geraetekatalog apz stand20070620 - batt-thueringen.de · hersteller: linos photonics gmbh ... •...

GERÄTEKATALOG

(Stand: 20. Juni 2007)

Impressum:

Betreibergesellschaft für Applikations- und Technologiezentren Thüringen mbH (BATT) Mainzerhofstr. 10, 99084 Erfurt Applikationszentrum Ilmenau Tel.: (03677) 20 10 - 100 Gustav-Kirchhoff-Str. 5 E-Mail: [email protected] 98693 Ilmenau I-Net: www.apz-ilmenau.de

Hardware Allgemeine Bürotechnik Seite 2 von 60

Inhaltsverzeichnis

1 Hardware .................................................................3

1.1 Allgemeine Bürotechnik.................................................. 3

1.2 Medientechnik............................................................... 3

1.3 Drucker / Zubehör......................................................... 3

1.4 Computer..................................................................... 4

2 Software...................................................................5

2.1 Standardsoftware für PC ................................................ 5

2.2 gerätespezifische Software ............................................. 5

3 Messtechnik .............................................................6

3.1 Optische Messtechnik..................................................... 6

3.2 Elektrische Messtechnik ............................................... 12

3.2.1 Netzgeräte............................................................ 12

3.2.2 Multimeter ............................................................ 14

3.2.3 Oszilloskope.......................................................... 16

3.2.4 Analysatoren......................................................... 21

3.2.5 Tastköpfe ............................................................. 23

3.2.6 Sonstige ............................................................... 26

3.3 Prüfgeräte und sonstige Messtechnik ............................. 36

3.3.1 Prüfanlagen, EMV, Klima,........................................ 36

3.3.2 Wägetechnik ......................................................... 41

3.3.3 Sonstige ............................................................... 45

4 Technologische Anlagen.........................................48

4.1 Mechanische Maschinen ............................................... 48

4.2 Anlagen der Hybrid- und Lasertechnik............................ 49

4.3 Anlagen Wafertechnologie ............................................ 58

Hardware Allgemeine Bürotechnik Seite 3 von 60

1 Hardware

1.1 Allgemeine Bürotechnik

1.2 Medientechnik

1.3 Drucker / Zubehör

Aktenvernichter IDEOL 2600-C/C Inventarnummer: BA-00001 BA-00014

Hebel-Schneidemaschine Inventarnummer: BA-00007

Overheadprojektor Famulus gamma 575MKO

Inventarnummer: BA-00002 BA-00003 BA-00004

Diaprojektor Silent 2500 IR Inventarnummer: BA-00005

Flip-Charts Mobil Inventarnummer: BM-00001 BM-00002 BM-00003 BM-00004

Beamer Inventarnummer: HW-00039 HW-00040 HW-00041

Videorecorder Philips VR 1200 Inventarnummer: HW-00042

Videorecorder DIVERS UNI Inventarnummer: HW-00030

Filmscanner Acer SCANWIT 2720S Inventarnummer: HW-00023

Videoschnittkarte DIVERS LINTEC Inventarnummer: HW-00031

Logitech QuickCam Web USB

Inventarnummer: HW-00069 HW-00070

Drucker Canon S4500 A3

Inventarnummer: HW-00057 HW-00058 HW-00067 HW-00068

Farbtintenstrahldrucker A4 Inventarnummer: HW-00084

Farb-Laserdrucker C710 DN color 16 ppm Inventarnummer: HW-00113

Laserdrucker s/w HP LaserJet 4100N Inventarnummer: HW-00114

HP ScanJet 7450C Inventarnummer: HW-00115

Hardware Computer Seite 4 von 60

1.4 Computer

PC zur Steuerung von Messabläufen (Zubehör: Monitor 19“)


LaborPC für Versuchsstände, ATX Midi 300W

Inventarnummer: HW-00011 HW-00012 HW-00013 HW-00014

PC PWS 530 XEON, 1,5 GHz (Zubehör: 17“ TFT-Monitor)

Inventarnummer: HW-00032 HW-00033 HW-00101 HW-00104 HW-00107

Steuerungs-PC für Prototypenkomparator (Zubehör: 19“ Schranksystem)

Inventarnummer: HW-00046

PC für Messungen, AMD Thunderbird 1GHz (Zubehör: Aktivboxen, 17“ TFT-Monitor, Webcam)


PC für Bauelementesimulation Inventarnummer: HW-00071

PC für Steuerung Waferprober Inventarnummer: HW-00075

Mess- und Entwicklungs-PC, stationär Inventarnummer: HW-00080

Labor-PC für Datenmanagement (Zubehör: 18“ TFT-Monitor)

Inventarnummer: HW-00085 HW-00086 HW-00087

Labor-PC für Datenerfassung (Zubehör: 17“ TFT-Monitor)


Notebook ASUS L8400, PIII850 Inventarnummer: HW-00008

Notebook ASUS B1500 - Medizintechnik Inventarnummer: HW-00079

Notebook Samsung P35 XVM 1600 II Inventarnummer: HW-00218 HW-00219

Portable PC Inventarnummer: HW-00009

PC Toshiba SatellitePro 4600/800X (zu MT-00153)


Mess- und Steuer-PC, mobiles Notebook Inventarnummer: HW-00081

Notebook Latitude C800 Pentium II Inventarnummer: HW-00109 HW-00110

Server AcerAltos 1200 Inventarnummer: HW-00024

Server PowerEdge 4400 1GHz/256 Inventarnummer: HW-00111

PC-DIVERS LINTEC Inventarnummer: HW-00026

CRD-Monitor DIVERS LINTEC Inventarnummer: HW-00028

Farbmonitor DIVERS MEDIA+ Inventarnummer: HW-00029

Flachbildschirm 17,4" Inventarnummer: HW-00054

Software Standardsoftware für PC Seite 5 von 60

2 Software

2.1 Standardsoftware für PC

2.2 gerätespezifische Software

Corel Draw 10.0 D Win Inventarnummer: SW-00006

Mathematica 4.1 Prof. Inventarnummer: SW-00007

AutoCAD 2002 Vollversion Inventarnummer: SW-00018

NuMega DevPartner for Visual C++ 6.5 Inventarnummer: SW-00019

MS Visual C++ Prof. 6.0 Inventarnummer: SW-00021

HP VEE Pro 6.0 PC PCI GPIB-Auto-Kit, 40 Lizenzen

Inventarnummer: SW-00023

Software ORCAD Inventarnummer: SW-00030

SolidWorks 2001 Dongle-Lizenz Inventarnummer: SW-00035

UNIX-Sparc Firewall 500Mz/256MB/18GB Inventarnummer: SW-00036

LAN Management 2.0 for WIN/SOL;CM... Inventarnummer: SW-00042

Entwicklungstools für Mikrocontroller VS 7.5r1 (5 User)


SPSS TableCurve 2D 5.01 Inventarnummer: SW-00003

SW-00004

LabVIEW-PDS/dt. (mit zu MT-00250)


SW-00031

SW-00048

Hybrid-Entwurfssoftware Inventarnummer: SW-00034

Waveform DSP 2 Inventarnummer: SW-00002

serielle Analyse-Software Inventarnummer: SW-00022

Mess- und Steuersoftware SigmaPlot5 Inventarnummer: SW-00032

Optical Design Software Inventarnummer: SW-00033

Check Point VPN-1 NG Gateway/100 Inventarnummer: SW-00037

Netzanalysesoftware Inventarnummer: SW-00044

Messtechnik Optische Messtechnik Seite 6 von 60

3 Messtechnik

3.1 Optische Messtechnik

CCD s/w-Digitalkamera, XCD-X700 Hersteller: Sony

• Digitale Schnittstelle IEEE-1394 • Mindestlichtstärke 4 lx (Blende geöffnet, Gain

+18 dB) • Übertragungsrate 400 MB/s • Bildwechselfrequenz 15 oder 7,5 Vollbilder pro

Sekunde • Bildaufzeichnungssystem 1/2"-IT CCD • Effektive Bildelemente 800.000, 1034 x 779 (H x V) • Videoformat XGA (1024 x 768) • Zellengröße 6,25 x 6,25 mm • Objektivfassung C-Mount-Fassung • Externer Shutter 1/100.000 - 2 s • Externer Trigger Shutter • Scalable-Funktion 16 Bereiche (4 x 4) • Betriebsspannung 8 – 30V DC • Leistungsaufnahme 3,0W • Abmessungen 44x 33 x116 mm (B x H x T) • Gewicht 250 g • Betriebstemperatur -5 bis 45 °C • Lagertemperatur -30 bis 60°C • Vibration 10G (20 - 200 Hz) • Stoßfestigkeit 70 G • Gain Control manuell (0 – 18dB) • Bestimmungen UL1492, FCC Class A Digital

Device, CE (EN50081-2 + EN50082-2), AS4251.1 + AS4252.2

Zubehör: • FireWire-Kabel

• Stativ RepStat 4 (MT-00019)

Inventarnummer: MT-00020


CCD Zeilenkamera UniLine-2048-35 Hersteller: Hommelwerke GmbH

• für Objektiv 35mm Rodagon • Watchdog in der Kamera • Die Triggerquellen für den Zeilen- und Bildeinzug können

direkt an der Kamera angeschlossen werden. Die Ver-sorgung erfolgt aus der Kamera.

• einstellbare Belichtungszeit im freilaufenden und inkre-mentalgebergesteuerten Betrieb

• einstellbarer Vorteiler für die Zeilentriggersignale vom Inkrementalgeber

• freilaufender Betrieb der Kamera • einfache Betriebsspannung +12V DC • interner oder externer Masterclock • Belichtungszeit Steuerung • sehr empfindlich (40V / x*s) • über Steuerbits programmierbares Gain • sämtliche Trigger und Steuerfunktionen über das Frame

Grabber Interface implementiert

Leistungsmerkmale: • Ausgangssignal digital • System monochrom • Chipgeometrie Zeilen • Auflösung Bildpunkte 1x2048 (HxV) • Pixelabmessungen 14x14 (HxV) • Betriebsarten freilaufend + synchonisiert • Frame Rate 4800 Scany/sec • Electronic Shutter • Gammawerte 1 und 0,5 • Dynamikbereich 8 bit • Lichtempfindlichkeit 30 V/lux sec • Spektralbereich 400-900nm • Schnittstellen LVDS

Zubehör: • Frame Grabber MATROX METEORII-DIG/4L • Interfacekabel UniLine-2048 auf METEORII (5m) • CAM-Power Montageset für die 12V Versorgung der Ka-

mera aus dem Rechner • Rodagon 28 1:4 M32,5 x 0,5 (MT-00024) • Rodagon 35 1:4 M39 x 1/26’’ (MT-00025) • Adaptionsbus 28

Dokumentation: Bedienungsanleitung

Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/download/MT-00023.pdf



Auflichtmikroskop "Axiotech" und Zubehör Hersteller: Carl Zeiss

• PVC-Netzanschluss-Leitung 2,5m • B 40-020 d Axiotech/Axiotech vario • Mikroskopunterlage • Werkzeugtasche • Objekthalter mit Federhebel R • Objekthalter A (für Auflicht) • Adapter für Tischträger D zu "Axiotech" • Tisch- und Kondensorträger D • Abbe-Kondensor 0,9/1,25 inklusive Dunkelfeldblenden

0,25/0,9 und 0,65/0,9, steckbar • 2 St.Halogenlampe 6V 30W • Reflektorschieber HD DIC • Neutralfilter 0,06; d=32x2 • Neutralfilter 0,25; d=32 • Konversionsfilter 3200-5500 K, d=32x2 • Staubschutzhülle K • 2 St. Halogenlampe 12V 100W • Objektiv "Epiplan" 5x/0,13 HD, 10x/0,20 HD, 20x/0,40

HD, 50x/0,70 HD, 100x/0,75 HD • DIC-Prisma mit Feineinstellung für Objektive "Epiplan" • Kompensator Lambda (zu o. g. Prisma) • 2 St. Okular W-PL 10x/23 Br. foc • 2 St. Augenmuschel • Video-Adapter 60 C 2/3" 1,0x

weiteres Zubehör: • Binokularer Fototubus 20°/23 (MT-00046) • Kreuztisch 75x30 R mit tiefliegendem Tischtrieb

(MT-00047) • 3D-Control DSA-3 (MT-00050) • Okular PL 10x/25 (20) Br. foc. (MT-00051, MT-00052) • 3D-Beleuchtungsshutter (MT-00053) • Dunkelfeldringlicht A22780 (MT-00041) • Dombeleuchtung, Polytec LAD LAW3 2080 (MT-00042) • Metalldampflampe HQI-R 150 W-hf (MT-00043) • Industriestroboskop BVS 020 (MT-00044)



Dunkelfeldringlicht A22780

• faseroptisches Dunkelfeld-Ringlicht • Innendurchmesser 102 mm • Außendurchmesser 134 mm • mit parabolischem Reflektorring (ohne Reflektor als

Ringlicht für große Distanzen nutzbar) • für Objektivdurchmesser 57-96 mm (weitere Befesti-

gungsmöglichkeit über rückseitige Gewindebohrungen) • Glasfaser-Lichtleiter mit Fostec-Ferrule • min 700 mm Länge



