非接触・高精度レーザ測長システム...精密センサ...

精密センサ

※写真のレーザ光はイメージです。

Catalog No.13004(7)

非接触・高精度レーザ測長システム

LSM-Sシリーズは、毎秒3200スキャンの超高速測定を実現

特長

毎秒3200スキャンの超高速測定［一部の機種を除く］16面ポリゴンミラーと高精度モータを使用しているため、高速測定が可能です。高速ラインや振動のある場所等で最大限威力を発揮します。

繰返し精度、位置誤差、直線性精度の向上光学系の最適化やクロックパルスの高速化により繰返し精度、位置誤差、直線性精度が飛躍的に向上しました。さらに、高精度のご要求にお応えします。

業界初、狭範囲精度の提示検査機器の向上により、今まで出来なかった狭範囲精度の提示が行える様になり、マスタワークとの比較測定の際の精度保証が可能となりました。（LSM-500S、LSM-9506を除く）

測定の個人誤差を軽減測定は被測定物を測定台や治具に置くだけなので、測定力の影響が無く、個人誤差を軽減します。

精度保証は測定機メーカならではの直線性精度。測定範囲内全範囲での精度保証と狭範囲精度保証（LSM-500S/LSM-9506除く）により測定値も安心です。

キャリブレーションゲージを豊富に用意（オプション）ご希望により校正証明書（トレーサビリティ体系図）や検査成績書の発行も可能です。（有料）

高精度フルラインナップ

独創のレーザ技術レーザスキャンマイクロメータLSM

1

2

測定原理

アプリケーション…………………………………………………… 3、4機種一覧……………………………………………………………… 5、6測定部

高精度測定部・表示部セット品 ………………………………… 7、8 極細線用測定部 ………………………………………………… 9、10 精密細物用測定部 ……………………………………………… 11、12 汎用測定部（30mmタイプ） …………………………………… 13、14 汎用測定部（60mmタイプ） …………………………………… 15、16 汎用測定部（120mmタイプ） ………………………………… 17、18 汎用測定部（160mmタイプ） ………………………………… 19、20 測定部・表示部一体形 …………………………………………… 21オプション（測定部用）

標準キャリブレーションゲージセット ………………………… 22 ガイドプーリ ……………………………………………………… 22 ワークステージ …………………………………………………… 22 信号延長ケーブル ………………………………………………… 22 中継延長ケーブル ………………………………………………… 22 エアブローカバー ………………………………………………… 22 アジャスタブルワークステージ …………………… 23、24、25、26表示部

簡易操作表示部 LSM-5200 ……………………………………… 27 多機能操作表示部 LSM-6200 …………………………………… 28 表示部機能説明 ………………………………………………… 29、30 表示部入出力仕様 ……………………………………………… 31、32

オプション（表示部用）

　LSM-6200/6902H用インターフェース　BCDインターフェイス ………………………………………… 33　デジマチックコードアウトユニット …………………………… 34　デュアル増設ユニット …………………………………………… 34　第 2 I/O・アナログインターフェイス ………………………… 35　システム拡張用機器　BCD/第 2 I/O同時搭載用ケーブル……………………………… 36　サーマルプリンタ DPU-414 …………………………………… 36　フットスイッチ …………………………………………………… 36用語説明……………………………………………………………… 37使用上の注意

　正しくお使い下さい……………………………………………… 38　ベースを取り外しての再取付けについて……………………… 38　輸出に関して……………………………………………………… 38簡易操作ソフトご案内 ……………………………………………… 39価格表 ……………………………………………………………… 40

I N D E X

輸出に関する詳細につきましては 38ページをご覧ください。

超精密スキャンモータの採用で超高精度を実現しています。

＜スキャンモータのメリット＞●高速でかつ安定したなめらかな回転により、高精度を生みます。●長寿命を実現し、メンテナンスもフリーです。●毎秒3200回の超高速測定によりワークの急激な変化に対し追従します。●周囲の温湿度変化による影響は小さく高精度が得られます。

ポリゴンミラー

レーザ電源

カウンタゲートセグメント選択回路

オプションI／F

RS-232CI／F

ROMRAM

データ表示キーボード

I／OアナログI／F

ポリゴンミラー

コリメータレンズ集光レンズ

受光素子アンプ

測定物

受光素子（リセット信号）

モータ

フットスイッチ

エッジ信号

エッジ信号

クロックパルスモータパルスMP RS

RS

半導体レーザ

CPU

■左図のブロック図において半導体レーザからのレーザビームはクロックパルスに同期して高速回転しているポリゴンミラーで反射されコリメータレンズにより平行ビームとなり測定物を走査（スキャン）し集光レンズにより受光素子に到達します。　受光素子では測定物によりさえぎられた光の強弱に応じた電圧を生じます。この電圧変化によりレーザビームが測定物にさえぎられている時間に発生したパルスを計数することにより寸法として表示するものです。したがって測定物の大きさ、測定物と測定物の隙間でも測定することができます。　このレーザスキャン方式で高精度を達成する重要な要素はレーザ平行ビームの等速なスキャン速度にあります。ミツトヨのレーザスキャンマイクロメータは超精密スキャンモータの採用と超精密光学部品とでこの要求を達成しています。

レーザスキャンマイクロメータの原理図（スキャンモータ方式）

3

ゴムロールの外径測定

フィルム・シートの厚み測定（同時測定）

フィルム・シートの厚み測定

ローラーの外径・振れの同時測定

ロールベアリング測定

アプリケーションワイドな測定範囲・高分解能で応用分野が拡大、多彩なアプリケーションを展開します。

4

フィルム・シートの厚み測定（同時測定）大径用外径測定デュアルシステム

アプリケーションワイドな測定範囲・高分解能で応用分野が拡大、多彩なアプリケーションを展開します。

ピンゲージ、栓ゲージの外径検査に最適です。世界最高クラスのレーザスキャンマイクロメータ LSM-6902Hとアジャスタブルワークステージ等をご使用いただくことで、ピンゲージや栓ゲージの高精度外径測定検査が可能となります。表示部からパソコン等の外部機器へのデータ出力も可能です。（弊社製インプットツールを使用すれば、簡単に EXCELのセルにデータを格納する事が出来ます。）

■主な仕様　測定範囲：ø0.1mm～ ø25.0mm　最小読取値：0.01µm　直　線　性：± 0.5µm　繰返し精度：± 0.045µm

LSM-6902H/AWS/CAL/IT/PC

5

LSM-500S

LSM-501S

LSM-503S

LSM-506S

LSM-512S

LSM-516S

測定部

測定範囲0.005 ～ 2mm



測定範囲1 ～ 60mm



9ページ

11ページ

13ページ

15ページ

17ページ

19ページ

機種一覧●測定部半導体レーザ光源：可視光形（波長：650nm）

6

多機能形（AC100 ～ 240V 仕様）

組み込み形

（DC ＋ 24V 1.3A 仕様）

LSM-5200

LSM-6200

表示部

高精度形（測定部・表示部セット品）

測定部・表示部一体形

LSM-9506



LSM-6902H

27ページ

28ページ

21ページ

7ページ繰返し精度　± 0.045µm

7

●25mmクラスのレーザスキャンマイクロメータでは世界最高の繰り返し精度を実現●超精密スキャンモータの採用で高精度を実現●測定範囲全域で±0.5μm、狭範囲ではさらに高精度±（0.3+0.1ΔD）μmの直線性を保証●ピンゲージ、栓ゲージの外径測定に最適証

■ピンゲージ測定例

高精度測定部・表示部セット品高精度タイプLSM-6902H ※測定部と表示部のセット品

●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）●実用新案登録済（出願国：日本）

LSM-6902H信号ケーブル (5m) No.02AGN770A 付き

セット・コードNo. 544-497-1符号 LSM-6902H標準価格 980,000円

測定部測定範囲 0.1～25mm最小表示量 0.01～10µm（設定可能）

繰り返し精度注1全範囲 ±0.045µm（ø25mm）中範囲 ±0.03µm（ø10mm）

直線性注2（20°C）全範囲 ±0.5µm中範囲 ±（0.3＋0.1ΔD）µm注5

位置誤差注3 ±0.5µm測定領域注4 ±1.5×25mmレーザ走査回数 3200回/秒レーザ波長 650nm（可視光）レーザ走査速度 226m/s

使用環境温度 0～40ºC湿度 35～85%RH（非結露）

表示部表示蛍光表示器16桁＋11桁、ガイダンスLEDセグメント 1～7（透明体1～3）または 1～255エッジ平均化方法単純平均2～2048/移動平均32～2048回合否判定（目標値＋公差）、（下の公差＋上の公差）、（多段選別7区）選択方式測定の種類待機、シングル測定、連続測定統計演算 MAX、MIN、平均値、範囲、σ（S.D）サイズ 335（W）×134（H）×250（D）mm電源 AC100～240V ±10% 50W 50/60Hz標準 I/F RS-232C、I/O・アナログオプション I/F デジマチックコードアウトユニット（2CH）、第21/O・アナログ I/F、BCD I/F使用環境 0～＋40ºC、35～85%RH（非結露）

その他

基準値設定、サンプル設定、消灯桁数選択、透明体測定、エッジ指定時の自動測定、出力タイマ、異常値除外機能、SHL変更可能、グループ判定機能、同時測定、統計処理、マスタリング、ブザー機能、ワーク自動検出（寸法/位置検出）、ゼロセット/オフセット※測定部2台接続、極細線測定機能及び一部の通信コマンドが使用できません。

注1：測定時間1.28秒（2048回平均）にてø25㎜及びø10㎜を測定した場合の±2σの値（σ：標準偏差）注2：測定領域中央にて（弊社指定検査法による）注3：円柱物を移動（光軸方向または走査方向）することによる誤差（外径）

注4：光軸方向×走査方向（測定範囲）注5：ΔDはマスターゲージとの外径差

8

■表示部寸法図

AC100～240V電源仕様

■測定部寸法図

●ワークステージ ●アジャスタブルワークステージ●標準キャリブレーションゲージセット

22ページ 22ページ 23ページ

単位：mm 単位：mm

（ø1.0, ø25.0）No.02AGD180

No.02AGD270 No.02AGD280

標準価格：48,000 円標準価格：78,000 円標準価格：170,000 円

オプション品

装着例

ø3.1（測定位置）

70MINケーブルスペース

10.5 7

705635

25

58

50

170

15.5

90

200

190420

70（測定位置中心）

70（測定位置中心）

70 90 74

11 3 11

測定領域

10012060 60

50228×M3

15

335

約12°

134

281.

