impact® フォトケミカル向け pou 用フィルター · 2017. 9. 20. · entegris, inc. 3...
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クリティカル マテリアル ハンドリング
IMPACT®フォトケミカル向け POU用フィルター
使用点で清浄度の極めて高いろ過を実現 迅速な交換が可能で、優れた除粒子性能を誇る
フォトレジストおよびフォトケミカル溶剤用フィルター
2 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
概要Impact® (インパクト) フォトケミカル向けPOU (使用点) 用フィルターは、長年にわたり培われた工場での生産ノウハウとお客様とのコラボレーションを通じて誕生した製品です。インテグリスはお客様のプロセスと作業効率を全般的に向上させる高度なろ過製品の開発に積極的に取り組んできました。インパクトフィルターは、フィルター立ち上げ時のコストを抑え、既存プロセスラインのコストオブオーナーシップに貢献する効果的なソリューションを提供し、装置ダウンタイムを削減するとともに作業性能を向上させます。
取り扱いが簡単で清浄度と安全性が向上
インパクトフィルターは、貴重な薬液を最高レベルの清浄度で処理し、Connectology® (コネクトロジー) 技術を採用することで、インパクトマニホールドと IntelliGen® (インテリジェン) ディスペンスシステムとの迅速な接続とシールが可能です。また、フィルターの構成部品に触れることなく速やかな交換が可能です。最適化された膜面積とホールドアップボリュームは、薬液の消費を節減するとともに、フィルターの取り付け時と廃棄時における危険な化学薬品との接触を減少させ、より安全な環境での作業が可能となります。
画期的なフィルター技術
お客様の問題を解決するため、インパクトのメンブレンとフィルターには、優れたろ過が提供できる設計が施されています。フィルターの立ち上げコストと立ち上げ時間を削減することが可能なインパクト 8Gのコアフィル構造は、より速やかに安定性を確保し、ディフェクト削減に寄与する再現性の高い製造環境を実現します。単一膜の除粒子技術だけでは要求を満たせない特定の
レジストから、ゲル状の異物を除去するインパクトDuoは、UPE (超高分子量ポリエチレン) メンブレンにポリアミド層またはナイロン層を組み合わせており、対応可能な薬液が広がるとともにフィルターの寿命を伸ばします。インパクトRFIDとマニホールドに採用されている技術は、特定のコータまたはコータカップ内に装着されているフィルターをいつでもオンラインでモニターでき、適切なフィルターが適切なカップ / 薬液に使用されているかどうか検証できます。
多様なフィルターのラインアップ
インパクトフィルター製品には、最も要求の厳しいフォトケミカル処理において、マイクロバブルの形成を防止し粒子を除去する幅広いラインアップが揃っています。これらのインパクトフィルターには、さまざまなメンブレン技術が採用されており、先端プロセスのニーズに応えるとともに高度な除粒子性能を発揮します。非対称UPEメンブレンの設計は、標準的な対称 UPEメンブレンと比べ、低い圧力損失でより微細な粒子の除去が行えます。プリーツタイプの PTFEメンブレンと PFAで構成されたフィルターは、あらゆる薬品に使用できる耐薬品性を有し、芳香族化合物やケトン溶剤などの薬液に使用することができます。既存ナイロンフィルターに対し、2倍の性能を誇るインテグリスのナイロンフィルターは、流体の流れを向上させ、従来の細微な孔径のナイロンフィルターの粒子ろ過にみられたリスクを解消しました。また、このナイロンメンブレンの厚さを 2倍にする技術により、ゲル状不純物を除去する性能が向上し、10 nmのコンタミネーションコントロール分野の市場をリードしています。
フォトケミカルのろ過において 優れた除粒子性能を発揮する POU用フィルター
ENTEGRIS, INC. 3
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
インパクトシリーズの特性製品名 フィルタータイプ メンブレン 除粒子孔径 アプリケーション *
インパクト 8G インパクト 8Gインパクト 8G-L
非対称 UPE 3、5、10 nm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過ナイロン 6 10 nm
Duo 5、10 nm
PCM (親水性 UPE) 10 nm
インパクト 2 V2 インパクト非対称ナイロン
ナイロン 6 10、20、50 nm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過
インパクト 2 V2 UPE UPE 3 nm –1 µm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過
インパクト 2-Duo シービング (篩分け) 層: UPE 5、10、30 nm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過ノンシービング層: ナイロン 6
インパクト 2 V2非対称 PCM
親水性 UPE 20 nm、0.05 µm フォトリソグラフィで 使用される水系薬液
インパクト Plus V2 インパクト Plus V2 UPE 3 nm –1 µm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過
インパクト Plus-Duo ノンシービング層: ナイロン 6 10、30 nm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過シービング (篩分け) 層: UPE
インパクト Plusナイロン
ナイロン 6 10、20、 50 nm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過
インパクト Plus PCM 親水性 UPE 20 nm –0.05 µm フォトリソグラフィで 使用される水系薬液