Dombeleuchtung, Polytec LAD LAW3 2080 Hersteller: Polytec GmbH

industrietauglicher LED-Lichtdom für intensive, homogene, diffuse Objektbeleuchtung, • weiße LED • Lichtöffnung (objektseitig) d = 54 mm • kameraseitige Öffnung d = 30 mm • Kugeldurchmesser d = 100 mm 24 V DC - Spannungsversorgung über 1m-langes Kabel für Dauerlicht und Stroboskop-Betrieb geeignet Testnetzteil für Dauerlicht- und Stroboskop-Betrieb (Blitz-licht) der LED-Beleuchtung • 24 V DC +- 5% • 1 A regelbar • "long flash"-Modus • einstellbare Blitzperiode von 50 bis 1500 ms • manuell, intern (1-50 Hz) und extern triggerbarer Blitz


Mikro Fokus Laser System Hersteller: Laser 2000 GmbH

bestehend aus Laserdiode, Elektronik und Linienoptik, • 635 + 10 nm, • 15 mW Leistung, 5 V, • 10 Grad Öffnungswinkel, • Linienstärke in der Mitte kleiner 9 Mikrometer, • Arbeitsabstand 30 mm vorfokussiert, • vergütete Kollimatoroptik, Diodenlasermodul • 670 nm, 30 mW, 5V • Verpolungs-, Überspannungs- und Temperaturschutz • freies Gehäusepotential • homogene Leistungsverteilung über die Linie • fokussierbar, mit auswechselbaren Projektionsoptiken passende Linienoptik: • 15 und 30 Grad Öffnung, vergütete, fokussierbare Glas-

optik (MT-00029, MT-00030) • passende Mehrlinienoptik: 3fach, 30 Grad Öffnung, ver-

gütete, fokussierbare Glasoptik (MT-00031) • passende Montagehalterung für Mikro Fokus Lasersys-

tem, metrisches Anschlussgewinde (MT-00032) • Montage-Set mit Justiervorrichtung für Diodenlasermo-

dul bestehend aus justierbarem Kugelhalter (+/-15 Grad) und Grundplatte zur Befestigung (MT-00033)




Industriestroboskop BVS 020 Hersteller: Polytec GmbH

• Faseroptisches Stroboskop • max. 20 Blitze / s • Blitzenergie: 10exp8 Blitze • regelbare Lichtintensität • Faserbündeladapter Fostec kompatibel



Optisches Mess- und Inspektionsgerät Hersteller: 4H-Jena engineering GmbH

Grundgerät OMIG 3-50 Optisches Mess- und Inspektionsgerät sowohl zur Messung von geometrischen Größen im Bildfeld als auch für die Mes-sung geometrischer Größen an Flachteilen über die gesamte Prüflingsfläche im Messbereich sowie für Schichtdickenmes-sungen im Bereich von 1 bis 50 Mikrometer • Portalsystem Prüfling fest, Optik beweglich • Messbereich XY => 350 x 350 mm • Messbereich Z => 50 mm • CNC-Steuerung • Hartgesteinbasisplatte mit Präzisionslinearführungen • max. Positioniergeschwindigkeit > 90 mm/sec • Messgenauigkeit über Gesamtbereich <= +5 Mikrometer • Messsystem Auflösung <= 0,2 Mikrometer • Zoom-Optiksystem 1:7, motorischer Zoom, Autozoom • Vergrößerung 150-1000 • Ringlichtauflichtbeleuchtung • frei wählbares Koordinatensystem mit softwaregestützter

Lagekorrektur • Koordinatentransformation • Messung von geometrischen Elementen, die größer sind

als der Bildbereich • nichtlineare Fehlerkorrektur

Zubehör: • PC, Tastatur, Maus • 2 Monitore NOKIA 447 ZiPlus • Software mit Funktionen zur Speicherung und Dokumen-

tation der Messergebnisse und Prüflingsbilder • Softwarepaket zur Tischprogrammierung und -steuerung

einschließlich Joystick und Teach-in-Betrieb • 2 CCD-Kameras (TELI CS8420C)

Dokumentation: • 1 Bedienungsanleitung, • 1 x Softwarebeschreibung 3D-Tischsteuerung



Baukastensystem (optische Teile) Hersteller: LINOS Photonics GmbH

Optische Teile für ein komplettes Experimentiersystem für optische Aufbauten u. Untersuchungen bestehend aus: • Mikrobank-Satz, Optik • Miniaturmodulatorsystem VIS

• Minimod. VIS, • Wellenlänge 410 - 700 nm, • Modulationsfrequenz, analog DC bis 60 MHz, • Treiber, Netzgerät

• Linsenkit, optimiert f. Mini-Modulator • einstellbarer Photoempfänger DLPCA-200 • Pockelszelle FPZ 22 • Pockelszellen-Treiber QSD 5 • Xenon Kaltlichtquelle LQX 1800 • Flüssigkeitslichtleiter LLG 8 IR, 1m

Leistungsmerkmale: http://www.linos.com/pages/home/shop-mechanik/ banksysteme/mikrobank/starten/mikrobank-saetze/


Baukastensystem (mechanische Teile) Hersteller: LINOS Photonics GmbH

Mechanische Teile für ein komplettes Experimentiersystem für optische Aufbauten u. Untersuchungen bestehend aus: • Labortisch, 900x1500x100mm mit Micro-g (vordere &

hintere Aufnahmeschienen, 2 Ablageflächen 250mm/ Labortische B=900mm, 2 gepolsterte Armauflage, Transportrollen

• Mikrobank-Satz, Mechanik • 4 St. Würfel 25 • 4 St. Würfel 30 • 2 St. XY-Verschiebung • 2 St. Justierfassung, 31.5 m • große Zusammenstellung 07 • Koordinatenmesstisch x.act XY 150 ST • Lineartisch x.act LT 150 ST • x.act Montagewinkel • x.act RT 120 ST • Schrittmotorcontroller x.act control ST4 • PC-x.act control DC1 • 5 Motoranschlusskabel STM 6-2.5 • 4 Steuerkabel STD 8-2.5 • Steuerkabel RS-232, • Kreuztisch XY 200-40-S PV • 2 Torque Drive TD 1-200 • 2 Goniometertisch 60-60 • 2 Drehtisch RT 120 • 2 Hebetisch HT 120-10

Leistungsmerkmale: http://www.linos.com/pages/home/shop-mechanik/ banksysteme/mikrobank/starten/mikrobank-saetze/


Messtechnik Elektrische Messtechnik Seite 12 von 60

3.2 Elektrische Messtechnik

3.2.1 Netzgeräte

Dreifach-Labornetzgerät E3631A Hersteller: Agilent Technologies

3 Ausgänge: 0 bis +25 V, 1 A; 0 bis -25 V, 1A; 0 bis 6 V, 5 A Lastkontrolle <0,01%, Brummspannung < 350µV normal mode Schaltzeiten 50 µs entspricht IEC 1010.1 GP-IB und RS-232 Programmierung

Dokumentation: Bedienungsanleitung, dt. und Service Guide, engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 04.10.2001 (MT-00096 - MT-00098), 37.10.2001 (MT-00167), 11.10.2001 (MT-00179)

Inventarnummer: MT-00096, MT-00097, MT-00098, MT-00167, MT-00179

Labornetzgerät 200 W, HP E3634A Hersteller: Agilent Technologies

• 1 Ausgang, 2 Bereiche: 0-25 V, 7 A und 0-50 V, 4 A • Überspannungsschutz, Lastkontrolle <0,01% • Brummspannung < 500µV normal mode • Schaltzeiten 50 µs; entspricht IEC 1010.1 • GP-IB- und RS-232-Programmierung

Dokumentation: Bedienungshandbuch, dt. und Service Guide, engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 27.09.2001 (MT-00093), 03.10.2001 (MT-00094), 02.10.2001 (MT-00095), 02.10.2001 (MT-00166), 05.10.2001 (MT-00178)


GPIB-Systemnetzgerät, HP 6612C Hersteller: Agilent Technologies

Ausgang 0 bis 20 V, 0 bis 2 A Spannungs-Messung 0,03% Genauigkeit Strom-Messung 0,1% Genauigkeit Lastkontrolle 2mV/500µA Brummspannung 500µV/3 mV Schaltzeiten 100 µs entspricht EEC 89/336 GP-IB und RS-232 Programmierung

Zubehör KIT-ALT FUSE/LBL (Sicherung)

Dokumentation: Bedienungsanleitung, dt./engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 29.10.2001

Inventarnummer: MT-00099, MT-00100


Vorverstärker, Agilent 11909A Hersteller: Agilent Technologies

• Frequency range 9 kHz to 1 GHz (-3 dB) • Amplifier gain 32 dB ± 1.5 dB @ 100 MHz • Gain flatness ± 0.5 dB (25 kHz to 800 MHz) • Noise figure 2.5 dB max (1.8 dB typical) • Output power @ 1 dB compression +10 dBm • Impedance 50 ohms • Input return loss 8 dB • Output return loss 10 dB • Reverse isolation 35 dB • Maximum input ±24 mV for linear operation (approximate) • Input damage level ±2 V d.c. General Specifications • Temperature range Operating 0 °C to 55 °C Storage –25 °C to 75 °C • Power requirements 100, 120, 220, or 240 V AC ±

10% 50 to 60 Hz, 10 VA • Weight 3.3 lbs/1.5 kg • Dimensions 91 mm H, 109 mm W,

183 mm D 3.6” H, 4.3” W, and 7.2” D

• Input/output connector Type “N”



Mittelspannungsnetzgerät MYN 14000-1250 Hersteller: F.u.G. Elektronik GmbH

Spannung 0 – 1250 V Strom 10 A Breite 19“ /600 mm Höhe 29 HE / 1500 mm Tiefe 600 mm Netzanschluss 400 V + 10%, 47 – 53 , dreiphasig Einstellbereich 1 – 100% Einstellauflösung + 1 x 10-4 Restwelligkeit <1 x 10-2ss + 100 mVss Regelzeit <100 ms bis 500 ms für Laständerung Einstellzeit bei Nennlast <100 ms bis 2 s für Änderung der Ausgangs- spannung von 10% auf 90% bzw. umgekehrt Entladezeitkonstante bei unbelastetem Ausgang: ca. 5 bis 60 s Regelabweichung bei +10% Netzspannungsänderung <+ 1 x 10-4 bei Leerlauf/Vollast: <+ 1 x 10-3 über 8h unter konst. Bedingungen <+ 3 x 10-4

bei Temperaturänderungen <+ 3 x 10-4 /K




3.2.2 Multimeter

DC-Quelle/Senke programmierbar/GPIB Hersteller Yokogawa-nbn GmbH

• DC-Ausgangsparameter: 10pA … 1A, 1µV … 20V 10pA … 100mA, 1µV … 200V • Genauigkeit < 0.1 % • Trigger in/out • 230 V Netzanschluss • GPIB-Interface


Digital-Multimeter, 6.5-stellig, HP 34401A Hersteller: Agilent Technologies

• Spannung/Strom/Widerstands-Messung • Temperatur-Messung mit 0,001° C Auflösung • maximale Eingangsspannung in allen Bereichen mindes-

tens 500 V • 1000 Messungen pro Sekunde - einschließlich GP-IB

Bus-Transfer • Genauigkeit: 15 ppm/24 Stunden bzw. 35 ppm/Jahr • interner Speicher für 512 Messungen • Mathematik-Funktionen: null - min/max/mittelwert - db

- dbm - limit • GP-IB und RS-232-programmierbar mit SCPI- und

3478A-Befehlen • entspricht IEC-348

Zubehör: • Test Lead Std. KIT-34401A • CD Rom IntuiLINK for Multimeters • RS-232 Kabel • Netzkabel

Dokumentation: • User Guide, engl. • Service Guide, engl. • Quick Reference Guide, engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 04.10.2001 (MT-00059, MT-00060), 05.10.2001 (MT-00061), 03.10.2001 (MT-00168), 17.10.2001 (MT-00180)


Inventarnummer: MT-00059, MT-00060, MT-00061, MT-00168, MT-00170, MT-00172, MT-00180


Digital-Multimeter, 8.5-stellig, HP 3458A Hersteller: Agilent Technologies

• Spannung/ Strom/ Widerstands-Messung • 100.000 Messungen pro Sekunde • programmierbare Integrationszeiten von 500 ns bis 1 s • bei Spannungsmessung – 10 nV Auflösung • Transfer-Genauigkeit 0,05 ppm Ablesung + 0,05 ppm

Bereich • 4 ppm Referenz-Stabilität pro Jahr • Eingangsimpedanz > 10 Gohm • interner Speicher für 75.776 Messwerte • GP-IB programmierbar

Zubehör • 2x Sicherung 3458ADisplay-Aufkleber

Dokumentation: Bedienungsanleitung, dt./ engl.



Digitalmultimeter Fluke 87 III Hersteller: FLUKE Deutschland GmbH

Das 3 ¾ stellige Display mit 4.000 Digit Anzeigeumfang wird 4 Mal/s aktualisiert, das analoge Display 40 Mal/s.