413

121

225

80ケーブル

スペース

13.5

25

125

9

●最小径ø5µm～外径測定が可能●全測定範囲（5µm～2mm）において直線性±0.3µmの超高精度

セット価格：720,000円

LSM-5200（組込み形表示部）との取付例LSM-6200（多機能表示部）との取付例

■極細線測定例

■ファイバー測定例

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径

ふれ基準エッジ

基準ブレード

測定部極細線用 LSM-500S●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）

注1：測定対象物が透明体の場合は、測定範囲は0.05～2mmとなります。0.05mm以下の物についてはご相談下さい。また、1～255エッジ指定・ワーク自動検出・グループ判定・奇数刃工具測定・同時測定の各機能、およびLSM-6200用オプションのデュアル増設ユニットをご使用の場合は、極細線測定機能が無効になり、測定範囲は0.05～2mmとなります。

注2：測定時間0.32秒（1024回平均）にてø2mmを測定した場合の±2σの値（σ：標準偏差）注3：測定領域中央にて（弊社指定検査方法による）注4：円柱物を移動（光軸方向または走査方向）する事による誤差（外径）注5：光軸方向×走査方向（測定範囲）注6：ワーク及び測定部窓ガラスに水や埃が付着した場合は、誤動作することがあります。

※極細線測定機能について極細線測定では同時測定・デュアル測定・1～255エッジ指定・ワーク自動検出・グループ判定・奇数刃工具測定の設定ができません。


コードNo. 544-531符号 LSM-500S測定範囲 0.005～2mm注1

最小表示量 0.01～10µm（設定可能）繰返し精度注2 ±0.03µm直線性（20°C）注3 ±0.3µm位置誤差注4 ±0.4µm測定領域注5 1×2mm（0.005～2mm）レーザ走査回数 3200回／秒レーザ波長 650nm（可視光）レーザ走査速度 76m／s使用環境温度 0～40°C

湿度 35～85%RH（非結露）保護等級 IP64注6

標準価格 500,000円

信号ケーブル (5m) No.02AGN770A 付き

10

ケーブルスペース

測定位置

測定領域

（測定位置）4-M3深さ6

ø3.1深さ6

ø3.1深さ63-M4深さ8

55126

1819.5

14.5

29.590

2

1

34

324610370 min

2532.5

8440

15.5

10.5

17.5

1111

ワーキングエリア

〈質量〉　測定部：1.0kg　信号ケーブル（5m）：0.5kg

40


●標準キャリブレーションゲージセット

●信号延長ケーブル

●ガイドプーリ治具 ●エアーブローカバー

22ページ


単位：mm

（ø0.1, ø2.0）No.02AGD110


標準価格：48,000 円

写真は、LSM-503S 用エアブローカバーになります。

標準価格：42,000 円標準価格：60,000 円

パーツ No.02AGN780A02AGN780B02AGN780C

ケーブル長さ 5m10m15m

標準価格30,000 円40,000 円50,000 円

オプション品

装着例

装着例

11

注1：測定時間0.32秒（1024回平均）にてø10mmを測定した場合の±2σの値（σ：標準偏差）注2：測定領域中央にて（弊社指定検査方法による）注3：ΔDはマスターゲージとの外径差（単位：mm）注4：円柱物を移動（光軸方向または走査方向）する事による誤差（外径）注5：光軸方向×走査方向（測定範囲）注6：内部保護等級でありワーク及び測定部窓ガラスに水や埃が付着した場合は、誤動

作する事があります。

●全測定範囲（0.05～10mm）において直線性 ±0.5µmの超高精度●業界初の狭範囲精度±（0.3＋0.1ΔD）µmの設定により、より高精度測定が可能

■精密シャフト測定例

■フェルール測定例

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード


LSM-5200（組込み形表示部）との取付例LSM-6200（多機能表示部）との取付例

測定部精密細物用 LSM-501S●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）


コードNo. 544-533符号 LSM-501S測定範囲 0.05～10mm最小表示量 0.01～10µm（設定可能）繰返し精度注1 ±0.04µm直線性（20°C）注2

全範囲 ±0.5µm狭範囲 ±（0.3＋0.1ΔD）µm注3

位置誤差注4 ±0.5µm測定領域注5 2×10mm（0.05～0.1mm）　4×10mm（0.1～10mm）レーザ走査回数 3200回／秒レーザ波長 650nm（可視光）レーザ走査速度 113m／s使用環境温度 0～40°C


標準価格 470,000円


12

測定位置

測定領域

（測定位置）8-M3

ø3.1深さ6

ø3.1深さ6

3-M4深さ8

分離した場合の取付け寸法（下面図）


受光部へ（ケーブル長０．６ｍ）

ø3.1深さ6

3-M4深さ8

発光部受光部

ベース

信号ケーブル

中継ケーブル

42 6453

10.5

15.5

2250

2084

104

57.5

23070 min123 3968

最大10034 34※1

10

4

8 8

18.5

4040

110 40.5 38.5 309.5

9.5

14.5

9.5

150

6

40 40

157 73

〈質量〉　発光部：0.7kg　受光部：0.4kg　ベース：0.3kg　信号ケーブル（5m）：0.5kg

※1：66mmまで延長可


●エアーブローカバー

●ガイドプーリ ●アジャスタブルワークステージ

●ワークステージ ●信号延長ケーブル

●延長中継ケーブル


22ページ 22 ページ

22ページ

22ページ

単位：mm

●標準キャリブレーションゲージセット（ø0.1, ø10.0） No.02AGD120



標準価格：48,000 円

標準価格：60,000 円

標準価格：42,000 円

装着例

標準価格：180,000 円

標準価格：78,000 円

オプション品

装着例

装着例

パーツ No. ケーブル長さ標準価格02AGN780A 5m 30,000 円02AGN780B 10m 40,000 円02AGN780C 15m 50,000 円

パーツ No. ケーブル長さ標準価格02AGC150A 1m 20,000 円

13

●全測定範囲（0.3～30mm）において直線性 ±1.0µmの安心保証●業界初の狭範囲精度±（0.6＋0.1ΔD）µmの設定により、より高精度測定が可能



■ゴムロール測定例

■テープ幅測定例

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード


LSM-6200（多機能表示部）との取付例 LSM-5200（組込み形表示部）との取付例

測定部汎用 30mmタイプLSM-503S●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）


コードNo. 544-535符号 LSM-503S測定範囲 0.3～30mm最小表示量 0.02～100µm（設定可能）繰返し精度注1 ±0.11µm直線性（20°C）注2

全範囲 ±1.0µm狭範囲 ±（0.6＋0.1ΔD）µm注3

位置誤差注4 ±1.5µm測定領域注5 10×30mm（0.3～30mm）レーザ走査回数 3200回／秒レーザ波長 650nm（可視光）レーザ走査速度 226m／s使用環境温度 0～40°C


標準価格 480,000円


14

3-M4深さ8ø3.3通し側面取付け用（裏面同様）

ø3.1深さ6（基準穴）

中継ケーブル

信号ケーブル

ベース

受光部発光部

（ケーブル長１．4ｍ）受光部へ



ø3.1

8-M3（測定位置）

測定領域

測定位置

2-M4深さ8ø3.3通し

側面取付け用（裏面同様）

3-M4深さ8底面取付け用

3-M4深さ8

底面取付け用ø3.1深さ6

（基準穴）

805.5

10525054.584.5

42 42

70 min

170 5580 50※1

88

482594857202

6

18.5

5022

10.5

15.5

9.5

9.5

14.5

9.5

415790

12 11090

20

10

30

355

46

53 6842

95.5 65.5

150

57.5



130最大350



●アジャスタブルワークステージ ●ワークステージ


22ページ

単位：mm


●延長中継ケーブル 22ページ

22ページ

●標準キャリブレーションゲージセット（ø1.0, ø30.0）No.02AGD130

No.02AGD240


標準価格：48,000 円

標準価格：60,000 円

標準価格：230,000 円標準価格：78,000 円

オプション品

装着例

装着例

パーツ No. ケーブル長さ標準価格02AGN780A 5m 30,000 円02AGN780B 10m 40,000 円02AGN780C 15m 50,000 円02AGN780D 20m 60,000 円

パーツ No. ケーブル長さ標準価格02AGC150A 1m 20,000 円02AGC150B 3m 25,000 円02AGC150C 5m 30,000 円

15

●全測定範囲（1～60mm）において直線性 ±3µmの安心保証●業界初の狭範囲精度±（1.5＋0.5ΔD）µmの設定により、より高精度測定が可能



■圧延ロールの隙間測定例

■シートの厚みムラ測定例

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード





コードNo. 544-537符号 LSM-506S測定範囲 1～60mm最小表示量 0.05～100µm（設定可能）繰返し精度注1 ±0.36µm直線性（20°C）注2

全範囲 ±3µm狭範囲 ±（1.5＋0.5ΔD）µm注3

位置誤差注4 ±4µm測定領域注5 20×60mm（1～60mm）レーザ走査回数 3200回／秒レーザ波長 650nm（可視光）レーザ走査速度 452m／s使用環境温度 0～40°C


標準価格 680,000円


16

12-M3



ø3.1深さ6

（基準穴）

中継ケーブル

信号ケーブル

ベース

受光部発光部

（ケーブル長１．4ｍ）受光部へ



測定領域

測定位置



3-M5深さ10

底面取付け用3-M5深さ10底面取付け用


15.5

10.5

110※116388

192348

6620

60

42

4218.5

90 360 90

2250100

58 70

7

258 102

540

185 82

70min

20110

130

12

115.5 71

797

168.587 87

4214.5

9.5

162 174.5 121 63

9.59.5



273最大700



●アジャスタブルワークステージ ●エアーブローカバー


単位：mm



標準価格：55,000 円標準価格：280,000 円標準価格：85,000 円



22ページ

オプション品

装着例

装着例



17


注1：測定時間0.32秒（1024回平均）にてø120mmを測定した場合の±2σの値（σ：標準偏差）

注2：測定領域中央にて（弊社指定検査方法による）注3：ΔDはマスターゲージとの外径差（単位：mm）注4：円柱物を移動（光軸方向または走査方向）する事による誤差（外径）注5：光軸方向×走査方向（測定範囲）注6：内部保護等級でありワーク及び測定部窓ガラスに水や埃が付着した場合