インパクト SR-LHVD PTFE 20 nm –1 µm 溶解性の高い溶剤
インパクトMini インパクトMini UPE 5 nm –0.1 µm フォトレジスト、補助的な フォトケミカルや溶剤の 使用点ろ過
インパクトHV インパクト高粘度
UPE、PTFE 0.5、1.0 µm ポリイミドウェーハのパッケージ工程3Dリソグラフィ
*特定のアプリケーションについては、日本インテグリスまでお問い合わせください。
インパクトシリーズの主な特性は、下表の通りです。
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インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
特長と利点特長 利点
優れた除粒子性能 孔径 3 nmが提供可能なインテグリスの UPE非対称メンブレンは、標準的な対称 UPEメンブレンと比べ、圧力損失が低減し、除粒子性能が向上しました。
インパクトDuoは、 2層のフィルター構造を採用しています。UPEメンブレンとナイロン層の2層構造は、シービングとノンシービングによる除粒子性能を最大化し、先端プロセスで使用するさまざまな薬液のゲルや粒子、分子ポリマーに起因するディフェクトを削減します。
コンタミネーションコントロール分野の市場をリードする設計が施されたナイロン製品は、メンブレンと薬液の接液時間が長くなり、 10 nmの除粒子径においてゲル状不純物を除去する性能が向上しました。
画期的なフィルター技術 インパクトシリーズは、最も要求の厳しい業界の課題に取り組むため、ソリューションの多様性と革新的な製品を提供します。
インパクト 8Gのコアフィル構造は、フィルターの立ち上げ時間を短縮し立ち上げにかかる費用を削減します。
インパクトDuoは、単一膜での除粒子技術だけでは要求を満たせない特定のレジストから、ゲル状の異物を除去します。
インパクトRFIDとマニホールドに採用されている技術は、インテリジェン AFSと組み合わせることで、特定のコータまたはコータカップ内に装着されているフィルターをいつでもオンラインでモニターできます。
低減されたホールドアップ ボリューム
ホールドアップボリュームが低減され、薬液消費を削減し、コストオブオーナーシップに貢献します。
迅速なフィルターの 取り付け
先進的設計は、フィルターの取り付けや廃棄における危険な化学薬品の取り扱いを最小限に抑えます。
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インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
インパクト 8G / 8G-Lフィルター
仕様
材質: メンブレン UPE、ナイロン、Duo (UPE / ナイロン、PCM)
膜面積 8G UPE 1200 cm2
ナイロン / Duo 800 cm2
PCM 1300 cm2
8G-L ナイロン / Duo 1600 cm2
UPE 2400 cm2
PCM 2600 cm2
サポート、成形部材 HDPE
O-リング Kalrez® (カルレッツ) (OFタイプ)
使用条件: 最高入口側圧力 0.34 MPa @ 25°C
最大許容差圧 0.27 MPa @ 25°C
最高使用温度 40°C
ホールドアップ ボリューム:
インパクト 8G 55 mL
インパクト 8G-L 110 mL
対応薬液:* PGMEA、PGME、NMP、乳酸エチル、MMP、シクロヘキサノン、およびその他のフォトケミカル溶剤
濡れ性:* 酢酸ブチル、PGMEA、PGME、乳酸エチル、MMP、シクロヘキサノン、ECA、およびその他のフォトケミカル溶剤内で自然に濡れが生じます。
継手: (インパクト 2 マニホールドを 使用 **)
4 mm / 3 mm Flowell™ (フロウエル) 60 (OFフィルター用)
5 mm / 3 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
6 mm / 4 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
6.35 mm / 3.95 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
6.35 mm / 4.35 mmフロウエル 60 (OF/OMフィルター用)
6.35 mm / 3.95 mmスーパータイプピラー (OFフィルター用)
6.35 mm / 4.35 mmスーパータイプピラー (OF/OMフィルター用)
* 特定のアプリケーションについては、日本インテグリスまでお問い合わせください。** インパクト 2マニホールドに関する情報はインパクト 2 V2フィルターのセクション参照。
流量
200
150
100
50
0
インパクト 8G UPE
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
差圧
[kPa
]
3 nm
5 nm8G-L 3 nm
10 nm8G-L 5 nm
8G-L 10 nm
0 4 8 12 16 20流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
0 4 8 12 16 20
200
150
100
50
0
インパクト 8G ナイロンおよび Duo
差圧
[kPa
]
8G-L 10 nm Duo
8G-L 10 nm ナイロン8G 10 nm ナイロン
8G 5 nm Duo
8G 10 nm Duo
200
150
100
50
0
インパクト 8G UPE
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
差圧
[kPa
]
3 nm
5 nm8G-L 3 nm
10 nm8G-L 5 nm
8G-L 10 nm
0 4 8 12 16 20流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