Zoom-Modus für höhere Auflösung der analogen Messwert-anzeige

Sicherheit:

Alle Bereiche sind gegen Überlast geschützt: Spannungen bis 1.000V DC und 1.000 Veff; Widerstand bis 1.000 Veff.

Alle Stromeingänge sind mit Hochenergie-Sicherungen ge-schützt, auch der 10 A-Bereich.

Zugelassen für UL3111, CSA C22 C22.2 Nr. 1010 und TÜV nach EN61010.

Leistungsmerkmale: • DC-Spann.: 400.0V, 4.000V ±(0,1%+1) • AC-Spann.: 400,0mV, 4.000V, 40,00V,

±(0,5%+2) • DC-Strom: 400,0µA, 4.000mA, 40,00A, 400,0mA

±(0,4%+3) • AC-Strom: 400,0µA, 4.000mA, 40,00mA,

±(1,2%+2) • Widerstand: 400-40,00M ±(0,4%+1) • Leitwert: 40,00µs ±(1,0%+10) • Kapazität: 5nF-5µF ±(1,0%+3) • Frequenz: 199,99Hz, 1.999kHz, 19,99kHz,

199,9kHz ±(0,005%+1)

Zubehör: • 2 Kabel, 2 Adapterstecker • Schutzhülle • CD-Produktinfo

Dokumentation • Handbuch • Kurzanleitung




3.2.3 Oszilloskope

Digitales Oszilloskop, LT374 Hersteller: LeCroy

Vertikales System: Analoge Bandbreite 500 MHz Bandbreiten-Begrenzung 20 MHz oder 200 MHz Eingangsimpedanz 50 Ohm; 1MOhm /12 pF typisch Eingangskopplung 1 MOhm, AC, DC, GND, 50 Ohm Maximale Eingangsspannung @50 Ohm: 5 Vrms; @1MOhm: 400 Vmax Vertikale Auflösung 8 bits Eingangsempfindlichkeit 1MOhm: 2mV- 10V Probeskalierung automatisch oder nutzerdefiniert Zeitbasissystem: Zeitbasisbereich 500 ps/div -1000 s/div Clockgenauigkeit 10ppm Externe Clock 500 MHz maximum, Roll Mode 500 ms -1000 s/dw oder Abtastrate <100 kS/s max Erfassungssystem: Einzelschussabtastrate 4x2GS/s, oder 2x4GS/s Repetierende Abtastrate 50 GS/s Erfassungsspeicher 4x250 kByte o. 2x500 kByte, optional bis 4x4 Mbyte ausbaubar Segmentiermodus 2-1000 Segmente (bis 6000 Segmente bei vollem Speicherausbau) Triggersystem: Modes Normal, Auto, Single, and Stop Triggerkopplung DC, AC, HF-rejection, NF-rejection Triggerdelay bis 20s oder bis 99 Mio Ereignisse Quellen alle Erfassungskanäle sowie externer Triggereingang Triggerarten: - Flanke, positiv oder negativ oder Fenster - Pulsbreite von 2,5ns bis 20s - Intervall von 10ns bis 20s - Pattern Trigger (logische Verknüpfung mit bis zu fünf Eingängen) - Dropout Trigger Messmöglichkeiten: Cursormessungen, Parametermessungen


Signaldarstellung: Bildschirm 8,4 Zoll TFT-Farbbildschirm, VGA-Auflösung Signaldarstellung - bis zu 8 Signale gleichzeitig, - X-Y Darstellung mit gleichzeit. X-T Darstellung Zoommöglichkeiten: - bis Faktor 50000 horizontal, 50 fach vertikal - verkettete Zoom und Mathematikfunktionen Darstellung von Signalvariationen über die Zeit mit Häufig-keitsindex Weitere technische Spezifikationen: • interne Signalspeicher für Referenzsignale in voller Spei-

chertiefe • internes 1,44 MByte Floppy Laufwerk • serielle, GPIB, Centronics und VGA Schnittstelle • Fernsteuerbarkeit aller Funktionen inklusive der Probes

über serielle und GPIB-Schnittstelle • Schnelle Signalverarbeitung und schnelle Reaktionen bei

Fernsteuerbefehlen • 4 passive 10:1 Probes, 500MHz

Zubehör: • LTXXX-EMM (Extended Math & Meas. Soft. OP) - integ-riert

• 4 St. Tastkopf 10/1 • Anschlusskabel • Netzkabel • 500 MHz aktive Differenztastköpfe AP033

(siehe MT-00011, MT-00012)

Dokumentation • Bedienungsanleitung




Infinium 4 Kanal Oszilloskop, HP 54835A Hersteller: Agilent Technologies

• mit 4Gsa/s Abtastrate und 1GHz Bandbreite • Speichertiefe bis zu 65536 Punkte pro Kanal • Eingangsimpedanz 1 Mohm +/- 1% @12 pF • 8 bit vertikale Auflösung (12 bit mit Mittelwertbildung) • Maximale Eingangsspannung +/- 100 V (AC +DC) @ 1

Mohm - 5Vrms @ 50 Ohm • Empfindlichkeit 2 mV bis 2 V pro Division @ 1 Mohm

bzw. 2 mV bis 1 Volt pro Division @ 50 Ohm • Zeitbasis 100 psek/Division bis 20sek Zeitbasis • Genauigkeit 70ppm • Zeitbasis Auflösung 2 psek • Trigger Empfindlichkeit:

Intern: • DC bis 100 MHz 0,5 Division • 100 MHz bis 500 MHz 1 Division • 500 MHz bis 1 GHz 1,5 Division Extern: • DC bis 500 MHz 300 mVss Minimum

Trigger Pulsbreite 500 psek @ >1 Division • Triggerarten: Bitmuster, Edge, Glitch, Status, Zeitverzö-

gerung, Video, Netz, Trigger Holdoff 60 nsek – 320 msek • 8,4 Zoll Farb TFT Bildschirm mit 640*480 Punkten • Schnittstellen: IEEE488.2 und RS232 und Drucker-

Centronics und USB und PS2 Maus und PC Tastatur und VGA 15pin Ausgang

• 5 Gbyte Festplatte, internes 120Mb Diskettenlaufwerk • Dateiformate: ASCII + Microsoft EXCEL Formate + BMP

+ PCX +TIF + GIF +EPS • automatische Erkennung der Tastköpfe (Skalierung +

Stromversorgung) • LAN Schnittstelle IEEE 802-3 • Interne Deutsche Hilfefunktion, Deutsche Bedienungsan-

leitung • Aktivtastkopf 2,5 GHz Bandbreite 0,6 pF Eingangskapazi-

tät • 1GHz Differentialtastkopf

Zubehör • 4 St. Passive Probes 1161A bzw. 1165A • Software Infinium IntuiLink, Ver 1.0 • Software LS120 Recovery (SW-00024) • WIN98 Certif. of authenticity (SW-00025) • Tastatur und Maus (MT-00118 bzw. MT-00123) • Netzkabel • Aktivtastkopf 1152A (MT-00083, MT-00084) • 1-GHz-Differentialtastkopf 1159A

(MT-00085, MT-000 86) • Zeitkorrelationsadapter Agilent E5850A mit Zubehör

Dokumentation • Programmers quick ref., engl. • user´s quick start, engl. • service guide, engl. • Bedienungskurzanleitung, dt.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 21.09.2001 (MT-00081), 25.09.2001 (MT-00082), 03.01.2002 (MT-00122)


Inventarnummer: MT-00081, MT-00082, MT-00122


Zweikanal Oszilloskop, Agilent 54622A Hersteller: Agilent Technologies

• 200 MSa/S • 100 MHz Bandbreite • 2MB Speichertiefe pro Kanal • RS232- und Drucker-Schnittstelle • 1,4 MByte Diskettenlaufwerk • FFT Funktion

Zubehör: • RS-232-Kabel • Ausgabe Software IntuiLink 54600 V3.0

Dokumentation • Benutzerhandbuch (dt.) • Service guide • Programmers guide (engl.)



2+16-Kanal-60 MHz-MegaZoom-Oszilloskop, Agilent 54621D Hersteller: Agilent Technologies

• 2 Kanäle analog, 16 Kanäle digital • Samplerate 200 MSa/s • Tastköpfe 2x analog, 16x digital • hochauflösender Bildschirm • flexible Triggermöglichkeiten (Flanke, PW, Muster, I2C,

TV) • 2 MB Speichertiefe pro Kanal, Transfer des Speicherin-

haltes über den Bus • RS232- und Parallel-Interface, GPIB vorbereitet

Zubehör: • 10:1 150 MHz Oszilloskope Probes (2 Stck.) • Probe KIT • Kommunikationssoftware zum PC • Zubehörtasche und Frontplattenabdeckung

Dokumentation: • Handbuch und eingebaute Hilfe in deutsch • Benchlink EX Note, engl. • Service-Guide, engl. • Programmers Guide, engl.





Universelles Mess-Oszilloskop, FLUKE ScopeMeter 199 Hersteller: FLUKE Deutschland GmbH

• Darstellung: Eingang A, Eingang B, Dual, gemittelt, invertiert, Wiederholung

• Betrieb: Normal, Automatik, Einzeln • Trigger und Verzögerung: Trigger A oder B, extern • alle potentialfrei • freie Triggerung, Einzelschuss, Verzögert, einstellbare

Pulsbreite Video: • NTSC, PAL, PAL+, SECAM • Automatische Speicherung von 100 Bildschirminhalten Voltmeter: • Eingang 8 mm Bananenstecker, potentialfrei • maximale Auflösung 5.000 Schritte • Messbereiche 500 mV, 5V, 50 V, 500V • Widerstandmessung Bereiche 500, 5k, 50k, 500k, 5 M,

30 M Ohm • andere Funktionen Dioden Tester bis 2,8 V • Strommessung DC und AC von 0,1 mV/A bis 100V/A • Temperatur: 1 mV/°C • Eingangsimpedanz 1 MOhm bei 10 pF Sonstige Eigenschaften: • helles LCD-Display mit 240x240 pixel, 105x79 mm² • Stromversorgung 220V Netz, wiederaufladbare Akkus • IR-Interface zu gängigen Druckern und zum PC nach

Standard

Leistungsmerkmale: • Bandbreite 200 MHz • Anstiegszeit < 1,7 ns • 2 potentialfreie Eingänge plus Trigger • Eingangsempfindlichkeit 5 mV/div bis 100V/div • vertikale Auflösung 8 bit • Eingangsimpedanz 1 MOhm bei 15 pF • horizontal 2,5 Gsa/s • Zeitbasis 5 ns/div bis 5 s/div • Zoom: bis zu 8fach horizontal



3.2.4 Analysatoren

HF-Netzwerkanalysator, HP 8753ES Hersteller: Agilent Technologies

• 30 kHz – 6 GHz • integriertes S-Parameter Test • RS232-, Parallel und IEEE 488 Schnittstelle • Messungen im Zeitbereich • konfigurierbarer Signalpfad im Testset zu den Detekto-

ren • Farb TFT Display • 1,4 Mbyte Disketten Laufwerk

Zubehör: • Kalibriersatz APC 3,5mm, 30 kHz - 6 GHz (MT-00057) • 2“Kabel Koaxalkabel APC 3.5 • IntuiLink Software

Dokumentation • Benutzerhandbuch, dt./ engl. • User and Servide Guide for Calibration Kit, engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 05.10.2001, 2 Test-Zertifikate vom 20.08.2001



Präzisions-Impedanz-Analysator, HP 4294 Hersteller: Agilent Technologies

• 40 Hz-110 MHz • mit DC-Vorspannungsquelle 40 V • Farbbildschirm • LAN-/GPIB-/Drucker-/VGASchnittstellen • 10 MByte Speicher • Diskettenlaufwerk • zwei E/A-Messanschlüssen und umfassenden Analyse-

funktionen • Testadapter für axiale Bauelemente

Zubehör • 100 Ohm Widerstand für Impedanz Analysator • Testadapter für axiale Bauelemente 16047 E • Tastatur (MT-00069) • Sample Program Disc

Dokumentation • Programming und Operation Manual, engl.