は、誤動作する事があります。

■樹脂パイプの XY同時測定例

■ゴムロール測定例

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード

セット価格：1,280,000円


外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード


セット価格：1,240,000円





標準価格 1060,000円


18

3-M6深さ12ø5通し側面取付け用（裏面同様）

発光部受光部

3-M6深さ12ø5通し


ø3.1深さ6

（基準穴）


測定位置

測定領域

（測定位置）8-M4

ø3.1


受光部へ（ケーブル長１．4ｍ）

ベース

信号ケーブル

中継ケーブル

ø3.1深さ6

（基準穴）


312 88

48

7

48

146

9

146

9

200

100

521379696 263

8068

18.5

48162

30192

8499

131※1190

700

107321最大700

272

238462

70min

19

819

8

85144256192

198

150400150

120

30






22ページ 22ページ

単位：mm


No.02AGD260

標準価格：120,000 円標準価格：95,000 円



22ページ

オプション品

装着例



19


注1：測定時間0.32秒（1024回平均）にてø160mmを測定した場合の±2σの値（σ：標準偏差）

注2：測定領域中央にて（弊社指定検査方法による）注3：ΔDはマスターゲージとの外径差（単位：mm）注4：円柱物を移動（光軸方向または走査方向）する事による誤差（外径）注5：光軸方向×走査方向（測定範囲）注6：内部保護等級でありワーク及び測定部窓ガラスに水や埃が付着した場合

は、誤動作する事があります。

■樹脂パイプの XY同時測定例

■ロール測定例

外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード

セット価格：2,000,000円


外径

隙間

基準エッジ

基準エッジ

外径


基準ブレード


セット価格：1,960,000円





標準価格 1,780,000円


20

測定位置

3-M6深さ12、下穴ø5通し側面取付け用（裏面同様）

側面取付け用（裏面同様）3-M6深さ12、下穴ø5通し

（ケーブルスペース）

測定領域


8-M4


3-M6深さ123-M6深さ12

底面取付け用底面取付け用


注1

2000*1500

84110 10

841

9 9

378

170 110600

350 250

9

200

100

120

10074

20.5

880最小70

320 160400

8.7

200 200※1

8.7

224

25

249

206 87.5

360520

306107100

40

200

400 13 13688218

160

208

208


22ページ

単位：mm

●標準キャリブレーションゲージセット（ø20, ø160）No.02AGM300

標準価格：152,000 円



22ページ

オプション品



21


12-M3

測定領域

80

ケーブル

スペース

180

11

25

60

98

1005022

647

60

120

1011 882365

52.540

382 85180528

202

11

10.5

15.5

10100

10150

83 97

100 100

172 13.5

注 1：測定時間 0.32 秒（512 回平均）にてø60mm を測定した場合の± 2σの値（σ：標準偏差）注 2：測定領域中央にて（弊社指定検査方法による）注 3：円柱物を移動（光軸方向または走査方向）する事による誤差（外径）注 4：光軸方向×走査方向（測定範囲）

●一体形、多機能表示部と同等の豊富な機能付（I/Oアナログインターフェイスはありません。）●キャリブレーションゲージ（オプション）は、ø1mmとø60mmの2本セット

■表示部寸法図単位：mm

測定部・表示部一体形60mmタイプLSM-9506●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）●実用新案登録済（出願国：日本）

表示蛍光表示器 16 桁 +11 桁、ガイダンス LEDセグメント 1 ～ 7（透明体 1 ～ 3）又は 1 ～ 255 エッジ平均化方法単純平均 1 ～ 2048 ／移動平均 32 ～ 2048 回合否判定（目標値＋公差）、（下の公差＋上の公差）、

（多段選別 7 区分）選択方式測定の種類待機、シングル測定、連続測定統計演算 MAX、MIN、平均値、範囲、σ（SD）その他基準値設定、サンプル設定、消灯桁数選択、

透明体測定、エッジ指定時の自動測定、出力タイマ、異常値除外機能、SHL 変更機能、

グループ判定機能、同時測定、統計処理、マスタリング、ブザー機能、ワーク自動検出（寸法／位置検出）、

ゼロセット／オフセット※測定部 2 台接続、極細線測定機能及び一部の通信コマンドが使用できません。

コードNo. 544-114符号 LSM-9506測定範囲 0.5～60mm最小表示量 0.05～100µm（設定可能）繰返し精度注1 ±0.6µm直線性注2（20°C） ±2.5µm位置誤差注3

（光軸／走査方向）±2.5µm／±（2.0＋L/10）µm

L：ワーク中心と光軸中心のずれ（mm）測定領域注4 10×60mm（0.5～60mm）レーザ走査回数 1600回／秒レーザ波長 650nm（可視光）レーザ走査速度 226m/s表示器ドットマトリクス16桁（上）＋7セグメント11桁（下）標準インターフェイス RS-232C、デジマチックコードアウトユニット（1ch）オプションインターフェイス無電源 AC100～240V±10% 40W 50／60Hz使用環境 0～45°C、35～85％RH（非結露のこと）標準価格 980,000円

22

※価格表には、セットでの価格のみ記載しております。パーツ No. でのお求めの際には、お問い合わせ下さい。

ガイドプーリマグネットワイヤーや繊維などの細線状の外径を安定して、測定できるようにガイドの役割を行なうプーリ治具です。

ワークステージシャフト等のセットを簡単に行ない、高さ調整する事もできるため、高精度な測定を可能とします。

信号延長ケーブル中継延長ケーブル

測定部と表示部を遠く離して使用する時（信号延長ケーブル）や、受発光部を離して使用する時（中継延長ケーブル）に、継ぎ足して使用するケーブルです。

※ LSM-500S, LSM-501S の信号ケーブルは 20mを限度とし、中継ケーブルは 2mを限度とします。※ LSM-503S, LSM-506S, LSM-512S, LSM-516S の信号ケーブルは 30m を限度とし、中

継ケーブルは 5m を限度とします。※信号ケーブルと中継ケーブルを合わせた合計長さは 32m を限度とします。※ LSM-6902H には使用できません。

信号延長ケーブル中継延長ケーブル

エアーブローカバー受発光窓に煙や埃が付着する場合、受発光部に取付けたエア吹出し口から清浄なエアを吹出すことにより、受発光窓の汚れを防止します。

信号延長ケーブル

中継ケーブル（1.4m）（LSM-501Sのみ0.6m）（LSM-500SとLSM-6902H にはありません。）

中継延長ケーブル

信号ケーブル（5m） No.02AGN770A

表示部発光部受光部

各測定範囲は以下のようになります。LSM-500S：ø5µm～ø1.6mmLSM-501S：ø50µm～ø2mmキャリブレーションゲージが必要な場合は、どちらもLSM-500S用キャリブレーションゲージセット（No.02AGD110）をご使用ください。

測定部オプション※標準価格は 43ページをご参照ください。

標準キャリブレーションゲージセットレーザスキャンマイクロメータを校正するための基本ゲージです。ゲージ寸法は１方向１ヶ所のみの検定値です。

パーツ No. ケーブル長さ02AGN780A 5m02AGN780B 10m02AGN780C 15m02AGN780D 20m

パーツ No. ケーブル長さ02AGC150A 1m02AGC150B 3m02AGC150C 5m

エアブローカバー対象機種No.02AGD220 LSM-500SNo.02AGD230 LSM-501SNo.02AGD240 LSM-503SNo.02AGD250 LSM-506SNo.02AGD260 LSM-512S

適用機種 LSM-500S LSM-501Sパーツ No. 02AGD200 02AGD210

適用機種 LSM-6902H LSM-500S LSM-501S LSM-503S LSM-506S LSM-512S LSM-516S LSM-9506セット No. 02AGD180 02AGD110 02AGD120 02AGD130 02AGD140 02AGD150 02AGM300 02AGD170セット内容

（パーツNo.）

スタンド 02AGD181 02AGD111 02AGD121 02AGD131 02AGD141 02AGD151 02AGM320 02AGD171ゲージ ø1 ：02AGD920

ø25：02AGD963ø0.1：958200ø2 ：958202

ø0.1：958200ø10 ：229317

ø1 ：02AGD920ø30：02AGD961

ø1 ：02AGD920ø60：02AGD962

ø20 ：229730ø120：234072

ø20 ：229730ø160：02AGM303

ø1 ：02AGD920ø60：02AGD962

ケース 02AGD190 958203 958203 02AGD980 02AGD980 02AGD990 02AGM310 02AGD970

適用機種 LSM-501SLSM-503S

LSM-6902Hパーツ No. 02AGD270

※：エアブローカバーには、長さ 5m のエアーチューブ（外径 ø6mm）が付属します。

23

62

測定位置中心：22.5

測定位置中心：35

（27.5）

50127.8

（58）


上下動ハンドルLSM-6902H

スライドテーブル

水平クランプ可動領域：315以下（水平ストローク：130）

180

垂直ストローク：47


LSM-501ベース

LSM受光部

LSM発光部

上下動ハンドル

ベース（2枚）


水平クランプ

（測定位置中心：18.5）

55

5026

（測定位置中心：34）

230

140

（測定位置中心：57.5）

（144.8）

可動領域：315以下（水平ストローク：130）

180


（40）（40）（150）6138.8

LSM-501S用

LSM-6902H用

（単位：mm）

（単位：mm）

測定部・オプションアジャスタブルワークステージ・上下左右スライド機構により、多種多様なワークの直径が簡単に測定可能です。・精密シャフト・ローラ・ピンゲージなどの品質管理に最適です。

パーツ No. 02AGD280品名 LSM-6902H用アジャスタブルワークステージ対応機種 LSM-6902H測定範囲 0.1～25mm水平ストローク 130mm垂直ストローク 47mm最大積載質量 0.5kg質量 0.8kg標準付属品 Vブロック（No.02AGD420）×2

ストッパ（No.02AGD430）×1特別付属品両センタ（No.02AGD440）

上下動Vブロック（No.02AGD450）標準価格 170,000円

パーツ No. 02AGD400品名 LSM-501S用アジャスタブルワークステージ対応機種 LSM-501S測定範囲 0.05～10mm水平ストローク 130mm垂直ストローク 32mm最大積載質量 0.5kg質量 1.0kg標準付属品 Vブロック（No.02AGD420）×2



