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MEMS パークコンソーシアム平成 20 年度活動報告及び決算報

告

報告事項報告事項１１

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平成 20 年度の活動方針（平成 19 年度総会決定）【活動方針】 　国内外の支援機関等とのネットワークを形成しつつ、ＭＥＭＳ分野の技術 市場を開拓･していくために必要な研究開発や事業化に対する支援を行います。

① 情報発信事業　・セミナー、 WEB サイト、メーリングリストにより情報発信を充実します。

② 人材育成事業　・経済産業省事業「 MEMS 中核人材育成事業」を継承し、上半期中に事業実施のための枠組み　　　　を構築し、下半期を目途に事業を実施します。

③ 技術相談事業　・ MEMS に関する研究者、公設試等産業 支援機関等とのネットワーク形成を進め、 MEMS に関す　 るワンストップ相談窓口を構築し、下半期を目途にサービス提供できる体制を整えます。

④ ネットワーク活動　・カフェ形式のセミナーを開くことにより、会員相互及び講師の方々との情報交流を促進し、 MEMS 　　　分野における研究者、技術者と会員相互のネットワーク形成を支援します。

⑤MEMS 関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討　・ MEMS 関連産業の集積を促進する企業化、製品化等に向けたプロジェクト創成について検討を 行います。

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平成 20 年度の活動実施概要

① 情報発信事業　・ MEMS 集中講義の開催（参加者 121 名）及び公開セミナーの開催（ 3 回） ・展示会への出展（第 19 回マイクロマシン展、セミコンジャパン 2008 ）　・ＭＥＭＳＰＣニュースの配信（一般向け 23 回（ 569 部発行 / 回）、会員向け 67 回）　・ＭＥＭＳパークコンソーシアムパンフレットの作成、ＨＰの改訂　・後援したイベント（仙台国際フォーラム、仙台 - オウルプリンテッド・エレクトロニクスワークショップ　他 6 件）

② 人材育成事業　・基礎講座（インターネットスクール）の実施　受講者数： 108 名　・設計実習の実施　受講者数： 5 名（受講企業 3 社）　・試作実習の実施　受講者数： 3 名（受講企業 1 社）

③ 技術相談事業　・技術相談を実施

④ ネットワーク活動　・ＭＥＭＳＰＣカフェの実施　 9 回

⑤MEMS 関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討　・他機関との連携：（財）福岡県産業・科学技術振興財団（ふくおか IST),　　　　　　　　　　　　：（独）産業技術総合研究所グリーンプロセスインキュベーションコンソーシアム ( 産総研 GIC)

　※今年度：会員数 107 社、前年度：会員数１ 10 社　

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平成 20 年度の主な活動について

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区分 回 日時 テーマ 会場 参加者数

21第 回 20 5 13平成 年 月 日（火） MEMS医療・診断システムと 技術 東北大学マイクロナノマシニング研究教育センター 46

22第 回 20 8 20平成 年 月 日（水）　 　 　 　 　 　 　 22～ 日（金）

MEMS 　in　Fukuoka集中講義　( )　[ ]　マイクロマシニング１ 概論、フォトファブリケーション、エッチング 江刺 他

LSI福岡システム総合開発センター 121

23第 回 20 10 28平成 年 月 日（火）MEMSパークコンソーシアム／グリーンプロセスインキュベーションコンソーシアム3－第 回連携・シンポジウム－ OSL産総研東北センター 会議室 85

2第 回 20 5 30平成 年 月 日（金）MEMSPC 　in　TOKYO　カフェ 「会員企業に関する技術情報の提供」 東北大学東京分室 31

3第 回 20 6 27平成 年 月 日（金）MEMSPC 　in　SENDAI　 MEMSカフェ 「 技術を用いた医療・福祉デバイス」 　東北大学 片平さくらホール 28

4第 回 20 8 21平成 年 月 日（木）MEMSPC 　in　Fukuoka　カフェ 「会員企業に関する技術情報の提供」 LSI福岡システム総合開発センター 59

5第 回 20 10 2平成 年 月 日（木）MEMSPC 　in　SENDAI　カフェ 「究極のトップダウン加工が拓く先端ナノデバイス」 　東北大学 片平さくらホール 62

