E-Motion System, Inc.

ポリゴン角度

測定報告書

エ・モーションシステム株式会社

Model: SCMS-107

S/N: EMS-15128-1610-01 System

Revision 1.0.1

日付 2017 年 5 月 22 日

承認 承認 作成

E-Motion System, Inc.

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目 次

1. ポリゴン校正角度測定 3

1.1. 測定方法及び条件 3

1.2.

校正角度測定データ 4

1.3. 校正角度測定結果 17

1.4. 再現性測定結果 19

2. プリズム角度測定 21

2.1. 測定方法及び条件 21

2.2. 90°角プリズム角度測定結果 22

2.3. 三角プリズム角度測定結果 24

E-Motion System, Inc.

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1. ポリゴン校正角度測定

1.1. 測定方法及び条件

自己校正機能付き角度測定器のロータリテーブルのポリゴン角度校正精度を評価するため、ポリゴ

ンの校正角度測定を実施した。ポリゴンは 12面鏡を使用した。基準となるデータは産業技術総合研

究所（産総研）で測定した同一の 12面鏡の校正値である。

測定方法および 12面鏡校正の手順は以下の通りである。

項目

① 自己校正機能付き角度測定器のロータリテーブル上に、12面鏡を設置する。

② ターンテーブルの原点出し後、内蔵する自己校正型ロータリエンコーダにより自己校正を行う。

③ 12面鏡の0°面を角度測定器の原点位置付近に設置し、コリメータのX軸値が0°になるようロー

　　タリテーブルを回転する。

④ その時のロータリテーブルの自己校正角度を測定する。

⑤ これを30°ごとロータリテーブルをcw方向に回転し、330°面まで計12個の自己校正角度を測定

　 する。

⑥ 次に12面鏡の0°面からロータリテーブルをcw方向に回転し、330°面まで計12個の自己校正角

　 度を測定する。

⑦ cw方向、ccw方向の測定を3セット実施する。

⑧ 次に12面鏡の30°面を原点位置付近 に設置し、同様に計12面のロータリテーブルの自己校正

　 角度を計測する。

⑨ 12面鏡の60°面から330°面まで同様の測定を行う。

温度 22℃

コリメータ Taylor Hobson製DA80 S/N: 142/63-11

12面鏡 Nikon製12面鏡　S/N: 1122109

① コリメータ値のばらつきによる誤差を取り除くため、ロータリテーブルの自己校正角度（Wavef）にコ

　 リメータ値（AC(X)AVG）を加える。

　 ットする。

③ cw方向,ccw方向（ccw方向のデータはcw方向に変換後)の計6回分のデータを平均する。

　 個のをのデータを、0°面起点のデータになるように位相を合わせ平均する。

⑤ 平均値を産総研測定の12面鏡の校正値と比較し、その差を求める。

⑥ その差が本器の12面鏡校正精度となる。

内容

測定条件

測定方法

② 産総研が測定した12面鏡の0°面の校正値が0.04秒なので、0°面が0.04秒になるようにオフセ

④ ロータリテーブルの角度偏差を取り除くために、12面鏡の0°面起点から330°面起点まで計12

校正手順

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1.2. 校正角度測定データ

0°面起点～330°面起点それぞれの測定データは以下である。

データはロータリテーブルの自己校正角度（Wavef）とコリメータ角度（AC(X)AVG）のみ抜粋してい

る。Wavefと AC(X)AVGの単位は角度秒である。

なお ccw方向のデータは cw方向のデータに合わせるために、逆回転のデータに置き換えている。

グラフの横軸は 12面鏡の面位置（0°面～330°面）であり、縦軸はその位置のロータリテーブルの

自己校正角度である。

なお縦軸のロータリテーブルの自己校正角度はコリメータ角度（AC(X)AVG）を加えてあり、コリメ

ータ値のばらつきを補正した値になっている。

またグラフのロータリテーブルの自己校正角度は、産総研の校正値の 0°面の値が 0.04秒であるた

め、同じ値となるようにオフセットして表示している。

グラフの凡例の→は cw方向、←は ccw方向である。

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①0°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG0°面 15.84352 0.006298 15.84001 -0.03631 16.28881 -0.0212830°面 15.68825 -0.09825 15.68122 -0.04678 16.10955 -0.0687660°面 15.76216 -0.01945 15.74459 0.019124 16.18339 -0.0225290°面 16.07575 0.037225 16.0863 0.01062 16.52512 0.008637120°面 16.31956 -0.10203 16.2598 0.014961 16.70498 0.044835150°面 15.69678 0.074213 15.72842 -0.02995 16.16327 0.010038180°面 15.78915 0.091224 15.80673 0.044746 16.27645 -0.008210°面 15.93358 0.016041 15.89482 0.026892 16.37596 -0.08668240°面 15.72539 0.028193 15.73945 -0.04626 16.15337 0.029587270°面 16.08083 -0.04357 16.04264 -0.01947 16.50893 -0.01061300°面 15.6649 -0.08114 15.62623 -0.00291 15.99837 0.066702330°面 15.73575 0.030846 15.75333 0.049917 16.13585 0.009316

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG0°面 16.00568 -0.00026 16.28881 -0.02128 16.36615 -0.001130°面 15.72341 0.031475 16.10955 -0.06876 16.08142 -0.0261460°面 15.83563 0.01858 16.18339 -0.02252 16.1869 -0.017290°面 16.22312 0.007343 16.52512 0.008637 16.58137 -0.01099120°面 16.42102 -0.00325 16.70498 0.044835 16.78553 -0.04736150°面 15.82629 -0.03127 16.16327 0.010038 16.16327 0.009651180°面 15.89813 0.003773 16.27645 -0.008 16.30054 -5.1E-05210°面 16.01796 0.006652 16.37596 -0.08668 16.38651 0.027758240°面 15.79922 -0.02146 16.15337 0.029587 16.17798 -0.07901270°面 16.1406 -0.05 16.50893 -0.01061 16.54057 -0.0356300°面 15.71061 -0.0298 15.99837 0.066702 16.01946 0.092762330°面 15.79163 0.015724 16.13585 0.009316 16.22319 -0.01834