24

LSM受光部

LSM発光部上下動ハンドル

上下動クランプ水平クランプ


（178）

180


測定位置中心：90 測定位置中心：300

測定位置中心：97.5


300

460

11167

26

LSM-503S用

Vブロック

ストロークハンドル


固定側可動側

垂直ストローク：A

H

LW

L2 L1

L3

ストロークA以上

WW

L4

H3

H3 H1

H2

20 27

3525.5

2720

6

ø10：CALゲージ取付穴同軸段付きワーク

ød

øD

ストッパ



固定側可動側


H

LW

L2 L1

L3


WW

L4

H3

H3 H1

H2

20 27

3525.5

2720

6


ød

øD

アジャスタブルワークステージ標準付属品（LSM-6902H、501S、503S共通）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

測定部・オプションアジャスタブルワークステージ・上下左右スライド機構により、多種多様なワークの直径が簡単に測定可能です。・精密シャフト・ローラ・ピンゲージなどの品質管理に最適です。

パーツ No. 02AGD490品名 LSM-503S用アジャスタブルワークステージ対応機種 LSM-503S測定範囲 0.3～30mm水平ストローク 200mm垂直ストローク 35mm最大積載質量 2.0kg質量 4.9kg標準付属品 Vブロック（No.02AGD420）×2



対応機種 LSM-6902H,501S,503S用アジャスタブルワークステージパーツNo. 02AGD420ワーク径øDmax 30mm（LSM-6902H使用時25mm、LSM-501S使用時10mm）軸径ødmax 30mm（LSM-6902H使用時25mm、LSM-501S使用時10mm）（øD-ød）max 25mm質量 0.03kg（1個の質量）備考使用可能なCALゲージ

ø0.1（No.958200）但し、LSM-503S使用時、不可 ø1（No.02AGD920） ø10（No.229317） ø25（No.02AGD963） ø30（No.02AGD961）

対応機種 LSM-6902H,503S 用アジャスタブルワークステージパーツNo. 02AGD430質量 0.05kg用途ワークの位置決めに使用

25

LSM受光部

LSM発光部上下動ハンドル

上下動クランプ水平クランプ


（213）

200


測定位置中心：100 測定位置中心：398測定位置中心：116


440

640

11202

50

LSM-506S用

LSM-9506用

180

120



340



192



192

180

120



440




水平クランプ上下動ハンドル

LSM-9506

LSM-9506上下動ハンドル

垂直クランプ水平クランプ


LSM-9506用アジャスタブルワークステージ-200本体部


180120



340



192



192

180

120



440




水平クランプ上下動ハンドル

LSM-9506

LSM-9506上下動ハンドル

垂直クランプ水平クランプ




（単位：mm）

（単位：mm）

パーツ No. 02AGD370 02AGD680品名 LSM-9506用アジャスタブルワークステージ-200 LSM-9506用アジャスタブルワークステージ-300対応機種 LSM-9506測定範囲 0.5～60mm水平ストローク 200mm 300mm垂直ストローク 45mm最大積載質量 2.0kg 5.0kg質量 3.8kg 4.8kg標準付属品 VブロックA（No.02AGD550）×2

VブロックB（No.02AGD560）×1VブロックC（No.02AGD570）×1

特別付属品両センタ（No.02AGD580）上下動Vブロック（No.02AGD590）

160,000円 260,000円

パーツ No. 02AGD520品名 LSM-506S用アジャスタブルワークステージ対応機種 LSM-506S測定範囲 1～60mm水平ストローク 300mm垂直ストローク 45mm最大積載質量 5.0kg質量 9.7kg標準付属品 VブロックA（No.02AGD550）×2

VブロックB（No.02AGD560）×1VブロックC（No.02AGD570）×1

特別付属品両センタ（No.02AGD580）上下動Vブロック（No.02AGD590）

標準価格 280,000円

26

Vブロック



固定側可動側


H

LW

L2 L1

L3


WW

L4

H3

H3 H1

H2

20 27

3525.5

2720

6


ød

øD

アジャスタブルワークステージ標準付属品（LSM-506S, 9506用共通）

アジャスタブルワークステージ特別付属品両センタ

上下動Vブロック



固定側可動側


H

LW

L2 L1

L3


WW

L4

H3

H3 H1

H2

20 27

3525.5

2720

6


ød

øD



固定側可動側


H

LW

L2 L1

L3


WW

L4

H3

H3 H1

H2

20 27

3525.5

2720

6


ød

øD

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

パーツ No. 標準付属品（LSM-506S,9506用）

パーツNo. 02AGD550 02AGD560 02AGD570品名 Vブロック（A） Vブロック（B） Vブロック（C）ワーク径øDmax 60mm軸径ødmax 60mm 30mm （øD-ød）max 30mm 50mmH 39mm 45mmL1 50mmL2 30mm質量 0.12kg（1個の質量） 0.15kg備考使用可能な

キャリブレーションゲージø10（No.229317）ø30（No.02AGD961）

本品にキャリブレーションゲージ取付穴はありません。

使用可能なキャリブレーションゲージø10（No.229317）ø30（No.02AGD961）ø60（No.02AGD962）本品にキャリブレーションゲージ取付穴はありません。

使用可能なキャリブレーションゲージø1（No.02AGD920）ø10（No.229317）ø30（No.02AGD961）

対応機種 LSM-6902H,501S,503Sアジャスタブルワークステージ用

LSM-506S,9506アジャスタブルワークステージ用

パーツNo. 02AGD440 02AGD580センタ角 60°支持可能最大ワーク長さ 02AGD400使用時

02AGD280110mm 315mm

02AGD490使用時 230mmセンタ可動方式ばね可動センタ押出し力約1N 約3N質量（kg）可動側 0.11kg 0.5kg

固定側 0.07kg 0.35kg標準価格 55,000円 70,000円

対応機種 LSM-6902H,501S,503Sアジャスタブルワークステージ用

LSM-506S,9506アジャスタブルワークステージ用

パーツNo. 02AGD450 02AGD590垂直ストロークA 20mm 35mm積載可能最大ワーク外径 ø30mm ø60mm質量 0.1kg 0.2kg標準価格 70,000円 75,000円

02AGD440 02AGD580H1 45mm 65mmH2 40mm 60mmH3 30mm 45mmL1 25mm 50mmL2 20mm 40mmL3 66mm 106.5mmL4 32mm 55mmW 27mm 50mm

ストロークA 5mm以上 10mm以上

項目パーツNo.

02AGD450 02AGD950H 78.7mm 105.8mmL 36mm 40mmW 27mm 50mm

項目パーツNo.

27

138 0+1

72

144

140.4

68

138（アルミケース）

197.1 （20.5）

前面図

背面図

68+0

.7 0

パネル取付け穴寸法図（DIN 43 700-144×76）パネル厚 1.6≦ｔ≦6 （mm）　質量：1.4kg

パネルマウント用支持金具

底面図

注記）※寸法におけるｔはパネル厚

※24

0.3＋（

t－0.

6）（

4.4）

（アルミケース）

側面図

注1：1～255エッジ指定・ワーク自動検出・奇数刃工具測定・同時測定の各機能をLSM-500Sでご使用の場合は、極細線測定機能が無効になり、測定範囲は0.05～2mmとなります。注2：LSM-500S接続時の測定範囲は0.05～2mmとなります。※旧タイプの測定部（旧LSM-500、500H等）との接続はできません。※LSM-6902Hには接続できません。※パソコン等とUSB通信をされる場合には、本商品専用のデバイスドライバが必要となります。

●平均値、最大値、最小値、範囲（最大値－最小値）の演算測定が可能です。●セグメント（7箇所）測定、エッジ（1～255エッジ）測定のいずれかを選択可能です。●I／OアナログとRS-232Cを標準装備しています。●単純平均測定、移動平均測定のいずれかを選択可能です。●パネルマウントのDINサイズで、システムへの組込みが容易です。●合否の判定ができます。●異常値除外機能を標準で装備しています。


DC＋ 24V電源仕様

単位：mm

表示部組み込み形操作表示部 LSM-5200●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）●実用新案登録済（出願国：日本）

コード No. 544-046符号 LSM-5200表示 LED9桁＋8桁、ガイダンスLEDセグメント 1～7（透明体1～3）または1～255エッジ注1

平均化方法単純平均4～2048／移動平均32～2048回(LSM-500Sご使用時、単純平均は16～2048回となります。) 合否判定（目標値±公差値）または（下限値・上限値）選択方式測定の種類待機、シングル測定、連続測定統計演算演算結果はUSBまたはRS-232Cから出力サイズ 144（Ｗ）×72（Ｈ）×197.1（Ｄ）mm電源 DC＋24V±10％ 1.3A以上標準 I/F USB2.0、RS-232C、I/Oアナログ使用環境 0～40℃、35～85％RH（非結露のこと）保存環境 -20～70℃、35～85％RH（非結露のこと）その他奇数刃測定、同時測定、基準値設定、サンプル設定、消灯桁数選択、透明体測定注2、ワーク自動検出（寸法/位置検出）注1、異常値除外機能、マスタリング、

統計処理（USB、RS-232C使用時）、出力タイマ、エッジ指定時の自動測定、プリセット　※各機能には組合せによる機能制限があります。標準価格 180,000円

28

ケーブル

スペース

●

キーロック CAL オフセット統計処理同時測定

BUSYRUN+NGGO-NG

LD2 ON

LD1 ON 0 ＋/－

1 2 3

654

7 8 9

L.CAL

H.CAL

読込み

シフト測定設定

C

合否判定

オフセット

基準値

入力統計表示

単位

葦字

統計処理

PROG.