Logikanalysator modular, HP 16700B Hersteller: Agilent Technologies

bestehend aus Grundgerät 256 MByte Systemspeicher, 4 MByte Videospeicher, aufgerüstet auf 136 Kanäle, Status- und Zeitanalysemodule mit 167 MHz Status- u. 167 MHz Zeitanalyse, gemeinsame Zeitbasis, erweiterbar auf 340 Kanäle • 200 MHz Vektor-Bitmustergenerator, 32 kByte Speicher-

tiefe, 20 Kanäle oder 40 Kanäle bei 100 MHz, TTL und Tristate, TTL- und CMOS-Kabelsatz

• Abschlusswiderstände 100 kOhm, hochkompakter Ab-schlussadapter und Mikro-Konnektorkit

• 256 MB Systemspeicher / 4 MB Videospeicher

Zubehör: • LA-Karte 512 kB, HP 16716A (MT-00071) • 200M Vektoren/s Patterngenerator, HP 16522A

(MT-00072) • Quellkode Korrelationswerkzeug, HP 4620B (MT-00073) • 38-poliger Tastkopf, E5346A (MT-00074) • Isolation Adapter 100 KOHM (MT-00075 - MT-00078) • MICTOR CONNECTORS-KIT of 5 (MT-00079) • serielle Analyse-Software (SW-00022) • Maus, verschiedene Kabel

Dokumentation: • Installation Guide 16700B • Training Guide • Handbuch 16716A Logic Analyzer (LA-Karte) • User’s Guide 16522A (Patterngenerator) • Installation Note E5346A (38-poliger Tastkopf) • Operation and Service Manual 16047E • User’s Guide Pattern Generator

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 23.08.2001 (MT-00071)




3.2.5 Tastköpfe

HF-Vektor-Signalanalysator, HP 89441A Hersteller: Agilent Technologies

• Spektrumanalysator DC bis 2,65 GHz • DSP-basierende Analysefunktionen • AM-, FM- und Phasendemodulation • BPSK, QPSK, Offset-QPSK, DQPSK, pi/4-DQPSK,

8PSK,16…256 QAM, MSK, 2/4-FSK, 2-16 VSB • LAN-Schnittstelle • 10 MHz Basisbandquelle • Farbbildschirm, Diskettenlaufwerk, erweiterbar durch

optionale Analysesoftware, • nachrüstbare Funktion: UMTS/3GPP/W-CDMA-Analyse -

CCDF-Messungen, EDGE Modulation, DVB-T COFDM-Analyse

Zubehör: • zweiter 10 MHz-Eingangskanal zu Kreuzkorrelations-, Kohärenz- und Frequenzgang-Messungen, 89410A (MT-00089)

• MSample Zeiterfassungsspeicher (MT-00090) • Dreidimensionale Darstellung mittels Wasserfall- und

Spektrogrammdarstellung (MT-00091) • Interne Hochfrequenzquelle, 89431A (MT-00092) • Netzkabel • Con-Adapter STR FB 1250-0780 (2 Stück) • Con-Adapter BRG FB 1250-1499 (1 Stück)

Dokumentation: • Einführungshandbuch, dt. • Benutzerhandbuch, dt. • englischsprachige Dokumentation

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 03.10.2001 (MT-00088), 15.10.2001 (MT-00092)


500 MHz aktiver Differenztastkopf für ProBus, AP033 Hersteller: LeCroy

• 500 MHz Bandwidth • x10 Gain to ÷10 Attenuation Range • 10,000: 1 DC CMRR

• • 2 pF/Side Input C • 200 µV/div - 10 V/div • Input ESD Protection • Autobalance Feature




Differentialtastkopf 200 MHz, Agilent 1153A Hersteller: Agilent Technologies

Dokumentation: Benutzerhandbuch, engl.



1-GHz-Differentialtastkopf, HP 1159A Hersteller: Agilent Technologies

zu Infinium 4 Kanal Oszilloskop, HP 54835A (MT-00081 und MT-00082)


Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 03.04.2001 (MT-00085), 18.04.2001 (MT-00086)


Aktivtastkopf, HP 1152A Hersteller: Agilent Technologies

zu Infinium 4 Kanal Oszilloskop, HP 54835A (MT-00081, MT-00082, MT-00122) • 2,5 GHz, 0,6 pF





Zweikanal-Aktivtastkopf 750 MHz, Agilent 1155A Hersteller: Agilent Technologies




Aktivtastkopf 1,5 GHz, Agilent 1156A Hersteller: Agilent Technologies

• 1.5 GHz bandwidth • Small size makes probing easier • 100 k-ohm, 0.8 pF, non-resonant input impedance • +/- 15 V offset • V peak-to-peak dynamic range • Accessories designed for minimal device loading and

optimum response • Compatible with the Infiniium AutoProbe Interface

Zertifikat: Functional Test Certificate vom 23.04.2002

Dokumenatation: User´s Guide, engl.


38-poliger Tastkopf, HP E5346A Hersteller: Agilent Technologies

mit 40-pin Kabelstecker High-Density Termination Adapter Die Agilent E5346A Mictor Probe bietet eine einfache und sichere Verbindung mit dem Prüfling. Diese Probe kann mit jedem Agilent Logik Analysator mit 40-pin Kabelstecker (z.B. HP 16500 Serie und HP 16700 bzw. HP 1650/51) eingesetzt werden.

Leistungsmerkmale: • 34 Kanäle, single-ended Clock und Daten • sehr geringe Eigenkapazität (3.0 pf) • für Datenraten bis 600Mb/s (abhängig vom benutzten

Analysator) • 500 mV p-p minimale Signal Amplitude • der schmale Stecker ist einfachst einzubauen in Agilent

Nummer 1252-7431 oder AMP Nummer 2-767004-2



3.2.6 Sonstige

Hochstrom-Kennlinienschreiber 371A Curve Tracer Hersteller: Tektronix

• Peak Power: 3000 Watt • High Current Range 30 V, Peak Current 400 A, Peak

Power 3 kW (pulsed) • Range 30 V, Peak Current 40 A, Peak Power 300 W • High Voltage Range 3 kV, Peak Current 40 mA, Peak

Power 30 W • Range 3 kV, Peak Current 4 mA, Peak Power 3 W • Range 300 V, Peak Current 4 mA, Peak Power 300 mW • Range 300 V, Peak Current 0,4 mA, Peak power 30mW • Maximum Power Setting: Vertical Range (1-2-5 incre-

ments) • 3kW 1A/div to 50 A/div • 300 W 500mA/div to 5 A/div • 30 W 100 µA/div to 5 mA/div • 3 W, 300 mW 10 µA/div to 500 µA/div • 30 mW 1 µA/div to 50 µA/div • Kelvin Sensing Adapters: In-line Transistor TO3/TO66 • Axial Lead Diode Adapter • Fully Programmable (GPIB) • Waveform Comparison • Waveform Averaging • Envelope Display • Dot, Windows, Line Cursor



IEEE488 Interface für PC Hersteller: National Instruments

• Completely IEEE 488.2 compatible • FIFO buffers to decouple GPIB transfers from PCI trans-

fers • Maximum GPIB transfer rates

• more than 1.5 MB/s (IEEE 488.1) • more than 7.7 MB/s (HS488)

• Universal PCI/PXI connector for operation in 5 V and 3.3 V slots

• PCI-GPIB+ adds GPIB analyzer functionality • PCI-8232, PXI-8232 add Gigabit Ethernet controller

functionality




Funktionsgenerator 15 MHz, HP 33120A Hersteller: Agilent Technologies

• Funktionsgeneratoren 15 MHz • Sinus/Rechteck 100µHz bis 15 MHz • Dreieck/Rampe 100µHz bis 100 kHz • beliebige Kurvenformen bis 16.000 Punkte - 12 Bit Auf-

lösung - 40 Msa/s • Modulation intern/extern: AM-FM-FSK-Burst • Lineare und logarithmische Wobbelung • GP-IB und RS-232 programmierbar

Zubehör: • Software IntuiLink 1.1 • Software HP 34811A Benchlink Arb

Dokumentation: • Benutzerhandbuch, dt • Service-Guide, User’s Guide, Quick Reference, engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 02.10.2001 (MT-00005, MT-00169), 03.10.2001 (MT-00177)



universeller HF Signal Generator, HP E4400B Hersteller: Agilent Technologies

• 250 kHz – 1GHz, • IEEE488 Schnittstelle • AM, FM und Phasen-Modulation • Frequenz- und Leistungsstufenwobbelung • umrüstbar zum Digitalsignalgenerator (Digitale Modula-

tion), • aufrüstbarer Frequenzbereich • elektronischer Abschwächer

Zubehör: Software ESG Supp. (SW-00026)

Dokumentation: • Benutzerhandbuch, dt./engl. • Programming Guide, Calibration Guide, engl.



Waveform-Generator 195 Hersteller: Wavetek

• 40 MS/s Arbitrary waveform generator • Synthesized function generator to 16 MHz • 12 Bit vertical and 64k points horizontal resolution • Pulse/pulse train and tone generator • Amplitude modulation • Inter-channel triggering, summing and phase control • GPIB and RS-232 interfaces

Zubehör: • 2 zusätzliche Kanäle • Software Waveform DSP 2 (SW-00002)

Dokumentation: Bedienungsanleitung, dt.



80-MHz Signal- und Arbiträrgenerator mit GPIB, HP 33250A Hersteller: Agilent Technologies

• bis 80 MHz Sinus und Rechteck Ausgabe • Sinus, Rechteck, Rampe, Rauschen und andere Signal-

formen • stabile, genaue Ausgabe mit bis zu 1 µHz Frequenz-

Auflösung • 50 MHz Puls mit variabler Anstiegs-/Abfall-Zeit • 12 bit, 200 MSa/s, 64 kPunkte tiefe Arbiträr-Signale • AM, FM, FKS • lineare und logarithmische Sweeps mit programmierba-

rem Frequenz-Marker-Signal • programmierbarer Burst-Count • Triggersignalquelle: Einzeltriggerung, extern oder intern • grafisches Farb-Display • TXCO-Zeitbasis mit Frequenz-Genauigkeit 1 ppm

Zubehör: • Software Intuilink • RS-232 Kabel

Dokumentation: Benutzerhandbuch, dt./ engl.

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat vom 24.10.2001 (MT-00055)



Frequenzzähler 225 MHz / 3 GHz, HP 53132A Hersteller: Agilent Technologies

• 2 Kanäle 0 bis 225 MHz, • 1 Kanal 100 MHz – 3 GHz • Auflösung 12 Stellen, Zeitintervall-Auflösung 150 ps • 200 Messungen pro s über GP-IB • Zeitbasis bis zu 5x10(hoch –10) pro Tag • Elektronische Kalibrierung • Universalzählerfunktionen: • Frequenz, Frequenzverhältnis, Zeitintervall, Zeitintervall-

Mittelwert, • Zeitintervall-Verzögerung, Anstiegs/Abfallszeiten, Puls-

breite, • Phase zwischen Kanal 1 und 2, Spitzenspannung, Limit-

Test, • Statistik (Min, Max, Mittelwert, Standardabweichung)

Zubehör: • CD-Rom • Hochstabile Zeitbasis, thermostatgerecht (MT-00102) • HF-Eingang bis 3,0 GHz (Kanal 3) (MT-00103)

Dokumentation: • Einführungshandbuch, dt. • Programm Guide, Operating Guide, Assembly Level Ser-

vice Guide, engl.





Modulares Messsystem und Logger, Agilent 34970A Hersteller: Agilent Technologies

• Grundgerät mit drei Steckplätzen mit integriertem 6-1/2-stelligen Digital-Multimeter

• 50 kB nichtflüchtiger Speicher mit Zeitkodierung • Protokollfunktion für Relaisauslastung • IEEE488- und RS-232-Schnittstelle • 20 Kanal Multiplexer-Einschub • 60 Kanäle/s • max. Spannung 300 V • max. Strom 1 A • max. Leistung 50 W • Bandbreite 10 MHz • 20 Kanal Betätigungs-Einschub • universelles Schaltmodul mit 20 voneinander unabhängi-

gen SPDT-Schaltern • 120 Kanäle/s

Zubehör: • Software-Paket für PC-Programmierung (DACQ 1.4) • 20-Kanal Ankerrelais-Multiplexer, Agilent 34901A

(MT-00151) • 20-Kanal-Betätigungs-/ schaltermodul, Agilent 34903A

(MT-00152) • J-TYPE TC and SCRWDRVR Kabel • Netzkabel, serielles Kabel

Dokumentation: Benutzerhandbuch, dt. / engl.

