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A

電子式流量計測制御

MODEL8300の後継機種として24V単一電源で使用できるマスフローコントローラ/メータです。表示部のView Point変更・パターン設定など従来機種にはない機能を搭載しており、耐ノイズ性が飛躍的に向上しております。姉妹機種として表示設定器部を分離できるモデルも準備しております。

□ ハイリフトアクチュエータにより大流量を小さなボディで実現□ 表示設定器搭載でDC24V単一電源のみで動作が可能□ RS232C/RS485通信機能、積算機能が標準で装備□ 14ビットコンバータ搭載により4・1/2桁での表示・操作が可能□ センサー発熱部がガスと非接触の為、可燃性ガスの流量制御が可能□ 取付姿勢を選ばない□ SV設定に加え、5種類のパターン設定が可能□ オートゼロ、オートクローズ機能搭載

表示器付マスフローコントローラ /マスフローメータ

MODEL 8500 SERIES

MO

DE

L 8500 SE

RIE

S

モ デ ル 8500MC/MM 8550MC/MM電 気 接 続 Dsubハーフピッチ20ピン　ヒロセDX10M−20S流 量 設 定 入力信号（*1）

0〜5VDC（入力インピーダンス100kΩ以上） or 4〜20mA　選択

流量出力信号 0〜5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上） or　4〜20mA　（外部負荷抵抗300Ω以下）選択

通 信 RS232C（3線式）or RS485（3線式）　選択

そ の 他 機 能

瞬時流量・積算流量切換表示機能（7セグメントLED4桁　表示精度±1%　積算表示0000〜9999MAX）、アラーム出力（NPN　オープンコレクタ出力2点　最大定格DC35V　50mA）、パターン設定（5パターン）機能

所 要 電 源 24VDC±10%（リップル5%）　消費電流300mA以下

継 手（本 体 口 径）

標準　1/4F900（9/16-18UNF）オプション 1/8F900、1/4UJR、

Rc1/4等

標準　3/8F900（9/16−18UNF）オプション 1/2F900、3/8UJR、

Rc3/8等重 量 約1200g 約1500g

（*1）マスフロコントローラタイプにのみ適用されます。注意　

流量レンジに伴う仕様（流量範囲・精度・応答性等）は、N2 または Air 換算での仕様となります。また、製作仕様条件は 1 次側 300kPa 以下、2 次側大気解放で製作しております。なお圧力条件に関しては別途問い合わせください。

■ 標準仕様

モ デ ル 8500MC/MM 8550MC/MM流 量 レ ン ジ

（N2換 算　20℃/1ATM）10SCCM〜20SLM

（任意に選択）30SLM〜100SLM

（任意に選択）センサー方式 熱式巻線センサーバルブ方式（*1） 比例ソレノイドバルブ（非通電時　閉）制御範囲（*1） 2〜100％（F.S.） 5〜100％（F.S.）

応 答 性（*1） 2sec以下（0⇒100%within±2%typical）

3sec以下（0⇒100%within±2%typical）

精 度 ±1.0%F.S.（25℃） ±1.5%F.S.（25℃）温 度 係 数 ±0.1F.S./℃（15〜35℃）±0.2F.S./℃（15〜35℃）再 現 性 ±0.5%F.S.

動作差圧範囲（*1）

F.S.≦5SLM　50〜300kPa（G） F.S.≦50SLM　150〜300kPa（G）F.S.＞5SLM　100〜300kPa（G） F.S.＞50SLM　200〜300kPa（G）オプション：中差圧仕様（MP）、低差圧仕様（LP）を条件に応じて製作可能

動作可能圧力（*1） 500kPa（G）以下耐 圧 980kPa（G）リークレート 1×10−8Pa・㎥/s以下（He透過含まず）許容周囲温度 5〜45℃許容周囲湿度 10〜90％（結露なきこと）

接ガス部材質ボディ SUS316バルブシート　FKM（オプション CR or NBR）シール材　FKM（オプション CR or NBR）

■ 注文方法

MODEL

MC：コントローラMM：メータ

8500MC8550MC8500MM8550MM

❶

0：一体型S1：分離 1mS3：分離 3mS5：分離 5m

0

❷

Rc1/41/4F9

1/4UJR

継手

❸

入　力 出　力1 0−5V 0−5V2 4−20mA 4−20mA

流　

体

❹流　

量

❺シグナル

❻

記入例

MODEL S1❷

Rc1/4❸

N2❹

3SLM❺

2❻

校正温度

❾

20℃❾

オプション

省略：オプションなし

�

CR�❶

8500MC

通信形式1 RS232C2 RS485

通　

信

❼

1❼

圧　

力

❽

0.1MPA❽

常用使用圧力

※ 注文・見積りの依頼は、注文方法、記入例にそって巻末の

「注文・見積り依頼カード」にご記入の上、ファックスで発注してください。

※ 弊社標準以外の継手についても対応致します。（オプション）

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電子式流量計測制御

MO

DE

L 8500 SE

RIE

S

／PS

K-85/C

P-85C

F SE

RIE

S

MODEL8500分離型タイプ −本体部−

MODEL8500/8550分離型タイプ −表示部−

PSK-85はACアダプター方式の電源でD8500/8500シリーズを駆動出来ます。CP-85CFケーブルはMODEL8500シリーズをドライブさせる為のケーブルで電源、流量信号（アナログ）、デジタル通信［RS485/232C（マルチ）］、各種イベント出力が取合出来ます。（ケーブルは先バラ）

MODEL8500シリーズ専用アクセサリー

PSK-85/CP-85CF SERIES●電源アダプタ：PSK-85（ケーブル長：1.5mのみ）●外部ケーブル：CP-85CF

先バラ（※信号取合は取扱い説明書を御参照下さい）8500本体コネクター（DS20Pハーフピッチコネクター）

1M 1m

3m

5m

長さ指定（特注）

1M

3M

5M

XM

■ 注文方法

MODEL8500一体型タイプ

L±176

38

18.5

37

19

12.7

16

105 ±0.2

2- M4，深サ4

8294

28.8

44

0.8

108

6820 2- M4，深サ5

24.5

L ±117

37

149

1

15

3/8"F9001/4"F900

1/4"UJR

継 手

Rc1/4 134

163.6155

L寸法[mm]158.6

L±176

38

18.5

37

19

12.7

16

105 ±0.2

2- M4，深サ4

8294

28.8

44

0.8

108

6820 2- M4，深サ5

24.5

L ±117

37

149

1

15

3/8"F9001/4"F900

1/4"UJR

継 手

Rc1/4 134

163.6155

L寸法[mm]158.6

1/4"F9001/8"F900

3/8"F900

継 手

Rc 1/41/4"UJR

102123

126.6131.6

L寸法[mm]122.6

76

135

L ±1

16

37

12.7

19 38 2- M4，深サ4

18.5

P38　図1

L±176

38

18.5

37

19

12.7

16

105 ±0.2

2- M4，深サ4

8294

28.8

44

0.8

108

6820 2- M4，深サ5

24.5

L ±117

37

149

1

15

3/8"F9001/4"F900

1/4"UJR

継 手

Rc1/4 134

163.6155

L寸法[mm]158.6

129

1737

15

20 68

24.5

2- M4，深サ5

108L ±1

MODEL8550（大流量用）分離型タイプ −本体部−

MODEL8550（大流量用）一体型タイプ