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

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②30°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG30°面 -3.15308 -0.01353 -3.12495 0.013332 -3.0302 0.01264360°面 -3.10552 0.01508 -3.07421 0.033358 -2.90537 -0.0286990°面 -2.79943 -0.01861 -2.82052 0.01751 -2.63104 -0.03978120°面 -2.57775 0.01456 -2.53205 -0.02247 -2.44065 0.022675150°面 -3.00507 -0.03398 -3.02616 0.032329 -2.92772 -0.00447180°面 -3.02209 0.001691 -2.99397 -0.02435 -2.86409 0.015577210°面 -2.87148 -0.03761 -2.83633 -0.00939 -2.74814 -0.00066240°面 -3.01662 0.03752 -3.0837 0.012416 -2.89059 -0.01393270°面 -2.71784 -8.2E-05 -2.75651 -0.00556 -2.62676 -0.02378300°面 -3.0825 -0.01936 -3.10711 0.003033 -2.94919 -0.00261330°面 -2.92584 0.005579 -2.8942 -0.00973 -2.71913 -0.002890°面 -2.84547 -0.00407 -2.81383 0.047326 -2.70892 0.048413

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG30°面 -3.05833 0.037714 -3.0302 0.012643 -2.91412 -0.0569360°面 -2.92646 -0.02668 -2.90537 -0.02869 -2.86318 -0.03190°面 -2.76779 0.014726 -2.63104 -0.03978 -2.6662 -0.00786120°面 -2.45582 -0.05005 -2.44065 0.022675 -2.42066 -0.02703150°面 -2.89244 -0.06931 -2.92772 -0.00447 -2.90299 0.014449180°面 -2.96584 0.018475 -2.86409 0.015577 -2.78028 -0.02956210°面 -2.78359 -0.01646 -2.74814 -0.00066 -2.69189 -0.03449240°面 -2.88708 -0.03545 -2.89059 -0.01393 -2.86598 0.007683270°面 -2.64785 -0.02338 -2.62676 -0.02378 -2.57402 -0.03836300°面 -3.04031 0.021701 -2.94919 -0.00261 -2.91755 -0.04382330°面 -2.73274 0.010863 -2.71913 -0.00289 -2.75383 0.0096170°面 -2.74352 0.051987 -2.70892 0.048413 -2.68079 0.030631

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

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③60°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG60°面 -46.1315 -0.03514 -46.1315 -0.02093 -46.1034 0.03830990°面 -45.9352 -0.01451 -45.8965 -0.02393 -45.8719 0.000775120°面 -45.7407 0.024494 -45.7336 0.007699 -45.6354 -0.00598150°面 -45.9832 -0.03546 -46.0676 0.013428 -46.0043 -0.06236180°面 -45.8971 -0.01973 -45.802 -0.02801 -45.8126 0.032249210°面 -45.7388 0.059624 -45.69 -0.04413 -45.6337 0.040252240°面 -45.935 0.013529 -45.9034 -0.05043 -45.9034 0.027349270°面 -45.7057 0.011337 -45.7268 0.007408 -45.6916 0.047392300°面 -46.1952 0.032018 -46.2023 -0.0039 -46.2058 0.050419330°面 -46.0194 -0.00969 -46.0545 -0.00786 -45.9703 0.0690320°面 -45.865 -0.04841 -45.879 0.020416 -45.8021 -0.0043430°面 -46.2112 0.000971 -46.2118 -0.02818 -46.2147 -0.01718

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG60°面 -46.0927 -0.00817 -46.1034 0.038309 -46.1667 0.08371490°面 -45.8613 -0.01364 -45.8719 0.000775 -45.9071 0.032297120°面 -45.653 -0.00758 -45.6354 -0.00598 -45.667 0.023768150°面 -46.0711 0.014288 -46.0043 -0.06236 -46.057 0.029737180°面 -45.7739 0.006936 -45.8126 0.032249 -45.7809 -0.05862210°面 -45.697 0.037899 -45.6337 0.040252 -45.6865 0.012417240°面 -45.935 -0.00188 -45.9034 0.027349 -45.8616 -0.02124270°面 -45.6986 0.010873 -45.6916 0.047392 -45.5823 -0.02072300°面 -46.1319 0.004289 -46.2058 0.050419 -46.0971 -0.021330°面 -46.0264 0.038513 -45.9703 0.069032 -45.907 -0.051590°面 -45.8509 -0.05883 -45.8021 -0.00434 -45.8302 -0.0126930°面 -46.2288 0.027048 -46.2147 -0.01718 -46.1696 -0.01355

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

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8

④90°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG90°面 -3.30722 -0.00913 -3.34589 0.041309 -3.27558 -0.00675120°面 -3.15122 -0.08604 -3.22856 0.012333 -3.18286 0.013651150°面 -3.68468 -0.01774 -3.72335 0.034102 -3.66359 -0.02921180°面 -3.4564 0.021355 -3.4564 0.010055 -3.41773 0.009725210°面 -3.21237 0.007343 -3.25036 0.013886 -3.21941 0.024271240°面 -3.41766 0.006861 -3.4493 0.008076 -3.35438 -0.00461270°面 -3.27793 0.02703 -3.21464 -0.00297 -3.25332 0.021851300°面 -3.7713 0.050281 -3.72593 0.003036 -3.74 0.021832330°面 -3.58781 -0.01977 -3.72521 0.034643 -3.59132 -0.01960°面 -3.4229 -0.03577 -3.42642 0.037961 -3.38408 0.01579730°面 -3.62088 0.005205 -3.59384 -0.06286 -3.59384 0.01915960°面 -3.50209 0.015751 -3.53373 -0.01479 -3.49506 0.010076