Zertifikate: • Kalibrier-Zertifikat vom 13.11.2001 (MT-00150) • Kalibrier-Zertifikat vom 17.10.2001 (MT-00151) • Kalibrier-Zertifikat vom 26.10.2001 (MT-00152)




Schwingungsanalysesystem OR38 Hersteller: OROS GmbH

• portables Multi-Analyse System • 8 Kanäle für Analogspannungen • AC/DC/Float Kopplung und für ICP Sensor Anschluss

geeignet • Messbandbreite von 0 bis >20kHz • zusätzliche Synchronisationseingänge (Drehzahleingänge

TTL-kompatibel) • Abtastrate 102,4 kHz je Kanal, 24 BIT A/D Auflösung • Anti-Aliasing Filter • Eingangsmessbereiche im Bereich von 20 mV bis 40 Volt

per Software einstellbar • Echtzeit-FFT-Analyse (bis 6200 Linien)

Zubehör • Tragetasche • Netzwerkkabel 2m und 10m • Netzkabel, Kabel für Zigarettenanzünder • Software NVGate • PC Toshiba SatellitePro 4600/800X (HW-00045)

Dokumentation • 2 St. Bedienungsanleitung deutsch • Installation Guide für Software

Zertifikate Verification Certificate vom 18.08.2003



Sensor für Schwingungsmessplatz (3 achsig), PCB-M356A15 Hersteller: OROS GmbH

• Beschleunigungssensor f. alle Raumrichtungen (Triaxial) • Messbereich 50 g • Empfindlichkeit 100 mV/g • Gewicht 10,5 g • Temperaturbereich -54...+121°C, ICP-Speisung

Zubehör: abgeschirmtes 4-Leiter-Teflon-Kabel (PCB-034G10 ) für PCB-M356A10

Dokumentation: Handbuch




Komplettgerät zur Signalerfassung / -konditionierung Hersteller: Göpel electronic GmbH

Komplettgerät (stand alone) bestehend aus: • Daten-Erfassungs-Modul zum Anschluss an den PC bzw.

das Notebook über IEEE-1394 FireWire • voll LabView-kompatibel, • 1.25 MS/s, • analoge Eingänge: 16x single ended, 8x differential (12

Bit), • analoge Ausgänge: 2x (12Bit), • Ausgangsspannung wählbar +/-10 V, 0 – 10 V, +/- ex-

terne Referenz, 0 – ext. Ref. • digitale Ein-/ Ausgänge: 8x (5V / TTL-kompatibel), • Timer/Counter Ein-/ Ausgänge: 2x (24 Bit), • Trigger: analog und digital, • Genauigkeit: 0.057% in 24h bei +/-5V, 0.059% in 1Jahr bei +/-5V, • Temperaturdrift 0.0005 %/°C Dazu passend: • Stromeingangsmodul

• Eingangsbereich: 0-20 mA, Ausgangsbereich: 2-10 V

• Bandbreite 100 Hz • Genauigkeit +/- 0.05% FSR, • CMRR 140dB @ 50 bzw. 60 Hz

• Stromausgangsmodul • Eingangsbereich: 0-5 V, Ausgangsbereich: 4-

20mA, • Bandbreite 400Hz, • Genauigkeit +/- 0.05% FSR, CMRR 90dB

• Spannungseingangsmodul • Eingangsbereich: 0-5 V, Ausgangsbereich: 4-

20mA, • Bandbreite 400Hz, • Genauigkeit +/- 0.05% FSR, CMRR 90dB

• Potentiometer-Eingangsmodul • Eingangsbereich: 0-1 kOhm, Ausgangsbereich:

0-5 V • Bandbreite 4Hz, • Genauigkeit +/- 0.08% FSR,

• CMRR 170dB @ 50 bzw. 60 Hz, • Ansteuerstrom 0.25 mA. • Modulträger (Backplane):

• Aufnahme der Module, • 16 Kanäle, • Klemmverbinder für die Signaleingänge, • Netzteil 5V/5A, • inkl. Kabel und Adapter zum Anschluss an das

DAQPad.



Piezotranslator HVPZT 40µm Hersteller: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Open loop travel@ 0 to -1000 V 40µm ± 20%, Closed loop travel 40 µm, Integrated feedback sensor SGS , Closed / open loop resolution 0.8/0.4nm, Stiffness 220 N/µm ± 20%, Force generation (blocked) 8800 N ± 20%, Push/pull force capacity 4500 / 500 N, Torque limit (at tip) 1000 mNm, Max. operating voltage -1000 V, Electrical capacitance 460 nF ± 20%, Dynamic operating current coefficient (DOCC) 17.5 µA/(Hz x µm), Unloaded resonant frequency (f0) 6.5 kHz ± 20%, Standard operating temperature range -40 to +80°C, Voltage connection VH , Sensor connection L , Weight with-out cables 148 g ± 5%, Material case / end pieces N-S , Length L 66.5 mm ± 0.5, Closed loop models with the P-177.10 option and with calibration data sheets , Option ball tip, Option UHV: The piezo ceramics are enclosed in a stainless steel case with vent holes. The PZTs can be baked to 150 °C. The electrical connection is via two 50 cm Teflon leads

Zubehör: • 1 St. Sensor Verlängerungskabel, 3m P-892.03 • 1 St. Verlängerungskabel für HVPZTs, LEMO-LEMO 3m P-

209.03

Dokumentation: PZ Performance Test Document vom 13.12.2001



Piezotranslator HVPZT 120µm Hersteller: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Open loop travel @ 0 to –1000 V 120 µm ± 20%, Closed loop travel 120µm, Integrated feedback sensor SGS, Closed / open loop resolution 2.4 / 1.2nm, Stiffness 32N/µm ±20%, Force generation (blocked) 3800N ± 20%, Push/pull force capacity 2000 / 300N, Torque limit (at tip) 500mNm, Max. operating voltage 1000V, Electrical capacitance 500nF ± 20%, Dynamic operating current coefficient (DOCC) 6µA/(Hz x µm), Unloaded resonant frequency (f0) 5kHz ± 20%, Standard operating temperature range 40 to +80°C, Voltage connection VH, Sensor connection L, Weight without cables 136 g ± 5 %, Material case / end pieces N-S, Length L 127 mm ± 0.5, Closed loop models with the P-177.10 option and with calibration data sheets , Option ball tip, Option UHV: The piezo ceramics are enclosed in a stainless steel case with vent holes. The PZTs can be baked to 150 °C. The elec-trical connection is via two 50 cm Teflon leads

Zubehör: • Sensor Verlängerungskabel, 3m P-892.03 • Verlängerungskabel für HVPZTs, LEMO-LEMO 3m

P-209.03

Dokumentation: PZ Performance Test Document vom 18.12.2001




modulares Piezo Controllersystem 19" Chassis Hersteller: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Function 19” chassis for piezo electronics: amplifier modules, sensor modules, position servo-control modules, display/interface modules Channels 1, 2, 3 Dimensions 450 x 132 x 296 mm + handles (see p. 6-10) Integrated power supply E-530.00 Operating voltage 90-264 VAC, 50-60 Hz, E-530.00 primary switching P/S

Zubehör: • HVPZT Verstärkermodule 1100V, 50W (MT-00189, MT-00190, MT-00191)

• 2 St. Sensor/Servo Controllermodul E-509.S1

Dokumentation: • Operating Manual PZ 62E (E-500 Series) • Operating Manual PZ 77E (E-509 Series)

Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/download/MT-00188.pdf http://www.apz-ilmenau.de/download/MT-00189.pdf


Messgerät Euro-Quant mobil Hersteller: HAAG GmbH

Transportables Messgerät mit Genauigkeitsanforderungen für Messgeräte der Klasse A gleichzeitige und lückenlose Messung der • elektr. Betriebskenngrößen Strom, Spannung, Leistung • aller Power-Quality-Kenngrößen gemäß EN 50160 sowie

IEC 6100-4-30 (E) • harmonischer Leistungsfluss • Frequenzspektrum der Spannungen und Ströme bis 9kHz • Effektivwertzeitverlauf von Spannungen und Strömen

auf der Basis vom 10 ms • Transientenerfassung von Spannungen und Strömen Eingänge: • 4 Spannungseingänge bis 2kV • 4 Stromeingänge mit 20 A Bemessungsstrom • 4 Spannungseingänge bis zu 3V • 16 Bit Auflösung der A/D-Wandler, Abtastrate PLL ge-

steuert • potentialfreie binäre Eingänge

Zubehör : • Set CT 5 mit 4 Präzisions-Wandler-Stromzangen und Integrator

• 4 Rogowski-Stromzangen 800 mm inkl. Integrator + Verbindungskabel,

• DCF-Antenne, • Analyse- und Auswertungssoftware TurboLab

(SW-00043) • Messkabelsatz, Handbuch, Software • GPS mobil inkl. Leitungstreiber, Stativ, Transportkoffer




Messbox SIMEAS Q Hersteller: SIEMENS AG

Kompakte Messbox zur Aufzeichnung der elektr. Betriebs-kenngrößen und der Kenngrößen Spannungsqualität als Mini-, Mittel- und Maximalwerte, kleinstes Mittlungsintervall 1 Sekunde • Strom- und Spannungseffektivwert • Netzfrequenz • Wirk-, Blind- und Scheinleistungen sowie Leistungsfaktor

pro Leiter und für das Drehstromsystem, el. Arbeit • Unsymmetriegrad von Spannungen und Strömen • Oberschwingungen bis zur 40. Harmonischen • Messung des Flickerstörfaktors (Kurz- und Langzeitwert) • Erfassung von Spannungseinbrüchen • Hutschienenbefestigung • Eingänge

• 3 Spannungseingänge bis 280 V und • 3 Stromeingänge bis 6 A

• Relaisausgänge • Spannungsversorgung AC 230 V • Profibus DB Interface

Zubehör: • PC CELSIUS K320 (HW-00209) • Software SIMEAS Q V2 (SW-00045) • Software SICARO Q V2 (SW-00046) • Software SIMATIC NET V6.1 (SW-00047) • Software SICARO PQ (SW-00059)

Dokumentation: Betriebsanleitung

Zertifikate: Prüfprotokoll



Messmodul NI DAQpad 6052E for IEEE Hersteller: National Instruments

DAQ-PAD mit 16 Messkanälen (8 differentiell, 16 single en-ded, BNC-Eingang) • Firewire-Interface zum PC • Eingangsbereich variabel zwischen 0 und + 10V • Auflösung 16 Bit • max. Samplingfrequenz 333 kHz bei kontinuierlicher

Aufzeichnung • variabel einstellbare Samplingfrequenz (insbes. Abtast-

raten, die sich aus 2n, n=7 ... 10 bzw. höher ergeben) • externe Triggerung, PLL-Triggerung • Steuer und Analysesoftware

Zubehör: • 2x Firewire Verbindungskabel, • Software NI-DAQ 7.0.1 + Dokumentation (2 CD´s) • Netzkabel, Netzteil, Handbuch




Messmodul DEWE Rack-16 Hersteller: National Instruments

Modul zur Pegelanpassung und analogen Filterung des Mess-signals Bestückung: • 6 Hochspannungs-Isolationsverstärker mit wählbaren

Bereichen zwischen + 10 V und + 1000 V, Bandbreite 20 kHz, differenzieller Eingang mit Sicherheitseinbaubuchse 4 mm, + 10 V Ausgang

• 5 Spannungs-Isolationsverstärker mit wählbaren Berei-chen zwischen + 0,01 V und + 50 V, Bandbreite 20 kHz, differenzieller BNC-Eingang, + 10 V Ausgang

• 3 Stomzangeneingangskarten mit Verstärkung (+ 2 V auf + 10 V)

• 8 Butterworth-Tiefpassfilter 8. Ordnung, variabel ein-stellbar im Bereich von 1 Hz bis 99 kHz, + 10 V BNC- Ein- und Ausgang


Messtechnik Prüfgeräte und sonstige Messtechnik Seite 36 von 60

3.3 Prüfgeräte und sonstige Messtechnik

3.3.1 Prüfanlagen, EMV, Klima

Entwicklungssystem EMV-gerechtes Design, Agilent 84105EM Hersteller: Agilent Technologies

• Analysator 9kHz- 3GHz mit Mitlaufgenerator, • Quasi-Spitzenwert-Detektor, IEEE488- und paralleler

Schnittstelle, • 10 MByte Speicher • EMV-Normlimitlinien • H-Nahfeldsondensatz • 32 dB-Vorverstärker bestehend aus: • Close field probe Set 11940 A und 11941A • Mitlaufgenerator, Agilent E7402A (MT-00105) • Hochstabile Frequenzreferenz (MT-00106) • Vorverstärker, Agilent 11909A (MT-00107)

Zubehör: • 4 Adapter • 2 Koaxialkabel • PC Software zum Datentransfer in MS Excel und Word • CD Documentation Set

Dokumentation: • Measurement Guide, engl. • Signal Analysis Measurement Guide, engl • Programmer’s Guide, engl. • User’s Guide, engl. • Getting Started Guide, engl. • Programming Conversation Guide, engl. • Specifications Guide, engl. • Calibration Guide, engl. • Operation Manual Sonoma Instruments (MT-00107) • Close field Probe Dokumentation, engl.

