φ20吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 173.5(W)×460.5(L)×264(H)最大寸法
逆流防止機構付With back flow oil shut-off valve
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
460.5
5.5 163 79
30
114
15 15200
230
118
146
27.5
173.5
2314
22 30
30
14
83 50 21
213
φ142
264
6250
4879
1510
1
レベルゲージ
吸気管
排油栓 M8
注油栓
Oil level gauge
Drain plug
Oil inlet plug
コンデンサ(100V単相モーター)
Capacitor
ガスバラストバルブGas ballast valve
Thermal protectorサーマルプロテクター
(100V Motor) モータMotor
ゴム脚Rubber legs
ベースBase
ハンドルHandle
排気管
Suction port
Exhaust port
4-M4
φ27(□40フランジ)
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 100 120実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,400W,4 poles,capacitor starting使用電動機Full load current A 8.6 7.7全負荷電流Oil capacity mL 800油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 22.4質量Inlet port diameter mm O.D.φ27×I.D.φ20吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 173.5(W)×460.5(L)×264(H)最大寸法
ガスバラストバルブ付With built-in gas ballast valve
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
G S
eriesG
Series
GS
eriesG
S
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-100S
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-100D
スタンダードタイプ
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
仕様 Specifications 仕様 Specifications
*□40アダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
*□40アダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
オプショナルパーツOptional parts オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)ホース口排気管(O.D.27)
KF-25吸気管*(KF-25×M20) KF-25排気管(KF-25×G1)
KF-25吸気管(KF-25×□40フランジ(PPS)) 排気管(O.D.27×R1)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) オイルミストトラップ(OMT-100A)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) インライントラップ(OMI-100)
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ)
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)ホース口排気管(O.D.27)
KF-25吸気管*(KF-25×M20) KF-25排気管(KF-25×G1)
KF-25吸気管(KF-25×□40フランジ) 排気管(O.D.27×R1)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) オイルミストトラップ(OMT-100A)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) インライントラップ(OMI-100)
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ)
RoHS対応 RoHS対応
(G.V) 25
(吸気) 23
Suction port吸気管 KF-16
Oil level gaugeオイルレベルゲージ
Gas baiiast valve
ガスバラストバルブ(G.V)
Exhaust port排気管 KF-16
(排気)
29
(注油栓)
120
5836
3818
107
166
13
Drain plug排油栓 M8
64
1512015
130
Hndleハンドル
Rubber legsゴム脚 4-φ8貫通 Base
ベース
Condenser coverコンデンサーカバー
Oil inlet plug注油栓
Motorモータ
40
106 37 135.5
66 20.516.5 5.5
278.5
59.569
29
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 30 36実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,150W,2 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 2.2 2.4全負荷電流Oil capacity mL 600油量Recommended oil R-2使用油Weight kg 8.7質量Inlet port diameter mm KF-16吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 120(W)×278.5(L)×166(H)最大寸法
13
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
GH
D S
eriesG
HD
Series
GH
DS
i
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD Series
GHD-030
高速回転タイプ直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD-030GHD-060GHD-120
■高速回転タイプ High Speed type
特 長
GHDシリーズは、Gシリーズをさらに発展させたコンセプトを基に開発されたシリーズです。特に2極モータの採用により、一段と小型軽量化を実現し、種々の機構を完備しています。油の逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路を装備し、可搬式または卓上式装置への組込みに最適な直結型油回転真空ポンプです。
使用上の注意
GHDシリーズは性能が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え、次のことにも注意してください。1.シリーズは小型ながら10-2Paと高真空領域まで真空にする能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
2.有毒ガスや腐食性ガスにはGCDシリーズをお使いください。3.油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。
主な利用分野
1.理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2.真空排気装置3.電子顕微鏡のバック4.リークディテクタ
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
*インライントラップ用アダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
オプショナルパーツOptional parts
GHD-030用ホース口吸気管(O.D.12、O.D.18)KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
ホース口排気管(O.D.12×G 3/4) オイルミストトラップ(OMT-050A)
ホース口排気管(O.D.15×G 3/4) インライントラップ*(OMI-100)
ホース口排気管(O.D.18×G 3/4)
RoHS対応
14
吸気管KF-25(□40フランジ)
ガスバラストバルブGas ballast valve
排気管
160145223040
63
68
30231422
121
132
5.5 5.5 1515 140
323
100
1370
4348
9539
217
排油栓 M8
レベルゲージ
Drain plug
注油栓Oil inlet plug
モータ
ゴム脚 4-M4Rubber legs Base
MotorOil level gauge
Suction port
Exhaust port
ベース 4-φ8貫通
ハンドル
コンデンサーカバー
Handle
Condenser cover
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 60 72実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,200W,2 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 5.0 4.5全負荷電流Oil capacity mL 600油量Recommended oil R-2使用油Weight kg 14質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 132(W)×323(L)×217(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
モータ
注油栓排気管
レベルゲージ
ガスバラストバルブ
ハンドル
コンデンサーカバー
23
39217
302214
5.5 5.5121
132
排油栓 M8
1348
4395
70
4550
18063125
170
368
94
22
1514015
ゴム脚 4-M4
Gas ballast valve
Drain plug
Oil inlet plug
Rubber legs
Handle
Condenser cover
Base Motor
Oil level gauge
Suction portExhaust port
ベース 4-φ8貫通
吸気管KF-25(□40フランジ)
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 120 144実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,300W,2 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 5.5 5.0全負荷電流Oil capacity mL 600油量Recommended oil R-2使用油Weight kg 17質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 132(W)×367(L)×217(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
GH
D S
eriesG
HD
Series
GH
DS
eriesG
S 直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD Series
GHD-060
高速回転タイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD Series
GHD-120
高速回転タイプ
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
仕様 Specifications 仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)
ホース口吸気管(O.D.27×□40フランジ)オイルミストトラップ(OMT-100A)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) インライントラップ(OMI-100)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/200V)
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) KF-25アダプター
ホース口排気管(O.D.27)
*□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
*□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)
ホース口吸気管(O.D.27×□40フランジ)オイルミストトラップ(OMT-200A)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) インライントラップ(OMI-200)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/200V)
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) KF-25アダプター
ホース口排気管(O.D.27)
RoHS対応 RoHS対応
415.5179 82.5 113.5 3.5 5.5
103 76 17.5 101 135 49
20 260
ハンドルHandle
2064.5300
ゴム脚 4-M4Rubber legs
電源コードPower Cord
注油栓Oil inlet plug
排気管 (R3/4)Exhaust port
オイルレベルゲージOil level gauge
注油栓 (M8)Drain plug
1312
160136 12ベースBass
35 20
20 18
(排気側)
(吸気側)
1020
7183
52236
スイッチボックスSwitch Box
サーマルプロテクターThermal protecter
モータ (1φ100V)Motor
吸気管 (φ18×φ14)Suction port
スイッチSwitch
ガスバラストバルブGas ballast
173