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG90°面 -3.31425 0.04784 -3.27558 -0.00675 -3.25448 -0.00631120°面 -3.17231 -0.01506 -3.18286 0.013651 -3.20044 0.002556150°面 -3.70929 -0.00668 -3.66359 -0.02921 -3.67765 0.029992180°面 -3.38961 -0.05017 -3.41773 0.009725 -3.38609 -0.01262210°面 -3.16316 -0.02734 -3.21941 0.024271 -3.1948 0.063127240°面 -3.38953 -0.01252 -3.35438 -0.00461 -3.38602 0.024285270°面 -3.2498 -0.00748 -3.25332 0.021851 -3.24628 0.068964300°面 -3.75054 0.01416 -3.74 0.021832 -3.67672 0.038425330°面 -3.6546 0.02903 -3.59132 -0.0196 -3.61945 -0.018090°面 -3.44048 -0.01155 -3.38408 0.015797 -3.34189 -0.0379630°面 -3.59735 0.008837 -3.59384 0.019159 -3.54462 -0.0512460°面 -3.49506 0.008232 -3.49506 0.010076 -3.43918 -0.04322

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

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9

⑤120°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG120°面 -36.2301 -0.00198 -36.2547 -0.02539 -36.2684 -0.01285150°面 -36.7955 -0.02227 -36.8409 -0.02014 -36.9429 0.070709180°面 -36.7292 0.007023 -36.792 0.024616 -36.8658 0.04486210°面 -36.4844 -0.03202 -36.5649 0.033337 -36.4946 0.010058240°面 -36.6599 0.038195 -36.568 -0.01662 -36.6564 0.011298270°面 -36.4131 0.009906 -36.3674 0.000477 -36.3322 -0.02797300°面 -36.9327 0.003211 -36.9357 0.04526 -36.9398 -0.04954330°面 -36.845 -0.02887 -36.8872 0.012471 -36.9045 -0.002840°面 -36.7443 0.045292 -36.7478 -0.01956 -36.6773 -0.08230°面 -36.7527 -0.02614 -36.8617 -0.02008 -36.8937 -0.0136860°面 -36.527 -0.06175 -36.52 -0.02615 -36.5622 0.02388690°面 -36.4031 -0.01352 -36.3433 -0.05914 -36.3855 -0.02598

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG120°面 -36.2825 0.003919 -36.2684 -0.01285 -36.2476 -0.03055150°面 -36.8936 0.015687 -36.9429 0.070709 -36.869 0.021553180°面 -36.6941 -0.05098 -36.8658 0.04486 -36.806 0.039422210°面 -36.4981 -0.01769 -36.4946 0.010058 -36.5262 0.030057240°面 -36.568 -0.01951 -36.6564 0.011298 -36.5329 0.000637270°面 -36.3603 -0.01916 -36.3322 -0.02797 -36.3463 0.031838300°面 -36.9433 0.018792 -36.9398 -0.04954 -36.8976 -0.00617330°面 -36.8204 -0.01303 -36.9045 -0.00284 -36.8134 -0.007680°面 -36.7619 0.002905 -36.6773 -0.082 -36.7725 0.00948730°面 -36.8371 0.004519 -36.8937 -0.01368 -36.809 -0.0181160°面 -36.5798 -0.01786 -36.5622 0.023886 -36.5305 -0.027490°面 -36.368 -0.01652 -36.3855 -0.02598 -36.3363 -0.01681

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

10

⑥150°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG150°面 50.81025 -0.02643 50.8208 -0.03538 50.83135 -0.0236180°面 50.95752 -0.03546 50.96807 -0.01288 50.8837 0.123693210°面 51.09402 0.007251 51.09753 0.051295 51.10808 -0.01508240°面 51.2 0.02551 51.12617 0.029092 51.19648 -0.06828270°面 51.5374 -0.02852 51.52685 -0.06739 51.53855 0.013962300°面 51.01256 -0.01635 50.9496 -0.03069 50.96366 0.01668330°面 50.92637 -0.03252 50.98557 -0.00248 50.94746 -0.011360°面 50.89552 0.005571 50.87794 0.048796 50.91661 0.03197830°面 50.51075 0.006159 50.53888 0.030041 50.54239 0.00078460°面 50.84469 0.002232 50.80953 0.023292 50.85523 0.01368990°面 51.21822 0.045958 51.2815 -0.04353 51.23228 0.109733120°面 51.47353 -0.04761 51.30862 0.090426 51.43486 0.001055

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG150°面 50.8701 -0.10361 50.83135 -0.0236 50.80322 -0.02459180°面 50.90831 -0.01613 50.8837 0.123693 50.93643 0.01411210°面 51.10105 0.000337 51.10808 -0.01508 51.21384 -0.03206240°面 51.1543 0.005479 51.19648 -0.06828 51.17188 -0.05541270°面 51.59365 -0.09602 51.53855 0.013962 51.47878 0.059929300°面 51.0196 -0.01515 50.96366 0.01668 50.96015 -0.04487330°面 50.95393 -0.03427 50.94746 -0.01136 50.9469 0.005680°面 50.92716 0.036649 50.91661 0.031978 50.92364 0.06868830°面 50.51427 0.000977 50.54239 0.000784 50.54239 -0.0728260°面 50.8905 -0.00087 50.85523 0.013689 50.80601 -0.0124290°面 51.20114 0.01144 51.23228 0.109733 51.2815 0.00701120°面 51.33323 0.0167 51.43486 0.001055 51.31213 0.039552