Zertifikate: • Kalibrier-Zertifikat vom 16.10.2001 (MT-00105) • Zertifikat zu Close field Probe 11941A vom 18.10.2001 • Zertifikat zu Close field Probe 11940A vom 17.10.2001




Prüfgerät UCS 500M/4 Hersteller: EM Test

Prüfgerät bestehen aus • Kompaktgenerator zur Erzeugung der Burst- und Surge-

Impulse • Automatisches 3 Phasen-Koppel-/Entkoppelfilter, 32A-

Nennstrom

Kompaktgenerator in Modul-Technik zur Erzeugung der Burst- und Surge-Impulse gemäß IEC 61000-4-4, IEC 61000-4-5 und IEC 61000-4-9

Merkmale: • Steuerung und Leistungsteil in nur einem Gehäuse, • Bedienung am Gerät über Funktionstasten und Cursorrad

und softwareunterstützte Bedienung über IEEE 488-Bus,

Burst-Modul: • Impulsamplitude zwischen 200 und 4400 V einstellbar • Spikefrequenz zwischen 0,1 kHz und 1 MHz einstellbar • bis zu 10.000 Impulse pro Sekunde • Burstpaketbreite zwischen 0,1 und 999,9 Sekunden ein-

stellbar, auch ein einzelner Burst möglich • Burstwiederholrate zwischen 10 ms und endlos • Dauerburst möglich • Pulsauslösung (Phasensynchronisation) zwischen 0 und

360° in 1°-Schritten einstellbar

Surge Modul: • Surge-Impulse mit einer minimalen Repetitionszeit von

1 Impuls/Sekunde • Impulsspannung zwischen 160 und 4000 V einstellbar • Ausgangsstrom max. 2000 A. • Pulse stehen Positiv, Negativ und Alternierend zur Verfü-

gung • Pulsmonitoring mit Messausgängen für ein Oszilloskop

zum Messen von Peakstrom und Peakspannung sowie der Pulsform

• Anzeige von Peakstrom und Peakspannung im Display • gemessene U/I-Werte jedes Impulses werden in der

Prüfdokumentation aufgeführt

Leistungsmerkmale: • EFT/burst max. 4.4kV • Spike-Frequenz 0.1 – 1.000kHz • VCS/surge max. 4kV • Repetition rate max. 1 pulse/second • PFS/Power Fail 250V, 16A AC/DC • Inrush current > 500A

Zubehör: • EFT/4 Burst Option (MT-00115) • CS/4 Surge Option (MT-00116) • CNI 503-32 Koppelmatrix 3-phasig (MT-00117)

Dokumentation: • Bedienungsanleitung, dt. für 3-Phasen-Koppelnetzwerk, Ultra Compact Simulator, IEC 61000-4-4 EFT/Burst, Surgeprüfung

Zertifikate: • Kalibrier-Zertifikat vom 19.11.2001 • Surge-, Burst, PFS, und ESD Kalibrierung vom 7.11.2001

Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/download/MT-00114.pdf http://www.apz-ilmenau.de/download/MT-00117.pdf



RMS-elektrodynamische Schwinganlage, SW 1507 Hersteller: m+p international

Grundkomponenten (Schwingungserreger) • komplett SW 1507 in luftgekühlter Ausführung • Leistungsverstärker (Verstärkersystem TGA 1500) • Schwingregel- u. Analysesystem VibPilot • VibPilot Hardware • Siemens SCENIC Pentium III PC 1 GHz, Modell SCENIC

D, i815E,P,LAN

Zubehör: • Siemens CRT 17" Farbmonitor Modell 176V/172E • Externes Front/End m+p/OROS OR25 PC Pack II mit 8

Eingangskanälen VibPilot Software • VibControl/NT Lizenz für 2 analoge Eingangskanäle

(Programmsystem Rev. 2.5.0)


3D-Tisch für Ecklastprüfeinrichtungen Hersteller: Johann Fischer Aschaffenburg Präzisionswerk GmbH & Co.KG

Basisplatte aus natürlichem Hartgestein, Größe 2000 x 1200 x 400 mm Die Plattenoberseite ist sauber überschliffen derart, dass in einem Teilmessbereich von 300 x300 mm eine Ebenheit von <0,1 mm gewährleistet ist.



Klimaprüfkammer für Temperatur- und Klimawechselprüfung Hersteller: Feutron Klimasimulation GmbH

Feutron Typ 3633/15 für Klimaprüfung nach DIN, IEC, DEF, MIL-Std, BS etc. • Volumen ca. 600 – 700 dm³ • Nutzraum-Abmessung

ca. mm B x H x T 770 x 1020 x 745 mm • Temperaturbereich - 40 ... 180 °C; • Temperaturtoleranz + 0,2 ... + 0,5 K • Feuchtebereich 10 ... 98 % rel. Feuchte • Feuchtetoleranz + 2 % rel. Feuchte • Änderungsgeschwindigkeit Kühlen 3K/min im Mittel Heizen 3K/min im Mittel • Material Edelstahl • Einlegeroste 3 Stück stufenlos verstellbar, Kabeldurchführungen • Nutzraumtür Freigabe des gesamten

Querschnittes mit großem Sichtfenster

• Mikrorechner für 120 Programme mit Zeitplansollwert-wertgeber für Temperatur und relativer Luftfeuchte.

• Störungsmeldungen und Anzeigen von Netzunterbre-chungen

• Signaldarstellung: zweifarbig, graphische Darstellung auf einem Bildschirm

• Speicherkopie des Programmablaufes auf Diskette

Zubehör: • Schnittstelle RS 232 C zur Datenausgabe und Fernbedie-nung inkl. Software zur Messwerterfassung, Windows

• Registriergerät zur Erfassung und Darstellung der Kli-mawerte, Momentananzeige über Digitalkanäle für Tem-peratur/Feuchte



Klimaprüfkammer für Klimastressprüfung Hersteller: Feutron Klimasimulation GmbH

Feutron Typ 3636/15, für Klimastressprüfung nach DIN, IEC, DEF, MIL-Std, BS etc. • Volumen ca. 600 – 700 dm³ • Nutzraum-Abmessung

ca. B x H x T 800 x 1000 x 750 mm3, • Temperaturbereich - 75 ... 180 °C • Temperaturtoleranz + 0,2 ... + 0,5 K • Feuchtebereich 10 ... 98 % rel. Feuchte • Feuchtetoleranz + 2 % rel. Feuchte • Änderungsgeschwindigkeit Kühlen 5 K/min im Mittel Heizen 3 K/min im Mittel • Material Edelstahl • Einlegeroste 3 Stück stufenlos verstellbar

Kabeldurchführungen. • Nutzraumtür Freigabe des gesamten

Querschnittes mit großem Sichtfenster

• Mikrorechner für 120 Programme mit Zeitplansollwert-wertgeber für Temperatur und relative Luftfeuchte.

• Störungsmeldungen und Anzeigen von Netzunterbre-chungen

• Schutz gegen unbefugtes Bedienen • 2 Stück potentialfreie Kontakte zur Prüflingsansteuerung • Störkontakt potentialfrei für aktive Prüflinge • Sicherheitseinrichtungen für den unbeaufsichtigten Dau-

erbetrieb • Momentananzeige über Digitalkanäle für Tempera-

tur/Feuchte • Signaldarstellung: zweifarbig, graphische Darstellung auf

einem Bildschirm • Speicherkopie des Programmablaufes auf Diskette

Zubehör: • Schnittstelle RS 232 C zur Datenausgabe und Fernbedie-nung inkl. Software zur Messwerterfassung unter Win-dows

• Registriergerät zur Erfassung und Darstellung der Kli-mawerte



3.3.2 Wägetechnik

Komparatoren Wägezelle 1kg Hersteller: Sartorius AG

• Höchstlast 1002 g • Ablesbarkeit 0,001 mg • Wägebereich 2 g • Zyklusdauer ABBA 10 min • Filterstufen 4 • Anwendung 100/200/300/500/600/1000 g • Reproduzierbarkeit 0,002 mg, bei Lasten bis 1000 g • Linearität 0,02/0,5 mg/g • Bereichsempfindlichkeit 0,002/0,01 mg/g • Temperatureinfluss TKN 0,005 mg/K • Temperatureinfluss TKE 4 ppm/K Abmessungen • Wägezelle mit Lastwechselvorrichtung

(BxTxH) 230x365x510 mm • Steuereinheit (BxTxH) 360x310x150 mm • Elektronikeinheit (BxTxH) 213x307x107 mm • Waagschalendurchmesser 14 mm • Probenabmessung (DxH) 70x130 mm • Gewicht netto 32,2 kg Umgebungsbedingungen • Temperaturbereich 17 ... 27 °C • Temperaturschwankung 0,2 K/h • Feuchtebereich 45...60 % • Feuchteschwankung 2 %/h • Versorgungsspannung 115/230 V~ • Spannungsschwankung -20 ... +15 % • Leistungsaufnahme (typ) 35 VA • Datenschnittstelle RS232C;RS423 • Zentrierschale Centermatic • Einbau in Lastwechsler YLA02C möglich, mit diesem zu-

sammen wird die Spezifikation eingehalten




Komparatoren Wägezelle 10 kg Hersteller: Sartorius AG

• Höchstlast 10050 g • Ablesbarkeit 0,01 mg • Wägebereich 60 g • Zyklusdauer ABBA 12 min • Filterstufen 4 • Anwendung 1k/2k/3k/5k/6k/10k g • Reproduzierbarkeit 0,05 mg, bei Lasten bis 10k g • Linearität 0,3/50 mg/g • Bereichsempfindlichkeit 0,03/1 mg/g • Temperatureinfluss TKN 0,5 mg/K • Temperatureinfluss TKE 5 ppm/K Abmessungen • Wägezelle mit Lastwechselvorrichtung (BxTxH)

790x720x430 mm • Steuereinheit (BxTxH) 360x310x150 mm • Elektronikeinheit (BxTxH) 213x307x107 mm • Waagschalendurchmesser 200 mm • Probenabmessung (DxH) 400x300 mm • Gewicht netto 140 kg Umgebungsbedingungen • Temperaturbereich 17 ... 27 °C • Temperaturschwankung 0,2 K/h • Feuchtebereich 45...60 % • Feuchteschwankung 2 %/h • Versorgungsspannung 115/230 V~ • Spannungsschwankung -20 ... +15 % • Leistungsaufnahme (typ) 35 VA • Datenschnittstelle RS232C;RS423 RS • Zentrierschale Centermatic • Einbau in Lastwechsler YLA05C möglich, mit diesem zu-


Zubehör: besteht aus Wägezelle und Steuereinheit




Komparatoren Wägezelle 50 kg Hersteller: Sartorius AG

• Höchstlast 51000 g • Ablesbarkeit 1 mg • Wägebereich 51000 g • Zyklusdauer ABBA 2 min • Filterstufen 4 • Anwendung 0 ... 51000 g • Reproduzierbarkeit 5 mg, bei Lasten bis 50k g • Linearität 1000 / 50k mg/g • Bereichsempfindlichkeit 10-Jan mg/g • Temperatureinfluss TKN 100 mg/K • Temperatureinfluss TKE 1 ppm/K Abmessungen • Wägezelle mit Lastwechselvorrichtung (BxTxH)

1500x670x915 mm • Steuereinheit (BxTxH) 360x310x150 mm • Elektronikeinheit (BxTxH) 213x307x107 mm • Waagschalendurchmesser 70 mm • Probenabmessung (DxH) 330x300 mm • Gewicht netto 173 kg Umgebungsbedingungen • Temperaturbereich 17 ... 27 °C • Temperaturschwankung 0,2 K/h • Feuchtebereich 45...60 % • Feuchteschwankung 2 %/h • Versorgungsspannung 115/230 V~ • Spannungsschwankung -20 ... +15 % • Leistungsaufnahme (typ) 50 VA • Datenschnittstelle RS232C; RS423 • Zentrierschale Centermatic, • Einbau in Lastwechsler YLA03C möglich, mit diesem zu-


Zubehör: • besteht aus Wägezelle und Steuereinheit • Kabel

Zertifikat: Prüfprotokoll vom 03.12.2001



Einzelgewichte 100 g, 1 kg, 10 kg Hersteller: Sartorius AG

• Klasse E2 • DKD Zertifikat • Sartorius YCW712-00

Zertifikate: • DKD-Zertifikat • Kalibrierscheine für 10 kg Gewichte vom 01.11.2001


Inventarnummern: 100 g: MT-00132, MT-00133, MT-00134, MT-00135 1 kg: MT-00128, MT-00129, MT-00130, MT-00131 10 kg: MT-00124, MT-00125, MT-00126, MT-00127

Edelstahl-Gewichtsatz 1mg - 1kg Hersteller: Sartorius AG

• mit Drahtgewichten bis 500mg, • Sartorius YCS011-612-02 • OIML Klasse E2 • Holzetui

Zertifikate: • DKD-Zertifikat • Kalibrierschein vom 27.08.2001


Dichteartefakte Hersteller: Sartorius AG

Gewichte in Sonderbauform zur Bestimmung der Luftdichte Sartorius FF02, Umbau VF2476 • Gewichtsstücke 1kg mit E1 (OIML R111) Fehlergrenzen

mit Sonderbauform zur Bestimmung der Luftdichte, Ma-terial E1-Gewichtsstahl (OIML R111), Oberflächengüte nach E1 (OIML R111) Spezifikation,

• Gewicht A: zylindrische Bauform und innen hohl, Volu-men > 0,16l,

• Gewicht B: als Knochen mit Volumen = 0.125l, exakt identische Oberflächengröße, exakt identische Grundflä-che, unterschiedlicher Auftrieb



3.3.3 Sonstige

Präzisions-Lineartisch Hersteller: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

• 8", DC-Motor-Direktantrieb • 0,1 µm Linearencoder, Bremse • M-521.DBX

Zubehör: • Netzteil „M-500 PS“ • Netzkabel, serielles Kabel

Dokumentation: User´s Manual



Halbautomatischer Waferprober R&K • mit EEC&S 8 Inch Chuck inl.