6第 回 20 10 31平成 年 月 日（金）MEMSPC 　in　SENDAI　カフェ 「会員企業等に関する技術情報の提供」 Le　cielフレンチレストラン 42

7第 回 20 11 20平成 年 月 日（木）MEMSPC 　in　TOKYO　 　カフェ 「マイクロ流体デバイスを利用した異分野融合 他」 ITALIA家庭料理Capo　PELLICANO　 駒場店 55

8第 回 20 12 19平成 年 月 日（金）MEMSPC 　in　SENDAI　カフェ 「マイクロエネルギー研究開発の動向」 せんだいメディアテーク 27

9第 回 21 1 30平成 年 月 日（金）MEMSPC 　in　SENDAI　 MEMSPCカフェ 「東北経産局の施策と への期待」 Le　cielフレンチレストラン 26

10第 回 21 2 27平成 年 月 日（金）MEMSPC 　in　Fukushima×TOHOKUカフェ ものづくりコリドーMEMS「 技術分野セミナー」 郡山ビューホテル

582

日時20 7 30平成 年 月 日（水）

　 　 　 　 　 　 8 1～ 月 日（金）（財）マイクロマシンセンターからブース提供TOHOKUものづくりコリドーとの共同出展

20 12 3平成 年 月 日（水）　 　 　 　　 　 　　　 5～ 日（金） SEMIジャパンからブース提供

日時 主催、テーマ等 会場20 12 8平成 年 月 日（月）

　 　 　 　 　 　 　 9～ 日（火） 仙台市、フラウンホーファー協会、東北大学主催 ホテルメトロポリタン仙台 110

21 2 16平成 年 月 日（月） VTT Ouli　Innovation Oulu仙台市、（財）仙台市産業振興事業団、東北大学、 、 、University

東北大学工学部青葉記念会館 46

21 3 17平成 年 月 日（火）　 　 　 　 　 　 　 19～ 日（木）MEMS　Engineer　Forum　2009実行委員会 TFT )ホール（東京有明 －MEMS　Engineer　Forum　2009

（平成２１年２月末現在）

後援関係名称

2008仙台国際フォーラム

セミナー関係

公開セミナー

合計（延べ）

- 　仙台 オウル プリンテッド･エレ　クトロニクス ワークショップ

会員セミナーMEMSPC【 カフェ】

出展関係

幕張メッセ

東京ビッグサイト

名称 会場

19 MEMS第 回マイクロマシン／ 展

2008セミコンジャパン

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平成 20 年度の事務局活動報告

１．事業運営のためのワーキンググループの実施　 各事業の運用を検討・運営するためのワーキンググループを実施。　 実施回数： 30 回　 事務局構成メンバー：事務局長、東北大学、宮城県、仙台市、東北経済産業局　

２．人材育成事業運営のためのワーキンググループの実施　 人材育成事業試作実習の実施方法検討・運営のためのワーキンググループを実施。 実施回数： 12 回　 構成メンバー：事務局長、東北大学、宮城県、仙台市、東北経済産業局、　　　　　 　　　　　 宮城県産業技術総合センター、株式会社メムス･コア　

３．事業内容検討のための推進委員会の実施　 20 年度事業の進捗確認、 21 年度事業検討のために設置された推進委員会の実施。　 実施回数： 2 回　 構成メンバー：事務局長、東北大学、宮城県、仙台市、東北経済産業局　　　　　　 　　　　 東北経済連合会、東北セミコンダクタ株式会社

４．産業支援機関ネットワーク形成のための公設試訪問　 福島県ハイテクプラザ、山形県工業技術センター、岩手県工業技術センターの訪問。

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平成 20 年度活動の総括① 情報発信事業　 LSI 技術の集積地である福岡地域（ふくおかＩＳＴ）で MEMS 集中講義を開催した結果、福岡地域の企業と本地域の企業が MEMS 技術と LSI 演算処理回路の集積化に向けた開発を進めるなど、 MEMS 技術の情報発信が MEMS 技術の高集積化や複合化に寄与した。