21

SW.FOOT

I/O ANALOG RS-232C REMOTE INTERLOCK

SCAN SIG.-1

TRANSMITTER-1

ID ROM 1

A1A6

B1B6

DI

335

80

125

13134

276.4

121

8.2

250

約12°

注1：1～255エッジ指定・ワーク自動検出・グループ判定・奇数刃工具測定・同時測定の各機能、およびLSM-6200用オプションのデュアル増設ユニットをLSM-500Sでご使用の場合は、極細線測定機能が無効になり、測定範囲は0.05～2mmとなります。

注2：LSM-500S接続時の測定範囲は0.05～2mmとなります。それ以下はご相談ください。※LSM-6902Hには接続できません。※旧タイプの測定部（旧LSM-500、500H等）との接続はできません。


AC100～ 240V電源仕様

単位：mm

表示部多機能操作表示部 LSM-6200●特許登録済（出願国：日本）●特許出願中（出願国：日本）●実用新案登録済（出願国：日本）

●2軸表示器を採用しており、常時設定値が表示できます。　また、同時測定では、2項目の測定値を同時に表示する事ができます。●統計演算処理が可能です。●平均値、最大値、最小値、範囲（最大値－最小値）の演算測定が可能です。●セグメント（7箇所）測定、エッジ（1～255エッジ）測定のいずれかを選択可能です。

●異常値除外機能を標準で装備しています。

コード No. 544-071符号 LSM-6200表示蛍光表示器16桁＋11桁、ガイダンスLEDセグメント 1～7（透明体1～3）又は1～255エッジ注1

平均化方法単純平均2～2048／移動平均32～2048回（LSM-500Sご使用時は、単純平均は16～2048回となります。）合否判定（目標値＋公差）、（下の公差＋上の公差）、（多段選別7区分）選択法式測定の種類待機、シングル測定、連続測定統計演算 MAX、MIN、平均値、範囲、σ（S.D）サイズ 335（Ｗ）×134（Ｈ）×250（Ｄ）mm電源 AC100～240V±10% 50W 50／60Hz標準 I/F RS-232C、I/O･アナログオプション I/F デジマチックコードアウトユニット（2CH）、第2I/O･アナログ I/F、BCD I/F使用環境 0～＋40°C、35～85％RH（非結露のこと）その他基準値設定、サンプル設定、消灯桁数選択、透明体測定注2、奇数刃測定機能、エッジ指定時の自動測定、出力タイマ、異常値除外機能､SHL変更可能、グループ判定機能、

同時測定、統計処理、マスタリング、ブザー機能、ワーク自動検出（寸法/位置検出）注1、ゼロセット/オフセット、デュアル測定（オプション）※各機能には組み合せによる制限があります。

標準価格 220,000円

29

セグメントNo.測定物 1

測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X

基準線D 基準線C 基準線D

基準面A

Y

基準面B 基準面A 基準面B

ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1

測定内容：A ～ D の寸法を測定し、合否判定を行ない、データ数10で統計処理。

測定プログラム・メモリ機能測定の条件をあらかじめプログラムでき、メモリに記憶できます（LSM-5200は2通り、LSM-6200は100通り、LSM-6902Hは10通り）。プログラムの変更はワンキーにて可能です。※記憶用メモリICの寿命は100万回です。

ワーク自動検出機能ワークが測定エリアに入ったとき、自動的に測定を開始する機能です。

測定モード設定機能通常測定、最大、最小、振れ幅、サンプル測定など、いろいろなワークの測定にあわせた測定モードが設定でき、プログラムとして記憶できます。

複数キャリブレーションデータメモリ機能

ドリル/エンドミル（奇数刃）外径測定機能ワークの回転動作によるピーク測定をもとにドリル/エンドミル（奇数刃）外径測定ができます。

プリセット（オフセット）機能表示されている測定データをゼロまたは任意の数値に変換する機能です。たとえば、ある基準ゲージとの差を直読する場合、あるいは本機の測定範囲を超えた測定物の寸法を直読する場合に使用します。

サンプル測定機能測定回数（サンプル数：2～ 999）を設定した場合をサンプル測定と言います。測定結果からサンプル測定で設定された演算項目（平均値、最大値、最小値、範囲）を計算します。回転体の振れ（範囲）測定や簡易円筒度測定に適しています。

エッジ指定による自動測定機能測定範囲内にある測定箇所の任意の2点を指定して、その2点間の数値を表示します。この場合、明部を127箇所、暗部を127箇所まで測定することが可能となります。ICやコネクタなど、等しい間隔を持つ測定物のピッチ、外径または隙間を自動的に測定しますので、足曲がりなどの検査に適しています。尚、透明体測定の時は、ご使用になれません。

平均化表示・出力／アベレージ機能平均化方法には、単純平均モードと移動平均モードがあります。あらかじめ単純平均モードで行うか、移動平均モードで行うかを設定することができます。連続しているワークの径の傾向を長期間で判断するには移動平均、短期間の急激な変化を見る場合は、単純平均を使用します。また、平均化の回数（アベレージ）は単純平均モードの場合、2回～2048回までの12通りの設定が可能です。移動平均モードの場合、32回～2048回までの7通りの設定が可能で、2回目以降は平均化回数にかかわらず、16回平均化毎に測定値を更新します。但し、単純平均モードの場合の出力は、8回平均以上で正常出力となります。

セグメント設定機能測定箇所の設定を行なう機能で、最大 7ヶ所の設定ができます。但し、透明体測定物用にセットした場合、セグメント No.は 3ヶ所のみ設定可能となります。

オフセット（マスタリング）機能高精度なワークなどを連続して加工するとき、上記のプリセットの設定値を微調整することをマスタリングと言います。マスタリングの設定がされますと、総合補正値は、（プリセット値）＋（±マスタリング値）となります。マスタリング値をプラス（＋）値と設定しますと加工物の外径は大きくなる方向へ表示し、マイナス（－）値と設定すると逆になります。

■デュアルシリーズの大径測定の場合、　セグメント①, ⑤を使用する。

■デュアルシリーズの XY 測定の場合、セグメント②, ⑥を使用する。

　（※ XY は10mm の間隔が必要です。）

■回転物体のフレ測定（寸法差演算により可能）の場合、セグメント①にし、基準値と組み合わせて測定する。■線材、円筒状部品の外径測定（寸

法差演算により楕円度、簡易円筒度の測定が可能）の場合、セグメント②を使用する。

■平行ピンの間隔測定（ピッチ測定）の場合。　内側間隔：セグメント③を使用する。　外側間隔：セグメント②, ③, ④を同時

に使用する。

レーザ走査方向エッジ1

エッジ2

エッジ3

エッジ4

エッジ5

エッジ6

エッジ7

エッジ253

エッジ254

エッジ256

エッジ255

1 PIN

2 PIN

3 PIN

126 PIN

127 PIN

表示部LSM-5200・6200・6902H機能説明

基準軸

回転による

　ブレ

基準バー

奇数刃ワーク SEG1（Min.）

D＝［SEG1＋2（Max.）］－［SEG1（Min.）］

SEG1＋2（Max.）D

10種類のキャリブレーションデータをメモリすることができます。このモードのときは10個のプログラムを10セット所有します。●10個のプログラム（1個のキャリブレーションデータ）×10セット※LSM-6200のみ対応

30


測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X


基準面A

Y


ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1


データ出力機能RS-232C出力、I/O・アナログ出力を標準装備していますのでプリンタ（オプション）やシーケンサなどに接続することが可能です。またデジマチック出力、BCD出力などのインターフェース（オプション）も充実しています。

異常データ除外機能水滴、油やゴミなどの付着により公差値に対して著しく異常なデータが発生した場合、そのデータを測定処理から自動的に除外する機能です。

出力タイマ機能連続測定の場合、任意の時間設定（1～999秒）を行なうことにより、その設定時間毎に測定データを出力します。

EXT. 測定開始信号機能（LSM-6200・6902Hのみ）後部パネルのフットスイッチ入力コネクタに接点信号を与えることにより、測定開始の指示を行なうことができます。

同時測定・同時出力機能（LSM-6200のみ）2台の測定部で2ヶ所同時に測定したり、1台の測定部で2つの項目が同時に測定でき、しかも判定出力が可能（第2 I/O・アナログインターフェイスが必要）な機能です。例えばシャフトの振れと外径、2本の丸棒・線材の外径などの測定に便利です。

7段階選別機能（LSM-6200・6902Hのみ）＋N G、G O、－N Gの合否判定の他に、オプションの第2 I/O・インターフェース（02AGC880）を使用することにより、7段階の公差判定信号を外部に出力し、7段階選別が可能になります。

統計演算（STAT）機能

各機能の組合せにおける制限事項

1種類のワークについて複数の測定を行ない、その寸法の統計値を得て、ロットの品質評価を行なえる機能です。（LSM-5200はRS-232C、USB使用時に出力可能）

■ 7 段階選別

■統計（STAT）機能を利用した段付丸棒の測定


測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X


基準面A

Y


ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1


■ 1 つの測定物と 1 つのビーム通過量を同時測定

■ 2 つの測定物を同時測定

NGデータのみプリント

演算結果データプログラムNo.0（ A の測定の条件）サンプル数平均値最大値最小値偏差標準偏差

プログラムNo.1（ B の測定の統計）

プログラムNo.2（ C の測定の統計）

プログラムNo.3（ D の測定の統計）

プリント例

注1：上表中「○」印の組合わせは可能ですが、「—」印は組合わせできません。注2：極細線測定では、平均化回数が16～2048回に制限されます。注3：移動平均では、平均化回数が32～2048回に制限されます。注4：透明体測定では、セグメント設定が1～3回に制限されます。注5：奇数刃工具測定機能は、LSM-6200/5200のみ対応です。※：グループ判定機能はLSM-6200/6902Hのみ対応です。

機能の組み合わせエッジ指定

透明体測定極細線測定ワーク自動検出異常値除外サンプル測定奇数刃工具測定移動平均グループ判定※手動測定自動測定

エッジ指定手動測定 — — — ○ ○ ○ — ○ ○自動測定 — — — ○ — — — — —

透明体測定 — — ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○極細線測定 — — ○ — ○ ○ — ○ —ワーク自動検出 ○ ○ ○ ○ ○ ○ — — ○異常値除外 ○ — ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○サンプル測定 ○ — ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○奇数刃工具測定 — — ○ — — ○ ○ — ○移動平均 ○ — ○ ○ — ○ ○ — —グループ判定 ○ — ○ — ○ ○ ○ ○ —

＋NG

OK5

OK4

OK3

OK2

OK1

－NG

リミット値6

リミット値2

リミット値1

リミット値5

リミット値4

リミット値3

31

RS-232Cインターフェース標準装備されているRS-232Cインターフェースは、外部機器との通信をEIA準拠のシリアル信号で行なうインターフェースです。測定条件、設定、データ送受などの汎用インターフェースとして使用するほかに、シリアル転送のプリンタ用インターフェースとして使用出来ます。