0 4 8 12 16 20
200
150
100
50
0
インパクト 8G ナイロンおよび Duo
差圧
[kPa
]
8G-L 10 nm Duo
8G-L 10 nm ナイロン8G 10 nm ナイロン
8G 5 nm Duo
8G 10 nm Duo
6 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
寸法
インパクト8G/8G-L
製品型番のご案内 *
プリーツのタイプ0 = 標準タイプM = M-プリーツ タイプ
O-リング0 = なし
(OMタイプ)K = カルレッツ
(OFタイプ)
梱包数1 = 1個/箱
長さ0 = 標準タイプL = ロングタイプ
除粒子孔径K = 3 nmF = 5 nmT = 10 nmX = 20 nm
メンブレンS = 非対称 UPED = DuoN = ナイロンM = PCM
インパクト8Gおよび 8G-Lフィルター型番A2 C 1
49 mm
65 mm
73 mm
136 mm
側面上面
上面: 8G、8G-L 側面: 8G-L側面: 8G
88 mm
94 mm
79.0 mm35.0 mm
10 mm59.5 mm
82.5 mm
127.0 mm
122 mm
172 mm
138 mm
45.0 mm
マニホールドに装着した状態のインパクト8G
* 参考情報です。記号の組み合わせによっては提供できない製品がありますので、 具体的な型番につきましては日本インテグリスまでお問い合わせください。
ENTEGRIS, INC. 7
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
インパクト 2 V2フィルター
仕様
材質: メンブレン UPE、ナイロン、Duo (UPE / ナイロン)、PCM
膜面積 非対称ナイロン 800 cm2
非対称 PCM 1350 cm2
Duo、ナイロン 800 cm2
850 cm2
サポートおよび成形部材 HDPE
O-リング カルレッツ (OFタイプ)
使用条件: 最高入口側圧力 0.34 MPa @ 25°C
最大許容差圧 0.27 MPa @ 25°C
最高使用温度 40°C
ホールドアップ ボリューム:
≤ 55 mL
対応薬液:* PGMEA、PGME、NMP、乳酸エチル、MMP、シクロヘキサノン芳香族炭化水素を含むフォトケミカルでの使用は推奨できません。
濡れ性: * 酢酸ブチル、PGMEA、PGME、乳酸エチル、MMP、シクロヘキサノン、ECA、NMPおよびその他の フォトケミカル溶剤で自然に濡れます。
継手:(インパクト 2マニホールドを 使用)
接続チューブ外径 4 mm / 内径 3 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
接続チューブ外径 5 mm / 内径 3 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
接続チューブ外径 6 mm / 内径 4 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 3.95 mmフロウエル 60 (OFフィルター用)
接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmフロウエル 60 (OF/OMフィルター用)
接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 3.95 mmスーパータイプピラー (OFフィルター用)
接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmスーパータイプピラー (OF/OMフィルター用)
*特定のアプリケーションについては、日本インテグリスまでお問い合わせください。
8 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
寸法図
インパクト2マニホールドに装着した状態のインパクト2 V2フィルター 6.35 mmフロウエル 60
94 mm
79.0 mm35.0 mm
10 mm59.5 mm
82.5 mm
前面側面
127.0 mm
122 mm
172 mm
138 mm
45.0 mm
流量
40
35
30
25
20
15
10
5
00 1 2 3 4 5
5 nm3 nm
10 nm
インパクト 2 V2 非対称 UPE フィルター差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
40
35
30
25
20
15
10
5
00 1 2 3 4 5
20 nm
10 nm
50 nm
インパクト 2 V2 非対称ナイロンフィルター
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
200
150
100
50
0
インパクト 2-Duo
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C0 4 8 12 16 20
5 nm
10 nm
30 nm
40
35
30
25
20
15
10
5
00 1 2 3 4 5
5 nm3 nm
10 nm
インパクト 2 V2 非対称 UPE フィルター
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
40
35
30
25
20
15
10
5
0
5
4
3
2
1
00 1 2 3 4 5
20 nm
10 nm
50 nm
Impact 2 V2 Asymmetric Nylon Filters
Diff
eren
tial P
ress
ure
(kPa
)
Diff
eren
tial P
ress
ure
(psi
d)
Typical Flow Rate (cc/sec) — 1 cP @ 20°C
200
150
100
50
0
インパクト 2-Duo
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C0 4 8 12 16 20