② 人材育成事業・経済産業省事業「 MEMS 中核人材育成事業」を継承し、独立採算制で事業を実施した。・基礎講座に対しては年間 100 名を超える登録者があり、 MEMS 技術を理解する人材を増やす目的としては　 一定の効果があった。・ MEMS 開発をしていない企業が設計実習･試作実習に技術者を派遣するなど MEMS 産業の裾野を広げる効 果はあったが、会員企業等からの参加が少ないため、会員企業のニーズに対応した実習を検討する必要が ある。

③ 技術相談事業　 MEMS パークコンソーシアム及び関係機関には様々な相談が寄せられた。

④ ネットワーク活動　 MEMSPC カフェを通じて、 MEMS 技術研究の第一人者である研究者や企業との活発な意見交換が図られ、 MEMS 関連技術・研究分野のネットワーク網が拡大した。

⑤MEMS関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討　上記の事業を進めることで MEMS 技術と異分野との技術開発が図られた。今後とも、各事業を展開していく中でプロジェクトの芽を見出し、 MEMS 関連産業の集積を促進する事業化、製品化等に向けたプロジェクト創成に繋げていく。

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MEMS パークコンソーシアム平成 20 年度決算報告

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平成 20年度MEMSパークコンソーシアム予算案（平成 19年度総会決定）

収入の部　 　 　項 目 　 　 　金 額 　 　 　摘 要

前年度繰越金 17,500,000会費収入 9,000,000 110 180 　会員（ 口） （仮）

　 　 　合 計 26,500,000

支出の部　 　 　項 目 　 　 　金 額 　 　 　摘 要

広報関係費用 750,000 　 　パンフレット作成、サーバ管理費など出展関係費用 200,000 2008 　マイクロマシン展、セミコン・ジャパン 出展関係

セミナー関係費用 1,800,000 MEMSPC 　会員セミナー、 カフェなどその他事業関係費 1,150,000 技術相談運営費

事務関係費用 4,100,000 　事務員人件費、事務委託費など会議関係費用 1,000,000 　総会関係費予備費 17,500,000　 　 　合 計 26,500,000

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平成 20年度MEMSパークコンソーシアム決算報告平成 21 年 3月 31日予定

収入の部項　 　 　 目 金　 　 　 額 摘　 　 　 要

前年度繰越金 17,805,905会費収入 8,350,000 107会員（167口）人材育成受講料 3,850,611雑収入 16,055 銀行利息等

合　 　 　 計 30,022,571

支出の部項　 　 　 目 金　 　 　 額 摘　 　 　 要

広報関係費用 1,269,695 パンフレット作成、サーバ 　管理費 　など（3月支出予定含む）出展関係費用 211,400 「第19回マイクロマシン展、セミコン・ジャパン2008」 　出展関係

セミナー関係費用 1,973,710 公開セミナー、MEMSPCカフェ人材育成運営費用 3,850,611 試作実習運営経費

事務関係費用 168,502 事務消耗品 　など会議関係費用 1,200,000 総会関係費（3月支出予定 　）次期繰越金 21,348,653合　 　 　 計 30,022,571

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MEMS パークコンソーシアム平成 21 年度活動方針及び予算

案

第第 11号議号議案案

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平成 21 年度の活動方針【活動方針】 　平成２０年度の結果を踏まえ、人材育成事業の活動を促進し、会員企業に対しての技術的なサービスを強化します。

① 情報発信事業　他機関との連携による効果的なセミナーを実施し、 MEMS 技術の高集積化や複合化を積極的に促すとともに、　 WEB サイト等を利用し、これまで以上に会員企業からの情報発信の充実を図ります。

② 人材育成事業　試作実習に関しては会員企業等が自ら企画したデバイスの試作実習ができるように講座内容を変更するなど、　企業ニーズに対応した人材育成事業を実施します。また、次世代の MEMS 技術を担う若い人材を育成するため　　　第１回 International Contest of Applications in Nano / Micro Technologies (iCan2009)事業（ MEMS デバイスを用いた　　アプリケーションを提案、試作する国際コンテスト）への事業運営サポートを通じ、大学生等をターゲットにした人材育成を行います。