共通仕様・適合プラグ：D-sub 9 ピン雌（AMP 製：HD-20/747951-1 などの同等品）

LSM-6200・6902H は左図のピン配置となりますLSM-5200 は上下逆向きとなります

1

6 9

5

通信仕様

接続

（1）ターミナル定義（DTE）の機器との接続をする場合例 1.　フロー制御方式（CTS, DSR, DTR,および RTSによる制御方式）

例 2.　フロー制御方式（CTS, DSR, DTR,および RTSによる制御方式）

例 3.　3線式（TxD, RxDおよび SGによる無手順方式）

（2）モデム定義（DCE）の機器と接続する場合例 1.　フロー制御方式（CTS, DSR, DTR,および RTSによる制御方式）

信号名DCDRxDTxDDTRSGDSRRTSCTSRI

ピン番号123456789

信号名

RxDTxDDTRSGDSRRTSCTS

ピン番号123456789

9ピンD-sub

などターミナル定義（DTE）の機器

9ピンD-sub

ターミナル定義（DTE）本機パーソナルコンピュータ（PC-AT互換機）

信号名FCTxDRxDRTSCTSDSRSGDCDDTR

ピン番号1234567820

信号名


ピン番号123456789

25ピンD-sub


9ピンD-sub

ターミナル定義（DTE）本機パーソナルコンピュータ（PC-9801）


ピン番号123456789

信号名


ピン番号123456789

9ピンD-sub


9ピンD-sub

ターミナル定義（DTE）本機パーソナルコンピュータ（PC-AT互換機）


ピン番号123456789

信号名


ピン番号123456789

9ピンD-sub

モデム定義（DCE）の機器

9ピンD-sub

ターミナル定義（DTE）本機

表示部LSM-5200・6200・6902H共通入出力仕様

装置定義 LSM をターミナル定義（DTE）とする通信方式全 2 重同期方式調歩同期方式（非同期方式）

ボーレイ 6200, 5200 4800, 9600, 19200, 38400 BPS6902H 1200,2400,4800,9600,19200 BPS

データ構成

伝送コード ASCIIデータ語長 7 または 8 ビットスタートビット 1 ビットストップビット 1 ビットバリティなし、奇数または偶数デリミタ CR ＋ LF,CR,LF

32

入出力等価回路（1）入力回路（2）出力回路

　　1. 制御出力　　2. アナログ出力

コネクタ外観図端子台の保護カバーを開きますと端子番号に対応する信号名称を記載したシールがあります。

I/Oアナログインターフェースパーソナルコンピュータ、プログラマブルコントローラ、リレー回路などシーケンス制御を行うことができます。また、アナログ出力を持っていますので、フィードバック制御、測定物の偏差を連続記録することなどができます。第２ I/O・アナログインターフェース（オプション）を接続すると I/O・アナログインターフェース（標準）は、無効になります。

A1

B1

A6

B6

端子名称（LSM-5200）端子名称（LSM-6200・6902H）

・出力トランジスタの最大定格は 30V,50mA です。・出力電圧範囲は±5V です。・アナログ電圧出力の精度はフルスケールの 0.2％です。・アナログ出力は1M Ω以上の入力インピーダンスを持つ

機器と接続してください。入力インピーダンスが低い場合は内部560Ωの保護抵抗により精度が悪化します。

560　

51　

内部接続（＋24V）2.7

出力信号（GO,－NG,＋NG,STS）

ALG

GND

0V

入力信号（OFFS,RUN,RES）

560　

51　

内部接続（＋24V）2.7


ALG

GND

0V


560　

51　

内部接続（＋24V）2.7


ALG

GND

0V


リモートインターロック No.214938測定部のレーザ光のON/OFFを行なう端子です。通常は付属のショートピンが差し込まれ短絡されています。外部からコントロールする場合は、スイッチを使用してください。

レーザ発光 ONレーザ発光 OFF

短絡開放

付属プラグ：MP-121M（マル信無線）付属プラグ：MP-105LC（マル信無線）

スキャン波形観測端子 No.02AGC401測定部の受光素子のレーザ光のスキャン波形を観測するための端子です。主に受発光部をベースから外し、異なったベースへ取付ける時に、その位置を正確に調整するときに使用します。

時間

電圧電圧

時間

正常波形異常波形

・0～ 1V のローレベル信号を入力します。　通常オープンコレクタトランジスタで駆動します。

・入力信号端子から流れる最大電流は12mA です。

端子番号信号名称機能信号方向A1 SYNC 同期信号（基本設定 "b5 SYnC" で動作選択）入出力A2 STS ステータスエラー（基本設定 "b5 StS" で動作選択）

通常時：on / エラー時（Err-0 / Err-8）：off出力

A3 GO

STB

ACK

GO 判定信号　（基本設定 "b5 Go"=Go"）STB 信号　　　

（基本設定 "b5 Go"=Stb"）ACK 信号　　　

（基本設定 "b5 Go"=AC"）

出力

A4 ＋ NG ＋ NG 判定信号出力A5 － NG － NG 判定信号出力A6 GND 信号グランド —B1 FG フレームグランド（筐体に接続） —B2 ALG アナログ電圧出力出力B3 OV アナログ電圧出力の 0V 出力B4 PSET

HOLD

プリセット・ゼロセット実行入力　（基本設定 "b5 PSEt"=PSEt"）

判定出力の更新停止　　　　　　　（基本設定 "b5 PSEt"=HoLd"）

入力

B5 RUN 測定入力　　（基本設定 "b5 rUn" で動作選択）入力B6 RES クリア入力入力

端子番号信号名称機能信号方向A1 FG

フレームグランド（筐体に接続）入出力信号ケーブルのシールドを接続します

入出力

A2 STS測定状態（ステイタス）の出力

「Err-0」時に“H”レベルの出力をします出力

A3GO

・合否判定出力（GO）・基本設定により、ストローブ信号出力（STB）　または測定中信号（ACK）に変更可能

出力

A4 ＋ NG 合否判定出力（＋ NG）出力A5 － NG 合否判定出力（－ NG）出力A6 GND

デジタルグランド出力（A2 ～ 5）および入力（B4 ～ 6）の共通グランド端子

—

B1 FGフレームグランド（筐体に接続）入出力信号ケーブルのシールドを接続します

—

B2 ALG アナログ電圧出力B3 OV アナログ電圧出力の 0V 出力B4 PSET

プリセット入力基本設定でホールド（HOLD）に変更可能

入力

B5 RUNシングルラン測定入力基本設定により連続測定、期間連続測定に変更可能

入力

B6 RES ・クリア入力でキーと同機能入力

33

BCDインターフェース・測定値をBCD出力（7桁）または HEX出力します。・データ論理を切換えることが出来ます。・入出力回路はアイソレートされています。・LSM-6200・6902Hに使用出来ます。

LSM-6200・6902H用インターフェース

入力回路

560

51　

内部接続（＋24V）2k　（LSM-6000は2.7k　）


ALG

GND

0V


560

R

内部接続（＋24V）


ALG

10KF/R.HOLD

外部GND

外部電源：Vcc（5～24V）

内部GND 内部回路SW1：回路3

0V 入力信号（OFFS,RUN,RES）


外部GND内部GND

内部　5V

内部回路

SW1：回路3

SW1：回路2

R

10KF/R.HOLD

外部GND




外部GND内部GND

内部　5V

内部回路SW1：回路3

SW1：回路2

出力回路

560

51　

内部接続（＋24V）2k　（LSM-6000は2.7k　）


ALG

GND

0V


560

R

内部接続（＋24V）


ALG

10KF/R.HOLD

外部GND





外部GND内部GND

内部　5V

内部回路

SW1：回路3

SW1：回路2

R

10KF/R.HOLD

外部GND




外部GND内部GND

内部　5V

内部回路SW1：回路3

SW1：回路2

36

18 1

19

No.02AGC910標準価格：48,000 円

表示部オプション

多機能表示部の場合57-40360-D

ピン番号信号名ピン番号信号名1 1

248

× 100

19 12 × 104

2 203 21 1

248

× 1054 225 1

248

× 101

236 247 25 1

248

× 1068 269 1

248

× 102

2710 2811 29 Err.0（セグメントエラー）12 30 HOLD13 1

248

× 103

31 F/R14 32 STB（出力ストローク）15 33 EXT.Vcc（外部電源）16 34 ＋ POLE（極性表示）17 1

2 × 104 35 GND（シグナルグランド）18 36 FG（フレームグランド）

34

デジマチックコードアウトユニット・2チャンネルのデジマチックコードアウトを備えています。・同時測定では、 OUTPUT-1にプログラム番号0～4の測定値

OUTPUT-2にプログラム番号5～9の測定値を出力します（10プログラム動作時）。・コネクタは、10ピン MILタイプを使用しています。・出力ケーブルは付属しておりません。接続ケーブル（別売）1m（No.936937）・LSM-6200・6902Hに使用出来ます。

※測定値の 6 桁を出力します。※小数点以下 6 桁及び 7 桁の設定には対応できません。

入力回路

LSM内部

TD62554S

2, 3, 4端子

LSM内部

4050

5端子

20K20K

330P

出力回路

LSM内部

TD62554S

2, 3, 4端子

LSM内部

4050

5端子

20K20K

330P

10

9 1

2

デュアル増設ユニット・LSM-6200に組込み2台目の測定部の接続を可能とします。（2台の測定部は同一の物とします。）

※LSM-6902Hには使用できません。・ 2台の測定部の配置により、大口型・XY・並列測定が可能となります。・2台の測定部の同時測定、同時表示が可能です。

■直交測定

（X － Y）：偏平（X ＋ Y）／ 2：平均

※ XY は 10mm の間隔が必要です。

■並列測定


No.02AGP150標準価格：100,000 円

ピン番号　信号名信号方向備考1 GND — シグナルグランド2 DATA 出力送信データ3 CK 出力送信データ同期クロック4 RD 出力外部機器へのデータ受取り要求5 REQ 入力外部機器からのデータ出力要求

6 ～ 9 I.C — 予備端子10 F.G — フレームグランド

35

多段選別（L1 ～ L6）の場合

第 2 I/O・アナログインターフェース・I/O入出力とアナログ出力を備えています。・合否判定出力を2組備えており、同時測定にも万全です。・LSM-6200・6902Hに使用出来ます。※第２I/O・アナログインターフェース（オプション）を接続すると I/O・アナログインターフェース（標準）は、無効になります。

