Hermetic Seal for OLED with Laser

Presented by Korea Semiconductor System

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Contents

• KOSES Introduction

• Laser Frit Sealing Process

• Laser Frit Sealing System

• Workpiece Flow System

• Handler and Laser Assembly

• Frit Sealing Quality

• Specification

• Controller, Utility and Warranty

• Conclusion

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Laser Frit Sealing Process

Laser frit sealingLaser frit sealingははlaser beamlaser beamを利用してパッケジを利用してパッケジsealingsealingする工程ですする工程です

寿命の最大化寿命の最大化ＧＧlass lass 被害の最小化被害の最小化

非接触工程非接触工程

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Laser Frit Sealing System

システム性能システム性能システム性能

TransportTransport Conveyor or Robot (Customized)

Glass SizeGlass Size Customer Requirement

Laser OscillatorLaser Oscillator Laser Diode

Patterning methodPatterning method Laser head and Gantry moving

Vision pixel resolutionVision pixel resolution 0.001mm

Center AlignmentCenter Alignment +/‐ 100um

Working Stage AlignmentWorking Stage Alignment +/‐ 10um

Machine InterfaceMachine Interface PC Base

Transport Transport Workpiece

WorkpieceSealing Section

Sealing Section

AlignmentAlignment

LaserLaser

HEPAHEPA

QuartzQuartz

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Workpiece Flow System

CenteringCentering AlignmentAlignment QuartzQuartz Laser SealingLaser Sealing

[11] Robot armは working stage までグラスを移送します

[22] グラスを中心に合わせる

[33] Stage 整列します

[44] Quartz整列して下がる

[55] Laser 作業進行

[66] グラス材料排出

[11]

[22] [33] [44][55]

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Handler and Laser Assembly

Gantry move X and YGantry move X and Y--AxisAxis Stage move UVWStage move UVW--AxisAxis

Gantry TypeGantry Type Linear Servo Motor

Repeatability AccuracyRepeatability Accuracy +/‐ 2um

Position AccuracyPosition Accuracy +/‐ 10um

Max SpeedMax Speed 500 mm/sec

X and Y‐Axis TableX and YX and Y‐‐Axis TableAxis TableStageStage UVW‐Axis

X & Y StrokeX & Y Stroke +/‐ 5mm

Theta StrokeTheta Stroke +/‐ 3 deg

AccuracyAccuracy +/‐ 3um

UVW‐Axis TableUVWUVW‐‐Axis TableAxis Table

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Frit Sealing Quality

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Specification

ControlControl TypeType Linear Servo Motor

Repeatability AccuracyRepeatability Accuracy +/‐ 2um

Position AccuracyPosition Accuracy +/‐ 10um

Max SpeedMax Speed 500 mm/sec

ControlControl TypeType Servo Motor

Repeatability AccuracyRepeatability Accuracy +/‐ 0.5um

TransportTransport Conveyor or Robot

Glass SizeGlass Size Customer Requirement

Sealing methodSealing method Laser Diode

Center AlignmentCenter Alignment +/‐ 100um

Stage AlignmentStage Alignment +/‐ 3um

Machine InterfaceMachine Interface PC Base

Laser TypeLaser Type Laser Diode

WavelengthWavelength 808nm

Average PowerAverage Power 80~100W

Cooling SystemCooling System Air

System CapabilitySystem Capability

Gantry X and YGantry X and Y‐‐Axis MovingAxis Moving

Quartz ZQuartz Z‐‐Axis MovingAxis Moving

Laser OscillatorLaser Oscillator

Camera ResolutionCamera Resolution CCD 2448 x 2050 Pixel

Field of ViewField of View 2.4mm(H) x 2mm (V)

Pixel resolutionPixel resolution 0.001mm

PRS VisionPRS Vision

ControlControl TypeType Linear Servo Motor

X & Y StrokeX & Y Stroke +/‐ 5mm

Theta StrokeTheta Stroke +/‐ 3 deg

AccuracyAccuracy +/‐ 3um

Stage MovingStage Moving

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Controller, Utility & Warranty

ItemsItems Warranty (Hours)Warranty (Hours) Life Time (Hours)Life Time (Hours) RemarkRemark

Initial Warranty

OpticsOptics 90 days Initial Warranty

LaserLaser 10,000 or 1 year 20,000 or 2 years 20,000 or 2 years

Laser DiodeLaser Diode 10,000 or 1 year 15,000 ~ 20,000 After Initial Warranty

HandlerHandler 1 year

WarrantyWarranty

ItemsItems DescriptionDescription

Air SupplyAir Supply 7 kgf/cm2

Power SupplyPower Supply AC 220 V, 3 phase, 50/60Hz

UtilityUtility

ItemsItems DescriptionDescription

ConsoleConsole PC & Touch Screen Monitor

DiagnosticDiagnostic I/O Monitoring, Error message, Manual list, Data log

SPC DataSPC Data Up‐time, UPH, MTBA, MTBF, MTTA, MTTR

ControllerController UMAC

Operating ControllerOperating Controller

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Conclusion

ProductivityProductivity

QualityQuality

生産率を最大化するため自動整列生産率を最大化するため自動整列

高生産性高生産性自動電力点検と補完機能自動電力点検と補完機能ローコスト維持費用ローコスト維持費用

表面の残骸が無い表面の残骸が無いlaser laser 利用しても資材で熱の被害が無い利用しても資材で熱の被害が無い

Laser Frit Sealing SolutionLaser Frit Sealing Solution

高精密ステージ整列高精密ステージ整列高仕様カメラで自動整列高仕様カメラで自動整列

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