• Steuergerät • Mikroskop • Netzteil f. Mikroskop • Vakuum Pumpe • Prober Tisch • Schwingungsgedämpft

Zubehör: 3 St. Interface Kabel

Dokumentation: Handbuch


Inker XANDER 1412 • pneumatisch, daher mit Druckluft betrieben

• einstellbare Inkpunktgröße (15-50mil) • Tinte schwarz • programmierbarer Inkpunktzähler • steuerbar über Fußschalten • präzise Positionierung (X = +/- 0.125’’; Y = +/- 0.19’’; Z

= +/- 0.11’’) • geeignet zum Inken temperierter Wafer (100°C) • nach oben schwenkbarer Inkarm

Zubehör: • Controller, • Inker mit Inker-Shuttle, • Druckregler, Pneumatikschlauch, • Netzkabel, Handbuch



Störschreiber Hersteller: YOKOGAWA-nbn GmbH

• ScopeCorder Grundgerät/FDD, 50Mwrote • 20 GB Festplatte/DL750 • Base-TX Ethernet Schnittstelle • RMS-Meßmodul 2-Kanal 100kS/s, 16 Bit/DL750 (2 Stck.)

Zubehör: • 16 Tastköpfe YMA 513 • kleine Tasche • 8 Blindplatten • Abdeckung • Netzkabel Software • Waveform Viewer Windows 95, 98, NT • YflexPro-View Software FlexPro / red. Analysefkt. V6

Dokumentation: Handbuch dt. + engl.



Transientenmessgerät Hersteller: YOKOGAWA-nbn GmbH

ScopeCorder Grundgerät mit • Speichererweiterung auf 250Mworte • 20 GB Festplatte • 100/10 Base-TX Ethernet Schnittstelle • DSP Echtzeitkanäle (6x zus.), 6 St. • Messmodul 2-Kan.mit 1 MS/s, 2 St. • RMS-Messmodul 2-Kan./100kS/s

Zubehör: • Sicherheitsabdeckung • Netzkabel • 3 Papierrollen • Differenztastköpfe 20:1/200:1, 25 MHz/SET

(MT-00258 – MT-00263) • Differenztastköpfe 50:1/500:1, 25 MHz/SET

(MT-00264 – MT-00266) • Aufsteckshunt 30A/280-0442 (MT-00267 – MT-00270) • Software Waveform Viewer (SW-00054) • Software YflexPro-View (SW-00055)

Dokumentation • 2 Handbücher (dt. + engl.), • Kurzanleitung

Zertifikate: Kalibrier-Zertifikat

Details unter: http://www.apz-ilmenau.de/download/MT-00253.pdf



Vierkanal DC-Motor Controller, C-844 Hersteller: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

• RS-232 and IEEE 488 • Servo characteristics: 32 bit programmable PID V-ff

filter, 100 m s/ enabled axis; parameter changes on-the-fly

• Profile modes: trapezoidal, S-curve, velocity contouring, electronic gearing

• Output power / resolution: analog H-bridge ± 12 V, 15 Watts/channel, 12 bit D/A converters,optional output for PWM drivers (10 bit, 24 kHz)

• Current limitation: 1.8 A peak (short circuit proof) • Encoder input: AB (quadrature) TTL signals (single

ended or RS-422 differential mode), max. 106 counts / sec

• Stall detection: Motor stop, servo on, triggered by pro-grammable position error

• Limit switches: 8 TTL (pull-up/ pull-down, programma-ble), programmable soft limits

• Origin switches: 4 TTL (pull-up/ pull-down, programma-ble), real time position capture

• I/O ports: 8 TTL inputs, 8 TTL outputs (pull-up) • Analog input: 4 channels, 5V unipolar, 10 bit ADC • Motor brake output: 15 V, software controllable • Trajectory monitor output: encoder frequency/voltage

conversion (0 to 12 V) for settling analysis purposes, etc.

• Interface / Communication: RS-232 (cable included), IEEE 488.2

• Command Set: > 100 SCPI commands, ASCII format, firmware updates by RS-232 possible

• Macro command capability: 16 stackable macros in non volatile RAM, up to 100 commands per macro

• Motor connectors: one 15 pin (f) D-sub per channel • Output safety options: amplifier enable/disable (by soft-

ware) • Internal safety options: servo amplifier over-

temperature shut-down • Heat sink: internal heat channel with temperature con-

trolled fan • Operating voltage: 90 to 264 VAC, 50 to 60 Hz, wide

range P/S • Dimensions: 288x450x158 mm (19" rack mountable)

Zubehör: • Netzkabel • Software PI Motion, Vers. 2001-12-12, V 6.0

Dokumentation: • Operation Manual MS 52 E (C-844) • Operation Manual MS 60 E (C-844 TOOLS)


Technologische Anlagen Mechanische Maschinen Seite 48 von 60

4 Technologische Anlagen

4.1 Mechanische Maschinen

Säulenbohrmaschine Inventarnummer: TA-00001

Präzisionsbohrmaschine Inventarnummer: TA-00002

Doppelschleifmaschine ES 200 Inventarnummer: TA-00003

Inverter-Schweißgerät Inventarnummer: TA-00004

Drehmaschine mit Fräseinrichtung Inventarnummer: TA-00005

Bandsäge für Metall, Holz und Kunststoff Inventarnummer: TA-00006

Tischkreissäge Inventarnummer: TA-00007

kombinierte Kreis-/ Kappsäge Inventarnummer: TA-00008

Kleindrehmaschine Inventarnummer: TA-00009

Technologische Anlagen Anlagen der Hybrid- und Lasertechnik Seite 49 von 60

4.2 Anlagen der Hybrid- und Lasertechnik

Fräsbohrplotter LPKF ProtoMat 95s/II Hersteller: LPKF Laser & Electronics AG

zur schnellen Prototypenfertigung von Leiterplatten im La-bor; mit komfortabler Steuer- und Bediensoftware (komfor-table Bedienerführung, Import von Daten aus jedem gängi-gen CAD/EDASystem; Modifikation, Isolierung und Anpas-sung der Daten an die Plottersteuerung).

Leistungsmerkmale: • Unterstützung aller gängigen Datenformate, die für den Entwurf und die Herstellung von Leiterplatten eingesetzt werden.

• Anwendungsbereich: Leiterplattengravur, alle 1- und 2-seitigen Platinen-typen (SMD) in höchster Bestückungsdichte ( Feinstleitertechnik < 100 Mikrometer ) Flexible Leiterplatten Bearbeitung von Teflon, Duroid Leiterplattenbohrungen ab 0.3 mm Durchmesser Leiterplatten-Konturenfräsen Frontplatten-Bearbeitung

• Verfahrbereich X/Y 420 mm x 380 mm • Auflösung 0.005 mm • Wiederholgenauigkeit +/-0.005 mm • Genauigkeit im Passlochsystem +/- 0.02 mm • Fräsbohrspindel 3-Phasenmotor,

10.000 – 60.000 Upm, einstellbar

• Werkzeugwechsel automatisch, 30 Stationen

• Werkzeugaufnahme 1/8“-Spannzange • Bohrleistung 120 Hübe/min. • Verfahrgeschwindigkeit 60 mm/sec • Frästiefenjustierung luftgelagerte berüh-

rungslose Abtastung • X/Y-Antrieb Präzisionskugelum-

laufspiel, Führung mit 7 Linearlagern, Schrittmotore

• Z-Antrieb pneumatisch • Maschinengrundplatte 15 mm Aluminium,

plangefräst • kleinste Leiterbahnbreite 0.1 mm • kleinste Isolationsbreite 0.1 mm • kleinster Bohrdurchmesser 0.2 mm

Zubehör: Softwarepaket • Circuit CAM PCB 4.0 • BoardMaster 4.0

Dokumentation: Handbücher: • LPKF ProtoMat 95s/II • Circuit CAM PCB 4.0 • BoardMaster 4.0

Inventarnummer: TA-00010


Siebdruckmaschine EKRA Microtronic 2-K Hersteller: EKRA Eduard Kraft GmbH

• halbautomatischer Dickfilm-Siebdrucker • Reproduzierbarkeit besser als 10 Mikrometer • max. Siebrahmenformat 12 x 12 Zoll • Adapterrahmen für andere Siebgrößen • max. Druckformat 120 mm x 180 mm • Rakelgeschwindigkeit 10-200 mm/s, stufenlos für Vor-

und Druckrakel separat einstellbar • Rakeldruck pneumatisch einstellbar im Bereich 10 N-200

N • Rakelhöhe einstellbar mit Mikrometerspindeln • Rakelaufhängung pendelnd oder feststellbar • schneller Rakelwechsel ohne Werkzeug • parallelabhebendes Oberteil nach Druck • Druckwerk und Siebaufnahme gemeinsam oder getrennt

hochklappbar ohne Veränderung der eingestellten Para-meter

• Siebwechsel ohne Rakelausbau • Siebverstellung in X,Y-Richtung (=> +/-10mm) sowie

Verdrehung (=> +/-3°) • zentrale Höhen- und Absprungeinstellung • Aushubgeschwindigkeit stufenlos einstellbar • Siebschnellspanneinrichtung in Einschubtechnik mit Ver-

rieglung X-Y-Tisch : • Tischverstellung X,Y => +/-8mm • Drehachsenverstellung => +/-3° • Vakuumeinrichtung im Drucktisch zur Substrataufnah-

me; interne Vakuumpumpe PC-Steuerung: • Rakelweg, Rakelbereich, Rakeldruck, Rakelgeschwindig-

keit und Absprung werden am Monitor angezeigt und können produktbezogen abgespeichert werden

• Bildverarbeitungssystem mit 2 CCD-Kameras und Rech-ner für manuelle optische Substratausrichtung anhand von Druckmarken und beweglichen Fadenkreuzen im Bildverarbeitungssystem

• Zoom

Zubehör: • Vierkantrakel M II Rakelkopf C • Flutrakel M II Rakelkopf C • Adapterrahmen • 2 Monitore, Tastatur, 2 St. Kleintastatur

Dokumentation: • Unterlagen für M2 • 1 Bedienungs-Handbuch



Prozessofen PEO-603 Hersteller: ATV Technologie GmbH

programmierbarer Prozessofen mit zylindrischer Quarzglas-prozesskammer • steile Aufheiz- und Kühlrampen • wassergekühlter Abgasblock für Vakuum • max. erreichbares Vakuum bei 999°C <10-5 mbar • Vakuumsystem für < 10-² mbar, inkl. 2-stufiger Dreh-

schieber-Vakuumpumpe mit Ölfilter und Pirani-Vakuum-Messsystem, mit elektromagnetischem Eckventil

• Gasvorwärmung mit separatem Regler, max. 850°C Gastemperatur

• Messung der Temperaturverteilung und Einstellung • Fine-Tuning der 5 Heizzonen für optimale Temperatur-

verteilung über die Keramiksubstrate • Ofenverkleidung für Reinraum

Zubehör: • zwei Vakuumflaschen, DN40KF, DN63ISO • einhängbarer Quarzglas-Warenträger für -kassetten und

–platten mit Gasfluß zwischen jedem Substrat der Quarzhorden

• Quarzhorde für 40 Substrate 4“ x 4“, max. 3 bestückbar • Schnittstellenwandler mit Software zum Dokumentieren

des Vakuumwartes • Software für RS-232 (Windows 95/98/NT)


VP-Lötanlage SLC 300 Hersteller: IBL-Löttechnik GmbH

Grundausstattung ohne Mediumfüllung • WST-Adaptereinheit für Thermoelemente • NiCrNi-Thermoelement für Anschluss an Messadapter,

1000mm lang • Edelstahl Auflagegitter f. WST, 2mm Maschenweite • AFS, Optimierung der Sichtverhältnisse über der Dampf-

decke

Zubehör: • 4 St. Mediumfiltereinsatz, Filter • 10 St. O-Ring für Filtereinsatz, Vitondichtring 80x3

(Filterpatrone Mediumfiltereinsatz) • 4 Messfühler

Dokumentation: • 2 Bedienungsanleitung • Hardwareplan • Installationsplan



Laser-Trimmsystem LS-9000TD Hersteller: Laser Systems GmbH

Laser-Trimmsystem für passiven und aktiven Abgleich von Widerständen in Dick- und Dünnfilmschaltungen • Q-Switch Nd:YAG-Laser, diodengepumpt • Wellenlänge 1064nm • programmierbare Leistungseinstellung von 0-100 % • Puls Spitzenleistung 25 kW • Pulslänge <=30ns bei 1kHz • Ausgangsleistung 3Watt • Pulswiederholfrequenz im Bereich von 0,1-50 kHz pro-

grammierbar • manuell einstellbare Erstimpulsunterdrückung • stabile Ausgangsleistung wartungsarmes Lasersystem • Galvanometerablenksystem zum Erreichen hoher Ge-

schwindigkeiten • Feldgröße => 110 x 110 mm • Auflösung <=1µm • Wiederholgenauigkeit <=5µm • Spotdurchmesser < 40µm, optional < 20µm (Wechsel

der Optik durch eigene Techniker) wartungsfreies Galvanometerablenksystem • linearmotorgetriebener Step- und Repeattisch • Auflösung <=0,5µm • Wiederholgenauigkeit <=+/-0,5µm • Linear-Glasmaßstab • Verfahrbereich => 200mm x 200mm • hohe Beschleunigung (>8 m/s²) • Drehverstellung zum Ausgleich von Winkeltoleranzen • Verstellbereich => +/- 5° • Winkelauflösung <= 0,12'' • Kontaktiereinheit zur wahlweisen Verwendung von Pro-

bekarten und Nadeladaptern • Auflösung Heben/Senken <=10µm • Maximalhub =>20mm • Probekartengröße 6'' • Messstellenumschalter für mindestens 40 Messstellen • frei wählbare Messstellen mit Mehrfachbelegung • freie Zuordnung zwischen Messstelle und intenes/ exter-

nes Messgerät • Kelvinkonzept • ausbaubare Anzahl der Messstellen • Schaltzeit <=1,5ms • IEC-Bus zum Anschluss externer Messinstrumente Integriertes Kamerasystem zur Einrichtung und Beobachtung • CCD-Kamera • monochromatische Beleuchtung • Zoomfunktion • Bildverarbeitungssystem • Flächen- und Kantenfindung • Zoombarer Bildeinzug • Ganzfeldeinzug für Einrichtbetrieb • Produkt zugeordnete Bildeinzugsparameter • Komplett automatisches Einfahren des Produktes über