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open 6.7Motor 1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8全負荷電流Oil capacity mL 430油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 13.7質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 173(W)×415.5(L)×236(H)最大寸法
15
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
GV
D/G
LS/G
LD S
eriesG
/GS
/GS
GV
D/G
LS/G
LDS
eriesG
VD
/GLS
/GLD
Si
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GVD Series
GVD-050A
スーパータイプ直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GVD-050AGLS-051GLD-051
■スーパータイプ Super type
特 長
「GVD-050A」と「GLD-051」は、「Gシリーズ」直結型油回転真空ポンプを一段とグレードアップしたタイプです。直結型油回転真空ポンプの性能を最大限に高めるとともに種々の機構を完備しています。ガスバラスト機構により、吸引する気体中に凝縮性成分(例えば水など)を除去し、ポンプ油中に溶解するのを防ぎます。また強制給油機構により大気圧から高真空まで全領域での使用に高い信頼性があります。油の逆流防止機構によりポンプの運転停止時における油の逆流を防ぐことができます。さらに強制空冷機構により到達圧力は10-2Paの高真空が得られます。「GLS-051」は、1段式真空ポンプです。到達圧力は「GVD-050A」と「GLD-051」に劣りますが、安価で低振動です。
使用上の注意
「GVD-050A」と「GLD-051」は「Gシリーズ」に比べて性能が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え次のことにも注意してください。1.「GVD-050A」と「GLD-051」は高真空領域(10-2Pa)の能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
2.各シリーズの吸気管は、真空容器側接続口に合わせて各種サイズを用意しています。詳細は25ページ「吸気管排気管対応表」をご参照ください。
3.油回転真空ポンプの真空引きはじめには、オイルミストが発生します。室内汚染防止のため、オイルミストトラップの取付けをおすすめします。詳細は24ページ「オプショナルパーツ」をご参照ください。
4.有毒ガスや腐食性ガスには「GCDシリーズ」をお使いください。
5.油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。
主な利用分野
1.理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2.真空排気装置、電子顕微鏡のバック3.半導体製造装置、スパッター装置、真空蒸着装置4.真空乾燥器、凍結乾燥器
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
*インライントラップ用アダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18)
KF-25吸気管(KF-25×M20) KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
A型吸気管(R1/4-L20オネジ) KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
B型吸気管(Rc1/4メネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
C型吸気管(R1/4-L10オネジ) インライントラップ*(OMI-100)
フィルター付吸気管(O.D.9)
16
5466423.536.5
240 42206 1717
銘板Name plate
モータMotor
サーマルプロテクターThermal protector
ハンドルHandle
電源コードPower Cord
ベースBase
ゴム脚 4-M5Rubber legs
36570 111
排気管Exhaust port
オイルレベルゲージOil level gauge
スイッチSwitch
ドレンプラグDrain plug
吸気管Suction port
フィルターキャップFilter cap
35 18
202015.5
110150165.5
1874
1013
78.5
222.5
39
179
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8(100V) 5.1(110V)全負荷電流Oil capacity mL 400~700油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 12.9質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 165.5(W)×365(L)×222.5(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
546643523.536.5
18
76240206 1717
銘板Name plate
モータMotor
サーマルプロテクターThermal protector
ハンドルHandle
電源コードPowerCord
ベースBase
ゴム脚 4-M5Rubber legs
39970 145 注油栓
Oil inlet plug
排気管Exhaust port
ガスバラストバルブGas Ballast valve
オイルレベルゲージOil level gauge
スイッチSwitch
ドレンプラグDrain plug
吸気管Suction port
フィルターキャップFilter cap
35
20 2015.5
110150165.5
18
1874
1378.5
39222.5
10
179
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8(100V) 5.1(110V)全負荷電流Oil capacity mL 500~800油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 13.9質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 165.5(W)×399(L)×222.7(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
GLS
/GLD
Series
GLS
/GLD
Series
GLS
/GLD
Series
GS
/GS
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLS Series
GLS-051
スーパータイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Series
GLD-051
スーパータイプ
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
仕様 Specifications 仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
ホース口吸気管(O.D.27×□40フランジ)KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) インライントラップ*(OMI-100)
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) フォアライントラップ★(OFI-050C/050V)
ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18) KF-25アダプター
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
ホース口吸気管(O.D.27×□40フランジ)KF-25排気管(KF-25×G 3/4)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) インライントラップ*(OMI-100)
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) フォアライントラップ★(OFI-050C/050V)
ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18) KF-25アダプター
*□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
*□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
RoHS対応 RoHS対応
17 到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
GLD
Glob
al-type S
eriesyp
GLD
Glob
al-type
Series
GLD
Gl
blt
Si
110
427206
スイッチSwitch
20770
36.564 35 23.546
145
17 1781
35 18ケーブルグランド
1874
13 228.5
10
78.5
39
1502020
フィルターキャップ
オイルレベルゲージ
ガスバラストバルブ
排油栓Drain plug
吸気管(KF-25)Suction port
排気管Exhaust port
注油栓Oil inlet plug
ベースBase
ゴム脚 4-M5Rubber legs
モータMotor
Oil level gauge
Filter cap
Gas ballastvalve
Cable gland
実効排気速度表示Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
GLD-040
ワールドワイドタイプ
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 40 48実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ, 200W, 4 poles, Multiple-range motor使用電動機 Capacitor start & run, AC 100-120, 200-240V
4.20 (100V), 4.40 (110V), 4.60 (115V), 5.05 (120V)Full load current 50Hz 2.10 (200V), 2.20 (220V), 2.30 (230V), 2.60(240V)全負荷電流 A 3.60 (100V), 3.40 (110V), 3.40 (115V), 3.60 (120V)60Hz 1.80 (200V), 1.70 (220V), 1.70 (230V), 1.80(240V)Oil capacity mL 550~800油量Recommended oil R-2 使用油Weight kg 約16質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 150(W)×427(L)×228.5(H)最大寸法
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD-040GLD-136AGLD-136C
GLD-201AGLD-201BGLD-280
■ワールドワイドタイプ World-wide CE type
特 長
「GLDシリーズ」に、マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できるタイプです。単相用、三相用の2タイプをご用意しました。いずれも簡単な結線変更で、多くの電圧に対応できますので、使用国の電圧にあわせてモータを変更する必要がありません。単相用は、100V~120Vまたは200V~240Vで使用できます。ガスバラスト機構、逆流防止機構、大型オイルレベルゲージなど種々の機構を完備しています。もちろんCEマーキング自己宣言品です(GLD-280を除く[2006年10月1日現在])。
使用上の注意
「GLDシリーズ」は「Gシリーズ」に比べて性能が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え次のことにも注意してください。1.「GLDシリーズ」は高真空領域(10-2Pa)の能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
2.各シリーズの吸気管は、真空容器側接続口に合わせて各種サイズを用意しています。詳細は25ページ「吸気管排気管対応表」をご参照ください。
3.油回転真空ポンプの真空引きはじめには、オイルミストが発生します。室内汚染防止のため、オイルミストトラップの取付けをおすすめします。詳細は24ページ「オプショナルパーツ」をご参照ください。
4.有毒ガスや腐食性ガスには「GCDシリーズ」をお使いください。
5.油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。
主な利用分野
1.理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2.真空排気装置、電子顕微鏡のバック3.半導体製造装置、スパッター装置、真空蒸着装置4.真空乾燥器、凍結乾燥器 オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-16排気管(KF-16×G 3/4)ホース口吸気管(O.D.27×□40フランジ)KF-25排気管(KF-25×G 3/4)A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) オイルミストトラップ(OMT-050A)B型吸気管*(Rc1/4メネジ) インライントラップ*(OMI-100)C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) フォアライントラップ★(OFI-050C/050V)ホース口排気管(O.D.12、O.D.15、O.D.18) KF-25アダプター*□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
RoHS対応
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 135 162実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ, 400W, 4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC200-240V/380-460VFull load current 50Hz A 2.10 (200V), 2.50 (240V), 1.30 (380V), 1.40 (415V)全負荷電流 60Hz 2.00 (200V), 2.00 (240V), 1.10 (380V), 1.20 (460V)Oil capacity mL 1,000油量Recommended oil SMR-100 使用油Weight kg 23質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×488.5(L)×240(H)最大寸法