合否判定（GO、± NG）の場合

入力回路

560　

51　

内部接続（＋24V）2k　（LSM-6000は2.7k　）


ALG

GND

0V


560　内部接続（＋24V）


ALG

2.2K（1W）

COM（OUT）

出力信号（30V 10mA以内）

COM（IN）：外部電圧供給端子　　　　　（5～24V）

入力信号


出力回路

560　

51　

内部接続（＋24V）2k　（LSM-6000は2.7k　）


ALG

GND

0V


560　内部接続（＋24V）


ALG

2.2K（1W）

COM（OUT）

出力信号（30V 10mA以内）

COM（IN）：外部電圧供給端子　　　　　（5～24V）

入力信号


36

18 1

19

・アナログ電圧出力とスケール値　アナログ電圧出力は（測定値 — 基準値）×スケール値（感度）となり、各測定部に

設定される最小表示量により次表となります。（アナログ出力の上限は測定の範囲内です。）

・適合コネクタ　57-30360（DDK、Anphnol 製などの同等品）　本インターフェースに標準添付されています。


表示部オプション

ピン番号信号名信号方向ピン番号信号名信号方向1 ＋ 5V （内部電源） 19 GND （内部電源）2 COM（IN）（入力） 20 COM（IN）（入力）3 PROG.0 入力 21 PROG.1 入力4 PROG.2 入力 22 PROG.3 入力5 PROG.4 入力 23 I.C （出力）6 SHIFT 入力 24 PRINT 入力7 RUN 入力 25 RESET 入力8 A・（－ NG）出力 26 A・（GO）出力9 I.C （出力） 27 I.C （出力）

10 I.C （出力） 28 I.C （出力）11 B・（－ NG）出力 29 B・（GO）出力12 B・（＋ NG）出力 30 I.C 出力13 I.C （出力） 31 I.C （出力）14 A・（＋ NG）出力 32 A・（－ NG）出力15 A・（GO）出力 33 ACK 出力16 ERR.0 出力 34 STB 出力17 COM（OUT）（出力） 35 COM（OUT）（出力）18 CNT 出力 36 FG —

ピン番号信号名信号方向ピン番号信号名信号方向1 ＋ 5V （内部電源） 19 GND （内部電源）2 COM（IN）（入力） 20 COM（IN）（入力）3 PROG.0 入力 21 PROG.1 入力4 PROG.2 入力 22 PROG.3 入力5 PROG.4 入力 23 B-L7 （出力）6 SHIFT 入力 24 PRINT 入力7 RUN 入力 25 RESET 入力8 A-L1 出力 26 A-L2 出力9 A-L3 （出力） 27 A-L4 （出力）

10 A-L5 （出力） 28 A-L6 （出力）11 B-L1 出力 29 B-L2 出力12 B-L3 出力 30 B-L4 出力13 B-L5 （出力） 31 B-L6 （出力）14 A-L7 出力 32 A-L1 出力15 A-L2 出力 33 ACK 出力16 ERR.0 出力 34 STB 出力17 COM（OUT）（出力） 35 COM（OUT）（出力）18 CNT 出力 36 FG —

スケール値（1）表示部の最小表示量番号 0.01µm 0.02µm 0.05µm 0.1µm

1感度 2.5mV/0.01µm 2.5mV/0.02µm 2.5mV/0.05µm 2.5mV/0.1µm

最大出力 ±5V/20µm ±5V/40µm ±5V/100µm ±5V/200µm

2感度 2.5mV/0.1µm 2.5mV/0.2µm 2.5mV/0.5µm 2.5mV/1µm

最大出力 ±5V/200µm ±5V/400µm ±5V/1mm ±5V/2mm

3感度 2.5mV/1µm 2.5mV/2µm 2.5mV/5µm 2.5mV/10µm

最大出力 ±5V/2mm ±5V/4mm ±5V/10mm ±5V/20mm

スケール値（1）表示部の最小表示量番号 0.2µm 0.5µm 1µm 2µm

1感度 2.5mV/0.2µm 2.5mV/0.5µm 2.5mV/1µm 2.5mV/2µm

最大出力 ±5V/100µm ±5V/1µm ±5V/2mm ±5V/4mm





スケール値（1）表示部の最小表示量番号 5µm 10µm 100µm

1感度 2.5mV/5µm 2.5mV/10µm 2.5mV/100µm

最大出力 ±5V/10mm ±5V/20mm ±5V/200mm

2感度 2.5mV/50µm 2.5mV/100µm 2.5mV/1mm

最大出力 ±5V/100mm ±5V/200mm ±5V/2000mm

3感度 2.5mV/50µm 2.5mV/1mm 2.5mV/10mm

最大出力 ±5V/1000mm ±5V/2000mm ±5V/20000mm

36

サーマルプリンタ DPU-414

フットスイッチ用端子・LSM-6200・9506・6902Hに標準付属この端子を短絡することにより、シングル測定キーと同じ機能を発揮します。別売の専用フットスイッチを接続することができます。

適合プラグMP-105LCミニプラグ（マル信無線）

測定 ON測定 OFF

短絡開放

フットスイッチ（別売）No.937179T標準価格：4,400 円

BCD/第 2 I/O 同時搭載用ケーブル

・本ケーブルを使用することで、LSM-6200・6902Hに BCD（No.02AGC910）と第2 I/O・アナログインターフェース（No.02AGC880）を同時に搭載することが可能となります。

※制限事項　本ケーブルを使用した場合、デュアル増設ユニット（No.02AGP150）は使用できません。

システム拡張用機器

SW.FOOT

I/O ANALOG

A1 A6

B1 B6

BCD 第2 I/O・アナログ

120±10

47.8

200±10外観寸法図

使用例LSM-6200に、BCDと第2 I/O・アナログインターフェースを搭載

No.02AGE060 標準価格：9,000円

No.02AGD600A標準価格：60,000 円

・組み込み形表示部 /多機能表示部のどちらでも接続する事が出来ます。

・測定値と統計処理（LSM-6200・9506・6902Hの場合）の結果を印字することが出来ます。

印字例

パーツ No. 02AGD600A符号 DPU-414

印字方式感熱シリアルドット方式印字桁数 40 桁（普通文字）文字構成 9 × 8ドットマトリックス印字方向双方向ロジカルシーク

インターフェイス RS-232C耐用寿命 50 万行動作温度 0 ～ 50℃

電源 100V, 50/60Hz（AC アダプタ）標準付属品プリンタケーブル 2m（02AGD620A）、

記録紙 1 巻、AC アダプタ特別付属品記録紙 10 巻入 No.223663　標準価格：12,000 円

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1. 直線性測定領域の中心において、各々の寸法に応じて固有に生じる最大誤差量（各寸法のワークを測定した場合に測定値が真値から外れた片寄り量）を表した数値です。本装置では、機種別にキャリブレーションゲージ（オプション）が用意してあり、このキャリブレーションゲージにて校正を行い、測定領域中心でワークを測定した際の理想値からのずれ値です。※キャリブレーションの寸法値検定の際に発生する誤差は含まれておりません。別途、加算されます。

2. 繰返し精度測定領域の中心において、各々の測定機の最大測定径の被測定物を動かすことなく、平均化回数512回（LSM-6902Hは2048回）に設定し、2分間連続測定を行った場合における測定値のバラツキ（±2σ）の値です。

3. 位置誤差被測定物が測定領域内で位置ずれを生じた際に、測定領域の中心における測定値を基準とした誤差量です。位置誤差には、下図のようにアップダウン精度とパラレル精度があり、位置誤差は個別にかかります。

4. 測定領域被測定物があらかじめ定まった空間領域に入っている場合にのみ精度保証（直線性＋位置誤差）している数値を得る事が出来ます。この領域の事を測定領域と呼びます。測定領域は、レーザビームの走査方向×光軸方向によって決まります。一番誤差を少なく測定するには、この測定領域の中心で測定することが必要です。因みに下図の①と②と⑤と⑥は、測定領域の外にあるため、測定不能となり、③と④では位置誤差が直線性精度にプラスされます。

5. ビーム径と幅

LoCAL HiCAL測定値

真値理想値

最大誤差量

直線性

A

B

光軸方向

レーザ走査方向

測定領域

アップダウン精度パラレル精度

＝


真値理想値

最大誤差量

直線性

A

B

光軸方向


測定領域


＝


真値理想値

最大誤差量

直線性

A

B

光軸方向


測定領域


＝


真値理想値

最大誤差量

直線性

A

B

光軸方向


測定領域


＝

※参考値

用語説明

LSM-6902H LSM-500S LSM-501S LSM-503S LSM-506S LSM-9506 LSM-512S LSM-516Sビーム径A 200µm 80µm 120µm 240µm 600µm 600µm 1200µm 1200µmビーム幅B 300µm 120µm 170µm 340µm 800µm 800µm 1600µm 1600µm

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ノイズ対策について誤動作防止のため、本装置の信号ケーブルと中継ケーブルを高圧線やサージノイズの発生するケーブルと同一配線をしないようにお願いします。また、必ずアース（接地）をして下さい。

コンピュータとの接続についてRS-232Cで本装置とコンピュータを接続する場合は、コネクタの信号名及びピン番号を確認ください。

レーザ光について、安全上の注意点本装置は測定用に低出力の可視レーザ光を使用しており、JIS C 6802「レーザ製品の放射安全基準」のクラス 2（可視光）に相当します。測定部には下の図に示すようなクラス 2の警告、説明ラベルが貼られています。

●レーザスキャンマイクロメータは、「外国為替及び外国貿易法の輸出管理令別表第 1若しくは外国為替令別表に定める 16の項」によるキャッチオール規制対象品です。製品の輸出や、非居住者への関連技術の提供等にあたっては、経済産業省への輸出許可・役務取引許可申請や届出等が必要となる場合があります。また、米国向けは、FDA仕様の登録製品に限られます。(事前に弊社にご相談ください )

正しくお使い下さい

発光部・受光部間のレーザ光軸のずれによる測定誤差をできるだけ少なくするために、発光部と受光部の取付けは以下のようにしてください。

（3）各光軸合わせの許容範囲

b. 基準線 Cと Dの角度ずれ→θ x（角度）


測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X


基準面A

Y


ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1


（1）水平面内の光軸合わせa. 基準線 Cと Dの平行ずれ→ X（幅方向）


測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X


基準面A

Y


ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1


b. 基準面 Aと Bの角度ずれ→θ y（角度）


測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X


基準面A

Y


ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1


（2）水平面内の光軸合わせc. 基準面 Aと Bの平行ずれ→ Y（高さ）


測定物 2

回転

基準軸

D

X Y

回転による

　ブレ

基準線C

X


基準面A

Y


ø6＋0.1

○A

○B

○C○D

ø10h7＋0

－0.015

ø5h7＋0

－0.012

－0

ø12＋0

－0.1


ベースを取り外しての再取付けについて

海外移転に関するご注意

使用上のご注意

互換性について本装置は測定部に付属となっている IDユニットとセットで調整されていますので、必ずシリアル番号の同じ IDユニットを表示部に付けてご使用下さい。尚、IDユニットと測定部との調整となっているため、表示部と測定部とは互換性があります。又、本装置と従来機種（LSM-3000、3100、4000、4100、400シリーズ、5000、6000、旧500シリーズ）との互換性はありません。なお、LSM-Hシリーズ、5100、6100を使用いただいているお客様で測定部または表示部が壊れた場合、特注対応にて LSM-Sシリーズ、LSM-5200、LSM-6200への接続ができます。条件としては再調整のため、引取作業となります。また、測定回数は従来通り1600スキャンです。LSM-6902Hは測定部と表示部をセットで調整されていますので、必ず測定部と表示部のシリアル番号を一致させてください。