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

11

⑦180°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG180°面 24.28183 0.022077 24.25722 0.052448 24.19745 -0.00844210°面 24.38073 -0.01364 24.32448 -0.02615 24.29284 0.059564240°面 24.34414 -0.02414 24.22124 0.066846 24.12271 0.010271270°面 24.79266 -0.00415 24.67281 -0.06107 24.66929 0.025324300°面 24.49626 -0.00134 24.45759 -0.06722 24.30025 -0.00414330°面 24.4707 0.019235 24.42149 -0.00123 24.40742 0.1505820°面 24.45042 0.047418 24.3555 0.055032 24.39066 0.00286330°面 24.13552 -0.03318 24.01656 0.017953 23.91166 0.03002260°面 24.18119 -0.04511 24.18401 -0.04478 23.91413 0.07849890°面 24.48874 0.009348 24.50631 -0.01733 24.35836 0.062352120°面 24.69999 0.043989 24.63432 0.084091 24.66132 0.001465150°面 24.24491 -0.06304 24.17429 -0.04315 24.13914 -0.02774

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG180°面 24.2537 0.005016 24.19745 -0.00844 24.17636 0.012237210°面 24.33503 0.016602 24.29284 0.059564 24.25417 -0.02402240°面 24.30547 -0.08314 24.12271 0.010271 24.05239 0.029586270°面 24.70797 -0.05801 24.66929 0.025324 24.63414 -0.01701300°面 24.41223 -0.02494 24.30025 -0.00414 24.22642 0.110334330°面 24.36555 0.057686 24.40742 0.150582 24.30227 -0.034170°面 24.4223 -0.03117 24.39066 0.002863 24.32034 0.0556130°面 23.98843 0.125848 23.91166 0.030022 23.90814 0.06047960°面 24.12846 -0.03876 23.91413 0.078498 23.97038 0.01620690°面 24.46735 0.023285 24.35836 0.062352 24.36672 0.066062120°面 24.82002 0.011243 24.66132 0.001465 24.73163 -0.08652150°面 24.19539 0.023151 24.13914 -0.02774 24.10398 0.037199

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

12

⑧210°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG210°面 23.93405 -0.02918 23.95514 0.011305 23.96569 -0.01666240°面 23.77624 0.058196 23.83546 -0.07519 23.7757 0.04803270°面 24.01372 0.064944 23.98593 0.064791 24.0313 0.052123300°面 23.63247 -0.0087 23.62544 0.010454 23.60083 0.013379330°面 23.67539 -0.00997 23.81235 -0.0247 23.73867 0.0221320°面 23.72322 0.027712 23.72673 -0.01368 23.72673 0.00005330°面 23.50982 -0.03668 23.5063 0.030501 23.57661 -0.0818160°面 23.62723 0.028819 23.65184 0.0173 23.73293 -0.0174890°面 23.86894 0.036061 23.99851 -0.01666 23.96335 -0.01098120°面 24.17387 -0.00057 24.15629 0.046397 24.17387 -0.00257150°面 23.66168 0.002342 23.7109 0.00536 23.72848 0.033232180°面 23.75357 0.003953 23.82337 -0.01505 23.78821 0.01196

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG210°面 23.96217 0.005324 23.96569 -0.01666 24.05033 0.011678240°面 23.77273 0.026137 23.7757 0.04803 23.94779 -0.01782270°面 24.08755 -0.03624 24.0313 0.052123 24.16851 0.038395300°面 23.62192 0.001305 23.60083 0.013379 23.76324 -0.02458330°面 23.77016 0.020554 23.73867 0.022132 23.88266 -0.019450°面 23.76892 0.010008 23.72673 0.000053 23.90571 0.01149330°面 23.5063 0.004049 23.57661 -0.08181 23.68565 -0.0620160°面 23.61317 0.053913 23.73293 -0.01748 23.76809 0.00567590°面 23.92116 -0.01014 23.96335 -0.01098 24.03366 0.022924120°面 24.17387 -0.00545 24.17387 -0.00257 24.19145 0.011599150°面 23.65817 0.004849 23.72848 0.033232 23.69332 0.011704180°面 23.81282 -0.03218 23.78821 0.01196 23.82337 -0.00153

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

13

⑨240°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG240°面 -20.4013 -0.07136 -20.5663 0.003927 -20.4678 -0.0486270°面 -20.2521 0.035226 -20.1503 -0.03753 -20.1855 0.02405300°面 -20.663 0.02863 -20.7227 0.037 -20.5614 -0.04693330°面 -20.5559 0.008426 -20.577 0.072023 -20.5067 -0.011340°面 -20.4469 -0.00656 -20.4715 -0.01028 -20.4921 0.02069130°面 -20.743 0.000657 -20.7816 -0.06113 -20.7711 0.01533960°面 -20.6658 -0.00989 -20.7256 0.016542 -20.6522 0.03475790°面 -20.3631 0.03581 -20.3737 -0.02593 -20.3603 -0.05715120°面 -20.2406 -0.03086 -20.23 -0.01221 -20.2793 0.044653150°面 -20.6682 0.118683 -20.7274 -0.00734 -20.6963 -0.00331180°面 -20.4893 -0.04232 -20.4717 -0.05579 -20.4647 -0.02718210°面 -20.3485 -0.02859 -20.4223 -0.02519 -20.4223 0.037622