18
ベースBase
モータ (1φ)Motor
2048826020729
ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs
銘板Name Plate
56 90 35 29 48
83181
注油栓Oil inlet plug
215
アイボルトEyebolts スイッチ
Switch 端子箱Terminal box
ケーブルグランドCable ground
ガスバラストバルブGas ballast valveオイル
レベルゲージOil level gauge
MAX
MIN
37 33
20 130 20170
排油栓Drain plug
フィルターキャップFilter cap
14 1886
8φ60
88.5
250
39 49.5
吸気管50 (NW-25)Suction port
排気管 (G1)Exhaust port
実効排気速度表示Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 135 162実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ, 400W,4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC100V-120V/200-240VFull load current 50Hz A 7.50 (100V), 10.0 (120V), 3.80 (200V), 5.00 (240V)全負荷電流 60Hz 6.50 (100V), 6.50 (120V), 3.40 (200V), 3.20 (240V)Oil capacity mL 1,000油量Recommended oil SMR-100 使用油Weight kg 26質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×488(L)×250(H)最大寸法
37 33
ガスバラストパルプGas ballast valve
オイルレベルゲージOil level gauge
吸気管50 (NW-25)Suction port
排気管 (G1)Exhaust port
注油栓Oil inlet plug
181
56 90 35 29
83
48
MAX
MIN
20 130 20170
排油栓Drain plug
フィルターキャップFilter cap
14 1886
8 240
φ60
88.5
39
9 72 20488.5260 20
ベースBaseゴム脚 4-φ6貫通
Rubber legs
銘板Name Plate
アイボルトEyebolts
端子箱Terminal box
215
ケーブルグランドCable gland
モータMotor
実効排気速度表示Actual pumping speed
サーマルプロテクターなしWithout thermal protector
GLD
Glob
al-type S
eriesG
LDG
lobaltyp
eS
eriesG
LDG
lobaltyp
eS
eriesG
GS
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
GLD-136A
ワールドワイドタイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
GLD-136C
ワールドワイドタイプ
寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions
仕様 Specifications 仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34) オイルミストトラップ(OMT-200A)A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) インライントラップ(OMI-200)B型吸気管*(Rc1/4メネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/200V)C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) KF-25アダプターホース口排気管(O.D.27)
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34) オイルミストトラップ(OMT-200A)A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) インライントラップ(OMI-200)B型吸気管*(Rc1/4メネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/200V)C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) KF-25アダプターホース口排気管(O.D.27)
*□50アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
*□50アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 200 240実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ, 550W, 4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC200-240V/380-460VFull load current 50Hz A 3.00 (200V), 3.60 (240V), 1.80 (380V), 2.00 (415V)全負荷電流 60Hz 2.70 (200V), 2.80 (240V), 1.50 (380V), 1.70 (460V)Oil capacity mL油量 1,100
Recommended oil SMR-100 使用油Weight kg 26質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×513.5(L)×240(H)最大寸法
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 200 240実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,550W,4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC100-120V/200-240VFull load current 50Hz A 9.00 (100V), 10.2 (120V), 4.50 (200V), 5.10 (240V)全負荷電流 60Hz 8.40 (100V), 7.70 (120V), 4.20 (200V), 3.85 (240V)Oil capacity mL油量 1,100
Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 28質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×516(L)×250(H)最大寸法
ベースBase
20513.5260201009
銘板Name Plate
ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs
ケーブルグランドCable ground
21583209
84 90 35 29 48
端子箱Terminal box
アイボルトEyebolts注油栓
Oil inlet plug排気管 (G1)Exhaust port
3337
吸気管50 (NW-25)Suction port
MAX
MIN
3988.5
2408φ60
8614 18
2013020170
フィルターキャップFilter cap
排油栓Drain plug
ガスバラストバルブGas ballast valve
オイルレベルゲージOil level gauge
モータ (3φ)Motor
実効排気速度表示Actual pumping speed
19
サーマルプロテクターなしWithout thermal protector
ベースBase
モータMotor
ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs
銘板Name Plate
注油栓Oil inlet plug
アイボルトEyebolts
スイッチSwitch 端子箱
Terminal box
ケーブルグランド Cable ground
ガスバラストバルブGas ballast valve
オイルレベルゲージOil level gauge
MAX
MIN
130170
20 20
37 33 84 90 35 29 48
83 215
9 100 20 20260516
209
排油栓Drain plug
フィルターキャップFilter cap
250
868
181488.5
49.5
φ60
吸気管(NW-25)Suction port
排気管 (G1)Exhaust port
実効排気速度表示Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵(自動復帰)With built-in thermal protector
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値記載された電圧以外の仕様値についてはお問い合わせください
GLD
Glob
al-type S
eriesyp
GLD
Glob
al-type
Series
GLD
Gl
blt
Si
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
GLD-201A
ワールドワイドタイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
GLD-201B
ワールドワイドタイプ
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34) オイルミストトラップ(OMT-200A)A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) インライントラップ(OMI-200)B型吸気管*(Rc1/4メネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/200V)C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) KF-25アダプターホース口排気管(O.D.27)
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34) オイルミストトラップ(OMT-200A)A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) インライントラップ(OMI-200)B型吸気管*(Rc1/4メネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/200V)C型吸気管*(R1/4-L10オネジ) KF-25アダプターホース口排気管(O.D.27)
*□50アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
*□50アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
20
GLD
Glob
al-type S
eriesG
LDG
lobaltyp
eS
eriesG
LDG
lobaltyp
eS
eriesG
GS
モータMotor
43.5
22575 110
116 128260300544
3320
20 20
14
83 236
20 20130175181
31.5
吸気管(KF-25)
32 36124
2923
86269
ドレーンバルブ
オイルレベルゲージ
ガスバラストバルブ
ポンプ銘板
アイボルトEyebolts
端子箱Terminal box
ケーブルグランドCable ground
Suction port
Gas ballast valve
Oil level gauge
Nameplate
Drain valve
ベースBase
ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs
実効排気速度表示Actual pumping speed
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
GLD-280
ワールドワイドタイプ
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 280 336実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ, 200-240V/380-460V, 750W, 4 poles使用電動機
4.2 (200V), 4.4 (220V), 4.6 (230V), 4.8 (240V)Full load current 50Hz 2.6 (380V), 2.8 (400V), 2.8 (415V)全負荷電流 A 4.0 (200V), 3.8 (220V), 3.8 (230V), 4.0 (240V)60Hz 2.2 (380V), 2.2 (400V), 2.3 (440V), 2.4 (460V)Oil capacity mL 700~1,100油量Recommended oil R-7使用油Weight kg 32質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 181(W)×544(L)×269(H)最大寸法
大型オイルレベルゲージLarge oil level gauge
エアータイト構造(O-リングシール)Airtight structure(O-ring seal)
ガスバラストバルブGas ballast valve
逆流防止機構Back flow prevention mechanism
油収入フィルター(オプション)取付可Removable suction filter
フィルトレーションシステム取付口Filtration system connection
強制給油機構Forced lubrication
強制空冷機構空冷ファンForced air cooling with air cooling fan
●GLDシリーズは、低振動、低騒音に加えて、さまざ
まな高性能な機能を完備しているスーパーデラックス
タイプです。
The GLD Series are superior-type pumps featuring highperformance, low vibration,low noise, and manyexcellent functions as described below.
