nanomaquinado

5/17/2018 nanomaquinado - slidepdf.com

http://slidepdf.com/reader/full/nanomaquinado 1/7

NANO-MAQUINADO EN PROCESOSNO CONVENCIONALES

Por:Alejandro Nieto

Leidy Karina Muñoz



NANO MAQUINADO

El mecanizado de precisión y ultra-precisión aparece como una

nueva necesidad hacia aplicaciones de electrónica, periféricos de

ordenadores, miniaturización de sensores, precisiones en la

industria óptica, telecomunicaciones, etc.



MECANIZADO POR PLASMA

• Se utiliza en el grabado de silicio a escalanano para la fabricación de transistores MOS.

• Se utiliza para dispositivos MEMS (sistemas

micro electromecánicos).

• Tiene gran aplicación en óptica.

• Tratamiento de películas.

• Tratamiento a escala nano de materialesavanzados.



EJEMPLO:• Para la preparación de muestras de obleas de silicio de 3

pulgadas de diámetro de canal P, con resistencias en el rango de10 a 20 Ω -cm, Recibe una capa de 200nm.

•

Se aplica para el proceso hexafluoruro de azufre (SF6) y tetrafluorurometano (CF4) mezclado con dióxido de carbono(CO2).

MECANIZADO POR PLASMA



MECANIZADO POR HAZ DE ELECTRONES

en 2010 fabricaron una nano-fotomáscara utilizando el haz deelectrones, obteniendo como resultados la fotomáscara de lasdimensiones requeridas gracias a el manejo de los parámetros deeste proceso de mecanizado.

En 2011 se utilizó este proceso no convencional para tratamientosde politetrafluoroetileno.



En 2011 en Cambridge seutilizó este mecanizado parafines litográficos paraestructuras de nano-partículas de plata (Ag).

MECANIZADO POR LÁSER

nanomaquinado

Documents