③ 技術相談事業　 MEMS に関連する研究者、公設試等産業支援機関等とのネットワーク形成を進めます。

④ ネットワーク活動　「 MEMSPCカフェ」の更なる充実を図り、会員同士、講師の方々との情報交流を促進し広範なネットワーク形成を支援します。

⑤MEMS 関連産業の集積を促進するプロジェクト創成の検討　各事業を展開していく中でプロジェクトの芽を見出し、関係機関とも連携を密にしながら、プロジェクト創成に向けた支援について検討していきます。

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅰ）情報発信事業

MEMS分野の研究開発・産業化に関する情報の収集及び提供に資する事業

・セミナーの開催　 MEMS 技術に関する様々なテーマを設定して、 MEMS 技術の普及を図ります。　主要イベントは以下のとおりです。　①MEMS 集中講義　　　　マイクロマシニングの基礎概論からアプリケーションへの応用など、 MEMS 技術について３日間集中的に　　　講義を行います。

　②MEMSPC/ 産総研 GIC共同シンポジウム　　　　産総研 GIC との共催によりバイオと MEMS 技術の融合をテーマとしたシンポジウムを開催します。　

　　　※この他にもセミナーの企画を行います。　　　　 会員の皆様からのテーマの提案をホームページにて受け付けています。　　 　　希望するテーマがございましたら、ホームページよりご提案ください。

・ WEB サイト、メーリングリストの充実　 MEMSPC は情報発信の充実を図ります。　　※ホームページ上で、会員の皆様からの情報をお待ちしております。　　　　会員企業様の新製品情報、会員企業様が主催するセミナー等がございましたら、ご投稿ください。

・マイクロマシン／ＭＥＭＳ展、セミコンジャパンへの出展

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅱ）人材育成事業

MEMS分野の研究開発・産業化のために従事する人材の育成に資する事業

・ MEMS 人材育成講座　 MEMS 技術に関する基礎的な講義及びプロセス技術の概要についてスクーリングを行います。併せて試作プロセス実習を行うことで、 MEMSデバイス製造の一連の流れを学習するとともに、デバイスの試作開発を行います。

　 MEMS 技術の事業化に必要な「中核人材」の育成を実施。既存産業の高付加価値化、競争力強化のため、 MEMS 技術全般を体系的に習得した人材を育成します。

講座名 講座内容 所要時間

基礎講座MEMS 開発に必要な企画，設計，試作，評価に関わる基礎知識を習得する。併せて，MEMS のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝ，事業化に必要な技術経営についても学ぶ。ｲﾝﾀｰﾈｯﾄｽｸ - ﾙを利用して受講する。

20 コマ(41時間 )

設計実習試作する を企画した後，ﾃﾞﾊﾞｲｽ MEMS専用設計解析ｿﾌﾄｳｴｱである Coventor Wareを利用して設計を行う。 の使いｿﾌﾄｳｴｱ方を学習し， の解析， の設計， 設計のﾃﾞﾊﾞｲｽ ﾌﾟﾛｾｽ ﾏｽｸﾊﾟﾀｰﾝ能力を養う。

2日間～10日間

試作実習自ら企画したﾃﾞﾊﾞｲｽについての試作を行う。 4 ｲﾝﾁのﾌﾟﾛｾｽﾗｲﾝを用い，ﾏﾝﾂｰﾏﾝに近い指導を行い，装置の原理，使い方，ﾌﾟﾛｾｽのﾉｳﾊｳを学習する。試作したﾃﾞﾊﾞｲｽを評価し，ﾚﾎﾟｰﾄにまとめる。

約 3ヶ月

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅱ）人材育成事業（基礎講座）

① 実施概要　　東北大学のインターネットスクール（ ISTU ）を活用し、 e-learning により MEMS 開発に必要な企画、　設計、試作、評価にかかる基礎知識を習得することができる講座です。　　また、併せて、 MEMS のアプリケーション、事業化に必要な技術経営についても学ぶことができる　　　ようになっています。