Tips
オプショナルパーツOptional parts
ホース口吸気管*(O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-25排気管(KF-25×G1)
ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34) KF-25アダプター
ホース口排気管(O.D.27)
*□50アダプターが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
サーマルプロテクターなしWithout thermal protector
21
(R 3/8)(R 3/8)
電気コード
銘板
注油栓排気管
吸気管
ガスバラストバルブハンドル
モータ
サーマルプロテクター
165.5
35 18
76240206 1717
179 70423
145 2946643536.5 23.5
15.5
18.21074
78.5
222.7
3913
20 20150110
Thermalprotecter
Handle
Oil inlet plugExhaust port
Gas ballastvalveオイルレベルゲージ
スイッチ
排油栓 M10
フィルトレーション接続フィルトレーション接続
Oil level gauge
Switch
Filtration jointFiltration jointDrain plug
Motor
Name plate
PowerCord
ゴム脚 4-M5ベースBase Rubber legs
Suction port
KF-25(□40フランジ)
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8(100V) 5.1(110V)全負荷電流Oil capacity mL 500~800油量Recommended oil SO-M使用油Weight kg 14.1質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 165.5(W)×423(L)×222.7(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
GC
D S
eriesG
CD
Series
GC
DS
i
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD Series
GCD-051X
耐食タイプ直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD-051XGCD-136XGCD-201X
■耐食タイプ Anti-Corrosive type
特 長
「GCDシリーズ」は、「GLDシリーズ」に特殊表面処理(クリーンエス)を施した高耐食型ポンプです。化学工業、半導体業界、医薬品業界などで使用する特殊な溶液あるいは特殊なガスを扱う真空引に最適なポンプです。50~200L/min.の間に3機種があります。・フランジモータの採用により、騒音値、振動値、全負荷電流
(いずれも当社比)が大幅に低下いたしました。環境改善、
省エネルギーにお役立ください。
使用上の注意
1.「GCDシリーズ」には、真空ポンプ油として合成油(SO-M)をご使用ください。
2.特殊ガス溶液などをご使用の場合は事前にご相談ください。
3.油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。
4.腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。
主な利用分野
1.半導体業界2.濃縮等化学業界3.薬品処理後の乾燥4.製薬業界
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts
ホース口排気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)KF-16排気管(KF-16×G 3/4)
ホース口吸気管(O.D.27×□40) オイルミストセパレーター★(OMC-050)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) フォアライントラップ★(OFI-050C/OFI-050V)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) KF-25アダプター
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ)
*□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
RoHS対応
22
銘板
注油栓
排気管
ガスバラストバルブ
ハンドル
モータ
ベース 4-φ6貫通
サーマルプロテクター手動復帰ボタン
509.5
260
84 90 35 29 48
209 83 190.5
20 2017013020
37 33
39 40.4
88.5
241.1
8618.214
φ60
8
20100(27)
Reset buttonThermal protecterHandle
Grand terminalOil inlet plug
Suction port
Exhaust port
Gas ballastvalve
オイルレベルゲージ
排油栓 M12
スイッチボックス 接地端子
フィルトレーション接続(R 3/8) フィルトレーション接続(R 3/8)
Oil level gauge
MAX
MIN
Switch box
ON OFF
Filtration joint Filtration joint
Drain plug
Motor
Base
ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs
Name plate
吸気管KF-25
(□50フランジ)
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 200 240実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ,200V(50/60Hz)/220V(60Hz), 750W,4 poles使用電動機Full load current A 3.6 3.3(200V) 3.2(220V)全負荷電流Oil capacity mL 1,100油量Recommended oil SO-M使用油Weight kg 26.6質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×509.5(L)×241.1(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
サーマルプロテクター手動復帰ボタンReset buttonThermal protecter
銘板
注油栓
排気管
ガスバラストバルブ
ハンドル
モータ
493
260
56 90 35 29 48
181 83 202
20 2017013020
37 33
39 40.4
88.5
241.1
8618.214
φ60
8
2072(27)
Handle
Oil inlet plug
Suction port
Exhaust port
Gas ballastvalve
オイルレベルゲージ
排油栓 M12
スイッチ
フィルトレーション接続(R 3/8) フィルトレーション接続(R 3/8)
Oil level gauge
MAX
MIN
Switch
Filtration joint Filtration joint
Drain plug
MotorName plate
Base
ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs
ベース 4-φ6貫通
吸気管KF-25
(□50フランジ)
実効排気速度表示Actual pumping speed
Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 135 162実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),400W,4 poles, condenser start & run使用電動機Full load current A 7.7 6.1(100V) 6.0(110V)全負荷電流Oil capacity mL 1,000油量Recommended oil SO-M使用油Weight kg 25.4質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7~40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×493(L)×241.1(H)最大寸法
サーマルプロテクター内蔵(手動復帰)With built-in thermal protector
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、( )内はピラニー真空計による測定値
GC
D S
eriesG
CD
Series
GC
DS
eriesG
CS 直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD Series
GCD-136X
耐食タイプ
直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD Series
GCD-201X
耐食タイプ