5 nm
10 nm
30 nm
ENTEGRIS, INC. 9
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
背面
上面
側面
前面25.8 mm
51.5 mm
20.0 mm2.0 mm
2×Ø3.3 mm40.0 mm
2×Ø3.3 mm
5.0 mm
110.0 mm
120.0 mm
230.0 mm
97.6 mm
94.0 mm
132.6 mm
129.6 mm
59.5 mm
19.0 mm
9.5 mm
18.5 mm
54.6 mm
94.6 mm
97.7 mm
25.8 mm
インパクト2マニホールドに装着した状態の インパクト2 V2フィルター 6.35 mmスーパー 300タイプピラー
インパクト2 RFIDマニホールド
94 mm
63.0 mm
35.0 mm
10 mm59.5 mm
82.5 mm
前面側面
127.0 mm
122 mm
157 mm
128 mm
10 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
製品型番のご案内 *
梱包数1 = 1個 / 箱
プリーツのタイプ0 = 標準タイプM = M-プリーツ タイプ **
O-リング0 = なし
(OMタイプ)K = カルレッツ
(OFタイプ)長さ0 = 標準タイプL = ロングタイプ
除粒子孔径K = 3 nmF = 5 nmT = 10 nmX = 20 nmY = 30 nmZ = 0.05 µmV = 0.1 µmG = 0.2 µm
メンブレンA = UPE (対称)S = 非対称 UPED = Duo (PE / ナイロン)M = PCMN = ナイロン
インパクト2 V2フィルター型番A2 2 1
** M-プリーツタイプは、孔径 30 nmより微細な孔径の UPE材質にのみ適用可能です。
インパクト2マニホールド (インパクト8Gおよび インパクト2 V2用)、インパクト2 RFIDマニホールド型番 製品名
A2MX222K1 インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 3.95 mmフロウエル 60、 カルレッツ O-リング (OMフィルター用)
A2MX22201 インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 3.95 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2MX222KT インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmフロウエル 60、 カルレッツ O-リング (OMフィルター用)
A2MX222ET インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmフロウエル 60、 EPDM O-リング (OMフィルター用)
A2MX2220T インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2MX44401A インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 4 mm / 内径 3 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2MX55501A インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 5 mm / 内径 3 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2MX66601A インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6 mm / 内径 4 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2MP222K1 インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 3.95 mmスーパータイプピラー、 カルレッツ O-リング (OMフィルター用)
A2MP222KT インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmスーパータイプピラー、 カルレッツ O-リング (OMフィルター用)
A2MP22201 インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 3.95 mmスーパータイプピラー、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2MP2220T インパクト 2マニホールド、接続チューブ外径 6.35 mm / 内径 4.35 mmスーパータイプピラー、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2RX55501 インパクト 2 RFIDマニホールド、接続チューブ外径 5 mm / 内径 3 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
A2RX66601 インパクト 2 RFIDマニホールド、接続チューブ外径 6 mm / 内径 4 mmフロウエル 60、 O-リングなし (OFフィルター用)
* 参考情報です。記号の組み合わせによっては、提供できない製品がありますので、 具体的な型番につきましては日本インテグリスまでお問い合わせください。
ENTEGRIS, INC. 11
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
インパクトPlus V2、Plus DuoおよびインパクトSR LHVDフィルター仕様
インパクト Plus V2 インパクト Plus Duo インパクト SR LHVD
材質: メンブレン UPE、ナイロン、PCM UPE / ナイロン PTFE