② 対象　　初心者（工学系大学卒業程度）から、既に MEMS に携わっている技術者等

③ 実施内容　　全 20 コマ（受講時間 41時間）で、講義は必要なところだけ受講することも可能です。　　また、受講期間に制限は設けず、受講者のペースでの受講も可能です。

④ 受講料　　無料（会員、非会員問わず）　　（インターネットに接続できる環境が必要です）

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① 実施概要　　 MEMS専用設計解析ソフトウェアである「 Coventor Ware」を活用し、基本的な使用法について学ぶ　だけでなく、 MEMS デバイスを試作する前に、試作デバイスの性能を見積り、製造工程の適否などの　検証も可能なコースを実施します。熟練した技術者により、ほぼマンツーマンで指導を受けることが　可能です。

② 対象　　初心者（工学系大学卒業程度）から、既に MEMS に携わっている技術者等

③ 実施内容　　入門コース（ 2日間）：Coventor Wareの基本的使用法の学習 　　基礎コース（ 5日間）：入門コースに加えて、選択した課題に取り組み、　 設計解析の基礎を学習 　　実践コース（ 10日間）：入門コースに加えて、各自が作製したいデバイス について自由に設計、解析を行う

④受講料　　コースによって異なります。 詳しくはホームページをご覧下さい。

MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅱ）人材育成事業（設計講座）

解析のための 3Dモデル

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅱ）人材育成事業（試作実習）

① 実施概要　自ら企画したデバイスについての試作を行う。４インチの　プロセスラインを用い，マンツーマンに近い指導を行い，装置の原理，使い方，プロセスのノウハウを学習します。

② 予定　下半期の講座実施を予定しています。　

③ 対象　　既に MEMS に携わっている技術者等

④ 受講料　　実費を算定して徴収します。

容量型 3軸加速度センサの試作例

1. カリキュラムをトータルで受講した場合の受講期間は、約 4ヶ月となります。2. 受講前に事前打合せを行い、設計、試作内容を決定します。

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅱ）人材育成事業（ iCAN2009 ）

①iCAN2009についてMEMS デバイスを用いたアプリケーションを提案、試作する国際コンテスト。スポンサーから提供されるマイクロナノデバイスを活用して将来のマーケットを動かすパワーを秘めた新たなアプリケーションを生み出すことを目的としています。仙台にて国内予選を 10月に開催。国内予選を勝ち抜いた３チームが中国で 2010年 1月に開催される世界大会に出場します。

② スポンサーMEMSIC , Nippon Signal , China Star , Nano-Micro , Jinshan , MicroChip

③ 対象者大学生、大学院生

④ スケジュール2009年 4月～ 6月　国内予選出場者募集2009年 6月　書類審査2009年 10月　国内予選大会開催（ Sendai）　主催：東北大学、 MEMS パークコンソーシアム2010年 1月 20日～ 23日　 iCAN2009開催（中国　厦門）

⑤賞金（世界大会）1st Prize ： 3000USD2nd Prize ： 2000USD3rd Prize ： 1000USDSpecial Awards ： 500USD

参加国（予参加国（予定）定）

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅲ）技術相談事業

・ MEMS パークコンソーシアム技術相談会員の皆様からの技術的な相談については、ホームページにて随時受け付けています。

※技術相談窓口は事務局となります。また、ご要望に応じて、秘密保持契約を締結することも可能です。※こちらからの出張も可能ですので、お気軽にお問い合わせください。

MEMS分野の研究開発・産業化を支援する事業

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MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅳ）ネットワーク活動

MEMS分野に関する産業界及び産学官における交流・連携の促進に資する事業・ MEMSPC カフェの開催　会員相互、講師の方々とのネットワーク形成の場として、カフェ形式のセミナー（ MEMSPC カフェ）を開催します。軽食を取りながら、講師の先生や様々な企業の方々との意見交換を行い、事業連携や共同研究等に繋がる場を提供します。　

　 ※一口につき、各会員一回一名の参加が可能です。　 ※ホームページにて取り上げて欲しいテーマの募集及び事業紹介を行いたい企業を募集しております。　　 MEMSPC カフェは会員の皆様と作り上げていく事業ですので、是非テーマをご提案ください。