Step- und Repeat, Drehverstellung und Galvanometerab-lenksystem möglich

• flexible Software mit möglicher Softwarefernwartung • keine Hochsprachenkenntnisse erforderlich • Einbindung von externen Programmen möglich • integrierte Statistikfunktion


Trimmsoftware: • Steuerung der Galvanometer • Steuerung der Linearmotoren des Step- and Repeatti-

sches • Programmierung der Positionen der abzugleichenden

Widerstände • Koordinatentransformation durch Nullpunktverschiebung • Steuerung von Laserleistung, Pulswiederholfrequenz und

Erstimpulsunterdrückung, Trimmgeschwindigkeit • ermöglicht Widerstandsabgleich mit beliebigen Schnitt-

geometrien (I-,L-,J-, Doppel-, U-,Mäander-, und Shave-Cut)

• Erfassung der Widerstandswerte vor und nach dem Trimmvorgang

• Erfassung des Trimmverlaufes • Widerstandswertabgleich ( Widerstandswert des zu trim-

menden Widerstandes wird gemessen und ausgewertet) • Funktionsabgleich ( Widerstand wird anhand einer frei

wählbaren elektrischen Größe innerhalb der Schaltung abgeglichen)

• schrittweiser Abgleich (Sequenz abwechselnder Messun-gen und Laserschnitte)

• statistische Berechnungen • Markierung fehlerhafter Schaltungen • CE-Konformitätserklärung • Einhaltung bestehender Sicherheitsbestimmungen (La-

sersicherheitsklasse1) und VDE-Vorschriften • Softwarefernwartung


Laserabtragmaschine DML 40/SI Hersteller: LASERTEC GmbH

• 6-Achs-Ausführung mit optischem Tiefenmesssensor • Staubabsaugung • Wasser/Wasser Kühler • Kühlaggregat Wasser/ Wasser • Laserschutzfenster 100 mm x 200 mm • vergrößertes Laserschutzfenster 297 x 210mm/11.6" x

8.2" • zusätzliches Laserschutzfenster • X-Y-Tisch • CCD Kamera-Justiervorrichtung

Zubehör: • Lasersteuerung LaserSoft 3D • Staubabsaugung • Messtaster, Fabr. Heidenhain MT 60 • Verschleißteilpaket (1 St. Taschenfilter F7, 2 St. Ta-

schenfilter F5, 1 St. Laserlampe) • Vorschalttrenntrafo

Dokumentation: • Betriebsanleitung Laseranlage, dt. • Anleitung Filteranlage, dt. • Maschinenhandbuch, dt. • LPSWin, dt. • LASERSOFT 3D-Anleitung, dt. • Elektroschaltplan



VICO Placer Hersteller: Häcker Automation

Maschine für hochgenaue Montage von Mikrosystemen in Mikroelektronik und Mikromechanik • hohe Flexibilität, freie Umgestaltung von Aufnahme und

Zuführungseinheiten vor Ort durch eigene Techniker, • Arbeitsbereich X Y => 400mm x 400mm • Achsauflösung X Y <= +/- 5µm • Wiederholgenauigkeit X Y <= +/- 10µm • Arbeitsbereich Z => 25mm • Achsauflösung Z <= 10µm • Wiederholgenauigkeit Z <= 20µm • Verdrehbewegung > 360° • Verdrehachsauflösung <=0,005° • Verdrehachswiederholgenauigkeit <= 0,01° • automatischer Wechsel zwischen starren und kraftent-

koppelten Werkzeugaufnahmen • einstellbare Aufsetzkraft von 0,1- 40 N • Vorhaltung verschiedener Werkzeuge: Hartgummi-

Vakuumsauger, Deirin-Vakuumsauger, Die-Collets, Pin-transfertools

• Bilderkennungssystem • Schlechtsubstraterkennung, Schlechtbauteilerkennung • am Bestückerkopf mitgeführte Prozessbeobachtungska-

mera mit Struktur-Grauwert-Erkennungssystem • Erkennungstoleranz <= +/- 10µm • X Y Erkennungsbereich => 5mm x 5mm • Verdrehungserkennung über 360° • stufenlos regelbare Beleuchtung • Struktur-Grauwert-Erkennungssystem im Arbeitsbereich

zur Erkennung von Strukturen auf der Unterseite von Bauteilen

• verarbeitbare Bauteile • minimale Abmessung 0,2 x 0,2 x 0,1mm3 • maximale Abmessung 40 x 40 x 5mm3 • alle gängigen SMD-Bauformen inklusive 0201,

µBGA und CSP • ungehäuste Dice • Flipchips • mikromechanische Komponenten • Bauteile mit empfindlichen Oberflächen

• verarbeitbare Bauteilmagazine • Wafflepack 2-4 Inch • Gelpack 2-4 Inch • Bauteile im Wafer auf Folie 2-8 Inch • Gurt und Stange

• Verwendung von unterschiedlichen Bauteilmagazinen in einem Prozess

• Vorhaltung einer Benetzungsstation zur Höhenniveauein-stellung von Klebern, Pasten und anderen flüssigen Sub-stanzen

• Höhenniveau einstellbar von 5-500µm • Höhenniveauauflösung < 5µm • Wiederholbarkeit < 5µm • alle Vorrichtungen bei Bedarf wahlfrei durch eigenen

Techniker wechselbar • Programmierung der Platzierungspositionen über kame-

ragestützten • Teach-In-Prozess


• Programmierung von Nutzenanordnungen

• Speicherung von Bauteilinformationen in einer Bauteil-bibliothek

• Andruckkraft und Aufsetzgeschwindigkeit der Bauteile für jede Position separat frei programmierbar

• Wafermapping für Verarbeitung von Bauteilen aus Wa-fern



VICO Dispenser Hersteller: Häcker Automation

Maschine für hochgenauen Auftrag von verschiedenen Flüs-sigkeiten • hochflexible Maschine mit einfacher Umgestaltung von

Substrat- und Kartuschenaufnahme • dreidimensionale(X,Y,Z) Arbeitsweise der Maschine • Arbeitsbereich X Y => 400mm x 400mm • Achsauflösung X Y <= +/- 5µm • Wiederholgenauigkeit X Y <= +/- 10µm • Arbeitsbereich Z =>25mm • Achsauflösung Z <= 10µm • Wiederholgenauigkeit Z <= 20µm • geregelte Volumendosierung • volumetrisch geregelte Dosierung von Flüssigkeiten • Kompensation von Viskositäts- und Flusseigenschaften • Nutzung von Einwegkunststoff- oder Glaskartuschen • Mikrodosierung: Auflösung <=10 pl , Wiederholbarkeit

<=100pl • Bahndosierung: Auflösung <=10 pl/s • optionale Dosierauflösung < 1pl • maximale Dispensleistung 10.000 Punkte/h • automatischer Kartuschentausch < 20 s • dreidimensionale Nadelkalibrierung • dreidimensionales Struktur-Grauwert-Erkennungssystem

zur Vermessung der Nadelabweichung • Möglichkeit der Verarbeitung von mindestens 4 verschie-

denen Substanzen in einem Prozess • Umgestaltung von Kartuschen- und Substrataufnahme

durch eigene Techniker möglich • Bilderkennungssystem • dreidimensionales Struktur-Grauwert-Erkennungssystem

am Dispenserkopf • Erkennungstoleranz <= +/- 10µm • X Y Erkennungsbereich => 5mm x 5mm • Z Erkennungsbereich => 2mm • Verdrehungserkennung über 360°C • stufenlos regelbare Beleuchtung • Schlechtsubstraterkennung • Programmoberfläche für Programmierung und Bildverar-

beitung • Video-Nadelkalibrierung zur genauen Messung der Na-

delposition • dreidimensionales Struktur-Grauwert-Erkennungssystem

im Arbeitsbereich zur Vermessung der Nadelabweichun-gen in X,Y und Z

• Erkennungstoleranz <= +/- 10µm • Erkennungsbereich => 2mm x 2mm x 2mm • Standard-Substrataufnahme, Vakuum-Substrat-

aufnahme, Heizaufnahmen, Klemmvorrichtungen • Programmierung der Positionen über kameragestützten

Teach-In-Prozess • Programmierung von Nutzenanordnungen • interner PC mit Windows Betriebssystem • Speicherung von Kartuscheninformationen • Medienanschlüsse:

• 240 V 50 Hz 2.500 VA • Druckluft 6 bar • Vakuum optional bei Vakuumtisch



Bondautomat Bondjet 810 Hersteller: HESSE & KNIPPS GmbH

Vollautomatischer Wedge-Wedge Drehkopfbonder • Standardtisch mit Arbeitsbereich 305 x 180 mm

(12,3“ x 7“) • Piezo-Bondkopf / 93 kHz –Transducer

Drahtzufuhrwinkel 45° • Ultraschallgenerator • 2“ Drahtspule, motorgetrieben • Drahtstärke 17,5-60 µm • Drahtkontrolle • 4 Achsen (X,Y,Z, Theta) • 4 bürstenlose Synchron-Servomotoren • Mini-CCD-Kamera • Kaltlichtquelle • BONDJET-Bilderkennungssystem • BONDJET-Optik-Einheit • BONDJET-Steuerung, 32 MB Arbeitsspeicher, 2,0 Gyte

Festplatte, 3,5“ Floppy • BONJET-Qualitätskontrolle • Schnittstelle 32 Bit digital I/O, galvanisch getrennt, 24 V • Vakuumanschluss / Druckluftanschluss • Mikroskophalterung, verfahrbar • SPS-Programmeditor

Zubehör: • 17“ Farb-Monitor • BONDJET-Tastatur mit eingebautem Trackball • Standard-BONDJET 710-Software Bonderzubehörbox • Stereo-Mikroskop, Vergrößerung 68-fach • Piezo-Bondkopf 60° und Ultraschallgenerator • Piezo-Bondkopf 90° und Ultraschallgenerator • Standard-Vakuumtisch für manuelle Beladung 116 x 116

mm (4“ x 4“) • Standard-Vakuumtisch für manuelle Beladung 140 x 116

mm mit Standardheizmodul

Dokumentation Bedienerhandbuch für Standard-BONDJET 710-Software


Technologische Anlagen Anlagen Wafertechnologie Seite 58 von 60

4.3 Anlagen Wafertechnologie

Ätzbank Hersteller: Equidec GmbH

• automatische Anlage • Ätzen von Siliziumscheiben • Schnittstellen für Steuerung und Datenaustausch • automatische Ansteuerung und Überwachung mittels

SPS • Bedienpult mit grafischer Darstellung • grafische Steuerung und Überwachung der Anlage über

ein Ethernet (TCP/IP); E-mail-Versendung bei Störungen der Anlage

• Rezeptmanagement und weitere Funktionen über Inter-net/Intranet möglich

Reinigungsbank Hersteller: Equidec GmbH

Dunkelkammer Hersteller: Equidec GmbH

Inspektionskammer für 300 mm Siliziumscheiben

Ionisatoren AEROBAR NILSTAT mit Kontrolleinheit Hersteller: Ion Systems

Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/download/TA-00032.pdf


CMP nTREPID Hersteller: Strasbaugh

“Haze Free Polishing” von 300 mm Siliziumscheiben


Chemiemodule Hersteller: Equidec GmbH

Dosieren und zur Versorgung von nasschemischen Prozess-anlagen mit flüssigen Chemikalien der Qualität VLSI/ULSI und mehreren Anlagenanschlüssen. Slurryversorgung • Mischen aus einem oder zwei Fässern

Geometrie- und Widerstandsmessgerät

für 300 mm Siliziumscheiben

DSP-Anlage Wolters AC2000-P² Hersteller: Peter Wolters AG

Doppelseitenpolieranlage für 300 mm Siliziumscheiben

Partikelzähler LS-6700 Hersteller: Hitachi

• Partikelmessgerät • High sensitivity (50nm:Bare)


Hdt/Wag

20.06.2007

Einschweißgerät Hersteller: automation technology Inc.

Transportverpacken für FOSB


MES Hardware

• Logistische Steuerung, Handling und Unterstützung vom Scheibenein- bis zum -ausgang.

General Functionality • Wafer Information Management • Wafer Carrier Information Management • Process and Resource Management • Quality Management


MES-Software Inventarnummer: SW-00053

geraetekatalog apz stand20070620 - batt-thueringen.de · hersteller: linos photonics gmbh ... •...

Documents