膜面積 10 nm非対称1300 cm2
850 cm2 600 cm2
10 nm、20 nm 1400 cm2
0.05 µm PCM 1300 cm2
20 nm PCM 1400 cm2
その他すべて 1200 cm2
サポートおよび成形部材 HDPE
サポート、コア、スリーブ、シェル
PFA
O-リング カルレッツ (OFタイプのみ)
使用条件: 最高入口側圧力 0.34 MPa @ 25°C 0.39 MPa @ 25°C
最大許容差力 0.27 MPa @ 25°C 0.29 MPa @ 25°C
最高使用温度 40°C 30°C
ホールドアップボリューム:
≤ 55 cc ≤ 45 cc
対応薬液:* PGMEA、PGME、NMP、乳酸エチル、MMP、 シクロヘキサノン。芳香族炭化水素を含む フォトケミカルでの使用は推奨できません。
全ての フォトケミカル溶剤
濡れ性:* 酢酸ブチル、PGMEA、PGME、乳酸エチル、 MMP、シクロヘキサノン、ECA、NMPおよび その他のフォトケミカル溶剤で自然に濡れます。
NMP、シクロヘキサノン、GBL、EGMEA、乳酸エチル、
MMPなど、表面張力が 比較的に高い溶剤に使用 する場合は親水化処理を 必要とする場合があります。
継手: (インパクト STマニホールド) 1⁄4” Flaretek® (フレアテック)
*特定のアプリケーションについては、日本インテグリスまでお問い合わせください。
12 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
200
150
100
50
0
差圧
[kPa
]
50
40
30
20
10
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
60
40
20
10
00 168 24 32 40
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
20 nm
インパクト Plus Duo
インパクト Plus V2 UPE
インパクト SR LHVD
0.2 µm
0.05 µm
0.1 µm
200
150
100
50
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
インパクト Plus V2 非対称 UPE
3 nm
5 nm
10 nm
30 nm
10 nm
0 4 8 12 16 20流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
200
150
100
50
0
差圧
[kPa
]
50
40
30
20
10
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
60
40
20
10
00 168 24 32 40
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
20 nm
インパクト Plus Duo
インパクト Plus V2 UPE
インパクト SR LHVD
0.2 µm
0.05 µm
0.1 µm
200
150
100
50
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
インパクト Plus V2 非対称 UPE
3 nm
5 nm
10 nm
30 nm
10 nm
0 4 8 12 16 20流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
流量
200
150
100
50
0
差圧
[kPa
]
50
40
30
20
10
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
60
40
20
10
00 168 24 32 40
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
20 nm
インパクト Plus Duo
インパクト Plus V2 UPE
インパクト SR LHVD
0.2 µm
0.05 µm
0.1 µm
200
150
100
50
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
インパクト Plus V2 非対称 UPE
3 nm
5 nm
10 nm
30 nm
10 nm
0 4 8 12 16 20流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
200
150
100
50
0
差圧
[kPa
]
50
40
30
20
10
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
60
40
20
10
00 168 24 32 40
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
20 nm
インパクト Plus Duo
インパクト Plus V2 UPE
インパクト SR LHVD
0.2 µm
0.05 µm
0.1 µm
200
150
100
50
00 4 8 12 16 20
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
インパクト Plus V2 非対称 UPE
3 nm
5 nm
10 nm
30 nm
10 nm
0 4 8 12 16 20流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
ENTEGRIS, INC. 13
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
95.5 mm
21.0 mm 21.0 mm
71.9 mm
上面 側面
35.8 mm
82.5 mm
90.0 mm
71.0 mm
19.0 mm
寸法図
インパクト PLUS V2、インパクト PLUS DUO、インパクト SR LHVDフィルター
95.5 mm