第 4 回 MEMSPC カフェ in　Fukuoka 第 7 回 MEMSPC カフェ in　TOKYO

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仙台地域に国際的に卓越したMEMS 技術のﾌﾟﾗｯﾄﾌｫｰﾑ形成

未知なる技術・市場の

開拓・創成

MEMS技術を応用

国内外研究機関による

ﾈｯﾄﾜｰｸ

新産業の創出東北大学江刺教授が保有する革新技術のｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝ創出に

向けた展開

MEMS 関連ﾌﾟﾛｼﾞｪｸﾄの創出

社会にｲﾝﾊﾟｸﾄを

与える革新的な

市場の提唱

産業振興

基礎の強化MEMS 開発人材育成

MEMS 開発情報発信と共有化MEMS 関連機関との連携

先端的研究開発の実践 新たな産業の創出

MEMS パークコンソーシアム　 21 年度事業（Ⅴ） MEMS 関連産業の集積を促進するプロジェクト創成

の検討　MEMS分野の研究開発・産業化を支援する事業

　各事業を展開していく中でプロジェクトの芽を見出し、関係機関とも連携を密にしながら、プロジェクト創成に向けた様々な形での支援について検討していきます。

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MEMS パークコンソーシアム平成 21 年度予算案

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平成 21 年度 MEMS パークコンソーシアム予算案

収入の部　 　 　項 目 　 　 　金 額 20年度決算額 　 　 　摘 要

前年度繰越金 21,348,653 17,805,905会費収入 9,000,000 8,350,000 110 180 　会員（ 口） （仮）

人材育成試作実習受講料 5,000,000 3,850,611　 　 　合 計 35,348,653 30,022,571

支出の部　 　 　項 目 　 　 　金 額 20年度決算額 　 　 　摘 要

広報関係費用 910,000 1,269,695 　 　パンフレット作成、サーバ管理費など

出展関係費用 700,000 211,400 　マイクロマシン展出展関係

セミナー関係費用 3,880,000 1,973,710 MEMSPC 　会員セミナー、 カフェなど

人材育成試作実習 5,000,000 3,850,611 人材育成試作実習受講料と相殺

iCan2009運営費 2,000,000 0 国内予選開催費等

事務関係費用 2,210,000 168,502 　事務員人件費、事務委託費など

会議関係費用 1,300,000 1,200,000 　総会関係費

予備費 19,348,653 21,348,653　 　 　合 計 35,348,653 30,022,571

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MEMS パークコンソーシアム規約の改定について

第第 22号議号議案案

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MEMS パークコンソーシアム　規約の改訂について

　団体運営に必要な文言を追加するため、規約の改定を行う。

＜主な改定点＞

①第 2章　「会員」　関係　 会員の年会費を規定

②第 3章　「組織及び役員」　関係　 各役員の職務及び定員を規定

③第 4章　「会議」　関係　 総会等の審議事項及び議決方法等を規定

④第 5章　「経理及び事務」　 事業年度を規定

改定規約案は別紙参照本改定は 21 年 4月 1日より施行する。

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産(社)東北経済連合会

地元企業・会員企業

学東北大学

地域の大学・高専

官東北経済産業局

産業技術総合研究所

宮城県

仙台市運営

支援

委員

の就任

スタ

ッフ

人材派遣

等

MEMSパークコンソーシアム組 織 体 制

総 会

幹事会

事務局

推進委員会

事務スタッフ

事業化推進ｺｰﾃ ｨ゙ﾈ ｰ ﾀｰ事務局長

サー

ビス

の提

供

会員

企業

産(社)東北経済連合会

地元企業・会員企業

学東北大学

地域の大学・高専

官東北経済産業局

産業技術総合研究所

宮城県

仙台市運営

支援

委員

の就任

スタ

ッフ

人材派遣

等

MEMSパークコンソーシアム組 織 体 制

MEMSパークコンソーシアム組 織 体 制

総 会

幹事会

事務局

推進委員会

事務スタッフ

事業化推進ｺｰﾃ ｨ゙ﾈ ｰ ﾀｰ事務局長

サー

ビス

の提

供

会員

企業

（参考）　 MEMS パークコンソーシアム　運営組織図