leistungsspektrum qualifizierung (auszug) · laminare reinräume turbulente reinräume medienlabor...
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LEISTUNGSSPEKTRUM QUALIFIZIERUNG (AUSZUG)
FRAUNHOFER- INST ITUT FÜR
PRODUKTIONSTECHNIK UND AUTOMATIS IERUNG IPA
Messgrößen und -mittel
Partikeldetektion
• Luftgetragen:
–OptischePartikelzähler(OPZ):0,1bis25µm
–CondensationNuclearCounter:ab5nm
–Druckgase,max.10bar:OPZ0,1bis25µm
• DirektaufOberflächen:
–Waferinspektionsgeräte:67nmbis63µm
–SurfaceContaminationCounter(SCC):0,5bis100µm
–Lichtmikroskop:ab1µm
–Rasterelektronenmikroskop:ab5nm
–LaserScanningMicroscope,3D-Darstellungvon
Kontaminationen
• IndirektaufOberflächen
• AnReibpaarungen
–Atmosphärisch:Materialpaarungen(inAbhängigkeitvon
NormalkraftundVerfahrgeschwindigkeit)ab0,1µm
–ImVakuum:ab67nm
Partikelanalyse
• EnergieaufgelösteRöntgenstrahlungsanalyse(EDX)
• AnalyseorganischerPartikelmittelsRamanspektrometer
1
1 Einsatz optischer Partikelzähler im Reinraum des Fraunhofer IPA.
2 Labor für die Analyse von partikulären Kontaminationen.
Ausgasung (ACC)
• TechnischeDatendetektierterStoffe
• Thermodesorptions-GC/MS
• Kammermessungen
• Raummessungen
• Headspace-GC/MS
• Thermoextraktion
Biokontamination
• Abklatschverfahren
• LuftgetrageneKBE
•WassergetrageneKBE
•GesamtkeimzahldurchmikroskopischeAuszählung
• Verstoffwechselbarkeit
Strömung
Strömungsgeschwindigkeit,-richtungund-visualisierung(DI/N2-
Nebelgerät,Rauchdraht,Prüfröhrchen),qualitative/quantitative
Analyse,Durchflussrate(Volumenstrom),Erholzeit,Druckdifferenz
Klima
Temperatur,Feuchtigkeit
Oberflächenqualität
Rauheit,Oberflächengüte,EDX,AFM/STM,ESCA(XPS),AES,
FTIR,TEM
ESD
Ableitwiderstand,Durchgangs-undOberflächenwiderstand,
E-Feldbestimmung,Entladungszeit,Leitfähigkeit
Schwingung
Vibration
Akustik
Schallmessung
Laminare Reinräume Turbulente Reinräume Medienlabor Schwerlastreinraum
Luftreinheitsklasse (nach ISO 14644-1) ISOKlasse1 ISOKlasse6 ISOKlasse8 ISOKlasse1
Luftströmungsgeschwindigkeit 0,45m/s 0,45m/s – 0,45m/s
Strömungsführung vertikallaminar turbulent turbulent vertikallaminar
Temperatur 22°C±0,5°C 22°C±0,5°C 22°C 22°C±0,5°C
Relative Feuchte 45%±5% 45%±5% 45%±5% 45%±5%
Grundfläche 125m2 80m2 50m2 120m2
Sonstiges – – – Traglast:5t/m2,Raumhöhe:6m
Prüfumgebung: Reinräume und Labore
2
Laminare Reinräume Turbulente Reinräume Medienlabor Schwerlastreinraum
Luftreinheitsklasse (nach ISO 14644-1) ISOKlasse1 ISOKlasse6 ISOKlasse8 ISOKlasse1
Luftströmungsgeschwindigkeit 0,45m/s 0,45m/s – 0,45m/s
Strömungsführung vertikallaminar turbulent turbulent vertikallaminar
Temperatur 22°C±0,5°C 22°C±0,5°C 22°C 22°C±0,5°C
Relative Feuchte 45%±5% 45%±5% 45%±5% 45%±5%
Grundfläche 125m2 80m2 50m2 120m2
Sonstiges – – – Traglast:5t/m2,Raumhöhe:6m
Prüfumgebung: Reinräume und Labore
Medienversorgung der Labore
• Reinstwasser(DI-WasserinVLSI-Qualität)
• Reinstdruckluft
• Vakuum
• USV-Anlagen,220-/380-Volt-Netzversorgung
• Stickstoff5.0
• CO2-Versorgungflüssig6.0
Unsere Leistungen
Betriebsmittel- / Werkstoffqualifizierung
Reinraum-undReinheitstauglichkeit:
• Partikelemissionsverhalten
• PWP-Messung
• Ausgasungsverhalten
• Partikelanalyse
•Materialanalyse
• Reinig-undDesinfizierbarkeit
• ChemischeBeständigkeit
•MikrobielleVerstoffwechselbarkeit
• ESD-Eigenschaften
• Oberflächenqualität
• Strömungsverhalten
• Dichtheitstest
•Mikrobizidität
• Produktverträglichkeit
• GMP/EHEDG-Design-Analyse
TITEL Klassifizierungsuntersuchungen
von Leuchten.
Vorteile der Qualifizierung
• InternationalanerkanntesPrüfzeichen
• UnabhängigkeitdesInstituts
• WeltweiteinmaligePrüfinfrastrukturmitReinräumen
derKlasse 1nachISO 14644-1
• ExpertenfürReinräumeundreineProduktionstechnik
• GanzheitlicheBetrachtung
• StandardisierteVorgehensweise:
–Prüfvorbereitung
–Prüfaufbau
–Hilfsmittel
–ParameterundRandbedingungen
–ObjektiveundrepräsentativeAuswahlderStichproben
ausderGrundgesamtheit
–DokumentationderPrüfprozedurund-ergebnisse
–PrüfungnachinternationalanerkanntenNormen
undRegelwerken
• StatistischeMesswertanalyse
• RepräsentativeErgebnisse
• KundenundmarktorientierteDokumentationinklusive:
–Urkunde
–Bescheinigung
–Prüfbericht
–Prüflogo
Fraunhofer-Institut für
Produktionstechnik und Automatisierung IPA
Nobelstraße12
70569Stuttgart
Institutsleitung
Prof.Dr.-Ing.ThomasBauernhansl
www.ipa.fraunhofer.de
NähereInformationenüberunserLeistungsangebotsowie
konkreteBeratungerhaltenSievonunserenAnsprechpartnern.
Abteilung
Reinst-undMikroproduktion
Ansprechpartner
Dipl.-Ing.(FH)FrankBürger
Telefon+49711970-1148
Dipl.-Ing.(FH)MarionSchweizer
Telefon+49711970-1509
www.cleanroom.fraunhofer.de
© Fraunhofer IPA | 352 / 002 | PDF 02.02 / 05.14