21.0 mm 21.0 mm
71.9 mm
上面 側面
35.8 mm
82.5 mm
90.0 mm
71.0 mm
19.0 mm
インパクト STマニホールドに装着した状態のインパクト PLUS V2、インパクト PLUS DUO、 インパクト SR LHVDフィルター
190.0 mm
140.0 mm
190.0 mm
52.4 mm
40.0 mm
76.0 mm
6.0 mm
115.0 mm
側面 (フィルターの交換に必要なスペースを含む)側面
190.0 mm
140.0 mm
190.0 mm
52.4 mm
40.0 mm
76.0 mm
6.0 mm
115.0 mm
側面 (フィルターの交換に必要なスペースを含む)側面
14 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
製品型番のご案内 *
梱包数1 = 1個 / 箱
プリーツのタイプM = M-プリーツタイプ **0 = その他の全タイプ
O-リング0 = なし
(OMタイプ)K = カルレッツ
(OF タイプ)除粒子孔径K = 3 nm F = 5 nm T = 10 nmX = 20 nmZ = 0.05 µmV = 0.1 µmG = 0.2 µm
インパクト Plus V2フィルター型番AP 2 0 1
インパクト STマニホールド
型番 製品名
DZUM 044 C1 インパクト STマニホールド
DZUM 044 E1 インパクト STマニホールド、O-リングなし
* 参考情報です。記号の組み合わせによっては、提供できない製品がありますので、 具体的な型番につきましては日本インテグリスまでお問い合わせください。
** M-プリーツタイプは、孔径 30 nmより微細な孔径の UPE材質にのみ適用可能です。
メンブレンA = UPES = 非対称UPED = DuoN = ナイロンM = PCM
O-リング01 = なし
(OMタイプ)K1 = カルレッツ***
(OF タイプ)
インパクト SR LHVDフィルター型番AT 000
孔径F0 = フラッシングシェルTX = 20 nmFZ = 0.05 umFV = 0.1 umFG = 0.2 um
*** フラッシングシェルおよび 0.05 µmのみ。
ENTEGRIS, INC. 15
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
インパクトMiniフィルター仕様
材質: メンブレン UPE
膜面積 250 cm2
サポートおよび成形部材 HDPE
O-リング カルレッツ (フィルターに装着済み)
使用条件: 最高入口側圧力 0.34 MPa @ 25°C
最大許容差圧 0.27 MPa @ 25°C
最高使用温度 40°C
ホールドアップボリューム: ≤ 15 mL
対応薬液:* PGMEA、PGME、NMP、乳酸エチル、MMP、シクロヘキサノン芳香族炭化水素を含むフォトケミカルでの使用は推奨できません。
濡れ性:* 酢酸ブチル、PGMEA、PGME、乳酸エチル、MMP、シクロヘキサノン、ECA、NMPおよび その他のフォトケミカル溶剤で自然に濡れます。
注: インパクトMiniは、マニホールドの代わりにポンプ (インテグリスのインテリジェンMiniまたはインテリジェン ASF) を使用します。* 特定のアプリケーションについては、日本インテグリスまでお問い合わせください。
流量 寸法図
前面
側面
Ø56.9 mm
72.9 mm
55.6 mm
製品型番のご案内 **
梱包数1 = 1個 / 箱
除粒子孔径F = 5 nmT = 10 nmX = 20 nmZ = 0.05 µmV = 0.1 µm
インパクトMiniフィルター型番AM 2 00 K 1
注: インパクトMiniの上面寸法はインパクト 2 V2と同じです。
** 参考情報です。記号の組み合わせによっては、提供できない製品がありますので、具体的な型番につきましては日本インテグリスまでお問い合わせください。
メンブレンA = UPES = 非対称 UPE
1.50
1.25
1.00
0.75
0.50
0.25
00 5 10
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
インパクトMini
20 nm
0.05 µm
0.1 µm
16 ENTEGRIS, INC.
インパクト フォトケミカル向け POU用フィルター
インパクトHVフィルター
仕様
材質: メンブレン UPE、PTFE
膜面積 3400 cm2
サポート、コア、スリーブ HDPE
O-リング カルレッツ
使用条件: 最高入口側圧力 0.34 MPa @ 25°C
最大許容差圧 0.27 MPa @ 25°C
最高使用温度 40°C
適合するマニホールド: ディスペンスシステム － インテリジェン HV 2-ステージディスペンスシステム
独立型(オプチマイザー ST2マニホールド)
入口 / 出口 6.35 mm、9.53 mmおよび 12.7 mm フロウエル 60
6.35 mm、9.53 mm、12.7 mmおよび 6 mmチューブ出し
ベント / ドレン 6.35 mmフロウエル 60
6.35 mmおよび 4 mmチューブ出し
流量 寸法図
60
40
20
10
00 40 80 120 160 200
差圧
[kPa
]
流量 [mL/sec] – H2O @ 20°C
1.0 µm UPE
0.5 µm UPE
1.0 µm PTFE
インパクト HV
91.0 mm
ベント
出口
入口
105.5 mm
Ø159.9 mm
Ø89.7 mm
上面
側面
インパクトHVマニホールド
型番 製品名
ATAA0LKM1 インパクトHV PTFE 1.0 µm、 カルレッツ O-リング (OFタイプ)
AWAA0LKM1 インパクトHV UPE 1.0 µm、 カルレッツ O-リング (OFタイプ)
AWAH0LKM1 インパクトHV UPE 0.5 µm、 カルレッツ O-リング (OFタイプ)
製品型番のご案内
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