測定物と測定条件について測定物の形状や表面の粗さによって測定誤差を生じることがあります。この場合、出来るだけ既知の形状や表面粗さが同じ値のマスタをご使用いただき、キャリブレーションを必ず行なって下さい。測定条件によって測定値が大きくばらつく場合は、測定回数を出来るだけ多くする事で精度の高い測定が可能です。

対象機種発光部～受光部間距離 X および Y θx およびθyLSM-501S 68mm 以下 0.5mm 以内 0.4 °（7 mrad）以内

100mm 以下 0.5mm 以内 0.3 °（5.2mrad）以内LSM-503S 135mm 以下 1 mm 以内 0.4 °（7 mrad）以内

350mm 以下 1 mm 以内 0.16 °（2.8mrad）以内LSM-506S 273mm 以下 1 mm 以内 0.2 °（3.5mrad）以内

700mm 以下 1 mm 以内 0.08°（1.4mrad）以内LSM-512S 321mm 以下 1 mm 以内 0.18°（3.6mrad）以内

700mm 以下 1 mm 以内 0.08°（1.4mrad）以内LSM-516S 800mm 以下 1 mm 以内 0.09°（0.9mrad）以内

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■簡単 ■操作性抜群 ■データ保存可能（CSVファイル）

● LSM表示部の取扱操作を容易にするための、MS-Windows上で動作するソフトウェアです。マウスまたはキーボード操作を行う事で、各種測定に対応したLSMの設定が簡単にできます。

LSM QUICKTOOLとは

PC画面イメージ

弊社ホームページより、ダウンロードしてください。

http://www.mitutoyo.co.jp/contact/products/lsm/弊社ホhttp://www.mitutoyo.co.jp/contact/products/lsm/

※ LSM-6200, 6902Hは、RS-232C接続です。 LSM-5200は、USB接続です。

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■測定部･表示部

■オプション（測定部）

■オプション（アジャスタブルワークステージ）

■測定部･表示部一体形

■高精度形（測定部･表示部セット）

■オプション（表示部）

※LSM-6902Hには使用できません。

品名符号コードNo. 標準価格測定部・表示部セット品 LSM-6902H 544-497 980,000円

品名符号コードNo. 標準価格測定部・表示部一体形 LSM-9506 544-114 980,000円

品名符号コードNo. 標準価格極細線用可視光 LSM-500S 544-531 500,000円精密細物用可視光 LSM-501S 544-533 470,000円汎用30mmタイプ可視光 LSM-503S 544-535 480,000円汎用60mmタイプ可視光 LSM-506S 544-537 680,000円汎用120mmタイプ可視光 LSM-512S 544-539 1,060,000円汎用160mmタイプ可視光 LSM-516S 544-541 1,780,000円多機能操作表示部（I/O・アナログ付き） LSM-6200 544-071 220,000円

組み込み形操作表示部 LSM-5200 544-046 180,000円

品名パーツNo. 標準価格LSM-6902H用アジャスタブルワークステージ 02AGD280 170,000円LSM-501S用アジャスタブルワークステージ 02AGD400 180,000円LSM-503S用アジャスタブルワークステージ 02AGD490 230,000円LSM-506S用アジャスタブルワークステージ 02AGD520 280,000円LSM-9506用アジャスタブルワークステージ-200 02AGD370 160,000円LSM-9506用アジャスタブルワークステージ-300 02AGD680 260,000円LSM-6902H,501S,503S用両センタ 02AGD440 55,000円LSM-506S, 9506用両センタ 02AGD580 70,000円LSM-6902H,501S,503S用上下動Vブロック 02AGD450 70,000円LSM-506S, 9506用上下動Vブロック 02AGD590 75,000円

品名パーツNo. 標準価格標準キャリブレーションゲージセット LSM-6902H用（ø1.0，ø25.0） 02AGD180 48,000円LSM-500S用（ø0.1，ø2.0） 02AGD110 48,000円LSM-501S用（ø0.1，ø10.0 02AGD120 48,000円LSM-503S用（ø1.0，ø30.0） 02AGD130 48,000円LSM-506S用（ø1.0，ø60.0） 02AGD140 55,000円LSM-512S用（ø20.0，ø120.0） 02AGD150 120,000円LSM-516S用（ø20.0，ø160.0） 02AGM300 152,000円LSM-9506用（ø1.0，ø60.0） 02AGD170 58,000円ガイドプーリ治具LSM-500S用 02AGD200 42,000円LSM-501S用 02AGD210 42,000円ワークステージLSM-6902H,501S,503S用 02AGD270 78,000円エアブローカバーLSM-500S用 02AGD220 60,000円LSM-501S用 02AGD230 60,000円LSM-503S用 02AGD240 60,000円LSM-506S用 02AGD250 85,000円LSM-512S用 02AGD260 95,000円信号延長ケーブル5m 02AGN780A 30,000円10m 02AGN780B 40,000円15m 02AGN780C 50,000円20m 02AGN780D 60,000円中継延長ケーブル1m 02AGC150A 20,000円3m 02AGC150B 25,000円5m 02AGC150C 30,000円

品名パーツNo. 標準価格第2 I/O・アナログインターフェイス 02AGC880 65,000円BCDインターフェイス 02AGC910 48,000円デジマチックコードアウトユニット（2CH）ケーブル別売 02AGC840 8,000円デジマチックコードアウトケーブル（1m） 936937 2,970円BCD/第2 I/O同時搭載用ケーブル 02AGE060 9,000円サーマルプリンタ・ケーブルセットDPU-414 02AGD600A 60,000円プリンタ用紙（10ロール）DPU-414用 223663 12,000円デュアル増設セット※ 02AGP150 100,000円フットスイッチ 937179T 4,400円

価格表

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■対象商品と定額修理料金

コードNo. 品　名標準価格（測定部）

544-531 LSM－500S 93,700円544-533 LSM－501S 103,500円544-535 LSM－503S 130,900円544-537 LSM－506S 136,700円544-539 LSM－512S 150,400円544-541 LSM－516S 183,600円

（表示部）544-046 LSM－5200 68,400円544-071 LSM－6200 76,200円

（測定部・表示部セット品）544-497 LSM-6902H

測定部 140,600円表示部 76,200円

（測定部・表示部一体形）544-114 LSM－9506 148,400円

レーザスキャンマイクロメータ LSM-500Sシリーズ「引取定額修理料金」のご案内

レーザスキャンマイクロメータ LSM-500Sシリーズ (標準品 )の引取修理につきましては下記のとおり「定額料金」を設定させて戴いております。

注１．定額修理対応品は、上記標準品に限ります。注２．不具合箇所の修理(故障部品の交換等)以外に、内部の清掃・点検及び消耗部品の交換などの予防保守を行います。・測定部につきましては、ＬＤ（レーザーダイオード）、保護ガラスは必ず交換致します。・表示部につきましては、電源ユニット、キーシート、フロントパネル、キースイッチは必ず交換致します。注３．修理品に著しい損傷がある場合は修理辞退、又は別途お見積りとさせていただく場合がありますので、予めご承知おきください。

118 1911(7)Ae-(PA)HS134

弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。

●仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。●本カタログに掲載されている仕様は2019年11月現在のものです。●掲載しております標準価格には消費税は含まれておりません。

お求めは当店で—

本社　川崎市高津区坂戸 1-20-1　〒 213-8533

カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問い合わせ、ご相談をお受けしています。　川崎市高津区坂戸 1-20-1　　〒213-8533 電話 (050) 3786-3214 ファクス (044) 813-1691

M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。　UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248　TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610　SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830　ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761　OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817　HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163　FUKUOKA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470　※M3 Solution CenterのM3 （エムキューブ）はMitutoyo, Measurement, Metrologyの3つのMを表しています。　

お問い合わせは仙台営業所仙台市若林区卸町東 1-7-30 〒984-0002 電話 (022) 231-6881 ファクス (022) 231-6884 郡山駐在所電話 (024) 931-4331 宇都宮営業所宇都宮市平松本町 796-1 〒321-0932 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248 つくば駐在所電話 (029) 839-9139 新潟営業所新潟市中央区新和 1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025) 281-4360　ファクス (025) 281-4367 伊勢崎営業所伊勢崎市宮子町 3463-13 〒372-0801 電話 (0270) 21-5471　ファクス (0270) 21-5613 さいたま営業所さいたま市北区宮原町 3-429-1 〒331-0812 電話 (025) 281-4360 川崎営業所川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 東京駐在所電話 (03) 3452-0481 厚木営業所厚木市岡田 1-7-1 ヴェルドミール SUZUKI 105 〒243-0021 電話 (046) 226-1020　ファクス (046) 229-5450 八王子駐在所電話 (042) 620-5380 富士駐在所電話 (0545) 55-1677 諏訪営業所諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 　上田駐在所電話 (0268) 26-4531 浜松営業所浜松市東区和田町 587-1 〒435-0016 電話 (053) 464-1451 ファクス (053) 464-1683 安城営業所安城市住吉町 5-19-5　〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 名古屋営業所名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26 〒466-0064 電話 (052) 741-0382 ファクス (052) 733-0921 金沢営業所金沢市桜田町 1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076) 222-1160 ファクス (076) 222-1161 大阪営業所大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 神戸駐在所電話 (078) 924-4560 京滋営業所草津市大路 2-13-27 辻第3ビル 1F 〒525-0032 電話 (077) 569-4171 ファクス (077) 569-4172 岡山営業所岡山市北区田中 134-107 〒700-0951 電話 (086) 242-5625 ファクス (086) 242-5653 広島営業所東広島市八本松東 2-15-20 〒739-0142 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 福岡営業所福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470 センシング営業部川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-8236 ファクス (044) 822-8140

計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業所にご連絡ください。　ミツトヨ計測学院川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000

ホームページ　http://www.mitutoyo.co.jp　

非接触・高精度レーザ測長システム...精密センサ...

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