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
寸法図 Dimensions
仕様 Specifications
オプショナルパーツOptional parts オプショナルパーツOptional parts
ホース口排気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)ホース口排気管(O.D.27)
ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34)オイルミストセパレーター◆(OMC-200)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/OFI-200V)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) KF-25アダプター
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ)
*□50アダプターが必要です。 ◆KF-25クイックカップリングクランプが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
ホース口排気管*(O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22)ホース口排気管(O.D.27)
ホース口吸気管(O.D.27、O.D.30、O.D.34)オイルミストセパレーター◆(OMC-200)
A型吸気管*(R1/4-L20オネジ) フォアライントラップ★(OFI-200C/OFI-200V)
B型吸気管*(Rc1/4メネジ) KF-25アダプター
C型吸気管*(R1/4-L10オネジ)
*□50アダプターが必要です。 ◆KF-25クイックカップリングクランプが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24~28をご覧ください。
RoHS対応 RoHS対応
23
写真はUFW-003
■特 長・油中の水分を吸収できる。・油中の酸を中和できる。・油中のパーティクルを除去できる。・水分を連続的に排水できる。(油水分離エレメントを使用の場合)・小型・軽量。・価格が安い。
■用 途・真空乾燥・真空凍結乾燥装置・真空蒸着装置・真空スパッター装置・各種CVD装置
・化学・薬品・医療・食品装置・真空熱処理装置・真空溶解炉・イオン注入装置
■UFO-003/UFW-003型 ■OFC-200XA
■概 要真空ポンプ油に混入する水分、酸、腐食性ガス、パーティクルは、油の寿命を縮めるばかりか、蒸気圧の上昇やポンプの故障の原因になります。UFO-012型オイルフィルトレーションは油を劣化させるこれらの不純物を取り除く為の装置です。
■特 長・油中の水分を吸収できる。・油中の酸を中和できる。・油中のパーティクルを除去できる。
■用 途・真空乾燥・真空凍結乾燥装置・真空蒸着装置・真空スパッター装置・各種CVD装置
・化学・薬品・医療・食品装置・真空熱処理装置・真空溶解炉・イオン注入装置
■仕様 ■仕様
■概 要本機は耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズとオイルフィルトレーションシステムUFO-012を同一架台に組込んだポンプユニットです。移動用キャスター付きですので、どこへでも移動可能です。
■特 長・コンパクトでどこでも使用できる。・振動が少なく静か。・保守・点検が容易。・価格が安い。
■用 途・半導体製造装置・各種CVD装置・真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置・化学、薬品、医療機器・装置
機種 OFC-135XA OFC-200XA
Ultimate pressure6.7×10-2Pa 6.7×10-2Pa
到達圧力
Pumping speed 135/162L/min 200/240L/min
実効排気速度 (50/60Hz) (50/60Hz)
Water absorbing capacity1200cc/エレメント
水分除去量
Acid neutralizing capacity1.5mol/エレメント
酸中和量
Filtration capacity0.1μm
パーティクル除去精度
Required power 1φ 100V 1.0kW 1φ 100V 1.2kW
所要電力 (50/60Hz) (50/60Hz)
Weight54kg 62kg
質量
Outside dimensions280mm×602mm×686mm 280mm×630mm×686mm
外形寸法(W)×(L)×(H)
Optional parts耐食型オイルミストセパレーター(OMC-200)
オプション
耐食型油回転真空ポンプとオイルフィルトレーションシステムを
セットにしました
機種 UFO-012型 UFO-003型 UFW-003型
(エレメント種類) 標準エレメント 標準エレメント 油水分離用エレメント
ろ過流量 0.6/0.72L/min.
(油処理能力)(50/60Hz)1.2/1.4L/min. 0.6/0.72L/min.
(50/60Hz)
水分除去量
(最大水分吸水能力)1200cc 300cc 連続・分離・排水
酸中和量
(最大酸中和能力)1.5mol/エレメント 0.4mol/エレメント 0.1mol/エレメント
パーティクル除去精度
(ろ過能力)0.1μm 0.1μm ─
単相100V 単相100V所要電力
75W (50/60Hz) 25W (50/60Hz)
重量(本体重量) 約16kg 約8.4kg
外形寸法(W)×(L)×(H) 280mm×310mm×410mm 175mm×245mm×459mm 235mm×245mm×418mm
所要油量 約3.5L 約1L
0.4MPaでOFF(アラーム)圧力スイッチ仕様
0.2MPaでON(自動復帰)- -
摘要真空ポンプ容量
(参考)100~1000L/min. 50~200L/min. 水分量による
UFO
/UFW
/OFC
Series
//
UFO
/UFW
/OFC
Series
UFO
/UFW
/OFC
Si
小型オイルフィルトレーションシステムConpact Oil Filtration System
UFO/UFW Series
油回転真空ポンプオイルクリーンシステムOil Clean System
OFC Series
■概 要真空ポンプ油に混入する水分、酸、腐食性ガス、パーティクルは、油の寿命を縮めるばかりか、蒸気圧の上昇やポンプの故障の原因になります。UFO-003型オイルフィルトレーションは油を劣化させるこれらの不純物を取り除くための装置です。また、エレメント変更する事で油水分離装置としてもご使用できます。
■UFO-012型
24
油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集し、自動的に真空ポンプ内へ回収できるものがオイルミストトラップです。特に小型真空ポンプは圧力の高いところで使用する場合が多いため、油の飛散により雰囲気を汚すことがありますが、このトラップを取付けることにより低減されます。
オイルミストセパレーター(耐食型)Oil-mist Separators(Anti-corrosive type)
インライントラップ用アダプター(3/4"→1"用)In-line trap adapter
インライントラップIn-line Traps
オイルミストトラップ(特許 No.819691)Oil-mist Trap(Japanese Pat.No.819691)
フォアライントラップFore-line traps
本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメントはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセパレータです、耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズの排気口に取付けることによりオイルミストを除去し、清浄な排気を行うことができます。取付はKF-25クランプが必要です。
下記型式のロータリーポンプにインライントラップを装着する時にご使用ください。
オイルミストトラップ インライントラップ オイルミストセパレーター(耐食型)Oil-mist trap In-line trap Oil-mist separator (Anti-corrosive)
型 式 OMT-050A OMT-100A OMT-200A OMI-100 OMI-200 OMC-050 OMC-200G-5DA/G-10DA ●★G-20DA ● ●※★G-25SA ●★G-50SA/G-50DA ● ●※★GHD-030/GVD-050A ● ●※ GLS-051/GLD-051 ● ●※ G-100S/G-100D ● ●GHD-060 ● ●GHD-120 ● ●GLD-040 ● ●※GLD-136A/GLD-136C ● ●GLD-201A/GLD-201B ● ●GCD-051X ●GCD-136X/GCD-201X ●
型 式 OFI-050C(逆拡散防止)OFI-200C(逆拡散防止) OFI-050V(混入防止) OFI-200V(混入防止)GHD-030 ●※ ●※
GLS-051/GHD-060GLD-051/GLD-040 ● ●
GHD-0120GLD-136A/GLD-136CGLD-201A/GLD-201B ● ●
GCD-136X/GCD-201XGCD-051X ●