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG240°面 -20.5875 0.016759 -20.4678 -0.0486 -20.5417 0.018607270°面 -20.1855 0.006917 -20.1855 0.02405 -20.3189 -0.01093300°面 -20.7438 0.112122 -20.5614 -0.04693 -20.7051 -0.07614330°面 -20.6051 0.05826 -20.5067 -0.01134 -20.5981 0.0122330°面 -20.4223 -0.04861 -20.4921 0.020691 -20.4856 0.00060630°面 -20.8168 0.015867 -20.7711 0.015339 -20.8309 -0.0136960°面 -20.6939 0.005299 -20.6522 0.034757 -20.7572 0.01029790°面 -20.3772 0.025223 -20.3603 -0.05715 -20.4405 -0.03637120°面 -20.2687 0.060734 -20.2793 0.044653 -20.3112 0.071147150°面 -20.7068 -0.01117 -20.6963 -0.00331 -20.7209 0.040531180°面 -20.5244 -0.0057 -20.4647 -0.02718 -20.44 -0.01507210°面 -20.352 0.000866 -20.4223 0.037622 -20.3532 -0.04086

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

14

⑩270°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG270°面 24.8018 0.092492 24.76665 -0.05183 24.8018 -0.00266300°面 24.35261 -0.01632 24.38073 0.006247 24.38776 -0.07355330°面 24.40391 0.029607 24.46377 -0.0029 24.49893 -0.000170°面 24.53601 0.04846 24.50437 0.055702 24.52195 -0.0171530°面 24.33137 -0.03894 24.25455 -0.00147 24.3108 -0.0627660°面 24.28118 0.038039 24.24239 0.020196 24.17911 0.0514490°面 24.50963 -0.0372 24.55181 -0.07991 24.5272 0.02005120°面 24.70412 0.02663 24.67287 -0.08232 24.62365 -0.02855150°面 24.23323 -0.01024 24.18823 0.014668 24.12143 -0.0002180°面 24.43571 0.009246 24.42516 -0.0872 24.35617 0.072806210°面 24.69647 -0.00463 24.69647 -0.06576 24.79541 -0.00368240°面 24.52947 0.005062 24.54704 0.006451 24.54353 -0.02769

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG270°面 24.84399 -0.03321 24.8018 -0.00266 24.83696 -0.06888300°面 24.3737 -0.00901 24.38776 -0.07355 24.34558 0.039667330°面 24.36875 0.0529 24.49893 -0.00017 24.46025 -0.072670°面 24.5571 -0.05687 24.52195 -0.01715 24.51843 -0.0166130°面 24.31783 -0.08206 24.3108 -0.06276 24.26158 0.00045560°面 24.23184 -0.0085 24.17911 0.05144 24.23536 0.00653890°面 24.51314 0.015359 24.5272 0.02005 24.52017 -0.00576120°面 24.65529 -0.00248 24.62365 -0.02855 24.57795 0.022222150°面 24.09682 0.007379 24.12143 -0.0002 24.09682 0.03225180°面 24.36539 0.019674 24.35617 0.072806 24.3632 0.045138210°面 24.74569 -0.00876 24.79541 -0.00368 24.6578 -0.00961240°面 24.61384 -0.08415 24.54353 -0.02769 24.38873 0.105165

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

15

⑪300°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG300°面 9.569576 0.07643 9.716871 -0.00863 9.783121 0.018767330°面 9.744268 -0.01455 9.846221 -0.05339 9.835674 0.0075880°面 9.873321 -0.04845 9.901446 -0.02424 9.967696 -0.0774630°面 9.565707 0.049661 9.688656 -0.04348 9.699203 -0.000860°面 9.72272 -0.02871 9.705142 0.049542 9.832022 -0.0250390°面 9.830444 0.084057 9.882796 0.027081 10.01995 -0.04702120°面 9.993531 0.009341 9.979468 0.009112 10.02166 0.037242150°面 9.485817 -0.00068 9.464724 0.029816 9.552084 0.021635180°面 9.61952 -0.03261 9.714305 0.092354 9.689696 0.072939210°面 9.91957 0.017347 9.94418 -0.00454 10.00034 -0.03848240°面 9.873207 -0.02319 9.83102 0.048829 9.926311 0.022681270°面 10.15219 0.034775 10.25359 -0.03643 10.18735 0.007809

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG300°面 9.688746 0.010707 9.783121 0.018767 9.807731 -0.02769330°面 9.741898 0.036968 9.835674 0.007588 9.913301 0.0220720°面 9.802938 0.074526 9.967696 -0.07746 9.92254 0.00121430°面 9.558676 0.023202 9.699203 -0.0008 9.681625 0.01813360°面 9.712173 0.00369 9.832022 -0.02503 9.90585 -0.0289890°面 9.924983 -0.00289 10.01995 -0.04702 9.875764 0.04978120°面 9.997046 0.026433 10.02166 0.037242 10.04978 0.03375150°面 9.481771 -0.02979 9.552084 0.021635 9.53099 0.055535180°面 9.58788 0.003078 9.689696 0.072939 9.61952 0.028947210°面 9.873867 0.027689 10.00034 -0.03848 10.04253 -0.06393240°面 9.83102 -0.01441 9.926311 0.022681 9.855629 0.054106270°面 10.15922 -0.01917 10.18735 0.007809 10.30984 -0.02621

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

16

⑫330°面起点データ

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG330°面 2.672767 0.001077 2.683314 0.040404 2.746595 0.0016420°面 2.795751 0.022246 2.795751 0.005252 2.732995 0.03985230°面 2.58597 -0.06513 2.473471 0.033411 2.459338 0.01103260°面 2.78853 -0.00649 2.743118 0.030833 2.683352 0.02148590°面 3.047646 -0.0021 3.145777 -0.01413 3.075464 0.002179120°面 3.134107 0.028563 3.197388 0.021109 3.137623 -0.00117150°面 2.671053 -0.0401 2.597122 0.090518 2.547904 0.13121180°面 2.7083 0.016579 2.750487 -0.02094 2.697753 -0.02878210°面 2.885795 -0.03823 2.797905 0.008071 2.780326 0.001941240°面 2.753871 0.006372 2.732435 -0.04606 2.690248 0.068942270°面 3.087905 0.010317 3.098452 -0.03774 3.045717 0.073831300°面 2.584515 0.046867 2.503656 0.066583 2.55639 0.026295

Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG Wavef AC(X)AVG330°面 2.662221 -0.00675 2.746595 0.001642 2.756782 0.0156910°面 2.740026 0.023992 2.732995 0.039852 2.830907 0.02394930°面 2.582455 -0.03676 2.459338 0.011032 2.561361 -0.007360°面 2.739602 0.060153 2.683352 0.021485 2.792045 0.04314690°面 3.156324 -0.05558 3.075464 0.002179 3.145777 -0.01702120°面 3.218482 0.026116 3.137623 -0.00117 3.264418 -0.03456150°面 2.653475 -0.0057 2.547904 0.13121 2.618216 0.020099180°面 2.736425 0.032288 2.697753 -0.02878 2.771581 -0.0135210°面 2.766264 -0.01551 2.780326 0.001941 2.88228 -0.0339240°面 2.72892 -0.03036 2.690248 0.068942 2.774965 -0.01852270°面 3.130093 -0.01601 3.045717 0.073831 3.112514 -0.01904300°面 2.619733 0.006475 2.55639 0.026295 2.637311 -0.03724

1回目 2回目 3回目

cw方向

ccw方向

1回目 2回目 3回目

E-Motion System, Inc.

17

1.3.校正角度測定結果

0°面起点の測定～330°面起点の測定それぞれの cw,ccw方向計 6回の測定値を平均し,0°面起点

に位相をあわせたグラフを下に示す。

また 0°面起点の測定～330°面起点の測定値の計 12個のデータの平均値のグラフを（赤太線）

で示した。

0面起点のデータに位相を合わせて平均値をとることにより、1回転の間にあるロータリテーブルの

角度偏差はキャンセルされる。

その結果 12面鏡の各面における角度偏差のみが残ることになり、その平均値は自己校正機能付き

角度測定器のロータリテーブルにより測定した 12面鏡の校正角度となる。

この平均値を基準値である産総研で測定した 12面鏡の校正値と比較することにより、本器のポリ

ゴン校正精度を確認する。

E-Motion System, Inc.

18

自己校正機能付き角度測定器による 12面鏡校正角度測定値（平均値）と産総研測定の 12面鏡の

校正値のグラフを次に示す。

産総研測定の 12面鏡の校正値と本器による 12面鏡角度測定値の差のグラフを次に示す。

なお p-pの中心値が 0になるようにオフセットしている。

◆上記のように、自己校正機能付き角度測定器（本器）によるポリゴン校正角度は、産総研測定

による 12面鏡の校正値と比較し±0.1秒以内で一致しており、本器のポリゴン校正精度は

±0.1秒であることを確認しました。

E-Motion System, Inc.

19

1.4.再現性測定結果

日を改め 12面鏡校正角度測定の再現性を測定した。なお測定は 0°面起点、90°面起点、180°面

起点、270°面起点の 4位置で実施した。その他測定方法、条件および校正方法は「1.1測定方法及

び条件」と同じである。

面角度 AIST校正値 本器測定値 diff0°面 0.04 0.04 0.0030°面 -0.22 -0.48 0.2660°面 -0.2 -0.35 0.1590°面 0.13 0.31 -0.18120°面 0.25 0.62 -0.37150°面 -0.18 -0.37 0.19180°面 0.04 0.01 0.03210°面 0.19 0.33 -0.14240°面 -0.04 -0.08 0.04270°面 0.2 0.47 -0.27300°面 -0.16 -0.33 0.17330°面 -0.02 -0.13 0.11

2017/4/27

面角度 AIST校正値 本器測定値 diff0°面 0.04 0.04 0.0030°面 -0.22 -0.27 0.0560°面 -0.2 -0.22 0.0290°面 0.13 0.03 0.10120°面 0.25 0.22 0.03150°面 -0.18 -0.27 0.09180°面 0.04 -0.08 0.12210°面 0.19 0.06 0.13240°面 -0.04 -0.07 0.03270°面 0.2 0.24 -0.04300°面 -0.16 -0.22 0.06330°面 -0.02 -0.16 0.14

2017/5/15

E-Motion System, Inc.

20

上は 4月 27日と 5月 15日に測定した本器による 12面鏡の校正角度と産総研で測定した同一の

12面鏡の校正値のデータである。

グラフの赤線はその差である。両日の測定値ともにその差は±0.1秒以内となっている。

4月 27日と 5月 15日の本器による 12面鏡校正角度の測定値を比較し、その差をとることにより、

両日を改め測定した 12面鏡の校正角度測定の再現性を確認する。下はそのグラフである。

なお差のグラフは p-pの中心値が 0になるようにオフセットしている。

◆上記のように、日を改めての自己校正機能付き角度測定器（本器）による 12面鏡校正角度測定

値は±0.1秒の範囲で一致しており、本器によるポリゴン校正角度測定は±0.1秒の再現性が

あることを確認しました。

E-Motion System, Inc.

21

2. プリズム角度測定

2.1. 測定方法及び条件

自己校正機能付き角度測定器によるプリズム角度測定方法は以下の通りである。

項目

① 自己校正機能付き角度測定器のターンテーブル上に、プリズムを設置する。

② ターンテーブルの原点出し後、内蔵する自己校正型ロータリエンコーダにより自己校正を行う。

③ 回転テーブルをcw方向に回転し、プリズムの2面間の角度を測定する。

④ 4角それぞれ各10回測定し平均値をとる。

温度 23℃

コリメータ TriAngle US 300-57 S/N: 15-032-05

12面鏡 Nikon製12面鏡　S/N: 1122109

*　90°角プリズムの角番号はプリズムに表記されている番号に対応しています。

*　三角プリズムの角番号は下図の番号に対応しています。

内容

測定条件

測定方法

備考

*　プリズムは1角測定ごとに、測定面以外の2面にグリースを被膜させ、回転テーブルの原点付近に設置して測定する。

E-Motion System, Inc.

