mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl...
TRANSCRIPT
![Page 1: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/1.jpg)
5 Mik i l kt h ki i t i ( l5. Mikro in nano elektro mehanski sistemi (angl. Micro/Nano Electro Mechanical Systems)
Vsebina 5.poglavja predavanj (4.UNI/RS)Vsebina 5.poglavja predavanj (4.UNI/RS)
Avtor: Izr.prof.dr. Miha Mraz
Š l l 2010/2011Šol.leto: 2010/2011
![Page 2: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/2.jpg)
/5.1.Osnove x/EMS sistemov ‐napravnaprav
• MEMS: elektro mehanske naprave izdelane na mikro nivoju (angl. Micro Electro Mechanical Systems)y )
• NEMS: elektro mehanske naprave izdelane na nano nivoju (angl. Nano Electro Mechanical Systems)
Slik P ši i t ti MEMS• Slika: Pršica v prisotnosti MEMS naprave:
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 2
![Page 3: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/3.jpg)
•V splošnem razdelimo x/EMS napravo na mehanskenapravo na mehanske podsisteme in na procesni (elektronski) segment (Mik l kt ik “ i
x/EMS naprava
(Mikroelektronika + “micro machnining” = “system on chip”)
Mehanski podsistemi
Procesni segment(IC)
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 3
![Page 4: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/4.jpg)
Značilnosti x/EMS napravZnačilnosti x/EMS naprav
• Veliko razmerje med površino in volumnom napravep
• Površinski efekt elektrostatičnosti
P ši ki f k ič i ( l i f )• Površinski efekt stičnosti (angl. wetting efect)
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 4
![Page 5: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/5.jpg)
Splošna shema x/EMS napraveSplošna shema x/EMS naprave
Zunanje okolje
Senzorski podatki
Procesni segmentMehanski podsistemi Pretvorniki
El.signali
p
x/EMS
Aktuatorji
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 5
![Page 6: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/6.jpg)
5.2. Funkcionalni gradniki x/EMS naprav
• x/EMS naprave so plod integracije pretvornikov, aktuatorjev, senzorjev, ostalih p j jmehanskih komponent in elektronike [3]
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 6
![Page 7: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/7.jpg)
(5.2.1. Pretvorniki (angl. Transducers)Transducers)
•Funkcija: pretvorba ene vrste nosilca podatkov v drugo vrstonosilca podatkov v drugo vrsto
•Klasični primeri: mikrofoni, zvočniki, termometri
•Efektivnost pretvornika E•Q – Izhodna moč
PQE =
•P – Vhodna moč
•Zaradi izgube pri konverziji vedno velja E<1vedno velja E<1
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 7
![Page 8: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/8.jpg)
5 2 2 Aktuatorji5.2.2. Aktuatorji
M h i i t b ( bič j l kt ič ih) d i ij kih i l• Mehanizmi za pretvorbo (običajno električnih) decizijskih signalov v mehansko dejavnost (iniciatorji gibanja, nadzorniki gibanja, itd.) –mehanski gonilniki
• Iniciacija – vhodni signal pride s strani pretvornika• Nadzorovanje okolja MEMS/NEMS se preko aktuatorjev manifestira
prekopreko• Premikov• Pozicioniranja• Reguliranja• Filtriranja• Črpanja• Črpanja• itd.
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 8
![Page 9: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/9.jpg)
k j ( l ih kih b i ih• Vrste aktuatorjev (v realnih merskih gabaritih, sledi miniaturizacija) [3] :• Elektromagnetni (npr. električni motorji, akustični zvočniki, ventili)
• Pnevmatični (npr. motorji)• Hidravlični (npr. zavore)• Piezo električni (izkoriščajo elektrostatične fenomene)
• Termični (za mehansko dejavnost izkoriščajo toploto)
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 9
![Page 10: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/10.jpg)
• MEMS aktuator: elektrostatični motor delujoč na osnovi alternirajočih napetosti na sosednjih j p jpovršinah (vir [3]/lecture11)
**++++
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 10
![Page 11: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/11.jpg)
5 2 3 Senzorji5.2.3. Senzorji
bi j i f ij i k lj• Zbirajo informacije iz okolja• Vrste senzorjev:j
• Mehanski• Termični• Termični• Akustični• Biološki• Biološki• KemičniO tič i• Optični
• Magnetni
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 11
![Page 12: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/12.jpg)
5 2 4 Ostale mehanske komponente5.2.4. Ostale mehanske komponente
• Motorji
• VentiliVentili
• Zavorni in prestavni gradniki
• Zobniki
• Prijemalni sistemi itd• Prijemalni sistemi itd.
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 12
![Page 13: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/13.jpg)
5 2 5 Elektronski sklop5.2.5. Elektronski sklop
• Vrši decizijo (computing) in pomnjenje (storage)( g )
• Rezultat decizije: krmilni izhodi elektronske narave ki gredo preko pretvornikovnarave, ki gredo preko pretvornikov (transducers) do aktuatorjev
• Domena računalniške stroke ob poznavanju ostalih ved (fizika, kemija, mehanskoostalih ved (fizika, kemija, mehansko inženirstvo, itd.)
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 13
![Page 14: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/14.jpg)
5.3 Zgledi MEMS/NEMS naprav in njihov tržišče
• www.sandia.gov (Sandia National Laboratories, 1949 ‐>))
• GO‐CO (government owned, contractor operated faciltiy)operated faciltiy)
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 14
![Page 15: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/15.jpg)
• VIR: http://www.li‐bachman.net/eecs179/lectures/lecture07.pdfp
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 15
![Page 16: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/16.jpg)
5 4 Razpoložljiva orodja5.4. Razpoložljiva orodja
• MEMS Pro (v.6.0): http://www.softmems.com/mems_pro.htmlp _p
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 16
![Page 17: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/17.jpg)
• MEMCAD: www.memcad.com
• IntelliCAD: www.intellisense.comIntelliCAD: www.intellisense.com
• MEMS ProCAET: www.tanner.com
• MEMScap: www.memscap.com
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 17
![Page 18: Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemiangl ...lrss.fri.uni-lj.si/sl/teaching/ont/lectures/5_Mems_Nems_BW.pdf · 5. Mikro in nano elktlektro mehkihanski sit iistemi (l(angl](https://reader034.vdocuments.mx/reader034/viewer/2022042113/5e8fa5700a8469546f044f63/html5/thumbnails/18.jpg)
5 5 Literatura poglavja5.5. Literatura poglavja
• [1]http://www.ee.ucla.edu/~wu/ee250b/Introduction.pdf p
• [2] http://www.memsnet.org
[3] h // li• [3] http://www.li‐bachman.net/eecs179/lectures/lecture07.pdf
• [4] M. Gad‐el‐Hak: MEMS Handbook, CRC Press 2002 USA – reference MEMS aplikacijPress, 2002, USA – reference MEMS aplikacij (knjigo si lahko sposodite pri prof.Mrazu)
5. Mikro in Nano elektro mehanski sistemi 18