№ R.P.型式 適用インライントラップGVD-050A,GLS-051,G-50DA
1G-20DA,G-50SA
OMI-100GHD-030GLD-040,GLD-051
*OMC-050、OMC-200の取付にはKF-25クランプが必要です。※インライントラップ用アダプターが必要です。★吸気管をKF-25に変更した場合は取り付けられません。
*Gシリーズ、GVD-050Aはオプション吸気管(M20×KF-25)が必要です。*OFIシリーズの取付には、クイックカップリングクランプ(KF-25)と、センターリング(KF-25)が必要です。※変換フランジ(KF-16、KF-25)が必要です。
OMC-200OMC-050
OMT-050A
OMT-200A OMT-100A
OFI-050C
OFI-200C
(吸気用)For Pumping port or Suction port
OMI-100 OMI-200
油回転真空ポンプ付属部品(オプション)
オイルミストセパレーター、オイルミストトラップ対応表 Oil-mist Separators & Oil-mist traps Correspondence Table
フォアライントラップ対応表 Fore-line traps Correspondence Table
本製品は、ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです。真空配管内への油の逆拡散を防止するタイプ(OFI-050C、200C)と真空ポンプへの粉体や液体の混入を防止するタイプ(OFI-050V、200V)の2タイプ4機種を取り揃えました。取付はKF-25クランプが必要です。
フィルター付吸気管Suction pipe with filter
真空ポンプ内部にホコリ等が入りますと真空ポンプ油、真空ポンプ本体に悪い影響を及ぼし、故障の原因にもなります。ホコリ等が入るような場合はフィルター付吸気管を取付けることをお勧めします。
油回転真空ポンプ用オプション部品 Accessories for Oil Rotary Vacuum Pumps
インライントラップは、配管接続型のオイルミストトラツプのこと。吸引したガスを室外に排出できます。配管しない場合はキャップを取り付けて通常のオイルミストトラップとして御使用いただけます。
25
油回転真空ポンプ付属部品(オプション)
●:真空ポンプに標準装備 ▲:交換可能(アダプター等は不要)※標準排気管と同等の耐食性はありませんので、ご注意ください。
■排気管
■吸気管
⑳
①
②
③④
⑤
⑥⑦
⑧⑨
⑩⑪
⑫⑬
⑭ ⑮
⑯ ⑱
⑲
種類 品 名 材 質
ホース口排気管(φ12×M17) 真鍮 ●
ホース口排気管(φ12×G3/4)真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲ ⑱
ホース口 ホース口排気管(φ15×G3/4)真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲ ⑲
タイプ ホース口排気管(φ18×G3/4)真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲ ⑳ホース口排気管(φ27×G1) 真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲※
KFフランジ KF-25排気管(KF-25×G3/4) PPS ▲ ▲ ●
タイプ KF-25排気管(KF-25×G1) PPS ▲ ▲ ●
KF-16(G3/4) 真鍮+メッキ ▲ ● ▲
排気管 排気管Assy(G3/4) PA ● ▲ ▲Assy 排気管Assy(G1) PA ● ● ▲※
吸気管写真№
G-5
GLD-040G-5DAG-10DAG-25SAG-20DAG-50SAG-50DA
GVD-050AGLS-051GLD-051
GHD-060GHD-120GLD-136AGLD-136CGLD-201AGLD-201BGLD-280
GHD-030GCD-136X
GCD-201XGCD-051X
G-100S
G-100D
吸気管 排気管
油回転真空ポンプ オプション吸気管/排気管
●:真空ポンプに標準装備 ▲:交換可能(アダプター等は不要)▲+□40:交換可能(取り付けには□40アダプターが必要) ▲+□50:交換可能(取り付けには□50アダプターが必要)
種類 品 名 材 質
ホース口吸気管(φ12×M14) 真鍮+メッキ ●
ホース口吸気管(φ8×M20) 真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ①
ホース口吸気管(φ12×M20) 真鍮+メッキ ● ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ②
ホース口吸気管(φ15×M20) 真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ③
ホース口 ホース口吸気管(φ18×M20) 真鍮+メッキ ▲ ● ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ④
タイプ ホース口吸気管(φ22×M20) 真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ⑤
ホース口吸気管(φ27×□40) ZDC+メッキ ● ▲
ホース口吸気管(φ27×□50) ZDC+メッキ ▲ ▲ ⑥
ホース口吸気管(φ30×□50) ZDC+メッキ ▲ ▲ ⑦
ホース口吸気管(φ34×□50) 真鍮+メッキ ▲ ▲ ⑧
GHD-030用ホース口吸気管(φ12)真鍮+メッキ ▲GHD-030 GHD-030用ホース口吸気管(φ18)真鍮+メッキ ▲専用 GHD-030用吸気管(KF-16)真鍮+メッキ ●
KF-25吸気管(KF-25×M20)真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ⑨KF-25
KF-25吸気管(KF-25×□40) PPS ▲ ● ⑩タイプ
KF-25吸気管(KF-25×□50) PPS ● ● ⑪
A型吸気管(R1/4-L20オネジ×M20)真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ⑭R1/4ネジ
B型吸気管(R1/4メネジ×M20) 真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ⑯タイプ
C型吸気管(R1/4-L10オネジ×M20)真鍮+メッキ ▲ ▲ ▲+□40 ▲+□40 ▲+□50 ▲+□50 ⑮□40アダプター(M20メネジ)真鍮+メッキ ▲ ▲ ⑫
アダプター□50アダプター(M20メネジ)真鍮+メッキ ▲ ▲ ⑬
G-10DAG-25SAG-20DAG-50SAG-50DA
GVD-050A
吸気管写真№
GHD-060 GHD-120GLS-051GLD-051GLD-040
GCD-051X
GHD-030G-100S
G-100DG-5DAG-5
GLD-136AGLD-136CGLD-201AGLD-201BGCD-136XGCD-201X
GLD-280
26
油回転真空ポンプ付属部品(オプション)
真空配管用部品
■ゲージポート
規 格 SCO-1025 SCO-1040 SCO-2025 SCO-2040
フランジサイズ KF-25 KF-40 KF-25 KF-40
パイプ径 φ15 φ15 φ18 φ18
A 74 58 74 58
φB 25 25 28 28
φB
A
■リークポート
A
■フレキシブルチューブ
規 格 SCO-3016 SCO-3025
フランジサイズ KF-16 KF-25
A 65.0 66.5
(材質:SUS304) (材質:SUS304)
規 格 フランジサイズ 規 格 フランジサイズ
STK-016-250 KF-16/250mm STK-040-250 KF-40/250mm
STK-016-500 KF-16/500mm STK-040-500 KF-40/500mm
STK-016-1000 KF-16/1000mm STK-040-1000 KF-40/1000mm
STK-025-250 KF-25/250mm
STK-025-500 KF-25/500mm
STK-025-1000 KF-25/1000mm
KF-25アダプターKF-25 adapter
KF-25の吸気管をM20に変換するためのアダプタです。KF-25吸気アダプタはKF-25吸気管機種に適用し、標準吸気管を取り外さずに取り付けられます。・取付可能な吸気管=ホースロ吸気管(φ8、φ12、φ15、φ18、φ22)A型/B型/C型吸気管
適合機種
GLS-051、GLD-040、GLD-051、GHD-060、GHD-120、GLD-136A、GLD-136C、GLD-201A、GLD-201B、GLD-280、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X
真空ポンプ用吸排気フィルター
特 長
仕 様
①各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。②真空側、排気側いずれにも設置可能です。③本製品は、ステンレス製の本体にイオン交換樹脂繊維を素材としたフィルターです。④排ガス中のパウダーのみではなく酸性ガス・オイルミスト
を効率よく捕捉することが出来ます。⑤本機をご使用頂くことで、排気系の保守作業が軽減されることに加え、操業性の向上、除外設備への負荷が低減されます。⑥取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センターリング等が必要になります(別途、お問い合わせください)。