22

2.2.90°角プリズム角度測定結果

①4角度測定結果 自己校正機能付き角度測定器により 90°角プリズムを測定した結果は以下の通りである。

角１ 角２ 角３ 角４90d00m02.50s 90d00m11.56s 89d59m55.67s 89d59m49.95s90d00m02.48s 90d00m11.65s 89d59m55.66s 89d59m49.91s90d00m02.55s 90d00m11.65s 89d59m55.63s 89d59m49.90s90d00m02.55s 90d00m11.65s 89d59m55.66s 89d59m49.89s90d00m02.56s 90d00m11.60s 89d59m55.72s 89d59m49.89s90d00m02.60s 90d00m11.52s 89d59m55.74s 89d59m49.82s90d00m02.59s 90d00m11.55s 89d59m55.61s 89d59m49.93s90d00m02.61s 90d00m11.52s 89d59m55.62s 89d59m49.87s90d00m02.56s 90d00m11.60s 89d59m55.71s 89d59m49.88s90d00m02.61s 90d00m11.63s 89d59m55.72s 89d59m49.85s

平均値 90d00m02.57s 90d00m11.60s 89d59m55.68s 89d59m49.90s標準偏差(3σ) 0.129 0.148 0.134 0.105

４角合計 359d59m59.75s

測定値

◆上記のように、各 10回測定の標準偏差（3σ）は最大で角 2の 0.148であり、4角の合計角度

は 360°の 1秒以内となっています。

②上下逆測定結果

90°角プリズムを上下入れ替えて測定した結果は以下の通りである。

角１ 角２ 角３ 角４90d00m01.68s 90d00m12.70s 89d59m56.89s 89d59m48.41s90d00m01.61s 90d00m12.71s 89d59m56.93s 89d59m48.28s90d00m01.65s 90d00m12.69s 89d59m57.00s 89d59m48.30s90d00m01.70s 90d00m12.70s 89d59m57.01s 89d59m48.36s90d00m01.58s 90d00m12.75s 89d59m57.04s 89d59m48.38s90d00m01.69s 90d00m12.77s 89d59m56.96s 89d59m48.31s90d00m01.74s 90d00m12.78s 89d59m57.02s 89d59m48.39s90d00m01.72s 90d00m12.72s 89d59m56.92s 89d59m48.33s90d00m01.76s 90d00m12.77s 89d59m56.92s 89d59m48.33s90d00m01.67s 90d00m12.82s 89d59m57.02s 89d59m48.37s

平均値 90d00m01.69s 90d00m12.75s 89d59m56.98s 89d59m48.35s標準偏差(3σ) 0.157 0.123 0.154 0.121

４角合計 359d59m59.77s

測定値

◆上記のように、各 10回測定の標準偏差（3σ）は最大で角 1の 0.157であり、4角の合計角度

は 360°の 1秒以内となっています。

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23

③再現性データ（同日）

時間をおいて自己校正後に再測定した結果、再現性は以下の通りである。

2017/5/12/13:43 角１ 角２ 角３ 角４90d00m02.76s 90d00m11.29s 89d59m55.67s 89d59m49.95s90d00m02.74s 90d00m11.24s 89d59m55.66s 89d59m49.91s90d00m02.69s 90d00m11.26s 89d59m55.63s 89d59m49.90s90d00m02.69s 90d00m11.30s 89d59m55.66s 89d59m49.89s90d00m02.70s 90d00m11.33s 89d59m55.72s 89d59m49.89s90d00m02.71s 90d00m11.30s 89d59m55.74s 89d59m49.82s90d00m02.63s 90d00m11.34s 89d59m55.61s 89d59m49.93s90d00m02.84s 90d00m11.26s 89d59m55.62s 89d59m49.87s90d00m02.77s 90d00m11.26s 89d59m55.71s 89d59m49.88s90d00m02.66s 90d00m11.23s 89d59m55.72s 89d59m49.85s

平均値 90d00m02.72s 90d00m11.29s 89d59m55.54s 89d59m49.97s標準偏差(3σ) 0.172 0.106 0.097 0.131

４角合計 359d59m59.52s

2017/5/12/10:44 90d00m02.57s 90d00m11.60s 89d59m55.68s 89d59m49.90s2017/5/12/13:43 90d00m02.72s 90d00m11.29s 89d59m55.54s 89d59m49.97s

再現性 -0.15s 0.31s 0.14s -0.07s

測定値

◆上記のように、3時間後に自己校正後に再測定した結果、-0.07～0.31秒の再現性を確認しました。

④再現性データ（日替わり）

日替わりで自己校正後に再測定した結果、再現性は以下の通りである。

2017/5/13/10:53 角１ 角２ 角３ 角４90d00m02.47s 90d00m11.31s 89d59m55.81s 89d59m49.65s90d00m02.49s 90d00m11.58s 89d59m55.77s 89d59m49.61s90d00m02.49s 90d00m11.49s 89d59m55.72s 89d59m49.75s90d00m02.56s 90d00m11.54s 89d59m55.73s 89d59m49.67s90d00m02.57s 90d00m11.56s 89d59m55.67s 89d59m49.79s90d00m02.45s 90d00m11.47s 89d59m55.73s 89d59m49.67s90d00m02.54s 90d00m11.36s 89d59m55.78s 89d59m49.70s90d00m02.55s 90d00m11.38s 89d59m55.83s 89d59m49.71s90d00m02.45s 90d00m11.30s 89d59m55.71s 89d59m49.79s90d00m02.52s 90d00m11.32s 89d59m55.70s 89d59m49.77s

平均値 90d00m02.51s 90d00m11.45s 89d59m55.75s 89d59m49.72s標準偏差(3σ) 0.128 0.392 0.141 0.183

４角合計 359d59m59.43s

2017/5/12/10:44 90d00m02.57s 90d00m11.60s 89d59m55.68s 89d59m49.90s2017/5/13/10:53 90d00m02.51s 90d00m11.45s 89d59m55.75s 89d59m49.72s

再現性 0.06s 0.15s -0.07s 0.18s

測定値

◆上記のように、日を改め自己校正後に再測定した結果、-0.07～0.18秒の再現性を確認しました。

E-Motion System, Inc.