※SGT-200はSGT-100と同じサイズのイオン交換樹脂繊維を2個使用しているため、捕捉量が倍になります。
型 式 SGT-100 SGT-200
ろ過方式 アウト・イン・パス方式
適用機種 500L/min以下
使用圧力範囲 0.1MPa
使用雰囲気温度 7~40℃
使用雰囲気湿度 85%(結露なきこと)
吸気接続口径 KF-25 KF-40
排気接続口径 KF-25 KF-40
SGT-100
SGT-200
逆止弁Check valve
吸気管とポンプ本体の間に取り付け、ポンプ本体から被排気物への急激なポンプ油の逆流を防止することができます。GLD-040、GLD-051、GLS-051には、別売の□40アダプタが必要です。
適合機種
G-20DA、G-25SA、G-5DA、G-10DA、G-50DA、G-50SA、GVD-050A、GLD-040、GLD-051、GLS-051
油回転真空ポンプ用オプション部品 Accessories for Oil Rotary Vacuum Pumps
R-2とR-7は、合成油系のオイルです。特にR-2はGHDシリーズ、R-7はGLD-280に最適です。
真空ポンプ油SO-Mは、合成油系のオイルで、耐食型ポンプ用GCDシリーズに最も適しています。
真空ポンプ用油SMR-100は、油回転真空ポンプ向けオイルです。特に寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。ポンプの性能をフルに発揮するためにも油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。
① SO-M 1L
② SO-M 4L
真空ポンプ油(SMR-100)Vacuum pump oil (SMR-100)
真空ポンプ油(SO-M)Vacuum pump oil (SO-M)
真空ポンプ油(R-2、R-7)Vacuum pump oil (R-2,R-7)
真空ポンプと容器等との接続は、必ず真空専用の真空ゴムホースを使用してください。通常のホースと異なり、柔軟性に富み、外圧によるホースの崩れがありませんので安心してご利用いただけます。
品 名 規格(内径×外径) 適用ホース口6×18 φ87.5×20 φ99×24 φ11、φ12
真空12×30 φ15
ゴムホース15×36 φ16、φ1818×42 φ20、φ2225×50 φ27
真空ゴムホース Rubber vacuum hose
R-7
R-2
27
油回転真空ポンプ付属部品(オプション)
■クイックカップリングクランプ
規 格 SCK-1016 SCK-1025 SCK-1040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
A 45 55 70
B 61 72 90
C 16 16 16
φD 22 32 47
規 格 SCK-2016 SCK-2025 SCK-2040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
φA 17 26 41
φB 16 24 39
C 3.9 3.9 3.9
D 8 8 8
φD
A C
B
■センターリング
DC
φB
φA
規 格 SCK-4016 SCK-4025 SCK-4040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
φA 30 40 55
φB 17.2 26.2 41.2
D 6 6 6
■ブランクフランジ
D
φAφB
■ノズル
規 格 SCK-2512 SCK-2518
フランジサイズ KF-25 KF-25
φA 40 40
B 6 6
C 35 35
φD 12 18
規 格 SCK-8016 SCK-8025
フランジサイズ KF-16 KF-25
φA 30 40
φB 20.0 27.2
φC 16.0 24.0
D 40 50
規 格 SCK-9025 SCK-9040
フランジサイズ KF-16/25 KF-25/40
φA 30 40
φB 40 55
φC 20.0 27.2
φD 16.0 24.0
規 格 SCK-5016 SCK-5025 SCK-5040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
φA 30 40 55
φB 20.0 27.2 42.7
φC 16.0 24.0 39.0
D 60 100 100
規 格 SCK-6016 SCK-6025 SCK-6040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
φA 30 40 55
φB 20.0 27.2 42.7
φC 16.0 24.0 39.0
D 40 50 65
φA
φD
C
B
■ニップル
φA φB
φC
D
■エルボ
φAD
φB
φC
D
■ティ
規 格 SCK-7016 SCK-7025 SCK-7040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
φA 30 40 55
φB 20.0 27.2 42.7
φC 16.0 24.0 39.0
D 40 50 65
φA φB
φC
D
D
■クロス
φA
φBφC
D
D
■変換フランジ/レジューサ
φB
φA
φC
φD
D
40
■KFフランジ
規 格 SCA-1614-F SCA-1638-F SCA-1612-F SCA-2514-F SCA-2538-F SCA-2512-F
フランジサイズ KF-16 KF-16 KF-16 KF-25 KF-25 KF-25
チューブ外径 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ
A 35.8 42.1 40.6 35.8 40.6 40.6
φB 3.0 7.1 10.2 4.6 7.1 10.2
■VCRアダプタ
φAφB
φCφD
E
φB
A
φB
AFemale Male
規 格 SCK-3016 SCK-3025 SCK-3040
フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40
φA 30 40 55
φB 17.2 26.2 41.2
接続 φ20 20A 32A
パイプ t=2 10S 10S
φC 16 24 39
φD 20.0 27.2 42,7
E 10 20 20
Female
規 格 SCA-1614-M SCA-1638-M SCA-1612-M SCA-2514-M SCA-2538-M SCA-2512-M
フランジサイズ KF-16 KF-16 KF-16 KF-25 KF-25 KF-25
チューブ外径 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ
A 35.8 42.1 40.6 35.8 40.6 40.6
φB 3.0 7.1 10.2 4.6 7.1 10.2
Male
(材質:アルミニウム) (材質:SUS304)
(Oリング材質:バイトン)
(材質:SUS304)
(材質:SUS304)(材質:SUS304)(材質:SUS304)
(材質:SUS304) (材質:SUS304)
(材質:SUS304) (材質:継手=SUS316、フランジ=SUS304)
(材質:SUS304)
真空配管用部品
28
油回転真空ポンプ付属部品(オプション)取付例
吸・排気側トラップ
吸・排気管 KFフランジの取り付け方
■GLD-136C+OMT-200A
■GLD-136C+OMT-200A+OFI-200V
■G-50DA+各種吸気管 ■GCD136C+各種吸気管
■GCD-136C+各種吸気管 ■G-50DA+ホース口排気管
■センターリングが不要な場合
■基本構成
■GLD-136C+OMI-200+KF-25排気管■G-50DA+OMT-050A
■GCD-136X+OMC-200
標準排気キャップ
標準排気キャップ
標準排気キャップ
OMI-200キャップ
ホース口排気管
KF25排気管
標準吸気管 標準吸気管
ホース口吸気管
KF25吸気管
Oリング
Oリング
φ12
□50アダプター
ホース口吸気管φ27
φ15
φ12 φ15
標準排気キャップ
標準排気キャップ
標準吸気管
センターリング
KFフランジ
OMT-200A
OMT-200AOFI-200V
OMI-200
OMT-050A
OMC-200
+クイックカップリング
クランプ
ホース口吸気管
KF25吸気管
Oリング
KFフランジ
KFフランジ
Oリングが組み込まれたKF25吸気管
Oリング
ホース口排気管
クイックカップリングクランプ
取付後
29
排気曲線の見方 Pumping Speed Curves
L/s L/min m3/h cfm
L/s 1 60 3.6 2.119
L/min 0.01667 1 0.06 0.03532
m3/h 0.2778 16.67 1 0.5886
cfm 0.4719 28.316 1.699 1
排気速度換算表 Pumping Speed Conversion Table
1000
100
10
110-2 10410-1 100 101 105102
(Pa)
103
50Hz
圧力Pressure
排気速度
Pumping Speed
200
S2=150
S1=180
大気圧
(L/min)
example 1 10リットルの容器を5分で1Paまで減圧したい。ど
のポンプを選べばいいでしょうか?
下図の通り、1Paで23L/min以上の排気速度が必要ですから、135L/min以上
のポンプをお選びください。ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮し
て、実際には安全率を見込んでお選びください。
t1=
t0= t1 + t2 = 2.6 + 1.5 = 4.1 min
S1180V100
P21000P1100000
× 2.303 log = 2.6 min
t2= S1150V100
P2100P11000
× 2.303 log = 1.5 min
S=
S ≒ 23 L /min (at 1Pa)
t 5V 10
P2 1P1 100000
× 2.303 log
t =
t0= t1 + t2 + t3 + ……
SV
P2P1
× 2.303 logタンク容積 (L)
初期圧力 (Pa)
最終圧力 (Pa) 排気時間
(min)
ポンプ排気速度 (L/min)
●排気時間の求め方Pumping time calculation
下記の計算式と機種別排気速度曲線を活用することにより、お求めのポンプがお選びいただけます。
1000
100
10
110210110-110-2 103 104 1051
(Pa)
50Hz
圧力Pressure
排気速度
Pumping Speed
201
136
051S=23
(L/min)
機種別排気速度曲線一覧表 Pumping Speed Curves
example 2 100リットルのタンクを大気圧から100Paまで排気
するのに要する時間は?
Calculate the time required to discharge airfrom a 100-liter tank from atmospheric pressureto 100 Pa.
ポンプはGLD-201を使用し、放出ガスの漏れはないものとし
ます。
It is assumed that a GLD-201 pump is used and there is nogas leakage.
ToFrom
資料データ集
30
G Series (Single-stage)
GVD/GCD/GLD/GLS GHD Series
G Series (Two-stage)
1000
100
10
1102 103 104 1051
(Pa)
50Hz
10
圧力Pressure
Pumping Speed
排気速度
G-100S
G-50SA
G-25SA
G-5
(L/min)1000
100
10
110210110-110-2 103 104 1051
(Pa)
50Hz
圧力Pressure
Gas ballast valve openガスバラストバルブ開
Pumping Speed
排気速度
G-100D
G-50DA
G-20DA
G-10DA
G-5DA
(L/min)
1000
100
10
110210110-110-2 103 104 1051
(Pa)
50Hz
Gas ballast valve openガスバラストバルブ開
GLD-201A·BGCD-201X
GLD-280
GLD-040GLS-051
GLD-136A·CGCD-136X
GCD-051X
GVD-050A
圧力Pressure
Pumping Speed
排気速度
(L/min)1000
100
10
110210110-110-2 103 104 1051
(Pa)
50Hz
Gas ballast valve openガスバラストバルブ開
GHD-120
GHD-060
GHD-030
圧力Pressure
Pumping Speed
排気速度
(L/min)
機種別排気速度曲線一覧表 Pumping Speed Curves
使用例Application example
GCD-201X + UFO-012オイルフィルトレーションシステム
GCDシリーズにオイルフィルトレーションシス
テムUFO-012を接続した例。
架台・キャスタ付のOFC-135XA/OFC-200XA
もございます。お問い合わせください。
Tips
資料データ集
特約店一覧
“ULVAC”とは“Ultimate in Vacuum(究極の真空)”を意味するULVACグループの真空応用製品のブランド名です。ULVACグループは、真空応用技術の極限に挑戦する世界に類をみない先端技術企業群からなり、そのグループ企業は国内外合わせて30社以上。アルバック機工は、そのグループの中でも特異な存在を誇り、利用分野の広い小型真空ポンプを一手に担う中核企業の一つです。
「真空の極限」を追求する先端技術企業群ULVAC(アルバック)とアルバック機工
北海道地区
㈱タナカ �011-731-0291
東北地区
東北化学薬品㈱(本社:青森県) �0172-33-8131
信越地区
アルバックイーエス㈱(松本支店) �0263-51-0888
㈱アヅマテクノス(本社:新潟県) �025-247-8386
北陸地区
㈱勝木太郎助商店(本社:石川県) �0761-22-6288
関東地区
三益半導体工業㈱(本社:群馬県) �027-372-2021
アルバックイーエス㈱(本社:東京都) �03-5218-6011
稲畑産業㈱(本社:東京都) �03-3639-6556
高千穂精機㈱(本社:東京都) �03-3204-0611
東海地区
遠藤科学㈱(本社:静岡県) �054-283-6222
三弘アルバック㈱(本社:愛知県) �052-702-6811
九州地区
アルバック九州㈱(本社:福岡県) �092-473-7191
海外
ULVAC TAIWAN Co., Ltd. (TAIWAN) �02-2565-1810
POONGIL COMMERCIAL Co., Ltd. (KOREA) �02-765-1477
LIP Chee Hardware & Engineering Pte Ltd. (SINGAPORE)
�8617533
近畿地区
㈱京都タカオシン(本社:京都府) �075-751-7755
三ツワ理化学工業㈱(本社:大阪府) �06-6351-9631
中国地区
㈲友田大洋堂(本社:島根県) �0852-24-3456
㈱大熊(本社:岡山県) �0862-93-2171
四国地区
㈱大一器械(本社:徳島県) �0886-56-8122
増田薬品㈱(本社:香川県) �0878-51-0631
はじめ科学㈱(本社:愛媛県) �0899-22-2151
Ultimate in VacuumULVAC is an international organization made up of morethan 30 member companies with its primaryheadquarters and manufacturing operations based inJapan. The name “ULVAC” is derived from the words“ULtimate in VACuum”.ULVAC KIKO, as a division of ULVAC, manufacturesand markets a wide range of small vacuum pumps thatare utilized throughout many industries.
31
ULVACグループ株式会社アルバック株式会社アルバック・コーポレートセンターアルバックテクノ株式会社アルバック九州株式会社アルバック東北株式会社アルバック精機株式会社アルバックマテリアル株式会社日本リライアンス株式会社アルバック成膜株式会社アルバック理工株式会社アルバック機工株式会社アルバック・ファイ株式会社アルバック・クライオ株式会社株式会社昭和真空タイゴールド株式会社アルバックエルダー株式会社日真制御株式会社真空セラミックス株式会社株式会社RAS株式会社イニシアムアルバックイーエス株式会社三弘アルバック株式会社ULVAC Technologies, Inc. (米国)Litrex Corporation(米国)ULVAC G.m.b.H.(ドイツ)OOO ULVAC(ロシア)ULVAC(CHINA) Holding CO., LTD.(中国)ULVAC(SHANGHAI) Trading CO., LTD.(中国)ULVAC(SHANGHAI) CO., LTD.(中国)ULVAC NINGBO Co., Ltd.(中国)ULVAC (SUZHOU) Co., Ltd.(中国)ULVAC-TTI (Shanghai) Technology Corporation(中国)ULVAC Orient (CHENGDU) Co., Ltd.(中国)ULVAC Vacuum Furnace (Shenyang) Co., Ltd.(中国)ULVAC Tianma Electric (Jing Jiang) Co., Ltd.(中国)Hong Kong ULVAC Co., Ltd. (中国)ULVAC TAIWAN INC.(台湾)Ultra Clean Precision Technologies Corp.(台湾)ULVAC KOREA, Ltd. (韓国)Pure Surface Technology, Ltd. (韓国)ULVAC SINGAPORE PTE LTD(シンガポール)ULVAC (THAILAND) LTD.(タイ)ULVAC MALAYSIA SDN. BHD(マレーシア)
●共業グループ
●関連グループ
●海外法人
●専売会社