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2.3.三角プリズム角度測定結果

①3角度測定結果

自己校正機能付き角度測定器により三角プリズムを測定した結果は以下の通りである。

2017/5/9/9:16 角１ 角２ 角３25d30m15.14s 103d30m31.56s 50d59m13.19s25d30m15.16s 103d30m31.52s 50d59m13.18s25d30m15.11s 103d30m31.61s 50d59m13.18s25d30m15.13s 103d30m31.47s 50d59m13.23s25d30m15.13s 103d30m31.51s 50d59m13.23s25d30m15.23s 103d30m31.59s 50d59m13.23s25d30m15.25s 103d30m31.49s 50d59m13.17s25d30m15.08s 103d30m31.55s 50d59m13.18s25d30m14.89s 103d30m31.47s 50d59m13.23s25d30m14.95s 103d30m31.56s 50d59m13.18s

平均値 25d30m15.11s 103d30m31.54s 50d59m13.21s標準偏差(3σ) 0.318 0.135 0.072

３角合計 179d59m59.86s

測定値

◆上記のように、各 10回測定の標準偏差（3σ）は最大で角 1の 0.318であり、3角の合計角度

は 180°の 1秒以内となっています。

②再現性データ（同日）

時間をおいて自己校正後に再測定した結果、再現性は以下の通りである。

2017/5/9/11:11 角１ 角２ 角３25d30m15.24s 103d30m31.68s 50d59m13.14s25d30m15.36s 103d30m31.67s 50d59m13.01s25d30m15.26s 103d30m31.66s 50d59m13.13s25d30m15.36s 103d30m31.68s 50d59m13.10s25d30m15.33s 103d30m31.69s 50d59m13.13s25d30m15.32s 103d30m31.62s 50d59m13.10s25d30m15.26s 103d30m31.67s 50d59m13.10s25d30m15.36s 103d30m31.61s 50d59m12.94s25d30m15.26s 103d30m31.65s 50d59m13.18s25d30m15.27s 103d30m31.68s 50d59m13.05s

平均値 25d30m15.31s 103d30m31.67s 50d59m13.09s標準偏差(3σ) 0.135 0.075 0.205

３角合計 180d00m00.07s

2017/5/9/9:16 25d30m15.11s 103d30m31.54s 50d59m13.21s2017/5/9/11:11 25d30m15.31s 103d30m31.67s 50d59m13.09s

再現性 -0.2s -0.13 0.12s

測定値

◆上記のように、2時間後に自己校正後に再測定した結果、-0.2～0.12秒の再現性を確認しました。

E-Motion System, Inc.

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③上下逆測定結果

三角プリズムを上下入れ替えて測定した結果は以下の通りである。

2017/5/9/14:22 角１ 角２ 角３25d30m14.20s 103d30m31.46s 50d59m14.42s25d30m14.23s 103d30m31.44s 50d59m14.34s25d30m14.25s 103d30m31.45s 50d59m14.39s25d30m14.20s 103d30m31.46s 50d59m14.45s25d30m14.29s 103d30m31.46s 50d59m14.36s25d30m14.27s 103d30m31.48s 50d59m14.37s25d30m14.25s 103d30m31.53s 50d59m14.34s25d30m14.24s 103d30m31.52s 50d59m14.37s25d30m14.18s 103d30m31.39s 50d59m14.41s25d30m14.22s 103d30m31.55s 50d59m14.38s

平均値 25d30m14.24s 103d30m31.48s 50d59m14.39s標準偏差(3σ) 0.101 0.133 0.099

３角合計 180d00m00.11s

測定値

◆上記のように、各 10回測定の標準偏差（3σ）は最大で角 2の 0.133であり、3角の合計角度

は 180°の 1秒以内となっています。

④再現性データ（日替わり）

日替わりで自己校正後に再測定した結果、再現性は以下の通りである。なお本データは上下を

入れ替えた状態の測定データである。

2017/5/11/16:42 角１ 角２ 角３25d30m14.95s 103d30m31.59s 50d59m13.58s25d30m14.98s 103d30m31.54s 50d59m13.43s25d30m15.00s 103d30m31.56s 50d59m13.41s25d30m14.96s 103d30m31.59s 50d59m13.57s25d30m14.94s 103d30m31.46s 50d59m13.50s25d30m14.94s 103d30m31.54s 50d59m13.53s25d30m15.00s 103d30m31.50s 50d59m13.56s25d30m14.92s 103d30m31.56s 50d59m13.53s25d30m14.93s 103d30m31.51s 50d59m13.58s25d30m14.96s 103d30m31.52s 50d59m13.53s

平均値 25d30m14.96s 103d30m31.54s 50d59m13.53s標準偏差(3σ) 0.08 0.116 0.17

３角合計 180d00m00.03s

2017/5/9/14:22 25d30m14.24s 103d30m31.48s 50d59m14.39s2017/5/11/16:42 25d30m14.96s 103d30m31.54s 50d59m13.53s

再現性 -0.72s -0.06 0.86s

測定値

◆上記のように、日を改め自己校正後に再測定した結果、-0.72～0.86秒の再現性を確認しました。

E-Motion System, Inc.

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ポリゴン角度測定報告書

2017-5-22 Rev.1.0.1

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